JP3495371B2 - 圧力調整器 - Google Patents

圧力調整器

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JP3495371B2 JP51827494A JP51827494A JP3495371B2 JP 3495371 B2 JP3495371 B2 JP 3495371B2 JP 51827494 A JP51827494 A JP 51827494A JP 51827494 A JP51827494 A JP 51827494A JP 3495371 B2 JP3495371 B2 JP 3495371B2
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Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 本発明は加圧流体装置の技術に関し、より詳しくは、
該加圧流体装置の圧力を調整する装置に関する。
本発明は圧力調整器に適用でき、特に圧力調整器に関
連して説明する。しかしながら、本発明の選択された特
徴は、関連する流体環境での適用及び用途を有すること
が理解されよう。
米国特許第5,033,505号は従来の圧力調整器を開示し
ている。この米国特許に開示された構造は、密封シール
されたハウジング内に配置された圧力応答部材を有し、
該圧力応答部材は、ハウジングに固定された静止部分
と、ベローズ等の可撓性部材を介してハウジングに相互
連結された可動部分とを備えている。圧力応答部材は所
定の圧力チャージに包囲されているため、ハウジング内
の流体圧力に応答して調整部材（例えばポペット）の体
積変化及び軸線方向移動が生じる。これが入口開口のサ
イズを変化させ、これにより下流側の圧力を調整する。
圧力応答部材の可動部分にはセルフスレッディングポ
ペット組立体が固定されている。ポペットは、入口流体
ラインに配置され且つ該入口流体ラインとハウジングと
の相互連結部に形成された弁座と協働するのが好まし
い。ポペットは、好ましくはポペットステムとの螺合時
にタッピングされる適当なシール部材からなる。この構
成により、ポペットと弁座との間に制御された正確な開
度が形成されるため、設計パラメータに従って圧力調整
器の所望の作動特性が得られる。
米国特許第5,033,505号の開示のように、ポペット組
立体は、ステムクリップにより圧力応答部材に固定され
ている。ステムクリップは、上記米国特許で説明された
理由から一連の曲げ部を備えている。産業界の特定要望
に充分対処できるけれども、より安価に製造でき且つ他
の基準を満たすことができる別の構造を提供することが
望まれている。例えば、従来技術の構造で詳細に説明さ
れた曲げは、ステムクリップの製造コストを増大させ
る。また、クリップの曲げ形状は、高度に研摩された表
面仕上げを得るのに適していない。これらの形式の調整
器を使用する或る流体装置は厳格な清浄度規格を有する
ので、調整器の各機械の部品の表面仕上げは非常に重要
である。
また、米国特許第5,033,505号に詳細に説明されてい
るように、既知の圧力調整器は高流量時に振動する傾向
がある。実際、振動により可聴バズを発生することがあ
り、また振動により調整器の下流側の流体装置に圧力変
動が生じる。米国特許第5,033,505号は、圧力応答部材
の可動部材と静止部分との間に介在されるＯリングのよ
うな減衰手段の使用を提案している。減衰手段は可動部
分の軸線方向移動時に僅かな抵抗（ドラッグ）を与え、
これが、高流量時に遭遇する振動問題の対処に非常に有
効であることが実証されている。
この構造の本来的な欠点は、低流量時における減衰手
段の効果である。より詳しくは、Ｏリングとこの関連表
面との間の摩擦によって、低流量時に圧力応答部材の感
度が制限されることである。本来的に、高流量時に関連
する振動問題を解決することを意図した減衰手段を組み
込んだ圧力応答部材では、微小な圧力変動には有効に対
処できない。従って、高流量時での振動減衰の特徴を維
持すること並びに低流量時での感度の問題に対処するこ
とが望ましいと考えられている。
米国特許第5,033,505号の他の長所は、チャージが失
われた場合に、圧力応答部材を閉鎖位置に移動させる手
段が設けられていることである。例えば、ベローズに漏
洩が生じて圧力チャージが解放されるような事態が生じ
ると、ポペットが弁座をシールして、下流側の機器を高
圧から遮断する。このベローズの構造は、このような状
況下での能力を低下させる傾向があり、このため、圧力
応答部材（より詳しくはポペット）が弁座と共に遮断位
置すなわち閉鎖位置に移動する。このベローズ構造の不
充分な性質により、ベローズがその内部チャージを失っ
た場合に、ポペットを閉鎖位置に偏倚する確実な作用を
与えるのが望ましいと考えられている。
多くのプロセス装置では、所定の設定圧力チャージが
望まれ、調整器全体が外部環境から密封シールされる。
しかしながら、他のプロセス構造は、圧力調整器を調節
でき且つ手動又は自動化された外部制御ができる必要が
る。よくあることであるが、圧力調整器が一般的にアク
セスできない領域又は近づくことが困難な領域に取り付
けられている場合には、調整器の調節又は交換が必要に
なった場合に一層困難になる。従って、調節可能（好ま
しくは遠隔位置から調節可能）な圧力調整器組立体を提
供する必要がある。
発明の要約 本発明は、上記全ての問題及び他の問題を解決でき且
つ上記列挙した特徴を満たすことができ、流体圧力の有
効な調整が行なえる新規で改善された圧力調整器を考え
ている。
本発明のより制限された特徴によれば、圧力調整器
は、チャンバと、該チャンバに連通する入口及び出口と
を備えたハウジングを有している。圧力応答部材が、入
口と出口との間の流体の流れを調整する。圧力応答部材
は、該圧力応答部材の移動容易性を制御する可変減衰手
段を有している。
本発明の他の特徴によれば、安価に製造でき且つ高度
の研摩が可能な、通常は全体として平らな形状を有す
る。保持手段の撓み部分は、必要な場合に、ポペットと
圧力応答部材との間の相対移動ができるように長く形成
されている。
本発明の更に別の特徴によれば、ポペットを閉鎖位置
に向かって偏倚させる手段が調整器に組み込まれてい
る。
本発明の他の特徴は、調整器を、特に遠隔位置から調
節できることである。
本発明の新規な圧力調整器の主要な長所は、高流量時
に関連する振動の問題に対処できると同時に、低流量時
の調整器の感度を変化できることである。
他の長所は、ポペット保持手段に関連する優れた表面
仕上げの製造コストを低減できることである。
更に別の長所は、変更態様の調整器が、流体装置に装
着後に調整器をチャージできることである。
更に別の長所は、下流側圧力をモニタリングして、一
定の供給圧力を達成するための圧力チャージに必要な調
節を行なうことである。
本発明の他の特徴及び長所は、以下の詳細な説明を読
み且つ理解することにより当業者に明らかになるであろ
う。
図面の簡単な説明 本発明は、或る部品及び部品の構造の物理的形態をと
り、その好ましい実施例を本願明細書において詳細に説
明し且つ本願明細書の一部を構成する添付図面に示す。
第１図は、本発明の新規な圧力調整器が開放位置にあ
るところを示す縦断面図である。
第２図は、第１図の圧力調整器が閉鎖位置にあるとこ
ろを示す縦断面図である。
第３図は、第１図の圧力調整器が閉鎖位置にあり、ポ
ペットに加えられる引抜き力を制限するためポペット保
持部材が伸長された状態にあるところを示す縦断面図で
ある。
第４図は、第１図の４−４線に沿う方向から見た図面
である。
第５図は、圧力応答部材に加えられる減衰力を変える
ための好ましい組立体を示す拡大詳細図である。
第６図は、変更された圧力調整器を示す縦断面図であ
る。
第７図は、第６図と同様な圧力調整器の縦断面図であ
り、プロセス圧力を制御する別の構造を示すものであ
る。
好ましい実施例の詳細な説明 本発明の好ましい実施例を示すことのみを目的とし、
本発明を制限することを目的とするものではない図面を
参照すると、流体装置に組み込まれ、高圧流体源（図示
せず）のような上流側位置からの圧力を、下流側用途
（図示せず）のため低圧に減少させる圧力調整器Ａが示
されている。
特に第１図を参照すると、図示の圧力調整器Ａは、協
働部分12、14から形成されたハウジング10を有する。ハ
ウジング部分12、14は上流側半部及び下流側半部として
示されているけれども、本発明の範囲及び意図の範囲内
で他の構造を使用することもできる。好ましくは、ハウ
ジング部分は、密封シールの態様で一体に固定される。
例えば、ハウジング部分は、番号16で示す係合縁部に沿
って一体に溶接することもできる。図示の実施例では、
ハウジングは、加圧流体をハウジングに供給するための
上流側流体ライン（図示せず）と連通する入口20を有す
る。本発明の調整器のために意図する環境は、例えば3,
000p.s.i.以上の高圧に曝される環境であり且つ超清浄
環境を必要とするマイクロエレクトロニクス産業に特定
用途を見出しているけれども、入口20なすわちハウジン
グと流体ラインとを相互連結するのに任意の慣用的な構
造を使用できる。従って、流体カップリングは、流体装
置の条件を満たすものでなくてはならない。調整器の選
択された態様は、幾分厳格な条件を有する他の関連環境
にも使用できることが理解されよう。同様に、ハウジン
グの第２部分14には出口22が形成されており、該出口22
は下流側流体ライン（図示せず）と連通する。
ハウジングはキャビティすなわちチャンバ24を有し、
該チャンバ24は、入口及び出口により表される流体ライ
ンの断面寸法に対し半径方向にかなり拡大されている。
チャンバ24内には圧力応答部材30の少なくとも一部が固
定されており、ハウジングに固定される静止部分32と、
該静止部分32と作動的に関連する可動部分34とからな
る。周方向に間隔を隔てた脚36が静止部分の周囲から半
径方向外方に延びており且つハウジングの連続溝40内に
受け入れられている。これにより、ハウジング部分をこ
れらの係合縁部に沿って一体に溶接するとき、該溶接に
より静止部分も同時に固定関係に固定される。第４図に
最も良く示すように、脚36は、流体が該脚36を通って入
口から出口に連通できるように制限された周方向寸法を
有する。
再び第１図を参照すると、圧力応答部材の静止部分32
及び可動部分34は、ベローズ42のような可撓性部材によ
り一体に連結されている。ベローズの好ましい一形態
は、半径方向内方領域及び外方領域が交互に固定されて
アコーディオンのような構造を形成する一連の環状部材
すなわちダイアフラムからなる。次に、ベローズの両端
部が、圧力応答部材の静止部分及び可動部分にそれぞれ
固定される。このようなベローズ構造は、完全圧縮状態
（第３図）で比較的小さな重なり高さを有する。
好ましくは、圧力応答部材の静止部分及び可動部分の
中央部も互いに協働し、チャンバ内の変動圧力に応答し
て入口20に向かう（及び入口20から離れる）方向への可
動部分34の軸線方向移動を制御する。第１図〜第３図に
示すように、静止部分32には、該静止部分32から入口に
向かう方向（図面で見て左方）に延びた軸線方向部材44
が固定されている。この軸線方向部材44は、後述する多
くの目的を果たす。可動部分34の中央領域から出口22に
向かって延びたスリーブ部分46が軸線方向部材を包囲し
ている。
圧力応答部材の可動部分34には、ポペット組立体60が
固定されている。より詳しくは、ポペット組立体はステ
ム62を有し、該ステム62の第１端部には拡大ベース64が
形成されている。ベースは圧力応答部材に隣接して取り
付けられ、一方、ステム62は入口20に向かって軸線方向
に延びている。実際、好ましい構造によれば、ステム62
は、チャンバ24から調整器の入口20内へと外方に延びて
いる。ステムの第２端部すなわち外端部66は、ポペット
を形成する弾性部材68内にねじ込まれている。ポペット
は、ポペットがステム上に螺合するセルフタッピングと
し、組立て時に、所定の選択されたねじ込み回転数によ
りポペットが弁座70から離れて正確な開度が形成される
ようにするのが好ましい。
前述のように、高流量に関連して、圧力応答部材の好
ましくない振動がしばしば生じる。振動に関連する問題
を解決するため減衰手段80が設けられている。より詳し
くは、減衰手段の好ましい構造は、圧力応答部材の軸線
方向部材44とスリーブ部分46との間に介在されたＯリン
グ82のようなエラストマ部材すなわち弾性部材を有す
る。図示のように、Ｏリング82は、保持部材84により軸
線方向及び半径方向に拘束される。Ｏリングの内径部分
は保持部材から延びており且つ軸線方向部材44の外面と
係合するようになっているけれども、保持部材は、Ｏリ
ングを実質的に包囲すべく全体としてＵ形の断面形状を
有する。軸線方向部材とＯリングとの間の係合は、圧力
応答部材の可動部分34に抵抗（ドラッグ）すなわち減衰
力を付与する。
すなわち、圧力応答部材の内部キャビティ90は所定の
圧力チャージを有している。可動部分34は、キャビティ
90とチャンバ24内の流体圧力との間の圧力差に応答して
軸線方向に移動する。可撓性のあるベローズ42はこの相
対移動を可能にする。また、理解されようが、ポペット
部材は弁座70との相対関係を変化させ、入口と出口との
間の流体の流れを調整する。かくして、チャンバ24内の
圧力に応答する部材30の膨張及び収縮は、Ｏリングによ
り付与される摩擦抵抗により減衰される。
減衰手段は、抵抗すなわち減衰力を変化させる手段を
有する。より詳しくは、変化手段の好ましい一形態は、
Ｏリング82と協働する異直径の個別領域を備えた軸線方
向部材44の外面を設けることである。第５図に最も良く
示すように、小径領域92がテーパ状領域96を介して大径
領域94に連結されている。かくして、Ｏリングが大径領
域94の周囲の軸線方向位置に配置されるときには大きな
摩擦が生じ、従って、圧力応答部材の可動部分に大きな
減衰力が付与される。これにより、調整器は、高流量に
関連する振動を補償できる。これに対し、ポペット組立
体がその閉鎖位置に向かって移動すると、Ｏリングはテ
ーパ状領域96又は小径領域92と係合し、Ｏリングとこれ
らの領域96、92に沿う軸線方向部材44との間の摩擦は小
さくなる。これにより、ポペット構造に小さな抵抗が付
与される。従って、遮断位置すなわち閉鎖位置に隣接す
るポペットの位置に関連する非常に低い流量時には、圧
力応答部材の可動部分はより自由に移動できる。換言す
れば、圧力調整器は微小変化に応答できるということで
ある。この構造は、高流量時の振動に関連する問題に対
処しながら、非常に低い流量時の感度を高める。
第１図〜第３図、更に第４図を参照すると、ポペット
組立体を圧力応答部材上に保持する手段がより詳細に示
されている。保持手段100の断面図（第１図及び第２
図）は、該保持手段100が通常の非付勢状態にある平ら
な形状を最も良く示す。後で詳述するように、平らな形
状にすることによって、従来の構造と比較して、保持手
段の製造コストを低減できる。
保持手段は、第４図に示すように曲りくねった形状を
有し、その長い可撓性アーム102、104の最内端部106が
調整器の可動部分34に固定されている。好ましくは、ア
ームは、その最内端部106が可動部分の表面にスポット
溶接される。第４図から明らかなように保持手段は対称
的な形状を有し、従って、一方のアームについての説明
は他方のアームに等しく適用される。上記のように、ア
ーム102はその内端部106が固定され、ここから全体とし
て弧状すなわち周方向の経路108に沿って続いている。
次に、アームは、逆湾曲部110で180゜方向を変え、全体
として周方向の第２経路112を形成する半径方向外方位
置に沿って続く。第２の周方向経路は、固定端部を通過
し、次にステム62に向かって半径方向に続く。
正方形状の開口114にはステムが通されている。正方
形状の開口は、ポペット部材のベース64を軸線方向に保
持できるけれども、ポペットが弁座に対して自動調心で
きるようにステムが所定量の半径方向移動を行い得るサ
イズを有している。更に、この構造はベース部材の構造
と協働してポペットステムの回転を防止し、セルフスレ
ッディングポペットを回転してステムの外端部上で前進
できるようにしている。
通常は平らな保持手段が好ましい理由は、その製造コ
ストが安いからである。この保持手段は、曲げ加工が不
要であり且つ平らな素材から容易に製造できる。この構
造の他の重要な長所は、その平坦形状のため、押出しホ
ーニングにより表面仕上げし、マイクロフィニッシュで
きることである。これは、例えば、不純物に関連する問
題に対処する高度研摩表面に大きな関心をもつマイクロ
エレクトロニクス産業において極めて重要である。一
方、曲がりくねった形状は、保持手段を容易に撓ませる
ことができる。この撓み作用は、第２図と第３図との比
較により最も良く示すように、ステム上にポペットを保
持する上で重要である。過大圧力状態（第３図）では、
ベローズが完全に圧縮され（すなわち、その重なり高さ
に近づき）、剛性のある保持手段は可動部分34に対して
ポペットステムを確実に保持し且つポペット及びステム
に引張り力を付与する。上記のように、保持手段に長い
可撓性アームを設けることにより、ポペットは、弁座に
対して同じ座合力を全体的に維持し且つこの構造の必要
な撓みすなわち軸線方向の伸びがアーム102、104により
与えられる。
ベローズが平坦化されてその重なり高さに近づくと、
ベローズは、その構造により、ばね定数（spring rat
e）が非常に大きくなる。上記のように、可撓性保持手
段は、高圧状態すなわち過大圧力状態時に、ポペット組
立体を破壊することなくベローズを圧縮すなわち平坦化
できる。
また、圧力応答部材の可動部分及び静止部分は、過大
圧力状態時にベローズを保護する手段を有している。こ
の保護手段は、それぞれ静止部分及び可動部分から対面
関係をなして突出する協働フランジ116、118からなる。
過大圧力状態時にベローズが平坦化されるとき、ベロー
ズ構造からなる最初のダイアフラム及び最後のダイアフ
ラムはフランジ116、118により支持される。例えば、大
きな粒子の存在によりポペットがシールしない場合又は
調整器の下流側に高圧が加えられる場合には、圧力調整
器が高圧に曝されることがある。いかなる場合でも、フ
ランジは、ベローズが平坦化され且つその重なり高さに
近づくときに、ベローズが損傷を受けないように保護す
る。
キャビティ90がその加圧されたチャージを失うことが
あると、圧力応答部材は一般に閉鎖位置に移動する。調
整器にはばね120のような付勢手段が組み込まれてお
り、該手段はベローズ組立体のばね作用に抗する働きを
し且つチャージが失われたときにポペットが閉鎖位置に
移動できるようにする。図示のように、ばねの第１端部
122は、軸線方向部材44の肩部と協働する。ばねの第２
端部126は保持部材84に当接しており、保持部材84の反
対側端部はスリーブ部分46のスナップリング128により
拘束されている。従って、ばねの付勢力により可動部分
34が右方すなわち出口方向に付勢され、これによりポペ
ットを弁座及び遮断位置に向かって前進させる。もちろ
ん、本発明の精神及び範囲内で他の付勢構造を使用でき
る。
また、ばね120は、閉鎖位置に向かう非常に小さな付
勢力を付与することにより、ベローズのばね作用とバラ
ンスする（すなわち打ち消す）。これにより、比較的大
きなばね定数による影響を受けることなく、調整器を敏
感にすなわち僅かな圧力変動に対して応答できるように
する。
ここで、第６図及び第７図の実施例を参照すると、ダ
ッシュ（′）を付した番号はダッシュを付さない番号の
構成要素と同様な構成要素を示し、新しい番号は新しい
構成要素を示す。ハウジング10′は、このハウジング部
分12′が入口20′及び出口22′の両方を備えている点で
僅かに変更されている。入口及び出口は、それぞれ上流
側構成部品及び下流側構成部品と連通し、これらの詳細
は本発明のいかなる部分をも構成しない。
第１図〜第５図の圧力調整器に関して説明した第２ハ
ウジング部分は省略されており、且つ圧力応答部材をハ
ウジングに相互連結する脚も省略されている。この代わ
り、脚は周方向に連続したフランジ130に置換され、該
フランジ130はハウジング部分12′に溶接されるか又は
密封シールされる。圧力応答部材は前述の構造及び機能
と実質的に同じである。キャビティ90′は圧力応答部材
の作動パラメータを形成する圧力チャージを収容してい
るけれども、付加的な特徴はない。例えば、調整器を流
体装置に固定した後にキャビティ90′を圧力チャージす
ることが望まれることがある。これは、第１図〜第５図
に示した構造では密封シールされたハウジングのために
困難である。しかしながら、第６図及び第７図の実施例
では、軸線方向部材44′が、キャビティ90′へのアクセ
スを与える開口134を覆うキャップ部材132を受け入れて
いる。調整器が流体装置に固定された後に、キャップ部
材132を取り外し、流体圧力源（図示せず）を使用して
キャビティを加圧することができる。次に圧力源を取り
外し且つキャップ部材で開口134をシールすれば、調整
器を前述のように作動させることができる。
第７図に示すように、キャップ部材を除去して、キャ
ビティを別の流体圧力供給源に選択的に連結できるよう
に構成すれば、圧力調整器から離れた位置から作動パラ
メータを便利に調節することができる。開口にはニップ
ル140が設けられる。ニップルは、別々のプロセス圧力
制御装置が別々に使用されている遠隔場所に通じる流体
ライン142を受け入れる。例えば、流体ラインは、ほぼ
一定圧力の供給源150に連結できる。供給源すなわち外
部源150は、流体装置の圧力調整器の作動に必要なもの
とすることができる。
別の例は、調節可能なベローズ組立体で表される可変
外部源160を設けることである。この閉鎖装置は、流体
ライン142の遠隔端部と流体連通したベローズ162を有し
ている。ベローズの体積は、ベローズを収容しているハ
ウジング166に螺合した調節ノブ164を介して所望に応じ
て選択的に変えられる。ノブの軸線方向位置を変えるこ
とにより、ベローズ162の体積を変えることができ、従
ってキャビティ90′内の圧力を変えることができる。も
ちろん、閉鎖装置を使用した他の可変外部源を使用して
も同じ成果を収めることができる。
更に別の例は、外部源（図示せず）からの流体を制御
するための安価な調整器170を流体ライン142に使用する
ことである。調整器170は、固定圧力調整器にするか、
キャビティ90′内の圧力を制御したい場合には可変圧力
調整器にすることができる。
キャビティ90′の圧力を制御する更に別の例は、マイ
クロプロセッサ制御形構造180である。第７図に示すよ
うに、外部圧力源（図示せず）に通じる流体ライン142
には、マイクロプロセッサ制御形圧力モジュール182が
組み込まれる。圧力モジュールは、調整器Ａ′の下流側
に配置された圧力変換器184に関連して作動する。圧力
変換器184は、流体装置の実際の出口圧力に関する情報
を圧力モジュールに与える。マイクロプロセッサは、こ
の情報を使用し、モジュール182を介してキャビティ9
0′内の圧力を調節する。このようにして、高流量、温
度又は変動する入口圧力（これらの全ては、モニタリン
グされ且つモジュール182に搬送される他のパラメータ
の代表的な例である）の効果を補償すべく、調整器の作
動を調節することができる。
また、マイクロプロセッサ制御形構造は、入口圧力、
及び同様に、供給シリンダが空になるときの入口流体供
給源のモニタリングに使用できる。米国特許第5,238,01
6号又は公開国際特許出願WO 87/04765に開示されている
ように、マイクロプロセッサに記憶された情報は、調整
器の下流側圧力又は出口圧力をモニタリングすることに
より、プロセス入口圧力を決定することができる。入口
圧力が大きくなる程、ポペットを開くのに要する力は大
きくなる。換言すれば、入口圧力が低下するとき（すな
わち、供給シリンダが空になるとき）、一定の出口圧力
を維持するのに要するキャビティ90′内の圧力条件も低
下する。従って、下流側（変換器184）を一定圧力に維
持すべくキャビティ90′に供給される圧力変動をモニタ
リングすることにより、マイクロプロセッサは、この情
報を使用して入口圧力従って供給体積を計算又は決定す
ることができる。
以上、本発明を好ましい実施例に関連して説明した。
本願明細書を読み且つ理解することにより、当業者には
種々の変更が明らかであろう。例えば、ポペット保持手
段は、実質的に同じ機能を果たす他の構造を採用するこ
とができる。減衰力変化手段は、テーパ及び異直径部分
を圧力応答部材の可動部分に設けた逆の構成の組立体と
することができる。これらの全ての変更等が請求の範囲
内に包含されるか、請求の範囲の記載の均等物である限
り、これらの全ての変更は本発明に含まれるものであ
る。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G05D 16/00 - 16/20

Claims (12)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】内部にチャンバが形成されたハウジング
    と、チャンバと連通するための入口及び出口と、入口と
    出口との間に介在された、入口と出口との間の流体連通
    を調整するための圧力応答部材とを有し、該圧力応答部
    材の第１部分がハウジングに対して固定され、圧力応答
    部材の第２部分が流体圧力に応答してチャンバに対して
    移動でき、圧力応答部材が、遮断位置に隣接してはより
    自由に移動でき、全開位置に隣接しては移動範囲が減衰
    されるように、異なる位置において圧力応答部材の移動
    自由度を変化させるための手段を備え、該変化手段は、
    第１部分と第２部分との間に介在され且つ第１部分と第
    ２部分との間の相対移動に減衰力を付与する弾性部材
    と、該弾性部材と協働して減衰力を変化させるテーパ表
    面とを備えていることを特徴とする圧力調整器。
  2. 【請求項２】前記テーパ状表面が、圧力応答部材の第１
    部分に設けられていることを特徴とする請求の範囲第１
    項に記載の圧力調整器。
  3. 【請求項３】前記弾性部材が環状であり、テーパ状表面
    が弾性部材内に受け入れられ、テーパ状領域の大径部が
    全開位置と関連され、テーパ状領域の小径部が遮断位置
    と関連されていることを特徴とする請求の範囲第１項に
    記載の圧力調整器。
  4. 【請求項４】前記変化手段が、圧力応答部材の可変移動
    自由度を与えるべく第１部分及び第２部分の一方と作動
    的に関連する弾性部材を備えていることを特徴とする請
    求の範囲第１項に記載の圧力調整器。
  5. 【請求項５】前記圧力応答部材を遮断位置に付勢させる
    ための手段を更に有することを特徴とする請求の範囲第
    １項に記載の圧力調整器。
  6. 【請求項６】前記加圧された体積が、ハウジングから離
    れた位置に配置され且つ流体ラインによりハウジングに
    連結されていることを特徴とする請求の範囲第１項に記
    載の圧力調整器組立体。
  7. 【請求項７】前記加圧された体積が膨張可能なチャンバ
    からなり、その体積は外部調節機構により変えられるこ
    とを特徴とする請求の範囲第１項に記載の圧力調整器組
    立体。
  8. 【請求項８】前記加圧された体積が、流体ラインを介し
    てハウジングに作動的に連結されたベローズからなるこ
    とを特徴とする請求の範囲第１項に記載の圧力調整器組
    立体。
  9. 【請求項９】前記変化手段が、ベローズの壁と係合し且
    つ加圧された体積内の圧力を変化させるべく選択的にベ
    ローズ内に進入又はベローズから後退される部材を備え
    ていることを特徴とする請求の範囲第４項に記載の圧力
    調整器組立体。
  10. 【請求項１０】前記加圧された体積が、ハウジングに対
    して離れた位置に配置され且つ流体ラインによりハウジ
    ングに作動的に相互連結された第２圧力調整器を備えて
    いることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の圧力調
    整器組立体。
  11. 【請求項１１】前記加圧された体積が、流れ調整手段の
    作動に関する情報を受け且つ該情報に応答して加圧され
    た体積内の圧力を変化させるマイクロプロセッサ制御モ
    ジュールを備えていることを特徴とする請求の範囲第１
    項に記載の圧力調整器組立体。
  12. 【請求項１２】内部にチャンバが形成されたハウジング
    と、チャンバと連通するための入口及び出口と、入口と
    出口との間に介在された、入口と出口との間の流体連通
    を調整するための圧力応答部材とを有し、該圧力応答部
    材が第１可動部分及び第２静止部分を備え、圧力応答部
    材が更に、遮断位置に隣接してはより自由に移動でき、
    全開位置に隣接しては移動範囲が減衰されるように、異
    なる位置において圧力応答部材の移動自由度を変化させ
    るための手段を備え、該変化手段が、第１部分及び第２
    部分の一方と作動的に関連する弾性部材と、第１部分及
    び第２部分の他方の異直径部分とを備え、該異直径部分
    は弾性部材と係合でき、圧力応答部材の可変移動自由度
    を与えることを特徴とする圧力調整器。
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