JP3488026B2 - 差圧利用流量計 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、流体の流量に関す
る２つの圧力の差圧を利用して流体の流量を測定する差
圧利用流量計に関する。

【０００２】

【従来の技術】流体の流量を測定する方法の一つとし
て、流体の流量に関する２つの圧力の差圧を利用するも
のがある。この差圧を利用した差圧利用流量計には、例
えば、図３に示したピトー管型差圧利用流量計と図４に
示したオリフィス型差圧利用流量計とがある。

【０００３】ピトー管型差圧利用流量計は、図３に示し
たように、流体の流量に応じて変化する流体流路１内の
流体の動圧と静圧との差圧を利用して流体の流量を測定
するものである。このピトー管型差圧利用流量計は、例
えば高分子圧電膜１１によって仕切られた２つの圧力室
１０Ａ，１０Ｂを備えており、流体の動圧を一方の圧力
室１０Ａに導入しかつ流体の静圧を他方の圧力室１０Ｂ
に導入するようになっている。すなわち、このピトー管
差圧利用流量計では、高分子圧電膜１１の圧電性を利用
して流体の動圧と静圧との差圧を検出し、それにより流
体の流量を測定する。

【０００４】オリフィス型差圧利用流量計は、図４に示
したように、流体流路１内にオリフィス２ａを形成した
遮蔽板２を配設し、このオリフィス２ａの前後における
流速の差が流体の流量に応じて変化することを利用して
流体の流量を測定するものである。このオリフィス型差
圧利用流量計は、ピトー管型差圧利用流量計と同様に、
例えば高分子圧電膜１１によって仕切られた２つの圧力
室１０Ａ，１０Ｂを備えており、オリフィス２ａの前後
の流速に応じた圧力を２つの圧力室１０Ａ，１０Ｂにそ
れぞれ導入するようになっている。すなわち、このオリ
フィス型差圧利用流量計では、高分子圧電膜の圧電性を
利用してオリフィス２ａの前後の流速に応じた２つの圧
力の差を検出し、それにより流体の流量を測定する。

【０００５】また、ピトー管型差圧利用流量計には、図
５に示したように、流体流路１の一部を狭くして流速を
速くしその流速に応じた圧力を流体の動圧として一方の
圧力室１０Ａに導入すると共に、流路が広い他の部分に
おける流速に応じた圧力を流体の静圧として他方の圧力
室１０Ｂに導入するものもある。

【０００６】これらの差圧利用流量計のうち図４に示し
たオリフィス型差圧利用流量計および図５に示したピト
ー管型差圧利用流量計は、いずれも微小流量の測定に適
しており、微小流量の測定に用いられる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
の差圧利用流量計では、高分子圧電膜１１などを利用し
て２つの圧力の差圧を検出することにより流体の流量を
測定しているので、温度変化や経時変化により高分子圧
電膜１１が変形して差圧の検出に誤差が生じてしまい、
流量に誤差が生じてしまう場合があった。特に、微小流
量域においては差圧が小さくなるので、このような検出
誤差の影響は大きく、流量の測定精度が著しく低下して
しまうという問題があった。そのため、例えばこれらの
差圧利用流量計をガスメータに利用しようとしても、微
小流量のガス漏れなどを正確に検出できずガス漏れを検
出した場合の各種安全機能が働かないおそれがあったの
で、そのままガスメータに利用することはできなかっ
た。

【０００８】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、微小流量域においても正確に流量を
測定することができる差圧利用流量計を提供することに
ある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
差圧利用流量計は、第１の圧力室と第２の圧力室とを有
すると共に、第１の圧力室と第２の圧力室との差圧を検
出する差圧検出室と、流体流路内の流体の流量に関する
第１の圧力を第１の圧力室に導入する第１の圧力導入管
と、流体流路内の流体の流量に関する第２の圧力を第２
の圧力室に導入する第２の圧力導入管と、差圧検出室に
より検出した差圧に基づいて流体の流量を演算する流量
演算手段と、第１の圧力室の圧力と第２の圧力室の圧力
が互いに逆の第１の差圧と第２の差圧とを検出し、前記
差圧検出室により検出する差圧の零点を第１の差圧と第
２の差圧とを用いて調節する零点調節手段とを備えたも
のである。

【００１０】この差圧利用流量計では、流体の流量に関
する第１の圧力を第１の圧力導入管により第１の圧力室
に導入し、流体の流量に関する第２の圧力を第２の圧力
導入管により第２の圧力室に導入する。これにより、第
１の圧力と第２の圧力との差圧を差圧検出室により検出
し、この差圧に基づいて流量演算手段により流体の流量
を求める。また、零点調節手段により第１の圧力室の圧
力と第２の圧力室の圧力とが互いに逆の第１の差圧と第
２の差圧を用いて、差圧検出室が検出する差圧の零点を
調節する。よって、温度変化や経時変化による零点のず
れを調節することができる。

【００１１】本発明の請求項２に係る差圧利用流量計
は、請求項１に記載のものにおいて、零点調節手段が、
第１の圧力室に第２の圧力を導入する第３の圧力導入管
と、第２の圧力室に第１の圧力を導入する第４の圧力導
入管と、第１の圧力導入管と第３の圧力導入管のどちら
か一方を選択的に遮断しかつ他方を開通する第１の切替
バルブと、この第１の切替バルブと連動しており、第１
の切替バルブが第１の圧力導入管を開通し第３の圧力導
入管を遮断するときには第２の圧力導入管を開通し第４
の圧力導入管を遮断すると共に、第１の切替バルブが第
１の圧力導入管を遮断し第３の圧力導入管を開通すると
きには第２の圧力導入管を遮断し第４の圧力導入管を開
通する第２の切替バルブと、第１の切替バルブと第２の
切替バルブを切り換えて差圧検出室により検出した第１
の差圧と第２の差圧とに基づき比較演算を行い差圧検出
室により検出する差圧の零点調節を行う比較演算手段と
を備えたものである。

【００１２】この差圧利用流量計では、第１の圧力室に
対して第１の圧力導入管により第１の圧力を導入し、第
３の圧力導入管により第２の圧力を導入する。また、第
２の圧力室に対して第２の圧力導入管により第２の圧力
を導入し、第４の圧力導入管により第１の圧力を導入す
る。このとき、第１の切替バルブにより第１の圧力導入
管を開通するときには第２の切替バルブにより第２の圧
力導入管を開通し、第１の切替バルブにより第３の圧力
導入管を開通するときには第２の切替バルブにより第４
の圧力導入管を開通する。これにより、第１の圧力室の
圧力と第２の圧力室の圧力が互いに逆の第１の差圧と第
２の差圧を検出することができ、これに基づいて比較演
算手段により差圧検出室が検出する差圧の零点調節を行
う。

【００１３】本発明の請求項３に係る差圧利用流量計
は、請求項１または２に記載のものにおいて、更に、流
量演算手段により求めた流量が基準値よりも小く微小流
量域である場合に零点調節手段を制御して差圧の零点調
節をする制御手段を備えたものである。

【００１４】この差圧利用流量計では、制御手段により
零点調節手段を制御して差圧の零点調節を行う。この零
点調節は、流量演算手段により求められた流量が基準値
よりも小く微小流量域である場合に行う。よって、微小
流量域の流量測定を常に正確に行うことができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。

【００１６】図１は本発明の一実施例に係る差圧利用流
量計の構成を表すものである。この差圧利用流量計は、
例えばガスメータとして用いられるものであって、ガス
管（すなわち流体流路）１の近傍に配設されている。

【００１７】この差圧利用流量計は、ガス管１内のガス
の流量に応じた動圧（すなわちガス管１内のガスの流量
に関する第１の圧力）と静圧（すなわちガス管１内のガ
スの流量に関する第２の圧力）との差圧を検出する差圧
検出室１０を備えている。この差圧検出室１０は、第１
の圧力室としての圧力室１０Ａと第２の圧力室としての
圧力室１０Ｂとを有しており、この２つの圧力室１０
Ａ，１０Ｂの間は高分子圧電膜１１により仕切られてい
る。

【００１８】圧力室１０Ａには、第１の圧力導入管とし
ての圧力導入管２０の一端部が接続されている。この圧
力導入管２０の他端部はガス管１内に挿入され、ガスの
流れ方向に対向して開放されている。すなわち、圧力室
１０Ａにはガス管１内のガスの動圧が導入されるように
なっている。また、圧力室１０Ｂには、第２の圧力導入
管としての圧力導入管３０の一端部が接続されている。
この圧力導入管３０の他端部はガス管１内に挿入され、
ガスの流れに対して垂直方向に開放されている。すなわ
ち、圧力室１０Ｂにはガス管１内のガスの静圧が導入さ
れるようになっている。

【００１９】高分子圧電膜１１は、適宜の弾力性を有す
ると共に変形によって荷電を生ずる高分子圧電性物質に
より形成されており、２つの圧力室１０Ａ，１０Ｂの間
に張設されている。すなわち、この高分子圧電膜１１
は、２つの圧力室１０Ａ，１０Ｂの差圧（すなわちガス
の動圧と静圧との差圧）に応じて変形し、その差圧に応
じた電気信号を出力するようになっている。高分子圧電
膜１１の両面には、図１においては図示しないが、金属
（例えばアルミニウム（Ａｌ））からなる電極１２，１
３が配設されている（図２参照）。これらの電極１２，
１３は、図示しない導線によって後述する流量演算部５
０に接続されている（図２参照）。

【００２０】本実施の形態に係る差圧利用流量計は、ま
た、零点調節部４０を備えている。この零点調節部４０
は、圧力室１０Ａに対してガスの静圧を導入するための
第３の圧力導入管としての圧力導入管４１と、圧力室１
０Ｂに対してガスの動圧を導入するための第４の圧力導
入管としての圧力導入管４２とを有している。

【００２１】圧力導入管４１の一端部は圧力導入管３０
に接続されており、他端部は第１の切替バルブとしての
切替バルブ４３を介して圧力導入管２０に接続されてい
る。切替バルブ４３は、圧力導入管２０と圧力導入管４
１のどちらか一方を選択的に開通し他方を遮断するよう
になっている。また、圧力導入管４２の一端部は圧力導
入管２０に接続されており、他端部は第２の切替バルブ
としての切替バルブ４４を介して圧力導入管３０に接続
されている。切替バルブ４４は、圧力導入管３０と圧力
導入管４２のどちらか一方を選択的に開通し他方を遮断
するようになっている。

【００２２】この２つの切替バルブ４３，４４は、互い
に連動して動作し流量測定モード（図１において実線で
示したＡ側）と零点調節モード（図１において破線で示
したＢ側）とが切り換わるように制御されている。すな
わち、流量測定モード（Ａ側）においては、切替バルブ
４３が圧力導入管２０を開放し圧力導入管４２を遮断し
てガスの動圧を圧力室１０Ａに導入すると共に切替バル
ブ４４が圧力導入管３０を開放し圧力導入管４２を遮断
してガスの静圧を圧力室１０Ｂに導入し、第１の差圧を
検出するように制御されている。また、零点調節モード
（Ｂ側）においては、切替バルブ４３が圧力導入管２０
を遮断し圧力導入管４１を開放してガスの静圧を圧力室
１０Ａに導入すると共に切替バルブ４４が圧力導入管３
０を遮断し圧力導入管４２を開放してガスの動圧を圧力
室１０Ｂに導入し、第２の差圧を検出するように制御さ
れている。

【００２３】零点調節部４０は、また、図１には図示し
ないが、高分子圧電膜１１により検出された２つの差圧
に基づいて比較演算を行い差圧検出室１０が検出する差
圧の零点調節を行う比較演算回路４５も備えている（図
２参照）。この比較演算回路４５は、後述する流量演算
部５０の信号検出回路５２から出力される第１の差圧の
検出信号値と第２の差圧の検出信号値との平均値を求め
るようになっている。

【００２４】本実施の形態に係る差圧利用流量計は、更
に、図１においては図示しないが、差圧検出室１０によ
り検出された差圧に基づいてガス管１内のガスの流量を
求める流量演算部５０と、切替バルブ４３，４４の動作
を制御する制御部６０とを備えている。

【００２５】図２は図１に示した差圧利用流量計におけ
る流量演算部５０と制御部６０に関する回路構成図であ
る。

【００２６】流量演算部５０は、差圧検出室１０の高分
子圧電膜１１から出力される電気信号を増幅するための
増幅回路５１と、この増幅回路５１から出力された増幅
信号を検出する信号検出回路５２と、この信号検出回路
５２から出力された検出信号に基づいてガス管１内のガ
スの流量を求める演算回路５３とを備えている。

【００２７】増幅回路５１の第１の入力端および第２の
入力端は高分子圧電膜１１の両面に配設された電極１
２，１３にそれぞれ接続されており、出力端は信号検出
回路５２の入力端に接続されている。信号検出回路５２
の第１の出力端は演算回路の入力端に接続されており、
第２の出力端は零点調節部４０の比較演算回路４５の入
力端に接続されている。

【００２８】制御部６０は、比較演算回路４５および演
算回路５３にそれぞれ接続されると共に、切替バルブ４
２，４３をそれぞれ駆動する駆動装置４６，４７にそれ
ぞれ接続されている。この制御部６０は、演算回路５３
により求められた流量が所定の基準値よりも小さくなる
と微小流量域になったと判断し、切替バルブ４３，４
４，比較演算回路４５および演算回路５３を制御して差
圧の零点調節をするものである。具体的には、微小流量
域になったと判断すると、流量測定モード（Ａ側）にお
いてその時の第１の差圧を検出させると共に、駆動装置
４６，４７により切替バルブ４３，４４をそれぞれ零点
調節モード（Ｂ側）として第２の差圧を検出させ、比較
演算回路４５により第１の差圧の検出信号値と第２の差
圧の検出信号値の平均値を求めさせて、その平均値を差
圧０の零点値とするように演算回路５３に指示を与える
ようになっている。

【００２９】このような構成を有する本実施の形態に係
る差圧利用流量計は、次のように動作しガス管１内のガ
スの流量を測定する。

【００３０】この差圧利用流量計では、流量の測定に先
立ち、差圧検出室１０により検出する差圧の零点調節を
行う。すなわち、ガス管１に適宜のガスが流れている状
態において、まず、制御部６０の制御により切替バルブ
４３，４４をそれぞれ流量測定モード（Ａ側）とし、第
１の差圧を検出する。次いで、駆動装置４４，４５によ
り切替バルブ４２，４３をそれぞれ零点調節モード（Ｂ
側）とし、第１の差圧とは２つの圧力室１０Ａ，１０Ｂ
の圧力が互いにそれぞれ逆の第２の差圧を検出する。

【００３１】高分子圧電膜１１は、第１の差圧と第２の
差圧にそれぞれ応じた電気信号をそれぞれ出力する。こ
の電気信号は、増幅回路５１により増幅され信号検出回
路５２により検出信号として出力される。比較演算回路
４５は、信号検出回路５２により検出した第１の差圧の
検出信号値と第２の差圧の検出信号値の平均値を求め
る。

【００３２】このとき、高分子圧電膜１１に歪みがない
場合には０が平均値となり、高分子圧電膜１１に歪みが
ある場合にはその歪に応じた値が平均値となる。制御部
６０は、演算回路５３にその平均値を差圧が０の零点値
とするように指示を与える。これにより零点調節が行わ
れ、流量の測定の際には、この零点値を基準として流量
の演算が行われることになる。

【００３３】このようにして零点調節が終了すると、制
御部６０は、駆動装置４４，４５をそれぞれ動作させ切
替バルブ４２，４３をそれぞれ流量測定モード（Ａ側）
とする。これにより、差圧検出室１０の圧力室１０Ａに
はガス管１内のガスの動圧が導入され、圧力室１０Ｂに
は静圧が導入される。高分子圧電膜１１は、この動圧と
静圧との差圧に応じて変形し、その差圧に応じた電気信
号を出力する。

【００３４】流量演算部５０では、増幅回路５１が高分
子圧電膜１１から出力された電気信号を増幅し、信号検
出回路５２がその増幅信号を検出して、演算回路５３が
その検出信号に基づき流量を演算する。このとき演算回
路５３は、零点調節により指示された零点値を基準とし
て流量の演算を行う。これにより、温度変化および経時
変化により高分子圧電膜１１が変形し、差圧検出室１０
により検出される差圧の零点がずれていたとしても、正
確な流量が測定される。

【００３５】また、この差圧利用流量計は、流量の測定
を継続して行っている途中においても、演算回路５３で
求めた流量が予め設定した所定の基準値よりも小さくな
り制御部６０により微小流量域となったと判断すると、
上述した手順と同様にして差圧の零点調節を行う。すな
わち、制御部６０の制御において流量測定モード（Ａ
側）における第１の差圧を検出する共に、駆動装置４
６，４７により零点調節モード（Ｂ側）として第２の差
圧を検出し、比較演算回路４５により第１の差圧の検出
信号値と第２の差圧の検出信号値の平均値を求めて、そ
の平均値を差圧０の零点値とするように演算回路５３に
指示を与える。

【００３６】零点調節が終了すると、制御部６０は、駆
動装置４４，４５をそれぞれ動作させて流量測定モード
（Ａ側）とする。これにより、演算回路５３は、新たな
零点値を基準として流量の演算を行う。

【００３７】なお、この零点調節は、演算回路５３によ
り求めた流量が予め設定した所定の基準値よりも小さく
微小流量域となる度に繰り返される。これにより、演算
回路５３は、常に新たな零点値を基準として流量の演算
を行う。すなわち、流量の測定中における温度変化や経
時変化による差圧の零点のずれが逐次調節される。

【００３８】このように本実施の形態に係る差圧利用流
量計によれば、２つの圧力室１０Ａ，１０Ｂの圧力とが
互いに逆の第１の差圧と第２の差圧とを用いて零点調節
をするようにしたので、温度変化および経時変化により
ずれてしまった差圧の零点を調節することができる。よ
って、微小流領域においても正確な流量を測定すること
ができる。

【００３９】また、これにより差圧利用流量計の信頼性
が向上し、差圧利用流量計をガスメータとして用いるこ
とが可能となる。従って、この差圧利用流量計は熱線流
量計等と比較して消費電力が少ないので、これをガスメ
ータとして用いることにより、ガスメータの消費電力を
削減することができると共に、小型化することができ
る。更に、差圧利用流量計は構造が簡単なので、ガスメ
ータの構造を簡素化することもできる。

【００４０】加えて、この差圧利用流量計によれば、信
号検出回路５２により出力された第１の差圧の検出信号
値と第２の差圧の検出信号値の平均値を差圧が０の零点
値として差圧の零点調節をするようにしたので、１つの
差圧のみに基づいて零点調節をする場合に比べて零点調
節の精度を高くすることができる。

【００４１】更にまた、この差圧利用流量計によれば、
制御部６０により微小流量域になったと判断した時に零
点調節を行うようにしたので、流量測定中において温度
変化や経時変化により差圧の零点がずれても逐次調節す
ることができる。よって、常に正確な流量を測定するこ
とができる。

【００４２】以上、実施の形態を挙げて本発明を説明し
たが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではな
く、種々変形可能である。例えば、上記実施の形態にお
いては、圧力室１０Ａにガスの動圧を導入し圧力室１０
Ｂにガスの静圧を導入するピトー管型について説明した
が、本発明は、流量に関する２つの圧力の差圧を差圧検
出室により検出するものについて広く適用することがで
きる。例えば、従来の技術において説明したオリフィス
型（図４参照）についても適用することができる。

【００４３】この場合、流体流路内にはオリフィスが形
成される。また、第１の圧力導入管はオリフィスの片側
に位置する流体流路に対して接続され、オリフィスの片
側における流体の流速に応じた圧力を第１の圧力室に導
入する。第２の圧力導入管はオリフィスの反対側に位置
する流体流路に対して接続され、オリフィスの反対側に
おける流体の流速に応じた圧力を第２の圧力室に導入す
る（図４参照）。

【００４４】また、上記実施の形態においては、流量に
関する２つの圧力の差圧を差圧検出室１０に張設した高
分子圧電膜１１により検出するようにしたが、高分子圧
電膜１１以外のものにより検出するようにしてもよい。

【００４５】更に、上記実施の形態においては、制御部
６０により微小流量域になったと判断した時に零点調節
を行うようにしたが、微小流量域になったと判断した時
に限らず、微小流量域である間は一定の間隔をあけて定
期的に零点調節を行うようにしてもよい。

【００４６】

【発明の効果】以上説明したように本発明の請求項１に
係る差圧利用流量計によれば、第１の圧力室の圧力と第
２の圧力室の圧力が互いに逆の第１の差圧と第２の差圧
とを検出し、その第１の差圧と第２の差圧とを用いて前
記差圧検出室により検出する差圧の零点を調節するよう
にしたので、温度変化および経時変化によりずれてしま
った差圧の零点を調節することができる。よって、微小
流領域においても正確な流量を測定することができると
いう効果を奏する。

【００４７】また、これにより差圧利用流量計の信頼性
が向上し、差圧利用流量計をガスメータとして用いるこ
とが可能となる。従って、これをガスメータとして用い
ることにより、差圧利用流量計の特徴である消費電力が
少なく小型で構造が簡単なガスメータを得ることができ
るという効果を奏する。

【００４８】更に、本発明の請求項３に係る差圧利用流
量計によれば、請求項１または２に記載のものにおい
て、流量演算手段により求めた流量が基準値よりも小く
微小流量域である場合に、制御手段により零点調節手段
を制御して差圧の零点調節をするようにしたので、流量
測定中において温度変化や経時変化により差圧の零点が
ずれても逐次調節することができるという効果を奏す
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係る差圧利用流量計の全体
構成を表す断面図である。

【図２】図１に示した差圧利用流量計における流量演算
部および制御部に関する回路構成図である。

【図３】従来の差圧利用流量計を表す断面図である。

【図４】従来の差圧利用流量計を表す断面図である。

【図５】従来の差圧利用流量計を表す断面図である。

【符号の説明】

１ ガス管（流体流路） ２ａ オリフィス １０ 差圧検出室 １０Ａ 圧力室（第１の圧力室） １０Ｂ 圧力室（第２の圧力室） ２０ 圧力導入管（第１の圧力導入管） ３０ 圧力導入管（第２の圧力導入管） ４０ 零点調節部 ４１ 圧力導入管（第３の圧力導入管） ４２ 圧力導入管（第４の圧力導入管） ４３ 切替バルブ（第１の切替バルブ） ４４ 切替バルブ（第２の切替バルブ） ４５ 比較演算回路 ５０ 流量演算部 ６０ 制御部

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１の圧力室と第２の圧力室とを有す
   ると共に、第１の圧力室と第２の圧力室との差圧を検出
   する差圧検出室と、 流体流路内の流体の流量に関する第１の圧力を第１の圧
   力室に導入する第１の圧力導入管と、 流体流路内の流体の流量に関する第２の圧力を第２の圧
   力室に導入する第２の圧力導入管と、 前記差圧検出室により検出した差圧に基づいて流体の流
   量を演算する流量演算手段と、 第１の圧力室の圧力と第２の圧力室の圧力が互いに逆の
   第１の差圧と第２の差圧を検出し、前記差圧検出室によ
   り検出する差圧の零点を第１の差圧と第２の差圧とを用
   いて調節する零点調節手段とを備えたことを特徴とする
   差圧利用流量計。
2. 【請求項２】 前記零点調節手段は、 第１の圧力室に第２の圧力を導入する第３の圧力導入管
   と、 第２の圧力室に第１の圧力を導入する第４の圧力導入管
   と、 前記第１の圧力導入管と前記第３の圧力導入管のどちら
   か一方を選択的に遮断しかつ他方を開通する第１の切替
   バルブと、 この第１の切替バルブと連動しており、前記第１の切替
   バルブが前記第１の圧力導入管を開通し前記第３の圧力
   導入管を遮断するときには前記第２の圧力導入管を開通
   し前記第４の圧力導入管を遮断すると共に、前記第１の
   切替バルブが前記第１の圧力導入管を遮断し前記第３の
   圧力導入管を開通するときには前記第２の圧力導入管を
   遮断し前記第４の圧力導入管を開通する第２の切替バル
   ブと前記第１の切替バルブと前記第２の切替バルブを切
   り換えて前記差圧検出室により検出した第１の差圧と第
   ２の差圧とに基づき比較演算を行い前記差圧検出室によ
   り検出する差圧の零点調節を行う比較演算手段とを備え
   たことを特徴とする請求項１記載の差圧利用流量計。
3. 【請求項３】 更に、 前記流量演算手段により求めた流量が基準値よりも小く
   微小流量域である場合に、前記零点調節手段を制御して
   差圧の零点調節をする制御手段を備えたことを特徴とす
   る請求項１または２に記載の差圧利用流量計。
4. 【請求項４】 前記第１の圧力導入管は流体の動圧を第
   １の圧力室に導入すると共に、前記第２の圧力導入管は
   流体の静圧を第２の圧力室に導入することを特徴とする
   請求項１乃至３のいずれか１に記載の差圧利用流量計。
5. 【請求項５】 前記流体流路内にはオリフィスが形成さ
   れており、前記第１の圧力導入管はオリフィスの片側に
   おける流体の流速に応じた圧力を第１の圧力室に導入す
   ると共に、前記第２の圧力導入管はオリフィスの反対側
   における流体の流速に応じた圧力を第２の圧力室に導入
   することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１に記
   載の差圧利用流量計。