JP3545500B2 - 感圧センサー - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧力によってゴム弾性体からなる誘電体層が弾性変形され、静電容量が変化することを測定に利用した感圧センサーに関するものであって、より詳しくは、構造を複雑にすることなく、高精度に重量や圧力を測定可能な感圧センサーに関する。
【0002】
【従来技術】
従来、圧力を検出するための感圧センサーとしては、ロードセルを使用したものが知られている。このロードセルを用いる方式としては、ひずみゲージを弾性体に張り付けて感圧センサーを構成し、弾性体に圧力が掛かる事によりひずみゲージの電気抵抗が変化することを利用する方式、あるいは、ひずみゲージに使用されているものと同様の細い金属線を弾性体に直接巻き付けて感圧センサーを構成し、弾性体に圧力がかかる事により金属線の電気抵抗が変化することを利用した、いわゆる、Uゲージと称する方式のどちらかが一般的である。
【0003】
また、ゴム弾性体の誘電率を利用して複雑な構造を採用することにより、加圧減圧時に発生する、ゴム弾性体が本来有するヒステリシスを軽減させた静電容量式で、感圧センサーとしても使用可能なゴムマット方式のものも実用化されている(特公昭50−19057号公報参照)。
【0004】
さらに、金属バネ等の完全弾性体を補助的に設け、誘電率の高いゴムを採用することにより感度を高めると共に金属バネ等の完全弾性体の復元力を利用して再現性を良くした感圧装置も提案されている(実公平5−35303号公報参照)。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、感圧センサーとして、ロードセルを使用する方法では、上記いずれの方式を用いても構造が複雑になり、使用される弾性体として、主にバネ鋼材を使用するために重く、価格も高く、落下などの衝撃で精度が狂いやすく、又、2倍以上の過負荷が掛かると破損したり精度が狂いやすい欠点があった。
【0006】
また、上記のゴムマット方式の場合は、ゴム弾性体の単純圧縮変形を利用する方式を採用しているために加圧に対する変形量が小さい。このため、単位面積当たりの出力が小さくなり、コンデンサーとしてのキャパシタンスの変化量を大きくするためには広い面積が必要となり、ロードセル程度までに小型の感圧センサーを得るのは困難であった。
【0007】
すなわち、図18に示す如く、誘電体層7は、その長手方向(紙面に直交する方向)に沿って切断した断面形状が矩形状であり、単純圧縮方向(図18の上下方向)のみに変形する構成なので、図19で示す如く、誘電体層7の初期の変形領域Aでは、直線的にキャパシタンスが変化するが、キャパシタンスが直線的に変化することが要求される領域Bであってもある点Pを越えると直線的にキャパシタンスが変化しなくなってしまうという問題がある。なお、図18において、6及び8は、それぞれ第1電極層、第2電極層を示している。
【0008】
同一荷重をかけた場合においてキャパシタンスが変化する領域を広げるために、誘電体層7の図18に示す肉厚寸法Tに対する幅寸法Wの大きさを小さくすることも考えられるが、第1電極層6に荷重がかかった場合の、誘電体層7の変形挙動が不安定になり、第1電極層6と第2電極層8とが図18の左右方向にずれやすくなるという問題がある。
【0009】
また、誘電体層の材料であるゴムは粘弾性体であるのでヒステリシスがあり、そのままでは、感圧センサーとしては精度を維持できず、ゴム以外の金属ばね等の完全弾性体を補助として使用せざるをえないために、感圧センサーの構造が複雑であるという問題点があった。
さらに、前記の誘電率の高いゴム弾性を用いた感圧装置の場合には、誘電率を高めるためには、非極性ゴムにチタン酸バリウムなどの誘電率の高い配合剤を大量に添加して(非極性ゴム100重量部に対して300ないし800重量部)ゴム弾性体からなる誘電層として使用する必要がある。この場合、誘電率は高くなるが、誘電体層としてのゴム弾性体が硬くなるため加圧時に変形しにくく、また、圧縮永久歪みが大きくなるという問題がある。
【0010】
【発明の目的】
そこで、本発明の目的は、構造を複雑にすることなく、圧力及び重量を高精度に測定のできる感圧センサーを提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記目的を達成するために提案されたものであり、下記の構成からなることを特徴とするものである。
すなわち、本発明によれば、互いに平行配置される第1電極層及び第2電極層と、前記第1電極層に一方の端面が密着され前記第2電極層に他方の端面が密着された状態で前記第1電極層と第2電極層とを離間状態とするゴム弾性体からなる長尺状の誘電体層と、を備えてなる感圧センサーであって、前記誘電体層が、前記一方の端面と前記第1電極層との接触面と、前記他方の端面と前記第2電極層との接触面と、が互いにずらされて形成されていることを特徴とする感圧センサーが提供される。
【0012】
また、本発明によれば、請求項1記載の感圧センサーであって、前記誘電体層が、前記誘電体層の長手方向と直交する方向に沿って切断した断面形状が略平行四辺形である感圧センサーが提供される。
【0013】
また、本発明によれば、請求項2記載の感圧センサーであって、前記第1電極層及び第2電極層に直交する面と、前記誘電体層とのなす角度が30ないし85°である感圧センサーが提供される。
【0014】
また、本発明によれば、請求項1又は2記載の感圧センサーであって、前記誘電体層が、前記第1電極層及び第2電極層と交差する面の一方と、前記第2電極層とのなす角度が30ないし85°であり、前記第1電極層及び第2電極層と交差する面の他方と、前記第2電極層とのなす角度が145ないし90°である感圧センサーが提供される。
【0015】
また、本発明によれば、請求項1ないし4のいずれか1項記載の感圧センサーであって、前記誘電体層が、前記第1電極層及び第2電極層を各々の面と直交する方向へ加圧したときに各々の電極層が加圧方向と異なる方向へずれるのを打ち消すような向きに配置された第1誘電体片及び第2誘電体片からなる感圧センサーが提供される。
【0016】
また、本発明によれば、請求項5記載の感圧センサーであって、前記第1誘電体片と第2誘電体片とが略同一個設けられてなる感圧センサーが提供される。
【0017】
また、本発明によれば、請求項1ないし6記載の感圧センサーであって、前記接触面における前記誘電体層の長手方向と略直交する方向の長さを、前記第1電極層と第2電極層との間の距離で除した値が0.2ないし5.0である感圧センサーが提供される。
【0018】
また、本発明によれば、請求項1ないし7のいずれか1項記載の感圧センサーであって、誘電体層がJIS−K−6301でのAスケールにおけるゴム硬度が20ないし80度である感圧センサーが提供される。
【0019】
また、本発明によれば、請求項1ないし8のいずれか1項記載の感圧センサーであって、前記第1電極層と第2電極層との間の距離が0.2ないし5.0mmである感圧センサーが提供される。
【0020】
また、本発明によれば、請求項1ないし9のいずれか1項記載の感圧センサーであって、前記電極層を3個以上の奇数個備え、各々の電極間に前記誘電体層が密着して設けられてなる感圧センサーが提供される。
【0021】
【発明の実施の形態】
請求項1の発明に係る感圧センサーは、互いに平行配置される第1電極層と第2電極層との間に誘電体層が介在されてなるものである。誘電体層は、ゴム弾性体からなる長尺状に形成されており、第1電極層に一方の端面が密着され第2電極層に他方の端面が密着された状態で第1電極層と第2電極層とを離間状態としている。請求項1の発明では、誘電体層が、前記一方の端面と第1電極層との接触面と、前記他方の端面と第2電極層との接触面と、が互いにずらされて形成されている。
本発明に係る感圧センサーは、金属ばね等の完全弾性体を補助的に付加する必要はなく、すなわち、簡単な構造で高精度な測定を可能とするものである。
【0022】
請求項1の発明においては、第1電極層と第2電極層との間に電圧が印加された状態で、各々の面に直交する方向に荷重がかかった場合に、誘電体層が剪断変形するため、その変形量が充分に確保される。したがって、第1電極層と第2電極層とが接近及び離れる方向へ移動することによるキャパシタンスの直線的に変化する領域を広くできるため、検出感度が向上する。
なお、本発明において、一方の端面と第1電極層との接触面と、他方の端面と第2電極層との接触面と、が互いにずらされているとは、図1に示す如く、接触面50、52において、接触面50の一方の辺50Aと、接触面52の一方の辺52Aの各々がずれており、かつ、接触面50の他方の辺50Bと、接触面52の他方の辺52Bの各々が図1の左右方向にずれている場合は当然含まれるものであるが、図5(A)に示す状態をも含むものである。
【0023】
すなわち、接触面41A、41Bにおいて、接触面41Aの一方の辺41Eと、接触面41Bの一方の辺41Fの各々が図の左右方向同一位置に位置しており、接触面41Aの他方の辺41Cと、接触面41Bの他方の辺41Dのみが図の左右方向にずれている場合も含むものである。
なお、図1において、符号53は、第1電極層、54は第2電極層、9は第1誘電体片、10は第2誘電体片を示しており、図5(A)において、符号39は、第1電極層、40は第2電極層、41は第1誘電体片、42は第2誘電体片を示している。なお、第1誘電体片9と第2誘電体片10の各々、第1誘電体片41と第2誘電体片42の各々は、互いに断面形状が左右対称になるように配置されている。
【0024】
また、請求項2の発明に係る感圧センサーは、誘電体層が、誘電体層の長手方向と直交する方向に沿って切断した断面形状が略平行四辺形に形成されており、誘電体層が剪断変形する形状に形成されているので、前記請求項1と同様の作用により、キャパシタンスが直線的に変化する領域を広くできるため、検出感度が向上する。
【0025】
請求項3の発明に係る感圧センサーは、第1電極層及び第2電極層に直交する面と、誘電体層とのなす角度が30ないし85°、特に好ましくは45°に構成されてなるものである。このため、誘電体層の剪断変形量が充分に確保される。上記角度は90度ないし電極層とほぼ平行に近い0度付近まで変えることは可能であるが、αが85°よりも大きいと、圧縮変形の比率が増えて剪断変形が少なくなる傾向にあり、逆に30°よりも角度が小さいと、圧縮変形の比率が減って剪断変形が大きくなるので、電極層との接着破壊がしやすくなる傾向がある。
【0026】
請求項4の発明に係る感圧センサーは、誘電体層が、第1電極層及び第2電極層と交差する面の一方と、第2電極層とのなす角度が30ないし85°であり、前記第1電極層及び第2電極層と交差する面の他方と、前記第2電極層とのなす角度が145ないし90°に構成されており、これにより、誘電体層の剪断変形量が充分に確保される。前者の角度及び後者の角度が上記範囲からはずれる場合、前者及び後者の角度が上記範囲よりも大きいときには、圧縮変形の比率が増えて剪断変形が少なくなる傾向にあり、前者及び後者の角度が上記範囲よりも小さいときには、接着破壊が生じやすい傾向にある。
【0027】
請求項5の発明に係る感圧センサーでは、誘電体層が、第1電極層及び第2電極層を各々の面と直交する方向へ加圧したときに各々の電極層が加圧方向と異なる方向へずれるのを打ち消すような向きに配置された第1誘電体片及び第2誘電体片からなるものである。
このため、請求項5の発明に係る感圧センサーでは、誘電体層の変形にともなって、第1電極層と第2電極層とが圧力付与方向と異なる方向へずれるのが抑制される。
【0028】
また、請求項6の感圧センサーは、第1誘電体片と第2誘電体片とが略同一個設けられてなるものであり、第1誘電体片及び第2誘電体片の各々による、第1電極層と第2電極層との加圧方向と異なる方向へのずれを防止する効果が略同一の度合いで発揮されるため、第1電極層と第2電極層とが加圧方向と異なる方向へずれるのが防止される。
【0029】
また、請求項7の感圧センサーは、接触面における誘電体層の長手方向と略直交する方向の長さを、第1電極層と第2電極層との間の距離で除した値が0.2ないし5.0となっている。このため、感圧センサーの製作が容易であると共に製品毎のばらつきを小さくできる。
上記値が、0.2よりも小さいと、感圧センサーを製造しにくくなる傾向にあり、5.0よりも大きいと圧縮変形の比率が増えて剪断変形が少なくなる傾向にある。
【0030】
また、請求項8の感圧センサーは、誘電体層がJIS−K−6301でのAスケールにおけるゴム硬度が20ないし80度となっており、これにより、例えば、最大測定可能荷重10kg程度の感圧センサーから最大測定可能荷重1000kg程度までの各種感度の一般用感圧センサーを製造する場合に適するものとなる。
【0031】
また、請求項9の発明では、第1電極層と第2電極層との間の距離が0.2ないし5.0mmとされており、これにより、感圧センサーの製作が容易であると共に製品毎の感度のばらつきのない感圧センサーが提供される。
請求項10の発明では、電極層を3個以上の奇数個備え、各々の電極間に誘電体層が密着して設けられている。このため、本発明では、測定する負荷荷重が高すぎて誘電体層の変形が大き過ぎ、誘電体層が直線的に変形する領域からはずれる場合、あるいは、同様に誘電体層の変形が大き過ぎて誘電体層が破損するおそれのある場合等にも、十分な感度を得られると共に、感圧センサーの損傷を防止できる。
【0032】
以下に図面を参照して本発明の具体例を説明する。
すなわち、図1の具体例では、第1電極層53と第2電極層54との間に、第1誘電体片9及び第2誘電体片10が設けられている。第1誘電体片9及び第2誘電体片10は、その長手方向を紙面に直交する方向へ向けて配置されており、この長手方向と直交する方向で切断した断面形状が平行四辺形とされている。
第1誘電体片9は、第2電極層54に対してα°右方へ傾斜しており、第2誘電体片10は、第2電極層54に対してα°左方へ傾斜している。そして、この第1誘電体片9と第2誘電体片10とが交互に配置されていると共に、第1誘電体片9と第2誘電体片10とは各々同数個設けられている。なお、図1では、第1誘電体片9と第2誘電体片10は各々同一個設けられているが、若干各々の数が異なっていてもよい。
【0033】
上記の如く、構成することにより、第1電極層53が加圧された場合に、加圧方向(図1の上下方向)と異なる方向へ第1電極層53と第2電極層54とがずれる事が打ち消され、剪断変形を有効に利用できる。この構造により、第1電極層53と第2電極層54とが、横方向にずれることがなく、直線的にキャパシタンスが変化する領域の広い感圧センサーが提供される。
【0034】
また、第1電極層53(第2電極層54)と接触する第1誘電体片9(第2誘電体片10)の幅(W1)と第1誘電体層9(第2誘電体層10)の厚さ(T1)の比率はW1/T1=2/3が好ましく、第1誘電体片9及び第2誘電体片10の厚さは、製作のしやすさ、感度及び製品毎のばらつきが少なくなる事を考慮すると0.2mmないし5mmがよく、特に1.5mmが好ましい。
【0035】
なお、本発明方式を実現する場合は、図2のように、第2電極層54に対してα°右方に傾斜した第1誘電体片9をN個(図2では、N=5)一方側に設け、第2電極層54に対してα°左方に傾斜した第2誘電体片10を他方側にN個(図2では、N=5)設けてもよい。
更に実用的な感圧センサーとするには、図3(A)のように2層の誘電体層、すなわち、誘電体層14A及び14Bとそれらを挟持する3層の電極層15、16、17からなる構造を採用するのが、使用時に外界の空中電荷の影響を受けにくく、測定時のキャパシタンスの誤差が少なくなり良好である。
【0036】
また、感圧センサーに掛かる圧力が特定方向でない場合などの用途では、図3(B)のように上下の誘電体層14A、14Bを各々を構成する誘電体片の各々が直角をなすように配置する構造が望ましい。
なお、ある仕様のゴム弾性体を誘電体層使用した場合に、測定する負荷荷重が高すぎ平行四辺形状等の誘電体層の変形が大き過ぎて、直線変形領域からはずれる場合、あるいは、同様に平行四辺形状の誘電体層の変形が大き過ぎて誘電体層が破損するおそれのある場合には、図4(A)ないし(E)に示す如く、電極層38、誘電体層39を増やし、複数積層構造にすることにより、各誘電体層毎の加圧負担を軽減させ、感圧センサーとしての最大負荷時の感圧センサーの損傷を防止することも可能である。その場合に、電極層38を奇数個平行配置し、各々の電極層間に誘電体層39を積層し、奇数番目(ただし、誘電体層は数えない)に積層された電極層38同士を配線コードで並列につないで、一方の交流電源に接続し偶数番目(ただし、誘電体層は数えない)に積層された電極層38同士を配線コードで並列につないで、もう一方の交流電源に接続すればよい。
【0037】
本発明方式における剪断変形での加圧部の不必要なずれを防止する方式は断面形状が平行四辺形でなくともよく、図5の(A)ないし(D)に記載した各種の形状の誘電体片41、42、43、44、45、46を使用でき、各々の誘電体片41ないし46は略同数個使用する。すなわち、図5(A)に示す如く、誘電体片の断面形状が、α=45°、β=90°を満たすものでもよく、αが30ないし85°、βが145ないし90°の範囲を満たすかぎりにおいて任意の形状のものを採用でき、図5(B)及び(C)の符号43ないし46に示すような形状のものを採用できる。
【0038】
また、誘電体片は、図5(A)ないし(C)に示す如く、交互に(すなわち、誘電体片41、42の順、誘電体片43、44の順等)その断面形状が左右対称となるように必ずしも配置する必要はなく、図5(D)に示す如く、同一方向に向けられた誘電体片41をN個(図2では、N=3)一方側に設け、誘電体片41と断面形状が左右対称になるように配置された誘電体片42を他方側にN個(図2では、N=3)に設けてもよい。
なお、図5(A)ないし(D)において、50は第1電極層、40は第2電極層を示している。
【0039】
誘電体層の配置等は上記に限定されるものではなく、例えば、図11及び図12に示すものも採用できる。すなわち、第2電極層35の辺35Aに所定角度γだけ傾斜した状態に誘電体片47、48を設けてもよい。誘電体片47、48の各々は断面形状が左右対称となるように配置されている。
また、図13及び図14に示す如く、一対の誘電体片47、48を図13の上方側端部が下方端部よりも間隔を広くした状態に配置し、この一対の誘電体片47、48を図13において上下反転を交互に行った状態で順次配置してもよい。
【0040】
また、図15ないし図17に示す如く、図15の下方側へ向けて次第に幅寸法(図15の左右方向寸)が短くされた一対の誘電体片47を、図15において上下反転を交互に行った状態で順次配置してもよい。 また、使用する誘電体片の材質としては、反発弾性が高く、同時に圧縮永久歪みの少ないゴム材質であることが重要であり、天然ゴム、IR、BR、ポリウレタンゴム、シリコーンゴム等の反発弾性が高く圧縮永久歪の少ない材質が使用できる。
【0041】
公知の事実のようにゴム硬度が低い程、バネ定数が低くなり、ゴム硬度が高い程、バネ定数が高くなるので、例えば、最大測定可能荷重10kg程度の感圧センサーから最大測定可能荷重1000kg程度までの各種感度の一般用感圧センサーを製造する場合の誘電体片はバネ定数、形状、面積、その他を考慮すると、ゴムは、J IS−K−6301 でのAスケールにおけるゴム硬度が20度ないし80度の範囲のものが使用できる。
また、印刷機のゴムロールの加圧力を測定するための最大測定可能荷重100kg程度の感圧センサーを製造する場合を想定すると、誘電体片に使用するゴムのJIS−K−6301でのAスケールにおけるゴム硬度は30度ないし40度が好ましく、誘電体層用のゴム材料としては、圧縮永久歪み性がよく、ゴム弾性がよいと同時に経時によるバネ定数の変化が少なく、温度によるバネ定数の変化も少ないシリコーンゴムは最適材料の1つである。
【0042】
【実施例】
以下に実施例によって本発明を説明する。
実施例1及び2、比較例1ないし3
同一ゴム材質、同一ゴム硬度で、同一の加圧面積下における形状と出力との関係を確認するために以下の試験を行った。
誘電体層としては表1の配合からなるポリブタジエンラバーを使用し、165℃×15分、200kg/cm2 の条件下で電熱プレス成型して厚さ1.5mm、幅150mm、長さ200mmの加硫ゴムシートを作成した。ゴム硬度はJIS−K−6301のAスケールで40度であった。
【0043】
次に、このゴムシートを厚さ及び長さを変えることなく表2のようにNo.AないしEに示す断面形状(長手方向と直交する方向に沿って切断した断面形状)となるように切断加工して5種類の短冊(誘電体片)を作成した。No.AないしEのそれぞれの短冊を、図3(C)に示す互いに平行配置された第1電極層15、第2電極層16、第3電極層17間に接着した。なお、各々の電極層は、幅200mm、長さ250mm、厚さ5mmのアルミニウム板を使用している。この接着は、誘電体層14A、14Bともに加圧面積〔誘電体片14A(14B)を構成する誘電体片の片面と電極層との接触面積の和〕がNo.AないしE共に等しく60cm2 (表3参照)になるように前記短冊(誘電体片)を表3に記載の本数それぞれウレタン系の2液性接着剤を介して図3(A)のように接着させることによって行った。
これにより、図6の(A)ないし(E)に断面図で示す2層の誘電体層と三層の誘電体層をもつ5層積層構造の試験品No.T−1(比較例1)、No.T−2(比較例2)、No.T−3(比較例3)、No.T−4(実施例1)、No.T−5(実施例2)を得た。
【0044】
なお、図6の(A)ないし(E)の27、29はそれぞれ第1誘電体層、第2誘電体層である。図6(D)において、符号27A、27Bはそれぞれ第1誘電体層27における第1誘電体片、第2誘電体片を示しており、符号29A、29Bはそれぞれ第2誘電体層29における第1誘電体片、第2誘電体片を示している。また、図6(E)において、符号27C、27Dは、それぞれ、第1誘電体層27における第1誘電体片、第2誘電体片を示しており、29C、29Dは第1誘電体層27における第1誘電体片、第2誘電体片を示している。なお、図3(A)は図3(D)に示す短冊14A(14B)(No.T−3)を使用して作成した例である。
【0045】
次に、No.T−1ないしNo.T−5の各試験品を図7のように第1電極層15と第3電極層17にそれぞれ電線コード18、19を接続し、結線部20で結線し、ヒューレットパッカード社製のHP4284プレシジョンLCRメーターの一方の端子22に接続し、第2電極層16を電線コード21で結線し、同様にLCRメーターのもう一方の端子23に接続した。この状態で1MHz・6Vの交流電圧を印加し、No.T−1ないしNo.T−5のそれぞれの試験品に20kgの分銅25を試料(第1電極層15)に順次乗せて(図7参照)0kg、20kg、40kg、60kg、80kg、100kg加圧時のキャパシタンスを測定した。測定結果を表4、及び図8に示した。
【0046】
表4及び図8より明らかなように実施例1の試験品(断面形状;菱形)、実施例2の試験品(断面形状;平行四辺形)のキャパシタンスの変化量は電極層との同一接触面積を持つ単純圧縮である比較例1ないし3の試験品と比較して明確な差があり、数倍の感度を持つことが証明された。又、単純圧縮の場合は、加圧時に誘電体層が異常な変形をしたり倒れ込まないように比較例2の試験品(W/T=2.0)が限界と言われており、比較例3の試験品は単純圧縮では、使用されないので、単純圧縮の最も一般的な比較例2の試験品と比較すると、実施例1の試験品(W/T=1)で4倍以上、実施例2の試験品(W/T=2/3)では5倍以上の変化量があることが判明した。
【0047】
【表1】
【0048】
【表2】
【0049】
【表3】
【0050】
【表4】
【0051】
実施例3ないし5、比較例4及び5
更に変化率を大きくして実用化するための試験として、誘電体層としてバネ定数の変化が少なく、又、耐熱性、耐寒性が良く、温度依存性が少ないシリコーンゴムを採用し、ゴム硬度、加圧面積、形状がキャパシタンスにどのように影響するかを標準の単純圧縮形状と比較して試験を行った。表5に各実施例及び各比較例の誘電体層を構成する誘電体片の断面形状、試験品の断面形状、及び誘電体片と電極層との接触面積を記載する。
【0052】
使用したシリコーンゴムは、既存のグレードのジメチルシリコーンゴムで、ゴムロール材料として圧縮永久歪みの少ない、信越化学社製・#KE941U(40度)、と同・#KE931U(30度)をメーカー指定の既存の配合手法で行い、オープンロールで混練し生ゴムを準備した。表5でキャパシタンスの変化量の大きいことが予想されるNo.T−8(実施例3)、No.T−9(実施例4)、及びNo.T−10(実施例5)の3種類の試験品は以下のように作成した。
【0053】
すなわち、図9(A)及び(B)のように厚さ0.2mmのステンレス鋼板・SUS#301からなる第2電極層(35)の上下に表5に記載した実施例3ないし5に係る断面形状が左右対称となるように配置した状態に誘電体片31、34を新規に製作した専用プレス成形型を使用して170℃、10分、200kg/cm2 の成形条件で接着剤を介して焼き付け接着して中間品を製作した。図9の(A)はその中間品を上から見た図であり、図9の(B)はその中間品を横から見た図である。
【0054】
この中間品の誘電体片31、34の上下面に、アルミニウム製で、厚さ1mmの第1電極層、第3電極層36、37をゴム硬度30度のRTVシリコーンゴムを介して接着させて図9(C)の試作品を製作した。ここで、図9(C)は試験品の断面図である。
比較用の単純圧縮形状の比較例4の試験品、比較例5の試験品2種類は、以下のように製作した。実施例1と同様に、厚さ1.5mmのシリコーンゴムからなるプレス成形型シートを製作し、表5の試験No.T−6、No.T−7に記載した断面形状が長方形の短冊片を作成した。
【0055】
次に、この短冊を実施例1と同様な方法で接着させて、試験品を製作した。なお、接着剤はNo.T−8ないしNo.T−10と同一のゴム硬度30のRTVシリコーンゴムを使用した。製作したNo.T−6ないしNo.T−10の5種類の試験品は試験を行う前に200℃×4時間、電気炉で追加熱して物性を安定させた。
上記の試験品を実施例1と同様の方法で試験し、その結果を表6、及び図10に示した。
その結果より、加圧面積を実施例1等の60cm2 より少ない40cm2 とし、ゴム硬度を30度にした実施例5の試験品は平均的な単純圧縮でゴム硬度40度品(比較例4に試験品)と比較して約5倍のキャパシタンスの変化率があることが判明し、従来方式と比較して格段のキャパシタンス変化率があることが確実となった。
【0056】
なお、実施例5の試験品を使用して印刷機の加圧ロールの圧力を測定する感圧センサーを製作すると、100kg加圧で245PFの変化があり、且つ、ほぼ、直線性もあるので、少なくとも1PF=0.5kgの誘電体層(ゴム製)と電極板だけからなり、破損しにくく、安価な100kgまで測定できる感圧センサーの製作が可能になった。
【0057】
【表5】
【0058】
【表6】
【0059】
【発明の効果】
以上の如く構成したので、本発明によれば、構造を複雑にすることなく、高精度に重量や圧力を測定可能な感圧センサーを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の具体例を示す断面図である。
【図2】本発明の他の具体例を示す断面図である。
【図3】(A)は感圧センサーの側面図、(B)は2層の誘電体層の各々が直角をなすように配置された感圧センサーの斜視図、(C)は電極層の斜視図。(D)は誘電体層の斜視図である。
【図4】(A)ないし(E)は感圧センサーの断面図である。
【図5】(A)ないし(D)は感圧センサーの断面図である。
【図6】(A)ないし(E)は感圧センサーの断面図である。
【図7】感圧センサーのキャパシタンスを測定する状態を示す斜視図である。
【図8】荷重とキャパシタンスとの関係を示すグラフである。
【図9】(A)は第1電極層を取付け前の状態の感圧センサーの平面図、(B)は(A)の側面図、(C)は第1電極層が取付けられた後の感圧センサーの断面図である。
【図10】荷重とキャパシタンスとの関係を示すグラフである。
【図11】第1電極層を取付け前の状態の感圧センサーの平面図である。
【図12】図11の側面図である。
【図13】第1電極層を取付け前の状態の感圧センサーの平面図である。
【図14】図13の側面図である。
【図15】第1電極層を取付け前の状態の感圧センサーの平面図である。
【図16】図15の感圧センサーを誘電体層の長手方向一方側から見た図である。
【図17】図15の感圧センサーを誘電体層の長手方向他側から見た図である。
【図18】従来の感圧センサーの断面図である。
【図19】従来の感圧センサーの荷重とキャパシタンスの変化量との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
6 第1電極層
7 誘電体層
8 第2電極層
Claims (10)
- 互いに平行配置される第1電極層及び第2電極層と、前記第1電極層に一方の端面が密着され前記第2電極層に他方の端面が密着された状態で前記第1電極層と第2電極層とを離間状態とするゴム弾性体からなる長尺状の誘電体層と、を備えてなる感圧センサーであって、
前記誘電体層が、前記一方の端面と前記第1電極層との接触面と、前記他方の端面と前記第2電極層との接触面と、が互いにずらされて形成されていることを特徴とする感圧センサー。 - 前記誘電体層が、前記誘電体層の長手方向と直交する方向に沿って切断した断面形状が略平行四辺形である請求項1記載の感圧センサー。
- 前記第1電極層及び第2電極層に直交する面と、前記誘電体層とのなす角度が30ないし85°である請求項2記載の感圧センサー。
- 前記誘電体層が、前記第1電極層及び第2電極層と交差する面の一方と、前記第2電極層とのなす角度が30ないし85°であり、前記第1電極層及び第2電極層と交差する面の他方と、前記第2電極層とのなす角度が145ないし90°である請求項1又は2記載の感圧センサー。
- 前記誘電体層が、前記第1電極層及び第2電極層を各々の面と直交する方向へ加圧したときに各々の電極層が加圧方向と異なる方向へずれるのを打ち消すような向きに配置された第1誘電体片及び第2誘電体片からなる請求項1ないし4のいずれか1項記載の感圧センサー。
- 前記第1誘電体片と第2誘電体片とが略同一個設けられてなる請求項5項記載の感圧センサー。
- 前記接触面における前記誘電体層の長手方向と略直交する方向の長さを、前記第1電極層と第2電極層との間の距離で除した値が0.2ないし5.0である請求項1ないし6のいずれか1項記載の感圧センサー。
- 前記誘電体層がJIS−K−6301でのAスケールにおけるゴム硬度が20ないし80度である請求項1ないし7のいずれか1項記載の感圧センサー。
- 前記第1電極層と第2電極層との間の距離が0.2ないし5.0mmである請求項1ないし8のいずれか1項記載の感圧センサー。
- 前記電極層を3個以上の奇数個備え、各々の電極間に前記誘電体層が密着して設けられてなる請求項1ないし9のいずれか1項記載の感圧センサー。
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