JP3569704B2 - 大気圧プラズマ反応を利用した粉体表面の処理方法 - Google Patents
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Description
これにより、粉体は、分散性、再分散性、凝集性、沈降防止性、結束性、混練り性等が向上する。
図1は、本発明の大気圧プラズマ反応装置の一実施形態を示す構成図である。
図3において、接地電極7及び高電圧印加電極8は、金属電極17の周囲を容器19で覆い、その容器19内部に液体誘電体20を封入して構成する。ここで、液体誘電体20として使用可能なものは、アルキルベンゼン、ポリブテン、五塩化ジフェニール等に代表される炭化水素系合成絶縁油、塩素化合成油、鉱油、シリコーン油、フッ素油等であり、これを単独使用する。単独で使用する場合、金属電極17に使用する金属は、銅よりもアルミニウム、マグネシウム、スズ、亜鉛、ニッケル等の合金、あるいはステンレススチール等が良い。
また、容器19の材料としては、耐熱ガラス、アルミナ系セラミックス、チタン酸バリウム系セラミックス等がより実用的である。例えば、耐熱ガラスの管で構成した容器19の中にシリコン(GE社、SF96)等を封入して接地電極7あるいは高電圧印加電極8としてもよい。
まず、反応容器1の内部に導入するガスは大気圧グロー放電の安定化に重要な要素であり、以下に詳細に説明する。
モノマーガスとしては、不飽和炭化水素、ハロゲンその他の官能基を有し若しくは有しない炭化水素類が使用可能である。特に、ハロゲン官能基を有する炭化水素類としては、例えばCF4、C2F4、C3F8、(CH3)3B等のものが良い。
添加量としては、0.001〔ppm〕〜50〔%〕、好ましくは0.01〔ppm〕〜5〔%〕の添加が望ましい。
ここに、処理可能な粉体としては、有機物、無機物の粉体なら何でも良い。
なお、処理可能な粉体としてセメントについて説明すると、セメントには、ポルトランドセメント、マグネシアセメント、アルミナセメント、シリカセメント等が含まれる。
また、必要なガスを、希ガス供給管10、他ガス供給管13、及び又はモノマーガス供給管14を介して反応容器1の内部に導入し、メッシュ5下部から送入して、粉体が供給ガスと供に反応容器1の内部に拡散するようにするとともに、接地電極7、高電圧印加電極8、接地電極9に電圧を印加することにより、大気圧プラズマ処理を行う。
第1処理方法について以下に説明する。2〔g〕の処理品シリカ粉体を反応容器1の内部に装填し、毎分2000〔ml〕の希ガス(ヘリウム(He))を希ガス供給管10を介して反応容器1の内部に導入し、接地電極7、高電圧印加電極8及び接地電極9に電圧を印加して、大気圧プラズマ処理を10分間行った。この際に、接地電極7、高電圧印加電極8等の誘電体としてPEを使用し、それら接地電極7、高電圧印加電極8、接地電極9に周波数が23〔kHz〕の交流電圧を印加した。このとき、放電開始電力は、150〔W〕であった。
上述のようにして大気圧プラズマ処理を行った結果についての評価は次のようにした。
また、凝集性については、沈降後、分散液中の粉体の凝集性を見た。さらに、再分散性については、沈降後、その分散液を振った後に、再分散性を見た。
無処理のシリカ粉体に関しても、同様な分散をし、測定を行った。
次に、第2処理方法について説明する。上記第1処理方法と同様にしてシリカ粉体を反応容器1に装填し、毎分2000〔ml〕の希ガス(He)を希ガス供給管10を介して反応容器1の内部に導入すると共に、毎分2000〔ml〕のモノマーガス(CF4)をモノマーガス供給管14を介して反応容器1の内部に導入し、接地電極7、高電圧印加電極8及び接地電極9に電圧を印加して、大気圧プラズマ処理を10分間行った。この際に、接地電極7、高電圧印加電極8等の誘電体としてPEを使用し、それら接地電極7、高電圧印加電極8、接地電極9に周波数が25〔kHz〕の交流電圧を印加した。このとき、放電開始電力は、150〔W〕であった。
処理品シリカ粉体0.2〔g〕を分散瓶に秤量し、蒸留水及びMEK20.0〔ml〕を添加し、第1処理方法と同様に分散を行い評価した。CF4処理シリカ粉体の場合は、表2からも分かるように、第1処理方法とは逆に、溶剤MEKに対する分散性、再分散性、凝集性、混練り性の向上が認められた。
第3処理方法について以下に説明する。上記第1処理方法と同様にしてシリカ粉体を反応容器1に装填し、毎分2000〔ml〕の希ガス(He)を希ガス供給管10を介して反応容器1の内部に導入すると共に、他ガスとしてギ酸をバブリング方法で他ガス供給管13を介して反応容器内に導入し、接地電極7、高電圧印加電極8及び接地電極9に電圧を印加して、大気圧プラズマ処理を10分間行った。この際に、接地電極7、高電圧印加電極8等の誘電体としてガラス容器19の内部に液体誘電体20を封入したものを使用し、それら接地電極7、高電圧印加電極8、接地電極9に周波数が28〔kHz〕の交流電圧を印加した。このとき、放電開始電力は、75〔W〕であった。
上記第1の方法と同様に蒸留水、MEKによる分散結果は、表3からも分かるように、MEKにおいて、分散性、再分散性、凝集性、混練り性の向上が認められた。
第4処理方法について以下に説明する。上記第1処理方法と同様にしてシリカ粉体を反応容器1に装填し、毎分2000〔ml〕の希ガス(He)を希ガス供給管10を介して反応容器1の内部に導入すると共に、他ガスとしてフロロカーボン(スリーエム社 FC431)の1%水溶液をHeガスでバブリング(6mml/分)して他ガス供給管13を介して反応容器内に導入し、接地電極7、高電圧印加電極8及び接地電極9に電圧を印加して、大気圧プラズマ処理を10分間行った。この際に、接地電極7、高電圧印加電極8等の誘電体としてPEを使用し、それら接地電極7、高電圧印加電極8、接地電極9に周波数が24〔kHz〕の交流電圧を印加した。このとき、放電開始電力は、75〔W〕であった。
上記第1の方法と同様に蒸留水、MEKによる分散結果は、表4からも分かるように、MEKにおいて、分散性、再分散性、凝集性、混練り性の向上が認められた。
処理済みシリカ粉体を実施例1と同様に蒸留水、MEKで分散し測定した。表4からも分かるように、MEKに対して分散性、再分散性、凝集性、混練り性の向上が認められた。
第5処理方法について、以下に説明する。上記第1処理方法と同様にして、2〔g〕のカーボンブラック粉体を反応容器1に装填し、毎分2000〔ml〕の希ガス(He)を希ガス供給管10を介して反応容器1の内部に導入し、接地電極7、高電圧印加電極8及び接地電極9に電圧を印加して、大気圧プラズマ処理を10分間行った。この際に、接地電極7、高電圧印加電極8等の誘電体としてPEを使用し、それら接地電極7、高電圧印加電極8、接地電極9に周波数が22〔kHz〕の交流電圧を印加した。このとき、放電開始電力は、75〔W〕であった。
このような測定結果を表5に示す。表5からも分かるように、未処理のカーボンブラックに対し、He処理カーボンブラックは、著しく分散性、再分散性、凝集性、混練り性の向上が認められた。
第6処理方法について、以下に説明する。上記第1処理方法と同様にして、2〔g〕のカーボンブラック粉体を反応容器1に装填し、毎分2000〔ml〕の希ガス(He)を希ガス供給管10を介して反応容器1の内部に導入すると共に、他ガスとしてメタノールをHeガスでバブリング(6mml/分)して他ガス供給管13を介して反応容器内に導入し、接地電極7、高電圧印加電極8及び接地電極9に電圧を印加して、大気圧プラズマ処理を10分間行った。この際に、接地電極7、高電圧印加電極8等の誘電体としてPEを使用し、それら接地電極7、高電圧印加電極8、接地電極9に周波数が22〔kHz〕の交流電圧を印加した。このとき、放電開始電力は、75〔W〕であった。
その処理条件及び処理結果を表6に記載した。
第7処理方法について、以下に説明する。上記第1処理方法と同様にして、2〔g〕のアパタイト粉体を反応容器1に装填し、毎分2000〔ml〕の希ガス(He)を希ガス供給管10を介して反応容器1の内部に導入すると共に、他ガスとしてギ酸をHeガスでバブリング(6mml/分)して他ガス供給管13を介して反応容器1の内部に導入し、接地電極7、高電圧印加電極8及び接地電極9に電圧を印加して、大気圧プラズマ処理を10分間行った。この際に、接地電極7、高電圧印加電極8等の誘電体としてガラスを使用し、それら接地電極7、高電圧印加電極8、接地電極9に周波数が24〔kHz〕の交流電圧を印加した。このとき、放電開始電力は、75〔W〕であった。その処理条件及び処理結果を表7に記載した。
また、接地電極7、高電圧印加電極8等に液体誘電体20を使用することにより、容易にその放電電極部分の拡大が可能になり、しかも安価に製造可能である。しかも、循環冷却装置の併用により、長時間連続処理に対しても放電電極部分の温度が制御でき、安定な放電が持続可能になり、一層応用範囲が広がることが期待できる。
Claims (1)
- 金属電極を誘電体で覆ってなる高電圧印加電極及び接地電極を有する反応容器内に粉体を入れ、前記反応容器内に希ガス及び/又はモノマーガスを含む反応ガスを導入し、前記高電圧印加電極及び接地電極に電力を供給して大気圧下でプラズマ励起し、前記粉体表面を処理する方法であって、反応ガスとして、さらに溶剤ガス、有機酸または無機酸のガス、アルカリ性ガス及び含界面活性剤溶液エーロゾルから選ばれる少なくとも1種の他ガスを用い、前記反応容器内にメッシュを設けるとともに、メッシュ上に粉体を設置し、メッシュ下部よりガスを送入しながらプラズマ処理することを特徴とする大気圧プラズマを利用した粉体表面の処理方法。
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