JP3566928B2

JP3566928B2 - 電子コンポーネントの移送とトラッキングのための方法及び装置

Info

Publication number: JP3566928B2
Application number: JP2000585916A
Authority: JP
Inventors: オンドリセク，ダグラス，エス; ペダーセン，デイビッド，ブイ
Original assignee: フォームファクター，インコーポレイテッド
Priority date: 1998-12-04
Filing date: 1999-12-03
Publication date: 2004-09-15
Anticipated expiration: 2019-12-03
Also published as: EP1135794B1; WO2000033360A1; JP2002531842A; TW460903B; CN1329749A; EP1135794A1; CN1178271C

Description

【０００１】
【発明の分野】
本発明は、概して電子アセンブリ、及びその電子アセンブリを試験することに関する。より具体的には、本発明は、元のウェーハからテストボード、プリント回路基板、及び／又は最終の製品基板までのダイの移送と取り扱いのための方法、及び装置に関する。
【０００２】
【関連技術の詳細】
チップのスケールパッケージング（ｓｃａｌｅｐａｃｋａｇｉｎｇ）のテーマは、何年にもわたり本産業界で研究の興味の中心となってきている。１つの非常に将来性のある技術は、適切な基板上に小さな弾性のある部材を固定し、これらの部材を用いて能動デバイスと他の回路との間で接触を行うことに関係する。マイクロエレクトロニクスに使用されるそのような弾性のある相互接続要素を作ること、及び半導体デバイス上に直接、スプリングコンタクト要素を製造するための方法は、既知である。特に有用な弾性相互接続要素は、電子デバイスに対して一方の端部で固定された自立型のスプリングコンタクト要素からなり、このスプリングコンタクト要素は、電子デバイスから離れて立った状態の自由端を有し、そのため第２の電子デバイスに容易に接触する。例えば、「ＭｅｔｈｏｄｆｏｒＭａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇＥｌｅｃｔｒｉｃａｌＣｏｎｔａｃｔｓ，ＵｓｉｎｇａＳａｃｒｉｆｉｃｉａｌＭｅｍｂｅｒ」と題された米国特許第５，４７６，２１１号を参照されたい。
【０００３】
取り付けられたスプリングコンタクト要素を備える半導体デバイスは、スプリング付き（ｓｐｒｉｎｇｅｄ）半導体デバイスと呼ばれる。スプリング付き半導体デバイスは、２つの主要な方法のうちの１つで相互接続基板に相互接続され得る。それは、スプリングコンタクト要素の自由端を半田付けすること等により、プリント回路基板のような相互接続基板上の対応する端子に永久的に接続され得る。あるいは、それは、端子とスプリングコンタクト要素の接触部分との間で圧力接続が為されるように、相互接続基板に対抗してスプリング付き半導体デバイスをただ単に付勢することにより、可逆的に端子に接続され得る。そのような可逆的圧力接続は、スプリング付き半導体デバイスのための自己ソケット接続（ｓｅｌｆ−ｓｏｃｋｅｔｉｎｇ）として説明できる。スプリングパッケージング（ＭｉｃｒｏＳｐｒｉｎｇ^ＴＭコンタクト）を有する半導体を作ることに関する考察は、１９９８年１１月３日に発行された、「ＭｅｔｈｏｄｏｆＭｏｕｎｔｉｎｇＲｅｓｉｌｉｅｎｔＣｏｎｔａｃｔＳｔｒｕｃｔｕｒｅｓｔｏＳｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒＤｅｖｉｃｅｓ」と題された米国特許第５，８２９，１２８号に見出される。ＭｉｃｒｏＳｐｒｉｎｇ^ＴＭコンタクトを有する半導体を使用して試験することに関する考察は、１９９８年１２月４日に出願され、本発明の譲受人に譲渡された、「ＳｏｃｋｅｔｆｏｒＭａｔｉｎｇｗｉｔｈＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＣｏｍｐｏｎｅｎｔ，ＰａｒｔｉｃｕｌａｒｌｙＳｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒＤｅｖｉｃｅｗｉｔｈＳｐｒｉｎｇＰａｃｋａｇｉｎｇ，ｆｏｒＦｉｘｔｕｒｉｎｇ，Ｔｅｓｔｉｎｇ，Ｂｕｒｎｉｎｇ−ＩｎｏｒＯｐｅｒａｔｉｎｇＳｕｃｈａＣｏｍｐｏｎｅｎｔ」と題する、米国特許出願第０９／２０５，５０２号に開示される。
【０００４】
相互接続基板との圧力接続からスプリング付き半導体デバイスを取り外すという能力は、スプリング付き半導体デバイスを交換する、又はアップグレードするという状況で有用である。スプリング付き半導体デバイスに対して可逆的な接続を行うことにより、非常に有用な目的が簡単に達成される。これは、スプリング付き半導体デバイスをバーンインするために、又はスプリング付き半導体デバイスがその仕様に達するか否かを確認するためにシステムの相互接続基板に対して、一時的に又は永久的に装着するために有用でもある。一般的な提案として、これは、スプリングコンタクト要素と圧力接続を行うことにより達成され得る。このような接触は、接触力などに関して緩い拘束を有する。
【０００５】
典型的な製造プロセスにおいて、ウェーハは、そのウェーハ上の個々のコンポーネントの全体の機能性、又は非機能性を識別するために制限された試験を受けることになる。そして、動作可能な個々の半導体コンポーネント、又はダイは、更にバーンイン試験、及びより総合的な試験のためにパッケージングされる。パッケージングプロセスは、高価であり、時間を浪費する。
【０００６】
相互接続のためにＭｉｃｒｏＳｐｒｉｎｇ^ＴＭコンタクトを用いることにより、依然としてウェーハ上にありながら完全に試験可能なダイが提供される。ダイを試験する好適な方法の１つは、それらを単離し、パッケージングされたデバイスに対して現在実行されているようなほぼ代表的な試験の流れにそれらを通すことである。重要な相違は、ダイがひとたびウェーハから単離されて既にパッケージングされているが、現在の試験装置がそのようなデバイスと共に使用するために適合されていないことである。
【０００７】
これを達成するために、ひとたびチップレベルの素子、又はＩＣダイが、元のウェーハからダイシングされると、それは保持具に配置される。次に、保持具は、例えばバーンイン試験のためのテストボードへダイを移送することができる。ひとたび保持具の全てのダイが検査を通過すれば、保持具を用いてダイを移送し、ダイがプリント回路基板、又は最終の製品基板上へ実装される。
【０００８】
そのような保持具は、ＭｉｃｒｏＳｐｒｉｎｇ^ＴＭコンタクト、又は類似のコンタクトを含むダイにとって、とりわけ有用である。また、そのような保持具は、試験装置、又は適切な接続機構を含む最終製品と接触を行うための従来のダイにとっても有用である。試験装置、又はＭｉｃｒｏＳｐｒｉｎｇ^ＴＭコンタクトを含む最終製品は、とりわけ従来のダイに接続するために有用である。
【０００９】
チップレベルの保持具は、当該技術と比較して幾つかの利点を提供する。第１に、個々のダイが試験され、それが試験に不合格の場合に交換され得る。第２に、チップレベルの保持具は、各個別のダイをトラッキング（追跡）して、監視とトラッキングのための保持具上に関連した情報を格納することができるトラッキング機構に組み込むことができる。第３に、チップレベルの保持具は、多数のダイの取り扱いを容易にし、移送、格納、及び使用の間、ダイとそれらのスプリングコンタクトを保護する。更に、保持具は、被試験ダイ上のスプリングコンタクトが受ける圧縮の量を制限することができ、その圧縮の量は、その後のダイの本来の使用中に許容される圧縮の量よりも小さい。圧縮の量の制限は、試験段階の間、スプリングコンタクトに関する最大の許容可能な圧縮状態を求めるために、設計の決定によって達成され得る。その後、異なる制限が、実際の使用に採用され得る。この特徴により、スプリングの「移動（ｔｒａｖｅｌ）」寿命が増大する。
【００１０】
【発明の概要】
本発明により、元のウェーハから切り取られた後、試験を通して１つ以上の集積回路（ＩＣ）のダイを操作するための装置が提供される。本発明の全体的な実施形態は、移送、試験、及び／又は最終の用途の間に、ダイを支持するために使用される保持具からなる。開口を介して保持具へ配置されるダイは、開口の基部の何らかの部分に沿った棚状部に存在する。ダイのスプリングコンポーネントは開口を通って下方へ伸び、棚状部の下部面を通過し、テストボード、プリント回路基板、又は最終の基板パッケージのコンタクトパッドとの電気的接触を可能にする。ダイは、保持具の上面に結合されたカバー、又は保持具のスナップロックの使用によることを含む種々の方法で、保持具の開口内に固定され得る。１つの有用なカバーは、ダイの裏面の部分を露呈する開口を有する。カバーの開口により、冷却又は加熱ガスの伝達、ダイの物理的な監視、及び識別マークの作成、又はデバイスをトラッキングするためにダイへのアクセスが可能になる。保持具は、試験用のテストボード、又は特定用途のプリント回路基板のいずれかに、格納され、移動し、又は取り付けられることができる。代替として、保持具は最初にボード上に位置決めされ、その後、ダイとカバーを取り付けることができる。
【００１１】
本発明は、添付図面に関して例示のために更に説明される。
【００１２】
【本発明の詳細な説明】
試験、及び最終の用途を通じて、集積回路（ＩＣ）のダイを操作するための方法及び装置が、説明される。ダイをトラッキングするための方法及び装置が開示される。以下の詳細な説明において、多数の具体的な細部が、本発明の理解を通してそれ以上のことを提供するために、記載される。しかしながら、当業者にとって、本発明がこれらの具体的な細部なしに実施され得ることが明らかであろう。他の例において、既知のデバイス、方法、手順、及び個々のコンポーネントは、本発明の態様を不必要に不明瞭にすることのないように、詳細には説明されていない。
【００１３】
本発明は、ＩＣのダイが元のウェーハから切り取られた後、試験を通して、ＩＣのダイを移送し、トラッキングする際に使用するための保持具を提供する。本発明の保持具は、概して試験中にダイを移送し支持するために使用され、ラベル付けされて保持具とその個々のコンポーネントの双方をトラッキングすることを可能にする。本発明の保持具は、半田付けされたスプリングコンタクト、ピンインホール（ｐｉｎ−ｉｎ−ｈｏｌｅ）スプリングコンタクト、又は圧力スプリングコンタクトの何れかを有するダイと共に使用され得る。ひとたび、試験が完了すれば、保持具は移送されてプリント回路基板上に取り付けられ、最終の基板パッケージを形成する。
【００１４】
保持具は、試験又は最終用途の製品とインタフェースするための、ダイと電気的接触を確立するための適切なコンタクト機構を含むスプリングを全く持たないダイと共に使用され得る。１つの好適な試験製品は、この用途の詳細で説明されるシリコン上のスプリングのような弾性のある自立型コンタクト要素を含む。１つの好適な最終用途の製品は、同様のスプリングを含む。
【００１５】
本発明の全般的な実施形態が図１Ａに示される。保持具、又は下部コンポーネント１０を用いて、移送中、試験中、及び／又はダイ１２の最終用途の使用中、ダイ１２を支持する。保持具１０は、一般的にポリマーのような有機材料で作られ、射出成形を用いて形成され得る。１つの好適な実施形態において、エポキシガラス積層材料が、ある大きさに切断され、所望の形状に機械加工される。ダイ１２は開口１４を介して保持具１０へ配置され、ダイ１２は、開口１４の基部の少なくとも一部に並んだ棚状部１８上に存在する。尚、開口１４の壁は、開口１４へのダイ１２の容易な挿入を可能にするために、面取りされることが好ましい。また、ダイは、ダイをパッケージングする前に保持具へ配置されることに留意されたい。即ち、ダイを包囲して保護するパッケージは存在しない。保持具１０において試験をした後、保持具はダイ１２用の最終パッケージの役をする。
【００１６】
ダイ１２のスプリングコンポーネント１６は、開口１４を介して下方へ伸び、テストボード、プリント回路基板、又は最終用途の基板パッケージの何れかのコンタクトパッドと今後の電気的接触を可能にする。スプリングコンポーネント１６は、棚状部１８の下部面を通り越して、開口１４を介して伸びる。スプリングコンポーネント又はスプリングコンタクト１６は、概して細長い弾性の電気接触要素である。かかる弾性の電気接触要素の詳細な説明は、１９９９年２月２日にＥｌｄｒｉｄｇｅ他に発行され、本発明の譲受人に譲渡された、「ＭｅｔｈｏｄｏｆＭａｋｉｎｇＣｏｎｔａｃｔＴｉｐＳｔｒｕｃｔｕｒｅｓ」と題する米国特許第５，８６４，９４６号に見出され、その開示は参照により本明細書に組み込まれる。
【００１７】
高さＨ＝Ｈ１−Ｈ２がスプリングコンポーネント１６の最大圧縮制限を与えることに留意されたい。Ｈ１は、保持具１０の底部からカバー２０の底部までの寸法であり、そのカバー２０は、スプリングが圧縮の状態にある際、ダイの上面の位置にある。Ｈ２はダイの厚みである。考慮に入れる別のファクターは、ある幾何学的配置において、スプリングが、幾つかの接触表面上に持ち上げられた、ひいては開口１４内に入る端子に接触するということである。この例の場合、最大の圧縮の状態にある最小のスプリング長を求める際に、端子の厚みが考慮されなければならない。
【００１８】
言い換えれば、スプリングは、押し縮められて高さＨの長さより長くなることはできない。一般に、特に注目に値する３つのスプリングコンポーネントの高さがあり、それは、１）新しい製品、又は静止高さ（例えば、０．７６ｍｍ（３０ミル））、２）試験用のバーンイン高さ（例えば、０．７１ｍｍ（２８ミル））、３）動作高さ（例えば、０．６４ｍｍ（２５ミル））である。スプリングは、スプリングの寿命を保持するように、即ち、後の動作において最良の性能の弾力を維持するように、試験中にできる限り少なく押し縮められることが好ましい。言い換えれば、スプリングコンポーネントの増大した圧縮は、良好な電気的接触、及び最終動作前の最小限の圧縮を確保するために最終動作に望まれる。
【００１９】
図１Ｂと図１Ｃは、図１Ａの装置の組立分解側面図と組立分解上面図を示す。これらは、対応する開口と共にカバー２０を備える、ダイの２×４の配列を示す。図１Ｄは、本発明の別の好適な実施形態を示す。これは、８個のダイの１×８の配列、保持具１０、カバー２０、及び熱放射要素２０Ａを示す。この組立分解図において、固定ピン８は、組立分解図を示すために、長さにおいて誇張されて示される。実際には、固定ピン８は、ボードに対して固定された保持具１０と共に、保持具１０に対して所定位置にカバー２０を堅固に保持する長さである。
【００２０】
図２Ａと図２Ｂは、保持具１０の上面図を示し、保持具１０の開口１４の実現可能な配列の、２つの例を示す。図２Ａは、それぞれ４つの開口１４の２つの行に配置された８つの開口を有する保持具１０の例図（図１Ａに示される保持具１０の断面図に対応する）である。図２Ｂは、代替の配列であり、この場合、８つの開口１４ａが保持具１０ａに単一の直線的な行で配置される（この上面図は、図１Ａの断面図に直接的に対応しない）。図２Ａと図２Ｂの双方は、直線的な方法で配置された８つの開口１４を有する保持具１０を示すが、これは本発明の必用条件ではないことに留意されたい。代わりに、保持具１０の開口１４の実際の数、位置、及び向きは、多数のファクターによって決まる設計の選択である。
【００２１】
図１Ａに戻って参照すると、カバー（又は、蓋など）２０が保持具１０に結合される。保持具と同様、カバー２０は射出成形を用いて有機材料から形成され得る。１つの好適な実施形態において、カバーはエポキシガラスの積層物から機械加工される。カバーは、熱放散における援助を行うために金属シートで構成することもでき、そのカバー上に取り付けられたフィンのような追加の熱放散コンポーネントを有することができる。カバーは保持要素と考えられる。スナップロック、ボールベアリング、リテーナ、単一棒などのような任意の保持要素が、保持具内でダイを固定するためにカバーに加えて使用され得ることに留意されたい。かかる保持要素は、ダイが保持具に配置される際にダイの裏面の部分に機械的に接触するように、一般に配置される。
【００２２】
カバー２０は２つの主要な機能に役立つ。第１に、移送中、カバー２０を用いて保持具１０の開口１４にダイ１２を固定する。第２に、ダイ１２が試験中、又は使用中に圧縮状態にある際、カバー２０がダイ１２の裏面に対抗する抗力を提供する。この圧縮力は、ダイ１２と、テストボード３０（図５参照）のような下に横たわる基板とに対抗して押すスプリングの力から生じる。カバー２０が、幾つかの機械的結合法の任意の１つで保持具１０に結合され得る。図１Ａには、スナップシェル（ｓｎａｐｓｈｅｌｌ）２２Ｂとスナップヘッド（ｓｎａｐｈｅａｄ）２２Ａが示される。スナップヘッド２２Ａはリベット２２によってカバー２０に固定される。しかしながら、ナットとボルト、又はクランプを用いることもできる。図５と図６Ｂは、２つのコンポーネントを互いに固定するためにスナップロックの変形物を用いた別の代替の実施形態の例図を含む。保持具１０とカバー２０を結合する方法は、本発明の大部分（全てではない）の例において有用である一時的な接続である点を保証すること以外に重要ではない。一時的な接続により、カバー２０が、いつか将来に取られることを可能にし、例えば、試験後又は使用後に、ダイ１２を取り除く、又は特定のダイ１２を取り除いて交換することが可能になり、又はカバー２０自体を交換することが可能になる。
【００２３】
カバー２０は、ダイ１２の裏面の部分を露呈する開口２４を含むこともできる。図１Ａにおいて、ダイ１２と保持具の開口１４の双方の中心の上にほぼ位置するように配置されたダイ１２の裏面の大部分を露呈する単一の開口２４が、示される。図３Ａは、ダイ１２のそれぞれの上に位置決めされた長方形の開口２４を示す、カバー２０の上面図を提供する。しかしながら、開口２４は、長方形であるか、又は各ダイ上の個々のものである必用はない。例えば、図３Ｂは、カバー２０ａの実施可能な代替の１つの実施形態を示し、この場合、保持具１０におけるダイ１２のそれぞれの上に２つの楕円形の開口２４ａがある。
【００２４】
カバー２０は開口を有する必用はなく、材料の連続したシートとすることができるけれども、開口は本発明の保持具に幾つかの利点を提供する。第１に、開口２４により、温度制御されたガスがダイ１２の裏面へ直接的に供給されることを可能にする。バーンイン試験中、一定の所望の温度を維持する際に、温度制御されたガスが補助する。主として、これにより、ダイ１２の温度が修正されることを可能にし、そのため性能が、異なる動作温度で評価され得る。試験目的のために必用に応じて、高温のガスがダイ１２の裏面へ直接的に供給され得る。第２に、開口２４により、追加の結合が被試験ダイに行えることを可能にする。例えば、熱電対を用いて、各ダイの温度を監視する、又は他のカップリングを用いて、試験中、又は動作中に抵抗等の測定値を得ることができる。第３に、開口２４は、必用に応じて付加されることになる識別マークＩＤ（図１３参照）を与える各ダイ１２の裏面へのアクセスを、提供する。例えば、ダイ１２は、試験の不合格を示すためにインクドットでマークキングされ得る。部品は、速度の等級分けを直接的にマーキングするような試験の結果を示すためにマーキングされ得る。メーカ、ロット番号などのような製品識別情報も、付加され得る。更に、バーコード、又は他の機械読み取り可能なコードが、各ダイ１２のトラッキングに備えて、各ダイの裏面に印刷されることが可能であり、又はコードと共に磁気ストリップがダイ上に配置され得る（より詳細に関しては、以下のトラッキングの説明を参照）。
【００２５】
図１Ａに戻って参照すると、スナップを用いて保持具１０とカバー２０を結合し、そのスナップが立上がり２６を提供することにも貢献する。１つの好適な例において、立上がり２６は、スナップ２２Ｂを保持具１０に固定する留め具の一部である。立上がりは、ハウジング１０の中へ設計されることができ、又は別な方法でハウジング１０に固定され得る。
【００２６】
立上がり２６が保持具１０の基部からスプリングコンポーネント１６よりもさらに下へ伸び、移送中、保管中、又は操作中にスプリングコンポーネント１６を保護することに貢献する。例えば、保持具１０が試験に先立って平らな面上に置かれる場合、立上がり２６により、スプリングコンポーネント１６が押し縮められることが防止される。図１Ａに示したようなスナップとリベット２２以外の、保持具１０とカバー２０を結合する方法を用いる場合、例えば、２つのコンポーネントを通る全行程に伸びていないネジを使用する、又はスナップロックを使用する場合、製造工程の間に、立上がりが保持具に付加される、又は保持具の一部として製造され得る。図４は、スナップロックを使用して保持具とカバーを結合する場合、スプリングを保護するために、そのような製造された立上がりの使用を示す。
【００２７】
立上がりは、ボードの上へ保持具を正確に位置決めする際に補助することにより、非常に重要な第２の機能も提供する。図５に示されるように、試験中、保持具１０は、テストボード３０上に装着される。スプリングコンポーネント１６は、テストボード３０上のコンタクトパッド３１と接触するように配置される。保持具１０がテストボード３０上に装着される場合、それゆえに各スプリングコンポーネント１６が整列されてボード３０上のコンタクトパッド３１と接触することを保証することが重要である。これを達成するために、テストボード３０の位置決め穴３２が、立上がり２６と連係して働く。このようにして、保持具１０がボード３０に装着されて、立上がり２６が位置決め穴３２内にある場合、スプリングコンポーネント１６は、ボード３０の上面のコンタクトパッド３１と接触する。図５の実施形態の場合、テストボード３０は、ダイの最終パッケージの部分である最終基板上の穴よりも浅い穴３２を有する。このように、スプリングが、試験の場合に最終の使用の場合に比べてより少なく押し縮められる。図２Ａと図２Ｂに明らかなように、１つの好適な実施形態において、ただ１つの正確なアライメント及び嵌合を可能にするように、３つ以上の位置決め穴、及び対応する立上がりが使用される。図２Ａと図２Ｂには、３つの立上がりだけが示されるが、必用に応じてさらに多くの立上がりが容易に追加され得ることに留意されたい。図１Ｂと図１Ｃに示された、特に好適な実施形態において、２つのオフセットした位置決め穴は、ピンを位置合わせするのに十分である。アライメントピン１３が、ボード３０の一方の側でボルスタプレート１１に固定される。保持具とカバーの穴１５は、アライメントピン１３とアライメントがとられる。適度なオフセットにより、オペレータが保持具を正確に位置合わせすることが容易である。保持具が対向するアライメントピンに挿入され得るが、保持具は固定具と明らかにアライメントがとれていなく（ｏｆｆ−ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）、従って正確にアライメントを設定することが容易である。
【００２８】
図１Ｅは、スロット内の９つの保持具と１つの空いたスロットを備えた状態の標準規格のＪＥＤＥＣトレイ示す。１つの保持具１０がトレイへ挿入される準備が整っていることが示される。
【００２９】
立上がりの使用が好適であるが、本発明は立上がりと共に使用する事に制限されない。例えば、図６Ａと図６Ｂに示されるように、シム６０を用いてスプリングコンポーネントが最大限界まで押し縮められることを防止することができる。ダイの使用中ではなく、試験中にシムを用いて、使用中に比べて試験中にスプリングが少なく押し縮められることを可能にする。立ち上がりの代わりにシム６０を用いる場合、ボード上に装着される際に保持具の位置決めと整列において補助するための代替の手段が必要である。例えば、スプリットビーム光学装置のような標準のアライメント技術を用いて、スプリングと端子の位置を特定し、精密なアライメントでそれらを互いに導く。
【００３０】
本発明の第２の実施形態が図７に示される。この第２の実施形態において、保持具７０は、開口７６に並んだ第１の棚状部７２と第２の棚状部７４の双方を有する。ダイ１２は開口７６を介して降ろされ、第１の棚状部７２により支持される。カバー７８は、開口７６へ下がって嵌合し第２の棚状部７４に当接する拡張コンポーネント７９を有する。このようにして、コンポーネント７９は保持具７０中のダイ１２を固定するのに役立ち、ダイ１２のスプリングコンタクトに対抗して作用する圧縮力に対する抗力を提供する。しかしながら、この実施形態は、実際の第２の棚状部が必用とされず、代わりに拡張コンポーネント７９がダイ１２の裏面に当接するように、更に修正され得ることに留意されたい。本発明の一実施形態において、異なる高さを備えた拡張コンポーネントを有する異なる突出部を用いて、スプリングが使用の場合に比べて試験の場合に少なく押し縮められることを可能にする。
【００３１】
本発明の第３の実施形態が図８に示される。図８は、カバーを備えていない保持具だけを有する運搬装置を示す。代わりに、保持具８０は、開口８４内にダイ１２を固定するスプリングロック８２を有する。スプリングロックは、保持具に結合されたリテーナの形態である。ダイ１２が開口８４内へ降ろされて、スプリングロックが広がり、ダイ１２の通過を可能にする。ひとたび、ダイ１２が開口８４内へ完全に降ろされると、スプリングロック８２がそれらの元の位置に戻り、ダイ１２をロックする。スプリングロックは、ハンドリング装置により「開」位置に保持されることができ、保持具内へのダイの容易な通路を与え、そして「閉」位置に移動してダイを所定位置に維持する。本発明のこの実施形態は、製造工程の幾つかのステップと部品を無くすという点で好都合である。しかしながら、ダイ１２の裏面が完全に支持されていないので、圧縮力が作用した時、シリコンダイ１２は変形や損傷を受けやすい。テストダイの特定の選択、ダイの寸法、スプリングの力、材料の強度などは、任意の用途に対するこの設計の適応性に影響を及ぼすであろう。
【００３２】
いったん異なる実施形態のそれぞれがボード上に配置されると、（保持具、ダイ、及びカバーからなる）保持具モジュールは、ボードに堅固に結合されなければならない。この結合は、幾つかの方法の任意の１つで達成され得る。多くの好適な実施形態において、結合は、保持具モジュールが解放されたり移動したりできるように、永久的ではない。単一の保持具、及び複数の保持具の双方が、ボード上に装着され得ることに留意されたい。
【００３３】
保持具モジュールをボードに結合するための１つの好適な実施形態は、図９Ａに示されたようなクラムシェルである。支持体９０がボードの一端にある。ヒンジ付きアーム９２が、支持体９０から保持具モジュール９４の裏面を横切って伸びている。ひとたび保持具モジュールがボード３０上に配置されると、アーム９２は、それが保持具モジュール９４の裏面を横切って横たえるように下げられる。ひとたびアーム９２が下げられると、それは、保持具モジュール９４の反対側にあって受容スナップロック９８を有してアーム９２を堅固に保持する第２の支持アーム９６とパッチンばめされる。保持具モジュール９４に関連しているアーム９２のサイズ、及び使用されるそのようなアームの数は、保持具モジュール９４の主にサイズに依存した単なる設計の決定である。ほんの１つの例として、１つのアーム９２が単一の保持具モジュール９４を固定できる一方で、異なるアーム９２が幾つかの保持具モジュールを固定できる。
【００３４】
図９Ｂを参照すると、ヒンジ付きカバーがロードボード（ｌｏａｄｂｏａｒｄ）に対向する位置にダイを固定する。ハウジング９１は、ダイ１２用の開口を含み、例えば、図７に関連して詳細に上述した保持具の非常に類似した構造を含む。上部９２Ａは、ハウジング９１に対して回転して接続されるように蝶着される。開の位置において、ダイ１２を挿入することは容易である。閉の位置において、上部９２Ａはダイ１２を固定することに役立つ。それは、ラッチ９３により、閉位置に固定され得る。ハウジング９１は、ボード３０の反対側からネジ（図示せず）によるような、永久的又は半永久的な態様でボード３０に取り付けられ得る。これは、早い調査段階時のような、制限された数量のダイを試験するために特に有用である。
【００３５】
図９Ｃは保持具をボードに固定する別の方法を示す。各支柱９０Ｂがアーム９２Ｂを支持し、そのアーム９２Ｂはボード３０に保持具を固定するために保持具に対して枢軸で旋回する。アーム９２Ｂは、ねじりばね（図示せず）からの応力がかかり、保持具に対抗する圧力を維持する。このばねの力は、保持具を所定位置に保つには十分であるが、オペレータがこの力に対して打ち勝つことができ、ボード上で保持具を位置決めすることができる。
【００３６】
図１０に示されるように、保持具モジュール１０４が、最初にボード３０上に位置決めされ／装着されていないことが明らかである。代わりに、一実施形態において、保持具モジュール１０４がアーム１０２自体に（再び何らかの永久的でない機械的手段により）装着され、保持具モジュール１０４がボード３０に対して正確な位置となるまで下げられ、アーム１０２がパッチンばめされて、第２の支持体１０６のスナップロック１０８により堅固に保持される。
【００３７】
上述した第３の実施形態、及び図８に示した（即ち、ダイを固定するためにカバーではなくてスナップロックを用いる保持具）と共に、上述した設計に対する修正案を用いることができる。図１１には、開口８４へ嵌合する拡張コンポーネント１１５を備えるアーム１１２が示される。これらの拡張コンポーネント１１５は、ダイに圧縮力がかかっている際に必用とされる支持と抗力を提供し、ダイが変形により損傷するのを防止する。前述のクラムシェルと同様に、アーム１１２は、それがパッチンばめされるまで下げられ、第２の支持体１１６のスナップロック１１８により堅固に保持される。
【００３８】
保持具モジュールがテストボードに装着される際にランディングパッド（又はコンタクトパッド）を横切って拭う動作を、スプリングコンタクトが行えるようにする別の特徴が、本発明の種々の実施形態に組み込まれ得る。２つの電子コンポーネント間で接続を行う際、一方が他方と摺動接触するように、一方が他方に対して移動することは、好都合である場合が多い。これは、良好な電気接続を妨害するクズ（ごみ）を取り除くことに貢献する。従って、半田付けされるスプリングとの拭う動作を、試験中に可能にする能力は、かなりのメリットである。
【００３９】
試験中、拭う動作は、一般にスプリングの圧力接続により本質的に提供されるが、半田付け接続用のスプリングによって提供される必用はない。圧力接続のスプリングの好適なスプリング形状は、支持基板の方へ（基板がＸＹ平面にある場合、Ｚ軸で）直接的に向かうスプリングの圧縮力により、スプリングの接触領域が横方向、即ちＸＹ成分を備える横方向に移動されるような、幾何学的形状を含む。これは、一般にほぼ平面である端子の面を横切る拭う動作となる。半田付け接続のスプリング、又はピンインホール接続用のスプリングの好適なスプリング形状は、圧縮力と同時に、ＸＹ方向にほとんど又は全然動かないものである。
【００４０】
拭う動作を達成する１つの方法が、図１２Ａに示される。この実施形態において、ボード１２０上の位置決め穴１２２は、傾斜した前面エッジ１２４を有するように、わずかに修正されている。保持具モジュール１２６が位置決め穴１２２の前面エッジ上に配置されて適所に降ろされる場合、立上がり１２８は、傾斜した前面エッジ１２４を滑り降り、位置決め穴１２４の安定した受けに達する。保持具モジュール１２６のこの滑り動作により、コンタクトスプリングがボード１２０上のコンタクトパッドを横切って拭う。拭う動作は、コンタクトスプリングとコンタクトパッド間に良好な最終の電気接続を結果としてもたらす。
【００４１】
代替の実施形態（図示せず）は、ボードに対して保持具の並進運動を可能にするパターンをボードの平面に実質的に備えた、異なる位置決め穴を有する。保持具がボードと接触させられる際、保持具は位置決め穴内に移動し、拭う動作を行う。保持具を位置決めするためにハンドラを用いる場合、ローディング（組付け）工程の一部として、横方向の移動をプログラムすることは簡単である。
【００４２】
これまで、考察は、ダイがスプリングを含んでいるダイ用の保持具に集中してきた。しかしながら、同じ原理は、テストボード、又は最終パッケージング装置がスプリング付きのエレメントを含んでいる装置及び方法に対して、都合良く適用される。図１２Ｂと図１２Ｃを参照し、図１Ｂ及び図１Ｃと比較すると、ロードボード３０Ａは、スプリングを備えて準備され得る。かかるボード上でスプリングを位置決めするための１つの好適な方法は、「ＳｏｃｋｅｔｓｆｏｒＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＣｏｍｐｏｎｅｎｔｓａｎｄＭｅｔｈｏｄｓｏｆＣｏｎｎｅｃｔｉｎｇｔｏＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＣｏｍｐｏｎｅｎｔｓ」と題された、米国特許第５，７７２，４５１号に詳細に説明されている。この特許は、弾性のあるコンタクトを適切な基板に固定することを説明する。基板は、スプリングの反対側に半田ボールのようなコンタクトを含むことができ、そして次にプリント回路基板のような基板上の端子に接続するために、再度流される（ｒｅｆｌｏｗ）ことができる。図示のように、ここで、かかるコンポーネントを用いて、基板１２５がスプリング１２７を備えて準備され、半導体ダイ上のコンタクト端子に位置決めされる。一実施形態は、スプリング１２７の反対側に基板１２５の面上に半田ボール１２３を位置決めする。半田ボールはボード上の端子に、例えば再度流されることにより、固定され得る。スプリングは、試験、又はダイの他の動作のためにダイと接触させることができる。要望に応じて、基板１２５は、交換、修理、又は他の目的のためにボードから取り除くことができる。立上がり２６は高さにおいて増大され、試験中に正確なスプリング張力を設定する。それに対応して、類似の保持具が最終製品に用いられるべきである場合、図１２Ｂに示したようなスプリング接続が、適正な接続のための適切な立上がりを用いて、行われることができる。
【００４３】
ダイが保持具に配置され、概して本開示において説明されたように、管理され得る。このようにして、スプリングのない従来のダイが、スプリングを備えるダイに関して上述したのと全く同じ方法で、操作され、試験され、使用され得る。
【００４４】
本発明は、デバイスのトラッキングの利用を通じて、更に改良され得る。例えば、図１３Ａに示されるように、トラッキング機構が保持具１３０に追加され得る。必用に応じて、識別マークＩＤが、保持具１３０内にあるダイ１２の裏面に与えられる。保持具をトラッキングする、及び内部に支持されたダイの履歴を任意の時間で知るための能力は、従来技術より優れた幾つかの利点を提供する。保持具上にトラッキングラベルを配置し、保持具に対して追加、及び／又は除去される各ダイに関連した情報を記録することにより、任意の時間でユーザがダイ上の情報にアクセスでき、その情報は、特定のウェハがどこから来たか、及び特定のメーカでさえも含まれているウェハの固有の製造ロットを含む。トラッキング能力はウェハレベルで存在しているが、かかる能力は、現在、ダイレベルで利用できない。しかしながら、本発明の保持具上にトラッキングラベルを配置することにより、ダイレベルで情報が維持され得る。
【００４５】
図１３Ｂに示すように、トラッキングラベルは、カバーが所定位置にあるときでさえも目に見えるように、保持具の側に配置されることが好都合である。更に、ほんの１つの代替の方法として、保持具は、ＥＥＰＲＯＭのようなプログラマブルデバイスを装着し得る。ＥＥＰＲＯＭへの接続は、図１３Ｂに示される。
【００４６】
最初に、トラッキングラベル又は識別コードが保持具に与えられる（図１４のフローチャートを参照）。しかしながら、トラッキングラベルは、保持具にダイが装填された後に、保持具に与えられ得ることに留意されたい。ウェハがダイシングされる。各ダイが保持具へ装填される際、そのダイに関連する情報が保持具上のトラッキングラベルに格納される。その情報には、これに制限されないけれども、ダイが作成された特定のウェハを識別する情報、ウェハの特定ロットにおける特定の半導体ウェハを識別する情報、ウェハが作成された特定のウェハの処理ロットを識別する情報、及びウェハ上のダイの位置が含まれる。トラッキングラベルは、磁気媒体又は半導体メモリデバイスのような、保持器上のメモリデバイスに格納されたコード、又はバーコードからなる。
【００４７】
この工程は、特に好適な実施形態において、極めて有力である。ウェハのプロービングがいつものように実行される。基本的な試験でさえも不合格な部品が記録される。修正に適しているデバイスの場合、この時点で部品は修正され得る。例えば、多くのメモリデバイスが冗長なサブユニットを用いて製造される。予備の試験が、合格か、又は不合格であるサブユニットを識別し、自動式の装置により、デバイスが全体として正確に機能するような適切な機能ユニットのグループが、選択され得る。単に故障を記録することから、どのデバイスのどのユニットが動作可能であるかの細密な記録、及び製造に有用である任意の他の情報までのたくさんの情報が、これらの部品上でトラッキングされ得る。ほんの１つの更なる例として、多くの製造状況において、テストエレメントが半導体ウェハの別の使用されない部分に製造される。かかる領域は、けがき線領域、又はウェハの端部近くの使用されない部分を含む。これらのテストユニットに関する情報は、ウェハ上で探索されるデバイスに関する情報と共に、データベースに維持され得る。
【００４８】
半導体の製造におけるバラエティに富んだ工程ステップは、ウェハの種々の領域においてある程度の変動性を有しやすい。かかる変動を最小限にするために最大の注意が払われているが、ウェハの異なる領域におけるある程度の部分については、わずかに異なる可能性がある。ウェハから分離され、試験及び他の使用にさらされるような個々のダイの識別性（アイデンティティ）をトラッキングすることにより、任意のダイ、並びにウェハの任意の領域に関するその隣接領域に対する任意の所望の試験の結果を示すウェハマップが、再現され得る。ウェハのロットに関する変動が検出され、同様に評価され得る。これまで、トラッキングは、いくらよくみても極めて困難であったので、部品の識別性は、複雑な大量生産環境においては、ひたすら非常に困難で監視できなくなる。
【００４９】
この情報は、製造における工程を実行するために非常に価値のあるものとなり得る。試験から収集された情報は、実行可能になり次第、製造フロアで利用可能になる。自動式のシステムにおいて、限界点（閾値）が設定されて、仕様から外れた状態になる工程に対して警報を起動することができ、工場のフロアに即時に知らされ得る。現在のシステムを用いている場合、このフィードバックシステムには少なくとも２つの大きなメリットがある。第１に、ウェハがダイシングの後、ほぼ即座に試験され得るので、製造から解放されてから第１の試験結果を得るまでの遅延が最小限となる。これは、ほんの数時間で行うことができるが、少ない数の日数となることも多々あるであろう。しかし、これは、現在の工程で消費される最短の幾つかの日数、及び通常の数週間と比較されている。第２の大きな利点は、各ダイの識別性をトラッキングすることによりウェハマップが再現され得ることである。試験結果がウェハ上の位置に関連する変動の種類を示す場合、この情報は、工程が製造中にウェハの全領域に不変であることを確かめる際に製造フロアに非常に価値のあるものとなり得る。迅速な時間応答（高速フィードバックループ）は、１回の操業の初期のサンプルを評価することができ、同じ操業の後続のロットがしかるべき場合に修正され得るという点で、ここでとりわけ有用である。
【００５０】
好適な実施形態を参照すると、試験して最初のデバイスが修復された後、自動式の装置がウェハをダイシングする。ハンドリング装置が選択されたダイを保持具へ配置する。特定のウェハ上における特定のダイに関する特定の位置についての情報が、製造データベースにおいてのように、トラッキングされる。例えば、８個のダイのグループが、図２Ａの保持具へ装填され得る。保持具内の一意の位置をトラッキングすることによることは、保持具のＩＤ情報、及び保持具内の各ダイの位置をトラッキングするための製造データベースにとっては十分である。
【００５１】
上述したように、保持具は多くの方法でマーキングされ得る。１つの特に好適なマーキングは、カバーが保持具の上にある場合でさえも自動式のハンドリング装置により、及びオペレータにより読み取り可能な位置に、保持具の面に沿って印刷されたバーコード又は他の機械読み取り可能なコードを備える。別の特に好適なマーキングは、保持具にＥＥＰＲＯＭデバイスを含む。自動式のハンドリング装置がキー情報をＥＥＰＲＯＭへ入力できる。その装置はＥＥＰＲＯＭから情報を読み出すこともできる。これは、製造データベースに結合された一意の識別コードと同じように取り扱いやすい。
【００５２】
保持具のグループがトレイに配置され得る。トレイは保持具とほぼ同じの方法でマーキングされ得る。より高次の編成は、カート内のトレイのグループを編成する場合と同様に、極めて実用的である。保持具のダイの数、及び部品のサイズに応じて、ウェハは、例えば約５〜１０の小さい数のトレイ中の保持具を満たすダイへと単一化され得る。１回の生産操業の規模に応じて、例えば２５枚のウェハのロットは、約１２５〜２５０個のトレイを占有する。
【００５３】
図１３Ｃを参照すると、トレイ１３０は、各々保持具に対応できる一連の溝１３１を装備する。トレイ１３０の前面エッジは、ラベル１３２を含む。トレイは、ＥＥＰＲＯＭがふさわしいプログラマブルデバイス１３４を、自動式のハンドリング装置が接触するために容易にアクセス可能な接続部１３３で支持する。このように、ラベルは、要望に応じて、人間のオペレータのガイドとなり、機械走査可能である。プログラマブルの接続部は、電子トラッキングデバイスにアクセス可能である。
【００５４】
識別マークは、各ダイ自体にも与えられることができる。一般に、かかる識別マークは、ダイが保持具へ装填された後に、ダイの裏面（スプリングコンタクトの反対の面）に付けられる。この場合、マークは保持具の開口を介して与えられ、又はダイが保持具へ配置される前に与えられ得る。ダイ上の識別マークは、連続した試験の合格又は不合格、一意又は幾分一意の識別番号、その特定のダイの履歴に関連するより多くの特定の情報を保持するバーコード、又は他の有用な情報を示すインクドットからなることができる。ほんの一例として、ロットの一連のダイは、逐次の一意の識別情報で表記され得る。独立したロットは同じ識別情報を用いることができるが、工場内の時間、外部の保持具の何らかの位置などの他の手段により、最初のロットと区別され得る。特定の例として、１６ビットの情報を用いてロット内のダイをトラッキングでき、ある数のより高次のビットを用いて、製品のより大きいグループを識別できる。
【００５５】
本発明の装置は、種々の態様でまとめられ、使用され得る（例えば、図１５のフローチャート参照）。例えば、ダイが保持具へ装填され、保持要素により保持具内に固定され、保持具モジュールを形成する。この保持具モジュールはボード上で位置決めされて、例えばクランプにより下へと固定される。代替として、保持具モジュールは、クランプ又は結合機構に装着され、それが固定／ロックされるようにボード上に配置され得る。或いは、保持具が最初にボード上に装着され、引き続いてダイが内部に装填されて固定される。保持具モジュールを集める（ｃｏｍｐｉｌａｔｉｏｎ）こと、及びテストボード又は最終の基板パッケージ上にそれを装着することに続くステップに対する他の変形案が存在する。本発明の集めることに続く特定の一連のステップは、本発明には必用ではない。
【図面の簡単な説明】
【図１Ａ】保持具内にダイを固定するカバーでダイを支持する保持具を含む、本発明の保持具モジュールの断面図である。
【図１Ｂ】本発明の特に好適な実施形態の１つを示す図である。
【図１Ｃ】本発明の特に好適な実施形態の１つを示す図である。
【図１Ｄ】本発明の特に好適な別の実施形態を示す図である。
【図１Ｅ】９つの保持具を収容しており、トレイに追加されるべき１０番目の保持具が配置される状態である、ＪＥＤＥＣトレイを示す図である。
【図２Ａ】本発明の保持具の、一実施形態の上面図である。
【図２Ｂ】本発明の保持具の、第２の実施形態の上面図である。
【図３Ａ】内部に穴を有する、本発明によるカバーの一実施形態の上面図である。
【図３Ｂ】内部に穴を有する、本発明によるカバーの第２の実施形態の上面図である。
【図４】保持具にスナップロックされたカバーでダイを支持し、その保持具内に前記ダイを固定する保持具を含む、本発明による保持具モジュールの代替の実施形態の断面図である。
【図５】立上がりを用いてテストボード上に取り付けられた、図１Ａに示された本発明の実施形態の断面図である。
【図６Ａ】シムを用いてテストボード上に取り付けられた本発明の代替の実施形態の断面図である。
【図６Ｂ】シムを用いてテストボード上に取り付けられた本発明の代替の実施形態の断面図である。
【図７】保持具が各開口内に２つの棚状部を有し、カバーが、保持具内にダイを固定するために開口内へと下に伸びている追加のコンポーネントを有する、本発明の別の実施形態の断面図である。
【図８】保持具自体が、カバーの代わりにスナップロックの使用によって所定位置にダイを固定する、本発明の代替の実施形態の断面図である。
【図９Ａ】ボードの裏面を横切るアームを下げることにより、ボードに対して本発明の保持具モジュールをクランプする方法を示す断面図である。
【図９Ｂ】保持具がスプリング式の保持アームにより、ロードボードに固定される、本発明の別の実施形態の断面図である。
【図９Ｃ】保持具が、ばねの力がかかったネジ付きボルトにより、ロードボードに固定される、本発明の別の実施形態の断面図である。
【図９Ｄ】本発明の特に好適な実施形態の１つを示す図である。
【図１０】保持具モジュールが最初にアームに取り付けられ、次にボード上の位置へと下げられる、保持具モジュールをボードに取り付ける代替の方法を示す断面図である。
【図１１】図８に示された保持具モジュールをボードに取り付ける方法を示す、断面図である。
【図１２Ａ】保持具モジュールが適所へ滑り込み、ボード上の対応するコンタクトパッドを横切るダイのコンタクトスプリングによって拭う動作を生じるように、ボード上の位置決め穴が傾斜した前面エッジを有する、本発明の保持具モジュールの断面図である。
【図１２Ｂ】スプリング、対応する保持具、カバー及びダイを含む、テストボードの側面図である。
【図１２Ｃ】スプリング、対応する保持具、カバー及びダイを含む、テストボードの上面図である。
【図１３Ａ】保持具上にトラッキングラベルと、ダイ上に識別マークを更に含む、本発明の保持具の上面図である。
【図１３Ｂ】保持具上にトラッキングラベルと、電子記憶デバイスへの接続部を更に含む、本発明の保持具の端面図である。
【図１３Ｃ】複数の保持具用のトレイを示す斜視図である。
【図１４】保持具、及び／又は個々のダイを、製造、移送、及び最終の使用状態を通してトラッキングすることに関係するステップを示す、フローチャートである。
【図１５】製造し、そして本発明を利用することに関係するステップを示す、フローチャートである。

Claims

それぞれが少なくとも１つの傾斜した側壁を含む位置決め穴、及び複数のパッドを含むテストベッドと、
開口と、前記開口の少なくとも一部に並ぶ棚状部と、前記位置決め穴に対応する立ち上がりとを含む保持具であって、前記立ち上がりが、前記位置決め穴に完全に配置される前に前記傾斜した側壁と相互作用し、その結果、相互接続される要素が前記テストベッドのパッドを拭うように係合する、保持具と、
複数の細長い弾性のある相互接続要素を含むパッケージングされていない半導体ダイであって、そのダイは、前記相互接続要素が前記開口を通って前記保持具の外部に延びて前記パッドと電気接触するように、前記保持具内の前記棚状部の上に配置される、パッケージングされていない半導体ダイと、及び
前記保持具内の前記ダイを保持するためのカバーとからなる、装置。
前記保持具と前記カバーの双方が有機材料からなる、請求項１の装置。
前記保持具が有機材料からなり、前記カバーが金属材料からなる、請求項１の装置。
前記カバーが伝熱媒体を更に含む、請求項１の装置。
前記保持具が、複数の機械的コンポーネントにより、前記カバーに結合される、請求項１の装置。
前記機械的コンポーネントが、ネジ、ボルト、スナップ、スナップロック、及びクランプの少なくとも１つを含む、請求項５の装置。
前記保持具が、８つの前記開口を有する、請求項１の装置。
前記８つの開口が、単一の行で配置される、請求項７の装置。
前記８つの開口が、４つの開口からなる２つの行で配置される、請求項７の装置。
最初に前記保持具を前記テストベッドに一時的に固定し、次いで最終用途の基板に前記保持具を固定するための固定手段を更に含む、請求項１の装置。
前記最終用途の基板が、プリント回路基板からなる、請求項１０の装置。
前記固定手段は、前記保持具を前記最終用途の基板に固定する間に前記相互接続要素を圧縮する量に比べて、前記テストベッドに前記保持具を一時的に固定する間に前記相互接続要素を圧縮する量が少ない、請求項１０の装置。
前記カバーが開口を含む、請求項１の装置。
前記カバーが複数の前記開口を含む、請求項１３の装置。
前記ダイが、前記カバーの前記開口を介して前記保持具の外部からアクセス可能なトラッキング機構を含む、請求項１３の装置。
前記トラッキング機構がトラッキングラベルを含む、請求項１５の装置。
前記トラッキング機構がEEPROMを含む、請求項１５の装置。
前記トラッキング機構が機械読み取り可能なコードを含む、請求項１５の装置。
複数の前記ダイを更に含む、請求項１の装置。
前記保持具に複数の前記開口を更に含む、請求項１９の装置。
前記トラッキング機構が識別ラベルを含む、請求項１９の装置。
前記識別ラベルがインクドットからなる、請求項２１の装置。
複数の単一化された半導体ダイをテスト中に保持するための保持具手段であって、その保持具手段が複数の開口、及び前記複数の開口のそれぞれの少なくとも一部に並ぶ少なくとも１つの棚状部を有する、保持具手段と、
それぞれが複数の細長い弾性のある相互接続要素を有するパッケージングされていない複数の半導体ダイであって、前記ダイのそれぞれは、前記ダイのそれぞれの前記相互接続要素が前記開口を通って前記保持具手段の外部に延びるように、前記保持具手段内の前記少なくとも１つの棚状部の上に配置される、パッケージングされていない複数の半導体ダイと、
前記ダイを前記保持具手段内に保持するための保持手段と、
傾斜した部分を有する基板上に前記保持具手段を配置するための位置決め手段であって、前記位置決め手段が前記基板上に完全に配置される前に前記位置決め手段が前記基板の前記傾斜した部分と相互作用する際に、前記相互接続要素が前記基板上のコンタクトパッドを横切って拭うようになっている、位置決め手段と、及び
前記相互接続要素が前記基板上のコンタクトパッドに対して圧縮されることにより、前記コンタクトパッドと電気接触するように、前記保持具手段を前記基板に固定するための固定手段とからなる、装置。
前記基板が、前記複数のダイをテストするためのテストベッド、及び最終用途の基板のうちの１つである、請求項２３の装置。
前記固定手段は、前記保持具手段を前記最終用途の基板に固定する間に前記相互接続要素を圧縮する量に比べて、前記テストベッドに前記保持具手段を固定する間に前記相互接続要素を圧縮する量が少ない、請求項２４の装置。
前記固定手段がスナップロックを含む、請求項２３の装置。
前記固定手段がカバーを含む、請求項２３の装置。
前記カバーが少なくとも１つの開口を含む、請求項２７の装置。
前記ダイのそれぞれが、前記カバーの前記少なくとも１つの開口を介して外側からアクセス可能なトラッキング機構を含む、請求項２８の装置。