JP3523974B2 - 流体圧力制御装置 - Google Patents
流体圧力制御装置Info
- Publication number
- JP3523974B2 JP3523974B2 JP00075297A JP75297A JP3523974B2 JP 3523974 B2 JP3523974 B2 JP 3523974B2 JP 00075297 A JP00075297 A JP 00075297A JP 75297 A JP75297 A JP 75297A JP 3523974 B2 JP3523974 B2 JP 3523974B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- control
- valve opening
- pressure
- time constant
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Magnetically Actuated Valves (AREA)
- Feedback Control In General (AREA)
- Control Of Fluid Pressure (AREA)
- Fluid-Driven Valves (AREA)
- Fluid-Pressure Circuits (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、流体ラインに介装
した圧力制御弁により流体ラインの圧力を制御する流体
圧力制御装置の改良に関する。
した圧力制御弁により流体ラインの圧力を制御する流体
圧力制御装置の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】油圧ライン等の流体ラインに比例制御弁
を介装し、操作信号に応じてこの比例制御弁の開度を制
御することにより、流体圧力を目標の圧力に設定する流
体圧力制御装置としては、例えば図５に示すようなもの
が知られている。
を介装し、操作信号に応じてこの比例制御弁の開度を制
御することにより、流体圧力を目標の圧力に設定する流
体圧力制御装置としては、例えば図５に示すようなもの
が知られている。
【０００３】図示されるように、比例電磁式制御弁９
は、油圧アクチュエータ３とタンク５との間に介装さ
れ、油圧アクチュエータ３の油圧室３ａからの作動油を
タンク５側に逃がすリリーフ弁として働き、油圧アクチ
ュエータ３側のポート６の圧力Ｐbを圧力指令（目標圧
力）Ｐbrと一致するように制御する（リリーフ制御）。
は、油圧アクチュエータ３とタンク５との間に介装さ
れ、油圧アクチュエータ３の油圧室３ａからの作動油を
タンク５側に逃がすリリーフ弁として働き、油圧アクチ
ュエータ３側のポート６の圧力Ｐbを圧力指令（目標圧
力）Ｐbrと一致するように制御する（リリーフ制御）。
【０００４】このポート６の圧力Ｐbは圧力センサ１５
により検出され、この圧力Ｐbと圧力指令Ｐbrとの偏差
が加算器１０により演算されて、弁開度演算手段である
制御演算回路１１に入力される。このようにして偏差が
入力された制御演算回路１１は、弁開度指令ｘrを演算
し、弁開度制御回路１３に入力する。
により検出され、この圧力Ｐbと圧力指令Ｐbrとの偏差
が加算器１０により演算されて、弁開度演算手段である
制御演算回路１１に入力される。このようにして偏差が
入力された制御演算回路１１は、弁開度指令ｘrを演算
し、弁開度制御回路１３に入力する。
【０００５】具体的には、制御演算回路１１は、ポート
圧力Ｐbが圧力指令Ｐbrより小さければ制御弁１の開度
ｘを減じ、ポート圧力Ｐbが圧力指令Ｐbrより大きけれ
ば制御弁１の開度ｘを増すように、基準弁開度指令ｘr
を算出し、これを弁開度制御回路１３へと入力する。
圧力Ｐbが圧力指令Ｐbrより小さければ制御弁１の開度
ｘを減じ、ポート圧力Ｐbが圧力指令Ｐbrより大きけれ
ば制御弁１の開度ｘを増すように、基準弁開度指令ｘr
を算出し、これを弁開度制御回路１３へと入力する。
【０００６】そして、この弁開度制御回路１３には開度
センサ１６により検出された弁開度ｘが入力され、弁開
度制御回路１３はこの実際の弁開度ｘが基準弁開度指令
ｘrと一致するように弁（絞り部）１４を制御する。
センサ１６により検出された弁開度ｘが入力され、弁開
度制御回路１３はこの実際の弁開度ｘが基準弁開度指令
ｘrと一致するように弁（絞り部）１４を制御する。
【０００７】図６、図７には、このような比例電磁式圧
力制御弁９によるポート６の圧力Ｐbの制御結果の一例
を示す。ここで、圧力指令Ｐbrは図中破線で示した矩形
波で与えられ、そのときの圧力Ｐbの波形が実線で示さ
れる。
力制御弁９によるポート６の圧力Ｐbの制御結果の一例
を示す。ここで、圧力指令Ｐbrは図中破線で示した矩形
波で与えられ、そのときの圧力Ｐbの波形が実線で示さ
れる。
【０００８】この制御によれば、図から見てとれるよう
に、圧力Ｐbは最終的には圧力指令Ｐbrに収束するもの
の、図６に示すように指令圧力Ｐbrおよび弁１４の通過
流量が略最適調整条件（この例では圧力指令Ｐbr＝２０
０〜２５０ｋｇｆ／ｃｍ2、弁通過流量Ｑ＝３００Ｌ／
ｍｉｎ）にあるときでも、速やかな応答が得られる訳で
はない。特に、図７に示すように、弁通過流量Ｑが５０
Ｌ／ｍｉｎと少ないときには、弁通過流量Ｑが大きなと
きと同様に弁開度を変化させたのでは急激な圧力変動を
生じてしまい、ハンチングを引き起こして、応答特性が
著しく悪化してしまう。
に、圧力Ｐbは最終的には圧力指令Ｐbrに収束するもの
の、図６に示すように指令圧力Ｐbrおよび弁１４の通過
流量が略最適調整条件（この例では圧力指令Ｐbr＝２０
０〜２５０ｋｇｆ／ｃｍ2、弁通過流量Ｑ＝３００Ｌ／
ｍｉｎ）にあるときでも、速やかな応答が得られる訳で
はない。特に、図７に示すように、弁通過流量Ｑが５０
Ｌ／ｍｉｎと少ないときには、弁通過流量Ｑが大きなと
きと同様に弁開度を変化させたのでは急激な圧力変動を
生じてしまい、ハンチングを引き起こして、応答特性が
著しく悪化してしまう。
【０００９】そこで、図８に示すような補正回路１２
を、制御演算回路１１と弁開度制御回路１３との間に介
装することにより、指令圧力Ｐbrおよび弁１４の通過流
量が略最適調整条件にないときにも、制御特性を向上さ
せることが考えられる（図１参照）。
を、制御演算回路１１と弁開度制御回路１３との間に介
装することにより、指令圧力Ｐbrおよび弁１４の通過流
量が略最適調整条件にないときにも、制御特性を向上さ
せることが考えられる（図１参照）。
【００１０】この補正回路１２は、ポート６の圧力Ｐb
および弁通過流量Ｑの変化による制御対象（弁開度制御
回路１３、弁１４、油圧アクチュエータ３の油圧室３ａ
からなる系）の直流ゲインＫの変化を打ち消すための回
路である。すなわち、一般に、図５に示すような比例電
磁式圧力制御弁９の制御演算回路１１で採用されている
制御方式（例えばＰＩ制御法）は線形制御理論に基づい
たものであり、制御対象の特性が一定であること（制御
対象が定常線形システムであること）が良い制御性能を
得るための必要条件である。これに対して補正回路１２
は、制御対象（図５の弁開度制御回路１３、弁１４、油
圧アクチュエータ３の油圧室３ａからなる系）の特性変
化に対応するため、制御対象の特性を特徴づける直流ゲ
インＫの変化に応じて、弁開度指令ｘrを補正し、制御
特性の向上を図る。
および弁通過流量Ｑの変化による制御対象（弁開度制御
回路１３、弁１４、油圧アクチュエータ３の油圧室３ａ
からなる系）の直流ゲインＫの変化を打ち消すための回
路である。すなわち、一般に、図５に示すような比例電
磁式圧力制御弁９の制御演算回路１１で採用されている
制御方式（例えばＰＩ制御法）は線形制御理論に基づい
たものであり、制御対象の特性が一定であること（制御
対象が定常線形システムであること）が良い制御性能を
得るための必要条件である。これに対して補正回路１２
は、制御対象（図５の弁開度制御回路１３、弁１４、油
圧アクチュエータ３の油圧室３ａからなる系）の特性変
化に対応するため、制御対象の特性を特徴づける直流ゲ
インＫの変化に応じて、弁開度指令ｘrを補正し、制御
特性の向上を図る。
【００１１】なお、制御対象の特性がポート６の圧力Ｐ
bおよび弁通過流量Ｑに依存することは以下のように示
すことができる。
bおよび弁通過流量Ｑに依存することは以下のように示
すことができる。
【００１２】まず、制御対象の伝達関数は、
Ｐb／ｘr＝Ｋ／（Ｔｓ＋１） …（１）
と表すことができる。ただし、Ｋは直流ゲイン、Ｔは時
定数であり、ともに制御対象の特性を表す係数である。
定数であり、ともに制御対象の特性を表す係数である。
【００１３】ここで、直流ゲインＫは、
Ｋ＝α（ΔＰ3/2／Ｑ） …（２）
で与えられる。ただし、ΔＰはポート６とポート７（弁
１４のタンク側のポート）との圧力差Ｐa−Ｐbであり、
αは定数である。
１４のタンク側のポート）との圧力差Ｐa−Ｐbであり、
αは定数である。
【００１４】この式（２）から分かるように、直流ゲイ
ンＫは圧力差ΔＰと流量Ｑとに依存し、したがって制御
対象の特性は、Ｐa、Ｐb、およびＱに依存することが分
かる。
ンＫは圧力差ΔＰと流量Ｑとに依存し、したがって制御
対象の特性は、Ｐa、Ｐb、およびＱに依存することが分
かる。
【００１５】さて、この補正回路１２には、制御演算回
路１１から基準弁開度指令ｘrが、また圧力センサ１
５、開度センサ１６、圧力センサ１７からの検出値とし
て、それぞれポート６の圧力Ｐb、弁１４の開度ｘ、ポ
ート７の圧力Ｐaが入力され、基準弁開度指令ｘrを補正
した補正弁開度指令ｘrcを弁開度制御回路１３へと出力
する。そして、補正回路１２内部では、流量推定回路２
１が各センサにより検出された検出値（圧力Ｐb、開度
ｘ、圧力Ｐa）から弁通過流量Ｑを算出し、直流ゲイン
演算回路２２が、この弁通過流量Ｑおよび弁上流下流の
圧力差Ｐa−Ｐbから、現在の直流ゲインＫを算出する。
補正係数演算回路２３は、この直流ゲインＫとあらかじ
め記憶している基準直流ゲインＫ0から補正係数Ｃを算
出し、乗算器２４により、制御演算回路１１からの基準
弁開度指令ｘrが補正弁開度指令ｘrcへと補正される。
路１１から基準弁開度指令ｘrが、また圧力センサ１
５、開度センサ１６、圧力センサ１７からの検出値とし
て、それぞれポート６の圧力Ｐb、弁１４の開度ｘ、ポ
ート７の圧力Ｐaが入力され、基準弁開度指令ｘrを補正
した補正弁開度指令ｘrcを弁開度制御回路１３へと出力
する。そして、補正回路１２内部では、流量推定回路２
１が各センサにより検出された検出値（圧力Ｐb、開度
ｘ、圧力Ｐa）から弁通過流量Ｑを算出し、直流ゲイン
演算回路２２が、この弁通過流量Ｑおよび弁上流下流の
圧力差Ｐa−Ｐbから、現在の直流ゲインＫを算出する。
補正係数演算回路２３は、この直流ゲインＫとあらかじ
め記憶している基準直流ゲインＫ0から補正係数Ｃを算
出し、乗算器２４により、制御演算回路１１からの基準
弁開度指令ｘrが補正弁開度指令ｘrcへと補正される。
【００１６】図９、図１０には、この補正回路１２によ
る補正がある場合の制御特性の変化を示す。図から見て
とれるように、図９に示すような最適調整状態では、圧
力Ｐ b変化のために十分な弁開度ｘが確保され、圧力Ｐb
は目標圧力に速やかに収束する。
る補正がある場合の制御特性の変化を示す。図から見て
とれるように、図９に示すような最適調整状態では、圧
力Ｐ b変化のために十分な弁開度ｘが確保され、圧力Ｐb
は目標圧力に速やかに収束する。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この補
正回路１２を用いた場合でも、図１０に示すように弁通
過流量Ｑが５０Ｌ／ｍｉｎと少ないときには、依然とし
て行き過ぎ量を抑制できず、応答特性の改善は十分のも
のとは言えない。
正回路１２を用いた場合でも、図１０に示すように弁通
過流量Ｑが５０Ｌ／ｍｉｎと少ないときには、依然とし
て行き過ぎ量を抑制できず、応答特性の改善は十分のも
のとは言えない。
【００１８】本発明は、このような問題点に着目してな
されたものであり、補正回路により、流体ラインの流体
圧力（目標圧力）および制御弁の弁通過流量の変動によ
る制御対象の特性変化を補償して、良好な制御性能を保
ち得る流体圧力制御装置において、さらに制御性能を向
上させ得るものを提供することを目的とする。
されたものであり、補正回路により、流体ラインの流体
圧力（目標圧力）および制御弁の弁通過流量の変動によ
る制御対象の特性変化を補償して、良好な制御性能を保
ち得る流体圧力制御装置において、さらに制御性能を向
上させ得るものを提供することを目的とする。
【００１９】
【課題を解決するための手段】第１の発明は、油圧アク
チュエータに接続した流体ラインと、この流体ラインに
介装された制御弁と、前記流体ラインの流体圧力を検出
する流体圧力検出手段と、この流体圧力の検出値と目標
圧力との偏差に基づいて前記制御弁の基準弁開度指令を
決定する弁開度指令演算手段と、前記制御弁の弁開度を
検出する弁開度検出手段と、この弁開度検出手段により
検出された弁開度が前記補正弁開度指令と一致するよう
に前記制御弁の弁開度を制御する弁開度制御手段とを備
えた流体圧力制御装置において、制御対象の直流ゲイン
を演算する直流ゲイン演算手段及びこの直流ゲイン演算
手段により演算された制御対象の現在の直流ゲインと基
準直流ゲインとに基づいて弁開度指令を補正する直流ゲ
イン補正手段と、制御対象の時定数の変化を演算する時
定数演算手段及びこの時定数演算手段により演算された
制御対象の現在の時定数と時定数基準値とに基づいて弁
開度指令を補正する時定数補正手段とを備えた。
チュエータに接続した流体ラインと、この流体ラインに
介装された制御弁と、前記流体ラインの流体圧力を検出
する流体圧力検出手段と、この流体圧力の検出値と目標
圧力との偏差に基づいて前記制御弁の基準弁開度指令を
決定する弁開度指令演算手段と、前記制御弁の弁開度を
検出する弁開度検出手段と、この弁開度検出手段により
検出された弁開度が前記補正弁開度指令と一致するよう
に前記制御弁の弁開度を制御する弁開度制御手段とを備
えた流体圧力制御装置において、制御対象の直流ゲイン
を演算する直流ゲイン演算手段及びこの直流ゲイン演算
手段により演算された制御対象の現在の直流ゲインと基
準直流ゲインとに基づいて弁開度指令を補正する直流ゲ
イン補正手段と、制御対象の時定数の変化を演算する時
定数演算手段及びこの時定数演算手段により演算された
制御対象の現在の時定数と時定数基準値とに基づいて弁
開度指令を補正する時定数補正手段とを備えた。
【００２０】第２の発明では、前記時定数基準値は、前
記流体ラインの流体圧力と前記制御弁の通過流量が所定
の最適値を持つ最適調整状態における制御対象の時定数
である。
記流体ラインの流体圧力と前記制御弁の通過流量が所定
の最適値を持つ最適調整状態における制御対象の時定数
である。
【００２１】
【作用】本発明では、制御対象に補正弁開度指令を入力
して制御弁の弁開度を調節することにより流体ラインの
圧力を制御するが、この補正弁開度指令は、基準となる
最適調整状態における流体ラインの流体圧力（目標圧
力）および制御弁の通過流量に最適なものとして弁開度
演算手段から出力された基準弁開度指令を、補正手段に
より補正して算出される。この場合、補正手段は、制御
対象の現在の直流ゲインを演算し、この直流ゲインと基
準直流ゲインとに基づいて、制御対象の直流ゲインの変
化分を相殺するように基準弁開度指令を補正するととも
に、制御対象の現在の時定数を演算し、この時定数と時
定数基準値とに基づいて、制御対象の時定数の変化分を
も相殺するように基準弁開度指令を補正するので、補正
弁開度指令は制御対象の変動を正しく反映した補正がな
されたものとなる。
して制御弁の弁開度を調節することにより流体ラインの
圧力を制御するが、この補正弁開度指令は、基準となる
最適調整状態における流体ラインの流体圧力（目標圧
力）および制御弁の通過流量に最適なものとして弁開度
演算手段から出力された基準弁開度指令を、補正手段に
より補正して算出される。この場合、補正手段は、制御
対象の現在の直流ゲインを演算し、この直流ゲインと基
準直流ゲインとに基づいて、制御対象の直流ゲインの変
化分を相殺するように基準弁開度指令を補正するととも
に、制御対象の現在の時定数を演算し、この時定数と時
定数基準値とに基づいて、制御対象の時定数の変化分を
も相殺するように基準弁開度指令を補正するので、補正
弁開度指令は制御対象の変動を正しく反映した補正がな
されたものとなる。
【００２２】したがって、制御弁の弁開度は常に適切に
調整され、流体圧力制御装置は、流体ラインの流体圧力
および制御弁の通過流量の変化にかかわらず、常に良好
な制御特性を確保することができ、例えば弁通過流量が
小さな場合でも弁開度の変化が適切に抑制される結果、
圧力変動はハンチング等を起こさない良好な収束性を示
す。また、このような流体ラインの流体圧力および制御
弁の通過流量の変化に応じた制御（弁開度指令の補正）
は、数学モデルを用いて行うものであるので、制御弁の
動作範囲の複数点でのデータを計測しておき、この計測
データにしたがって弁開度指令を補正する必要はなく、
このような計測データを記憶する記憶手段も必要とされ
ないので、流体圧力制御装置の構成は複雑化することな
く、装置の低コスト化を図ることができる。
調整され、流体圧力制御装置は、流体ラインの流体圧力
および制御弁の通過流量の変化にかかわらず、常に良好
な制御特性を確保することができ、例えば弁通過流量が
小さな場合でも弁開度の変化が適切に抑制される結果、
圧力変動はハンチング等を起こさない良好な収束性を示
す。また、このような流体ラインの流体圧力および制御
弁の通過流量の変化に応じた制御（弁開度指令の補正）
は、数学モデルを用いて行うものであるので、制御弁の
動作範囲の複数点でのデータを計測しておき、この計測
データにしたがって弁開度指令を補正する必要はなく、
このような計測データを記憶する記憶手段も必要とされ
ないので、流体圧力制御装置の構成は複雑化することな
く、装置の低コスト化を図ることができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】以下、添付図面に基づいて、本発
明の実施の形態について説明する。
明の実施の形態について説明する。
【００２４】図１には、本発明の流体圧力制御装置の構
成を示す。
成を示す。
【００２５】図示されるように、比例電磁式圧力制御弁
１は、油圧アクチュエータ３とタンク５との間に介装さ
れ、油圧アクチュエータ３の油圧室３ａからの作動油を
タンク５側に逃がすリリーフ弁として働き、油圧アクチ
ュエータ３側のポート６の圧力Ｐbを圧力指令（目標圧
力）Ｐbrと一致するように、リリーフ制御する。
１は、油圧アクチュエータ３とタンク５との間に介装さ
れ、油圧アクチュエータ３の油圧室３ａからの作動油を
タンク５側に逃がすリリーフ弁として働き、油圧アクチ
ュエータ３側のポート６の圧力Ｐbを圧力指令（目標圧
力）Ｐbrと一致するように、リリーフ制御する。
【００２６】このポート６の圧力Ｐbは圧力センサ１５
により検出され、この圧力Ｐbと圧力指令Ｐbrとの偏差
が加算器１０により演算されて、弁開度演算手段である
制御演算回路１１に入力される。このようにして偏差が
入力された制御演算回路１１は、弁開度指令ｘrを演算
し、弁開度制御回路１３に入力する。
により検出され、この圧力Ｐbと圧力指令Ｐbrとの偏差
が加算器１０により演算されて、弁開度演算手段である
制御演算回路１１に入力される。このようにして偏差が
入力された制御演算回路１１は、弁開度指令ｘrを演算
し、弁開度制御回路１３に入力する。
【００２７】具体的には、制御演算回路１１は、ポート
圧力Ｐbが圧力指令Ｐbrより小さければ制御弁１の開度
ｘを減じ、ポート圧力Ｐbが圧力指令Ｐbrより大きけれ
ば制御弁１の開度ｘを増すように、基準弁開度指令ｘr
を算出し、これを弁開度制御回路１３へと入力する。
圧力Ｐbが圧力指令Ｐbrより小さければ制御弁１の開度
ｘを減じ、ポート圧力Ｐbが圧力指令Ｐbrより大きけれ
ば制御弁１の開度ｘを増すように、基準弁開度指令ｘr
を算出し、これを弁開度制御回路１３へと入力する。
【００２８】また、この弁開度制御回路１３には開度セ
ンサ１６により検出された弁開度ｘが入力され、弁開度
制御回路１３はこの実際の弁開度ｘが基準弁開度指令ｘ
rと一致するように弁（絞り部）１４を制御する。
ンサ１６により検出された弁開度ｘが入力され、弁開度
制御回路１３はこの実際の弁開度ｘが基準弁開度指令ｘ
rと一致するように弁（絞り部）１４を制御する。
【００２９】さらに、この比例電磁式圧力制御弁１に
は、制御演算回路１１と弁開度制御回路１３との間に、
補正回路３０が介装されるとともに、ポート７の圧力Ｐ
aを検出する圧力センサ１７が備えられる。
は、制御演算回路１１と弁開度制御回路１３との間に、
補正回路３０が介装されるとともに、ポート７の圧力Ｐ
aを検出する圧力センサ１７が備えられる。
【００３０】補正回路３０は、ポート６の圧力Ｐbおよ
び弁通過流量Ｑの変化による制御対象（弁開度制御回路
１３、弁１４、油圧アクチュエータ３の油圧室３ａから
なる系）の特性変化を打ち消すための回路であり、従来
の補正回路１２と同様に、制御演算回路１１から基準弁
開度指令ｘrが、また圧力センサ１５、開度センサ１
６、圧力センサ１７からの検出値として、それぞれポー
ト６の圧力Ｐb、弁１４の開度ｘ、ポート７の圧力Ｐaが
入力され、基準弁開度指令ｘrを補正した補正弁開度指
令ｘrcを弁開度制御回路１３へと出力する。
び弁通過流量Ｑの変化による制御対象（弁開度制御回路
１３、弁１４、油圧アクチュエータ３の油圧室３ａから
なる系）の特性変化を打ち消すための回路であり、従来
の補正回路１２と同様に、制御演算回路１１から基準弁
開度指令ｘrが、また圧力センサ１５、開度センサ１
６、圧力センサ１７からの検出値として、それぞれポー
ト６の圧力Ｐb、弁１４の開度ｘ、ポート７の圧力Ｐaが
入力され、基準弁開度指令ｘrを補正した補正弁開度指
令ｘrcを弁開度制御回路１３へと出力する。
【００３１】図２には、この補正回路３０の内部構成を
示す。
示す。
【００３２】図示されるように、補正回路３０は、従来
の補正回路１２と同様に、流量推定回路２１と、直流ゲ
イン演算回路２２と、補正係数演算回路２３と、乗算器
２４とを備えるとともに、補正回路１２と異なる構成と
して、時定数演算回路２５と、時定数補正回路２６とを
備えている。本発明の補正回路３０は、時定数演算回路
２５と、時定数補正回路２６を備えることにより、従来
の補正回路１２と同様に制御対象の直流ゲインＫの変化
分に基づく補正とともに、制御対象の時定数Ｔの変化分
に基づく補正を行い、最終的に補正弁開度指令ｘrcを得
るものである。
の補正回路１２と同様に、流量推定回路２１と、直流ゲ
イン演算回路２２と、補正係数演算回路２３と、乗算器
２４とを備えるとともに、補正回路１２と異なる構成と
して、時定数演算回路２５と、時定数補正回路２６とを
備えている。本発明の補正回路３０は、時定数演算回路
２５と、時定数補正回路２６を備えることにより、従来
の補正回路１２と同様に制御対象の直流ゲインＫの変化
分に基づく補正とともに、制御対象の時定数Ｔの変化分
に基づく補正を行い、最終的に補正弁開度指令ｘrcを得
るものである。
【００３３】すなわち、制御対象の特性を表す伝達関数
は、式（１）に示されるように、直流ゲインＫのほか、
時定数Ｔをも含んでいる。そして、この時定数Ｔは、 Ｔ＝βΔＰ／Ｑ …（３） と表され、ΔＰはポート６とポート７との圧力差Ｐa−
Ｐb、弁通過流量Ｑの変化にしたがって変動する。した
がって、時定数Ｔの変化分を考慮して弁開度指令を補正
することにより、制御特性をさらに向上させることが可
能となる。なお、式（３）において、βは所定の定数で
ある。
は、式（１）に示されるように、直流ゲインＫのほか、
時定数Ｔをも含んでいる。そして、この時定数Ｔは、 Ｔ＝βΔＰ／Ｑ …（３） と表され、ΔＰはポート６とポート７との圧力差Ｐa−
Ｐb、弁通過流量Ｑの変化にしたがって変動する。した
がって、時定数Ｔの変化分を考慮して弁開度指令を補正
することにより、制御特性をさらに向上させることが可
能となる。なお、式（３）において、βは所定の定数で
ある。
【００３４】この補正回路３０の構成をさらに詳しく説
明すると、各センサにより検出された検出値（圧力
Ｐb、開度ｘ、圧力Ｐa）は、まず流量推定回路２１に入
力される。流量推定回路２１は、これらの検出値を用い
て、弁通過流量Ｑを、 Ｑ＝γＡ（ΔＰ）1/2 …（４） として演算する。ただし、Ａは弁開度ｘから算出される
弁１４の開口面積、ΔＰはポート６とポート７の圧力差
（すなわち弁１４の上流と下流の圧力差）、γは定数で
ある。なお、この流量推定回路２１は、流量センサによ
り代用することも可能である。
明すると、各センサにより検出された検出値（圧力
Ｐb、開度ｘ、圧力Ｐa）は、まず流量推定回路２１に入
力される。流量推定回路２１は、これらの検出値を用い
て、弁通過流量Ｑを、 Ｑ＝γＡ（ΔＰ）1/2 …（４） として演算する。ただし、Ａは弁開度ｘから算出される
弁１４の開口面積、ΔＰはポート６とポート７の圧力差
（すなわち弁１４の上流と下流の圧力差）、γは定数で
ある。なお、この流量推定回路２１は、流量センサによ
り代用することも可能である。
【００３５】直流ゲイン演算回路２２には、流量推定回
路２１において演算された弁通路流量Ｑと、圧力Ｐb、
圧力Ｐaが入力され、制御対象（弁開度制御回路１３、
弁１４、および油圧アクチュエータ３の油圧室３ａから
なる系）の直流ゲインＫを、前述の式（２）を用いて算
出する。
路２１において演算された弁通路流量Ｑと、圧力Ｐb、
圧力Ｐaが入力され、制御対象（弁開度制御回路１３、
弁１４、および油圧アクチュエータ３の油圧室３ａから
なる系）の直流ゲインＫを、前述の式（２）を用いて算
出する。
【００３６】補正係数演算回路２３は、直流ゲイン演算
回路２２で算出された直流ゲインＫと直流ゲイン基準値
Ｋ0から、補正係数ＣKを、 ＣK＝Ｋ0／Ｋ …（５） として算出する。ただし、Ｋ0は制御演算回路１１を最
適調整した状態における直流ゲインであり、この最適調
整状態でのポート６の圧力Ｐb、ポート７の圧力Ｐa、弁
通路流量Ｑから求められる。
回路２２で算出された直流ゲインＫと直流ゲイン基準値
Ｋ0から、補正係数ＣKを、 ＣK＝Ｋ0／Ｋ …（５） として算出する。ただし、Ｋ0は制御演算回路１１を最
適調整した状態における直流ゲインであり、この最適調
整状態でのポート６の圧力Ｐb、ポート７の圧力Ｐa、弁
通路流量Ｑから求められる。
【００３７】乗算器２４は、このようにして算出された
補正係数ＣKを基準弁開度指令ｘrに乗じて得られた出力
信号を、時定数補正回路２６へと入力する。
補正係数ＣKを基準弁開度指令ｘrに乗じて得られた出力
信号を、時定数補正回路２６へと入力する。
【００３８】一方、流量推定回路２１において演算され
た弁通路流量Ｑと、圧力Ｐb、圧力Ｐaは、時定数演算回
路２５に対しても入力される。
た弁通路流量Ｑと、圧力Ｐb、圧力Ｐaは、時定数演算回
路２５に対しても入力される。
【００３９】時定数演算回路２５は、ポート６の圧力Ｐ
bとポート７の圧力Ｐaとの圧力差ΔＰ（＝｜Ｐa−Ｐ
b｜）と弁通過流量Ｑとから、式（３）を用いて、制御
対象の現在の時定数Ｔを演算する。
bとポート７の圧力Ｐaとの圧力差ΔＰ（＝｜Ｐa−Ｐ
b｜）と弁通過流量Ｑとから、式（３）を用いて、制御
対象の現在の時定数Ｔを演算する。
【００４０】この現在の時定数Ｔは時定数補正回路２６
へと入力される。そして、時定数補正回路２６の伝達関
数は、この時定数Ｔと基準時定数Ｔ0とから、 Ｃ（ｓ）＝（Ｔｓ＋１）／（Ｔ0ｓ＋１） …（６） と設定される。なお、基準時定数Ｔ0は、最適調整状態
における弁通路流量Ｑと、圧力Ｐb、圧力Ｐaから、式
（３）を用いて演算されたものである。
へと入力される。そして、時定数補正回路２６の伝達関
数は、この時定数Ｔと基準時定数Ｔ0とから、 Ｃ（ｓ）＝（Ｔｓ＋１）／（Ｔ0ｓ＋１） …（６） と設定される。なお、基準時定数Ｔ0は、最適調整状態
における弁通路流量Ｑと、圧力Ｐb、圧力Ｐaから、式
（３）を用いて演算されたものである。
【００４１】この式（６）に示される時定数補正回路２
６の伝達関数により、乗算器２４からの出力信号が変換
され、この変換された信号が補正弁開度指令ｘrcとな
る。この補正弁開度指令ｘrcは、弁開度制御回路１３へ
と出力される。
６の伝達関数により、乗算器２４からの出力信号が変換
され、この変換された信号が補正弁開度指令ｘrcとな
る。この補正弁開度指令ｘrcは、弁開度制御回路１３へ
と出力される。
【００４２】つぎに作用を説明する。
【００４３】油圧アクチュエータ３の油圧室３ａ内の作
動油は、リリーフ弁である比例電磁式圧力制御弁１を介
してタンク５側に逃がされるが、この場合、制御弁１で
油圧アクチュエータ３側のポート６の圧力Ｐbをリリー
フ制御することにより、油圧アクチュエータ３は所望の
動作を行う。
動油は、リリーフ弁である比例電磁式圧力制御弁１を介
してタンク５側に逃がされるが、この場合、制御弁１で
油圧アクチュエータ３側のポート６の圧力Ｐbをリリー
フ制御することにより、油圧アクチュエータ３は所望の
動作を行う。
【００４４】この場合、ポート圧力Ｐbは圧力指令Ｐbr
に一致するようにフィードバック制御されるのである
が、圧力指令Ｐbr（ポート圧力Ｐb）および弁通過流量
Ｑが制御演算回路１１に対して最適調整状態にあるとき
には、従来例（図９参照）と同様に、ポート圧力Ｐ
bは、圧力指令Ｐbrに対して、良好な応答で追随する。
に一致するようにフィードバック制御されるのである
が、圧力指令Ｐbr（ポート圧力Ｐb）および弁通過流量
Ｑが制御演算回路１１に対して最適調整状態にあるとき
には、従来例（図９参照）と同様に、ポート圧力Ｐ
bは、圧力指令Ｐbrに対して、良好な応答で追随する。
【００４５】さらに本発明では、補正回路３０の働きに
より、圧力指令Ｐbrおよび弁通過流量Ｑが制御演算回路
１１に対する最適調整状態から変動し、制御対象（弁開
度制御回路１３、弁１４、および油圧アクチュエータ３
の油圧室３ａからなる系）の特性が変化してしまったと
きでも、制御演算回路１１からの基準弁開度指令ｘ
rを、補正弁開度指令ｘrcに適切に補正することができ
る。このように補正された補正弁開度指令ｘrcは弁開度
制御回路１３に入力され、弁１４はこの補正弁開度指令
ｘrcに基づいて制御される。
より、圧力指令Ｐbrおよび弁通過流量Ｑが制御演算回路
１１に対する最適調整状態から変動し、制御対象（弁開
度制御回路１３、弁１４、および油圧アクチュエータ３
の油圧室３ａからなる系）の特性が変化してしまったと
きでも、制御演算回路１１からの基準弁開度指令ｘ
rを、補正弁開度指令ｘrcに適切に補正することができ
る。このように補正された補正弁開度指令ｘrcは弁開度
制御回路１３に入力され、弁１４はこの補正弁開度指令
ｘrcに基づいて制御される。
【００４６】この場合、補正回路３０は、制御対象の特
性（伝達関数）の直流ゲインＫの変動に加えて、時定数
Ｔの変動に基づく変化分をも考慮して、弁開度指令を補
正する。すなわち、補正回路３０は、弁開度指令を、制
御対象の現在の直流ゲインＫが直流ゲイン基準値Ｋ
0（最適調整状態における直流ゲイン）から変化した割
合で調節して、直流ゲインの変化分の効果を相殺すると
ともに、制御対象の現在の時定数Ｔが時定数基準値Ｔ0
（最適調整状態における時定数）から変化した割合でも
調整することにより、時定数の変化分の効果を相殺す
る。
性（伝達関数）の直流ゲインＫの変動に加えて、時定数
Ｔの変動に基づく変化分をも考慮して、弁開度指令を補
正する。すなわち、補正回路３０は、弁開度指令を、制
御対象の現在の直流ゲインＫが直流ゲイン基準値Ｋ
0（最適調整状態における直流ゲイン）から変化した割
合で調節して、直流ゲインの変化分の効果を相殺すると
ともに、制御対象の現在の時定数Ｔが時定数基準値Ｔ0
（最適調整状態における時定数）から変化した割合でも
調整することにより、時定数の変化分の効果を相殺す
る。
【００４７】この結果、弁通過流量Ｑが少ないとき（例
えばＱ＝５０Ｌ／ｍｉｎのとき）でも、図３に示すよう
に、ポート圧力Ｐbは圧力指令Ｐbrに速やかに到達する
一方で、弁開度ｘの弁通過流量Ｑに比して大きすぎる変
化に起因する行き過ぎ量は抑制され、圧力Ｐbは良好な
特性で圧力指令Ｐbrに収束して行く。
えばＱ＝５０Ｌ／ｍｉｎのとき）でも、図３に示すよう
に、ポート圧力Ｐbは圧力指令Ｐbrに速やかに到達する
一方で、弁開度ｘの弁通過流量Ｑに比して大きすぎる変
化に起因する行き過ぎ量は抑制され、圧力Ｐbは良好な
特性で圧力指令Ｐbrに収束して行く。
【００４８】なお、本発明の流体圧力制御装置では、こ
のような制御対象の特性の変化に対応した弁１４の開度
制御の補正を数学モデルを用いてなすものであるので、
制御対象の特性の変化に対応するために、あらかじめ制
御弁の動作範囲でのデータを計測しておく必要はなく、
この計測されたデータを記憶しておく記憶手段も必要と
されない。したがって、流体圧力制御装置の構成は複雑
化することなく、装置の低コスト化を図ることができ
る。
のような制御対象の特性の変化に対応した弁１４の開度
制御の補正を数学モデルを用いてなすものであるので、
制御対象の特性の変化に対応するために、あらかじめ制
御弁の動作範囲でのデータを計測しておく必要はなく、
この計測されたデータを記憶しておく記憶手段も必要と
されない。したがって、流体圧力制御装置の構成は複雑
化することなく、装置の低コスト化を図ることができ
る。
【００４９】図４には本発明の他の実施の形態の構成を
示す。
示す。
【００５０】これでは、比例電磁式圧力制御弁１は、油
圧ポンプ２から油圧アクチュエータ１へと供給される作
動油の通路に減圧弁として介装され、弁１４通過後のポ
ート６における作動油の圧力Ｐbを減圧制御する。な
お、ポート６と油圧アクチュエータ３との間には、作動
油の一部をバルブ１８を介してタンク５側に逃がすブリ
ード回路１９が設けられる。
圧ポンプ２から油圧アクチュエータ１へと供給される作
動油の通路に減圧弁として介装され、弁１４通過後のポ
ート６における作動油の圧力Ｐbを減圧制御する。な
お、ポート６と油圧アクチュエータ３との間には、作動
油の一部をバルブ１８を介してタンク５側に逃がすブリ
ード回路１９が設けられる。
【００５１】この図６の制御回路も、図１のリリーフ制
御の場合と同様に、フィードバックされたポート６の圧
力Ｐbが圧力指令Ｐbrと一致するように、制御演算回路
１１、補正回路１２、弁開度制御回路１３を介して弁１
４の開度を制御するものであり、ポート６の圧力Ｐbが
圧力指令Ｐbrよりも小さければ弁１４の開度ｘを増し、
逆に大きければ弁１４の開度ｘを減じるように、弁１４
が駆動される（すなわち、弁の開閉がリリーフ制御と逆
になる）点でのみ、図１と異なる作用をするものであ
る。
御の場合と同様に、フィードバックされたポート６の圧
力Ｐbが圧力指令Ｐbrと一致するように、制御演算回路
１１、補正回路１２、弁開度制御回路１３を介して弁１
４の開度を制御するものであり、ポート６の圧力Ｐbが
圧力指令Ｐbrよりも小さければ弁１４の開度ｘを増し、
逆に大きければ弁１４の開度ｘを減じるように、弁１４
が駆動される（すなわち、弁の開閉がリリーフ制御と逆
になる）点でのみ、図１と異なる作用をするものであ
る。
【００５２】したがって、補正回路３０を備えた効果
は、図１の場合と同様であり、圧力指令Ｐbrおよび弁通
過流量Ｑが制御演算回路１１に対する最適調整状態から
変動し、制御対象（弁開度制御回路１３、弁１４、およ
び油圧アクチュエータ３の油圧室３ａからなる系）の特
性が変化してしまったときでも、制御演算回路１１から
の基準弁開度指令ｘrは、制御対象の直流ゲインＫおよ
び時定数Ｔの両方の変動を適切に反映した補正がなさ
れ、補正弁開度指令ｘrcとして弁開度制御回路１３に入
力されるので、流体圧力制御装置の制御性能は悪化する
ことはない。
は、図１の場合と同様であり、圧力指令Ｐbrおよび弁通
過流量Ｑが制御演算回路１１に対する最適調整状態から
変動し、制御対象（弁開度制御回路１３、弁１４、およ
び油圧アクチュエータ３の油圧室３ａからなる系）の特
性が変化してしまったときでも、制御演算回路１１から
の基準弁開度指令ｘrは、制御対象の直流ゲインＫおよ
び時定数Ｔの両方の変動を適切に反映した補正がなさ
れ、補正弁開度指令ｘrcとして弁開度制御回路１３に入
力されるので、流体圧力制御装置の制御性能は悪化する
ことはない。
【００５３】
【発明の効果】本発明によれば、制御対象に補正弁開度
指令を入力して制御弁の弁開度を調節することにより流
体ラインの圧力を制御するが、この補正弁開度指令は、
基準となる最適調整状態における流体ラインの流体圧力
（目標圧力）および制御弁の通過流量に最適なものとし
て弁開度演算手段から出力された基準弁開度指令を、補
正手段により補正して算出される。この場合、補正手段
は、制御対象の現在の直流ゲインを演算し、この直流ゲ
インと基準直流ゲインとに基づいて、制御対象の直流ゲ
インの変化分を相殺するように基準弁開度指令を補正す
るとともに、制御対象の現在の時定数を演算し、この時
定数と時定数基準値とに基づいて、制御対象の時定数の
変化分をも相殺するように基準弁開度指令を補正するの
で、補正弁開度指令は制御対象の変動を正しく反映した
補正がなされたものとなる。
指令を入力して制御弁の弁開度を調節することにより流
体ラインの圧力を制御するが、この補正弁開度指令は、
基準となる最適調整状態における流体ラインの流体圧力
（目標圧力）および制御弁の通過流量に最適なものとし
て弁開度演算手段から出力された基準弁開度指令を、補
正手段により補正して算出される。この場合、補正手段
は、制御対象の現在の直流ゲインを演算し、この直流ゲ
インと基準直流ゲインとに基づいて、制御対象の直流ゲ
インの変化分を相殺するように基準弁開度指令を補正す
るとともに、制御対象の現在の時定数を演算し、この時
定数と時定数基準値とに基づいて、制御対象の時定数の
変化分をも相殺するように基準弁開度指令を補正するの
で、補正弁開度指令は制御対象の変動を正しく反映した
補正がなされたものとなる。
【００５４】したがって、制御弁の弁開度は常に適切に
調整され、流体圧力制御装置は、流体ラインの流体圧力
および制御弁の通過流量の変化にかかわらず、常に良好
な制御特性を確保することができ、例えば弁通過流量が
小さな場合でも弁開度の変化が適切に抑制される結果、
圧力変動はハンチング等を起こさない良好な収束性を示
す。また、このような流体ラインの流体圧力および制御
弁の通過流量の変化に応じた制御（弁開度指令の補正）
は、数学モデルを用いて行うものであるので、制御弁の
動作範囲の複数点でのデータを計測しておき、この計測
データにしたがって弁開度指令を補正する必要はなく、
このような計測データを記憶する記憶手段も必要とされ
ないので、流体圧力制御装置の構成は複雑化することな
く、装置の低コスト化を図ることができる。
調整され、流体圧力制御装置は、流体ラインの流体圧力
および制御弁の通過流量の変化にかかわらず、常に良好
な制御特性を確保することができ、例えば弁通過流量が
小さな場合でも弁開度の変化が適切に抑制される結果、
圧力変動はハンチング等を起こさない良好な収束性を示
す。また、このような流体ラインの流体圧力および制御
弁の通過流量の変化に応じた制御（弁開度指令の補正）
は、数学モデルを用いて行うものであるので、制御弁の
動作範囲の複数点でのデータを計測しておき、この計測
データにしたがって弁開度指令を補正する必要はなく、
このような計測データを記憶する記憶手段も必要とされ
ないので、流体圧力制御装置の構成は複雑化することな
く、装置の低コスト化を図ることができる。
【図１】本発明の実施の形態を示す構成図である。
【図２】同じく補正回路を示す構成図である。
【図３】同じくポート圧力の時間変化を示す特性図であ
る。
る。
【図４】本発明の他の実施の形態を示す構成図である。
【図５】従来の制御弁を示す構成図である。
【図６】同じくポート圧力の時間変化を示す特性図であ
る。
る。
【図７】同じく特性図である。
【図８】従来の補正回路を示す構成図である。
【図９】同じくポート圧力の時間変化を示す特性図であ
る。
る。
【図１０】同じく特性図である。
１ 比例電磁式圧力制御弁
２ 油圧ポンプ
３ 油圧アクチュエータ
５ タンク
６ ポート
７ ポート
９ 比例電磁式圧力制御弁
１０ 加算器
１１ 制御演算回路
１３ 弁開度制御回路
１４ 弁
１５ 圧力センサ
１６ 開度センサ
１７ 圧力センサ
１８ バルブ
１９ ブリード回路
２１ 流量推定回路
２２ 直流ゲイン演算回路
２３ 補正係数演算回路
２４ 乗算器
２５ 時定数演算回路
２６ 時定数補正回路
３０ 補正回路
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 昭57−17008（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−346802（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−80859（ＪＰ，Ａ)
特開 昭59−16002（ＪＰ，Ａ)
特開 平１−196601（ＪＰ，Ａ)
特開 昭62−257501（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−55985（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G05D 16/20
F15B 11/00 - 11/22
F16K 31/06 - 31/11
F16K 31/12 - 31/165
G05B 13/02
Claims (2)
- 【請求項１】油圧アクチュエータに接続した流体ライン
と、 この流体ラインに介装された制御弁と、 前記流体ラインの流体圧力を検出する流体圧力検出手段
と、 この流体圧力の検出値と目標圧力との偏差に基づいて前
記制御弁の基準弁開度指令を決定する弁開度指令演算手
段と、 前記制御弁の弁開度を検出する弁開度検出手段と、 この弁開度検出手段により検出された弁開度が前記補正
弁開度指令と一致するように前記制御弁の弁開度を制御
する弁開度制御手段と、 を備えた流体圧力制御装置において、 制御対象の直流ゲインを演算する直流ゲイン演算手段及
びこの直流ゲイン演算手段により演算された制御対象の
現在の直流ゲインと基準直流ゲインとに基づいて弁開度
指令を補正する直流ゲイン補正手段と、 制御対象の時定数の変化を演算する時定数演算手段及び
この時定数演算手段により演算された制御対象の現在の
時定数と時定数基準値とに基づいて弁開度指令を補正す
る時定数補正手段と、 を備えたことを特徴とする流体圧力制御装置。 - 【請求項２】前記時定数基準値は、前記流体ラインの流
体圧力と前記制御弁の通過流量が所定の最適値を持つ最
適調整状態における制御対象の時定数であることを特徴
とする請求項１に記載の流体圧力制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00075297A JP3523974B2 (ja) | 1997-01-07 | 1997-01-07 | 流体圧力制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00075297A JP3523974B2 (ja) | 1997-01-07 | 1997-01-07 | 流体圧力制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10198435A JPH10198435A (ja) | 1998-07-31 |
| JP3523974B2 true JP3523974B2 (ja) | 2004-04-26 |
Family
ID=11482438
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP00075297A Expired - Fee Related JP3523974B2 (ja) | 1997-01-07 | 1997-01-07 | 流体圧力制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3523974B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101975300A (zh) * | 2010-09-27 | 2011-02-16 | 苏明 | 控制高速电磁开关阀适应供油口压力变化的方法及装置 |
| CN103267161B (zh) * | 2013-06-07 | 2016-01-13 | 徐州凌特自动化工程有限公司 | 一种新型阀门流量液压限位自控调节装置 |
-
1997
- 1997-01-07 JP JP00075297A patent/JP3523974B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10198435A (ja) | 1998-07-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101722304B1 (ko) | 매스 플로우 컨트롤러 | |
| CN109630446B (zh) | 气体推断装置及真空排气装置 | |
| EP0660208A1 (en) | Controller | |
| US8195312B2 (en) | Multi-mode control loop with improved performance for mass flow controller | |
| CN110307388B (zh) | 目标开度推断器以及压力调整真空阀 | |
| KR20020039316A (ko) | 디지털 유량 조절기용 시스템 및 방법 | |
| KR20130086519A (ko) | 일관된 응답을 제공하는 온-툴(on-tool) 및 온-사이트(on-site) 질량 유량계 최적화를 위한 방법 및 시스템 | |
| US6754542B1 (en) | Control arithmetic apparatus and method | |
| US20200272178A1 (en) | Valve control apparatus and vacuum valve | |
| US6959691B2 (en) | Device and method for controlling air volume during idle operation | |
| JP3523974B2 (ja) | 流体圧力制御装置 | |
| CN114157207A (zh) | 基于自适应测速的pi控制器及其控制方法、系统 | |
| KR20220017838A (ko) | 유량 제어 장치, 유량 제어 방법, 및 유량 제어 프로그램이 기록된 프로그램 기록 매체 | |
| JP2839351B2 (ja) | ポペット弁の制御回路 | |
| JP3558472B2 (ja) | 流体圧力制御装置 | |
| JP2020107061A (ja) | マスフローコントローラ | |
| KR101366620B1 (ko) | 밸브제어시스템 및 밸브제어방법 | |
| KR102608260B1 (ko) | 유량 제어 장치, 유량 제어 방법, 기록 매체 | |
| JP7194421B2 (ja) | 流量制御装置および流量制御方法 | |
| JPH05141572A (ja) | 流体バルブの制御装置 | |
| JP3192054B2 (ja) | 油圧ポンプの傾転角制御装置 | |
| JP2000161236A (ja) | 真空圧力制御システム | |
| US20230229177A1 (en) | Fluid control device, fluid control method, and fluid control program | |
| JPH05204462A (ja) | 駆動装置における位置決め制御方法 | |
| JP3312455B2 (ja) | エンジンの蒸発燃料処理装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040122 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040203 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040210 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |