JP3544649B2 - Slit nozzle - Google Patents

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郁郎 野田
孝徳 犬飼
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東海合金工業株式会社
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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ノズルの軸方向に対し斜めに傾けた状態で流体を均一に噴射することができるスリットノズルに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
例えば、液晶基板やプリント基板等の製造工程においては、ワークの洗浄処理、薬剤塗布処理、乾燥処理等が行われており、これらの処理工程の後に超純水による洗浄処理が行われている。そして、この洗浄処理の後で超純水を乾燥させるのにスリットノズルを用い、噴射流体によってワークを乾燥処理する方法が用いられている。ここでスリットノズルとは、2枚の板状体を貼り合わせ、この貼り合わせ部に形成した長手方向のスリット部を流体噴出口とするノズルをいう。
【0003】
この場合、図7に示されるように、乾燥効率を上げるためにワーク10の進行方向に対して一定の迎え角度をもってガス噴射を行っているが、最近はワーク10のサイズが大型化し、薄肉化する傾向がありワーク10の浮き上がりや変形等を防止するのに、ワーク10を押さえるための押さえローラ11、11の配置間隔を狭める必要が生じてきた。ところが、スリットノズルを斜めに配置するので押さえローラ11、11の配置間隔を狭めるにも限界があり、ワーク10を確実に押さえることが難しいという問題点があった。
【0004】
そこで、スリットノズルを斜めにすることなく真っ直ぐに配置しても噴射流体を斜めに噴出することができるノズルの開発を進め、例えば、図8に示されるように流体の噴出流路を傾斜させたものや、図9に示されるように流体の噴出口の先端に傾斜板部を設けたもの等を提案した。
しかしながら、ワークである液晶基板やプリント基板等は最大2000mm程度の幅があって、この幅全体にわたって均一な流体の噴出を保証する必要があり、図8〜図9の構造のものでは、いずれも複雑な形状の加工を要求されて工作機械の加工上、精度を保証するのが難しく、また安価に量産することもできないという問題点があった。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記のような従来の問題点を解決して、ノズルの軸方向に対し斜めに傾けた状態で流体を均一に噴射することができ、しかも簡単な構造で精度よく安価に生産することができるスリットノズルを提供することを目的として完成されたものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するためになされた本発明のスリットノズルは、2枚の板状体を貼り合わせ、この貼り合わせ部に形成した長手方向のスリット部を流体噴出口とするスリットノズルにおいて、該スリットノズルはワークの押さえローラ間に垂直に設置されるものであり、また前記いずれか一方の板状体に流体噴出口よりも前方に延びた延設部を形成するとともに、該延設部には先端が板状体の裏面にまで達するように斜めに切断されて流体噴出口から前方外側に向け傾斜する傾斜面を形成したことを特徴とするものである。
【0007】
【発明の実施の形態】
以下に、図面を参照しつつ本発明の好ましい実施の形態を示す。
図面は、本発明を液晶基板やプリント基板等の製造工程において使用される、流体としてガスを噴出する乾燥処理用のノズルに適用した場合を示すものであって、2枚の板状体1,1を貼り合わせ、この貼り合わせ部に形成した長手方向のスリット部を流体噴出口2とするスリットノズルである点は従来のものと基本的に同じである。
なお、図中3はガスの溜まり部、4はガスの供給管である。また、前記板状体1の材質としては、ステンレス鋼、チタン、アルミ等の金属や、セラミックや硬質樹脂等から使用環境や使用条件により任意に選択することができる。
【0008】
そして本発明では、前記いずれか一方の板状体1に流体噴出口2よりも前方に延びた延設部1aを形成するとともに、該延設部1aに流体噴出口2から前方に向け徐々に外側に向け傾斜する傾斜面5を形成したものとなっている。
このような構造のノズルでは、流体噴出口2から出たガスはそのガスの粘性により流体力学の特性に基づき、前記傾斜面5に案内されて自然に左方向へ曲げられて噴出する(図2の矢印参照)こととなり、図示のものでは、垂直なノズルの軸方向に対し斜め左に傾いた状態でガスが均一に噴射することとなる。
【0009】
なお、前記傾斜面5は、ガスの噴出方向を傾斜させたい側の少なくとも一方の板状体1にのみ形成すればよく、他方の板状体1の形状は問わない。従って、他方の板状体1は、図2に示されるように、前記傾斜面5に続くほぼ一直線上の傾斜面としたものや、図3に示されるように、矩形状にしたもの等任意の形状を選択することができる。
また傾斜面5の形状としては、図2にフラット状のものを例示したが、その他、図4に示されるようなガス噴出口側に膨出した段部1bを有する段付き状のものや、あるいは図5に示されるような曲面状のものでも同様の効果を得ることができる。
【0010】
このように本発明は、2枚の板状体1、1を貼り合わせ、この貼り合わせ部に形成した長手方向のスリット部を流体噴出口2とするスリットノズルにおいて、前記いずれか一方の板状体1に流体噴出口2よりも前方に延びた延設部5を形成するとともに、該延設部1aに流体噴出口2から前方に向け徐々に外側に向け傾斜する傾斜面5を形成した構造のものであるため、該傾斜面5に案内されて流体噴出口2から出たガスがそのガスの粘性により自然に左方向へ曲げられて噴出することとなる。この結果、垂直なノズルの軸方向に対し斜めに傾いた状態でガスを均一に噴射できるので、図6に示されるように、乾燥処理工程においてワーク10を押さえるための押さえローラ11、11の配置間隔を最小限まで狭めることが可能となり、しかもワーク10の浮き上がりや変形等も確実に防止できることとなる。
【0011】
なお、以上の説明では流体としてガスを用いた場合について説明したが、流体として液体を用いることもできることは勿論であり、この場合には、液体を斜めに噴出することでワーク上での跳ね返りを防止できるという効果や、排水を片側のみで行えるので装置をシンプルに設計することができる等の効果が得られ有効である。
【0012】
【発明の効果】
以上の説明からも明らかなように、本発明はノズルの軸方向に対し斜めに傾けた状態で流体を均一に噴射することができ、しかも簡単な構造で精度よく安価に生産することができるものである。
よって本発明は従来の問題点を一掃したスリットノズルとして、産業の発展に寄与するところは極めて大である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態を示す斜視図である。
【図2】本発明の実施の形態を示す要部の断面図である。
【図3】その他の実施の形態を示す要部の断面図である。
【図4】その他の実施の形態を示す要部の断面図である。
【図5】その他の実施の形態を示す要部の断面図である。
【図6】プリント基板の乾燥処理工程を示す正面図である。
【図7】従来のプリント基板の乾燥処理工程を示す正面図である。
【図8】従来例を示す要部の断面図である。
【図9】従来例を示す要部の断面図である。
【符号の説明】
1 板状体
1a 延設部
2 流体噴出口
5 傾斜面
[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a slit nozzle capable of uniformly ejecting a fluid in a state where the fluid is obliquely inclined with respect to the axial direction of the nozzle.
[0002]
[Prior art]
For example, in a manufacturing process of a liquid crystal substrate, a printed board, or the like, a cleaning process of a work, a chemical application process, a drying process, and the like are performed. After these processing processes, a cleaning process using ultrapure water is performed. Then, a method of using a slit nozzle to dry the ultrapure water after the cleaning process and drying the workpiece with a jet fluid is used. Here, the slit nozzle refers to a nozzle in which two plate-like bodies are bonded to each other and a longitudinal slit formed in the bonded portion is used as a fluid outlet.
[0003]
In this case, as shown in FIG. 7, in order to increase the drying efficiency, the gas is injected at a constant angle of attack with respect to the traveling direction of the work 10, but recently, the size of the work 10 is increased, and the thickness is reduced. In order to prevent the work 10 from being lifted up or deformed, it is necessary to reduce the interval between the pressing rollers 11 for holding the work 10. However, since the slit nozzles are arranged obliquely, there is a limit in reducing the interval between the pressing rollers 11, 11, and there is a problem that it is difficult to reliably press the work 10.
[0004]
Therefore, the development of a nozzle capable of ejecting the jet fluid obliquely even when the slit nozzle is arranged straight without making it oblique has been promoted. For example, as shown in FIG. 8, the fluid ejection flow path is inclined. The present invention has proposed a configuration in which an inclined plate portion is provided at the end of a fluid outlet as shown in FIG.
However, a work such as a liquid crystal substrate or a printed circuit board has a maximum width of about 2000 mm, and it is necessary to guarantee a uniform ejection of a fluid over the entire width. There is a problem in that machining of a complicated shape is required, and it is difficult to guarantee accuracy in machining a machine tool, and mass production cannot be performed at low cost.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves the above-mentioned conventional problems, and enables uniform ejection of a fluid in a state of being obliquely inclined with respect to the axial direction of a nozzle, and production of a simple structure with high accuracy and low cost. It has been completed for the purpose of providing a slit nozzle capable of performing the following.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
Slit nozzle of the present invention has been made to solve the aforementioned problem, bonding two plate-like body, the longitudinal direction of the slit portion formed in the bonded portion in a slit nozzle for the fluid ejection opening, the The slit nozzle is installed vertically between the pressing rollers of the work, and forms an extended portion extending forward from the fluid ejection port on one of the plate-like bodies, and the slit nozzle has Is characterized in that the front end is cut obliquely so as to reach the back surface of the plate-like body to form an inclined surface inclined forward and outward from the fluid ejection port .
[0007]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
The drawings show a case where the present invention is applied to a nozzle for a drying process that ejects a gas as a fluid, which is used in a manufacturing process of a liquid crystal substrate, a printed board, and the like. 1 is basically the same as the conventional one in that it is a slit nozzle in which a longitudinal slit formed in the bonded part is used as a fluid ejection port 2.
In the drawings, reference numeral 3 denotes a gas reservoir, and reference numeral 4 denotes a gas supply pipe. The material of the plate-like body 1 can be arbitrarily selected from metals such as stainless steel, titanium, and aluminum, ceramics, hard resins, and the like, depending on the use environment and use conditions.
[0008]
In the present invention, an extended portion 1a extending forward from the fluid ejection port 2 is formed on one of the plate-like bodies 1, and the extended portion 1a is gradually formed forward from the fluid ejection port 2 toward the front. An inclined surface 5 that is inclined outward is formed.
In the nozzle having such a structure, the gas discharged from the fluid ejection port 2 is guided by the inclined surface 5 and spontaneously bent to the left to be ejected on the basis of the fluid dynamics characteristics due to the viscosity of the gas (FIG. 2). In the illustrated example, the gas is uniformly injected in a state where the gas is obliquely inclined to the left with respect to the axial direction of the vertical nozzle.
[0009]
Note that the inclined surface 5 may be formed only on at least one plate-like body 1 on the side where the gas ejection direction is desired to be inclined, and the shape of the other plate-like body 1 is not limited. Therefore, the other plate-like body 1 may be any one such as an inclined plane substantially in a straight line following the inclined plane 5 as shown in FIG. 2 or a rectangular one as shown in FIG. Can be selected.
As the shape of the inclined surface 5, a flat shape is illustrated in FIG. 2, but in addition, a stepped shape having a step portion 1b bulging to the gas outlet side as shown in FIG. Alternatively, the same effect can be obtained with a curved surface as shown in FIG.
[0010]
As described above, the present invention relates to a slit nozzle in which the two plate-like bodies 1 and 1 are bonded to each other and the slit in the longitudinal direction formed in the bonded portion is used as the fluid ejection port 2. A structure in which an extension portion 5 extending forward from the fluid ejection port 2 is formed in the body 1 and an inclined surface 5 that is gradually inclined outward from the fluid ejection port 2 toward the front is formed in the extension portion 1a. Therefore, the gas guided from the inclined surface 5 and discharged from the fluid ejection port 2 is spontaneously bent to the left by the viscosity of the gas and ejected. As a result, the gas can be uniformly injected in a state of being inclined obliquely with respect to the axial direction of the vertical nozzle. Therefore, as shown in FIG. 6, the arrangement of the pressing rollers 11, 11 for pressing the work 10 in the drying process is performed. The interval can be reduced to a minimum, and the lifting or deformation of the work 10 can be reliably prevented.
[0011]
In the above description, the case where gas is used as the fluid has been described. However, it is needless to say that a liquid can be used as the fluid, and in this case, the rebound on the work is caused by ejecting the liquid obliquely. This is effective because it is possible to obtain the effect that it can be prevented, and because the drainage can be performed only on one side, the device can be designed simply.
[0012]
【The invention's effect】
As is apparent from the above description, the present invention can uniformly eject a fluid in a state where the fluid is obliquely inclined with respect to the axial direction of the nozzle, and can be manufactured accurately and inexpensively with a simple structure. It is.
Therefore, the present invention greatly contributes to industrial development as a slit nozzle that has eliminated the conventional problems.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a sectional view of a main part showing the embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a cross-sectional view of a main part showing another embodiment.
FIG. 4 is a cross-sectional view of a main part showing another embodiment.
FIG. 5 is a cross-sectional view of a main part showing another embodiment.
FIG. 6 is a front view showing a drying process of the printed circuit board.
FIG. 7 is a front view showing a conventional printed circuit board drying process.
FIG. 8 is a sectional view of a main part showing a conventional example.
FIG. 9 is a sectional view of a main part showing a conventional example.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Plate-like body 1a Extension part 2 Fluid ejection port 5 Slope

Claims (3)

2枚の板状体を貼り合わせ、この貼り合わせ部に形成した長手方向のスリット部を流体噴出口とするスリットノズルにおいて、該スリットノズルはワークの押さえローラ間に垂直に設置されるものであり、また前記いずれか一方の板状体に流体噴出口よりも前方に延びた延設部を形成するとともに、該延設部には先端が板状体の裏面にまで達するように斜めに切断されて流体噴出口から前方外側に向け傾斜する傾斜面を形成したことを特徴とするスリットノズル。In a slit nozzle in which two plate-like bodies are bonded to each other and a longitudinal slit formed in the bonded portion is used as a fluid ejection port, the slit nozzle is installed vertically between the pressing rollers of the work. In addition, an extension portion extending forward from the fluid ejection port is formed on one of the plate-like members, and the extension portion is cut obliquely so that the tip reaches the back surface of the plate-like member. A slit nozzle which is formed so as to be inclined forward and outward from the fluid ejection port . 傾斜面が、フラット状のものである請求項1に記載のスリットノズル。The slit nozzle according to claim 1, wherein the inclined surface has a flat shape. 傾斜面が、流体噴出口側に膨出した段付き状あるいは曲面状のものである請求項1に記載のスリットノズル。The slit nozzle according to claim 1, wherein the inclined surface has a stepped shape or a curved shape bulging toward the fluid ejection port side.
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