JP3499224B2 - Test apparatus and test method for elastic contact terminals - Google Patents
Test apparatus and test method for elastic contact terminalsInfo
- Publication number
- JP3499224B2 JP3499224B2 JP2001157254A JP2001157254A JP3499224B2 JP 3499224 B2 JP3499224 B2 JP 3499224B2 JP 2001157254 A JP2001157254 A JP 2001157254A JP 2001157254 A JP2001157254 A JP 2001157254A JP 3499224 B2 JP3499224 B2 JP 3499224B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- elastic contact
- contact
- elastic
- contact terminal
- circuit board
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Manufacturing Of Electrical Connectors (AREA)
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は弾性接触端子の試験
装置及び方法に関わり、特に弾性接触端子の連続動作試
験を迅速に行うことができる試験装置及び方法に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an elastic contact terminal testing apparatus and method, and more particularly to a testing apparatus and method capable of rapidly performing a continuous operation test of an elastic contact terminal.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図１は半導体テスタの弾性接触端子を示
す図である。図１に示すように、半導体のテスタ１には
複数の弾性接触端子（pogo pin）１１，１２が環状に配
列されている。ここで、弾性接触端子１１はテストしよ
うとするウェハーのチップ毎にアースするための端子、
弾性接触端子１２は該当ウェハーのチップ毎にテスト信
号を提供するための端子である。弾性接触端子１１及び
１２は、長期間使用の場合、弾性疲労による接触不良が
発生することがある。よって、正確にテストを行うため
に正式なテストの前に先ず弾性接触端子１１及び１２に
対し連続動作試験を行う必要がある。2. Description of the Related Art FIG. 1 is a view showing an elastic contact terminal of a semiconductor tester. As shown in FIG. 1, a plurality of elastic contact terminals (pogo pins) 11 and 12 are annularly arranged in a semiconductor tester 1. Here, the elastic contact terminal 11 is a terminal for grounding each chip of the wafer to be tested,
The elastic contact terminal 12 is a terminal for providing a test signal for each chip of the corresponding wafer. When the elastic contact terminals 11 and 12 are used for a long period of time, contact failure may occur due to elastic fatigue. Therefore, in order to perform an accurate test, it is necessary to first perform a continuous operation test on the elastic contact terminals 11 and 12 before the formal test.
【０００３】従来、弾性接触端子１１及び１２の試験
は、ウェハー１をテスタ１内（図１の環状の中空部）に
置き、ブロープカードとテストヘッドを用い且つテスト
ヘッドを弾性接触端子１１及び１２の上方に取り付ける
ように行われる。試験の結果はテストヘッドのモニター
から読取る。Conventionally, the elastic contact terminals 11 and 12 are tested by placing the wafer 1 inside the tester 1 (the annular hollow portion in FIG. 1), using a probe card and a test head, and using the test head as the elastic contact terminals 11 and 12. Is installed above. The test results are read from the test head monitor.
【０００４】しかしながら、従来の弾性接触端子の試験
方法は以下のような問題点がある。However, the conventional elastic contact terminal testing method has the following problems.
【０００５】（１）テスタにおいてチップ毎にアースす
る各弾性接触端子１１は互いに電気的に接続されている
ため、接触不良有無の検出は弾性接触端子１１毎に行う
ことができない。(1) Since the elastic contact terminals 11 grounded for each chip in the tester are electrically connected to each other, it is impossible to detect the presence or absence of contact failure for each elastic contact terminal 11.
【０００６】（２）試験にはウエハーを用いる必要があ
るため、試験の都度ウェハーのアライメントをする必要
がある。これにより、手間が掛かる。(2) Since it is necessary to use a wafer for the test, it is necessary to align the wafer for each test. This is troublesome.
【０００７】（３）試験の結果はテストヘッドのモニタ
ーから百以上の試験データを読むことにより知られ、非
常に不便である。因みに、テスタはＡ―Ｄ変換器を用い
るため試験データ更新毎に１−２秒間もかかる。(3) The result of the test is known by reading over one hundred test data from the monitor of the test head, which is very inconvenient. Incidentally, since the tester uses the AD converter, it takes 1-2 seconds each time the test data is updated.
【０００８】一方、従来、弾性接触端子の連続動作試験
に関する他の方法としては、カーボンペーパを弾性接触
端子に被覆してから押圧し、そしてカーボンペーパに残
る弾性接触端子の痕から該当弾性接触端子の弾力作用が
正常か否かを判断する方法があるが、このような方法を
用いる場合、カーボンの粒子がテスタまたは弾性接触端
子に残留することにより汚染が生じられる恐れがある。On the other hand, conventionally, as another method for the continuous operation test of the elastic contact terminal, the elastic contact terminal is covered with carbon paper and then pressed, and the corresponding elastic contact terminal is removed from the marks of the elastic contact terminal remaining on the carbon paper. There is a method of determining whether or not the elastic action of is normal, but when such a method is used, contamination may occur due to carbon particles remaining on the tester or the elastic contact terminal.
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】前記のような問題点を
解決するため、本発明の目的は、ウェハーやブローブカ
ード、テストへットを用いることがなく、簡単に且つ汚
染のないように弾性接触端子の連続動作試験が行われる
弾性接触端子の試験装置及び方法を提供することにあ
る。SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above-mentioned problems, the object of the present invention is to use a wafer, probe card, and test head without elasticity and to easily and without contamination. It is an object of the present invention to provide an elastic contact terminal testing apparatus and method in which a continuous operation test of contact terminals is performed.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
の本発明の弾性接触端子の試験装置は、テスタのｎ（＝
自然数）個の弾性接触端子に対し連続動作試験を施すた
めの試験装置において、ｎ個の弾性接触端子と夫々対応
するｎ個の接触パッドを設けた回路基板と、ｎ対の接触
パッドと弾性接触端子との間において夫々電位差を提供
する電源と、ｎ対の接続パッドと弾性接触端子に夫々対
応して設けられるｎ個の検出装置とからなり、各接触パ
ッドを夫々対応な弾性接触端子と接触させるように前記
回路基板を各弾性接触端子へ押圧する場合、ｎ対の接続
パッドと弾性接触端子の夫々について電位差による電流
の有無の検出がｎ個の検出装置の夫々により行われ、何
れの該当電流が検出されたら該当検出装置は接続情報を
発信するように構成される。In order to achieve the above object, the elastic contact terminal testing apparatus of the present invention comprises a tester n (=
(Natural number) In a testing device for performing a continuous operation test on elastic contact terminals, a circuit board provided with n contact pads corresponding to n elastic contact terminals, and elastic contact with n pairs of contact pads Each of the contact pads is in contact with a corresponding elastic contact terminal. The power supply provides a potential difference between the terminals and n detection devices provided corresponding to the n pairs of connection pads and the elastic contact terminals, respectively. When the circuit board is pressed against each elastic contact terminal so as to detect the presence or absence of a current due to a potential difference between each of the n pairs of connection pads and the elastic contact terminal, each of the n detection devices detects which one of them. The corresponding detection device is configured to emit connection information when a current is detected.
【００１１】また、前記試験装置において、ｎ個の検出
装置は何れも該当接触パッドと電源との間に接続される
ように構成されても良い。Further, in the test apparatus, all of the n detection apparatuses may be connected between the corresponding contact pad and the power source.
【００１２】また、ｎ個の出装置は何れも発光ダイオー
ドから構成しても良い。この場合、該当接触パッドが該
当弾性接触端子と接触すると、前記電流により該当発光
ダイオードが前記接続情報の発信として発光をする。Further, each of the n output devices may be composed of a light emitting diode. In this case, when the corresponding contact pad comes into contact with the corresponding elastic contact terminal, the corresponding light emitting diode emits light as the transmission of the connection information by the current.
【００１３】また、前記電源を前記テスタに設けたり、
ｎ個の検出装置を前記回路基板に取り付けたりすること
も可能である。Further, the power source is provided in the tester,
It is also possible to attach n detection devices to the circuit board.
【００１４】更に、前記回路基板にｎ個の接触パッドと
夫々対応するｎ個のピャ―孔が形成され、ｎ個の接触パ
ッドとｎ個の検出装置は夫々前記回路基板の両側に取り
付けられ、ｎ個の検出装置の第１の接続ピンはピャ―孔
を介してｎ個の接触パッドと夫々電気的接続するように
構成することもできる。Further, n contact pads and n corresponding peer holes are formed in the circuit board, and the n contact pads and the n detectors are mounted on both sides of the circuit board, respectively. The first connection pins of the n detectors may be configured to be electrically connected to the n contact pads respectively through the via holes.
【００１５】一方、本発明の目的を達成するための本発
明の弾性接触端子の試験方法は、テスタのｎ（＝自然
数）個の弾性接触端子に対し連続動作試験を施す試験方
法において、ｎ個の弾性接触端子と夫々対応するｎ個の
接触パッドを設けた回路基板を提供する段階と、ｎ対の
接触パッドと弾性接触端子との間において夫々電位差を
提供する段階と、前記回路基板をｎ個の弾性接触端子へ
押圧する段階と、何れの接触パッドがその対応な弾性接
触端子と接触する場合前記電位差による電流が検出され
た都度接続情報を発信する段階から構成される。On the other hand, in order to achieve the object of the present invention, the elastic contact terminal test method of the present invention is a test method of performing a continuous operation test on n (= natural number) elastic contact terminals of a tester. Providing a circuit board provided with n contact pads respectively corresponding to the elastic contact terminals, and providing a potential difference between the n pairs of contact pads and the elastic contact terminals, respectively. It comprises the steps of pressing the elastic contact terminals, and transmitting connection information each time a current due to the potential difference is detected when any contact pad makes contact with the corresponding elastic contact terminal.
【００１６】[0016]
【発明の実施の形態】前記の目的を達成して従来の欠点
を除去するための課題を実行する本発明の実施例の構成
とその作用を添付図面に基づき詳細に説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The structure and operation of an embodiment of the present invention which achieves the above-mentioned object and solves the problems of the prior art will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
【００１７】図２は本発明の実施例の弾性接触端子の試
験装置を示す平面図である。FIG. 2 is a plan view showing an elastic contact terminal testing apparatus according to an embodiment of the present invention.
【００１８】図２によれば、弾性接触端子の試験装置２
は回路基板２１に複数の環状に配列している複数（例え
ばｎ個、ｎ＝自然数）の発光ダイオード２２を有する。
複数のダイオード２１は検出装置として試験結果を表示
するものであって、夫々図１に示す複数（例えば、ｎ
個）の弾性接触端子１１，１２のいずれか一つに対応す
る。According to FIG. 2, a testing device 2 for elastic contact terminals
Has a plurality of (for example, n, n = natural number) light emitting diodes 22 arranged in a plurality of rings on a circuit board 21.
The plurality of diodes 21 are used as a detection device for displaying the test result, and each of the plurality of diodes 21 (for example, n is shown in FIG. 1).
It corresponds to any one of the elastic contact terminals 11 and 12.
【００１９】図３は図１のテスタ１と図２の弾性接触端
子の試験装置２のＡ−Ａ’線に沿う断面を示す図であ
る。FIG. 3 is a view showing a cross section taken along the line AA 'of the tester 1 of FIG. 1 and the elastic contact terminal testing device 2 of FIG.
【００２０】図３に示すように、回路基板２１の背面に
複数の弾性接触端子１１，１２のいずれか一つに対応す
る接触パッド２３が複数（例えば、ｎ個）設けられてい
る。各接触パッド２３（２３１、２３２…）は夫々介在
層の孔（図示してない）を介してその対応な発光ダイオ
ード２２（２２１、２２２…）の陰極（第１の接続ピ
ン）と電気的接続する。また、各発光ダイオード２２
（２２１、２２２…）の陽極同士は互いに配線層（図示
してない）を介して電気的に接続する。As shown in FIG. 3, a plurality of (for example, n) contact pads 23 corresponding to any one of the plurality of elastic contact terminals 11 and 12 are provided on the back surface of the circuit board 21. Each contact pad 23 (23 1, 23 2 ...) of the cathode (first connecting pin) holes of each intermediate layer thereof via a (not shown) corresponding light emitting diode 22 (22 1, 22 2 ...) To be electrically connected to. In addition, each light emitting diode 22
Anodes each other (22 1, 22 2 ...) are electrically connected through each other wiring layer (not shown).
【００２１】図３において、本実施例の試験装置２を用
いて試験を行う場合、先ず、テスタ１の電源１３により
弾性接触端子１１（１１１、１１２…）及び１２（１２
１，１２２…）と発光ダイオード２２（２２１，２２３
…及び２２２，１２４…）との間において夫々―２Ｖの
電圧を提供する、即ち、各弾性接触端子１１，１２を電
源１３の陰極に、各発行ダイオード２２の陽極を電源１
３の陽極に接続する必要がある。In FIG. 3, when a test is conducted using the test apparatus 2 of this embodiment, first, the power source 13 of the tester 1 causes the elastic contact terminals 11 (11 1 , 11 2 ...) And 12 (12).
1, 12 2 ...) and the light emitting diode 22 (22 1, 22 3
... and 22 2 , 12 4 ...) respectively, that is, a voltage of −2 V is provided, that is, each elastic contact terminal 11, 12 is a cathode of the power source 13, and the anode of each emitting diode 22 is a power source 1.
3 need to be connected to the anode.
【００２２】次に、図４に示すように、回路基板２１を
テスタ１の弾性接触端子１１、１２の上方に取り付け、
更に、回路基板２１を、各接触パッド２３（２３１，，
２３ ３…及び２３２，２３４…）を夫々対応な弾性接触
端子１１（１１１、１１２…）及び１２（１２１，１２
２…）に接触させるように、テスタ１の弾性接触端子１
１、１２へ押圧する。これにより、弾性接触端子１１ま
たは１２が接触パッド２３と接触し、電源１３と発光ダ
イオード２２及び弾性接触端子１１または１２による回
路が形成され、電源１３に提供される電圧により該当回
路を流れる電流が生成される。よって、発光ダイオード
２２が発光する。言い換えれば、押圧すると、全ての接
触パッド２３は対応な弾性接触端子１１または１２と接
触し、−２Ｖの電圧による電流の有無の検出がｎ個の発
光ダイオード２２の夫々により行われ、ｎ対の接続パッ
ド２３と弾性接触端子１１または１２における電流が全
て検出されたため、全てのダイオード２２は接続情報を
発信する（発光する）。Next, as shown in FIG.
Installed above the elastic contact terminals 11 and 12 of the tester 1,
Further, the circuit board 21 is connected to the contact pads 23 (231、、
23 Three… And 23Two, 23Four...) corresponding to elastic contact
Terminal 11 (111, 11Two…) And 12 (121, 12
Two...) to contact the elastic contact terminal 1 of the tester 1.
Press to 1 and 12. As a result, the elastic contact terminal 11 or
Or 12 contacts the contact pad 23, and the power source 13 and the light emitting diode
Turning with the ion 22 and the elastic contact terminal 11 or 12
The path is formed and the voltage supplied to the power supply 13 causes
An electric current is generated through the path. Therefore, the light emitting diode
22 emits light. In other words, when pressed, all contacts
The touch pad 23 contacts the corresponding elastic contact terminal 11 or 12.
Touch to detect the presence or absence of current with a voltage of -2V.
Each of the photodiodes 22 is provided with n pairs of connection pads.
The current at terminal 23 and elastic contact terminal 11 or 12
Since all the diodes 22 have detected the connection information,
Send (light up).
【００２３】一方、図５に示すように、テスタ１の弾性
接触端子１１２及び１２４に弾性疲労がある場合、その
高さがその他の弾性接触端子の高さより低くなるため、
弾性接触端子１１２及び１２４において接触不良が発生
する。Meanwhile, as shown in FIG. 5, if the resilient contact terminals 11 2 and 12 4 of the tester 1 has elastic fatigue, since its height is lower than the height of the other resilient contact terminals,
Contact failure occurs in the elastic contact terminals 11 2 and 12 4.
【００２４】図６は弾性接触端子１１２及び１２４に弾
性疲労があるとき試験を行うことを示すものである。図
６に示すように、回路基板２１をテスタ１の弾性接触端
子１１、１２の上方に取り付け、更に回路基板２１を弾
性接触端子１１、１２へ押圧する場合、弾性接触端子１
１２及び１２４の高さが低いため、対応な接触パッド２
３３及び２３８と電気的接触することができない。この
ため、電源１３と発光ダイオード２２３または２２８及
び弾性接触端子１１２または１２４，から電気回路が形
成されることがなく、発光ダイオード２２３または２２
８は発光しない。よって、弾性接触端子１１２と１２４
にて接触不良があると即座に判断することができる。[0024] FIG. 6 shows that for testing when there is a resilient fatigue resilient contact terminals 11 2 and 12 4. As shown in FIG. 6, when the circuit board 21 is mounted above the elastic contact terminals 11 and 12 of the tester 1 and the circuit board 21 is pressed against the elastic contact terminals 11 and 12, the elastic contact terminal 1
Because of the low height of 1 2 and 12 4, the corresponding contact pad 2
3 3 and 23 8 and can not be electrically contacted. Therefore, the power supply 13 and the light emitting diode 22 3, or 22 8 and the resilient contact terminal 11 2 or 12 4, without electric circuit is formed from the light emitting diode 22 3 or 22
8 does not emit light. Therefore, the resilient contact terminals 11 2 and 12 4
It is possible to immediately judge that there is poor contact with.
【００２５】なお、本実施例では、発光ダイオード２２
を利用して−２Ｖ電圧による電流の有無の検出を行うた
め発光ダイオード２２が電源１３と接触パッド２３との
間に並列接続されるとするが、発光ダイオード２２は電
源１３と接触パッド２３及び弾性接触端子１１から電気
回路が形成されるか否かを判断するのに用いられる検出
装置であるため、そのような接続方式に限らずダイオー
ド２２を電源１３と接触パッド２３と弾性接触端子１１
のいずれか両者の間に接続しても良い。In this embodiment, the light emitting diode 22 is used.
It is assumed that the light emitting diode 22 is connected in parallel between the power source 13 and the contact pad 23 in order to detect the presence or absence of a current due to the −2V voltage using the. Since it is a detection device used to determine whether an electric circuit is formed from the contact terminal 11, the diode 22 is not limited to such a connection method, the power source 13, the contact pad 23, and the elastic contact terminal 11 are used.
Either of them may be connected between them.
【００２６】図７は本発明の実施例に関わる弾性接触端
子の試験方法を示すフローチャートである。以下、図７
を用いて本発明の方法を説明する。FIG. 7 is a flow chart showing a method of testing an elastic contact terminal according to the embodiment of the present invention. Below, FIG.
Will be used to explain the method of the present invention.
【００２７】先ず、回路基板を提供する（Ｓ７１）。該
基板には複数（例えば、ｎ個、ｎ＝自然数）の弾性接触
端子と夫々対応する複数（例えば、ｎ個）の接触パッド
があり、各接触パッドは夫々該回路基板のピャ―孔を介
して外部へ伸出する接続ピンを有する。First, a circuit board is provided (S71). The board has a plurality (eg, n pieces) of contact pads corresponding to a plurality (eg, n pieces, n = natural number) of elastic contact terminals, and each contact pad is provided through a via hole of the circuit board. Has a connecting pin that extends to the outside.
【００２８】次に、ｎ対の接続パッドの接続ピンと毎弾
性接触端子との間において夫々電位差を提供する（Ｓ７
２）。Next, a potential difference is provided between the connection pins of the n pairs of connection pads and each elastic contact terminal (S7).
2).
【００２９】次に、各接触パッドを夫々対応な弾性接触
端子と接触させるように回路基板を弾性接触端子へ押圧
する（Ｓ７３）。このとき、正常な弾性接触端子が接触
パッドと接触し回路が形成されるが、破損の男性端子が
接触パッドと接触することができない。Next, the circuit board is pressed against the elastic contact terminals so that each contact pad is brought into contact with the corresponding elastic contact terminal (S73). At this time, a normal elastic contact terminal makes contact with the contact pad to form a circuit, but the damaged male terminal cannot make contact with the contact pad.
【００３０】最後、ｎ個の発光ダイオードを用いて前記
電位差による各電流（一対の接続端子と弾性接触端子と
の間を流れる電流）の有無を夫々検出する（Ｓ７４）。
この際、正常な弾性接触端子の場合、該当接触パッドが
その対応な弾性接触端子と接触し該当電流が生成され、
対応な発光ダイオードが発光する（接続情報を発信す
る）ようになるが、破損の弾性接触端子の場合、該当接
触パッドがその対応な弾性接触端子と接触しないため電
流が生成することがなく、発行ダイオードが発光しな
い。Finally, the presence or absence of each current (current flowing between the pair of connection terminals and the elastic contact terminals) due to the potential difference is detected using n light emitting diodes (S74).
At this time, in the case of a normal elastic contact terminal, the corresponding contact pad makes contact with the corresponding elastic contact terminal to generate a corresponding current,
The corresponding light emitting diode emits light (transmits the connection information), but in the case of a damaged elastic contact terminal, the corresponding contact pad does not make contact with the corresponding elastic contact terminal and no current is generated. The diode does not emit light.
【００３１】本発明は前記実施例の如く提示されている
が、これは本発明を限定するものではなく、当業者は本
発明の要旨と範囲内において変形と修正をすることがで
きる。従って、本発明の権利範囲は特許請求の範囲に準
じるものである。Although the present invention has been presented as the above embodiment, this is not intended to limit the present invention, and those skilled in the art can make variations and modifications within the spirit and scope of the present invention. Therefore, the scope of rights of the present invention shall be subject to the claims.
【００３２】[0032]
【発明の効果】前記の通り、本発明は、発光ダイオード
を用いる回路基板を利用するものであり、弾性接触端子
の連続動作試験に際して、前記回路基板を各弾性接触端
子へ押圧すると、正常な弾性接触端子が回路基板と接触
し回路が形成されるため該当検出装置が接続情報を発信
するが、破損の弾性端子が回路基板と接触しないため該
当検出装置が発信しない。従って、簡単に各弾性接触端
子の連続動作性質を知ることができる。As described above, according to the present invention, a circuit board using a light emitting diode is used. When the circuit board is pressed against each elastic contact terminal in the continuous operation test of the elastic contact terminal, the normal elastic property is obtained. Since the contact terminals come into contact with the circuit board to form a circuit, the corresponding detection device transmits connection information, but since the damaged elastic terminal does not contact the circuit board, the detection device does not transmit. Therefore, the continuous operation property of each elastic contact terminal can be easily known.
【００３３】本発明の弾性接触端子の試験装置および方
法を利用する場合、ウェハーやブローブカード、テスト
へットを用いることがなく、且つ、カーボンによる汚染
の問題が解消される。When using the elastic contact terminal testing apparatus and method of the present invention, no wafer, probe card, or test head is used, and the problem of carbon contamination is solved.
【図１】半導体テスタの弾性接触端子を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing elastic contact terminals of a semiconductor tester.
【図２】本発明の実施例に関わる弾性接触端子の試験装
置を示す平面図である。FIG. 2 is a plan view showing an elastic contact terminal testing device according to an embodiment of the present invention.
【図３】図２に示す試験装置の使用状態（破損の弾性接
触端子が無し、基板押圧前）を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing a usage state of the test apparatus shown in FIG. 2 (without a damaged elastic contact terminal, before pressing a substrate).
【図４】図２に示す試験装置の使用状態（破損の弾性接
触端子が無し、基板押圧後）を示す断面図である。4 is a cross-sectional view showing a usage state of the test apparatus shown in FIG. 2 (without a damaged elastic contact terminal, after pressing the substrate).
【図５】図２に示す試験装置の使用状態（破損の弾性接
触端子が有り、基板押圧前）を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing a usage state of the test apparatus shown in FIG. 2 (there are damaged elastic contact terminals, before pressing the substrate).
【図６】図２に示す試験装置の使用状態（破損の弾性接
触端子が有り、基板押圧後）を示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view showing a usage state of the test apparatus shown in FIG. 2 (with a damaged elastic contact terminal and after pressing the substrate).
【図７】本発明の実施例に関わる弾性接触端子の試験方
法を示すフローチャートである。FIG. 7 is a flowchart showing a method for testing an elastic contact terminal according to an embodiment of the present invention.
１ 半導体テスタ ２ 弾性接触端子の試験装置 １１、１２ 弾性接触端子 １３ 電源 ２１ 回路基板 ２２ 発光ダイオード ２３ 接触パッド 1 Semiconductor tester 2 Testing device for elastic contact terminals 11, 12 Elastic contact terminal 13 power supply 21 circuit board 22 Light emitting diode 23 Contact pad
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平８−153726（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01R 35/00 G01R 1/06 - 1/073 G01R 31/28 - 31/3193 Continuation of front page (56) Reference JP-A-8-153726 (JP, A) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) G01R 35/00 G01R 1/06-1/073 G01R 31 / 28-31/3193
Claims (12)
子に対し連続動作試験を施すための試験装置において、
ｎ個の弾性接触端子と夫々対応するｎ個の接触パッドを
設けた回路基板と、ｎ対の接触パッドと弾性接触端子と
の間において夫々電位差を提供する電源と、ｎ対の接続
パッドと弾性接触端子に夫々対応して設けられるｎ個の
検出装置とからなり、 各接触パッドを夫々対応な弾性接触端子と接触させるよ
うに前記回路基板を各弾性接触端子へ押圧する場合、ｎ
対の接続パッドと弾性接触端子の夫々について電位差に
よる電流の有無の検出がｎ個の検出装置の夫々により行
われ、何れの該当電流が検出されたら該当検出装置は接
続情報を発信することを特徴とする弾性接触端子の試験
装置。1. A test apparatus for performing a continuous operation test on n (= natural number) elastic contact terminals of a tester,
A circuit board having n contact pads respectively corresponding to the n elastic contact terminals, a power supply for providing a potential difference between the n pairs of contact pads and the elastic contact terminals, and n pairs of connection pads and elastic N detecting devices provided corresponding to the contact terminals, respectively, when pressing the circuit board against each elastic contact terminal so as to bring each contact pad into contact with the corresponding elastic contact terminal, n
The detection of the presence or absence of a current due to the potential difference between each of the pair of connection pads and the elastic contact terminals is performed by each of the n detection devices, and when any of the corresponding currents is detected, the detection device transmits the connection information. Testing equipment for elastic contact terminals.
と電源との間に接続されることを特徴とする請求項１に
記載の弾性接触端子の試験装置。2. The elastic contact terminal testing device according to claim 1, wherein each of the n detecting devices is connected between the corresponding contact pad and the power source.
からなり、該当接触パッドが該当弾性接触端子と接触す
ると、前記電流により該当発光ダイオードが前記接続情
報の発信として発光をすることを特徴とする請求項１ま
たは２に記載の弾性接触端子の試験装置。3. Each of the n detecting devices comprises a light emitting diode, and when the corresponding contact pad contacts the corresponding elastic contact terminal, the corresponding light emitting diode emits light as the transmission of the connection information by the current. The elastic contact terminal testing device according to claim 1 or 2.
を特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか一項に記載
の弾性接触端子の試験装置。4. The elastic contact terminal testing device according to claim 1, wherein the power source is provided in the tester.
けられることを特徴とする請求項１に記載の弾性接触端
子の試験装置。5. The testing device for elastic contact terminals according to claim 1, wherein n detecting devices are mounted on the circuit board.
対応するｎ個のピャ―孔が形成され、ｎ個の接触パッド
とｎ個の検出装置は夫々前記回路基板の両側に取り付け
られ、ｎ個の検出装置の第１の接続ピンはピャ―孔を介
してｎ個の接触パッドと夫々電気的接続することを特徴
とする請求項５に記載の弾性接触端子の試験装置。6. The circuit board is formed with n contact holes corresponding to n contact pads, and n contact pads and n detection devices are mounted on both sides of the circuit board, respectively. 6. The elastic contact terminal testing device according to claim 5, wherein the first connection pins of the n detection devices are electrically connected to the n contact pads via the peer holes, respectively.
子に対し連続動作試験を施す試験方法において、 ｎ個の弾性接触端子と夫々対応するｎ個の接触パッドを
設けた回路基板を提供する段階と、 ｎ対の接触パッドと弾性接触端子との間において夫々電
位差を提供する段階と、 前記回路基板をｎ個の弾性接触端子へ押圧する段階と、 何れの接触パッドがその対応な弾性接触端子と接触する
場合、前記電位差による電流が検出された都度接続情報
を発信する段階とからなることを特徴とする弾性接触端
子の試験方法。7. A test method for performing a continuous operation test on n (= natural number) elastic contact terminals of a tester, wherein a circuit board provided with n contact pads respectively corresponding to the n elastic contact terminals is provided. The step of providing a potential difference between the n pairs of contact pads and the elastic contact terminals, pressing the circuit board against the n elastic contact terminals, and which contact pad has its corresponding elasticity. A method for testing an elastic contact terminal, comprising the step of transmitting connection information each time a current due to the potential difference is detected when the contact terminal contacts the contact terminal.
続するｎ個の検出装置を用いて該当電流を夫々検出し該
当接続情報を夫々発信することを特徴とする請求項７に
記載の弾性接触端子の試験方法。8. The method according to claim 7, wherein the corresponding currents are respectively detected and the corresponding connection information is transmitted by using n detection devices connected in parallel between the n contact pads and the power supply. Testing method for elastic contact terminals.
からなり、該当接触パッドが該当弾性接触端子と接触す
ると、前記電流により該当発光ダイオードが前記接続情
報の発信として発光をすることを特徴とする請求項８に
記載の弾性接触端子の試験方法。9. Each of the n detecting devices comprises a light emitting diode, and when the corresponding contact pad contacts the corresponding elastic contact terminal, the corresponding light emitting diode emits light as the transmission of the connection information by the current. The method for testing an elastic contact terminal according to claim 8.
付けられることを特徴とする請求項８に記載の弾性接触
端子の試験方法。10. The method of testing an elastic contact terminal according to claim 8, wherein n detectors are mounted on the circuit board.
々対応するｎ個のピャ―孔が形成され、ｎ個の接触パッ
ドとｎ個の検出装置は夫々前記回路基板の両側に取り付
けられ、ｎ個の検出装置の第１の接続ピンはピャ―孔を
介してｎ個の接触パッドと夫々電気的接続することを特
徴とする請求項１０に記載の弾性接触端子の試験方法。11. The circuit board is formed with n number of contact holes and n number of hole holes respectively corresponding to the n number of contact pads, and the n number of contact pads and the number of n detectors are mounted on both sides of the circuit board, respectively. 11. The method of testing an elastic contact terminal according to claim 10, wherein the first connection pins of the n detection devices are electrically connected to the n contact pads through the peer holes, respectively.
れることを特徴とする請求項７乃至１１のうちいずれか
一項に記載の弾性接触端子の試験方法。12. The method for testing an elastic contact terminal according to claim 7, wherein the potential difference is provided by the tester.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001157254A JP3499224B2 (en) | 2001-05-25 | 2001-05-25 | Test apparatus and test method for elastic contact terminals |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001157254A JP3499224B2 (en) | 2001-05-25 | 2001-05-25 | Test apparatus and test method for elastic contact terminals |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002365355A JP2002365355A (en) | 2002-12-18 |
| JP3499224B2 true JP3499224B2 (en) | 2004-02-23 |
Family
ID=19001147
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001157254A Expired - Fee Related JP3499224B2 (en) | 2001-05-25 | 2001-05-25 | Test apparatus and test method for elastic contact terminals |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3499224B2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103558423B (en) * | 2013-11-21 | 2015-10-28 | 国家电网公司 | For flowing the testing terminal becoming secondary circuit |
| KR101879748B1 (en) * | 2016-07-25 | 2018-08-16 | 한국기계연구원 | Test jig terminal device for traffic signal control and that method |
-
2001
- 2001-05-25 JP JP2001157254A patent/JP3499224B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2002365355A (en) | 2002-12-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5625292A (en) | System for measuring the integrity of an electrical contact | |
| US7479793B2 (en) | Apparatus for testing semiconductor test system and method thereof | |
| JPS63302383A (en) | Circuit testing apparatus | |
| US20110140730A1 (en) | Detection circuitry for detecting bonding conditions on bond pads | |
| JP3499224B2 (en) | Test apparatus and test method for elastic contact terminals | |
| US7982468B2 (en) | Apparatus and method for testing electrical interconnects with switches | |
| CN102998612B (en) | Contactor with multi-pin device contacts | |
| EP0439922B1 (en) | Integrated circuit transfer test device system utilizing lateral transistors | |
| US6541992B2 (en) | Apparatus and method for continuity testing of pogo pins in a probe | |
| JP4277398B2 (en) | Wiring board inspection equipment | |
| JP2004077167A (en) | Method and device for inspecting connection state of semiconductor element | |
| JP2008241681A (en) | Branch type probe and low signal attenuation tester | |
| Glowacki et al. | Characterization of thermoelectric devices in ICs as stimulated by a scanning laser beam | |
| JPH1164428A (en) | Component inspection device | |
| KR100244575B1 (en) | Slot connector contact error detector | |
| JP2002116238A (en) | Ic socket and method for detecting contact failure in the same | |
| CN206930743U (en) | WAT test monitor systems | |
| JP2006261391A (en) | Semiconductor device and its inspection method | |
| KR20060127689A (en) | Probe card and test apparatus including the same | |
| JP3346707B2 (en) | Inspection method for semiconductor integrated circuit device | |
| JP2007123430A (en) | Semiconductor wafer and semiconductor inspecting method | |
| JP2002043721A (en) | Method and device for inspecting printed wiring board | |
| JPH0541419A (en) | Estimation method of test equipment | |
| KR100215110B1 (en) | Wire disconnection testing apparatus for a.c power source | |
| KR20080027592A (en) | Apparatus and method for analyzing emission of semiconductor |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081205 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091205 Year of fee payment: 6 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |