JP2004046897A - 圧力調整器 - Google Patents

Abstract

【課題】　圧力応答部材（３０）を受け入れるチャンバを備えたハウジングを有する圧力調整器を提供することである。
【解決手段】　圧力応答部材（３０）は、調整器の可動部分（６８）が圧力差に応答して反応することができる様にする内部チャージ（９０）を有する。調整器の好ましい実施例は、高流量に関連する振動に対処すべく、圧力応答部材（３０）に抵抗を作用するＯリング（８２）により形成される減衰部材を有している。本発明によれば、減衰力を変化させることができる。また、通常は平らなホペット保持部材が調整器の製造コストを低減し且つ硬度に研摩された表面が不純物に関して対処する。調整器には付勢構造（１２０）も組み込まれており、調整器の内部圧力チャージが失われた場合にホペット（６８）が弁座（７０）を確実にシールできるようにしている。
【選択図】　　　図１

Description

　本発明は、加圧流体装置の技術に関し、より詳しくは、該加圧流体装置の圧力を調整する装置に関する。
　本発明は圧力調整器に適用でき、特に圧力調整器に関連して説明する。しかしながら、本発明の選択された特徴は、関連する流体環境での適用及び用途を有することが理解されよう。

　米国特許第5,033,505号は従来の圧力調整器を開示している。この米国特許に開示された構造は、密封シールされたハウジング内に配置された圧力応答部材を有し、該圧力応答部材は、ハウジングに固定された静止部分と、ベローズ等の可撓性部材を介してハウジングに相互連結された可動部分とを備えている。圧力応答部材は所定の圧力チャージに包囲されているため、ハウジング内の流体圧力に応答して調整部材（例えばポペット）の体積変化及び軸線方向移動が生じる。これが入口開口のサイズを変化させ、これにより下流側の圧力を調整する。
　圧力応答部材の可動部分にはセルフスレッディングポペット組立体が固定されている。ポペットは、入口流体ラインに配置され且つ該入口流体ラインとハウジングとの相互連結部に形成された弁座と協働するのが好ましい。ポペットは、好ましくはポペットステムとの螺合時にタッピングされる適当なシール材料からなる。この構成により、ポペットと弁座との間に制御された正確な開度が形成されるため、設計パラメータに従って圧力調整器の所望の作動特性が得られる。
　米国特許第5,033,505号の開示のように、ポペット組立体は、ステムクリップにより圧力応答部材に固定されている。ステムクリップは、上記米国特許で説明された理由から一連の曲げ部を備えている。産業界の特定要望に充分対処できるけれども、より安価に製造でき且つ他の基準を満たすことができる別の構造を提供することが望まれている。例えば、従来技術の構造で詳細に説明された曲げは、ステムクリップの製造コストを増大させる。また、クリップの曲げ形状は、高度に研摩された表面仕上げを得るのに適していない。これらの形式の調整器を使用する或る流体装置は厳格な清浄度規格を有するので、調整器の各構成部品の表面仕上げは非常に重要である。
　また、米国特許第5,033,505号に詳細に説明されているように、既知の圧力調整器は高流量時に振動する傾向がある。実際、振動により可聴バズを発生することがあり、また振動により調整器の下流側の流体装置に圧力変動が生じる。米国特許第5,033,505号は、圧力応答部材の可動部分と静止部分との間に介在されるＯリングのような減衰手段の使用を提案している。減衰手段は可動部分の軸線方向移動時に僅かな抵抗（ドラッグ）を与え、これが、高流量時に遭遇する振動問題の対処に非常に有効であることが実証されている。
この構造の本来的な欠点は、低流量時における減衰手段の効果である。より詳しくは、Ｏリングとこの関連表面との間の摩擦によって、低流量時に圧力応答部材の感度が制限されることである。本来的に、高流量時に関連する振動問題を解決することを意図した減衰手段を組み込んだ圧力応答部材では、微小な圧力変動には有効に対処できない。従って、高流量時での振動減衰の特徴を維持すること並びに低流量時での感度の問題に対処することが望ましいと考えられている。
　米国特許第5,033,505号の他の長所は、チャージが失われた場合に、圧力応答部材を閉鎖位置に移動させる手段が設けられていることである。例えば、ベローズに漏洩が生じて圧力チャージが解放されるような事態が生じると、ポペットが弁座をシールして、下流側の機器を高圧から遮断する。このベローズの構造は、このような状況下での能力を低下させる傾向があり、このため、圧力応答部材（より詳しくはポペット）が弁座と共に遮断位置すなわち閉鎖位置に移動する。このベローズ構造の不充分な性質により、ベローズがその内部チャージを失った場合に、ポペットを閉鎖位置に偏倚する確実な作用を与えるのが望ましいと考えられている。
　多くのプロセス装置では、所定の設定圧力チャージが望まれ、調整器全体が外部環境から密封シールされる。しかしながら、他のプロセス構造は、圧力調整器を調節でき且つ手動又は自動化された外部制御ができる必要がる。よくあることであるが、圧力調整器が一般的にアクセスできない領域又は近づくことが困難な領域に取り付けられている場合には、調整器の調節又は交換が必要になった場合に一層困難になる。従って、調節可能（好ましくは遠隔位置から調節可能）な圧力調整器組立体を提供する必要がある。

　本発明は、上記全ての問題及び他の問題を解決でき且つ上記列挙した特徴を満たすことができ、流体圧力の有効な調整が行なえる新規で改善された圧力調整器を考えている。
　本発明のより制限された特徴によれば、圧力調整器は、チャンバと、該チャンバに連通する入口及び出口とを備えたハウジングを有している。圧力応答部材が、入口と出口との間の流体の流れを調整する。圧力応答部材は、該圧力応答部材の移動容易性を制御する可変減衰手段を有している。
　本発明の他の特徴によれば、安価に製造でき且つ高度の研摩が可能な、通常は全体として平らな形状を有する。保持手段の撓み部分は、必要な場合に、ポペットと圧力応答部材との間の相対移動ができるように長く形成されている。
　本発明の更に別の特徴によれば、ポペットを閉鎖位置に向かって偏倚させる手段が調整器に組み込まれている。
　本発明の他の特徴は、調整器を、特に遠隔位置から調節できることである。
　本発明の新規な圧力調整器の主要な長所は、高流量時に関連する振動の問題に対処できると同時に、低流量時の調整器の感度を変化できることである。
　他の長所は、ポペット保持手段に関連する優れた表面仕上げの製造コストを低減できることである。
　更に別の長所は、変更態様の調整器が、流体装置に装着後に調整器をチャージできることである。
　更に別の長所は、下流側圧力をモニタリングして、一定の供給圧力を達成するための圧力チャージに必要な調節を行なうことである。
　本発明の他の特徴及び長所は、以下の詳細な説明を読み且つ理解することにより当業者に明らかになるであろう。
　本発明は、或る部品及び部品の構造の物理的形態をとり、その好ましい実施例を本願明細書において詳細に説明し且つ本願明細書の一部を構成する添付図面に示す。

　本発明の好ましい実施例を示すことのみを目的とし、本発明を制限することを目的とするものではない図面を参照すると、流体装置に組み込まれ、高圧流体源（図示せず）のような上流側位置からの圧力を、下流側用途（図示せず）のため低圧に減少させる圧力調整器Ａが示されている。

　特に第１図を参照すると、図示の圧力調整器Ａは、協働部分１２、１４から形成されたハウジング１０を有する。ハウジング部分１２、１４は上流側半部及び下流側半部として示されているけれども、本発明の範囲及び意図の範囲内で他の構造を使用することもできる。好ましくは、ハウジング部分は、密封シールの態様で一体に固定される。例えば、ハウジング部分は、番号１６で示す係合縁部に沿って一体に溶接することもできる。図示の実施例では、ハウジングは、加圧流体をハウジングに供給するための上流側流体ライン（図示せず）と連通する入口２０を有する。本発明の調整器のために意図する環境は、例えば3,000p.s.i.以上の高圧に曝される環境であり且つ超清浄環境を必要とするマイクロエレクトロニクス産業に特定用途を見出しているけれども、入口２０すなわちハウジングと流体ラインとを相互連結するのに任意の慣用的な構造を使用できる。従って、流体カップリングは、流体装置の条件を満たすものでなくてはならない。調整器の選択された態様は、幾分厳格な条件を有する他の関連環境にも使用できることが理解されよう。同様に、ハウジングの第２部分１４には出口２２が形成されており、該出口２２は下流側流体ライン（図示せず）と連通する。

　ハウジングはキャビティすなわちチャンバ２４を有し、該チャンバ２４は、入口及び出口により表される流体ラインの断面寸法に対し半径方向にかなり拡大されている。チャンバ２４内には圧力応答部材３０の少なくとも一部が固定されており、ハウジングに固定される静止部分３２と、該静止部分３２と作動的に関連する可動部分３４とからなる。周方向に間隔を隔てた脚３６が静止部分の周囲から半径方向外方に延びており且つハウジングの連続溝４０内に受け入れられている。これにより、ハウジング部分をこれらの係合縁部に沿って一体に溶接するとき、該溶接により静止部分も同時に固定関係に固定される。第４図に最も良く示すように、脚３６は、流体が該脚３６を通って入口から出口に連通できるように制限された周方向寸法を有する。

　再び第１図を参照すると、圧力応答部材の静止部分３２及び可動部分３４は、ベローズ４２のような可撓性部材により一体に連結されている。ベローズの好ましい一形態は、半径方向内方領域及び外方領域が交互に固定されてアコーディオンのような構造を形成する一連の環状部材すなわちダイアフラムからなる。次に、ベローズの両端部が、圧力応答部材の静止部分及び可動部分にそれぞれ固定される。このようなベローズ構造は、完全圧縮状態（第３図）で比較的小さな重なり高さを有する。
好ましくは、圧力応答部材の静止部分及び可動部分の中央部も互いに協働し、チャンバ内の変動圧力に応答して入口２０に向かう（及び入口２０から離れる）
方向への可動部分３４の軸線方向移動を制御する。第１図〜第３図に示すように、静止部分３２には、該静止部分３２から入口に向かう方向（図面で見て左方）
に延びた軸線方向部材４４が固定されている。この軸線方向部材４４は、後述する多くの目的を果たす。可動部分３４の中央領域から出口２２に向かって延びたスリーブ部分４６が軸線方向部材を包囲している。

　圧力応答部材の可動部分３４には、ポペット組立体６０が固定されている。より詳しくは、ポペット組立体はステム６２を有し、該ステム６２の第１端部には拡大ベース６４が形成されている。ベースは圧力応答部材に隣接して取り付けられ、一方、ステム６２は入口２０に向かって軸線方向に延びている。実際、好ましい構造によれば、ステム６２は、チャンバ２４から調整器の入口２０内へと外方に延びている。ステムの第２端部すなわち外端部６６は、ポペットを形成する弾性部材６８内にねじ込まれている。ポペットは、ポペットがステム上に螺合するセルフタッピングとし、組立て時に、所定の選択されたねじ込み回転数によりポペットが弁座７０から離れて正確な開度が形成されるようにするのが好ましい。

　前述のように、高流量に関連して、圧力応答部材の好ましくない振動がしばしば生じる。振動に関連する問題を解決するため減衰手段８０が設けられている。
より詳しくは、減衰手段の好ましい構造は、圧力応答部材の軸線方向部材４４とスリーブ部分４６との間に介在されたＯリング８２のようなエラストマ部材すなわち弾性部材を有する。図示のように、Ｏリング８２は、保持部材８４により軸線方向及び半径方向に拘束される。Ｏリングの内径部分は保持部材から延びており且つ軸線方向部材４４の外面と係合するようになっているけれども、保持部材は、Ｏリングを実質的に包囲すべく全体としてＵ形の断面形状を有する。軸線方向部材とＯリングとの間の係合は、圧力応答部材の可動部分３４に抵抗（ドラッグ）すなわち減衰力を付与する。

　すなわち、圧力応答部材の内部キャビティ９０は所定の圧力チャージを有している。可動部分３４は、キャビティ９０とチャンバ２４内の流体圧力との間の圧力差に応答して軸線方向に移動する。可撓性のあるベローズ４２はこの相対移動を可能にする。また、理解されようが、ポペット部材は弁座７０との相対関係を変化させ、入口と出口との間の流体の流れを調整する。かくして、チャンバ２４内の圧力に応答する部材３０の膨張及び収縮は、Ｏリングにより付与される摩擦抵抗により減衰される。

　減衰手段は、抵抗すなわち減衰力を変化させる手段を有する。より詳しくは、変化手段の好ましい一形態は、Ｏリング８２と協働する異直径の個別領域を備えた軸線方向部材４４の外面を設けることである。第５図に最も良く示すように、小径領域９２がテーパ状領域９６を介して大径領域９４に連結されている。かくして、Ｏリングが大径領域９４の周囲の軸線方向位置に配置されるときには大きな摩擦が生じ、従って、圧力応答部材の可動部分に大きな減衰力が付与される。

　これにより、調整器は、高流量に関連する振動を補償できる。これに対し、ポペット組立体がその閉鎖位置に向かって移動すると、Ｏリングはテーパ状領域９６又は小径領域９２と係合し、Ｏリングとこれらの領域９６、９２に沿う軸線方向部材４４との間の摩擦は小さくなる。これにより、ポペット構造に小さな抵抗が付与される。従って、遮断位置すなわち閉鎖位置に隣接するポペットの位置に関連する非常に低い流量時には、圧力応答部材の可動部分はより自由に移動できる。換言すれば、圧力調整器は微小変化に応答できるということである。この構造は、高流量時の振動に関連する問題に対処しながら、非常に低い流量時の感度を高める。

　第１図〜第３図、更に第４図を参照すると、ポペット組立体を圧力応答部材上に保持する手段がより詳細に示されている。保持手段１００の断面図（第１図及び第２図）は、該保持手段１００が通常の非付勢状態にある平らな形状を最も良く示す。後で詳述するように、平らな形状にすることによって、従来の構造と比較して、保持手段の製造コストを低減できる。

　保持手段は、第４図に示すように曲りくねった形状を有し、その長い可撓性アーム１０２、１０４の最内端部１０６が調整器の可動部分３４に固定されている。好ましくは、アームは、その最内端部１０６が可動部分の表面にスポット溶接される。第４図から明らかなように保持手段は対称的な形状を有し、従って、一方のアームについての説明は他方のアームに等しく適用される。上記のように、アーム１０２はその内端部１０６が固定され、ここから全体として弧状すなわち周方向の経路１０８に沿って続いている。次に、アームは、逆湾曲部１１０で180°方向を変え、全体として周方向の第２経路１１２を形成する半径方向外方位置に沿って続く。第２の周方向経路は、固定端部を通過し、次にステム６２に向かって半径方向内方に続く。

　正方形状の開口１１４にはステムが通されている。正方形状の開口は、ポペット部材のベース６４を軸線方向に保持できるけれども、ポペットが弁座に対して自動調心できるようにステムが所定量の半径方向移動を行い得るサイズを有している。更に、この構造はベース部材の構造と協働してポペットステムの回転を防止し、セルフスレッディングポペットを回転してステムの外端部上で前進できるようにしている。

　通常は平らな保持手段が好ましい理由は、その製造コストが安いからである。
この保持手段は、曲げ加工が不要であり且つ平らな素材から容易に製造できる。
この構造の他の重要な長所は、その平坦形状のため、押出しホーニングにより表面仕上げし、マイクロフィニッシュできることである。これは、例えば、不純物に関連する問題に対処する高度研摩表面に大きな関心をもつマイクロエレクトロニクス産業において極めて重要である。一方、曲がりくねった形状は、保持手段を容易に撓ませることができる。この撓み作用は、第２図と第３図との比較により最も良く示すように、ステム上にポペットを保持する上で重要である。過大圧力状態（第３図）では、ベローズが完全に圧縮され（すなわち、その重なり高さに近づき）、剛性のある保持手段は可動部分３４に対してポペットステムを確実に保持し且つポペット及びステムに引張り力を付与する。上記のように、保持手段に長い可撓性アームを設けることにより、ポペットは、弁座に対して同じ座合力を全体的に維持し且つこの構造の必要な撓みすなわち軸線方向の伸びがアーム１０２、１０４により与えられる。

　ベローズが平坦化されてその重なり高さに近づくと、ベローズは、その構造により、ばね定数（spring rate）が非常に大きくなる。上記のように、可撓性保持手段は、高圧状態すなわち過大圧力状態時に、ポペット組立体を破壊することなくベローズを圧縮すなわち平坦化できる。

　また、圧力応答部材の可動部分及び静止部分は、過大圧力状態時にベローズを保護する手段を有している。この保護手段は、それぞれ静止部分及び可動部分から対面関係をなして突出する協働フランジ１１６、１１８からなる。過大圧力状態時にベローズが平坦化されるとき、ベローズ構造からなる最初のダイアフラム及び最後のダイアフラムはフランジ１１６、１１８により支持される。例えば、大きな粒子の存在によりポペットがシールしない場合又は調整器の下流側に高圧が加えられる場合には、圧力調整器が高圧に曝されることがある。いかなる場合でも、フランジは、ベローズが平坦化され且つその重なり高さに近づくときに、ベローズが損傷を受けないように保護する。

　キャビティ９０がその加圧されたチャージを失うことがあると、圧力応答部材は一般に閉鎖位置に移動する。調整器にはばね１２０のような付勢手段が組み込まれており、該手段はベローズ組立体のばね作用に抗する働きをし且つチャージが失われたときにポペットが閉鎖位置に移動できるようにする。図示のように、ばねの第１端部１２２は、軸線方向部材４４の肩部と協働する。ばねの第２端部１２６は保持部材８４に当接しており、保持部材８４の反対側端部はスリーブ部分４６のスナップリング１２８により拘束されている。従って、ばねの付勢力により可動部分３４が右方すなわち出口方向に付勢され、これによりポペットを弁座及び遮断位置に向かって前進させる。もちろん、本発明の精神及び範囲内で他の付勢構造を使用できる。

　また、ばね１２０は、閉鎖位置に向かう非常に小さな付勢力を付与することにより、ベローズのばね作用とバランスする（すなわち打ち消す）。これにより、比較的大きなばね定数による影響を受けることなく、調整器を敏感にすなわち僅かな圧力変動に対して応答できるようにする。

　ここで、第６図及び第７図の実施例を参照すると、ダッシュ（′）を付した番号はダッシュを付さない番号の構成要素と同様な構成要素を示し、新しい番号は新しい構成要素を示す。ハウジング１０′は、このハウジング部分１２′が入口２０′及び出口２２′の両方を備えている点で僅かに変更されている。入口及び出口は、それぞれ上流側構成部品及び下流側構成部品と連通し、これらの詳細は本発明のいかなる部分をも構成しない。

　第１図〜第５図の圧力調整器に関して説明した第２ハウジング部分は省略されており、且つ圧力応答部材をハウジングに相互連結する脚も省略されている。この代わり、脚は周方向に連続したフランジ１３０に置換され、該フランジ１３０はハウジング部分１２′に溶接されるか又は密封シールされる。圧力応答部材は前述の構造及び機能と実質的に同じである。キャビティ９０′は圧力応答部材の作動パラメータを形成する圧力チャージを収容しているけれども、付加的な特徴はない。例えば、調整器を流体装置に固定した後にキャビティ９０′を圧力チャージすることが望まれることがある。これは、第１図〜第５図に示した構造では密封シールされたハウジングのために困難である。しかしながら、第６図及び第７図の実施例では、軸線方向部材４４′が、キャビティ９０′へのアクセスを与える開口１３４を覆うキャップ部材１３２を受け入れている。調整器が流体装置に固定された後に、キャップ部材１３２を取り外し、流体圧力源（図示せず）を使用してキャビティを加圧することができる。次に圧力源を取り外し且つキャップ部材で開口１３４をシールすれば、調整器を前述のように作動させることができる。

　第７図に示すように、キャップ部材を除去して、キャビティを別の流体圧力供給源に選択的に連結できるように構成すれば、圧力調整器から離れた位置から作動パラメータを便利に調節することができる。開口にはニップル１４０が設けられる。ニップルは、別々のプロセス圧力制御装置が別々に使用されている遠隔場所に通じる流体ライン１４２を受け入れる。例えば、流体ラインは、ほぼ一定圧力の供給源１５０に連結できる。供給源すなわち外部源１５０は、流体装置の圧力調整器の作動に必要なものとすることができる。
別の例は、調節可能なベローズ組立体で表される可変外部源１６０を設けることである。この閉鎖装置は、流体ライン１４２の遠隔端部と流体連通したベローズ１６２を有している。ベローズの体積は、ベローズを収容しているハウジング１６６に螺合した調節ノブ１６４を介して所望に応じて選択的に変えられる。ノブの軸線方向位置を変えることにより、ベローズ１６２の体積を変えることができ、従ってキャビティ９０′内の圧力を変えることができる。もちろん、閉鎖装置を使用した他の可変外部源を使用しても同じ成果を収めることができる。

　更に別の例は、外部源（図示せず）からの流体を制御するための安価な調整器１７０を流体ライン１４２に使用することである。調整器１７０は、固定圧力調整器にするか、キャビティ９０′内の圧力を制御したい場合には可変圧力調整器にすることができる。

　キャビティ９０′の圧力を制御する更に別の例は、マイクロプロセッサ制御形構造１８０である。第７図に示すように、外部圧力源（図示せず）に通じる流体ライン１４２には、マイクロプロセッサ制御形圧力モジュール１８２が組み込まれる。圧力モジュールは、調整器Ａ′の下流側に配置された圧力変換器１８４に関連して作動する。圧力変換器１８４は、流体装置の実際の出口圧力に関する情報を圧力モジュールに与える。マイクロプロセッサは、この情報を使用し、モジュール１８２を介してキャビティ９０′内の圧力を調節する。このようにして、高流量、温度又は変動する入口圧力（これらの全ては、モニタリングされ且つモジュール１８２に搬送される他のパラメータの代表的な例である）の効果を補償すべく、調整器の作動を調節することができる。

　また、マイクロプロセッサ制御形構造は、入口圧力、及び同様に、供給シリンダが空になるときの入口流体供給源のモニタリングに使用できる。米国特許第5,238,016号又は公開国際特許出願WO 87/04765に開示されているように、マイクロプロセッサに記憶された情報は、調整器の下流側圧力又は出口圧力をモニタリングすることにより、プロセス入口圧力を決定することができる。入口圧力が大きくなる程、ポペットを開くのに要する力は大きくなる。換言すれば、入口圧力が低下するとき（すなわち、供給シリンダが空になるとき）、一定の出口圧力を維持するのに要するキャビティ９０′内の圧力条件も低下する。従って、下流側（変換器１８４）を一定圧力に維持すべくキャビティ９０′に供給される圧力変動をモニタリングすることにより、マイクロプロセッサは、この情報を使用して入口圧力従って供給体積を計算又は決定することができる。

　以上、本発明を好ましい実施例に関連して説明した。本願明細書を読み且つ理解することにより、当業者には種々の変更が明らかであろう。例えば、ポペット保持手段は、実質的に同じ方法で同じ機能を果たす他の構造を採用することができる。減衰力変化手段は、テーパ及び異直径部分を圧力応答部材の可動部分に設けた逆の構成の組立体とすることができる。これらの全ての変更等が請求の範囲内に包含されるか、請求の範囲の記載の均等物である限り、これらの全ての変更は本発明に含まれるものである。

本発明の新規な圧力調整器が開放位置にあるところを示す縦断面図である。 第１図の圧力調整器が閉鎖位置にあるところを示す縦断面図である。 第１図の圧力調整器が閉鎖位置にあり、ポペットに加えられる引抜き力を制限するためポペット保持部材が伸長された状態にあるところを示す縦断面図である。 第１図の４−４線に沿う方向から見た図面である。 圧力応答部材に加えられる減衰力を変えるための好ましい組立体を示す拡大詳細図である。 変更された圧力調整器を示す縦断面図である。 第６図と同様な圧力調整器の縦断面図であり、プロセス圧力を制御する別の構造を示すものである。

Claims (18)

1. 　ハウジングを有し、該ハウジングが、内部に形成されたチャンバと、流体圧力に応答してハウジングに対して移動する圧力応答部材の位置に基づいてチャンバと選択的に連通する入口及び出口とを備え、圧力応答部材が、所定のチャージをもつ包囲されたキャビティと、チャンバ内の圧力に応答してキャビティの体積を膨張及び収縮させるべくキャビティと作動的に関連した可撓性部材とを備え、入口及び出口の一方に隣接した弁座と協働するように圧力応答部材から延びたポペット組立体を有し、該ポペット組立体が弁座と選択的に係合できるポぺットを備え、ポペット組立体と圧力応答部材とを相互連結させる手段を更に有し、該相互連結手段が通常は平らな部材を備え、該部材が長い可撓性部分を備え、該可撓性部分が、その第１端部に隣接して圧力応答部材に固定され且つその第２端部においてポペット組立体を受け入れ、可撓性部分は、ポペット組立体の選択された移動範囲の間、その通常は平らな形状を崩して移動することを特徴とする圧力調整器。
2. 　前記長い可撓性部分が、ポペットに付与される力とバランスする対称的形状を有することを特徴とする請求の範囲第１項に記載の圧力調整器。
3. 　前記可撓性部分の第２端部がポペット組立体を受け入れるべく中央に配置され、第１端部が中央から半径方向外方に間隔を隔てて配置されていることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の圧力調整器。
4. 　前記可撓性部分が第１端部と第２端部との間の中間領域を備え、該中間領域が、可撓性部分の長さを最大にする半径方向に間隔を隔てて周方向に延びた部分を備えていることを特徴とする請求の範囲第３項に記載の圧力調整器。
5. 　前記キャビティの完全収縮状態と膨張状態との間で圧力応答部材の移動自由度を変化させるための手段を更に有することを特徴とする請求の範囲第１項に記載の圧力調整器。
6. 　前記ポペット組立体を弁座と係合する方向に付勢させる手段を更に有することを特徴とする請求の範囲第１項に記載の圧力調整器。
7. 　前記圧力応答部材の選択された移動範囲の間に、該圧力応答部材に付与される減衰力を変化させるための手段を更に有することを特徴とする請求の範囲第１項に記載の圧力調整器。
8. 　入口及び出口と選択的に連通するチャンバが内部に形成されたハウジングと、チャンバ内に受け入れられ、ハウジングに対して固定された静止部分及び可動部分を備えた圧力応答部材とを有し、静止部分と可動部分とが、チャンバ内の圧力変動に応答して膨張及び収縮するように所定の圧力チャージを包囲する可撓性部材によって相互連結され、開放位置と閉鎖位置との間の圧力応答部材の移動時に付与される減衰力を変化させるための手段と、入口と出口との間の流体圧力を調整できるように圧力応答部材と作動的に関連するポペット組立体と、閉鎖位置に向かってポペット組立体を付勢させる手段とを更に有することを特徴とする圧力調整器。
9. 　前記変化手段が、静止部分と可動部分との間に介在された弾性部材と、該弾性部材により付与される抵抗を変化させるべく弾性部材と係合する異直径領域とを備えていることを特徴とする請求の範囲第８項に記載の圧力調整器。
10. 　前記ポペット組立体と圧力応答部材とを相互連結する平らな保持手段を更に有し、該保持手段が、ポペット組立体の選択された移動範囲の間に、その平らな形状から延びる長い可撓性部材を備えていることを特徴とする請求の範囲第８項に記載の圧力調整器。
11. 　前記保持手段が第１可撓性部材及び第２可撓性部材を備え、各可撓性部材が、第１端部に隣接して圧力部材に固定され、第２端部に隣接してポペット組立体を受け入れることを特徴とする請求の範囲第１０項に記載の圧力調整器。
12. 　前記第１可撓性部材及び第２可撓性部材が調整器の長手方向軸線の回りで対称的に配置されていることを特徴とする請求の範囲第１１項に記載の圧力調整器。
13. 　前記第１可撓性部材及び第２可撓性部材の各々が第１端部と第２端部との間の中間領域を備え、該中間領域が、可撓性部材の長さを最大にする半径方向に間隔を隔てて周方向に延びた部分を備えていることを特徴とする請求の範囲第１２項に記載の圧力調整器。
14. 　前記第２圧力調整器が空気で作動されることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の圧力調整器組立体。
15. 　前記流れ調整手段の出口圧力をモニタリングするための、出口の下流側に配置された圧力変換器を更に有し、該圧力変換器が制御モジュールに作動的に連結されていることを特徴とする請求の範囲第３項に記載の圧力調整器組立体。
16. 　内部にチャンバが形成されたハウジングと、チャンバと連通するための入口及び出口と、入口と出口との間に介在された、入口と出口との間の流体連通を調整するための圧力応答部材とを有し、該圧力応答部材の少なくとも一部が流体圧力に応答してチャンバに対して移動でき、圧力応答部材が、遮断位置に隣接する位置ではより自由に移動でき且つ全開位置に隣接する位置では移動範囲が減衰されるように、圧力応答部材の異なる位置においてその移動自由度を変化させる手段を備え、圧力応答部材を遮断位置に付勢させるための手段を更に有することを特徴とする圧力調整器。
17. 　入口及び出口と選択的に連通するチャンバが内部に形成されたハウジングと、チャンバ内に受け入れられ、ハウジングに対して固定された静止部分及び可動部分を備えた圧力応答部材とを有し、静止部分及び可動部分が、チャンバ内の圧力変動に応答して膨張及び収縮すべく所定の圧力チャージを包囲する可撓性部材により相互連結されており、入口と出口との間の流体圧力を調整できるように圧力応答部材と作動的に関連するポペット組立体と、閉鎖位置に向かってポペット組立体を付勢させる手段と、ポペット組立体と圧力応答部材とを相互連結する平らな保持手段とを更に有し、該保持手段が、ポペット組立体の選択された移動範囲の間に、その平らな形状から延びる長い可撓性部材を備えていることを特徴とする圧力調整器。
18. 　流体装置内の流れを制御する圧力調整器組立体において、内部に形成されたチャンバと連通する入口及び出口を備えたハウジングと、チャンバ内の圧力に基づいて入口から出口への流れを調整するための手段とを有し、該流れ調整手段が、入口及び出口の一方に隣接して配置され、入口及び出口の一方を選択的に拡大及び縮小するシール部材を備えた可動第１部材を有し、流れ調整手段が更に、加圧された体積を有し、該加圧された体積が、チャンバから分離されており且つ可動第１部材に固定された部分を備え、加圧された体積が更に、オペレータが望むように圧力を変化させるための、流体装置の作動状態に基づいて流れ調整手段を調節する変化手段を備えていることを特徴とする圧力調整器組立体。

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