JP3570194B2 - Liquid crystal device, electronic equipment using the same, and method of manufacturing liquid crystal device - Google Patents

Liquid crystal device, electronic equipment using the same, and method of manufacturing liquid crystal device Download PDF

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Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、対向基板にマイクロレンズを備えた液晶装置及びこれを用いた電子機器の技術分野に属し、特に投影型あるいは透過型の液晶装置の一方の面にマイクロレンズアレイを備えた液晶装置、その製造方法及びこれを用いた電子機器の技術分野に属する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の薄膜トランジスタ駆動によるアクティブマトリクス駆動方式等の液晶装置においては、縦横に夫々配列された多数の走査線及びデータ線並びにこれらの各交点に対応して多数の画素電極がＴＦＴアレイ基板上に設けられている。従って、このような液晶装置においては、走査線及びデータ線の位置関係などにより規制されて、表示を行う個々の画素の画素電極を大きく形成することができず、液晶装置の表示画面中の画素領域の占める割合、いわゆる開口率が小さくなる傾向にある。
【０００３】
また、電圧非印加時に透過、印加時に非透過となる、いわゆるノーマリーホワイトモードにより表示を行う場合、表示コントラスト及び色再現性を向上させるためには、画素電極とデータ線との間の光漏れを防止する必要がある。そのために、 ＴＦＴ及びデータ線が設けられたアクティブマトリクス基板に対向する対向基板上であって、当該ＴＦＴ及びデータ線に向き合う部分に、金属などからなる遮光層を増設し、表示に寄与しない光を吸収また反射させるようにしている。
【０００４】
しかし、この遮光層は、対向基板の貼り合わせ精度を考慮してマージンを含んだ大きさで形成する必要があり、そのために開口率はより一層小さくなり、表示画面が暗くなるという問題があった。
【０００５】
そこで、このような問題を解決するために、液晶装置を構成する２枚の基板のうち光源側に位置する基板の液晶層との対向面に、各画素の夫々に対応する位置に複数のマイクロレンズをマトリクス状に配列して形成したり、或いは液晶装置の光源側に別の透明板を設け、その透明板の片面の各画素の夫々に対応する位置に複数のマイクロレンズをマトリクス状に配列したりして、光源から照射される光を各マイクロレンズで画素領域に夫々集光し、それによって表示画面を明るくする方法が提案され、例えば特開昭６０−１６５６２１〜１６５６２４号公報等に掲載されている。
【０００６】
また、前記マイクロレンズは、一般に感光性材料を熱変形させることにより製造するが、感光性材料自体が光吸収性であり光の利用効率が低下するという問題があった。また、光吸収により温度が上昇するとレンズ自体が軟化して高エネルギーの光に対して使用できないという問題もあった。更に、光の利用効率からすると、個々のマイクロレンズがお互いに連結してアレイを構成し、マイクロレンズアレイ全体に入射する光を全てマイクロレンズに集光できるようにすることが望ましいが、従来の熱変形法では、マイクロレンズを互いに連結してマイクロレンズアレイを作成することが困難であった。
【０００７】
そこで、熱変形工程に加えて、エッチングにより凸面形状のアレイ配置を彫り移すことにより、所望の屈折面形状及びそのアレイ配列状態を基板に製造する方法が提案され、例えば特開平６−１９４５０２号公報等に掲載されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来のエッチングを用いた製造方法によれば、マイクロレンズアレイの中央部よりも、周辺部の方がエッチングによる除去量が多くなり、その結果、レンズとの凸状部の高さ、または直径等が中央部と周辺部とで異なることになり、レンズ特性にばらつきを生じるという問題点があった。
【０００９】
従って、液晶装置の表示領域の周辺部と中央部とで、輝度、コントラストがばらつくという問題があった。
【００１０】
そこで、マイクロレンズを用いることなく、各画素の開口率を従来よりも高くすることが考えられるが、この対策は、データ線あるいは走査線のパターンの幅、更にはＴＦＴの面積等によりある程度の制限があり、前記問題を解決するには至らなかった。
【００１１】
本発明は上述した問題点に鑑みなされたものであり、エッチング工程を経て製造されたマイクロレンズを備える場合でも、レンズ特性にばらつきがなく、表示領域全体に亘って均一な輝度とコントラストを得ることのできる液晶装置及び当該液晶装置を備えた電子機器を提供することを課題とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するため、本発明の液晶装置は、第１基板と、下地基板及びカバー部材からなる第２基板と、前記第１基板及び第２基板間に挟持された液晶と、を有する液晶装置において、表示領域の周囲に沿って、前記第１基板および第２基板のいずれかに形成された遮光層と、前記下地基板に設けられ、前記表示領域、及び前記遮光層が形成された領域に配置されてなり、複数のマイクロレンズを含むマイクロレンズアレイと、前記下地基板上の前記マイクロレンズアレイの外側に設けられ、前記マイクロレンズの凸状部よりも低くなっている平坦部と、を備え、前記マイクロレンズアレイは、エッチングにより形成されるものであって、当該マイクロレンズアレイの中央部と外周部とで前記凸状部の高さ或いは直径が異なり、前記マイクロレンズ間および前記平坦部上に接着剤を位置させて前記下地基板と前記カバー部材が貼り合わされてなり、前記マイクロレンズの外周部に位置し、前記凸状部の高さ或いは直径が異なるマイクロレンズは、前記遮光層により覆われてなることを特徴とする。
本発明の液晶装置は、第１基板と、下地基板及びカバー部材からなる第２基板と、前記第１基板及び第２基板間に挟持された液晶と、を有する液晶装置において、表示領域の周囲に沿って、前記第１基板および第２基板のいずれかに形成された遮光層と、前記下地基板に設けられ、前記表示領域、及び前記遮光層が形成された領域に配置されてなり、複数のマイクロレンズを含むマイクロレンズアレイと、前記下地基板上の前記マイクロレンズアレイの外側に設けられ、前記マイクロレンズの凸状部よりも低い平坦部と、を備え、前記マイクロレンズアレイは、製造工程を経て、前記マイクロレンズアレイの中央部と外周部とで前記凸状部の高さ或いは直径が異なり、前記マイクロレンズ間及び前記平坦部上に接着剤を位置させて前記下地基板と前記カバー部材が貼り合わされてなり、前記マイクロレンズの外周部に位置し、前記凸状部の高さ或いは直径が異なるマイクロレンズは、前記遮光層により覆われてなることを特徴とする。
本発明の液晶装置は、第１基板及び第２基板と、前記第１基板及び第２基板間に挟持された液晶と、前記第１基板上にマトリクス状に設けられた複数の画素電極とを有する液晶装置において、表示領域の周囲に沿って、前記第１基板および第２基板のいずれかに形成された遮光層と、前記表示領域、及び前記遮光層が形成された領域に形成されてなり、複数のマイクロレンズを含むマイクロレンズアレイと、を備え、前記マイクロレンズアレイは、エッチングにより形成されるものであって、前記マイクロレンズアレイの外周部には、当該マイクロレンズアレイの中央部とではレンズ特性の異なる前記マイクロレンズが形成されてなり、前記マイクロレンズの外周部に位置する前記レンズ特性が異なるマイクロレンズは、前記遮光層により覆われてなることが好ましい。
また、本発明の液晶装置は、第１基板及び第２基板と、前記第１基板及び第２基板間に挟持された液晶と、を有する液晶装置において、表示領域の周囲に沿って、前記第１基板および第２基板のいずれかに形成された遮光層と、前記表示領域、及び前記遮光層が形成された領域に配置されてなり、複数のマイクロレンズを含むマイクロレンズアレイと、を備え、前記マイクロレンズアレイは、製造工程を経て、前記マイクロレンズアレイの外周部には、当該マイクロレンズアレイの中央部とはレンズ特性の異なる前記マイクロレンズが形成されるものであって、前記マイクロレンズの外周部に位置する前記レンズ特性が異なるマイクロレンズは、前記遮光層により覆われてなることが好ましい。
【００１３】
当該液晶装置によれば、前記各画素電極が設けられる各画素に対応してマイクロレンズを設け、各画素の開口領域に光を集光するので、輝度の低下が防止される。特に、開口領域外に入射するような光をも、前記開口領域側に集光させるため、高輝度の液晶装置が提供されることになる。
【００１４】
しかも、前記マイクロレンズは、前記開口領域だけでなく、前記第１基板または第２基板のいずれかにおいて、前記複数の画素電極により規定される表示領域の周囲に沿って第１遮光層が形成された領域にも形成されてなるので、前記複数のマイクロレンズのうち、表示領域周辺部側のマイクロレンズは、前記遮光層が形成された領域に位置することになる。従って、表示領域周辺部側のマイクロレンズにより集光された光は第１遮光層により遮光され、前記開口領域に対する集光には寄与しないことになる。この表示領域周辺部側のマイクロレンズは、表示領域中央部側のマイクロレンズに比べて、エッチング処理の際に彫り移される量が多くなり、レンズ特性が異なるものである。従って、このようにレンズ特性の異なるマイクロレンズは、前記開口領域に対する集光に寄与せず、レンズ特性の均一なマイクロレンズのみによって、前記開口領域に対する集光が行われるので、均一な輝度とコントラストが得られる。
この形態の場合には、前記マイクロレンズアレイは下地基板に形成されてなり、前記マイクロレンズアレイの中央部と外周部とでは、前記マイクロレンズの凸状部の前記下地基板からの高さ、又は前記マイクロレンズの凸状部の直径が異なる場合がある。また、前記マイクロレンズアレイの中央部と外周部とでは、前記マイクロレンズアレイの外周部は、前記マイクロレンズアレイの中央部に比べて前記マイクロレンズの凸状部の前記下地基板からの高さが低い場合がある。
【００１５】
次に、本発明に係る液晶装置は、前記第１基板上に設けられた複数のデータ線と、該複数のデータ線に交差して前記第１基板上に設けられた複数の走査線と、前記第１基板上にて各前記データ線及び前記走査線並びに前記画素電極に接続された薄膜トランジスタと、該複数の薄膜トランジスタの少なくともチャネル形成用領域及び前記複数の走査線並びに前記複数のデータ線に、平面的に見て重なる位置で、前記第１基板または第２基板のいずれかに設けられ、各画素の開口領域を規定する第２遮光層とを備えたことを特徴とする。
【００１６】
当該液晶装置によれば、第１基板上に設けられた複数の薄膜トランジスタの少なくともチャネル形成用領域と、同じく第１基板上に設けられた複数の走査線並びに複数のデータ線は、第１基板または第２基板のいずれかに設けられた第２遮光層により、これらが液晶に対向する側から夫々覆われる。従って、第１基板側から光が入射した場合であっても、前記薄膜トランジスタのチャネル形成用領域に対する当該光の入射を確実に防止し、リーク電流の発生を抑える。
【００１７】
また、前記遮光層で前記チャネル形成用領域及び走査線並びにデータ線を覆うことにより、各画素の開口領域が規定されることになるが、液晶の非配向部が生じ易い前記画素電極の周縁部は、走査線及びデータ線を覆う前記第２遮光層により覆われることになり、前記非配向部が原因となる前記開口領域内における輝度のむら、あるいはコントラストむらを確実に防止する。従って、上述したマイクロレンズにより均一な輝度とコントラストが得られると共に、リーク電流の発生が抑えられ、高品位の画像を得ることができる。
【００１８】
本発明に係る液晶装置は、前記マイクロレンズは、前記夫々の集光部が、凸状に形成された集光連結部により連結されていることを特徴とする。
【００１９】
当該液晶装置によれば、前記マイクロレンズは、いわゆるマイクロレンズアレイを形成し、各マイクロレンズの夫々の集光部は、凸状に形成された集光連結部により連結されている。従って、前記開口領域に入射する光だけでなく、前記開口領域外に入射する光をも、前記開口領域に集光させるので、光の利用効率を極めて高くすることができる。
【００２０】
本発明に係る液晶装置は、前記第２の基板は、透明な下地基板と、該下地基板上に取り付けられ前記液晶と接する透明なカバー部材とを含み、前記マイクロレンズは、前記下地基板の前記カバー部材との対向側に形成され、前記表示領域の周囲に沿って形成された遮光層は、前記カバー部材の前記液晶側に形成されることを特徴とする。
【００２１】
当該液晶装置によれば、前記マイクロレンズは、従来のように感光性材料の熱変形のみによって作られるのではなく、その後のエッチング処理により、前記第２の基板を構成する透明な下地基板に形成されるので、光吸収性が極めて低く、従来のように感光性材料によって形成される場合に比べて光の利用効率を十分に高めることができる。また、前記下地基板は温度上昇による軟化等が発生せず、高エネルギーの光に対する使用が可能である。前記表示領域の周囲に沿って形成された遮光層は、前記透明な下地基板に取り付けられるカバー部材に形成されるので、上述したようなレンズ特性の異なるマトリクス端部のマイクロレンズを確実に覆うことができ、レンズ特性の等しいマイクロレンズのみによる開口領域に対する集光を可能とする。更に、前記表示領域の周囲に沿って形成された遮光層についても前記カバー部材に取り付けられるので、遮光層とマイクロレンズの集光部との位置合わせを精度良く行うことができ、光洩れのない高輝度の液晶装置を提供する。
【００２２】
本発明に係る液晶装置は、前記表示領域の周囲に沿って形成された遮光層は、前記第１基板の前記液晶との対向側の面上に形成されることを特徴とする。
【００２３】
当該液晶装置によれば、前記遮光層は、前記第１基板の前記液晶との対向側の面に形成されるので、複数の画素電極により規定される表示領域を精度良く規定することができ、液晶装置を遮光性のケースに入れる際に位置ずれが生じた場合でも、当該ずれを許容して、前記ケースの開口における適切な位置に前記表示領域を設定することができる。
【００２４】
本発明に係る電子機器は、上記本発明の液晶装置を備えたことを特徴とする。
【００２５】
本発明の電子機器によれば、上記本発明の液晶装置を備えたので、光洩れがなく、コントラストむらのない高輝度の表示を行うことのできる液晶装置により、高品位な表示を行うことができる。
本発明の液晶装置の製造方法は、第１基板と、下地基板及びカバー部材からなる第２基板と、前記第１基板及び第２基板間に挟持された液晶と、前記第１基板上にマトリクス状に設けられた複数の画素電極と、表示領域の周囲に沿って前記第１基板および第２基板のいずれかに形成された遮光層と、複数のマイクロレンズを含むマイクロレンズアレイと、を備えてなる液晶装置の製造方法であって、前記下地基板に前記マイクロレンズアレイをエッチングにより形成する工程と、前記下地基板と前記カバー部材とを貼り合わせる工程と、前記マイクロレンズアレイの中央部が前記表示領域に位置するように前記マイクロレンズアレイを配置する工程と、を備え、前記マイクロレンズアレイを形成する工程においては、前記マイクロレンズアレイの中央部と外周部とで凸状部の高さ或いは直径が異なる前記マイクロレンズが形成されるとともに、前記下地基板上の前記マイクロレンズアレイの外側に、前記マイクロレンズの凸状部よりも低い平坦部が形成されるものであって、
前記貼り合わせる工程においては、前記マイクロレンズ間および前記平坦部上に接着剤を位置させて前記下地基板と前記カバー部材を貼り合わせ、前記マイクロレンズアレイを配置する工程において、前記マイクロレンズアレイの外周部に位置し、前記凸状部の高さ或いは直径が異なるマイクロレンズを前記遮光層で覆うように前記マイクロレンズアレイを配置することを特徴とする。
本発明の液晶装置の製造方法は、第１基板及び第２基板と、前記第１基板及び第２基板間に挟持された液晶と、前記第１基板上にマトリクス状に設けられた複数の画素電極と、表示領域の周囲に沿って前記第１基板および第２基板のいずれかに形成された遮光層と、複数のマイクロレンズを含むマイクロレンズアレイと、を備えてなる液晶装置の製造方法であって、前記マイクロレンズアレイをエッチングにより形成する工程と、前記マイクロレンズアレイの中央部が前記表示領域に位置するように前記マイクロレンズアレイを配置する工程と、を備え、前記マイクロレンズアレイを形成する工程においては、前記マイクロレンズアレイは、前記マイクロレンズアレイの外周部に、前記マイクロレンズアレイの中央部とはレンズ特性の異なる前記マイクロレンズが形成されるものであって、前記マイクロレンズアレイを配置する工程において、前記マイクロレンズアレイの外周部に位置する前記レンズ特性が異なるマイクロレンズを前記遮光層で覆うように前記マイクロレンズアレイを配置することが好ましい。
当該液晶装置の製造方法は、前記マイクロレンズアレイを形成する工程においては、前記マイクロレンズアレイは下地基板に形成されてなり、前記マイクロレンズアレイの中央部と外周部とでは、前記マイクロレンズの凸状部の前記下地基板からの高さ、又は前記マイクロレンズの凸状部の直径が異なる場合がある。また、前記マイクロレンズアレイの中央部と外周部とでは、前記マイクロレンズアレイの外周部は、前記マイクロレンズアレイの中央部に比べて前記マイクロレンズの凸状部の前記下地基板からの高さが低い場合がある。
【００２６】
本発明のこのような作用及び他の利得は次に説明する実施の形態から明らかにされる。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００２８】
（液晶装置の構成）
先ず、液晶装置の全体構成を図１から図３に基づいて説明する。図１は、液晶装置の実施の形態におけるＴＦＴアレイ基板上に設けられた各種配線、周辺回路等の構成を示すブロック図であり、図２は、ＴＦＴアレイ基板をその上に形成された各構成要素と共に対向基板の側から見た平面図であり、図３は、対向基板を含めて示す図２のＨ−Ｈ’断面図である。
【００２９】
図１において、液晶装置２００は、例えば石英基板、ハードガラス等からなるＴＦＴアレイ基板１を備えている。ＴＦＴアレイ基板１上には、マトリクス状に設けられた複数の画素電極１１と、Ｘ方向に複数配列されており夫々がＹ方向に沿って伸びるデータ線３５と、Ｙ方向に複数配列されており夫々がＸ方向に沿って伸びる走査線３１と、各データ線３５と画素電極１１との間に夫々介在すると共に該間における導通状態及び非導通状態を、走査線３１を介して夫々供給される走査信号に応じて夫々制御するスイッチング素子の一例としての複数のＴＦＴ３０とが形成されている。またＴＦＴアレイ基板１上には、蓄積容量のための配線である容量線３１’（蓄電容量電極）が、走査線３１と平行に形成されている。なお、容量線３１’は、走査線３１と平行に形成する構成だけでなく、前段の走査線下を利用して蓄積容量を形成するように構成しても良い。画素電極１１と容量線３１’との間には容量が形成されるが、図１には、この容量を省略して図示してある。
【００３０】
ＴＦＴアレイ基板１上には更に、複数のデータ線３５に所定電圧レベルのプリチャージ信号を画像信号に先行して夫々供給するプリチャージ回路２０１と、画像信号をサンプリングして複数のデータ線３５に夫々供給するサンプリング回路３０１と、データ線駆動回路１０１と、走査線駆動回路１０４とを形成されている。なお、これらの回路は、 ＴＦＴアレイ基板１上に必ず設けられている必要はなく、 ＴＦＴアレイ基板１とは別の基板等に設けるように構成しても良い。また、プリチャージ回路２０１とサンプリング回路３０１は、本発明に必須の要件ではないが、これらの回路を設けると、輝度むら、コントラストむらを無くすのに有利である。
【００３１】
走査線駆動回路１０４は、外部制御回路から供給される電源、基準クロック等に基づいて、所定タイミングで走査線３１に走査信号をパルス的に印加する。
【００３２】
データ線駆動回路１０１は、外部制御回路から供給される電源、基準クロック等に基づいて、走査線駆動回路１０４が走査信号を印加するタイミングに合わせて、６つの画像信号線３０４に画像信号ＶＩＤ１〜ＶＩＤ６が供給される際に、６つの画像信号線３０４の夫々とデータ線の導通を図るべく、データ線３５毎にサンプリング回路駆動信号をサンプリング回路３０１にサンプリング回路駆動信号線３０６を介して供給する。
【００３３】
プリチャージ回路２０１は、ＴＦＴ２０２を各データ線３５毎に備えており、プリチャージ信号線２０４がＴＦＴ２０２のソース電極に接続されており、プリチャージ回路駆動信号線２０６がＴＦＴ２０２のゲート電極に接続されている。そして、プリチャージ信号線２０４を介して、外部電源からプリチャージ信号を書き込むために必要な所定電圧の電源が供給され、プリチャージ回路駆動信号線２０６を介して、各データ線３５について画像信号に先行するタイミングでプリチャージ信号を書き込むように、外部制御回路からプリチャージ回路駆動信号が供給される。プリチャージ回路２０１は、好ましくは中間階調レベルの画素データに相当するプリチャージ信号（画像補充信号）を供給する。
【００３４】
サンプリング回路３０１は、ＴＦＴ３０２を各データ線３５毎に備えており、画像信号ＶＩＤ１〜ＶＩＤ６の供給が行われる画像信号線３０４が、ＴＦＴ３０２のソース電極に接続されており、サンプリング回路駆動信号線３０６がＴＦＴ３０２のゲート電極に接続されている。そして、画像信号線３０４を介して、例えば６相展開された６つのパラレルな画像信号ＶＩＤ１〜ＶＩＤ６が入力されると、これらの画像信号ＶＩＤ１〜ＶＩＤ６をサンプリングする。また、サンプリング回路駆動信号線３０６を介して、データ線駆動回路１０１からサンプリング回路駆動信号が入力されると、６つの画像信号線３０４夫々についてサンプリングされた画像信号ＶＩＤ１〜ＶＩＤ６を、６つの隣接するデータ線３５毎に順次印加する。即ち、データ線駆動回路１０１とサンプリング回路３０１とは、画像信号線３０４から入力された６つのパラレルな画像信号ＶＩＤ１〜ＶＩＤ６を６相展開して、データ線３５に供給するように構成されている。
【００３５】
尚、画像信号の相展開数には制約がないが、ビデオ表示させる場合には、ＲＧＢ各々に画像信号線が必要なことから、３の倍数で構成すると外部制御回路が比較的容易に構成できる。また、少なくとも画像信号の相展開数分だけ画像信号線３０４が必要なことは言うまでもない。また、このような相展開を行う構成も、本発明に必須の要件ではないが、ドットクロックが速い場合には、画像信号の駆動トランジスタの負荷を軽減できるという利点がある。
【００３６】
本実施の形態では特に、プリチャージ回路２０１及びサンプリング回路３０１は、図１中斜線領域で示すように且つ図２及び図３に示すように、対向基板２に形成された遮光性の周辺見切り５３に対向する位置においてＴＦＴアレイ基板１上に設けられており、データ線駆動回路１０１及び走査線駆動回路１０４は、液晶層５０に面しないＴＦＴアレイ基板１の狭く細長い周辺部分上に設けられている。
【００３７】
図２及び図３において、ＴＦＴアレイ基板１の上には、複数の画素電極１１により規定される表示領域（即ち、実際に液晶層５０の配向状態変化により画像が表示される液晶装置の領域）の周囲において両基板を貼り合わせて液晶層５０を包囲するシール部材の一例としての光硬化性樹脂からなるシール材５２が、表示領域に沿って設けられている。そして、対向基板２上における表示領域とシール材５２との間には、遮光性の周辺見切り５３が設けられている。
【００３８】
周辺見切り５３は、後に表示領域に対応して開口が開けられた遮光性のケースにＴＦＴアレイ基板１が入れられた場合に、当該表示領域が製造誤差等により当該ケースの開口の縁に隠れてしまわないように、あるいは単に表示領域を規定するために、例えばＴＦＴアレイ基板１のケースに対する数百μｍ程度のずれを許容するように、表示領域の周囲に５００μｍ以上の幅を持つ帯状の遮光性材料から形成されたものである。このような遮光性の周辺見切り５３は、例えば、Ｃｒ（クロム）やＮｉ（ニッケル）やＡｌ（アルミニウム）などの金属材料を用いたスパッタリング、フォトリソグラフィ及びエッチングにより対向基板２に形成される。或いは、カーボンやＴｉ（チタン）をフォトレジストに分散した樹脂ブラックなどの材料から形成される。
【００３９】
シール材５２の外側の領域には、表示領域の下辺に沿ってデータ線駆動回路１０１及び実装端子１０２が設けられており、表示領域の左右の２辺に沿って走査線駆動回路１０４が表示領域の両側に設けられている。そして、シール材５２とほぼ同じ輪郭を持つ対向基板２が当該シール材５２によりＴＦＴアレイ基板１に固着されている。
【００４０】
プリチャージ回路２０１及びサンプリング回路３０１は、基本的に交流駆動の回路である。このため、シール材５２により包囲され両基板間に挟持された液晶層５０に面するＴＦＴアレイ基板１部分にこれらのプリチャージ回路２０１及びサンプリング回路３０１を設けても、直流電圧印加による液晶層５０の劣化という問題は生じない。これに対して、データ線駆動回路１０１及び走査線駆動回路１０４は、液晶層５０に面することのないＴＦＴアレイ基板１の周辺部分に設けられている。従って、液晶層５０に、特に直流駆動されるデータ線駆動回路１０１や走査線駆動回路１０４からの直流電圧成分が、漏れ込んで印加されることを未然に防止できる。
【００４１】
そして、このように周辺見切り５３下に、プリチャージ回路２０１及びサンプリング回路３０１を設けた場合は、走査線駆動回路１０４やデータ線駆動回路１０１をＴＦＴアレイ基板１の周辺部分に余裕を持って形成することができ、特定の仕様に沿うようにこれらの周辺回路を設計することが容易になるという利点がある。また、言わばデッドスペースである周辺見切り５３下に、プリチャージ回路２０１やサンプリング回路３０１を設けることで、液晶装置２００における有効表示面積の減少を招くこともなく、同時に、特に周辺見切り５３は遮光性であるので、表示領域を介して入射される光に対する遮光をプリチャージ回路２０１やサンプリング回路３０１を構成するＴＦＴ２０２及び３０２に施す必要がないという利点もある。加えて、シール材５２に面するＴＦＴアレイ基板１部分にプリチャージ回路２０１やサンプリング回路３０１を形成する訳ではないので、これらの回路を構成するＴＦＴ２０２及び３０２をシール材５２に混入されたスペーサにより破壊する恐れはない。更に、これらの回路を構成するＴＦＴ２０２及び３０２に対して、別途遮光層を設ける必要も無いので、このような遮光層がシール材５２の光硬化の妨げになる事態も未然に防げる。即ち、両基板のシール材５２に対向する位置には、遮光層を設ける必要はないので、シール材５２を光硬化させる工程で両基板側から光を十分に照射でき、良好に光硬化を行える。このため、基板の変形等が懸念される熱硬化性樹脂をシール材５２として使用しなくて済み有利である。
【００４２】
一方、対向基板２において、以上のような周辺見切り５３によって囲まれ、画素電極１１がマトリクス状に設けられたＴＦＴアレイ基板１の表示領域に対応する領域には、周辺見切り５３と同時に同一材料により図３に示すように遮光層２３が設けられてもよい。
【００４３】
この遮光層２３は、前述の周辺見切り５３と同様に、ＣｒやＮｉやＡｌなどの金属材料を用いたスパッタリング、フォトリソグラフィ及びエッチングにより形成され、あるいカーボンやＴｉをフォトレジストに分散した樹脂ブラックなどの材料から形成される。遮光層２３は、このような材料で形成されると共に、ＴＦＴ３０のポリシリコン層３２を覆う位置に設けられ、 ポリシリコン層３２当該に対する遮光を行って、リーク電流の発生を防止している。また、遮光層２３は、コントラストの向上、色材の混色防止などの機能を有する。つまり、液晶層５０は、画素電極１１に対する電圧の印加により配向状態が変化する性質を有するが、画像電極１１の表面に接する全ての液晶層５０が一様に等しい配向状態となるのではなく、画素電極１１の周縁側ほど所望の配向状態に至らない、いわゆる非配向領域が存在する。そこで、このような非配向部を遮光層２３で覆うことにより、コントラストを均一化させ、混色を防止するのである。
【００４４】
本実施形態における遮光層２３は、以上のような機能を確実に発揮させるために、図４に斜線で示すような形状としている。図４はＴＦＴアレイ基板１の表示領域の一部を拡大した平面図であり、理解を容易にするために、対向基板２に形成された遮光層２３を重ねて記載してある。
【００４５】
図４に示すように、ＴＦＴアレイ基板１上には、マトリクス状に複数の透明な画素電極１１が設けられており、画素電極１１の縦横の境界に夫々沿ってデータ線３５、走査線３１及び容量線３１’が設けられている。そして、遮光層２３は、図４に示すように、対向基板２の側から見て、金属等により形成された遮光性のデータ線３５やポリシリコン等からなる走査線３１、更には走査線３１と同一工程で形成される容量線３１’を覆う位置に設けられている。また、対向基板２とＴＦＴアレイ基板１との貼り合わせの際にずれが生じた場合でも、確実にＴＦＴ３０に対する遮光を行い、かつ非配光部を確実に覆うために、マージンを持った大きさを有して構成されている。
【００４６】
従って、各走査線とデータ線により区画され、薄膜トランジスタと画素電極とからなる画素の開口領域は、以上のようにある程度のマージンを持った大きさの遮光層２３により規定されることになるので、画面中の画素領域の占める割合、いわゆる開口率が小さくなり、表示画面が暗くなる傾向にある。
【００４７】
そこで、本実施形態においては、光源側に位置する対向基板２の表面の、各画素の夫々に対応する位置に、複数のマイクロレンズ６２をマトリクス状に配列して形成することにより、光源から照射される光を各マイクロレンズ６２で画素領域に夫々集光し、それによって表示画面を明るくするように構成している。
【００４８】
本実施形態においては、マイクロレンズ６２の形成されている位置は、図３の丸印Ａで示す部分の拡大図である図５に示すように、対向基板２の下地基板２ａのＴＦＴアレイ基板側の表面である。本実施形態においては、図５の丸印Ｂの部分の拡大図である図６に示すように、この下地基板２ａの前記表面側に、カバーガラス２ｂを取り付けており、前記遮光層２３はこのカバーガラス２ｂのＴＦＴアレイ基板１側の表面に形成される。
【００４９】
また、マイクロレンズ６２は、図６及び対向基板２をＴＦＴアレイ基板１側から見た平面図である図７に示すように、その直径は遮光層２３により規定される開口領域の幅よりも大きく形成されており、開口領域においてできるだけ非集光領域が形成されないように構成されている。
【００５０】
また、本実施形態においては、各画素領域に一対一に対応してマイクロレンズ６２が設けられており、各画素の実効的な開口率を高くして、液晶装置の輝度を高くするように構成されている。
【００５１】
ここで、対向基板２の製造工程を、図８に基づいて説明する。
【００５２】
（対向基板の製造工程）
まず、厚さ１．０〜１．１ｍｍのネオセラムあるいは石英基板等により形成された下地基板２ａ上に、スパッタリング法等によりクロムあるいはクロム合金等の金属膜を約１０００〜２０００オングストローム程度の厚さに形成した後、フォトリソグラフィ工程、フォトエッチング工程を施すことにより、ＴＦＴアレイ基板１との貼り合わせのためのアライメントマーク６０を形成する（図８（１））。
【００５３】
次に、前記アライメントマーク６０が形成された下地基板２ａの表面にプライマーを塗布し、その上に熱変形性の感光性材料としてのポジ型のフォトレジストを厚さ約７．３μｍ程度塗布し、プリベークを行って厚さ約７μｍのレジスト膜を得る（図８（２））。
【００５４】
次に、縦横約１５μｍ程度の長方形形状の遮光部がマトリクス状に配列され、各遮光部の周囲に約２μｍ程度の光透過性の枠部が形成されたマスクを、前記レジスト膜に密着して重ね、紫外線露光を行い、その後通常のフォトレジストの現像法に従って現像を行い、リンスする（図８（３））。
【００５５】
次に、以上のような光パターニングによりパターニングされた感光性材料の膜を熱変形温度以上の約１５０℃に加熱してポストベークを行う。その結果、各長方形状の膜は滑らかな凸面となり、基板からの高さは約７μｍとなった（図８（４））。
【００５６】
そして、酸素を導入ガスとするＥＣＲプラズマエッチングにより異方性エッチング工程を行う。この時の選択比は、感光性材料の膜：下地基板２ａ＝１：１とした。その結果、下地基板２ａに前記滑らかな凸面のアレイ形状が彫り移されて、所望のマイクロレンズアレイが得られる（図８（５））。
【００５７】
このようにして形成されるマイクロレンズアレイは図９に示すような形状を有しており、夫々のマイクロレンズは互いに連結部６４により連結されている。この連結部６４は、マイクロレンズ６２の凸状部に比べると基板からの高さは低いが、マイクロレンズ６２と同様に凸形状を有しており、この連結部６４の働きにより、光の利用効率が向上し、マイクロレンズアレイ全体に入射する光をほぼ全てマイクロレンズで集光することができる。
【００５８】
次に、マイクロレンズアレイが形成された下地基板２ａの表面上にアクリル樹脂等の接着剤６３を塗布して下地基板２ａとカバーガラス２ｂとを貼りあわせる。その後、カバーガラス２ｂ上にスパッタリング法等によりクロムあるいはクロム合金等の金属膜を約１０００〜２０００オングストローム程度の厚さに形成した後、フォトリソグラフィ工程、フォトエッチング工程を施すことにより、上述した遮光層２３を形成する（図８（６））。
【００５９】
最後に、カバーガラス２ｂの表面にスパッタリング法等によりＩＴＯ膜を、約１０００〜２０００オングストローム程度の厚さに形成した後、パターンニングを行って、透明な共通電極２１を形成する（図８（７））。
【００６０】
以上のような工程により、各画素に対応した微細なマイクロレンズを形成することができ、各画素の実効的な開口率を上昇させて、高輝度の液晶装置を提供することができる。
【００６１】
また、本願実施形態のマイクロレンズ６２は単に感光性材料を熱変形させるだけでなく、当該変形後にエッチング処理を行うことによりネオセラム等の下地基板２ａに形成しているので、光吸収性が極めて少なく、光の利用効率を従来よりも高くすることができる。
また、マイクロレンズ６２は、ネオセラム等の下地基板２ａに形成しているので、感光性材料のみで形成する場合に比べて、光吸収による温度上昇、更には温度上昇による軟化等が生じないため、高エネルギーの光に対しても使用可能である。
【００６２】
（マイクロレンズの構成）
しかしながら、図８（５）に示した異方性エッチング工程においては、中央部と外周部とで、マイクロレンズ６２の凸状部の基板からの高さが異なるという問題があった。
【００６３】
つまり、中央部の下地基板２ａは、上述のように凸状に成形されたレジストに沿ってエッチングされるため、個々の凸状部が周囲の凸状部の影響を受けながら彫り写されることになる。これに対し、最外周部であるＬ１，Ｌｍにおいては、図８（５）に示すように、隣接する凸状部が片側にしか存在しない。従って、外側の凸状部ほど、中央部の凸状部に比べて深く彫られることになる。即ち、最外周部Ｌ１，Ｌｍの凸状部は、中央部の凸状部よりも基板からの高さが低くなる。そして、その最外周部Ｌ１，Ｌｍに隣接する凸状部の基板からの高さは、最外周部Ｌ１，Ｌｍの凸状部のそれよりも高いが、中央部に比べると低くなる。
【００６４】
このように、マイクロレンズの高さは、最外周部に近い程、中央部に比べて徐々にテーパー状に低くなり、その結果、中央部と外周部とでは、マイクロレンズの特性が異なり、液晶装置として動作させた場合には、輝度、コントラストに差を生じるという問題があった。
【００６５】
そこで、本実施形態は、このような問題を解決するために、マイクロレンズアレイの形成領域を、図５及び図６に示すように周辺見切り５３の置かれた領域にまで拡げ、これらのマイクロレンズアレイをダミーのマイクロレンズとするように構成した。
【００６６】
本実施形態では、表示領域において、例えば１水平走査方向の画素電極１０２４個に対応して、１０２４個のマイクロレンズアレイが必要な場合、１０２４個のマイクロレンズに加えて、約２０個を対向基板２の周辺見切り５３の置かれた領域にダミーマイクロレンズ（ダミーレンズ）として形成した。尚、ダミーレンズは２０個にかぎられるものでない。従って、表示領域に対して集光を行うマイクロレンズには、外周部から十分に離れたマイクロレンズのみを使用することができる。つまり、上述したようなエッチング工程時に生じる特性の異なる外周部のマイクロレンズは、図５及び図６に示すように周辺見切り５３により覆われることになり、表示領域に対する集光には寄与しない。このように、特性の揃ったマイクロレンズのみを使用して表示領域における各画素への集光を行うことができ、輝度差、またはコントラスト差のない良好な液晶装置、液晶装置を提供することができる。
【００６７】
しかも、上述したように、本実施形態におけるマイクロレンズ６２は、光の利用効率を十分に高くすることができるので、輝度差、またはコントラスト差がないだけでなく、従来に比べて高輝度の液晶装置とすることができる。
【００６８】
更に、図９に示すように、夫々のマイクロレンズ６２は集光機能を有する連結部６４により連結されたマイクロレンズアレイとなっているため、従来においては遮光される部分に照射される光をも開口領域に集光することができるので、実効的な開口率を従来よりも著しく高めることができる。
【００６９】
そして、この集光は、上述したように、レンズ特性の揃ったマイクロレンズにより行われるため、表示領域の全域において均一に行われ、高輝度でありながら、むらのない、高品位の表示が可能である。尚、周辺見切りは、対向基板２側に設けられているが、ＴＦＴ基板１側に設けて、ダミーマイクロレンズを覆うように形成しても良い。
【００７０】
（他の実施形態）
尚、本発明の液晶装置に用いる液晶層５０の一例としては、ネマティック液晶を挙げることができる。また、液晶を高分子中に微小粒として分散させた高分子分散型液晶を用いれば、配向膜及び偏光フィルム、偏光板等が不要となり、光利用効率が高まることによる液晶装置の高輝度化や低消費電力化の利点が得られる。更にまた、液晶装置においては、液晶層５０に対し垂直な電界（縦電界）を印加するように対向基板２の側に共通電極２１を設けているが、液晶層５０に平行な電界（横電界）を印加するように一対の横電界発生用の電極から画素電極１１を夫々構成する（即ち、対向基板２の側には縦電界発生用の電極を設けることなく、ＴＦＴアレイ基板１の側に横電界発生用の電極を設ける）ことも可能である。このように横電界を用いると、縦電界を用いた場合よりも視野角を広げる上で有利である。その他、各種の液晶材料（液晶相）、動作モード、液晶配列、駆動方法等に本実施の形態を適用することが可能である。
【００７１】
以上のように、画素電極１１に電圧が印加されると、液晶層５０におけるこの画素電極１１と共通電極２１とに挟まれた部分における液晶の配向状態が変化し、ノーマリーホワイトモードであれば、印加された電圧に応じて入射光がこの液晶部分を通過不可能とされ、ノーマリーブラックモードであれば、印加された電圧に応じて入射光がこの液晶部分を通過可能とされ、全体として液晶装置からは画像信号に応じたコントラストを持つ光が出射する。この際、本実施の形態では特に、液晶層５０の非配向部を、遮光層２３により確実に防止して、ノーマリーホワイトモード使用時における、電圧印加時における光の抜けを確実に防止することができる。しかも、この遮光層２３を、対向基板２とＴＦＴアレイ基板１との貼り合わせの際のずれを考慮して、所定のマージンをもった大きさ及び形状としているため、従来よりもより一層確実に光の抜けを防止することができる。そして、遮光層２３をこのような大きさ及び形状とした場合でも、上述したマイクロレンズ６２により実効的な開口率を上昇させ、更に上述したように各マイクロレンズの特性は揃っているため、表示領域には、高輝度でむらのない高品質の画像が表示される。
【００７２】
また、上述の説明においては、周辺見切り５３及び遮光層２３は対向基板２側に設けた例について説明したが、本発明はこれに限られるものではなく、周辺見切り５３及び遮光層２３をＴＦＴアレイ基板１側に設けるように構成しても良い。このように構成すれば、周辺見切り５３及び遮光層２３の、各画素の開口領域及び表示領域に対する位置精度を向上させることができ、上述したような位置ずれを考慮したマージンをとる必要がないので、周辺見切り５３及び遮光層２３を小さく形成することが可能となり、実際の開口率を上昇させることができる。
【００７３】
以上説明した実施の形態では、プリチャージ回路２０１及びサンプリング回路３０１を設けるようにしたが、これらに代えて又は加えて周辺見きり５３下に、製造途中や出荷時の当該液晶装置の品質、欠陥等を検査するための検査回路を設けてもよい。このように検査回路を周辺見切り５３下に設ければ、走査線駆動回路１０４やデータ線駆動回路１０１をＴＦＴアレイ基板１の周辺部分に余裕を持って形成することができ、液晶装置における有効表示面積の減少を招くことなく、同時に、特に周辺見切り５３は遮光性であるので、表示領域を介して入射される光に対する遮光を検査回路を構成するＴＦＴに施す必要も無い。更に、プリチャージ回路２０１及びサンプリング回路３０１に代えて又は加えて周辺見きり５３下に、当該液晶装置を動作させるための、例えば画質の向上、消費電力の低減、コストの低減等の観点からＴＦＴ等を用いた各種の周辺回路のうち、交流電圧駆動されるタイプの回路を設けてもよい。このように周辺回路を設ければ、液晶装置における有効表示面積の減少を招くことなく、同時に、特に周辺見切り５３は遮光性であるので、表示領域を介して入射される光に対する遮光を周辺回路を構成するＴＦＴに施す必要も無い。そして、周辺回路は交流電圧駆動されるので、直流電圧印加による液晶層５０の劣化という問題は生じない。
【００７４】
また、データ線駆動回路１０１及び走査線駆動回路１０４をＴＦＴアレイ基板１の上に設ける代わりに、例えばＴＡＢ（テープオートメイテッドボンディング基板）上に実装された駆動用ＬＳＩに、ＴＦＴアレイ基板１の周辺部に設けられた異方性導電フィルムを介して電気的及び機械的に接続するようにしてもよい。また、サンプリング回路２０１、プリチャージ回路３０１及び検査回路のうちのいずれか一つのみを周辺見切り５３下に形成し、残りをＴＦＴアレイ基板１上の周辺部分等に形成しても、デッドスペースの有効利用の効果は多少なりとも得られる。
【００７５】
更にまた、以上の実施の形態において、特開平９−１２７４９７号公報、特公平３−５２６１１号公報、特開平３−１２５１２３号公報、特開平８−１７１１０１号公報等に開示されているように、ＴＦＴアレイ基板１上においてＴＦＴ３０に対向する位置（即ち、ＴＦＴ３０の下側）にも、例えば高融点金属からなる遮光層を設けてもよい。このようにＴＦＴ３０の下側にも遮光層を設ければ、ＴＦＴアレイ基板１の側からの戻り光等がＴＦＴ３０に入射するのを未然に防ぐことができる。上記の実施例はＴＦＴについて記載したが、本発明のマイクロレンズを搭載する液晶装置は、ＴＦＴの場合に限られるものではなく、パッシブ型の液晶装置にも適用可能である。
【００７６】
（電子機器）
次に、以上詳細に説明した液晶装置を含む液晶装置２００を備えた電子機器の実施の形態について図１０から図１３を参照して説明する。
【００７７】
先ず図１０に、このように液晶装置２００を備えた電子機器の概略構成を示す。
【００７８】
図１０において、電子機器は、表示情報出力源１０００、表示情報処理回路１００２、前述の走査線駆動回路１０４及びデータ線駆動回路１０１を含む駆動回路１００４、前述のように周辺見切り下にプリチャージ回路及びサンプリング回路が設けられた液晶装置１０、クロック発生回路１００８並びに電源回路１０１０を備えて構成されている。表示情報出力源１０００は、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）、光ディスク装置などのメモリ、同調回路等を含み、クロック発生回路１００８からのクロックに基づいて、所定フォーマットのビデオ信号などの表示情報を表示情報処理回路１００２に出力する。表示情報処理回路１００２は、増幅・極性反転回路、相展開回路、ローテーション回路、ガンマ補正回路、クランプ回路等の周知の各種処理回路を含んで構成されており、クロックに基いて入力された表示情報からデジタル信号を順次生成し、クロックＣＬＫと共に駆動回路１００４に出力する。駆動回路１００４は、走査信号駆動回路１０４及び画像信号駆動回路１０１によって前述の駆動方法により液晶装置１０を駆動する。電源回路１０１０は、上述の各回路に所定電源を供給する。尚、液晶装置１０を構成するＴＦＴアレイ基板の上に、駆動回路１００４を搭載してもよく、これに加えて表示情報処理回路１００２を搭載してもよい。
【００７９】
このように構成された電子機器の具体例としては、図１１に示す液晶プロジェクタ、図１２に示すマルチメディア対応のパーソナルコンピュータ（ＰＣ）及びエンジニアリング・ワークステーション（ＥＷＳ）、あるいは携帯電話、ワードプロセッサ、テレビ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子手帳、電子卓上計算機、カーナビゲーション装置、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた装置などを挙げることができる。
【００８０】
次に図１１から図１３に基づいて、このように構成された電子機器の具体例について説明する。
【００８１】
図１１において、電子機器の一例たる液晶プロジェクタ１１００は、投射型の液晶プロジェクタであり、光源１１１０と、ダイクロイックミラー１１１３，１１１４と、反射ミラー１１１５，１１１６，１１１７と、入射レンズ１１１８，リレーレンズ１１１９，出射レンズ１１２０と、液晶ライトバルブ１１２２，１１２３，１１２４と、クロスダイクロイックプリズム１１２５と、投写レンズ１１２６とを備えて構成されている。液晶ライトバルブ１１２２，１１２３，１１２４は、上述した駆動回路１００４がＴＦＴアレイ基板上に搭載された液晶装置１０を含む液晶表示モジュールを３個用意し、夫々液晶ライトバルブとして用いたものである。また、光源１１１０はメタルハライド等のランプ１１１１とランプ１１１１の光を反射するリフレクタ１１１２とからなる。
【００８２】
以上のように構成される液晶プロジェクタ１１００においては、青色光・緑色光反射のダイクロイックミラー１１１３は、光源１１１０からの白色光束のうちの赤色光を透過させるとともに、青色光と緑色光とを反射する。透過した赤色光は反射ミラー１１１７で反射されて、赤色光用液晶ライトバルブ１１２２に入射される。一方、ダイクロイックミラー１１１３で反射された色光のうち緑色光は緑色光反射のダイクロイックミラー１１１４によって反射され、緑色光用液晶ライトバルブ１１２３に入射される。また、青色光は第２のダイクロイックミラー１１１４も透過する。青色光に対しては、長い光路による光損失を防ぐため、入射レンズ１１１８、リレーレンズ１１１９、出射レンズ１１２０を含むリレーレンズ系からなる導光手段１１２１が設けられ、これを介して青色光が青色光用液晶ライトバルブ１１２４に入射される。各ライトバルブにより変調された３つの色光はクロスダイクロイックプリズム１１２５に入射する。このプリズムは４つの直角プリズムが貼り合わされ、その内面に赤光を反射する誘電体多層膜と青光を反射する誘電体多層膜とが十字状に形成されている。これらの誘電体多層膜によって３つの色光が合成されて、カラー画像を表す光が形成される。合成された光は、投射光学系である投射レンズ１１２６によってスクリーン１１２７上に投射され、画像が拡大されて表示される。
【００８３】
以上のような液晶プロジェクタにおいて使用される液晶装置１０は、上述したように、ネオセラムあるいは石英等の基板に形成されるので、従来のように光吸収による温度上昇、更に温度上昇による軟化という現象を生じさせず、高効率のランプを使用することができる。従って、従来よりも高輝度の液晶プロジェクタを提供することができる。
【００８４】
図１２において、電子機器の他の例たるラップトップ型のパーソナルコンピュータ１２００は、上述した液晶装置１０がトップカバーケース内に備えられた液晶表示ディスプレイ１２０６と、ＣＰＵ、メモリ、モデム等を収容すると共にキーボード１２０２が組み込まれた本体部１２０４とを有する。
【００８５】
また、図１３に示すように、液晶装置用基板１３０４を構成する２枚の透明基板１３０４ａ，１３０４ｂの一方に、金属の導電膜が形成されたポリイミドテーブ１３２２にＩＣチップ１３２４を実装したＴＣＰ（Ｔａｐｅ Ｃａｒｒｉｅｒ Ｐａｃｋａｇｅ）１３２０を接続して、電子機器用の一部品である液晶装置として生産、販売、使用することもできる。
【００８６】
以上、図１１から図１３を参照して説明した電子機器の他にも、液晶テレビ、ビューファインダー型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、携帯電話、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた装置等が図１０に示した電子機器の例として挙げられる。
【００８７】
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。例えば、本発明は上述の各種の液晶装置の駆動に適用されるものに限らず、エレクトロルミネッセンス、プラズマディスブレ一装置にも適用可能である。
【００８８】
以上説明したように、本実施の形態によれば、マイクロレンズを用いることにより、各画素の実効的な開口率を上昇させることができるだけでなく、周辺見切りの下にダミーマイクロレンズを設ける構成としたため、表示領域におけるレンズ特性を揃えることができ、高輝度で、且つ輝度むら、コントラストむらのない、高品位の画像表示が可能な液晶装置２００を備えた各種の電子機器を実現できる。
【００８９】
【発明の効果】
本発明によれば、第１基板上に各画素の開口領域に個々に対応したマイクロレンズを設けると共に、当該マイクロレンズを設ける範囲を、表示領域の周辺に沿って設けられる周辺見切りの下の領域にまで拡げ、周辺見切りの下のマイクロレンズをダミーのマイクロレンズとしたので、表示領域に用いるマイクロレンズのレンズ特性を揃えることができ、高輝度で且つ輝度むら、コントラストむらのない液晶装置及びこの液晶装置により高品位の画像表示が可能な電子機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】液晶装置の実施の形態におけるＴＦＴアレイ基板上に形成された各種配線、周辺回路等のブロック図である。
【図２】図１の液晶装置の全体構成を示す平面図である。
【図３】図１の液晶装置の全体構成を示す断面図である。
【図４】図１の液晶装置に備えられる液晶装置の遮光層の形状を示す平面図である。
【図５】図３の丸印Ａで示す部分の拡大図であり、実施の形態におけるマイクロレンズの設けられた位置を説明する断面図である。
【図６】図５の丸印Ｂで示す部分の拡大図であり、実施の形態における液晶装置の対向基板の詳細な構成を示す断面図である。
【図７】図１の液晶装置に備えられる液晶装置における、マイクロレンズの配置構成を示す平面図である。
【図８】図１の液晶装置に備えられる液晶装置における、対向基板の製造工程を示す工程図である。
【図９】図８に示す工程により製造されるマイクロレンズの形態を示す斜視図である。
【図１０】本発明による電子機器の実施の形態の概略構成を示すブロック図である。
【図１１】電子機器の一例としての液晶プロジェクタを示す断面図である。
【図１２】電子機器の他の例としてのパーソナルコンピュータを示す正面図である。
【図１３】電子機器の一例としてのＴＣＰを用いた液晶装置を示す斜視図である。
【符号の説明】
１…ＴＦＴアレイ基板
２…対向基板
２ａ…下地基板
２ｂ…カバーガラス
１０…液晶装置
１１…画素電極
２１…共通電極
２３…遮光層
３０…ＴＦＴ
３１…走査線（ゲート電極）
３５…データ線（ソース電極）
５０…液晶層
５２…シール材
５３…周辺見切り
６２…マイクロレンズ
６３…接着剤
６４…連結部
１０１…データ線駆動回路
１０２…実装端子
１０４…走査線駆動回路
２００…液晶装置
２０１…プリチャージ回路
３０１…サンプリング回路[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention belongs to the technical field of a liquid crystal device having a microlens on a counter substrate and an electronic device using the same, and particularly, a liquid crystal device having a microlens array on one surface of a projection type or transmission type liquid crystal device, It belongs to the technical field of the manufacturing method and the electronic equipment using the same.
[0002]
[Prior art]
In a conventional liquid crystal device such as an active matrix driving method using thin film transistors, a large number of scanning lines and data lines arranged vertically and horizontally and a large number of pixel electrodes corresponding to their intersections are provided on a TFT array substrate. ing. Therefore, in such a liquid crystal device, the pixel electrodes of the individual pixels that perform display cannot be formed large because of the restrictions imposed by the positional relationship between the scanning lines and the data lines. The proportion of the area, that is, the so-called aperture ratio, tends to decrease.
[0003]
Further, in the case of performing display in a so-called normally white mode in which transmission is performed when no voltage is applied and non-transmission is performed when voltage is applied, in order to improve display contrast and color reproducibility, light leakage between a pixel electrode and a data line is required. Need to be prevented. For this purpose, a light-shielding layer made of metal or the like is additionally provided on a portion of the counter substrate facing the active matrix substrate on which the TFTs and the data lines are provided and facing the TFTs and the data lines, so that light that does not contribute to display is provided. Absorb or reflect.
[0004]
However, this light-shielding layer needs to be formed in a size including a margin in consideration of the bonding accuracy of the counter substrate, and therefore, there is a problem that the aperture ratio is further reduced and the display screen becomes dark. .
[0005]
Therefore, in order to solve such a problem, a plurality of micro substrates are provided at positions corresponding to the respective pixels on the surface of the substrate located on the light source side facing the liquid crystal layer among the two substrates constituting the liquid crystal device. Lenses are arranged in a matrix, or another transparent plate is provided on the light source side of the liquid crystal device, and a plurality of microlenses are arranged in a matrix at positions corresponding to each pixel on one side of the transparent plate. For example, a method has been proposed in which light emitted from a light source is condensed on a pixel area by each microlens to thereby brighten a display screen, and is disclosed in, for example, JP-A-60-165621-165624. Have been.
[0006]
Further, the microlens is generally manufactured by thermally deforming a photosensitive material. However, there is a problem that the photosensitive material itself is light-absorbing and the light use efficiency is reduced. In addition, when the temperature rises due to light absorption, the lens itself softens and cannot be used for high energy light. Further, from the viewpoint of light utilization efficiency, it is desirable that individual microlenses are connected to each other to form an array, and that all light incident on the entire microlens array can be collected on the microlenses. In the thermal deformation method, it was difficult to connect microlenses to each other to form a microlens array.
[0007]
Therefore, in addition to the heat deformation step, a method of manufacturing a desired refractive surface shape and its array arrangement state on a substrate by engraving a convex array shape by etching has been proposed, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 6-194502. And so on.
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
However, according to the conventional manufacturing method using etching, the peripheral portion has a larger removal amount by etching than the central portion of the microlens array, and as a result, the height of the convex portion with the lens, Alternatively, there has been a problem that the diameter and the like are different between the central portion and the peripheral portion, causing variations in lens characteristics.
[0009]
Therefore, there has been a problem that brightness and contrast vary between the peripheral portion and the central portion of the display area of the liquid crystal device.
[0010]
Therefore, it is conceivable that the aperture ratio of each pixel is made higher than before without using a microlens, but this measure is limited to some extent by the width of the pattern of the data line or the scanning line and the area of the TFT. However, the above-mentioned problem has not been solved.
[0011]
The present invention has been made in view of the above-described problems. Even when a microlens manufactured through an etching process is provided, there is no variation in lens characteristics, and uniform brightness and contrast can be obtained over the entire display area. It is an object to provide a liquid crystal device that can be used and an electronic device including the liquid crystal device.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
To solve the above problems,A liquid crystal device according to the present invention is a liquid crystal device including a first substrate, a second substrate including a base substrate and a cover member, and a liquid crystal sandwiched between the first substrate and the second substrate. A light-shielding layer formed on one of the first substrate and the second substrate, and a light-shielding layer provided on the base substrate and arranged in the display region and the region where the light-shielding layer is formed. A microlens array including a microlens, and a flat portion provided on the undersubstrate outside the microlens array and lower than a convex portion of the microlens, wherein the microlens array is , The height or the diameter of the convex portion differs between the central portion and the outer peripheral portion of the microlens array, and the distance between the microlenses and the flat portion is different. The base substrate and the cover member are bonded together with an adhesive positioned on the portion, and the microlenses, which are located on the outer peripheral portion of the microlens and have different heights or diameters of the convex portions, are formed on the light shielding layer. Characterized by being covered by.
A liquid crystal device according to the present invention is a liquid crystal device including a first substrate, a second substrate including a base substrate and a cover member, and a liquid crystal sandwiched between the first substrate and the second substrate. A light-shielding layer formed on one of the first substrate and the second substrate, and a light-shielding layer provided on the base substrate and arranged in the display region and the region where the light-shielding layer is formed. A microlens array including the microlens, and a flat portion provided on the undersubstrate outside the microlens array and lower than the convex portion of the microlens. The height or diameter of the convex portion is different between the central portion and the outer peripheral portion of the microlens array, and the adhesive is located between the microlenses and on the flat portion to form the base substrate. Wherein the cover member is bonded together are made with a, located in the outer peripheral portion of the microlens, the height or diameter different micro lenses of the convex portion is characterized by comprising covered with the light shielding layer.
The present inventionofA liquid crystal device includes a first substrate and a second substrate, a liquid crystal sandwiched between the first substrate and the second substrate, and a plurality of pixel electrodes provided in a matrix on the first substrate. , A light-shielding layer formed on one of the first substrate and the second substrate along a periphery of a display region, and a light-shielding layer formed on a region where the display region and the light-shielding layer are formed. A microlens array including a microlens, wherein the microlens array is formed by etching, and the outer peripheral portion of the microlens array has lens characteristics with the central portion of the microlens array. The different microlenses are formed, and the microlenses having different lens characteristics located on the outer peripheral portion of the microlens are not covered by the light shielding layer. ItIs preferred.
In addition, the present inventionofThe liquid crystal device includes a first substrate and a second substrate, and a liquid crystal interposed between the first substrate and the second substrate. In the liquid crystal device, the first substrate and the second substrate are arranged along a periphery of a display area. A light-shielding layer formed on any of the substrates, the display region, and a micro-lens array including a plurality of micro-lenses arranged in the region where the light-shielding layer is formed; Through the manufacturing process, the microlens array is formed with the microlenses having different lens characteristics from the central portion of the microlens array on the outer peripheral portion, and is located on the outer peripheral portion of the microlens. The microlenses having different lens characteristics are covered by the light-shielding layer.Is preferred.
[0013]
According to the liquid crystal device, a microlens is provided corresponding to each pixel in which each pixel electrode is provided, and light is condensed in an opening region of each pixel, so that a decrease in luminance is prevented. In particular, since light that enters outside the aperture region is also condensed on the aperture region side, a high-brightness liquid crystal device is provided.
[0014]
Moreover, in the microlens, a first light-shielding layer is formed not only in the opening region but also in the first substrate or the second substrate along a periphery of a display region defined by the plurality of pixel electrodes. Since the micro-lens is also formed in the region, the micro-lens on the peripheral side of the display region among the plurality of micro-lenses is located in the region where the light shielding layer is formed. Therefore, the light condensed by the microlenses on the periphery of the display area is shielded by the first light shielding layer, and does not contribute to the light condensing on the opening area. The microlenses on the peripheral side of the display area have a larger amount of engraving during the etching process than the microlenses on the central side of the display area, and have different lens characteristics. Therefore, the microlenses having different lens characteristics do not contribute to the light condensing on the aperture region, and the light is condensed on the aperture region only by the microlenses having uniform lens characteristics. Is obtained.
In the case of this mode, the microlens array is formed on a base substrate, and the height of the convex portion of the microlens from the base substrate at the center and the outer periphery of the microlens array, or The diameter of the convex part of the micro lens may be different. Further, in the central portion and the outer peripheral portion of the microlens array, the outer peripheral portion of the microlens array has a height of the convex portion of the microlens from the base substrate that is higher than that of the central portion of the microlens array. May be low.
[0015]
Next, the liquid crystal device according to the present invention includes a plurality of data lines provided on the first substrate, and a plurality of scanning lines provided on the first substrate so as to intersect the plurality of data lines. A thin film transistor connected to each of the data lines and the scanning lines and the pixel electrodes on the first substrate; and at least a channel forming region of the plurality of thin film transistors and the plurality of scanning lines and the plurality of data lines. A second light-shielding layer provided on one of the first substrate and the second substrate at an overlapping position in a plan view and defining an opening region of each pixel.
[0016]
According to the liquid crystal device, at least the channel formation region of the plurality of thin film transistors provided over the first substrate and the plurality of scan lines and the plurality of data lines provided over the first substrate are connected to the first substrate or These are respectively covered from the side facing the liquid crystal by the second light shielding layer provided on any of the second substrates. Therefore, even when light enters from the first substrate side, the incidence of the light on the channel formation region of the thin film transistor is reliably prevented, and the generation of leak current is suppressed.
[0017]
By covering the channel forming region, the scanning lines, and the data lines with the light-shielding layer, an opening region of each pixel is defined. Are covered by the second light-shielding layer that covers the scanning lines and the data lines, thereby reliably preventing the uneven brightness or the uneven contrast in the opening region caused by the non-aligned portion. Accordingly, uniform brightness and contrast can be obtained by the microlenses described above, and at the same time, generation of a leak current is suppressed, and a high-quality image can be obtained.
[0018]
In the liquid crystal device according to the present invention, the microlenses are characterized in that the respective condensing portions are connected by a converging connecting portion formed in a convex shape.
[0019]
According to the liquid crystal device, the microlenses form a so-called microlens array, and the respective condensing portions of each microlens are connected by a condensing connecting portion formed in a convex shape. Therefore, not only the light incident on the opening region but also the light incident on the outside of the opening region are collected on the opening region, so that the light use efficiency can be extremely increased.
[0020]
In the liquid crystal device according to the present invention, the second substrate includes a transparent base substrate, and a transparent cover member mounted on the base substrate and in contact with the liquid crystal, and the microlens is provided on the base substrate. The light shielding layer formed on the side opposite to the cover member and formed along the periphery of the display area is formed on the liquid crystal side of the cover member.
[0021]
According to the liquid crystal device, the microlenses are not formed only by thermal deformation of the photosensitive material as in the related art, but are formed on the transparent base substrate constituting the second substrate by a subsequent etching process. Therefore, the light absorption is extremely low, and the light use efficiency can be sufficiently increased as compared with the case where the photosensitive material is formed as in the related art. In addition, the base substrate does not soften due to a rise in temperature, and can be used for high-energy light. Since the light-shielding layer formed along the periphery of the display area is formed on the cover member attached to the transparent base substrate, it is necessary to surely cover the microlenses at the ends of the matrix having different lens characteristics as described above. And light can be condensed on the aperture region only by the microlenses having the same lens characteristics. Further, since the light-shielding layer formed along the periphery of the display area is also attached to the cover member, it is possible to accurately position the light-shielding layer and the condensing portion of the microlens without light leakage. Provide a high-brightness liquid crystal device.
[0022]
The liquid crystal device according to the present invention is characterized in that the light shielding layer formed along the periphery of the display area is formed on the surface of the first substrate facing the liquid crystal.
[0023]
According to the liquid crystal device, since the light-shielding layer is formed on the surface of the first substrate on the side facing the liquid crystal, a display region defined by a plurality of pixel electrodes can be accurately defined. Even when a position shift occurs when the liquid crystal device is placed in a light-shielding case, the display region can be set at an appropriate position in the opening of the case while allowing the position shift.
[0024]
An electronic apparatus according to the present invention includes the liquid crystal device according to the present invention.
[0025]
According to the electronic apparatus of the present invention, since the liquid crystal device of the present invention is provided, a high-quality display can be performed by a liquid crystal device that can perform high-luminance display without light leakage and without uneven contrast. it can.
The method of manufacturing a liquid crystal device according to the present invention includes a first substrate, a second substrate including a base substrate and a cover member, a liquid crystal sandwiched between the first substrate and the second substrate, and a matrix formed on the first substrate. A plurality of pixel electrodes, a light-shielding layer formed on one of the first substrate and the second substrate along the periphery of the display area, and a microlens array including a plurality of microlenses. A step of forming the microlens array on the base substrate by etching; bonding the base substrate and the cover member; and Arranging the microlens array so as to be located in a display area, wherein the microlens array is formed in the step of forming the microlens array. The microlenses having different heights or diameters of the convex portions between the central portion and the outer peripheral portion of the microlens are formed outside the microlens array on the base substrate and lower than the convex portions of the microlenses. A flat portion is formed,
In the bonding step, the adhesive is positioned between the microlenses and on the flat portion to bond the base substrate and the cover member, and in the step of arranging the microlens array, the outer periphery of the microlens array is arranged. The microlens array is disposed so as to cover the microlenses having different heights or diameters of the convex portions with the light shielding layer.
The present inventionofThe method for manufacturing a liquid crystal device includes a first substrate and a second substrate, a liquid crystal sandwiched between the first substrate and the second substrate, a plurality of pixel electrodes provided in a matrix on the first substrate, A method for manufacturing a liquid crystal device, comprising: a light-shielding layer formed on one of the first substrate and the second substrate along a periphery of a display region; and a microlens array including a plurality of microlenses, Forming the microlens array by etching, and arranging the microlens array so that the center of the microlens array is located in the display area. The microlens array has a lens having different lens characteristics from an outer peripheral portion of the microlens array than a central portion of the microlens array. Wherein the microlens array is formed, and in the step of arranging the microlens array, the microlens array is arranged such that the microlenses having different lens characteristics located on the outer peripheral portion of the microlens array are covered with the light shielding layer. PlacingIs preferred.
In the method for manufacturing a liquid crystal device, in the step of forming the microlens array, the microlens array is formed on a base substrate, and the central portion and the outer peripheral portion of the microlens array have convex portions of the microlens. The height of the convex portion from the base substrate or the diameter of the convex portion of the microlens may be different. Further, in the central portion and the outer peripheral portion of the microlens array, the outer peripheral portion of the microlens array has a height of the convex portion of the microlens from the base substrate that is higher than that of the central portion of the microlens array. May be low.
[0026]
The operation and other advantages of the present invention will become more apparent from the embodiments explained below.
[0027]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0028]
(Configuration of liquid crystal device)
First, the overall configuration of the liquid crystal device will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of various wirings, peripheral circuits, and the like provided on a TFT array substrate in an embodiment of a liquid crystal device. FIG. 2 is a block diagram showing a configuration in which the TFT array substrate is formed thereon. FIG. 3 is a plan view as viewed from the counter substrate side together with the components, and FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line HH ′ of FIG. 2 including the counter substrate.
[0029]
In FIG. 1, a liquid crystal device 200 includes a TFT array substrate 1 made of, for example, a quartz substrate, hard glass, or the like. On the TFT array substrate 1, a plurality of pixel electrodes 11 provided in a matrix, a plurality of data lines 35 arranged in the X direction, each extending in the Y direction, and a plurality of data lines 35 arranged in the Y direction. Each of the scanning lines 31 extending along the X direction and each of the data lines 35 and the pixel electrode 11 is interposed between the scanning lines 31 and the conductive state and the non-conductive state therebetween are supplied via the scanning lines 31. A plurality of TFTs 30 are formed as an example of a switching element that controls each according to a scanning signal. On the TFT array substrate 1, a capacitance line 31 ′ (storage capacitance electrode), which is a wiring for a storage capacitance, is formed in parallel with the scanning line 31. Note that the capacitance line 31 ′ is not limited to the configuration in which the storage line is formed in parallel with the scanning line 31, but may be configured to form the storage capacitance using the lower part of the preceding scanning line. Although a capacitance is formed between the pixel electrode 11 and the capacitance line 31 ', this capacitance is omitted in FIG.
[0030]
The TFT array substrate 1 further includes a precharge circuit 201 for supplying a precharge signal of a predetermined voltage level to each of the plurality of data lines 35 in advance of the image signal, and a circuit for sampling the image signal to the plurality of data lines 35. A sampling circuit 301, a data line driving circuit 101, and a scanning line driving circuit 104 to be supplied are formed. Note that these circuits need not necessarily be provided on the TFT array substrate 1 and may be provided on a substrate different from the TFT array substrate 1 or the like. Further, the precharge circuit 201 and the sampling circuit 301 are not essential requirements of the present invention, but providing these circuits is advantageous in eliminating uneven brightness and uneven contrast.
[0031]
The scanning line driving circuit 104 applies a scanning signal to the scanning line 31 in a pulsed manner at a predetermined timing based on a power supply, a reference clock, and the like supplied from an external control circuit.
[0032]
The data line driving circuit 101 applies image signals VID1 to VID1 to the six image signal lines 304 in accordance with the timing at which the scanning line driving circuit 104 applies a scanning signal based on a power supply and a reference clock supplied from an external control circuit. When the VID 6 is supplied, a sampling circuit drive signal is supplied to the sampling circuit 301 via the sampling circuit drive signal line 306 for each data line 35 in order to establish conduction between the data lines and each of the six image signal lines 304. .
[0033]
The precharge circuit 201 includes a TFT 202 for each data line 35, a precharge signal line 204 is connected to a source electrode of the TFT 202, and a precharge circuit drive signal line 206 is connected to a gate electrode of the TFT 202. I have. Then, power of a predetermined voltage required for writing a precharge signal is supplied from an external power supply via a precharge signal line 204, and an image signal is supplied to each data line 35 via a precharge circuit drive signal line 206. A precharge circuit drive signal is supplied from an external control circuit so that the precharge signal is written at a preceding timing. The precharge circuit 201 preferably supplies a precharge signal (image supplement signal) corresponding to pixel data of an intermediate gradation level.
[0034]
The sampling circuit 301 includes a TFT 302 for each data line 35, an image signal line 304 for supplying image signals VID1 to VID6 is connected to a source electrode of the TFT 302, and a sampling circuit drive signal line 306 is provided. It is connected to the gate electrode of the TFT 302. Then, when, for example, six parallel image signals VID1 to VID6 expanded into six phases are input via the image signal line 304, these image signals VID1 to VID6 are sampled. Also, when a sampling circuit drive signal is input from the data line drive circuit 101 via the sampling circuit drive signal line 306, the image signals VID1 to VID6 sampled for each of the six image signal lines 304 are converted into six adjacent signal lines. It is applied sequentially for each data line 35. In other words, the data line driving circuit 101 and the sampling circuit 301 are configured to develop the six parallel image signals VID1 to VID6 input from the image signal line 304 into six phases and supply the developed signals to the data line 35. .
[0035]
There is no limitation on the number of phase expansions of the image signal. However, in the case of video display, an image signal line is required for each of RGB, so if the number is a multiple of 3, the external control circuit can be relatively easily configured. . Needless to say, the image signal lines 304 are required at least for the number of phase expansions of the image signal. The configuration for performing such phase development is not an essential requirement of the present invention, but has an advantage that when the dot clock is fast, the load on the driving transistor for the image signal can be reduced.
[0036]
In the present embodiment, in particular, the precharge circuit 201 and the sampling circuit 301 are provided with light-shielding peripheral partitions 53 formed on the opposing substrate 2 as shown by hatched areas in FIG. 1 and as shown in FIGS. The data line driving circuit 101 and the scanning line driving circuit 104 are provided on a narrow and elongated peripheral portion of the TFT array substrate 1 not facing the liquid crystal layer 50. .
[0037]
2 and 3, on the TFT array substrate 1, a display area defined by a plurality of pixel electrodes 11 (that is, an area of a liquid crystal device in which an image is actually displayed by a change in the alignment state of the liquid crystal layer 50). A seal member 52 made of a photo-curable resin is provided along the display region as an example of a seal member that surrounds the liquid crystal layer 50 by bonding the two substrates together around the display region. A light-shielding peripheral partition 53 is provided between the display region on the counter substrate 2 and the sealing material 52.
[0038]
When the TFT array substrate 1 is put in a light-shielding case in which an opening is opened corresponding to the display area later, the peripheral area 53 is hidden by the edge of the opening of the case due to a manufacturing error or the like. In order to prevent the display area from being misaligned, or to simply define the display area, for example, a band-shaped light shielding property having a width of 500 μm or more around the display area so as to allow a shift of about several hundred μm with respect to the case of the TFT array substrate 1. It is formed from a material. Such a light-shielding peripheral partition 53 is formed on the counter substrate 2 by, for example, sputtering, photolithography, and etching using a metal material such as Cr (chromium), Ni (nickel), or Al (aluminum). Alternatively, it is formed from a material such as resin black in which carbon or Ti (titanium) is dispersed in a photoresist.
[0039]
A data line driving circuit 101 and a mounting terminal 102 are provided along a lower side of the display area in a region outside the sealing material 52, and a scanning line driving circuit 104 is provided along the left and right sides of the display area. Are provided on both sides. The opposite substrate 2 having substantially the same contour as the sealing material 52 is fixed to the TFT array substrate 1 by the sealing material 52.
[0040]
The precharge circuit 201 and the sampling circuit 301 are basically AC driven circuits. Therefore, even if the precharge circuit 201 and the sampling circuit 301 are provided in the portion of the TFT array substrate 1 facing the liquid crystal layer 50 surrounded by the sealing material 52 and sandwiched between the substrates, the liquid crystal layer 50 is not There is no problem of deterioration. On the other hand, the data line driving circuit 101 and the scanning line driving circuit 104 are provided in a peripheral portion of the TFT array substrate 1 which does not face the liquid crystal layer 50. Therefore, it is possible to prevent the DC voltage components from the data line driving circuit 101 and the scanning line driving circuit 104, which are DC-driven in particular, from leaking and being applied to the liquid crystal layer 50.
[0041]
When the precharge circuit 201 and the sampling circuit 301 are provided below the peripheral partition 53, the scanning line driving circuit 104 and the data line driving circuit 101 are formed in the peripheral portion of the TFT array substrate 1 with a margin. Therefore, there is an advantage that it is easy to design these peripheral circuits so as to conform to a specific specification. Further, by providing the precharge circuit 201 and the sampling circuit 301 below the peripheral partition 53, which is a so-called dead space, the effective display area in the liquid crystal device 200 is not reduced, and at the same time, particularly, the peripheral partition 53 has a light shielding property. Therefore, there is also an advantage that it is not necessary to shield the TFT 202 and 302 constituting the precharge circuit 201 and the sampling circuit 301 from blocking light incident through the display area. In addition, since the precharge circuit 201 and the sampling circuit 301 are not formed on the portion of the TFT array substrate 1 facing the sealing material 52, the TFTs 202 and 302 constituting these circuits are separated by the spacer mixed in the sealing material 52. There is no fear of destruction. Further, since there is no need to provide a separate light-shielding layer for the TFTs 202 and 302 constituting these circuits, it is possible to prevent such a light-shielding layer from interfering with light curing of the sealant 52 beforehand. That is, since it is not necessary to provide a light-shielding layer at a position facing the seal material 52 of both substrates, light can be sufficiently irradiated from both substrates in the step of photo-curing the seal material 52, and good photo-curing can be performed. . For this reason, it is advantageous that a thermosetting resin in which the deformation of the substrate is concerned is not used as the sealing material 52.
[0042]
On the other hand, in the counter substrate 2, a region corresponding to the display area of the TFT array substrate 1 in which the pixel electrodes 11 are provided in a matrix and surrounded by the peripheral partition 53 as described above is formed of the same material at the same time as the peripheral partition 53. As shown in FIG. 3, a light shielding layer 23 may be provided.
[0043]
This light-shielding layer 23 is formed by sputtering, photolithography and etching using a metal material such as Cr, Ni or Al, as in the case of the above-described peripheral partition 53, or a resin black in which carbon or Ti is dispersed in a photoresist. And the like. The light-shielding layer 23 is formed of such a material and is provided at a position covering the polysilicon layer 32 of the TFT 30. The light-shielding layer 23 shields the polysilicon layer 32 from light to prevent generation of a leak current. Further, the light shielding layer 23 has functions such as improvement of contrast and prevention of color mixture of coloring materials. In other words, the liquid crystal layer 50 has a property that the alignment state changes when a voltage is applied to the pixel electrode 11, but not all the liquid crystal layers 50 in contact with the surface of the image electrode 11 are in the same alignment state. There is a so-called non-aligned region that does not reach a desired alignment state as far as the peripheral side of the pixel electrode 11. Therefore, by covering such a non-aligned portion with the light shielding layer 23, the contrast is made uniform and color mixing is prevented.
[0044]
The light-shielding layer 23 in the present embodiment has a shape as shown by oblique lines in FIG. 4 in order to surely exhibit the above functions. FIG. 4 is an enlarged plan view of a part of the display area of the TFT array substrate 1, in which a light shielding layer 23 formed on the counter substrate 2 is overlapped for easy understanding.
[0045]
As shown in FIG. 4, a plurality of transparent pixel electrodes 11 are provided in a matrix on the TFT array substrate 1, and the data lines 35, the scanning lines 31, and the pixel electrodes 11 extend along the vertical and horizontal boundaries of the pixel electrodes 11. A capacitance line 31 'is provided. As shown in FIG. 4, the light-shielding layer 23 includes a light-shielding data line 35 made of metal or the like, a scanning line 31 made of polysilicon or the like, and a scanning line 31 as seen from the counter substrate 2 side. Is provided at a position covering the capacitance line 31 'formed in the same step as the above. In addition, even when a displacement occurs when the opposing substrate 2 and the TFT array substrate 1 are bonded to each other, a size having a margin is required to surely shield the TFT 30 and to cover the non-light distribution portion. Is configured.
[0046]
Therefore, the opening area of the pixel, which is defined by each scanning line and the data line and is composed of the thin film transistor and the pixel electrode, is defined by the light shielding layer 23 having a certain margin as described above. The ratio occupied by the pixel area in the screen, that is, the so-called aperture ratio, is reduced, and the display screen tends to be dark.
[0047]
Therefore, in the present embodiment, a plurality of microlenses 62 are arranged in a matrix at positions corresponding to each pixel on the surface of the counter substrate 2 located on the light source side, so that irradiation from the light source is performed. The light to be emitted is condensed on each pixel area by each microlens 62, and thereby the display screen is brightened.
[0048]
In the present embodiment, as shown in FIG. 5, which is an enlarged view of a portion indicated by a circle A in FIG. 3, the position where the microlens 62 is formed is on the TFT array substrate side of the underlying substrate 2a of the opposite substrate 2. Surface. In the present embodiment, as shown in FIG. 6, which is an enlarged view of a portion indicated by a circle B in FIG. 5, a cover glass 2b is attached to the front side of the base substrate 2a, and the light shielding layer 23 is It is formed on the surface of the cover glass 2b on the TFT array substrate 1 side.
[0049]
The diameter of the microlens 62 is larger than the width of the opening region defined by the light-shielding layer 23, as shown in FIG. It is formed so that the non-light-collecting region is not formed as much as possible in the opening region.
[0050]
In the present embodiment, the microlenses 62 are provided in one-to-one correspondence with the respective pixel regions, and the effective aperture ratio of each pixel is increased to increase the brightness of the liquid crystal device. Have been.
[0051]
Here, a manufacturing process of the counter substrate 2 will be described with reference to FIG.
[0052]
(Manufacturing process of counter substrate)
First, a metal film such as chromium or a chromium alloy is formed to a thickness of about 1000 to 2000 angstroms by a sputtering method or the like on a base substrate 2a formed of a neoceram or quartz substrate having a thickness of 1.0 to 1.1 mm. After formation, an alignment mark 60 for bonding to the TFT array substrate 1 is formed by performing a photolithography step and a photo etching step (FIG. 8A).
[0053]
Next, a primer is applied to the surface of the base substrate 2a on which the alignment marks 60 are formed, and a positive photoresist as a thermally deformable photosensitive material is applied thereon to a thickness of about 7.3 μm, Pre-baking is performed to obtain a resist film having a thickness of about 7 μm (FIG. 8B).
[0054]
Next, a mask in which rectangular light-shielding portions of about 15 μm in length and width are arranged in a matrix, and a light-transmitting frame of about 2 μm is formed around each light-shielding portion, is closely attached to the resist film. Overlapping, ultraviolet exposure is performed, and then development is performed according to a normal photoresist development method, followed by rinsing (FIG. 8C).
[0055]
Next, the film of the photosensitive material patterned by the above-described optical patterning is heated to about 150 ° C., which is higher than the thermal deformation temperature, and post-baked. As a result, each rectangular film became a smooth convex surface, and the height from the substrate was about 7 μm (FIG. 8D).
[0056]
Then, an anisotropic etching step is performed by ECR plasma etching using oxygen as an introduction gas. At this time, the selection ratio was set as follows: photosensitive material film: base substrate 2a = 1: 1. As a result, the smooth convex array shape is engraved on the base substrate 2a, and a desired microlens array is obtained (FIG. 8 (5)).
[0057]
The microlens array formed in this manner has a shape as shown in FIG. 9, and the respective microlenses are connected to each other by the connecting portion 64. Although the height of the connecting portion 64 from the substrate is lower than that of the convex portion of the microlens 62, the connecting portion 64 has a convex shape like the microlens 62. The efficiency is improved, and almost all light incident on the entire microlens array can be collected by the microlens.
[0058]
Next, an adhesive 63 such as an acrylic resin is applied on the surface of the base substrate 2a on which the microlens array is formed, and the base substrate 2a and the cover glass 2b are bonded to each other. Thereafter, a metal film such as chromium or a chromium alloy is formed on the cover glass 2b to a thickness of about 1000 to 2000 angstroms by a sputtering method or the like. 23 are formed (FIG. 8 (6)).
[0059]
Finally, an ITO film is formed on the surface of the cover glass 2b by a sputtering method or the like to a thickness of about 1000 to 2000 angstroms, and then patterned to form a transparent common electrode 21 (FIG. 8 (7)). )).
[0060]
Through the above steps, fine microlenses corresponding to each pixel can be formed, and the effective aperture ratio of each pixel can be increased, so that a liquid crystal device with high luminance can be provided.
[0061]
In addition, the microlens 62 of the present embodiment is formed on the base substrate 2a of neoceram or the like by not only thermally deforming the photosensitive material but also performing an etching process after the deformation, so that the light absorbing property is extremely low. The light use efficiency can be made higher than before.
In addition, since the microlenses 62 are formed on the base substrate 2a such as neoceram, the temperature rise due to light absorption and further softening due to the temperature rise do not occur as compared with the case where only the photosensitive material is used. It can be used for high energy light.
[0062]
(Configuration of micro lens)
However, in the anisotropic etching step shown in FIG. 8 (5), there is a problem that the height of the convex portion of the microlens 62 from the substrate is different between the central portion and the outer peripheral portion.
[0063]
That is, since the central base substrate 2a is etched along with the resist formed in a convex shape as described above, each convex portion is engraved while being affected by the peripheral convex portions. become. In contrast, in L1 and Lm, which are the outermost peripheral portions, as shown in FIG. 8 (5), adjacent convex portions exist only on one side. Therefore, the outer convex portion is carved deeper than the central convex portion. That is, the protruding portions of the outermost peripheral portions L1 and Lm are lower in height from the substrate than the protruding portions of the central portion. The height of the protruding portions adjacent to the outermost peripheral portions L1 and Lm from the substrate is higher than that of the protruding portions of the outermost peripheral portions L1 and Lm, but lower than the central portion.
[0064]
In this way, the height of the microlens becomes gradually smaller in the taper shape as compared with the central portion as it is closer to the outermost peripheral portion. As a result, the characteristics of the microlens differ between the central portion and the peripheral portion, and the liquid crystal When operated as a device, there is a problem that a difference is caused in luminance and contrast.
[0065]
Therefore, in the present embodiment, in order to solve such a problem, the formation region of the microlens array is extended to the region where the peripheral partition 53 is placed as shown in FIGS. The array was configured to be a dummy microlens.
[0066]
In the present embodiment, in the display area, for example, when 1024 microlens arrays are required corresponding to 1024 pixel electrodes in one horizontal scanning direction, about 20 microlenses are added to the counter substrate in addition to 1024 microlenses. 2 was formed as a dummy micro lens (dummy lens) in the area where the peripheral partition 53 was placed. The number of dummy lenses is not limited to 20. Therefore, only microlenses sufficiently separated from the outer peripheral portion can be used as microlenses for condensing light on the display area. That is, the outer peripheral microlenses having different characteristics generated during the etching process as described above are covered by the peripheral partition 53 as shown in FIGS. 5 and 6, and do not contribute to light collection on the display area. As described above, light can be condensed on each pixel in the display region using only microlenses having uniform characteristics, and a favorable liquid crystal device without a luminance difference or a contrast difference can be provided. it can.
[0067]
In addition, as described above, the microlens 62 according to the present embodiment can sufficiently increase the light use efficiency. Therefore, the microlens 62 not only has no luminance difference or contrast difference, but also has a high luminance liquid crystal compared to the related art. It can be a device.
[0068]
Further, as shown in FIG. 9, each microlens 62 is a microlens array connected by a connecting portion 64 having a condensing function. Since the light can be focused on the opening area, the effective aperture ratio can be significantly increased as compared with the conventional case.
[0069]
As described above, since the light is condensed by the microlenses having uniform lens characteristics, the light is condensed uniformly over the entire display area, and high-luminance, even, and high-quality display is possible. It is. The peripheral partition is provided on the counter substrate 2 side, but may be provided on the TFT substrate 1 side to cover the dummy microlens.
[0070]
(Other embodiments)
As an example of the liquid crystal layer 50 used in the liquid crystal device of the present invention, a nematic liquid crystal can be used. In addition, if a polymer-dispersed liquid crystal in which liquid crystals are dispersed as fine particles in a polymer is used, an alignment film, a polarizing film, a polarizing plate, and the like are not required, and the brightness of a liquid crystal device can be increased due to an increase in light use efficiency. The advantage of low power consumption can be obtained. Furthermore, in the liquid crystal device, the common electrode 21 is provided on the side of the counter substrate 2 so as to apply a vertical electric field (vertical electric field) to the liquid crystal layer 50. ) Is applied to each pixel electrode 11 from a pair of electrodes for generating a horizontal electric field (that is, the pixel electrode 11 is provided on the TFT array substrate 1 side without providing a vertical electric field generating electrode on the counter substrate 2 side). It is also possible to provide an electrode for generating a horizontal electric field). The use of the horizontal electric field is more advantageous in widening the viewing angle than the case of using the vertical electric field. In addition, the present embodiment can be applied to various liquid crystal materials (liquid crystal phases), operation modes, liquid crystal alignment, a driving method, and the like.
[0071]
As described above, when a voltage is applied to the pixel electrode 11, the alignment state of the liquid crystal in the portion of the liquid crystal layer 50 between the pixel electrode 11 and the common electrode 21 changes. According to the applied voltage, the incident light cannot pass through the liquid crystal portion. In the normally black mode, the incident light can pass through the liquid crystal portion according to the applied voltage. Light having a contrast according to the image signal is emitted from the liquid crystal device. At this time, in this embodiment, in particular, the non-aligned portion of the liquid crystal layer 50 is reliably prevented by the light-shielding layer 23, so that light is not reliably prevented from leaking when a voltage is applied when using the normally white mode. Can be. Moreover, since the light shielding layer 23 is formed in a size and a shape having a predetermined margin in consideration of a displacement at the time of laminating the counter substrate 2 and the TFT array substrate 1, the light shielding layer 23 is more reliably than the conventional case. Light leakage can be prevented. Even when the light-shielding layer 23 has such a size and shape, the effective aperture ratio is increased by the microlenses 62 described above, and the characteristics of the microlenses are uniform as described above. In the area, a high-quality image with high brightness and no unevenness is displayed.
[0072]
Further, in the above description, the example in which the peripheral parting 53 and the light shielding layer 23 are provided on the counter substrate 2 side has been described. However, the present invention is not limited to this, and the peripheral parting 53 and the light shielding layer 23 may be provided in a TFT array. You may comprise so that it may be provided in the board | substrate 1 side. With this configuration, it is possible to improve the positional accuracy of the peripheral partition 53 and the light shielding layer 23 with respect to the opening area and the display area of each pixel, and it is not necessary to take a margin in consideration of the above-described positional deviation. Thus, the peripheral partition 53 and the light shielding layer 23 can be formed small, and the actual aperture ratio can be increased.
[0073]
In the embodiment described above, the precharge circuit 201 and the sampling circuit 301 are provided. However, instead of or in addition to these, the quality and defect of the liquid crystal device during manufacturing or shipping may be provided under the peripheral edge 53. May be provided. When the inspection circuit is provided below the peripheral parting line 53, the scanning line driving circuit 104 and the data line driving circuit 101 can be formed with a margin in the peripheral portion of the TFT array substrate 1, and the effective display in the liquid crystal device can be realized. At the same time, since the peripheral partition 53 is light-shielding without reducing the area, there is no need to shield the TFTs constituting the inspection circuit from light incident through the display area. Furthermore, in place of or in addition to the precharge circuit 201 and the sampling circuit 301, the TFT for operating the liquid crystal device under the peripheral area 53 is provided from the viewpoint of, for example, improving image quality, reducing power consumption, and reducing cost. Among the various peripheral circuits using the above-described method, a circuit of a type driven by an AC voltage may be provided. Providing the peripheral circuit in this manner does not reduce the effective display area in the liquid crystal device, and at the same time, in particular, the peripheral partition 53 is light-shielding, so that the peripheral circuit 53 is shielded from light incident through the display area. Does not need to be applied to the TFTs constituting the. Since the peripheral circuit is driven by an AC voltage, the problem of deterioration of the liquid crystal layer 50 due to application of a DC voltage does not occur.
[0074]
Further, instead of providing the data line driving circuit 101 and the scanning line driving circuit 104 on the TFT array substrate 1, for example, a driving LSI mounted on a TAB (tape automated bonding substrate) is provided around the TFT array substrate 1. You may make it electrically and mechanically connect via the anisotropic conductive film provided in the part. Even if only one of the sampling circuit 201, the precharge circuit 301, and the inspection circuit is formed below the peripheral partition 53 and the rest is formed in the peripheral portion on the TFT array substrate 1, the dead space may be reduced. The effect of effective utilization can be obtained to some extent.
[0075]
Furthermore, in the above embodiments, as disclosed in JP-A-9-127497, JP-B-3-52611, JP-A-3-125123, JP-A-8-171101, and the like, A light-shielding layer made of, for example, a refractory metal may also be provided on the TFT array substrate 1 at a position facing the TFT 30 (ie, below the TFT 30). By providing the light-shielding layer below the TFT 30 as described above, it is possible to prevent return light and the like from the TFT array substrate 1 from entering the TFT 30. Although the above embodiment describes a TFT, the liquid crystal device equipped with the microlens of the present invention is not limited to the TFT, but can be applied to a passive liquid crystal device.
[0076]
(Electronics)
Next, an embodiment of an electronic apparatus including a liquid crystal device 200 including the liquid crystal device described in detail above will be described with reference to FIGS.
[0077]
First, FIG. 10 shows a schematic configuration of an electronic apparatus including the liquid crystal device 200 as described above.
[0078]
In FIG. 10, an electronic device includes a display information output source 1000, a display information processing circuit 1002, a driving circuit 1004 including the above-described scanning line driving circuit 104 and data line driving circuit 101, and a precharge circuit as described above. And a liquid crystal device 10 provided with a sampling circuit, a clock generation circuit 1008, and a power supply circuit 1010. The display information output source 1000 includes a ROM (Read Only Memory), a RAM (Random Access Memory), a memory such as an optical disk device, a tuning circuit, and the like. Based on a clock from the clock generation circuit 1008, a video signal of a predetermined format, etc. Is output to the display information processing circuit 1002. The display information processing circuit 1002 includes various known processing circuits such as an amplification / polarity inversion circuit, a phase expansion circuit, a rotation circuit, a gamma correction circuit, and a clamp circuit. , And sequentially outputs the digital signals to the drive circuit 1004 together with the clock CLK. The driving circuit 1004 drives the liquid crystal device 10 by the above-described driving method using the scanning signal driving circuit 104 and the image signal driving circuit 101. The power supply circuit 1010 supplies a predetermined power to each of the above-described circuits. Note that the drive circuit 1004 may be mounted on the TFT array substrate constituting the liquid crystal device 10, and in addition, the display information processing circuit 1002 may be mounted.
[0079]
Specific examples of the electronic device configured as described above include a liquid crystal projector shown in FIG. 11, a multimedia-compatible personal computer (PC) and an engineering workstation (EWS) shown in FIG. 12, or a mobile phone, a word processor, and a television. And a viewfinder type or monitor direct view type video tape recorder, an electronic organizer, an electronic desk calculator, a car navigation device, a POS terminal, and a device having a touch panel.
[0080]
Next, a specific example of the electronic device configured as described above will be described with reference to FIGS.
[0081]
In FIG. 11, a liquid crystal projector 1100, which is an example of electronic equipment, is a projection type liquid crystal projector, and includes a light source 1110, dichroic mirrors 1113, 1114, reflection mirrors 1115, 1116, 1117, an incident lens 1118, a relay lens 1119, It comprises an emission lens 1120, liquid crystal light valves 1122, 1123, 1124, a cross dichroic prism 1125, and a projection lens 1126. The liquid crystal light valves 1122, 1123, and 1124 are prepared by preparing three liquid crystal display modules each including the liquid crystal device 10 in which the above-described drive circuit 1004 is mounted on a TFT array substrate, and using each of them as a liquid crystal light valve. The light source 1110 includes a lamp 1111 such as a metal halide and a reflector 1112 that reflects light from the lamp 1111.
[0082]
In the liquid crystal projector 1100 configured as described above, the dichroic mirror 1113 for reflecting blue light and green light transmits red light of the white light flux from the light source 1110 and reflects blue light and green light. . The transmitted red light is reflected by the reflection mirror 1117 and is incident on the liquid crystal light valve 1122 for red light. On the other hand, among the color lights reflected by the dichroic mirror 1113, green light is reflected by the dichroic mirror 1114 that reflects green light, and is incident on the liquid crystal light valve 1123 for green light. The blue light also passes through the second dichroic mirror 1114. For blue light, in order to prevent light loss due to a long optical path, light guiding means 1121 composed of a relay lens system including an entrance lens 1118, a relay lens 1119, and an exit lens 1120 is provided. The light enters the liquid crystal light valve for light 1124. The three color lights modulated by the respective light valves enter the cross dichroic prism 1125. This prism has four right-angle prisms bonded together, and a dielectric multilayer film that reflects red light and a dielectric multilayer film that reflects blue light are formed in a cross shape on the inner surface. The three color lights are combined by these dielectric multilayer films to form light representing a color image. The synthesized light is projected on a screen 1127 by a projection lens 1126 which is a projection optical system, and an image is enlarged and displayed.
[0083]
Since the liquid crystal device 10 used in the above liquid crystal projector is formed on a substrate such as neoceram or quartz as described above, the phenomenon of temperature rise due to light absorption and softening due to temperature rise as in the related art is encountered. High efficiency lamps can be used without causing. Therefore, it is possible to provide a liquid crystal projector with higher luminance than before.
[0084]
In FIG. 12, a laptop personal computer 1200 as another example of the electronic apparatus includes a liquid crystal display 1206 in which the above-described liquid crystal device 10 is provided in a top cover case, a CPU, a memory, a modem, and the like. A main body 1204 in which a keyboard 1202 is incorporated.
[0085]
As shown in FIG. 13, a TCP (Tape) in which an IC chip 1324 is mounted on a polyimide tape 1322 on which a metal conductive film is formed on one of two transparent substrates 1304a and 1304b constituting a liquid crystal device substrate 1304. Carrier Package) 1320 can be connected to produce, sell, and use a liquid crystal device as one component of an electronic device.
[0086]
As described above, in addition to the electronic devices described with reference to FIGS. 11 to 13, a liquid crystal television, a viewfinder type or a monitor direct-view type video tape recorder, a car navigation device, an electronic organizer, a calculator, a word processor, a workstation, a mobile phone A telephone, a videophone, a POS terminal, a device including a touch panel, and the like are examples of the electronic apparatus illustrated in FIG.
[0087]
Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made within the scope of the present invention. For example, the present invention is not limited to being applied to the driving of the various liquid crystal devices described above, but is also applicable to electroluminescence and plasma display devices.
[0088]
As described above, according to the present embodiment, by using a microlens, not only can the effective aperture ratio of each pixel be increased, but also a configuration in which a dummy microlens is provided below the peripheral parting. As a result, the lens characteristics in the display area can be made uniform, and various electronic devices including the liquid crystal device 200 that can display high-quality images with high brightness and without uneven brightness and contrast can be realized.
[0089]
【The invention's effect】
According to the present invention, the microlenses respectively corresponding to the opening areas of the respective pixels are provided on the first substrate, and the range in which the microlenses are provided is set to the area below the peripheral parting provided along the periphery of the display area. Since the microlens below the peripheral parting is a dummy microlens, the lens characteristics of the microlens used for the display area can be made uniform, and a liquid crystal device having high brightness and no brightness unevenness and no contrast unevenness can be provided. An electronic device capable of displaying high-quality images with a liquid crystal device can be provided.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a block diagram of various wirings, peripheral circuits, and the like formed on a TFT array substrate in an embodiment of a liquid crystal device.
FIG. 2 is a plan view showing the overall configuration of the liquid crystal device of FIG.
FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating the entire configuration of the liquid crystal device of FIG.
FIG. 4 is a plan view showing a shape of a light shielding layer of the liquid crystal device provided in the liquid crystal device of FIG.
5 is an enlarged view of a portion indicated by a circle A in FIG. 3 and is a cross-sectional view illustrating a position where a microlens is provided in the embodiment.
6 is an enlarged view of a portion indicated by a circle B in FIG. 5, and is a cross-sectional view illustrating a detailed configuration of a counter substrate of the liquid crystal device according to the embodiment.
FIG. 7 is a plan view showing an arrangement configuration of micro lenses in the liquid crystal device provided in the liquid crystal device of FIG.
FIG. 8 is a process chart showing a manufacturing process of a counter substrate in the liquid crystal device provided in the liquid crystal device of FIG.
FIG. 9 is a perspective view showing a form of a microlens manufactured by the process shown in FIG.
FIG. 10 is a block diagram showing a schematic configuration of an embodiment of an electronic device according to the present invention.
FIG. 11 is a cross-sectional view illustrating a liquid crystal projector as an example of an electronic apparatus.
FIG. 12 is a front view illustrating a personal computer as another example of the electronic apparatus.
FIG. 13 is a perspective view illustrating a liquid crystal device using TCP as an example of an electronic apparatus.
[Explanation of symbols]
1: TFT array substrate
2: Counter substrate
2a: Base substrate
2b ... Cover glass
10. Liquid crystal device
11 ... pixel electrode
21 ... Common electrode
23 ... Shading layer
30 ... TFT
31 ... Scanning line (gate electrode)
35 ... data line (source electrode)
50 ... Liquid crystal layer
52 ... Seal material
53 ... Close-up
62 ... Micro lens
63 ... Adhesive
64 ... connecting part
101: Data line drive circuit
102 mounting terminals
104 ... scanning line drive circuit
200 ... Liquid crystal device
201: Precharge circuit
301 ... Sampling circuit

Claims (12)

第１基板と、下地基板及びカバー部材からなる第２基板と、前記第１基板及び第２基板間に挟持された液晶と、を有する液晶装置において、
表示領域の周囲に沿って、前記第１基板および第２基板のいずれかに形成された遮光層と、
前記下地基板に設けられ、前記表示領域、及び前記遮光層が形成された領域に配置されてなり、複数のマイクロレンズを含むマイクロレンズアレイと、
前記下地基板上の前記マイクロレンズアレイの外側に設けられ、前記マイクロレンズの凸状部よりも低くなっている平坦部と、
を備え、
前記マイクロレンズアレイは、エッチングにより形成されるものであって、当該マイクロレンズアレイの中央部と外周部とで前記凸状部の高さ或いは直径が異なり、
前記マイクロレンズ間および前記平坦部上に接着剤を位置させて前記下地基板と前記カバー部材が貼り合わされてなり、
前記マイクロレンズの外周部に位置し、前記凸状部の高さ或いは直径が異なるマイクロレンズは、前記遮光層により覆われてなることを特徴とする液晶装置。A liquid crystal device comprising: a first substrate; a second substrate including a base substrate and a cover member ; and a liquid crystal sandwiched between the first substrate and the second substrate.
A light-shielding layer formed on one of the first substrate and the second substrate along the periphery of the display area;
A microlens array provided on the base substrate, arranged in the display area, and the area where the light shielding layer is formed, and including a plurality of microlenses;
A flat portion that is provided outside the microlens array on the base substrate and that is lower than the convex portion of the microlens;
With
The microlens array is formed by etching, and the height or diameter of the convex portion is different between a central portion and an outer peripheral portion of the microlens array,
The undersubstrate and the cover member are bonded together by positioning an adhesive between the microlenses and on the flat portion,
A liquid crystal device, wherein the microlenses located on the outer periphery of the microlenses and having different heights or diameters of the convex portions are covered with the light shielding layer. 第１基板と、下地基板及びカバー部材からなる第２基板と、前記第１基板及び第２基板間に挟持された液晶と、を有する液晶装置において、
表示領域の周囲に沿って、前記第１基板および第２基板のいずれかに形成された遮光層と、
前記下地基板に設けられ、前記表示領域、及び前記遮光層が形成された領域に配置されてなり、複数のマイクロレンズを含むマイクロレンズアレイと、
前記下地基板上の前記マイクロレンズアレイの外側に設けられ、前記マイクロレンズの凸状部よりも低い平坦部と、
を備え、
前記マイクロレンズアレイは、製造工程を経て、前記マイクロレンズアレイの中央部と外周部とで前記凸状部の高さ或いは直径が異なり、
前記マイクロレンズ間及び前記平坦部上に接着剤を位置させて前記下地基板と前記カバー部材が貼り合わされてなり、
前記マイクロレンズの外周部に位置し、前記凸状部の高さ或いは直径が異なるマイクロレンズは、前記遮光層により覆われてなることを特徴とする液晶装置。A liquid crystal device comprising: a first substrate; a second substrate including a base substrate and a cover member ; and a liquid crystal sandwiched between the first substrate and the second substrate.
A light-shielding layer formed on one of the first substrate and the second substrate along the periphery of the display area;
A microlens array provided on the base substrate, arranged in the display area, and the area where the light shielding layer is formed, and including a plurality of microlenses;
A flat portion provided outside the microlens array on the base substrate and lower than the convex portion of the microlens;
With
The microlens array, through a manufacturing process, the height or diameter of the convex portion is different between the central portion and the outer peripheral portion of the microlens array,
The base substrate and the cover member are bonded together by positioning an adhesive between the microlenses and on the flat portion,
A liquid crystal device, wherein the microlenses located on the outer periphery of the microlenses and having different heights or diameters of the convex portions are covered with the light shielding layer. 前記マイクロレンズアレイの中央部と外周部とでは、前記マイクロレンズの凸状部の高さ、又は直径が異なることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液晶装置。The liquid crystal device according to claim 1, wherein a height or a diameter of a convex portion of the microlens is different between a central portion and an outer peripheral portion of the microlens array. 前記マイクロレンズアレイの中央部と外周部とでは、前記マイクロレンズアレイの外周部は、前記マイクロレンズアレイの中央部に比べて前記マイクロレンズの凸状部の高さが低いことを特徴とする請求項３に記載の液晶装置。At a central portion and an outer peripheral portion of the microlens array, a height of a convex portion of the microlens is lower at an outer peripheral portion of the microlens array than at a central portion of the microlens array. Item 4. The liquid crystal device according to item 3. 前記第１基板上に設けられた複数のデータ線と、該複数のデータ線に交差して前記第１基板上に設けられた複数の走査線と、前記第１基板上にて各前記データ線及び前記走査線並びに前記画素電極に接続された薄膜トランジスタと、該複数の薄膜トランジスタの少なくともチャネル形成用領域及び前記複数の走査線並びに前記複数のデータ線に、平面的に見て重なる位置で、前記第１基板または前記第２基板のいずれかに設けられ、各画素の開口領域を規定する第２遮光層とを備えたことを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の液晶装置。A plurality of data lines provided on the first substrate; a plurality of scanning lines provided on the first substrate intersecting the plurality of data lines; and a plurality of data lines provided on the first substrate. And the thin film transistor connected to the scanning line and the pixel electrode, and at least the channel forming region of the plurality of thin film transistors and the plurality of scanning lines and the plurality of data lines, at a position overlapping in plan view, 5. The device according to claim 1, further comprising: a second light-shielding layer provided on one of the substrate and the second substrate, the second light-shielding layer defining an opening area of each pixel. 6. Liquid crystal device. 前記マイクロレンズは、前記夫々の集光部が、凸状に形成された集光連結部により連結されていることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか一項に記載の液晶装置。6. The liquid crystal device according to claim 1, wherein each of the microlenses is connected to each of the condensing portions by a condensing connecting portion formed in a convex shape. 7. . 前記マイクロレンズは、前記下地基板の前記カバー部材との対向側に形成され、前記表示領域の周囲に沿って形成された前記遮光層は、前記カバー部材の前記液晶側に形成されることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液晶装置。The microlens is formed on a side of the base substrate facing the cover member, and the light blocking layer formed along a periphery of the display area is formed on the liquid crystal side of the cover member. The liquid crystal device according to claim 1 or 2, wherein 前記表示領域の周囲に沿って形成された遮光層は、前記第１基板の前記液晶との対向側の面上に形成されることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか一項に記載の液晶装置。The light-shielding layer formed along the periphery of the display area is formed on a surface of the first substrate on a side opposite to the liquid crystal. 3. The liquid crystal device according to claim 1. 請求項１乃至請求項８の何れか一項に記載の液晶装置を備えたことを特徴とする電子機器。An electronic apparatus comprising the liquid crystal device according to claim 1. 第１基板と、下地基板及びカバー部材からなる第２基板と、前記第１基板及び第２基板間に挟持された液晶と、前記第１基板上にマトリクス状に設けられた複数の画素電極と、表示領域の周囲に沿って前記第１基板および第２基板のいずれかに形成された遮光層と、複数のマイクロレンズを含むマイクロレンズアレイと、を備えてなる液晶装置の製造方法であって、
前記下地基板に前記マイクロレンズアレイをエッチングにより形成する工程と、
前記下地基板と前記カバー部材とを貼り合わせる工程と、
前記マイクロレンズアレイの中央部が前記表示領域に位置するように前記マイクロレンズアレイを配置する工程と、
を備え、
前記マイクロレンズアレイを形成する工程においては、前記マイクロレンズアレイの中央部と外周部とで凸状部の高さ或いは直径が異なる前記マイクロレンズが形成されるとともに、前記下地基板上の前記マイクロレンズアレイの外側に、前記マイクロレンズの凸状部よりも低い平坦部が形成されるものであって、
前記貼り合わせる工程においては、前記マイクロレンズ間および前記平坦部上に接着剤を位置させて前記下地基板と前記カバー部材を貼り合わせ、
前記マイクロレンズアレイを配置する工程において、前記マイクロレンズアレイの外周部に位置し、前記凸状部の高さ或いは直径が異なるマイクロレンズを前記遮光層で覆うように前記マイクロレンズアレイを配置することを特徴とする液晶装置の製造方法。A first substrate , a second substrate including a base substrate and a cover member , a liquid crystal sandwiched between the first substrate and the second substrate, and a plurality of pixel electrodes provided in a matrix on the first substrate. A method of manufacturing a liquid crystal device, comprising: a light shielding layer formed on one of the first substrate and the second substrate along a periphery of a display region; and a microlens array including a plurality of microlenses. ,
Forming the microlens array on the base substrate by etching;
Bonding the undersubstrate and the cover member,
Arranging the microlens array such that the center of the microlens array is located in the display area,
With
Wherein in the step of forming a microlens array, the micro-central portion and the peripheral portion of the lens array with the height or diameter of the convex portion is different by the micro lens is formed Rutotomoni, the microlenses on the underlying substrate outside the array, the is lower flat portion than the convex portion of the microlenses formed a shall,
In the bonding step, bonding the base substrate and the cover member by positioning an adhesive between the microlenses and on the flat portion,
In the step of arranging the microlens array, arranging the microlens array so as to cover the microlenses located on the outer peripheral portion of the microlens array and having different heights or diameters of the convex portions with the light shielding layer. A method for manufacturing a liquid crystal device, comprising: 前記マイクロレンズアレイを形成する工程においては、
前記マイクロレンズアレイの中央部と外周部とでは、前記マイクロレンズの凸状部の高さ、又は直径が異なることを特徴とする請求項１０に記載の液晶装置の製造方法。In the step of forming the microlens array,
The method according to claim 10, wherein a height or a diameter of the convex portion of the microlens is different between a central portion and an outer peripheral portion of the microlens array. 前記マイクロレンズアレイを形成する工程においては、
前記マイクロレンズアレイの中央部と外周部とでは、前記マイクロレンズアレイの外周部は、前記マイクロレンズアレイの中央部に比べて前記マイクロレンズの凸状部の高さが低いことを特徴とする請求項１１に記載の液晶装置の製造方法。In the step of forming the microlens array,
At a central portion and an outer peripheral portion of the microlens array, a height of a convex portion of the microlens is lower at an outer peripheral portion of the microlens array than at a central portion of the microlens array. Item 12. The method for manufacturing a liquid crystal device according to Item 11.
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