JP3560631B2

JP3560631B2 - Water treatment equipment

Info

Publication number: JP3560631B2
Application number: JP03497694A
Authority: JP
Inventors: 雅彦木暮; 泉里小島; 嗣阿部
Original assignee: Nomura Micro Science Co Ltd
Current assignee: Nomura Micro Science Co Ltd
Priority date: 1994-03-04
Filing date: 1994-03-04
Publication date: 2004-09-02
Anticipated expiration: 2019-09-02
Also published as: JPH07241598A

Description

【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、水中の有機物を除去する水処理装置に係り、特に純水・超純水製造に好適な水処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体製造においては、洗浄工程で著しく純度の高い純水・超純水が必要とされ、この純水・超純水を製造するために多くの研究がなされている。
【０００３】
純水・超純水の原料水として一般に市水または井水が使用されるが、このような原料水には腐敗した動植物や微生物に起因する有機物が含まれており、この有機物をほぼ完全に除去しなければならない。また、半導体製造の洗浄工程では、アルコール等の有機系洗浄剤を含む廃水が大量に発生しているが、廃棄物発生量を低減する上でもこの廃水再生利用が望まれている。
【０００４】
このような市水および再生水から純水を製造するにあたっては、通常凝集ろ過、逆浸透膜処理、イオン交換処理、限外ろ過膜処理などを組み合わせて用いているが、これらの方法によっても有機物は完全には除去することはできないため、この微量に残存する有機物濃度を減少させるために、従来は、被処理水に紫外線を照射して、水中の有機物を有機酸に酸化分解し、生成された有機酸を後段のイオン交換樹脂塔で除去するという方法をとっていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
有機物を効率よく除去するには、有機物の一部の結合を解離して（例えばカルボキシル基に酸化して）有機物を有機酸にし、後段のイオン交換樹脂塔で吸着除去可能にすることが好ましい。
【０００６】
しかしながら、紫外線照射のみによって有機物を完全に分解するには、多量の電力消費量が必要になり、処理コストが高くつくという問題がある。
【０００７】
この紫外線照射にあたって有機物を効率よく適度に酸化するために、従来法では、酸化助剤として過酸化水素水を添加する試みもなされているが、必要以上の濃度を添加しなければならず、余剰の過酸化水素を除去するための処理が負担となっていた。
【０００８】
本発明は、このような従来の問題点を解消すべくなされたもので、紫外線照射により有機物を酸化分解するにあたって、効率よく有機酸に分解して電力消費量および処理コストを低減することのできる水処理装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
すなわち、本発明の水処理装置は、被処理水にオゾンを添加するオゾン添加装置と、オゾンを添加された被処理水に紫外線を照射し水中の有機物を分解する紫外線照射装置とを備えたことを特徴とする。
【００１０】
また本発明の水処理装置は、被処理水にオゾンを添加するオゾン添加装置と、オゾンを添加された被処理水に紫外線を照射し水中の有機物を分解する紫外線照射装置と、この紫外線照射装置によって処理された処理水を導入し水中の過酸化水素および不純物を活性炭または触媒で除去する過酸化水素除去装置を備えたことを特徴とする。
【００１１】
また本発明の水処理装置は、被処理水にオゾンを添加するオゾン添加装置と、オゾンを添加された被処理水に紫外線を照射し水中の有機物を分解する紫外線照射装置と、この紫外線照射装置によって処理された処理水を導入し水中の過酸化水素および不純物を活性炭または触媒で除去する過酸化水素除去装置と、この過酸化水素除去装置を経た処理水を導入し水中のイオンを除去するイオン交換装置とを備えたことを特徴とする。
【００１２】
また本発明の水処理装置は、被処理水にオゾンを添加するオゾン添加装置と、オゾンを添加された被処理水に紫外線を照射し水中の有機物を分解する紫外線照射装置と、この紫外線照射装置によって処理された処理水を導入し水中の過酸化水素および不純物を活性炭または触媒で除去する過酸化水素除去装置と、この過酸化水素除去装置を経た処理水を導入し水中のイオンを除去するイオン交換装置とからなる水処理系を複数直列に連設したことを特徴とする。
【００１３】
また本発明の水処理装置は、被処理水にオゾンを添加するオゾン添加装置と、オゾンを添加された被処理水に紫外線を照射し水中の有機物を分解する第１の紫外線照射装置と、この紫外線照射装置によって処理された処理水を導入し水中の過酸化水素および不純物を活性炭または触媒で除去する過酸化水素除去装置と、この過酸化水素除去装置を経た処理水を導入し水中のイオンを除去する第１のイオン交換装置と、このイオン交換装置を経た処理水を導入し紫外線を照射する第２の紫外線照射装置と、この第２の紫外線照射装置を経た処理水を導入し水中のイオンを除去する第２のイオン交換装置とを備えたことを特徴とする。
【００１４】
上記水処理装置において、紫外線照射装置は、３１０ｎｍ以下の波長の紫外線を発生する低圧または中圧水銀ランプを用いることが好ましい。特に前段にオゾン添加装置を設けていない紫外線照射装置は、１８５ｎｍの波長の紫外線を発生するものが好ましい。
【００１５】
また、上記水処理装置において、イオン交換装置には、アニオン交換樹脂を充填したアニオン交換装置またはアニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂との混床からなるアニオン・カチオン混床式交換装置が用いられる。
【００１６】
また、上記水処理装置において、オゾン添加装置に用いられるオゾンガスは、無声放電法、電解法、光化学反応法、高周波電解法などのいずれの生成方法によっても好ましく用いられる。
【００１７】
【作用】
各種の酸化剤のポテンシャルに着目した場合、
【化１】

となり、・ＯＨ（以下ヒドロキシラジカルという）の酸化力が最も強いことが分かる。したがって、有機物を効率よく酸化するためには、ヒドロキシラジカルをいかに効率よく生成するかが重要である。
【００１８】
従来は、過酸化水素に４００ｎｍ以上の波長の紫外線を照射して次式のごとく、
【化２】

ヒドロキシラジカルを生成するか、あるいは水に波長１８５ｎｍの紫外線を照射してヒドロキシラジカルを生成する方法がとられていた。
【００１９】
本発明においては、オゾン添加装置により被処理水にオゾンを添加し、ついで紫外線照射装置により紫外線を照射することにより、水中のオゾン（Ｏ_３）は励起酸素分子に分解され、励起酸素分子は直ちに水と反応してヒドロキシラジカルを生成する。この生成されたヒドロキシラジカルによって被処理水中の有機物は有機酸に酸化分解される。特に、中・低圧水銀ランプで例えば波長３１０ｎｍ以下の紫外線を発生させることにより、効率よくヒドロキシラジカルを生成することができ、低コストで有機物分解処理を行うことができる。
【００２０】
また、紫外線照射装置を経た処理水のオゾン添加に伴って若干残存していた過酸化水素は、次の過酸化水素除去装置で活性炭または触媒により分解され除去される。ついで過酸化水素を除去された処理水は、イオン交換装置に通水され、紫外線照射装置によって分解生成された有機酸が効率よく吸着除去される。
【００２１】
このようにして、被処理水中の有機物はオゾンの添加のもとに紫外線照射することにより効率よく酸化分解され、さらにイオン交換樹脂の吸着能を著しく低下させる過酸化水素は過酸化水素除去装置で前もって除去されるため、水中の有機物濃度を有効に減少させることができる。
【００２２】
さらにこのような水処理系を連続して設けることにより、さらに水の純度を高めることができる。
【００２３】
また、上記の水処理系の後段に紫外線照射装置とイオン交換装置のみ付加しても同様な効果を上げることができる。この場合には、後段の紫外線照射装置は、有機物分解能の高い波長（１８５ｎｍ）を有する紫外線を発生するものが好ましい。
【００２４】
【実施例】
以下、図面に基づいて本発明の実施例を説明する。
【００２５】
図１は、本発明の水処理装置の一参考例を示すもので、原水１に、オゾン添加装置２によりオゾンが添加され、紫外線照射装置３により導かれる。ここで紫外線により原水１中の有機物が有機酸に酸化分解される。ついで活性炭または触媒を充填された過酸化水素除去装置４によりオゾン添加による水中の過酸化水素が分解されて除去され、アニオンまたはアニオン・カチオン混床式イオン交換装置５により、水中の有機酸が吸着され除去される。
【００２６】
図２は、本発明の水処理装置の他の参考例を示し、図１の構成の処理系の後に同じ構成の処理系を接続したものである。後段の処理系の前段と共通する部分には、′（ダッシュ）つきの同一番号を付している。
【００２７】
図３は、本発明の水処理装置の一実施例を示し、図１の装置構成の後に、紫外線照射装置３″およびイオン交換装置５″が設置されている。
【００２８】
（参考例１）
比抵抗17ＭΩ、ＴＯＣ160ppbの原水を、図１に示す構成の水処理装置により、紫外線照射量0.3kWh／ｍ³ 、オゾン添加量１ppm の条件で処理した。
【００２９】
ここで、各装置の仕様は次の通りである。
オゾン添加装置２：電解発生式のオゾン発生器（ペルメレック社製「ＭＳ−２−Ｇ」
過酸化水素除去装置４：純水洗浄した活性炭（カルゴン社製「コールベースＦ−４００」）を充填
イオン交換装置５：強塩基性アニオン交換樹脂（三菱化成社製「ダイヤイオンＳＡ−１０Ａ」）を充填
各処理後の流出水の水質を表１に示す。なお、表１において下段はオゾンを添加しないで同様の処理を行った場合の結果を比較して示すものである。
【００３０】
【表１】

この結果からも明らかなように、本実施例によればＴＯＣの分解率は格段に向上する。
【００３１】
（参考例２）
参考例１と同じ装置を用い、オゾン添加量を変化させて紫外線照射後のＴＯＣの分解率を測定した。その結果を図４に示す。
【００３２】
この時の処理条件によれば、オゾン濃度は１．０ｐｐｍが最適であった。しかし、この最適オゾン濃度はＴＯＣの成分や濃度に依存すると予測される。
【００３３】
（参考例３）
参考例１の原水にイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）をＴＯＣとして10ppm を添加し、この被処理水を、参考例１と同じ仕様の装置を用いて、図１、図２および図３の装置構成でそれぞれ処理した。図１、図２および図３の装置構成における最終処理水中のＴＯＣの濃度を表２に示す。なお、表２の最下欄は、図１の紫外線照射装置３におけるの紫外線照射量を２倍にした時の結果である。
【００３４】
【表２】

（実施例１）
参考例３において、原水中のＩＰＡ添加量を１ppm とし、それぞれ行った処理結果を表３に示す。
【００３５】
【表３】

参考例３および実施例１の処理結果からも明らかなように、ＩＰＡのような比較的難分解性の物が混入した場合、合計消費電力を同一とすると、図１の処理装置のように単段にするよりも、図２および図３のように複数段構成とする方がより効果がある。また、ＴＯＣ濃度が比較的高い（10 ppm）場合、図２の構成が図３の構成よりも効果があり、ＴＯＣ濃度が比較的低い（１ppm ）場合には、図２の構成も図３の構成もほとんど分解率に差がなく、そのためコスト的に図３の構成の方が有利である。
【００３６】
【発明の効果】
上記したように、本発明によれば、紫外線を照射する前にオゾンを添加することにより、有機物分解除去処理に要する消費電力量を少なくして効率よく水中の有機物を分解し除去することができる。もって、有機物分解除去処理コストを有効に低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の水処理装置を示す模式図である。
【図２】本発明の他の実施例の水処理装置を示す模式図である。
【図３】本発明のさらに他の実施例の水処理装置を示す模式図である。
【図４】本発明におけるオゾン添加量によるＴＯＣの分解率の変化を示すグラフである。
【符号の説明】
１………原水
２、２′………オゾン添加装置
３、３′、３″………紫外線照射装置
４、４′………過酸化水素除去装置
５、５′、５″………イオン交換装置[0001]
[Industrial applications]
The present invention relates to a water treatment apparatus for removing organic matter in water, and more particularly to a water treatment apparatus suitable for producing pure water and ultrapure water.
[0002]
[Prior art]
In recent years, in semiconductor manufacturing, pure water and ultrapure water of extremely high purity are required in a cleaning step, and much research has been conducted to produce the pure water and ultrapure water.
[0003]
City water or well water is generally used as raw water for pure water or ultrapure water.Such raw water contains organic matter derived from spoiled animals and plants and microorganisms. Must be removed. In addition, in the cleaning process of semiconductor manufacturing, a large amount of wastewater containing an organic cleaning agent such as alcohol is generated, and in order to reduce the amount of waste generated, recycling of this wastewater is desired.
[0004]
In producing pure water from such city water and reclaimed water, usually coagulation filtration, reverse osmosis membrane treatment, ion exchange treatment, ultrafiltration membrane treatment, etc. are used in combination, but even with these methods, organic substances can be reduced. Since it cannot be completely removed, in order to reduce the concentration of the organic substances remaining in a trace amount, conventionally, the water to be treated is irradiated with ultraviolet rays to oxidatively decompose organic substances in the water into organic acids, which are produced. In this method, the organic acid is removed in a subsequent ion-exchange resin tower.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
In order to efficiently remove the organic substance, it is preferable to dissociate a part of the organic substance (for example, oxidize it into a carboxyl group) to convert the organic substance into an organic acid, which can be adsorbed and removed in a subsequent ion exchange resin tower.
[0006]
However, in order to completely decompose an organic substance only by irradiation with ultraviolet light, a large amount of power is required, and there is a problem that processing cost is high.
[0007]
In order to oxidize organic substances efficiently and appropriately in this ultraviolet irradiation, in the conventional method, an attempt has been made to add aqueous hydrogen peroxide as an oxidizing aid, but an excessive concentration must be added, and excess Treatment for removing hydrogen peroxide was a burden.
[0008]
The present invention has been made to solve such a conventional problem, and when oxidizing and decomposing an organic substance by irradiating ultraviolet rays, the organic substance can be efficiently decomposed into an organic acid to reduce power consumption and processing cost. It is an object to provide a water treatment device.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
That is, the water treatment device of the present invention includes an ozone addition device that adds ozone to the water to be treated, and an ultraviolet irradiation device that irradiates the water to be treated with ozone with ultraviolet rays to decompose organic substances in the water. It is characterized by.
[0010]
Further, the water treatment apparatus of the present invention is an ozone addition apparatus for adding ozone to the water to be treated, an ultraviolet irradiation apparatus for irradiating the treatment water with ozone added thereto with ultraviolet rays to decompose organic substances in the water, and an ultraviolet irradiation apparatus for the same. A hydrogen peroxide removing device for introducing the treated water treated by the above method and removing hydrogen peroxide and impurities in the water with activated carbon or a catalyst.
[0011]
Further, the water treatment apparatus of the present invention is an ozone addition apparatus for adding ozone to the water to be treated, an ultraviolet irradiation apparatus for irradiating the treatment water with ozone added thereto with ultraviolet rays to decompose organic substances in the water, and an ultraviolet irradiation apparatus for the same. Peroxide removal device that introduces treated water treated by activated carbon and removes hydrogen peroxide and impurities in the water using activated carbon or a catalyst, and ion that removes ions in the water by introducing treated water that has passed through the hydrogen peroxide removal device. And an exchange device.
[0012]
Further, the water treatment apparatus of the present invention is an ozone addition apparatus for adding ozone to the water to be treated, an ultraviolet irradiation apparatus for irradiating the treatment water with ozone added thereto with ultraviolet rays to decompose organic substances in the water, and an ultraviolet irradiation apparatus for the same. Peroxide removal device that introduces treated water treated by activated carbon and removes hydrogen peroxide and impurities in the water using activated carbon or a catalyst, and ion that removes ions in the water by introducing treated water that has passed through the hydrogen peroxide removal device. It is characterized in that a plurality of water treatment systems including an exchange device are connected in series.
[0013]
In addition, the water treatment apparatus of the present invention includes an ozone addition apparatus that adds ozone to the water to be treated, a first ultraviolet irradiation apparatus that irradiates ultraviolet rays to the water to be treated with ozone and decomposes organic matter in the water, A hydrogen peroxide removing device that introduces treated water treated by an ultraviolet irradiation device to remove hydrogen peroxide and impurities in the water with activated carbon or a catalyst, and a treated water that has passed through the hydrogen peroxide removing device to introduce ions in the water. A first ion exchange device for removing, a second ultraviolet irradiation device for introducing treated water passing through the ion exchange device and irradiating ultraviolet rays, and introducing a treated water passing through the second ultraviolet irradiation device for ions in water; And a second ion-exchange device for removing the water.
[0014]
In the above water treatment apparatus, it is preferable to use a low-pressure or medium-pressure mercury lamp that generates ultraviolet light having a wavelength of 310 nm or less as the ultraviolet irradiation device. In particular, an ultraviolet irradiation device having no ozone addition device at the front stage preferably generates ultraviolet light having a wavelength of 185 nm.
[0015]
In the above water treatment apparatus, an anion exchange apparatus filled with an anion exchange resin or an anion / cation mixed bed type exchange apparatus comprising a mixed bed of an anion exchange resin and a cation exchange resin is used as the ion exchange apparatus.
[0016]
In the water treatment apparatus, the ozone gas used in the ozone addition apparatus is preferably used by any production method such as a silent discharge method, an electrolytic method, a photochemical reaction method, and a high-frequency electrolytic method.
[0017]
[Action]
Focusing on the potential of various oxidants,
Embedded image

It can be seen that the oxidizing power of .OH (hereinafter referred to as hydroxy radical ) is the strongest. Therefore, in order to efficiently oxidize organic substances, it is important how to efficiently generate hydroxyl radicals .
[0018]
Conventionally, hydrogen peroxide is irradiated with ultraviolet light having a wavelength of 400 nm or more, as in the following equation:
Embedded image

Or to produce a hydroxy radical, or a method of generating hydroxyl radicals were taken by irradiating ultraviolet rays having a wavelength of 185nm in water.
[0019]
In the present invention, ozone is added to the water to be treated by an ozone addition device, and then ultraviolet light is irradiated by an ultraviolet irradiation device, whereby ozone (O ₃ ) in the water is decomposed into excited oxygen molecules, and the excited oxygen molecules are immediately converted. Reacts with water to produce hydroxyl radicals . Organic substances in the water to be treated are oxidatively decomposed into organic acids by the generated hydroxy radicals . In particular, by generating ultraviolet rays having a wavelength of, for example, 310 nm or less with a medium / low pressure mercury lamp, hydroxyl radicals can be efficiently generated, and organic substance decomposition treatment can be performed at low cost.
[0020]
In addition, hydrogen peroxide that has remained slightly due to the addition of ozone to the treated water that has passed through the ultraviolet irradiation device is decomposed and removed by activated carbon or a catalyst in the next hydrogen peroxide removal device. Next, the treated water from which hydrogen peroxide has been removed is passed through an ion exchange device, and organic acids decomposed and generated by an ultraviolet irradiation device are efficiently adsorbed and removed.
[0021]
In this way, the organic matter in the water to be treated is efficiently oxidized and decomposed by irradiating ultraviolet rays with the addition of ozone, and hydrogen peroxide, which significantly reduces the adsorption capacity of the ion exchange resin, is removed by the hydrogen peroxide removing device. Since it is removed in advance, the organic matter concentration in the water can be effectively reduced.
[0022]
Further, by continuously providing such a water treatment system, the purity of water can be further increased.
[0023]
Further, the same effect can be obtained by adding only the ultraviolet irradiation device and the ion exchange device to the subsequent stage of the water treatment system. In this case, it is preferable that the latter ultraviolet irradiation device generates ultraviolet light having a wavelength (185 nm) having a high organic substance resolution.
[0024]
【Example】
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0025]
FIG. 1 shows a reference example of a water treatment apparatus according to the present invention, in which ozone is added to raw water 1 by an ozone addition device 2 and guided by an ultraviolet irradiation device 3. Here, the organic substances in the raw water 1 are oxidized and decomposed into organic acids by the ultraviolet rays. Then, hydrogen peroxide in water is decomposed and removed by addition of ozone by a hydrogen peroxide removing device 4 filled with activated carbon or a catalyst, and an organic acid in the water is adsorbed by an anion or anion / cation mixed bed type ion exchange device 5. Is removed.
[0026]
FIG. 2 shows another reference example of the water treatment apparatus of the present invention, in which a treatment system of the same configuration is connected after the treatment system of the configuration of FIG. Portions common to the preceding stage of the subsequent processing system are denoted by the same numbers with '(dash).
[0027]
FIG. 3 shows an embodiment of the water treatment apparatus according to the present invention. An ultraviolet irradiation apparatus 3 "and an ion exchange apparatus 5" are provided after the apparatus configuration of FIG.
[0028]
( Reference Example 1 )
Raw water having a specific resistance of 17 MΩ and a TOC of 160 ppb was treated by a water treatment apparatus having the configuration shown in FIG. 1 under the conditions of an ultraviolet irradiation amount of 0.3 kWh / m ³ and an ozone addition amount of 1 ppm.
[0029]
Here, the specifications of each device are as follows.
Ozone addition device 2: electrolysis type ozone generator (“MS-2-G” manufactured by Permelec Co., Ltd.)
Hydrogen peroxide removing device 4: Filled with activated carbon washed with pure water (" Cole Base F-400" manufactured by Calgon) Ion exchanger 5: Strongly basic anion exchange resin ("Diaion SA-10A" manufactured by Mitsubishi Kasei) Table 1 shows the quality of the effluent water after each treatment. In addition, the lower part of Table 1 compares and shows the results when the same treatment was performed without adding ozone.
[0030]
[Table 1]

As is clear from this result, according to the present embodiment, the decomposition rate of TOC is remarkably improved.
[0031]
( Reference Example 2 )
Using the same apparatus as in Reference Example 1 , the decomposition rate of TOC after ultraviolet irradiation was measured while changing the amount of ozone added. The result is shown in FIG.
[0032]
According to the processing conditions at this time, the optimum ozone concentration was 1.0 ppm. However, the optimum ozone concentration is expected to depend on the TOC component and concentration.
[0033]
( Reference example 3 )
To the raw water of Reference Example 10 was added 10 ppm of isopropyl alcohol (IPA) as TOC, and the water to be treated was used in the apparatus configuration of FIGS. 1, 2 and 3 using the same specifications as in Reference Example 1 . Processed. Table 2 shows the concentration of TOC in the final treated water in the apparatus configuration shown in FIGS. 1, 2 and 3. In addition, the bottom column of Table 2 shows the results when the ultraviolet irradiation amount in the ultraviolet irradiation device 3 in FIG. 1 is doubled.
[0034]
[Table 2]

( Example 1 )
In Reference Example 3 , the amount of IPA added to the raw water was 1 ppm, and the results of the treatments performed are shown in Table 3.
[0035]
[Table 3]

As is clear from the processing results of Reference Example 3 and Example 1 , when a relatively hardly decomposable substance such as IPA is mixed, assuming that the total power consumption is the same, as in the processing apparatus of FIG. It is more effective to use a multi-stage configuration as shown in FIGS. 2 and 3 than to use stages. When the TOC concentration is relatively high (10 ppm), the configuration of FIG. 2 is more effective than the configuration of FIG. 3, and when the TOC concentration is relatively low (1 ppm), the configuration of FIG. The configuration has almost no difference in the decomposition rate, and therefore the configuration of FIG. 3 is more advantageous in terms of cost.
[0036]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, by adding ozone before irradiating ultraviolet rays, it is possible to reduce the power consumption required for the organic matter decomposition removal treatment and efficiently decompose and remove organic matters in water. . Thus, the cost of the organic matter decomposition removal treatment can be effectively reduced.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic view showing a water treatment apparatus according to one embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic view showing a water treatment apparatus according to another embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a schematic view showing a water treatment apparatus according to still another embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a graph showing a change in the decomposition rate of TOC depending on the amount of ozone added in the present invention.
[Explanation of symbols]
1 Raw water 2, 2 '...

Ozone adding device

3, 3', 3 "UV irradiation device 4, 4 '... Hydrogen

peroxide removing device

5, 5', 5" ... Ion exchange equipment

Claims

An ozone addition device for adding ozone to the water to be treated, a first ultraviolet irradiation device for irradiating the water to be treated with ozone with ultraviolet rays to decompose organic substances in the water, and a treated water treated by the ultraviolet irradiation device And a first ion exchange device for introducing treated water passing through the hydrogen peroxide removing device to remove ions in the water by removing activated hydrogen and impurities in the water with activated carbon or a catalyst. A second ultraviolet irradiation device for introducing treated water passed through the ion exchange device and irradiating ultraviolet rays, and a second ion exchange device for introducing treated water passed through the second ultraviolet irradiation device and removing ions in the water A water treatment device comprising:

2. The water treatment apparatus according to claim 1 , wherein each of the first and second ultraviolet irradiation devices uses a low-pressure or medium-pressure mercury lamp.

3. The water treatment apparatus according to claim 1 , wherein the first and second ion exchange apparatuses are anion exchange apparatuses or anion / cation mixed bed exchange apparatuses, respectively .

The water treatment apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the second ultraviolet irradiation device generates ultraviolet light having a wavelength of at least 185 nm.