JP3515792B2 - Polyimide film and manufacturing method thereof - Google Patents

Polyimide film and manufacturing method thereof

Info

Publication number
JP3515792B2
JP3515792B2 JP29136792A JP29136792A JP3515792B2 JP 3515792 B2 JP3515792 B2 JP 3515792B2 JP 29136792 A JP29136792 A JP 29136792A JP 29136792 A JP29136792 A JP 29136792A JP 3515792 B2 JP3515792 B2 JP 3515792B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film
width
gel film
polyimide film
biaxially oriented
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP29136792A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH05237928A (en
Inventor
正和 岡橋
佃  明光
恒義 三輪
ジエイムズ・アール・エドマン
チヤールズ・エム・ポールソン・ジユニア
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Du Pont Toray Co Ltd
EI Du Pont de Nemours and Co
Original Assignee
Du Pont Toray Co Ltd
EI Du Pont de Nemours and Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Du Pont Toray Co Ltd, EI Du Pont de Nemours and Co filed Critical Du Pont Toray Co Ltd
Priority to JP29136792A priority Critical patent/JP3515792B2/en
Publication of JPH05237928A publication Critical patent/JPH05237928A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3515792B2 publication Critical patent/JP3515792B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、銅箔を代表とする金属
箔または金属薄膜が積層された電気配線板の支持体とし
て使用されるポリイミドフィルムと、その製造方法に関
する。より具体的には力学的性質およびその面内等方性
に優れ、さらに改良された寸法安定性を有する二軸配向
ポリイミドフィルムと、その製造方法に関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a polyimide film used as a support for an electric wiring board on which a metal foil or a metal thin film typified by a copper foil is laminated, and a method for producing the same. More specifically, the present invention relates to a biaxially oriented polyimide film having excellent mechanical properties and its in-plane isotropy, and further having improved dimensional stability, and a method for producing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】ポリイミドフィルムは高耐熱性、高電気
絶縁性を有することから耐熱性を必要とする電気絶縁用
素材として広範な産業分野で使用されており、特に銅箔
が積層された電気配線板の支持体としての用途において
は例えばIC等の電気部品と銅箔との接続にハンダを使
用することができ、電気配線の小型軽量化が可能となっ
た。またポリイミドフィルムを支持体とする電気配線板
は折り曲げが可能であり、長尺の電気配線板が作成でき
ることからこのポリイミドフィルムは電気絶縁用支持体
として重要な位置を占めるに至った。しかしながら電気
配線板の用途の多様化と共に配線数の高密度化の進展に
伴って電気絶縁用支持体としての力学的性質およびその
面内等方性や寸法安定性の改善がより求められるように
なり、これまでにポリイミドフィルムの延伸による力学
的性質の改善、共重合ポリイミドによる寸法安定性の改
善等が提案されている。
2. Description of the Related Art A polyimide film is used in a wide range of industrial fields as a material for electrical insulation that requires heat resistance because it has high heat resistance and high electrical insulation properties, and in particular, electrical wiring laminated with copper foil. When used as a support for a plate, solder can be used to connect an electrical component such as an IC to a copper foil, and the electrical wiring can be made smaller and lighter. In addition, since an electric wiring board using a polyimide film as a support can be bent and a long electric wiring board can be produced, this polyimide film has come to occupy an important position as a support for electrical insulation. However, with the diversification of applications of electric wiring boards and the increase in the number of wirings, the mechanical properties as an electrical insulation support and its in-plane isotropy and dimensional stability have become more demanded. Therefore, it has been proposed so far to improve mechanical properties by stretching a polyimide film, and improve dimensional stability with a copolymerized polyimide.

【0003】例えば特開昭63−297029号公報に
はイミド化剤を含有する芳香族ポリアミック酸の有機極
性溶媒溶液を閉環イミド化すると同時に成形して得られ
た20〜85重量%の揮発分を含有している自己支持性
成形体を1.3倍以上延伸することにより芳香族ポリイ
ミド成形体の力学的性質を改善する方法が提案されてい
る。この方法によっては延伸した方向の寸法安定性は改
善されるが、延伸方向と直角方向の寸法安定性は却って
悪化してしまうばかりか力学的性質の1つである面内異
方性をも悪化させるものである。
For example, in JP-A-63-297029, 20-85% by weight of volatile components obtained by ring-closing imidation of an organic polar solvent solution of an aromatic polyamic acid containing an imidizing agent and molding at the same time are obtained. A method has been proposed for improving the mechanical properties of an aromatic polyimide molding by stretching the contained self-supporting molding by 1.3 times or more. By this method, the dimensional stability in the stretched direction is improved, but not only the dimensional stability in the direction perpendicular to the stretched direction is deteriorated, but also the in-plane anisotropy, which is one of the mechanical properties, is deteriorated. It is what makes me.

【0004】また特公昭44−20878号公報にはイ
ミド単位対先駆体単位の比が少なくとも30:70であ
るポリアミド酸/イミドゲルフィルムを揮発含有物を有
せしめながら20〜550℃で少なくとも一方向に、少
なくとも約5%延伸する方法が示されている。しかしな
がらこの方法には力学的性質の1つの面内等方性を改善
する方法は何ら示されていない。
Japanese Patent Publication No. 44-20878 discloses a polyamic acid / imide gel film having a imide unit / precursor unit ratio of at least 30:70 at 20 to 550 ° C. in at least one direction while containing a volatile content. Describes a method of stretching at least about 5%. However, this method does not show any method for improving one in-plane isotropy of mechanical properties.

【0005】またポリイミドフィルムの寸法安定性の改
善を共重合ポリイミドの使用によって行うことについて
は特開昭64−16832号、特開昭64−16833
号、特開昭16834号、特開平1−131241号お
よび特開昭62−125329号など多数の提案がなさ
れているが、これらには面内等方性を改善する方法につ
いては何ら示されていない。
Regarding the improvement of the dimensional stability of a polyimide film by using a copolymerized polyimide, JP-A-64-16832 and JP-A-64-16833 are known.
Japanese Patent Laid-Open No. 16834/1988, Japanese Patent Laid-Open No. 1-131241 and Japanese Patent Laid-Open No. 62-125329 have been proposed, but none of them discloses a method for improving in-plane isotropy. Absent.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、改善された
寸法安定性を有すると共に優れた面内等方性を有する力
学的性質が改善されたポリイミドフィルムと、そのため
の方法を提供することを目的とするものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a polyimide film having improved mechanical properties, which has improved dimensional stability and excellent in-plane isotropy, and a method therefor. It is intended.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】かかる本発明の目的は、
ポリイミドの先駆体であるポリアミド酸に閉環触媒およ
び脱水剤を含有せしめてなる該ポリアミド酸の有機溶媒
溶液を支持体表面にキャストし、イミド化を一部進行さ
せて溶媒の一部を蒸発させて自己支持性を有し且つ固形
分を5〜50重量%含有するゲルフィルムの連続体を成
形させ、該ゲルフィルムを回転ロールにより走行速度を
規制しながら走行方向に1.1〜1.9倍延伸し、テンタ
クリップにより該延伸されたゲルフィルムを把持して幅
方向に走行方向の延伸倍率の0.9〜1.3倍の倍率で面
配向係数が0.11以上になるように延伸することを特
徴とする二軸配向ポリイミドフィルムの製造方法により
平均面内熱膨張係数(CTE)を未延伸フィルムより少
なくとも10%小さくし、面内異方性指数を20以下と
することにより達成される。
The object of the present invention is as follows.
Polyamide acid which is a precursor of polyimide is cast on the surface of a support with an organic solvent solution of the polyamic acid containing a ring-closing catalyst and a dehydrating agent, and part of the solvent is evaporated by partially advancing imidization. A continuous body of gel film having self-supporting property and containing solid content of 5 to 50% by weight is formed, and the gel film is stretched 1.1 to 1.9 times in the traveling direction while controlling the traveling speed by a rotating roll. Stretching, gripping the stretched gel film with a tenter clip, and stretching in the width direction at a draw ratio of 0.9 to 1.3 times the running direction so that the plane orientation coefficient becomes 0.11 or more. Achieved by making the average in-plane coefficient of thermal expansion (CTE) at least 10% smaller than that of unstretched film by the method for producing a biaxially oriented polyimide film characterized in that the in-plane anisotropy index is 20 or less. It is.

【0008】本発明におけるポリイミドの先駆体である
ポリアミド酸は芳香族テトラカルボン酸類と芳香族ジア
ミン類とからなり次の式1に示される繰り返し単位で構
成されるものである。
The polyamic acid, which is a precursor of the polyimide in the present invention, is composed of aromatic tetracarboxylic acids and aromatic diamines and is composed of repeating units represented by the following formula 1.

【0009】[0009]

【化1】 上記式においてR1は少なくとも1個の芳香族環を有す
る4価の有機基で、その炭素数は25以下であるものと
しR1に結合する2つのカルボキシル基の夫々はR1に
おける芳香族環のアミド基が結合する炭素原子とは相隣
接する炭素原子に結合しているものであり、またR2は
少なくとも1個の芳香族環を有する2価の有機基で、そ
の炭素数は25以下であるものとし、アミノ基はR2に
おける芳香族環の炭素原子に結合しているものである。
[Chemical 1] In the above formula, R1 is a tetravalent organic group having at least one aromatic ring, and its carbon number is 25 or less. Each of the two carboxyl groups bonded to R1 is an amide group of the aromatic ring in R1. The carbon atom bonded to is a carbon atom bonded to adjacent carbon atoms, and R2 is a divalent organic group having at least one aromatic ring and has 25 or less carbon atoms. The amino group is one bonded to the carbon atom of the aromatic ring in R2.

【0010】上記の芳香族テトラカルボン酸類の具体例
としては、ピロメリット酸、3,3′,4,4′−ビフェ
ニルテトラカルボン酸、2,3′,3,4′−ビフェニル
テトラカルボン酸、3,3′,4,4′−ベンゾフェノン
テトラカルボン酸、2,3,6,7−ナフタレンジカルボ
ン酸、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エ
ーテル、ピリジン−2,3,5,6−テトラカルボン酸お
よびこれらのアミド形成性誘導体が挙げられる。ポリア
ミド酸の製造に当たってはこれらの酸無水物が好ましく
使用される。
Specific examples of the above-mentioned aromatic tetracarboxylic acids include pyromellitic acid, 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic acid, 2,3', 3,4'-biphenyltetracarboxylic acid, 3,3 ', 4,4'-benzophenone tetracarboxylic acid, 2,3,6,7-naphthalenedicarboxylic acid, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) ether, pyridine-2,3,5 , 6-Tetracarboxylic acid and amide-forming derivatives thereof. These acid anhydrides are preferably used in the production of polyamic acid.

【0011】上記の芳香族ジアミン類の具体例として
は、パラフェニレンジアミン、メタフェニレンジアミ
ン、ベンチジン、パラキシリレンジアミン、4,4′−
ジアミノジフェニルエーテル、4,4′−ジアミノジフ
ェニルメタン、4,4′−ジアミノジフェニルスルホ
ン、3,3′−ジメチル−4,4′−ジアミノジフェニル
メタン、1,5−ジアミノナフタレン、3,3′−ジメト
キシベンチジン、1,4−ビス(3メチル−5アミノフ
ェニル)ベンゼンおよびこれらのアミド形成性誘導体が
あげられる。本発明の方法におけるポリイミドフィルム
製造のための先駆体であるポリアミド酸の調製に特に適
合する芳香族テトラカルボン酸成分と芳香族ジアミン成
分との組合わせとしてはピロメリット酸二無水物と4,
4′−ジアミノジフェニルエーテルおよび3,3′,4,
4′−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物と4,4′
−ジアミノジフェニルエーテルの組合わせが挙げられ、
さらにこれらの共重合そして/またはパラフェニレンジ
アミンの共重合が好ましく、これらから得られるポリア
ミド酸から製造されるゲルフィルムは、二軸延伸する際
の延伸性が良く、いわゆる高倍率での二軸延伸ができ、
本発明の効果を良好に達成できる。
Specific examples of the above aromatic diamines include paraphenylenediamine, metaphenylenediamine, benzidine, paraxylylenediamine, 4,4'-
Diaminodiphenyl ether, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenylsulfone, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminodiphenylmethane, 1,5-diaminonaphthalene, 3,3'-dimethoxybenzidine 1,4-bis (3methyl-5aminophenyl) benzene and amide-forming derivatives thereof. As a combination of an aromatic tetracarboxylic acid component and an aromatic diamine component which are particularly suitable for the preparation of a polyamic acid which is a precursor for producing a polyimide film in the method of the present invention, pyromellitic dianhydride and 4,
4'-diaminodiphenyl ether and 3,3 ', 4,
4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride and 4,4 '
-A combination of diaminodiphenyl ethers,
Furthermore, copolymerization of these and / or copolymerization of para-phenylenediamine is preferable, and the gel film produced from the polyamic acid obtained from these has good stretchability when biaxially stretched, and is biaxially stretched at a so-called high magnification. Can
The effect of the present invention can be achieved well.

【0012】本発明で使用される有機溶媒の具体例とし
ては、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチル
アセトアミド、N−メチル−2−ピロリドンなどの有機
極性アミド系溶媒が挙げられ、これらの有機溶媒は単独
で、又は二つ又はそれ以上を組み合わせて使用しても、
又はベンゼン、トルエン、キシレンのような非溶媒と組
み合わせて使用してもよい。本発明で用いるポリアミド
酸の有機溶媒溶液は固形分を5〜40重量%、好ましく
は10〜30重量%を含有しており、またその粘度はブ
ルックフィールド粘度計による20℃における測定値で
100〜20,000ポイズ、好ましくは1,000〜1
0,000ポイズのものが安定した送液のために好まし
い。また有機溶媒溶液中のポリアミド酸は部分的にイミ
ド化されていてもよく、少量の無機化合物を含有してい
てもよい。
Specific examples of the organic solvent used in the present invention include organic polar amide solvents such as N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide and N-methyl-2-pyrrolidone. The organic solvent may be used alone or in combination of two or more,
Alternatively, it may be used in combination with a non-solvent such as benzene, toluene or xylene. The organic solvent solution of the polyamic acid used in the present invention contains a solid content of 5 to 40% by weight, preferably 10 to 30% by weight, and its viscosity is 100 to 10 as measured by a Brookfield viscometer at 20 ° C. 20,000 poise, preferably 1,000-1
The one having a volume of 000 poise is preferable for stable liquid feeding. The polyamic acid in the organic solvent solution may be partially imidized or may contain a small amount of an inorganic compound.

【0013】本発明において芳香族テトラカルボン酸類
と芳香族ジアミン類とはそれぞれのモル数が大略等しく
なる割合で重合されるがその一方が10モル%、好まし
くは5モル%の範囲内で他方に対し過剰に配合されてい
てもよい。重合反応は有機溶媒中で撹拌そして/または
混合しながら0〜80℃の温度範囲で10分〜30時間
連続して進められるが、必要により重合反応を分割した
り、温度を上下させてもかまわない。両反応体の添加順
序には特に制限はないが、芳香族ジアミン類の溶液中に
芳香族テトラカルボン酸類を添加するのが好ましい。共
重合においてはランダム共重合およびブロック共重合共
に好ましく適用できる。重合反応中に真空脱泡すること
は良質なポリアミド酸の有機溶媒溶液を製造するのに有
効な方法である。また重合反応の前に芳香族ジアミン類
に少量の末端封止剤を添加して重合反応を制御すること
を行ってもよい。
In the present invention, the aromatic tetracarboxylic acids and the aromatic diamines are polymerized in a ratio such that the number of moles of each is substantially equal, but one of them is 10 mol%, preferably 5 mol% to the other. On the other hand, it may be excessively blended. The polymerization reaction proceeds continuously in an organic solvent with stirring and / or mixing in a temperature range of 0 to 80 ° C. for 10 minutes to 30 hours, but the polymerization reaction may be divided or the temperature may be raised or lowered as necessary. Absent. The order of addition of both reactants is not particularly limited, but it is preferable to add the aromatic tetracarboxylic acid to the solution of the aromatic diamine. In copolymerization, both random copolymerization and block copolymerization can be preferably applied. Vacuum degassing during the polymerization reaction is an effective method for producing a good quality polyamic acid solution in an organic solvent. In addition, before the polymerization reaction, a small amount of a terminal blocking agent may be added to the aromatic diamine to control the polymerization reaction.

【0014】本発明で使用される閉環触媒の具体例とし
てはトリメチルアミン、トリエチルアミン等の脂肪族第
3級アミン、およびイソキノリン、ピリジン、ベータピ
コリン等の複素環式第3級アミンがあげられるが、複素
環式第3級アミンから選ばれる少なくとも一種のアミン
を使用するのが好ましい。
Specific examples of the ring-closing catalyst used in the present invention include aliphatic tertiary amines such as trimethylamine and triethylamine, and heterocyclic tertiary amines such as isoquinoline, pyridine and betapicoline. It is preferred to use at least one amine selected from cyclic tertiary amines.

【0015】本発明で使用される脱水剤の具体例として
は無水酢酸、無水プロピオン酸、無水酪酸等の脂肪族カ
ルボン酸無水物、および無水安息香酸等の芳香族カルボ
ン酸無水物があげられるが無水酢酸および/または無水
安息香酸が好ましい。
Specific examples of the dehydrating agent used in the present invention include aliphatic carboxylic acid anhydrides such as acetic anhydride, propionic anhydride and butyric anhydride, and aromatic carboxylic acid anhydrides such as benzoic anhydride. Acetic anhydride and / or benzoic anhydride are preferred.

【0016】ポリアミド酸に対する閉環触媒および脱水
剤の含有量は次の式1
The content of the ring-closing catalyst and dehydrating agent with respect to the polyamic acid is represented by the following formula 1.

【数1】 および式2[Equation 1] And equation 2

【数2】 となるようにするのが好ましい。またアセチルアセトン
等のゲル化遅延剤を併用してもよい。
[Equation 2] It is preferable that Further, a gelation retarder such as acetylacetone may be used in combination.

【0017】ポリアミド酸の有機溶媒溶液からポリイミ
ドフィルムを製造する方法としては閉環触媒および脱水
剤を含有しないポリアミド酸の有機溶媒溶液をスリット
付口金から支持体上に流延してフィルム状に成型し、支
持体上で加熱乾燥することにより自己支持性を有するゲ
ルフィルムとなしたる後、支持体より剥離し、さらに高
温下で乾燥/熱処理することによりイミド化する熱閉環
法、および閉環触媒および脱水剤を含有せしめたポリア
ミド酸の有機溶媒溶液をスリット付口金から支持体上に
流延してフィルム状に成型し、支持体上でイミド化を一
部進行させて自己支持性を有するゲルフィルムとした
後、支持体より剥離し、加熱乾燥/イミド化し、熱処理
をおこなう化学閉環法が代表的な方法である。
As a method for producing a polyimide film from a solution of a polyamic acid in an organic solvent, a solution of a polyamic acid in an organic solvent which does not contain a ring-closing catalyst and a dehydrating agent is cast on a support through a mouthpiece having a slit to form a film. A thermal ring-closing method in which a gel film having self-supporting properties is formed by heating and drying on a support, and then the film is peeled from the support and further imidized by drying / heat treatment at a high temperature, and a ring-closing catalyst and A gel film having a self-supporting property by casting a solution of a polyamic acid containing a dehydrating agent in an organic solvent solution from a die with slits onto a support to form a film, and partially advancing imidization on the support. A typical method is a chemical ring-closing method in which after the above, the film is peeled from the support, dried by heating / imidized, and heat-treated.

【0018】熱閉環法は閉環触媒および脱水剤を含有せ
しめる設備を必要としない利点はあるが、自己支持性を
有するゲルフィルムとするために支持体上で長時間加熱
乾燥をする必要があり、支持体より剥離されたゲルフィ
ルムの固形分の比率が大きくなりすぎ、安定した延伸が
できないため、本発明に使用するには適当でない。
The thermal cyclization method has an advantage that it does not require a facility for containing a cyclization catalyst and a dehydrating agent, but it needs to be heated and dried on the support for a long time in order to obtain a gel film having self-supporting property. The ratio of the solid content of the gel film peeled from the support becomes too large, and stable stretching cannot be performed, which is not suitable for use in the present invention.

【0019】一方化学閉環法はポリアミド酸の有機溶媒
溶液に閉環触媒および脱水剤を含有せしめる設備を必要
とするが、自己支持性を有するゲルフィルムが短時間で
得られ、しかも支持体から剥離されたゲルフィルムの固
形分の比率を小さく維持できることから高度の延伸がで
き、本発明を実施するのに好適なポリイミドフィルムの
製造方法である。閉環触媒および脱水剤の含有量を減少
させた熱閉環法に近付いたポリイミドフィルムの製造方
法は閉環触媒および脱水剤を含有せしめていることから
化学閉環法といえる。
On the other hand, the chemical ring-closing method requires a facility for incorporating a ring-closing catalyst and a dehydrating agent in a solution of a polyamic acid in an organic solvent, but a gel film having self-supporting property can be obtained in a short time and is peeled from the support. In addition, since the ratio of the solid content of the gel film can be kept small, a high degree of stretching is possible, which is a method for producing a polyimide film suitable for carrying out the present invention. It can be said that the method for producing a polyimide film, which approaches the thermal ring-closing method in which the contents of the ring-closing catalyst and the dehydrating agent are reduced, is a chemical ring-closing method because it contains the ring-closing catalyst and the dehydrating agent.

【0020】ポリアミド酸の有機溶媒溶液に閉環触媒お
よび脱水剤を含有せしめる方法として、ポリアミド酸の
有機溶媒溶液と閉環触媒および脱水剤を回転式混合機で
混合する方法、ポリアミド酸の有機溶媒溶液を静的混合
機に送り込みながら該静的混合機の直前で閉環触媒およ
び脱水剤を注入する方法、ポリアミド酸の有機溶媒溶液
を支持体上に流延した後閉環触媒および脱水剤に接触さ
せる方法等があげられるが、閉環触媒および脱水剤の含
有量およびその均一性の面から混合機で混合して閉環触
媒、脱水剤とポリアミド酸の有機溶媒溶液との混合液を
スリット付口金に送り込む方法が好ましい。そして安定
した送液を確保するためには該混合液の粘度が100〜
10,000ポイズとなるように固形分濃度と温度を調
節する必要がある。該混合液はポリアミド酸が閉環反応
して粘度が著しく高くなり、口金から吐出できなくなる
性質を持っているため、低温(例えば−10℃)に保持
する必要がある。
As a method of adding a ring-closing catalyst and a dehydrating agent to a solution of a polyamic acid in an organic solvent, a method of mixing an organic solvent solution of a polyamic acid with a ring-closing catalyst and a dehydrating agent in a rotary mixer, and a solution of a polyamic acid in an organic solvent are used. A method of injecting a ring-closing catalyst and a dehydrating agent immediately before the static mixer while feeding into a static mixer, a method of casting an organic solvent solution of a polyamic acid on a support and then contacting the ring-closing catalyst and a dehydrating agent, etc. There is a method in which the content of the ring-closing catalyst and the dehydrating agent and the homogeneity thereof are mixed by a mixer, and the mixture of the ring-closing catalyst, the dehydrating agent and the organic solvent solution of the polyamic acid is fed into the slitted die. preferable. And in order to ensure stable liquid transfer, the viscosity of the mixed liquid is 100 to
It is necessary to adjust the solid content concentration and temperature so as to obtain 10,000 poise. Since the polyamic acid has a characteristic that the viscosity is remarkably increased by the ring-closing reaction of the polyamic acid and the mixture cannot be discharged from the die, it is necessary to keep the mixed liquid at a low temperature (for example, -10 ° C).

【0021】該混合液はスリット付口金から加熱された
支持体上に流延されてフィルム状に成型され、ポリアミ
ド酸は支持体上で閉環反応をし、自己支持性を有するゲ
ルフィルムとなって支持体から剥離される。支持体は金
属製の回転ドラムやエンドレスベルトであって良く、そ
の温度は液体または気体の熱媒により、および/または
電気ヒーター等の輻射熱により制御される。
The mixed solution is cast from a die with slits onto a heated support and molded into a film, and the polyamic acid undergoes a ring-closing reaction on the support to form a gel film having self-supporting properties. It is peeled off from the support. The support may be a metallic rotating drum or an endless belt, the temperature of which is controlled by a liquid or gaseous heat medium and / or by radiant heat, such as an electric heater.

【0022】ゲルフィルムは支持体からの受熱および/
または外側の熱風や電気ヒーター等の熱源からの受熱に
より30℃〜200℃、好ましくは40〜150℃に加
熱されて閉環反応し、遊離した有機溶媒等の揮発分を乾
燥させることにより自己支持性を有するようになり、支
持体から剥離される。閉環反応の進んでいないポリアミ
ド酸のフィルムを急激に加熱すると平滑な表面のゲルフ
ィルムを得られないため加熱温度は厳しく管理する必要
がある。
The gel film receives heat from the support and / or
Alternatively, self-supporting property is obtained by heating to 30 ° C. to 200 ° C., preferably 40 to 150 ° C. by heat reception from a heat source such as hot air or an electric heater on the outside to cause a ring closure reaction and drying volatile components such as liberated organic solvent. And is peeled off from the support. When a polyamic acid film in which the ring-closing reaction has not progressed is rapidly heated, a gel film having a smooth surface cannot be obtained, so the heating temperature must be strictly controlled.

【0023】支持体から剥離されたゲルフィルムは回転
ロールにより走行速度を規制しながら走行方向(MD)
に延伸される。延伸は150℃以下の温度で1.1〜1.
9倍、好ましくは1.1〜1.6倍の倍率で実施される。
回転ロールの回転速度は駆動源と速度制御装置により規
制される。また回転ロールはゲルフィルムの走行速度を
規制するに必要な把持力が必要であり、金属ロールとゴ
ムロールを組合せてなるニップロールおよび/または真
空吸引方式のサクションロールを使用し、回転ロールの
数はその一つの把持力により決定され、必要な把持力は
ゲルフィルム幅に対して50kg/m〜1,000kg/m
である。ゲルフィルムの走行方向への延伸倍率が1.1
倍以下では延伸効果が小さく、力学的性質の改善ができ
ない。走行方向への延伸倍率が大きくなると共に延伸効
果が大きくなり、走行方向の力学的性質や寸法安定性の
改善効果は大きくなるが、後続する幅方向への延伸倍率
の選定範囲がゲルフィルムの破断現象により狭められ、
本発明の目的の1つである面内等方性の改善のためには
1.1〜1.9倍、好ましくは1.1〜1.6倍の範囲から
選定するのが良い。
The gel film peeled from the support is rotated in the traveling direction (MD) while the traveling speed is regulated by a rotating roll.
Is stretched. The stretching is 1.1 to 1. at a temperature of 150 ° C or less.
It is carried out at a magnification of 9 times, preferably 1.1 to 1.6 times.
The rotation speed of the rotating roll is regulated by the drive source and the speed control device. Further, the rotating roll needs a gripping force necessary to regulate the running speed of the gel film, and a nip roll formed by combining a metal roll and a rubber roll and / or a suction roll of a vacuum suction method is used. Determined by one gripping force, the necessary gripping force is 50kg / m to 1,000kg / m with respect to the gel film width.
Is. The stretch ratio of the gel film in the running direction is 1.1.
If it is less than twice, the stretching effect is small and the mechanical properties cannot be improved. The stretching effect increases as the stretching ratio in the running direction increases, and the effect of improving the mechanical properties and dimensional stability in the running direction increases, but the subsequent range of the stretching ratio in the width direction is the rupture of the gel film. Narrowed by the phenomenon,
In order to improve in-plane isotropy, which is one of the objects of the present invention, it is preferable to select from the range of 1.1 to 1.9 times, preferably 1.1 to 1.6 times.

【0024】走行方向に延伸されたゲルフィルムはテン
タ装置に導入され、テンタクリップに幅方向両端部を把
持されて、テンタクリップと共に走行しながら幅方向
(TD)へ延伸され、有機溶媒等の揮発性成分を乾燥さ
せた後熱処理されて二軸配向ポリイミドフィルムとな
る。幅方向への延伸は400℃以下、好ましくは350
℃以下の温度で次の式3
The gel film stretched in the running direction is introduced into the tenter device, the widthwise both ends are gripped by the tenter clip, and the gel film is stretched in the width direction (TD) while traveling with the tenter clip, and the organic solvent and the like are volatilized. After the sexual component is dried, it is heat treated to form a biaxially oriented polyimide film. Stretching in the width direction is 400 ° C. or less, preferably 350
The following formula 3 at a temperature below ℃

【0025】[0025]

【数3】 で定義される延伸倍率比が0.9〜1.3、好ましくは
1.0〜1.3となる幅方向の延伸倍率で実施される。延
伸倍率比は本発明の目的の1つである面内等方性の改善
のために非常に重要であり、延伸倍率比が0.9以下で
は走行方向への延伸効果が強くなりすぎ、1.3以上で
は幅方向への延伸効果が強くなりすぎるため、面内等方
性が好適な範囲を外れてしまうのである。また幅方向の
延伸はその50%以上をゲルフィルムが乾燥オーブンに
導入される前に実施するのが好ましい。このゲルフィル
ムの走行方向および幅方向の延伸はこの順序でかまたは
逆の順序で逐次的に行っても、また同時に行ってもよ
い。
[Equation 3] The stretching ratio in the width direction is 0.9 to 1.3, preferably 1.0 to 1.3. The draw ratio is very important for improving the in-plane isotropy, which is one of the objects of the present invention. When the draw ratio is 0.9 or less, the stretching effect in the running direction becomes too strong. If it is 0.3 or more, the stretching effect in the width direction becomes too strong, so that the in-plane isotropy falls outside the preferable range. It is preferable that 50% or more of the stretching in the width direction is performed before the gel film is introduced into the drying oven. Stretching in the running direction and the width direction of the gel film may be performed sequentially in this order or in the reverse order, or simultaneously.

【0026】ゲルフィルムの延伸性はその固形分濃度に
強く影響され、ゲルフィルムの乾燥が進んで固形分濃度
が60重量%になると延伸が困難になり、走行方向に
1.05倍延伸すると後続の幅方向の延伸はゲルフィル
ムの破断のため不可能であることから、成型されて支持
体から剥離されたゲルフィルムの固形分濃度は50重量
%以下にする必要があり、一方ゲルフィルムの自己支持
性の観点から固形分濃度は5〜50重量%にする必要が
ある。
The stretchability of the gel film is strongly influenced by its solid content concentration. When the gel film is dried and the solid content concentration becomes 60% by weight, it becomes difficult to stretch it. Since it is impossible to stretch the gel film in the width direction due to breakage of the gel film, the solid content concentration of the gel film molded and peeled from the support needs to be 50% by weight or less. From the viewpoint of supportability, the solid content concentration needs to be 5 to 50% by weight.

【0027】テンタオーブンにおけるゲルフィルムの乾
燥および熱処理は熱風および/または電気ヒーター等に
よる輻射熱を使用して実施され、乾燥温度は200〜4
00℃、熱処理温度は350〜500℃であるが、急激
に加熱するとゲルフィルムに含有される揮発性成分の突
沸により製造された二軸配向ポリイミドフィルムの表面
にアバタ状の欠点が発生し、平滑性を失うため、加熱方
法を適宜選択する必要がある。
Drying and heat treatment of the gel film in the tenter oven are carried out using hot air and / or radiant heat from an electric heater or the like, and the drying temperature is 200 to 4
00 ° C, the heat treatment temperature is 350 to 500 ° C, but when heated rapidly, avatar-like defects occur on the surface of the biaxially oriented polyimide film produced by bumping of volatile components contained in the gel film, resulting in smoothness. The heating method must be appropriately selected to lose the property.

【0028】このようにして製造された二軸配向ポリイ
ミドフィルムは、分子鎖がフィルム面方向に強く配向さ
れて、分子鎖の面方向への配向の程度を示す次の式4
In the biaxially oriented polyimide film thus produced, the molecular chains are strongly oriented in the film plane direction, and the following formula 4 indicating the degree of orientation of the molecular chains in the plane direction is given below.

【数4】 で定義される面配向係数が0.11以上となり、寸法安
定性の代表値である平均面内熱膨張係数(CTE)が未
延伸フィルムよりも次の式5
[Equation 4] The plane orientation coefficient defined by is 0.11 or more, and the average in-plane thermal expansion coefficient (CTE), which is a representative value of dimensional stability, is higher than that of the unstretched film by the following formula 5.

【0029】[0029]

【数5】 で計算して少なくとも10%小さくなり、さらに面内等
方性を示す次の式6
[Equation 5] Which is at least 10% smaller than that calculated by

【0030】[0030]

【数6】 で定義される面内異方性指数が20以下である力学的性
質を有し、面内等方性に優れており、さらに改良された
寸法安定性をも有する二軸配向ポリイミドフィルムとな
るのである。
[Equation 6] The biaxially oriented polyimide film has mechanical properties such that the in-plane anisotropy index is 20 or less, is excellent in in-plane isotropic property, and has improved dimensional stability. is there.

【0031】[0031]

【実施例】以下実施例により本発明を説明するが、本発
明はこれらの実施例に限定されない。実施例の説明の前
に実施例において使用する測定法、評価法を説明する。
EXAMPLES The present invention is described below with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples. Before describing the examples, the measuring methods and evaluation methods used in the examples will be described.

【0032】〔特性の測定法、評価法〕本発明における
特性の測定方法および評価基準は次の通りである。
[Characteristic Measuring Method and Evaluation Method] The characteristic measuring method and evaluation criteria in the present invention are as follows.

【0033】(1) 面内異方性指数 野村商事社製 Sonic Sheet tester SST−250型を
用いた。サンプルは25μmフィルムについて6枚重ね
として、走行方向250mm、幅方向170mmの大きさに
正確に切断しサンプルとした。中央部は、幅方向の中央
部から、端部は、フィルムの端から100mmの位置を中
心とする位置からサンプリングした。
(1) In-plane anisotropy index Sonic Sheet tester SST-250 type manufactured by Nomura Trading Co., Ltd. was used. Six samples of 25 μm film were piled up, and the sample was accurately cut into a size of 250 mm in the running direction and 170 mm in the width direction. The center part was sampled from the center part in the width direction, and the end part was sampled from a position centered on a position 100 mm from the end of the film.

【0034】図1は、測定結果例である。この測定結果
から、フィルム中の音波の伝播速度が10°間隔に測定
でき、測定データを2次曲線で相関させ、円周全方向に
わたる配向分布を求め、最大配向角、最小配向角および
最大配向角と最小配向角における音波の伝播速度を求め
た。
FIG. 1 shows an example of measurement results. From this measurement result, the propagation velocity of the sound wave in the film can be measured at intervals of 10 °, and the measured data are correlated with a quadratic curve to obtain the orientation distribution in all directions of the circumference, and the maximum orientation angle, the minimum orientation angle and the maximum orientation angle are obtained. And the propagation velocity of the sound wave at the minimum orientation angle was obtained.

【0035】尚フィルムの走行方向および幅方向のみの
測定方法もあるが、図1の測定例に示すように、走行方
向と幅方向のみでは、正確な面内異方性を示さず、見か
け上面内異方性を小さく示すことから本発明の面内異方
性の評価に使用することはできない。
There is also a measuring method only in the running direction and width direction of the film, but as shown in the measurement example of FIG. Since the internal anisotropy is small, it cannot be used for the evaluation of the in-plane anisotropy of the present invention.

【0036】面内異方性指数(AI値)は、最大配向角
の音波伝播速度Peak Value MAX. と最小配向角の音波伝
播速度Peak Value MIN. から、上記した式6より計算さ
れる。測定例について、AI値を計算すると、AI値は
28になるが、走行方向と幅方向の値のみを使用すると
3となり、本発明の面内異方性が、走行方向と幅方向の
測定のみでは評価できないことが理解できる。
The in-plane anisotropy index (AI value) is calculated from the above equation 6 from the sound wave propagation velocity Peak Value MAX. At the maximum orientation angle and the sound wave propagation velocity Peak Value MIN. At the minimum orientation angle. When the AI value is calculated for the measurement example, the AI value is 28, but when only the values in the running direction and the width direction are used, it becomes 3, and the in-plane anisotropy of the present invention is measured only in the running direction and the width direction. Understand that you cannot evaluate with.

【0037】(2) 熱膨張係数 バーバー コールマン プログラマー−コントローラーを
備えたオートンディラトメーターを用いた。
(2) Coefficient of thermal expansion Barber Coleman An Orton dilatometer equipped with a programmer controller was used.

【0038】サンプルは25μmフィルムについて2.
5cm×13cmに切り取り、しっかりと巻いて直径が約4
mmの円柱状にし、針金でしばったものを使用した。円柱
状のサンプルはディラトメーターにセットされて、先ず
5℃/分から20℃/分の昇温速度で300℃迄加熱
し、室温迄冷却した後、再び300℃迄加熱した時の熱
膨張曲線を求め、150℃と250℃の間の熱膨張曲線
の勾配から熱膨張係数を求めた。
Samples are for 25 μm film 2.
Cut it into 5 cm x 13 cm, wrap it tightly and have a diameter of about 4
It was made into a cylindrical shape of mm and tied with wire. The cylindrical sample was set in a dilatometer, and first heated to 300 ° C at a heating rate of 5 ° C / min to 20 ° C / min, cooled to room temperature, and then heated again to 300 ° C, the thermal expansion curve. Was calculated, and the thermal expansion coefficient was calculated from the gradient of the thermal expansion curve between 150 ° C and 250 ° C.

【0039】平均面内熱膨張係数(CTE)は面内異方
性指数測定時に求めた最大配向角方向と最小配向角方向
の熱膨張係数から次の式7
The average in-plane thermal expansion coefficient (CTE) is calculated by the following equation 7 from the thermal expansion coefficients in the maximum orientation angle direction and the minimum orientation angle direction obtained when measuring the in-plane anisotropy index.

【数7】 により計算した。[Equation 7] Calculated by

【0040】(3) カール フレキシブル銅張積層体から走行方向250mm長、幅方
向50mm長に切り取り、定盤上に置き、カール高さを測
定した。カール量は、フレキシブル銅張積層体の四隅の
高さh1、h2、h3、h4を測定し、次の式8
(3) A curl flexible copper clad laminate was cut into a length of 250 mm in the running direction and a length of 50 mm in the width direction and placed on a surface plate to measure the curl height. The curl amount is obtained by measuring the heights h 1 , h 2 , h 3 , and h 4 of the four corners of the flexible copper-clad laminate and using the following formula 8

【数8】 により計算し、次の3区分で評価した。[Equation 8] Was calculated according to the following three criteria.

【0041】小:カール量が10mm未満 中:カール量が10mm以上〜30mm未満 大:カール量が30mm以上 カール量の区分の持つ意味は経験的にフレキシブルプリ
ント回路基板の電気設備への組み込み時の操作のしやす
さを示す尺度である。
Small: Curling amount is less than 10 mm Medium: Curling amount is 10 mm or more and less than 30 mm Large: Curling amount is 30 mm or more The meaning of the category of the curling amount is empirically when the flexible printed circuit board is installed in electrical equipment. It is a scale indicating the ease of operation.

【0042】小:容易に組み込める 中:人手を加えれば組み込める 大:組み込みが困難なことがあるSmall: Easy to install Middle: Can be incorporated with human intervention Large: sometimes difficult to install

【0043】(4) 面配向係数 メトリコン コーポレーション製のメトリコンPC−2
010を用い、波長0.633μmの光線により測定し
た。サンプルは3cm×3cmに切り取り、メトリコンPC
−2010にセットされて面内最大屈折率、面内最小屈
折率および厚さ方向屈折率を測定し、上記した式4によ
り面配向係数を求めた。
(4) Plane orientation coefficient Metricon PC-2 manufactured by Metricon Corporation
010 was used, and the measurement was performed with a light beam having a wavelength of 0.633 μm. Cut the sample into 3 cm x 3 cm and use Metricon PC
The maximum in-plane refractive index, the minimum in-plane refractive index, and the refractive index in the thickness direction were set to −2010, and the plane orientation coefficient was determined by the above-described formula 4.

【0044】実施例1 乾燥したN,N−ジメチルアセトアミド190.6kg中に
4,4′−ジアミノジフェニルエーテル20.024kg
(0.1kmol)を溶解し、20℃で撹拌しながら、精製
した粉末状のピロメリット酸二無水物21.812kg
(0.1kmol)を少量ずつ添加し、1時間撹拌し続け
て、透明なポリアミド酸溶液を得た。この溶液は、20
℃で3500ポイズの粘度であった。このポリアミド酸
溶液に、無水酢酸をポリアミド酸単位に対して2.5mo
l、ピリジンをポリアミド酸単位に対して2.0molを冷
却しながら混合し、ポリアミド酸の有機溶媒溶液を得
た。このポリアミド酸の有機溶媒溶液をスリット付口金
に定量供給し、90℃の金属ドラム上に流延し、自己支
持性のあるゲルフィルムを得た。得られたゲルフィルム
の固形分は18重量%であった。ゲルフィルムを金属ド
ラムから剥離し、金属ロールとシリコンゴムロールから
なる2組のニップロールで温度65℃で走行方向(M
D)に延伸し次いでテンタに導入した。走行方向の延伸
倍率すなわち、金属ドラムと各ニップロールおよびテン
タとの速度比は、金属ドラムの速度に対して1組目のニ
ップロールの速度比は1.12、2組目のニップロール
のそれは1.23、テンタのそれは1.39に調整した。
テンタで幅方向(TD)に1.61倍延伸し、260℃
の温度で40秒間乾燥し、次いで430℃で1分間熱処
理し、冷却ゾーンでリラックスさせながら30秒間冷却
し、フィルムをエッジカットし、幅1997mm、厚さ2
5μmの二軸延伸ポリイミドフィルムを得た。このフィ
ルムの平均面内熱膨張係数は27.5ppm/℃、面配向係
数は0.1203であった。またその端部の面内異方性
指数は8、中央部の面内異方性指数は7であった。
Example 1 20.024 kg of 4,4'-diaminodiphenyl ether in 190.6 kg of dried N, N-dimethylacetamide
21.812 kg of purified powdery pyromellitic dianhydride dissolved in (0.1 kmol) and stirred at 20 ° C.
(0.1 kmol) was added little by little and stirring was continued for 1 hour to obtain a transparent polyamic acid solution. This solution is 20
It had a viscosity of 3500 poise at ° C. Acetic anhydride was added to this polyamic acid solution at 2.5 mol per polyamic acid unit.
l and pyridine were mixed while cooling 2.0 mol with respect to the polyamic acid unit, to obtain an organic solvent solution of polyamic acid. A solution of this polyamic acid in an organic solvent was quantitatively supplied to a die with a slit and cast on a metal drum at 90 ° C to obtain a gel film having self-supporting properties. The solid content of the obtained gel film was 18% by weight. The gel film was peeled off from the metal drum, and the two nip rolls consisting of a metal roll and a silicon rubber roll were used at a temperature of 65 ° C.
D) and then introduced into a tenter. The stretching ratio in the running direction, that is, the speed ratio of the metal drum to each nip roll and the tenter, the speed ratio of the first nip roll to the speed of the metal drum is 1.12, and that of the second nip roll is 1.23. , That of Tenta adjusted to 1.39.
Stretched 1.61 times in the width direction (TD) with a tenter and 260 ° C
For 40 seconds, then heat treated at 430 ° C for 1 minute, cooled in a cooling zone for 30 seconds while relaxing, edge cut the film, width 1997 mm, thickness 2
A 5 μm biaxially stretched polyimide film was obtained. The average in-plane thermal expansion coefficient of this film was 27.5 ppm / ° C., and the plane orientation coefficient was 0.1203. Further, the in-plane anisotropy index of the end portion was 8, and the in-plane anisotropy index of the central portion was 7.

【0045】このフィルムに、ポリエステル/エポキシ
系の接着剤をロールコータで塗布し、160℃でドライ
ヤーで乾燥した。このフィルムの該接着剤を塗布した面
に電解銅箔を130℃で加圧ラミネートし、24時間キ
ュアーしてフレキシブル銅張ポリイミドシートを得た。
A polyester / epoxy adhesive was applied to this film with a roll coater and dried at 160 ° C. with a dryer. An electrolytic copper foil was pressure-laminated at 130 ° C. on the surface of the film coated with the adhesive and cured for 24 hours to obtain a flexible copper-clad polyimide sheet.

【0046】これを前記の方法でカールを評価した。カ
ールは小であった。
Curl was evaluated by the above method. Karl was small.

【0047】実施例2 実施例1において、金属ドラムと1組目のニップロール
の速度比を1.12、2組目のニップロールのそれを1.
23、テンタのそれを1.38とし、そして幅方向に1.
58倍延伸した以外はすべて実施例1と同様にして、幅
2130mm、厚さ25μの二軸延伸ポリイミドフィルム
を得た。
Example 2 In Example 1, the speed ratio between the metal drum and the first set of nip rolls was 1.12, and that of the second set of nip rolls was 1.12.
23, that of the tenter is 1.38, and 1. in the width direction.
A biaxially stretched polyimide film having a width of 2130 mm and a thickness of 25 μm was obtained in the same manner as in Example 1 except that the film was stretched 58 times.

【0048】このフィルムの熱膨張係数は27.5ppm/
℃、面配向係数は0.1285であった。またその端部
の面内異方性指数は4、中央部の面内異方性指数は4で
あった。実施例1と同様にしてフレキシブル銅張ポリイ
ミドシートを得た。このシートのカールを評価したが小
であった。
The thermal expansion coefficient of this film is 27.5 ppm /
The surface orientation coefficient was 0.1285 at ℃. Further, the in-plane anisotropy index of the end portion was 4, and the in-plane anisotropy index of the central portion was 4. A flexible copper-clad polyimide sheet was obtained in the same manner as in Example 1. The curl of this sheet was evaluated, but it was small.

【0049】実施例3 実施例1において、金属ドラムと1組目のニップロール
の速度比を1.09、2組目のニップロールのそれを1.
14、テンタのそれを1.22とし、そして幅方向に1.
30倍延伸した以外はすべて実施例1と同様にして、幅
1898mm、厚さ75μの二軸延伸ポリイミドフィルム
を得た。
Example 3 In Example 1, the speed ratio between the metal drum and the first set of nip rolls was 1.09, and that of the second set of nip rolls was 1.
14, the tenter's is 1.22, and the width is 1.
A biaxially stretched polyimide film having a width of 1898 mm and a thickness of 75 μ was obtained in the same manner as in Example 1 except that the film was stretched 30 times.

【0050】このフィルムの中央部の熱膨張係数は<3
5ppm/℃、面配向係数は0.1204であった。またそ
の端部の面内異方性指数は15、中央部の面内異方性指
数は10であった。実施例1と同様にしてフレキシブル
銅張ポリイミドシートを得た。このシートのカールを評
価したが中であった。
The thermal expansion coefficient of the central portion of this film is <3.
The surface orientation coefficient was 5 ppm / ° C. and 0.1204. Further, the in-plane anisotropy index of the end portion was 15, and the in-plane anisotropy index of the central portion was 10. A flexible copper-clad polyimide sheet was obtained in the same manner as in Example 1. The curl of this sheet was evaluated but was medium.

【0051】比較例1 この比較例はニップロールを使用しないで製造したフィ
ルムは端部および中央部の両方で顕著に高い異方性指数
を有し、そして実施例1および2によって製造したフィ
ルムよりも20%高い熱膨張係数を有することを示すも
のである。
Comparative Example 1 This comparative example shows that the film produced without the nip roll has a significantly higher anisotropy index in both the edges and the center and is more than the films produced according to Examples 1 and 2. It shows that it has a high coefficient of thermal expansion of 20%.

【0052】すなわち実施例1においてニップロールを
使用せずに、金属ドラムとテンタの速度比で1.16倍
延伸したことと、幅方向に1.30倍延伸した以外はす
べて実施例1と同様にして、幅2000mm、厚さ25μ
mの二軸延伸ポリイミドフィルムを得た。このフィルム
の平均熱膨張係数は35ppm/℃、面配向係数は0.11
70であった。またその端部の面内異方性指数は41、
中央部の面内異方性指数は10であった。実施例1と同
様にしてフレキシブル銅張ポリイミドシートを得た。こ
のシートのカールは中央部は小、端部では大であった。
That is, in the same manner as in Example 1 except that the nip roll was not used in Example 1 and the speed ratio of the metal drum and the tenter was 1.16 times, and the width direction was 1.30 times. Width 2000 mm, thickness 25μ
A biaxially stretched polyimide film of m was obtained. The average thermal expansion coefficient of this film is 35 ppm / ° C, and the plane orientation coefficient is 0.11.
It was 70. Further, the in-plane anisotropy index of the end portion is 41,
The in-plane anisotropy index of the central part was 10. A flexible copper-clad polyimide sheet was obtained in the same manner as in Example 1. The curl of this sheet was small at the center and large at the edges.

【0053】比較例2 この比較例はニップロールを使用しないで製造したフィ
ルムは端部において実施例3で製造したフィルムよりも
顕著に高い異方性指数を有することを示すものである。
Comparative Example 2 This comparative example shows that the film produced without the nip roll has a significantly higher anisotropy index at the edges than the film produced in Example 3.

【0054】実施例3においてニップロールを使用しな
いことおよびテンター速度対金属ドラム速度の比を1.
14、幅方向の延伸比を1.25とする以外はすべて実
施例3と同様にして、幅2085mm、厚さ75μの二軸
延伸ポリイミドフィルムを得た。
In Example 3 no nip roll was used and the ratio of tenter speed to metal drum speed was 1.
14, a biaxially stretched polyimide film having a width of 2085 mm and a thickness of 75 μ was obtained in the same manner as in Example 3 except that the stretching ratio in the width direction was set to 1.25.

【0055】このフィルムの端部の面内異方性指数は3
0、中央部の面内異方性指数は5、平均熱膨張係数は3
5ppm/℃、面配向係数は0.1157であった。実施例
1と同様にして、フレキシブル銅張シートを得た。この
銅張シートのカールは中央部は小、端部では大であっ
た。
The in-plane anisotropy index at the edge of this film is 3
0, central in-plane anisotropy index is 5, average thermal expansion coefficient is 3
It was 5 ppm / ° C. and the plane orientation coefficient was 0.1157. A flexible copper clad sheet was obtained in the same manner as in Example 1. The curl of this copper-clad sheet was small at the center and large at the edges.

【0056】比較例3 この比較例は延伸していないゲルフィルム、すなわち走
行方向延伸倍率、幅方向延伸倍率が共に1.0でニップ
ロールを使用しないで製造したフィルムの熱膨張係数は
実施例1および2で製造したフィルムのそれと比較した
ときより高いものであることを示すものである。
Comparative Example 3 In this comparative example, the unexpanded gel film, that is, the film having both the stretching ratio in the running direction and the stretching ratio in the width direction of 1.0 and the film produced without using the nip roll has the thermal expansion coefficients of Example 1 and It is higher than that of the film produced in 2.

【0057】実施例1において比較のためにMDおよび
TD延伸の両方を1.0とするピンテンタフレーム上に
載置した以外はすべて実施例1を繰り返した。得られた
フィルムは異方性指数を測定するのには小さすぎるもの
であった。平均熱膨張係数は40ppm/℃、面配向係数
は0.0900であった。
For comparison, Example 1 was repeated except that it was mounted on a pin tenter frame with both MD and TD stretch of 1.0 for comparison. The resulting film was too small to measure the anisotropy index. The average thermal expansion coefficient was 40 ppm / ° C., and the plane orientation coefficient was 0.0900.

【0058】以上の実施例1〜3および比較例1〜3で
得られた結果を次の表1に示す。
The results obtained in the above Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 to 3 are shown in Table 1 below.

【0059】[0059]

【表1】 [Table 1]

【0060】実施例4 乾燥したN,N−ジメチルアセトアミド185.79kg中
にパラフェニレンジアミン1.3kg(0.012kmol)を
溶解し、20℃で撹拌しながら、精製した粉末状のピロ
メリット酸二無水物2.55kg(0.0117kmol)を少
量ずつ添加し、1時間撹拌し続けた。次に4,4′−ジ
アミノジフェニルエーテル17.62kg(0.088kmo
l)を20℃で撹拌しながら少量ずつ添加して溶解し、
続いて精製した粉末状のピロメリット酸二無水物19.
26kg(0.083kmol)を少量ずつ添加し、1時間撹
拌し続けて透明なポリアミド酸溶液を得た。この溶液は
20℃で3600ポイズの粘度であった。このポリアミ
ド酸溶液に、無水酢酸をポリアミド酸単位に対して2.
5mol、ピリジンをポリアミド酸単位に対して2.0mol
を冷却しながら混合し、ポリアミド酸の有機溶媒溶液を
得た。このポリアミド酸の有機溶媒溶液をスリット付口
金に定量供給し、90℃の金属ドラム上に流延し、自己
支持性のあるゲルフィルムを得た。得られたゲルフィル
ムの固形分は18重量%であった。ゲルフィルムを金属
ドラムから剥離し、金属ロールとシリコンゴムロールか
らなる2組のニップロールで温度65℃で走行方向(M
D)に延伸し次いでテンタに導入した。走行方向の延伸
倍率すなわち、金属ドラムと各ニップロールおよびテン
タとの速度比は、金属ドラムの速度に対して1組目のニ
ップロールの速度比は1.10、2組目のニップロール
のそれは1.21、テンタのそれは1.35に調整した。
テンタで幅方向(TD)に1.44倍延伸し、260℃
の温度で40秒間乾燥し、次いで430℃で1分間熱処
理し、冷却ゾーンでリラックスさせながら30秒間冷却
し、フィルムをエッジカットし、幅2070mm、厚さ2
5μmの二軸延伸ポリイミドフィルムを得た。このフィ
ルムの平均面内熱膨張係数は17.8ppm/℃、面配向係
数は0.1414であった。またその端部の面内異方性
指数は10、中央部の面内異方性指数は5であった。実
施例1と同様にしてフレキシブル銅張ポリイミドシート
を得た。このシートのカールを評価したが小であった。
Example 4 1.3 kg (0.012 kmol) of para-phenylenediamine was dissolved in 185.79 kg of dried N, N-dimethylacetamide, and the purified powdery pyromellitic acid dimer was dissolved at 20 ° C. with stirring. Anhydrous 2.55 kg (0.0117 kmol) was added in small portions and stirring continued for 1 hour. Next, 17.4 kg of 4,4'-diaminodiphenyl ether (0.088 km
l) was added little by little with stirring at 20 ° C to dissolve,
Then, refined powdery pyromellitic dianhydride 19.
26 kg (0.083 kmol) was added little by little and stirring was continued for 1 hour to obtain a transparent polyamic acid solution. The solution had a viscosity of 3600 poise at 20 ° C. To this polyamic acid solution, add acetic anhydride to the polyamic acid unit 2.
5 mol, pyridine 2.0 mol per polyamic acid unit
Were mixed while cooling to obtain an organic solvent solution of polyamic acid. A solution of this polyamic acid in an organic solvent was quantitatively supplied to a die with a slit and cast on a metal drum at 90 ° C to obtain a gel film having self-supporting properties. The solid content of the obtained gel film was 18% by weight. The gel film was peeled off from the metal drum, and the two nip rolls consisting of a metal roll and a silicon rubber roll were used at a temperature of 65 ° C.
D) and then introduced into a tenter. The stretching ratio in the running direction, that is, the speed ratio of the metal drum to each nip roll and the tenter, the speed ratio of the first nip roll to the speed of the metal drum is 1.10, and that of the second nip roll is 1.21. , That of Tenta adjusted to 1.35.
Stretched 1.44 times in the width direction (TD) with a tenter and 260 ° C
40 seconds, then heat treated at 430 ℃ for 1 minute, cooled in a cooling zone for 30 seconds while relaxing, edge cut the film, width 2070mm, thickness 2
A 5 μm biaxially stretched polyimide film was obtained. The average in-plane thermal expansion coefficient of this film was 17.8 ppm / ° C., and the plane orientation coefficient was 0.1414. Further, the in-plane anisotropy index of the end portion was 10, and the in-plane anisotropy index of the central portion was 5. A flexible copper-clad polyimide sheet was obtained in the same manner as in Example 1. The curl of this sheet was evaluated, but it was small.

【0061】実施例5 乾燥したN,N−ジメチルアセトアミド190.4kg中に
4,4′−ジアミノジフェニルエーテル7.01kg(0.
035kmol)を溶解し、20℃で撹拌しながら、精製し
た粉末状のピロメリット酸二無水物2.84kg(0.01
3kmol)を少量ずつ添加し、1時間撹拌し続けた。次に
パラフェニレンジアミン5.73kg(0.053kmol)を
20℃で撹拌しながら少量ずつ添加して溶解し、続いて
精製した粉末状の3,3′,4,4′−ビフェニルテトラ
カルボン酸二無水物10.3kg(0.035kmol)を少量
ずつ添加し、1時間撹拌し続けた。次に精製した粉末状
のピロメリット酸二無水物8.72kg(0.04kmol)を
少量ずつ添加し、1時間撹拌し続けて透明なポリアミド
酸溶液を得た。この溶液は20℃で3300ポイズの粘
度であった。このポリアミド酸溶液に無水酢酸をポリア
ミド酸単位に対して2.5mol、β−ピコリンをポリアミ
ド酸単位に対して2.0molを冷却しながら混合し、ポリ
アミド酸の有機溶媒溶液を得た。このポリアミド酸の有
機溶媒溶液をスリット付口金に定量供給し、90℃の金
属ドラム上に流延し、自己支持性のあるゲルフィルムを
得た。得られたゲルフィルムの固形分は13重量%であ
った。ゲルフィルムを金属ドラムから剥離し、2個のサ
クションロールで温度65℃で走行方向(MD)に延伸
し次いでテンタに導入した。走行方向の延伸倍率すなわ
ち、金属ドラムと各サクションロールおよびテンタとの
速度比は、金属ドラムの速度に対して1個目のサクショ
ンロールの速度比は1.138、2個目のサクションロ
ールのそれは1.14、テンタのそれは1.17に調整し
た。テンタで幅方向(TD)に1.32倍延伸し、24
0℃の温度で50秒間乾燥し、次いで430℃で75秒
間熱処理し、冷却ゾーンでリラックスさせながら38秒
間冷却し、フィルムをエッジカットし、幅1400mm、
厚さ75μmの二軸延伸ポリイミドフィルムを得た。こ
のフィルムの平均面内熱膨張係数は17.7ppm/℃、面
配向係数は0.1786であった。またその端部の面内
異方性指数は12、中央部の面内異方性指数は10であ
った。実施例1と同様にしてフレキシブル銅張ポリイミ
ドシートを得た。このシートのカールを評価したが小で
あった。
Example 5 7.01 kg (0.04) of 4,4'-diaminodiphenyl ether in 190.4 kg of dried N, N-dimethylacetamide.
(035 kmol) was dissolved and, while stirring at 20 ° C., purified powdery pyromellitic dianhydride 2.84 kg (0.01
3 kmol) was added in small portions and stirring was continued for 1 hour. Next, 5.73 kg (0.053 kmol) of para-phenylenediamine was added little by little with stirring at 20 ° C. and dissolved, followed by purification of purified powdery 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic acid dicarboxylic acid. Anhydrous 10.3 kg (0.035 kmol) was added in small portions and stirring continued for 1 hour. Next, 8.72 kg (0.04 kmol) of purified powdery pyromellitic dianhydride was added little by little, and stirring was continued for 1 hour to obtain a transparent polyamic acid solution. The solution had a viscosity of 3300 poise at 20 ° C. Acetic anhydride was mixed with this polyamic acid solution in an amount of 2.5 mol with respect to the polyamic acid unit, and β-picoline was mixed with 2.0 mol with respect to the polyamic acid unit while cooling to obtain an organic solvent solution of the polyamic acid. A solution of this polyamic acid in an organic solvent was quantitatively supplied to a die with a slit and cast on a metal drum at 90 ° C to obtain a gel film having self-supporting properties. The solid content of the obtained gel film was 13% by weight. The gel film was peeled from the metal drum, stretched in the running direction (MD) at a temperature of 65 ° C. with two suction rolls, and then introduced into a tenter. The stretching ratio in the running direction, that is, the speed ratio of the metal drum to each suction roll and the tenter, the speed ratio of the first suction roll to the speed of the metal drum is 1.138, that of the second suction roll is 1.14, Tenta's that was adjusted to 1.17. Stretching 1.32 times in the width direction (TD) with a tenter, 24
Dry for 50 seconds at a temperature of 0 ° C., then heat treat for 75 seconds at 430 ° C., cool for 38 seconds while relaxing in a cooling zone, edge cut the film, width 1400 mm,
A biaxially stretched polyimide film having a thickness of 75 μm was obtained. This film had an average in-plane thermal expansion coefficient of 17.7 ppm / ° C. and a plane orientation coefficient of 0.1786. Further, the in-plane anisotropy index of the end portion was 12, and the in-plane anisotropy index of the central portion was 10. A flexible copper-clad polyimide sheet was obtained in the same manner as in Example 1. The curl of this sheet was evaluated, but it was small.

【0062】本発明の方法により製造された二軸配向ポ
リイミドフィルムは十分に配向されていることにより、
平均面内熱膨張係数が未延伸フィルムより少なくとも1
0%小さく、また走行方向と幅方向の延伸倍率比を調整
して面内異方性指数をフィルム全面にわたり20以下と
したことによりフレキシブル銅張板のカールを小〜中に
することができたのである。
Since the biaxially oriented polyimide film produced by the method of the present invention is sufficiently oriented,
Average in-plane thermal expansion coefficient is at least 1 than unstretched film
The curl of the flexible copper clad plate can be made small to medium by adjusting the draw ratio in the running direction and the width direction so that the in-plane anisotropy index is 20 or less over the entire surface of the film. Of.

【0063】[0063]

【発明の効果】本発明はポリイミドフィルムの力学的性
質およびその面内等方性と同時に寸法安定性を改善する
ことにより、ポリイミドフィルムに銅箔を代表とする金
属箔または金属薄膜を積層した電気配線板用途の多様化
と配線数の高密度化の進展に適応できるポリイミドフィ
ルムの提供を可能にしたものである。
INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention improves electrical properties by laminating a polyimide film with a metal foil or a metal thin film typified by a copper foil by improving mechanical properties of the polyimide film and its in-plane isotropy and dimensional stability. This has made it possible to provide a polyimide film that can be adapted to the diversification of wiring board applications and the development of higher density wiring.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】面内異方性指数の測定例を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing an example of measurement of an in-plane anisotropy index.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1:最大配向角の方向 2:最小配向角の方向 3:各方向の音波の伝播速度を図示した点 1: direction of maximum orientation angle 2: direction of minimum orientation angle 3: Points showing the propagation velocity of sound waves in each direction

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岡橋 正和 愛知県東海市新宝町31−6 東レ・デュ ポン株式会社東海事業場内 (72)発明者 佃 明光 愛知県東海市新宝町31−6 東レ・デュ ポン株式会社東海事業場内 (72)発明者 三輪 恒義 愛知県東海市新宝町31−6 東レ・デュ ポン株式会社東海事業場内 (72)発明者 ジエイムズ・アール・エドマン アメリカ合衆国オハイオ州43113.サー クルビル.ヒツコリー ピー・エル582 (72)発明者 チヤールズ・エム・ポールソン・ジユニ ア アメリカ合衆国デラウエア州19808.ウ イルミントン.ホイツトマンドライブ 2653 (56)参考文献 特開 平1−19522(JP,A) 特開 平1−20238(JP,A) 特開 平1−247162(JP,A) 特開 平1−257027(JP,A) 特開 平1−315428(JP,A) 特開 平3−205432(JP,A) 特開 平3−264332(JP,A) 特開 平3−264333(JP,A) 特開 平4−25434(JP,A) 特開 平4−264136(JP,A) 特開 平4−328125(JP,A) 特開 平5−82925(JP,A) 特開 平5−82926(JP,A) 特開 平5−154909(JP,A) 特開 平5−169526(JP,A) 特開 平5−169528(JP,A) 特開 昭61−246919(JP,A) 特開 昭61−296034(JP,A) 特開 昭62−143938(JP,A) 特開 昭63−21115(JP,A) 特開 昭63−104821(JP,A) 特開 昭63−147625(JP,A) 特開 昭63−147626(JP,A) 特開 昭63−151427(JP,A) 特開 昭63−197628(JP,A) 特開 昭63−199427(JP,A) 特開 昭63−230320(JP,A) 特開 昭63−242625(JP,A) 特開 昭63−297029(JP,A) 特公 昭44−20878(JP,B1) 特表 平7−500139(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B29C 55/00 - 55/30 C08G 73/00 - 73/26 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Inventor Masakazu Okahashi 31-6 Shintakaracho, Tokai City, Aichi Prefecture Toray DuPont Co., Ltd. Tokai Plant (72) Inventor Tsukuda Meiko 31-6 Shintakaracho, Tokai City Toray City DuPont Co., Ltd. Tokai Plant (72) Inventor Tsuneyoshi Miwa 31-6 Shintakaracho, Tokai City, Aichi Prefecture Toray DuPont Co., Ltd. Tokai Plant (72) Inventor James Earl Edman Ohio, USA 43113. Circle building. Hitzcholie P.L. 582 (72) Inventor, Charles M. Paulson, Genia, Delaware, USA 19808. Wilmington. Whitman drive 2653 (56) Reference JP-A-1-19522 (JP, A) JP-A-1-20238 (JP, A) JP-A-1-247162 (JP, A) JP-A 1-257027 ( JP, A) JP-A-1-315428 (JP, A) JP-A-3-205432 (JP, A) JP-A-3-264332 (JP, A) JP-A-3-264333 (JP, A) 4-25434 (JP, A) JP 4-264136 (JP, A) JP 4-328125 (JP, A) JP 5-82925 (JP, A) JP 5-82926 (JP , A) JP 5-154909 (JP, A) JP 5-169526 (JP, A) JP 5-169528 (JP, A) JP 61-246919 (JP, A) JP 61-296034 (JP, A) JP 62-143938 (JP, A) JP 63-21115 (JP, A) JP 63-104821 (JP, A) JP 63-147625 (JP, A) A) JP 63-147626 (JP, A) JP 63-151427 (JP, A) JP 63-197628 ( P, A) JP 63-199427 (JP, A) JP 63-230320 (JP, A) JP 63-242625 (JP, A) JP 63-297029 (JP, A) JP SHO 44-20878 (JP, B1) Special Table HEI 7-500139 (JP, A) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) B29C 55/00-55/30 C08G 73/00-73 / 26

Claims (8)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 (a) ポリイミドの先駆体であるポリア
ミド酸に閉環触媒および脱水剤を含有せしめてなる該ポ
リアミド酸の有機溶媒溶液を支持体表面にキャストし、 (b)ポリアミド酸をイミド化して自己支持性を有し且
つ固形分を5〜50重量%含有するゲルフィルムの連続
体を成形させ、 (c)該ゲルフィルムをニップロールおよび/またはサ
クションロールにより、50〜1,000kg/mの把持
力で走行速度を規制しながら走行方向に1.1〜1.9倍
延伸し、 (d)この延伸されたゲルフィルムの端部をテンタクリ
ップにより把持し、 (e)このゲルフィルムを幅方向に走行方向の延伸倍率
の0.9〜1.3倍の倍率で延伸し、 (f)この延伸されたゲルフィルムを350〜500℃
で熱処理することを特徴とする、面内異方性指数が20
以下であり、等方性で二軸配向された、幅1400mm以
上のポリイミドフィルムの製造方法。
1. A method of: (a) casting a polyamic acid, which is a precursor of polyimide, with a ring-closing catalyst and a dehydrating agent on an organic solvent solution of the polyamic acid; and (b) imidizing the polyamic acid. To form a continuous body of a gel film having self-supporting property and containing a solid content of 5 to 50% by weight, and (c) the gel film is treated with a nip roll and / or a suction roll at a weight of 50 to 1,000 kg / m. Stretching 1.1 to 1.9 times in the traveling direction while controlling the traveling speed with gripping force, (d) grasping the end portion of the stretched gel film with a tenter clip, (e) width of the gel film Direction of the running direction is drawn at a draw ratio of 0.9 to 1.3 times, and (f) the drawn gel film is drawn at 350 to 500 ° C.
The in-plane anisotropy index is 20 which is characterized by heat treatment at
The following is a method for producing an isotropic and biaxially oriented polyimide film having a width of 1400 mm or more.
【請求項2】 ポリイミドが少なくとも1種の芳香族テ
トラカルポン酸無水物と少なくとも1種の芳香族ジアミ
ンから得られるものであることを特徴とする、請求項1
記載の面内異方性指数が20以下であり、等方性で二軸
配向された、幅1400mm以上のポリイミドフィルムの
製造方法。
2. The polyimide is obtained from at least one aromatic tetracarponic anhydride and at least one aromatic diamine.
A method for producing an isotropic and biaxially oriented polyimide film having a width of 1400 mm or more, which has an in-plane anisotropy index of 20 or less.
【請求項3】 芳香族テトラカルボン酸無水物がピロメ
リット酸無水物であり、芳香族ジアミンが4,4′−ジ
アミノジフェニルエーテルであることを特徴とする、請
求項2記載の面内異方性指数が20以下であり、等方性
で二軸配向された、幅1400mm以上のポリイミドフィ
ルムの製造方法。
3. The in-plane anisotropy according to claim 2, wherein the aromatic tetracarboxylic acid anhydride is pyromellitic acid anhydride and the aromatic diamine is 4,4′-diaminodiphenyl ether. A method for producing an isotropic and biaxially oriented polyimide film having a width of 1400 mm or more, an index of which is 20 or less.
【請求項4】 芳香族テトラカルボン酸無水物がピロメ
リット酸無水物と3,3′,4,4′−ビフェニルテトラ
カルボン酸無水物からなり、芳香族ジアミンが4,4′
−ジアミノフェニルエーテルとパラフェニレンジアミン
からなることを特徴とする、請求項2記載の面内異方性
指数が20以下であり、等方性で二軸配向された、幅1
400mm以上のポリイミドフィルムの製造方法。
4. The aromatic tetracarboxylic acid anhydride comprises pyromellitic acid anhydride and 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic acid anhydride, and the aromatic diamine is 4,4 ′.
An in-plane anisotropy index of 20 or less, isotropically and biaxially oriented, and a width of 1 according to claim 2, characterized in that it comprises diaminophenyl ether and para-phenylenediamine.
Manufacturing method of 400mm or more polyimide film.
【請求項5】 ステップ(c)のゲルフィルムをニップ
ロールおよび/またはサクションロールにより、50〜
1,000kg/mの把持力で走行速度を規制しながら走
行方向に1.1〜1.6倍延伸することを特徴とする、請
求項1記載の面内異方性指数が20以下であり、等方性
で二軸配向された、幅1400mm以上のポリイミドフィ
ルムの製造方法。
5. The gel film of step (c) is treated with a nip roll and / or a suction roll for 50 to 50 times.
The in-plane anisotropy index is 20 or less according to claim 1, wherein the film is stretched 1.1 to 1.6 times in the running direction while controlling the running speed with a gripping force of 1,000 kg / m. A method for producing an isotropic and biaxially oriented polyimide film having a width of 1400 mm or more.
【請求項6】 150℃以下でステップ(c)のゲルフ
ィルムをニップロールおよび/またはサクションロール
により、50〜1,000kg/mの把持力で走行速度を
規制しながら走行方向に延伸することを特徴とする、請
求項5記載の面内異方性指数が20以下であり、等方性
で二軸配向された、幅1400mm以上のポリイミドフィ
ルムの製造方法。
6. The method according to claim 6, wherein the gel film of step (c) is stretched in the running direction at a temperature of 150 ° C. or lower by a nip roll and / or a suction roll while controlling the running speed with a gripping force of 50 to 1,000 kg / m. The method for producing an isotropic and biaxially oriented polyimide film having a width of 1400 mm or more according to claim 5, having an in-plane anisotropy index of 20 or less.
【請求項7】 ステップ(e)のゲルフィルムを幅方向
に走行方向の延伸倍率の1.0〜1.3倍の倍率で延伸す
ることを特徴とする、請求項1記載の面内異方性指数が
20以下であり、等方性で二軸配向された、幅1400
mm以上のポリイミドフィルムの製造方法。
7. The in-plane anisotropic method according to claim 1, wherein the gel film of step (e) is stretched in the width direction at a draw ratio of 1.0 to 1.3 times the running direction draw ratio. Isotropic and biaxially oriented with a sex index of 20 or less, width 1400
Method for producing polyimide film of mm or more.
【請求項8】 400℃以下でステップ(e)のゲルフ
ィルムを幅方向に延伸することを特徴とする、請求項7
記載の面内異方性指数が20以下であり、等方性で二軸
配向された、幅1400mm以上のポリイミドフィルムの
製造方法。
8. The gel film of step (e) is stretched in the width direction at 400 ° C. or lower.
A method for producing an isotropic and biaxially oriented polyimide film having a width of 1400 mm or more, which has an in-plane anisotropy index of 20 or less.
JP29136792A 1991-10-30 1992-10-29 Polyimide film and manufacturing method thereof Expired - Lifetime JP3515792B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP29136792A JP3515792B2 (en) 1991-10-30 1992-10-29 Polyimide film and manufacturing method thereof

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP28449091 1991-10-30
JP3-284490 1991-10-30
JP29136792A JP3515792B2 (en) 1991-10-30 1992-10-29 Polyimide film and manufacturing method thereof

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003203521A Division JP3635085B2 (en) 1991-10-30 2003-07-30 Polyimide film

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH05237928A JPH05237928A (en) 1993-09-17
JP3515792B2 true JP3515792B2 (en) 2004-04-05

Family

ID=32314030

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP29136792A Expired - Lifetime JP3515792B2 (en) 1991-10-30 1992-10-29 Polyimide film and manufacturing method thereof

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3515792B2 (en)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4859309B2 (en) * 2000-09-11 2012-01-25 株式会社カネカ Method for producing polyimide film
CN102161771B (en) 2001-02-27 2013-01-23 钟渊化学工业株式会社 Polyimide film and process for producing the same
US6949296B2 (en) * 2002-12-31 2005-09-27 E. I. Du Pont De Nemours And Company Polyimide substrates having enhanced flatness, isotropy and thermal dimensional stability, and methods and compositions relating thereto
JP2004299937A (en) * 2003-03-28 2004-10-28 Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd Method of producing graphite film
JP4595291B2 (en) * 2003-05-23 2010-12-08 東レ・デュポン株式会社 Polyimide film and method for producing the same
CN1826288A (en) 2003-09-02 2006-08-30 株式会社钟化 Filmy graphite and process for producing the same
DE602004018387D1 (en) 2003-12-26 2009-01-22 Toyo Boseki polyimide film
JP4777471B2 (en) * 2004-03-30 2011-09-21 東レ・デュポン株式会社 Polyimide film and copper-clad laminate based on the same
JP5361852B2 (en) * 2010-12-17 2013-12-04 株式会社カネカ Film-like graphite and method for producing the same
JP5857607B2 (en) * 2011-10-11 2016-02-10 宇部興産株式会社 Stretching apparatus and method for producing polyimide film using the same
JP6034662B2 (en) * 2012-10-31 2016-11-30 東レ・デュポン株式会社 Polyimide film
JP6134213B2 (en) * 2013-06-26 2017-05-24 東レ・デュポン株式会社 Polyimide film
WO2016129329A1 (en) * 2015-02-09 2016-08-18 コニカミノルタ株式会社 Method for manufacturing transparent heat-resistant layered film, transparent heat-resistant layered film, flexible printed circuit board, substrate for flexible display, front plate for flexible display, led illumination device, and organic electroluminescence display device

Also Published As

Publication number Publication date
JPH05237928A (en) 1993-09-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5324475A (en) Process for preparing biaxially stretched isotropic polyimide film
JP3515792B2 (en) Polyimide film and manufacturing method thereof
JP2003165850A (en) Polyimide film and method for producing the same
JP2005314669A (en) Polyimide film and copper-clad laminate using the same as substrate
JP4078625B2 (en) Biaxially oriented polyimide film and method for producing the same
WO2006104228A1 (en) Aromatic polyimide film and method for producing same
JP4392578B2 (en) Sliding polyimide film and method for producing the same
JP3635085B2 (en) Polyimide film
KR20080044330A (en) Heat resistant adhesive sheet
JP4318111B2 (en) Polyimide film and method for producing the same
JP4406764B2 (en) Gas barrier polyimide film and metal laminate using the same
JP2007169494A (en) Aromatic polyimide film, cover-lay film and flexible laminated plate
JP2003176370A (en) Polyimide film, method for producing the same and metallic wiring board using the same as base
JP3947994B2 (en) Polyimide film, its production method and use
JP2003073473A (en) Polyimide film, production method therefor and use thereof
JP2008201940A (en) Low thermally shrinkable polyimide film and method for producing the same
JP5571839B2 (en) Polyimide film and copper-clad laminate based on the same
JPH09227697A (en) Preparation of heat-resistant polyimide film through gel
JP2002155140A (en) Polyimide film, its manufacturing method and metallic wiring plate using the same as base
EP0628062B1 (en) Process for the preparation of an isotropic polyimide film
JP2004346210A (en) Polyimide film and its manufacturing process
JPWO2005082595A1 (en) Method for producing synthetic resin film in which molecular orientation is controlled in MD direction
JP2001162635A (en) Polyimide film and method of manufacturing the same
JP2727185B2 (en) Method for producing aromatic polyimide multilayer film
JP4074987B2 (en) Polyimide film and stiffener for flexible circuit board using the same

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 19921029

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 19990315

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20010904

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20011204

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20021001

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20021227

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20030401

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20030730

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20030925

A911 Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20031105

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20031224

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20040119

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100123

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110123

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110123

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120123

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120123

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130123

Year of fee payment: 9

EXPY Cancellation because of completion of term