JP3492218B2 - プランジャポンプ装置 - Google Patents
プランジャポンプ装置Info
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- fluid
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- Reciprocating Pumps (AREA)
- Details Of Reciprocating Pumps (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、純水などを圧送す
るためのプランジャポンプ装置に関し、例えば、半導体
製造装置などにおける洗浄用の超純水を高圧で供給する
ために用いられる。
るためのプランジャポンプ装置に関し、例えば、半導体
製造装置などにおける洗浄用の超純水を高圧で供給する
ために用いられる。
【０００２】
【従来の技術】従来において、純水などを圧送するプラ
ンジャポンプとして、特開平６−８８５６８号公報に記
載のものがある。
ンジャポンプとして、特開平６−８８５６８号公報に記
載のものがある。
【０００３】この従来のプランジャポンプでは、図４に
示すように、シリンダ８１に設けられたシリンダ室ＲＰ
ｊ内をプランジャ８２が軸方向に移動することによって
ポンプ作用をなす。シリンダ８１の内周面とプランジャ
８２の外周面との間のシールを行うために、シリンダ８
１の内周面に第１のシール部材ＳＡｊ１及び第２のシー
ル部材ＳＡｊ２が設けられ、第１のシール部材ＳＡｊ１
と第２のシール部材ＳＡｊ２との間に溜まった流体を外
部へ排出するための排出流路８３が設けられる。
示すように、シリンダ８１に設けられたシリンダ室ＲＰ
ｊ内をプランジャ８２が軸方向に移動することによって
ポンプ作用をなす。シリンダ８１の内周面とプランジャ
８２の外周面との間のシールを行うために、シリンダ８
１の内周面に第１のシール部材ＳＡｊ１及び第２のシー
ル部材ＳＡｊ２が設けられ、第１のシール部材ＳＡｊ１
と第２のシール部材ＳＡｊ２との間に溜まった流体を外
部へ排出するための排出流路８３が設けられる。
【０００４】第１のシール部材ＳＡｊ１は、プランジャ
８２による吐出工程において、シリンダ室ＲＰｊ内の圧
流体が外部へ漏れるのを防止する。第２のシール部材Ｓ
Ａｊ２は、プランジャ８２の移動にともなって第１のシ
ール部材ＳＡｊ１から発生する微小な摩耗粉がシリンダ
室ＲＰｊ内へ入るのを防止する。
８２による吐出工程において、シリンダ室ＲＰｊ内の圧
流体が外部へ漏れるのを防止する。第２のシール部材Ｓ
Ａｊ２は、プランジャ８２の移動にともなって第１のシ
ール部材ＳＡｊ１から発生する微小な摩耗粉がシリンダ
室ＲＰｊ内へ入るのを防止する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のプラン
ジャポンプでは、第１のシール部材ＳＡｊ１と第２のシ
ール部材ＳＡｊ２との間に溜まった流体（摩耗粉を含ん
だ純水）を、プランジャ８２による吐出工程時におい
て、第２のシール部材ＳＡｊ２を乗り越えて流入する流
体（純水）によって排出流路８３に押し流すようになっ
ている。
ジャポンプでは、第１のシール部材ＳＡｊ１と第２のシ
ール部材ＳＡｊ２との間に溜まった流体（摩耗粉を含ん
だ純水）を、プランジャ８２による吐出工程時におい
て、第２のシール部材ＳＡｊ２を乗り越えて流入する流
体（純水）によって排出流路８３に押し流すようになっ
ている。
【０００６】しかし、第１のシール部材ＳＡｊ１と第２
のシール部材ＳＡｊ２との間に溜まった流体を強制的に
押し流す機能がないため、プランジャ８２による吐出工
程時において常に適正な流量の流体が漏れて流れるよう
にしておく必要があった。適正な流量の流体が流れるよ
うにするのは容易ではなく、流体（純水）を無駄に流し
てしまう可能性があった。また、プランジャ８２による
吸入工程時においては、溜まった流体は全く排出されな
い。
のシール部材ＳＡｊ２との間に溜まった流体を強制的に
押し流す機能がないため、プランジャ８２による吐出工
程時において常に適正な流量の流体が漏れて流れるよう
にしておく必要があった。適正な流量の流体が流れるよ
うにするのは容易ではなく、流体（純水）を無駄に流し
てしまう可能性があった。また、プランジャ８２による
吸入工程時においては、溜まった流体は全く排出されな
い。
【０００７】本発明は、上述の問題に鑑みてなされたも
ので、簡単な構成によって、プランジャの吸入工程時に
おいて摩耗粉などを含んだ流体を強制的に排出するよう
にし、シリンダ室に摩耗粉などが入り込まないようにし
たプランジャポンプ装置を提供することを目的とする。
ので、簡単な構成によって、プランジャの吸入工程時に
おいて摩耗粉などを含んだ流体を強制的に排出するよう
にし、シリンダ室に摩耗粉などが入り込まないようにし
たプランジャポンプ装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明に係る装
置は、シリンダ１３に設けられたシリンダ室ＲＰ内をプ
ランジャ１８が軸方向に移動することによってポンプ作
用を発揮するプランジャポンプ装置１であって、前記シ
リンダ１３の内周面ＳＦ１と前記プランジャ１８の外周
面ＳＦ２との間のシールを行うための、前記シリンダ１
３の内周面ＳＦ１に設けられた第１のシール部材ＳＡ１
と、前記プランジャ１８の外周面ＳＦ２において前記第
１のシール部材ＳＡ１よりもシリンダ室側寄りに設けら
れシリンダ１３の内周面ＳＦ１と前記プランジャ１８の
外周面ＳＦ２との間における外側からシリンダ室側へ向
かう方向に対しシール効果を発揮し逆方向に対しシール
性のない第２のシール部材ＳＡ２と、前記第１のシール
部材ＳＡ１と前記第２のシール部材ＳＡ２との間の空間
ＳＰに溜まった流体を外部へ排出するための排出流路３
５と、を有し、前記プランジャ１８による吸入工程にお
いて、前記シリンダ室ＲＰに吸入される流体に対して圧
力を与える手段が設けられ、前記プランジャ１８による
吐出工程において前記排出流路３５を絞り、吸入工程に
おいて前記排出流路３５を開放するための切り替え弁Ｖ
２が設けられ、てなる。
置は、シリンダ１３に設けられたシリンダ室ＲＰ内をプ
ランジャ１８が軸方向に移動することによってポンプ作
用を発揮するプランジャポンプ装置１であって、前記シ
リンダ１３の内周面ＳＦ１と前記プランジャ１８の外周
面ＳＦ２との間のシールを行うための、前記シリンダ１
３の内周面ＳＦ１に設けられた第１のシール部材ＳＡ１
と、前記プランジャ１８の外周面ＳＦ２において前記第
１のシール部材ＳＡ１よりもシリンダ室側寄りに設けら
れシリンダ１３の内周面ＳＦ１と前記プランジャ１８の
外周面ＳＦ２との間における外側からシリンダ室側へ向
かう方向に対しシール効果を発揮し逆方向に対しシール
性のない第２のシール部材ＳＡ２と、前記第１のシール
部材ＳＡ１と前記第２のシール部材ＳＡ２との間の空間
ＳＰに溜まった流体を外部へ排出するための排出流路３
５と、を有し、前記プランジャ１８による吸入工程にお
いて、前記シリンダ室ＲＰに吸入される流体に対して圧
力を与える手段が設けられ、前記プランジャ１８による
吐出工程において前記排出流路３５を絞り、吸入工程に
おいて前記排出流路３５を開放するための切り替え弁Ｖ
２が設けられ、てなる。
【０００９】 請求項２の発明に係る装置では、前記シ
リンダ１３は、圧流体によって作動する流体圧シリンダ
ＣＹのピストンロッドの一部であり、前記プランジャ１
８は、前記流体圧シリンダＣＹのロッドカバー１４に対
して固定的に設けられてなる。
リンダ１３は、圧流体によって作動する流体圧シリンダ
ＣＹのピストンロッドの一部であり、前記プランジャ１
８は、前記流体圧シリンダＣＹのロッドカバー１４に対
して固定的に設けられてなる。
【００１０】 請求項３の発明に係る装置は、前記プラ
ンジャ１８には、前記排出流路３５と、前記吸入工程に
おいて前記シリンダ室ＲＰに流体を吸入するための吸入
流路３４と、前記吐出工程において前記シリンダ室ＲＰ
より流体を吐出するための吐出流路３３と、が設けられ
てなる。
ンジャ１８には、前記排出流路３５と、前記吸入工程に
おいて前記シリンダ室ＲＰに流体を吸入するための吸入
流路３４と、前記吐出工程において前記シリンダ室ＲＰ
より流体を吐出するための吐出流路３３と、が設けられ
てなる。
【００１１】
【００１２】第１のシール部材ＳＡ１と第２のシール部
材ＳＡ２とがそれぞれピストンロッド１３又はプランジ
ャ１８に設けられているので、プランジャによる吐出工
程ではそれらの間の空間ＳＰの容積が増大し、吸入工程
では空間ＳＰの容積が減少する。これによるポンプ作用
によって、空間ＳＰ内に溜まった流体は塵とともに強制
的に外部に排出される。
材ＳＡ２とがそれぞれピストンロッド１３又はプランジ
ャ１８に設けられているので、プランジャによる吐出工
程ではそれらの間の空間ＳＰの容積が増大し、吸入工程
では空間ＳＰの容積が減少する。これによるポンプ作用
によって、空間ＳＰ内に溜まった流体は塵とともに強制
的に外部に排出される。
【００１３】
【発明の実施の形態】図１は本発明に係るプランジャポ
ンプ装置１の正面断面図、図２は図１に示すプランジャ
ポンプ装置１の要部を拡大して示す図、図３はプランジ
ャポンプ装置１を作動させるように構成されたポンプシ
ステムＣＳ１の流体回路図である。
ンプ装置１の正面断面図、図２は図１に示すプランジャ
ポンプ装置１の要部を拡大して示す図、図３はプランジ
ャポンプ装置１を作動させるように構成されたポンプシ
ステムＣＳ１の流体回路図である。
【００１４】図１において、プランジャポンプ装置１
は、シリンダチューブ１１、ピストン１２、ピストンロ
ッド１３、カバー１４，１５、第２チューブ１６、第２
カバー１７、及びプランジャ１８などから構成される。
は、シリンダチューブ１１、ピストン１２、ピストンロ
ッド１３、カバー１４，１５、第２チューブ１６、第２
カバー１７、及びプランジャ１８などから構成される。
【００１５】ピストン１２は、ポートＰ１１，Ｐ１２か
ら供給される流体圧によってシリンダチューブ１１の内
周面を摺動する。ピストンロッド１３は、ピストン１２
と連結されて一体的に移動する。ピストンロッド１３
は、カバー１４を貫通して第２チューブ１６内に突出す
る。プランジャ１８は、第２カバー１７にネジ込まれる
ことによって、ピストンロッド１３と同軸上においてカ
バー１４に対して固定されている。ピストン１２、カバ
ー１４，１５、第２チューブ１６、及び第２カバー１７
などには、適所に、パッキン、ダストワイパ、又はウエ
アリングなどが設けられる。
ら供給される流体圧によってシリンダチューブ１１の内
周面を摺動する。ピストンロッド１３は、ピストン１２
と連結されて一体的に移動する。ピストンロッド１３
は、カバー１４を貫通して第２チューブ１６内に突出す
る。プランジャ１８は、第２カバー１７にネジ込まれる
ことによって、ピストンロッド１３と同軸上においてカ
バー１４に対して固定されている。ピストン１２、カバ
ー１４，１５、第２チューブ１６、及び第２カバー１７
などには、適所に、パッキン、ダストワイパ、又はウエ
アリングなどが設けられる。
【００１６】シリンダチューブ１１、ピストン１２、ピ
ストンロッド１３、及びカバー１４，１５によって、空
気圧などの圧流体で作動する流体圧シリンダＣＹが構成
されている。
ストンロッド１３、及びカバー１４，１５によって、空
気圧などの圧流体で作動する流体圧シリンダＣＹが構成
されている。
【００１７】図２をも参照して、ピストンロッド１３に
は、プランジャ１８の嵌入部３２が嵌入するための穴３
１が設けられ、その穴３１の内部がシリンダ室ＲＰを形
成している。嵌入部３２の外径は、シリンダ室ＲＰの内
径よりも若干小さい。つまり、シリンダ室ＲＰの内周面
ＳＦ１と嵌入部３２の外周面ＳＦ２との間には間隙が設
けられ、これらは互いに接触しないようになっている。
は、プランジャ１８の嵌入部３２が嵌入するための穴３
１が設けられ、その穴３１の内部がシリンダ室ＲＰを形
成している。嵌入部３２の外径は、シリンダ室ＲＰの内
径よりも若干小さい。つまり、シリンダ室ＲＰの内周面
ＳＦ１と嵌入部３２の外周面ＳＦ２との間には間隙が設
けられ、これらは互いに接触しないようになっている。
【００１８】ピストンロッド１３の穴３１の出口近辺の
内周面ＳＦ１には、パッキン溝が設けられ、そこに第１
のパッキンＳＡ１が設けられている。第１のパッキンＳ
Ａ１は、内周面ＳＦ１と嵌入部３２の外周面ＳＦ２との
間のシールを行うためのものであり、特に、シリンダ室
ＲＰの側から外側へ向かう方向の高圧力に対してシール
効果を発揮するものである。なお、第１のパッキンＳＡ
１が設けられたパッキン溝の外側には、リング板４１
と、リング板４１の抜け止めのための止めリング４２が
取り付けられている。
内周面ＳＦ１には、パッキン溝が設けられ、そこに第１
のパッキンＳＡ１が設けられている。第１のパッキンＳ
Ａ１は、内周面ＳＦ１と嵌入部３２の外周面ＳＦ２との
間のシールを行うためのものであり、特に、シリンダ室
ＲＰの側から外側へ向かう方向の高圧力に対してシール
効果を発揮するものである。なお、第１のパッキンＳＡ
１が設けられたパッキン溝の外側には、リング板４１
と、リング板４１の抜け止めのための止めリング４２が
取り付けられている。
【００１９】プランジャ１８の先端部の外周面ＳＦ２に
は、パッキン溝が設けられ、そこに第２のパッキンＳＡ
２が設けられている。第２のパッキンＳＡ２は、内周面
ＳＦ１と嵌入部３２の外周面ＳＦ２との間のシールを行
うためのものであり、特に、外側からシリンダ室ＲＰの
側へ向かう方向の圧力に対してシール効果を発揮するも
のである。第２のパッキンＳＡ２として、例えばＵパッ
キンが用いられる。その場合には、シリンダ室ＲＰの側
から外側へ向かう方向についてはほとんどシール性がな
い。
は、パッキン溝が設けられ、そこに第２のパッキンＳＡ
２が設けられている。第２のパッキンＳＡ２は、内周面
ＳＦ１と嵌入部３２の外周面ＳＦ２との間のシールを行
うためのものであり、特に、外側からシリンダ室ＲＰの
側へ向かう方向の圧力に対してシール効果を発揮するも
のである。第２のパッキンＳＡ２として、例えばＵパッ
キンが用いられる。その場合には、シリンダ室ＲＰの側
から外側へ向かう方向についてはほとんどシール性がな
い。
【００２０】プランジャ１８の外周面ＳＦ２には、第２
のパッキンＳＡ２に対してその中央側において接近し
て、周方向の環状のドレン溝４３が設けられている。ド
レン溝４３は、プランジャ１８の吸入工程端においても
第１のパッキンＳＡ１には重ならないような軸方向位置
に設けられている。
のパッキンＳＡ２に対してその中央側において接近し
て、周方向の環状のドレン溝４３が設けられている。ド
レン溝４３は、プランジャ１８の吸入工程端においても
第１のパッキンＳＡ１には重ならないような軸方向位置
に設けられている。
【００２１】さらにプランジャ１８には、その中央に軸
方向に貫通する吐出流路３３が設けられ、それと並行し
て吸入流路３４が設けられている。また、それらと並行
して、ドレン溝４３に連通する排出流路３５が設けられ
ている。それぞれの流路の外部に開口する部分には、ポ
ートＰ１，Ｐ２，Ｐ３が設けられている。
方向に貫通する吐出流路３３が設けられ、それと並行し
て吸入流路３４が設けられている。また、それらと並行
して、ドレン溝４３に連通する排出流路３５が設けられ
ている。それぞれの流路の外部に開口する部分には、ポ
ートＰ１，Ｐ２，Ｐ３が設けられている。
【００２２】また、第２チューブ１６には、その内部に
溜まったドレンを排出するためのポートＰ４が設けられ
ている。
溜まったドレンを排出するためのポートＰ４が設けられ
ている。
【００２３】このように構成されたプランジャポンプ装
置１では、ポートＰ１２に圧流体を供給してピストン１
２を図１の左方向に駆動すると、これにともなってピス
トンロッド１３も移動し、シリンダ室ＲＰ内にプランジ
ャ１８が嵌入する。シリンダ室ＲＰ内に、流体例えば純
水が充填されている場合には、その純水はプランジャ１
８によって吐出流路３３へ押し出され、ポートＰ２から
吐出する。
置１では、ポートＰ１２に圧流体を供給してピストン１
２を図１の左方向に駆動すると、これにともなってピス
トンロッド１３も移動し、シリンダ室ＲＰ内にプランジ
ャ１８が嵌入する。シリンダ室ＲＰ内に、流体例えば純
水が充填されている場合には、その純水はプランジャ１
８によって吐出流路３３へ押し出され、ポートＰ２から
吐出する。
【００２４】このような吐出工程において、第１のパッ
キンＳＡ１と第２のパッキンＳＡ２とで囲まれた空間Ｓ
Ｐの容積は、プランジャ１８のシリンダ室ＲＰ内への嵌
入とともに増大する。したがって、吐出工程において
は、シリンダ室ＲＰ内の純水は、第２のパッキンＳＡ２
を乗り越えて空間ＳＰに流入する。そのとき、第２のパ
ッキンＳＡ２などから摩耗粉のような塵が発生しても、
塵は純水の流れとともに空間ＳＰ内に流入する。なお、
空間ＳＰ内への純水の流入は、主にシリンダ室ＲＰ内に
発生する圧力によって起こるが、空間ＳＰの容積の増大
にともなう吸引力によって加勢される。
キンＳＡ１と第２のパッキンＳＡ２とで囲まれた空間Ｓ
Ｐの容積は、プランジャ１８のシリンダ室ＲＰ内への嵌
入とともに増大する。したがって、吐出工程において
は、シリンダ室ＲＰ内の純水は、第２のパッキンＳＡ２
を乗り越えて空間ＳＰに流入する。そのとき、第２のパ
ッキンＳＡ２などから摩耗粉のような塵が発生しても、
塵は純水の流れとともに空間ＳＰ内に流入する。なお、
空間ＳＰ内への純水の流入は、主にシリンダ室ＲＰ内に
発生する圧力によって起こるが、空間ＳＰの容積の増大
にともなう吸引力によって加勢される。
【００２５】次に、ポートＰ１１に圧流体を供給してピ
ストン１２を図１の右方向に駆動すると、これにともな
ってピストンロッド１３も移動し、シリンダ室ＲＰ内に
嵌入していたプランジャ１８が抜け出る方向に相対移動
する。このとき、ポートＰ１から供給された純水は、吸
入流路３４を通ってシリンダ室ＲＰ内に流入する。
ストン１２を図１の右方向に駆動すると、これにともな
ってピストンロッド１３も移動し、シリンダ室ＲＰ内に
嵌入していたプランジャ１８が抜け出る方向に相対移動
する。このとき、ポートＰ１から供給された純水は、吸
入流路３４を通ってシリンダ室ＲＰ内に流入する。
【００２６】このような吸入工程において、空間ＳＰの
容積は、プランジャ１８のシリンダ室ＲＰ内からの抜け
出しとともに減少する。したがって、吸入工程において
は、空間ＳＰ内に溜まった純水、これは塵を含んでいる
のであるが、その純水は、空間ＳＰの容積の減少によっ
てドレン溝４３から排出流路３５へと押し出され、ポー
トＰ３から流出する。
容積は、プランジャ１８のシリンダ室ＲＰ内からの抜け
出しとともに減少する。したがって、吸入工程において
は、空間ＳＰ内に溜まった純水、これは塵を含んでいる
のであるが、その純水は、空間ＳＰの容積の減少によっ
てドレン溝４３から排出流路３５へと押し出され、ポー
トＰ３から流出する。
【００２７】このようにして、空間ＳＰ内に溜まってい
た塵を含んだ純水は、強制的に外部へ排出される。その
とき、第２のパッキンＳＡ２によってシリンダ室ＲＰへ
の流入が阻止されているので、塵を含んだ純水はシリン
ダ室ＲＰ内に流入しない。なお、吸入工程において、第
２のパッキンＳＡ２から摩耗粉の発生する可能性はある
が、圧力が低いため発生したとしても極めて微小量であ
り、問題はない。
た塵を含んだ純水は、強制的に外部へ排出される。その
とき、第２のパッキンＳＡ２によってシリンダ室ＲＰへ
の流入が阻止されているので、塵を含んだ純水はシリン
ダ室ＲＰ内に流入しない。なお、吸入工程において、第
２のパッキンＳＡ２から摩耗粉の発生する可能性はある
が、圧力が低いため発生したとしても極めて微小量であ
り、問題はない。
【００２８】なお、吸入工程において、ポートＰ１から
供給される純水に１ｋｇ／ｃｍ2 程度以上の圧力を与え
ておくことにより、シリンダ室ＲＰの側から空間ＳＰの
側への圧力を生じさせ、強制的にシリンダ室ＲＰの側か
ら空間ＳＰ内へ純水を流入させることができる。そのよ
うな圧力を与える手段として、純水を供給するための種
々のポンプを適用することができる。
供給される純水に１ｋｇ／ｃｍ2 程度以上の圧力を与え
ておくことにより、シリンダ室ＲＰの側から空間ＳＰの
側への圧力を生じさせ、強制的にシリンダ室ＲＰの側か
ら空間ＳＰ内へ純水を流入させることができる。そのよ
うな圧力を与える手段として、純水を供給するための種
々のポンプを適用することができる。
【００２９】図３に示すように、プランジャポンプ装置
１の流体圧シリンダＣＹに設けられたポートＰ１１，１
２は、流量調整弁、電磁切り替え弁Ｖ１、及び圧力調整
弁ＲＶ１などを介して空気圧源Ａ１又は排気口Ａ２に接
続される。プランジャポンプ装置１のプランジャ１８に
設けられたポートＰ１は、チェック弁ＣＫ１及び管路を
介して純水供給装置Ｗ１に接続される。純水供給装置Ｗ
１には、純水に圧力を与えるための種々のポンプを設け
ることができる。ポートＰ２は、チェック弁ＣＫ２及び
管路を介して純水吐出口Ｗ２に接続される。ポートＰ４
は、管路を介してドレン排出口Ｄ１に接続される。
１の流体圧シリンダＣＹに設けられたポートＰ１１，１
２は、流量調整弁、電磁切り替え弁Ｖ１、及び圧力調整
弁ＲＶ１などを介して空気圧源Ａ１又は排気口Ａ２に接
続される。プランジャポンプ装置１のプランジャ１８に
設けられたポートＰ１は、チェック弁ＣＫ１及び管路を
介して純水供給装置Ｗ１に接続される。純水供給装置Ｗ
１には、純水に圧力を与えるための種々のポンプを設け
ることができる。ポートＰ２は、チェック弁ＣＫ２及び
管路を介して純水吐出口Ｗ２に接続される。ポートＰ４
は、管路を介してドレン排出口Ｄ１に接続される。
【００３０】排出流路３５の出口のポートＰ３には、電
磁切り替え弁Ｖ２及び絞り弁ＳＶ１が接続されている。
吐出工程においては、電磁切り替え弁Ｖ２をオフし、管
路を絞り弁による絞り流路とし、これによって排出流路
３５から流出する純水の量を制限することができる。吸
入工程においては、電磁切り替え弁Ｖ２をオンし、空間
ＳＰ内の純水の排出を容易なものとする。
磁切り替え弁Ｖ２及び絞り弁ＳＶ１が接続されている。
吐出工程においては、電磁切り替え弁Ｖ２をオフし、管
路を絞り弁による絞り流路とし、これによって排出流路
３５から流出する純水の量を制限することができる。吸
入工程においては、電磁切り替え弁Ｖ２をオンし、空間
ＳＰ内の純水の排出を容易なものとする。
【００３１】上述の実施形態のプランジャポンプ装置１
によると、プランジャ１８の吸入工程時において摩耗粉
などを含んだ流体を強制的に排出することができ、シリ
ンダ室ＲＰに摩耗粉などが入り込まない。第１のパッキ
ンＳＡ１と第２のパッキンＳＡ２とをそれぞれ移動側
（ピストンロッド１３）と固定側（プランジャ１８）と
に設けることによって、空間ＳＰ内にポンプ作用を生じ
させているので、そのための構造が簡単である。
によると、プランジャ１８の吸入工程時において摩耗粉
などを含んだ流体を強制的に排出することができ、シリ
ンダ室ＲＰに摩耗粉などが入り込まない。第１のパッキ
ンＳＡ１と第２のパッキンＳＡ２とをそれぞれ移動側
（ピストンロッド１３）と固定側（プランジャ１８）と
に設けることによって、空間ＳＰ内にポンプ作用を生じ
させているので、そのための構造が簡単である。
【００３２】上述の実施形態において、吸入工程でポー
トＰ１１に供給する流体圧を停止させるか又はその流量
を小さくし、ピストン１２の駆動を停止するか又は速度
を低くすることによって、純水に加える圧力を小さくし
てもシリンダ室ＲＰ内が負圧になるのを防止することが
でき、純水が常にドレン溝４３に流れ込むようにするこ
とができる。これによって、摩耗粉がシリンダ室ＲＰに
入り込むことを一層確実に防止することができる。
トＰ１１に供給する流体圧を停止させるか又はその流量
を小さくし、ピストン１２の駆動を停止するか又は速度
を低くすることによって、純水に加える圧力を小さくし
てもシリンダ室ＲＰ内が負圧になるのを防止することが
でき、純水が常にドレン溝４３に流れ込むようにするこ
とができる。これによって、摩耗粉がシリンダ室ＲＰに
入り込むことを一層確実に防止することができる。
【００３３】また、第１のパッキンＳＡ１と第２のパッ
キンＳＡ２とを、その間にドレン溝４３が設けられる程
度に近づけて配置することができるので、これらのパッ
キンＳＡ１，２を設けることによってプランジャ１８が
無闇に長くなることがない。また、ピストンロッド１３
内にシリンダ室ＲＰを設け、プランジャ１８を固定した
ので、流体圧シリンダＣＹを含めたプランジャポンプ装
置１の全長が短くて済む。
キンＳＡ２とを、その間にドレン溝４３が設けられる程
度に近づけて配置することができるので、これらのパッ
キンＳＡ１，２を設けることによってプランジャ１８が
無闇に長くなることがない。また、ピストンロッド１３
内にシリンダ室ＲＰを設け、プランジャ１８を固定した
ので、流体圧シリンダＣＹを含めたプランジャポンプ装
置１の全長が短くて済む。
【００３４】上述の実施形態において、第１のパッキン
ＳＡ１及び第２のパッキンＳＡ２の構造、形状、寸法、
材質などは、種々変更することができる。ドレン溝４３
を省略することも可能である。その他、プランジャポン
プ装置１又は流体圧回路の全体又は各部の構造、形状、
寸法、材質などは、本発明の趣旨に沿って適宜変更する
ことができる。
ＳＡ１及び第２のパッキンＳＡ２の構造、形状、寸法、
材質などは、種々変更することができる。ドレン溝４３
を省略することも可能である。その他、プランジャポン
プ装置１又は流体圧回路の全体又は各部の構造、形状、
寸法、材質などは、本発明の趣旨に沿って適宜変更する
ことができる。
【００３５】
【発明の効果】本発明によると、簡単な構成によって、
プランジャの吸入工程時において摩耗粉などを含んだ流
体を強制的に排出するようにし、シリンダ室に摩耗粉な
どが入り込まないようにすることができる。
プランジャの吸入工程時において摩耗粉などを含んだ流
体を強制的に排出するようにし、シリンダ室に摩耗粉な
どが入り込まないようにすることができる。
【００３６】
【００３７】
【００３８】 請求項２および請求項３の発明による
と、プランジャを駆動することができるとともに、その
装置の全長を短くすることができる。
と、プランジャを駆動することができるとともに、その
装置の全長を短くすることができる。
【図１】本発明に係るプランジャポンプ装置の正面断面
図である。
図である。
【図２】図１に示すプランジャポンプ装置の要部を拡大
して示す図である。
して示す図である。
【図３】プランジャポンプ装置を作動させるための流体
回路図である。
回路図である。
【図４】従来のプランジャポンプの一部を拡大して示す
図である。
図である。
１ プランジャポンプ装置
１３ ピストンロッド（シリンダ）
１４ カバー（シリンダカバー）
１８ プランジャ３３ 吐出流路 ３４ 吸入流路
３５ 排出流路
ＲＰ シリンダ室
ＳＦ１ 内周面
ＳＦ２ 外周面
ＳＡ１ 第１のパッキン（第１のシール部材）
ＳＡ２ 第２のパッキン（第２のシール部材）
Ｖ２ 電磁切り替え弁（切り替え弁）
ＣＹ 流体圧シリンダ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平10−89243（ＪＰ，Ａ)
特開 平３−217665（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−88568（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−140483（ＪＰ，Ａ)
特開 昭60−36788（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−217531（ＪＰ，Ａ)
実開 平２−118109（ＪＰ，Ｕ)
登録実用新案3570（ＪＰ，Ｚ２)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
F04B 53/16
F04B 1/02
F04B 53/14
Claims (3)
- 【請求項１】シリンダに設けられたシリンダ室内をプラ
ンジャが軸方向に移動することによってポンプ作用を発
揮するプランジャポンプ装置であって、 前記シリンダの内周面と前記プランジャの外周面との間
のシールを行うための、前記シリンダの内周面に設けら
れた第１のシール部材と、前 記プランジャの外周面において前記第１のシール部材
よりもシリンダ室側寄りに設けられシリンダの内周面と
前記プランジャの外周面との間における外側からシリン
ダ室側へ向かう方向に対しシール効果を発揮し逆方向に
対しシール性のない第２のシール部材と、 前記第１のシール部材と前記第２のシール部材との間の
空間に溜まった流体を外部へ排出するための排出流路
と、を有し、前記プランジャによる吸入工程において、前記シリンダ
室に吸入される流体に対して圧力を与える手段が設けら
れ、 前記プランジャによる吐出工程において前記排出流路を
絞り、吸入工程において前記排出流路を開放するための
切り替え弁が設けられ、てなる、 ことを特徴とするプランジャポンプ装置。 - 【請求項２】前記シリンダは、圧流体によって作動する
流体圧シリンダのピストンロッドの一部であり、 前記プランジャは、前記流体圧シリンダのロッドカバー
に対して固定的に設けられてなる、 請求項１記載のプランジャポンプ装置。 - 【請求項３】前記プランジャには、 前記排出流路と、 前記吸入工程において前記シリンダ室に流体を吸入する
ための吸入流路と、 前記吐出工程において前記シリンダ室より流体を吐出す
るための吐出流路と、が設けられてなる、 請求項２記載のプランジャポンプ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31274598A JP3492218B2 (ja) | 1998-11-04 | 1998-11-04 | プランジャポンプ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31274598A JP3492218B2 (ja) | 1998-11-04 | 1998-11-04 | プランジャポンプ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000136777A JP2000136777A (ja) | 2000-05-16 |
| JP3492218B2 true JP3492218B2 (ja) | 2004-02-03 |
Family
ID=18032918
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31274598A Expired - Fee Related JP3492218B2 (ja) | 1998-11-04 | 1998-11-04 | プランジャポンプ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3492218B2 (ja) |
-
1998
- 1998-11-04 JP JP31274598A patent/JP3492218B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000136777A (ja) | 2000-05-16 |
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