JP3481795B2 - ノイズ測定装置とノイズ検出用コイルの設計方法 - Google Patents

ノイズ測定装置とノイズ検出用コイルの設計方法

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JP3481795B2
JP3481795B2 JP24932996A JP24932996A JP3481795B2 JP 3481795 B2 JP3481795 B2 JP 3481795B2 JP 24932996 A JP24932996 A JP 24932996A JP 24932996 A JP24932996 A JP 24932996A JP 3481795 B2 JP3481795 B2 JP 3481795B2
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良行 清澤
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子機器から発生
するノイズを測定するノイズ測定装置と、ノイズ測定装
置のノイズ検出用コイルの設計方法とに関する。
【0002】
【従来の技術】特開平5−264619号公報には、図
7に示すように、電子機器1からのノイズを、アンテナ
4で受信し、スペクトルアナライザ6で周波数成分と強
度とが解析され、データがコンピュータ7で演算処理さ
れて、ノイズの定量的な測定が行われるEMI自動計測
装置が開示されている。この場合、コントローラ8の制
御によって、動作時の電子機器1を1回転させ、スペク
トルアナライザ6で解析される受信電波の最大値での周
波数及び電界強度を記憶し、電子機器1を回転させて受
信される電波の周波数及び電界強度と、事前に記憶して
おいた記憶値とを比較してノイズの計測が行われる。
【0003】また、実開平6−040885号公報に
は、磁界測定用プローブが開示され、この磁界測定用プ
ローブは、図8に示すように、磁界を検出するさぐりコ
イル24、さぐりコイル24からの電流を取り出すパッ
ド16、18、パッド16とさぐりコイル24の一端を
接続する引出線15を設け、パッド18に接続され引出
線15に平行な磁界キャンセル引出線22と、絶縁層1
3を介して引出線15、磁界キャンセル引出線22上を
折り返して引出線22を設け、引出線22の先端と磁界
キャンセル引出線22の先端を接続した磁界測定用プロ
ーブが開示されている。この磁界測定用プローブによる
と、さぐりコイル以外の引出線間を交鎖する磁束の影響
をキャンセルして磁界測定を行うことができる。
【0004】さらに、特開昭62−106379号公報
には、左側には、プリント回路板の上表面導体29、下
表面導体27及びメッキされたスルーホール28でコイ
ルが形成され、右側には、プリント回路板の上表面導体
25、下表面導体30及びメッキされたスルーホール2
6でコイルが形成され、プリント回路板を使用して作成
可能で磁界を検出する磁界測定プローブが開示されてい
る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、OA機器や
家庭電化製品などから放射されるノイズの発生源を、プ
リント基板上の配線を特定して検出することが、ノイズ
対策上では要求されることがある。しかし、前述の特開
平5−264619号公報で開示されたEMI自動計測
装置では、プリント基板上の配線を特定してノイズを検
出することはできない。また、実開平6−040885
号公報に開示の磁界測定用プローブや、特開昭62−1
06379号公報に開示の磁界測定プローブを利用し
て、ノイズ測定を行っても、プリント基板上の配線を特
定してノイズを検出することはできない。
【0006】本発明は、前述したような電子機器のノイ
ズ測定の現状に鑑みてなされたものであり、その第1の
目的は、プリント基板上の配線を特定してノイズを検出
することが可能なノイズ測定装置を提供することにあ
る。
【0007】また、本発明の第2の目的は、プリント基
板上の配線を特定してノイズの検出が可能なノイズ検出
用コイルの設計方法を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】前記第1の目的を達成す
るために、請求項1記載の発明は、複数の配線が所定の
ピッチで形成されたプリント基板に対して、長方形のコ
イルを、その軸が前記プリント基板面に平行となるよう
配設し、前記コイルに前記配線に流れるノイズ電流
らビオ・サバールの法則に従って生じる磁界により誘起
される起電力に基づいて、前記コイルからノイズ検出信
号を出力させ、該ノイズ検出信号をスペクトルアナライ
ザに入力して、前記ノイズ電流の解析を行うノイズ測定
装置であり、前記コイルの長さと幅とが、前記コイルを
配線のピッチだけ移動させた時に、前記ノイズ検出信号
の差信号が分離検出可能に設定されていることを特徴と
する。同様に前記第1の目的を達成するために、請求項
2記載の発明は、請求項1に記載のノイズ測定装置にお
いて、前記コイルの軸が、前記配線の長手方向に対して
直交するように前記コイルが配設されていることを特徴
とする。
【0009】同様に前記第1の目的を達成するために、
請求項記載の発明は、複数の配線が所定のピッチで形
成されたプリント基板に対して、長方形のコイルを配設
し、前記コイルに前記配線に流れるノイズ電流からビオ
・サバールの法則に従って生じる磁界により誘起される
起電力に基づいて、前記コイルからノイズ検出信号を出
力させ、該ノイズ検出信号をスペクトルアナライザに入
力して、前記ノイズ電流の解析を行うノイズ測定装置で
あって、前記コイルの軸が前記プリント基板面に平行
で、かつ前記配線の長手方向に対して直交するように前
記コイルが配設されたときに、信号検出系の入力インピ
ーダンスをZ、ノイズ電流の振幅をIa、ノイズ電流の
角周波数をω、配線の幅をW、配線の形成ピッチをx
p、前記配線の長手方向に平行な方向のコイルの幅を
b、該幅bに直角な方向のコイルの長さをa、コイルと
プリント回路基板との距離をd、信号検出系の検出レベ
ルをP、信号検出系の検出可能な電力差を△P、真空の
透磁率をμ0として、
【0010】
【数1】10・log[A{BM1}2 ]≧P
【0011】
【数2】20・logM1/M2>△P
【0012】但し、M1、M2、A、B、C、Dは〔数
3〕ないし〔数8〕による。
【0013】
【数3】
【0014】
【数4】
【0015】
【数5】A=(1/2Z)103
【0016】
【数6】B=μ0bIaω/4πW
【0017】
【数7】 C(w)={(d+a)2 +w2 }/(d2 +w2
【0018】
【数8】D(w)={(d+a)2 +(xp−w)2
/{d2 +(xp−w)2
【0019】を満足するように、前記コイルの長さと幅
とが設定されていることを特徴とするものである。
【0020】同様に前記第1の目的を達成するために、
請求項記載の発明は、請求項1ないし3のいずれか
記載のノイズ測定装置に対して、前記コイルと前記スペ
クトルアナライザ間に、前記ノイズ検出信号を増幅整形
する増幅器が接続されていることを特徴とする。
【0021】同様に前記第1の目的を達成するために、
請求項の発明は、請求項記載のノイズ測定装置に対
して、前記コイルと前記増幅器間にインピーダンス整合
用の抵抗器が設けられていることを特徴とする。
【0022】前記第2の目的を達成するために、請求項
に記載の発明は、複数の配線が所定のピッチで形成さ
れたプリント回路基板に対して、コイルが配設され、
記配線に流れるノイズ電流からビオ・サバールの法則に
従って生じる磁界により誘起される起電力に基づいて、
ノイズ信号を検出するノイズ検出用のコイルの設計方法
であり、前記コイルの軸が前記プリント基板面に平行
で、かつ前記配線の長手方向に対して直交するように前
記コイルが配設されたときに、信号検出系の入力インピ
ーダンスをZ、ノイズ電流の振幅をIa、ノイズ電流の
角周波数をω、配線の幅をW、配線の形成ピッチをx
p、前記配線の長手方向に平行な方向のコイルの幅を
b、該幅bに直角な方向のコイルの長さをa、コイルと
プリント回路基板との距離をd、信号検出系の検出レベ
ルをP、信号検出系の検出可能な電力差を△P、真空の
透磁率をμ0として、
【0023】
【数1】10・log[A{BM1}2 ]≧P
【0024】
【数2】20・logM1/M2>△P
【0025】但し、M1、M2、A、B、C、Dは〔数
3〕ないし〔数8〕による。
【0026】
【数3】
【0027】
【数4】
【0028】
【数5】A=(1/2Z)103
【0029】
【数6】B=μ0bIaω/4πW
【0030】
【数7】 C(w)={(d+a)2 +w2 }/(d2 +w2
【0031】
【数8】D(w)={(d+a)2 +(xp−w)2
/{d2 +(xp−w)2
【0032】を満足するように、前記コイルの長さと幅
とが設定されることを特徴とするものである。
【0033】
【発明の実施の形態】以下に、本発明をノイズ測定装置
に係る実施の形態に基づいて説明する。 [第1の実施の形態]本発明のノイズ測定装置に係る第
1の実施の形態を、図1ないし図5に基づいて説明す
る。図1は本発明に係るノイズ測定装置の第1の実施の
形態の構成を示す説明図、図2は図1のノイズ検出用の
コイルの配線に対する配置の説明図、図3は図2のノイ
ズ検出用のコイルの出力とサイズとの関係を示す特性
図、図4は図2のノイズ検出用のコイルの長さとノイズ
分離の差信号との関係を示す特性図、図5は図2のノイ
ズ検出用のコイルのサイズ設定の説明図である。
【0034】本実施の形態では、図1に示すように、ノ
イズ検出用の長方形のコイル32が取り付けられるコイ
ル取付腕31aを備え、コイル32を3次元的に移動可
能なXYZステージ31が設けられ、このXYZステー
ジ31は、測定対象となるプリント基板の配線に対し
て、コイル32を所定の姿勢で所定の距離に配置する機
能を備えている。
【0035】このXYZステージ31によって、コイル
32の軸をプリント基板38面に対して平行で、かつ配
線37の長手方向に対して直交するようにする。さら
に、コイル32の長さa(m)方向を配線37の長手方
向に対して直交するようにし、コイル32の幅b(m)
方向を配線37の長手方向に対して平行にして、プリン
ト基板38から距離d(m)の位置に配置される。
【0036】図2に示すように、コイル32の配線方向
37の長手方向に直交する方向の長さをa、配線37の
幅がWで、この配線37にノイズ電流Ia・sinωt
(A)が流れているとすると、オ・サバールの法則に
従って生じる磁界によって、コイル32にファラデーの
法則に従って誘導される起電力E(V)は、真空の透磁
率をμ0として数9に示すようになる。
【0037】
【数9】
【0038】また、コイル32にインピーダンスがZ
(Ω)の負荷を接続した時に、この負荷に供給される電
力P(dBm)は、数10に示すようになる。
【0039】
【数10】
【0040】次に、コイル32を配線37の幅方向に移
動した時に、負荷に供給される電力の差信号△P(d
B)は、数11に示すようになる。
【0041】
【数11】
【0042】さらに、数2をコイル32の幅bについて
解くと数12に示すようになる。
【0043】
【数12】
【0044】本実施の形態では、コイル32に入力イン
ピーダンスZの信号検出系を接続して、コイル32を配
線37のピッチだけ移動した時に、負荷に供給される電
力の差信号が信号検出系で分離できる値となるように、
コイル32の長さa及び幅bが設定されている。
【0045】一例として、プリント基板38上の配線3
7に、ノイズの発生源となる周波数が100MHZで、
振幅が28.3mAのノイズ電流が流れており、このノ
イズ電流が、300μmのピッチで並んでいる幅150
μmの配線のどの配線に流れているかを特定可能なノイ
ズ測定装置のコイル32を設計する場合を説明する。
【0046】信号検出系は、入力インピーダンスが50
Ωであり、90dBmのレベルで、0.1dBの出力
差の信号を検知でき、プリント基板38とコイル32と
の距離dが2.5mmとし、コイル32から信号検出系
90dBmの電力が供給可能なコイル32の長さa
と幅bとの関係を示すと、図3の曲線Cのようになる。
【0047】ここで、コイル32が、ノイズ電流の流れ
ている配線上にある時と、該配線に隣接する配線上にあ
る時との出力差△Pは図4に示す曲線Dのようになる。
曲線Dから出力差△Pを0.1dB以上にするには、コ
イル32の長さaを600μm以下にする必要がある。
一方、直線状の配線に対して、コイル32の幅bは出力
差△Pには関係しないので、配線の直線部分の長さ10
0μm以下に設定する。
【0048】このようにして、信号検出系として、
0dBmで0.1dBの出力差を検知できるものを使用
する場合、コイル32の長さaと幅bとの値を、図5の
斜線で示す領域Eに入るように設定し、このようにディ
メンションが設定されたコイル32をノイズ測定装置に
使用して、ノイズを測定すると、プリント基板38上の
ノイズが流れている配線を検出することが可能になる。
【0049】この場合、コイル32を位置決めし走査す
るXYZステージ31の走査誤差が、配線ピッチに対し
て無視できない時には、XYZステージ31の走査誤差
も考慮してコイル32のディメンションを設定する必要
がある。
【0050】以上に説明したように、本実施の形態で
は、使用するコイル32の長さa及び幅bが、ノイズ電
流の振幅Ia及び角周波数ω、プリント基板の配線ピッ
チxp、使用される信号検出系の特性に基づいて最適値
に設定され、プリント基板38上のノイズが流れている
配線を特定する検出が行われる。
【0051】コイル32は、基本的には導体線で形成す
ればよいが、径が1mm以下のコイルは、例えば石英基
板にアルミの薄膜をスパッタリング法で成膜し、一般的
なフォトリゾグラフィの技術と、エッチング液としてH
3PO4+HNO3+CH3COOHを使用したウェットエ
ッチングの技術とで形成することができる。
【0052】本実施の形態では、このようにして長さa
と幅bとが設定されたコイル32を使用し、コイル32
にインピーダンスZの負荷を接続し、配線37に流れる
ノイズ電流Ia・sinωtからビオ・サバールの法則
に従って生じる磁界により、コイル32に誘起される起
電力により、負荷に供給される電力Pに対して、XYZ
ステージ31によって、コイル32を配線のピッチ移動
させた時の電力差を検出し、検出信号を増幅器33で増
幅整形し、スペクトルアナライザ34で、周波数分析と
強度検出とを行い、プリント基板上のノイズを発生して
いる配線を特定し、該配線から発生するノイズを解析す
ることが可能になる。
【0053】[第2の実施の形態]本発明のノイズ測定
装置に係る第2の実施の形態を、図6に基づいて説明す
る。図6は本発明に係るノイズ測定装置の第2の実施の
形態の構成を示す説明図である。
【0054】本実施の形態は、図6に示すように、すで
に図1を参照して説明した第1の実施の形態に対して、
コイル32と増幅器33間に、インピーダンスを整合す
る抵抗器35が接続されている。本実施の形態のその他
の部分の構成は、すでに説明した第1の実施の形態と同
一なので、重複する説明は行わない。
【0055】本実施の形態によると、抵抗器35によっ
て、コイル32の出力インピーダンスと、増幅器33の
入力インピーダンスとのインピーダンスマッチングを取
ることができ、ノイズ電流が高周波の場合でも、高精度
のノイズ電流の検出解析を行うことが可能になる。本実
施の形態のその他の動作及び効果は、すでに説明した第
1の実施の形態での動作及び効果と同一である。
【0056】なお、各実施の形態では、石英基板を使用
しアルミの薄膜でコイルを形成する場合を説明したが、
本発明は各実施の形態に限定されるものではなく、他の
導体を使用することができ、また石英基板以外の絶縁基
板を使用することができる。
【0057】
【発明の効果】請求項1記載の発明によると、複数の配
線が所定のピッチで形成されたプリント基板に対して、
長方形のコイルを、その軸が前記プリント基板面に平行
となるように配設し、コイルに、配線に流れるノイズ電
流からビオ・サバールの法則に従って生じる磁界により
誘起される起電力に基づいて、コイルからノイズ検出信
号を出力させ、そのノイズ検出信号をスペクトルアナラ
イザに入力して、ノイズ電流の解析を行うノイズ測定装
置であり、コイルの長さと幅とが、コイルを配線のピッ
チだけ移動させた時に、ノイズ検出信号の差信号が分離
検出可能に設定されているので、プリント基板のどの配
線にノイズ電流が流れているかが検出され、OA機器や
家庭電化製品のノイズの発生源を、プリント基板の配線
のレベルで特定し、EMC対策を的確に行うことが可能
になる。また、請求項2に記載の発明によると、コイル
の軸がプリント基板面に平行で、かつ配線の長手方向に
対して直交するようにコイルが配設されるので、請求項
1記載の発明をより一層効果的に実現することができ
る。
【0058】請求項記載の発明によると、〔数1〕に
示す負荷供給電力Pと〔数2〕に示す配線ピッチに応じ
た電力差ΔPとに基づいて、コイルの幅と長さとが設定
されるので、OA機器や家庭電化製品のノイズの発生源
を、プリント基板の配線のレベルで特定し、より一層効
果的にEMC対策を行うことが可能になる。
【0059】請求項記載の発明によると、請求項1
いし3のいずれかに記載の発明で得られる効果に加え
て、コイルとスペクトルアナライザ間に増幅器が接続さ
れ、ノイズ検出信号が増幅整形されるので、高精度のノ
イズ解析が可能になる。
【0060】請求項記載の発明によると、請求項
載の発明で得られる効果に加えて、コイルと増幅器間
に、インピーダンス整合用の抵抗器が設けられているの
で、インピーダンス整合を取ることにより、高周波のノ
イズ電流の測定が可能になる。
【0061】請求項に記載の発明によると、〔数1〕
に示す負荷供給電力Pと〔数2〕に示す配線ピッチに応
じた電力差ΔPとに基づいて、ノイズ測定装置のノイズ
検出用のコイルの配線の長手方向に直交する方向の長さ
と、配線の長手方向に平行な方向の幅とを設定すること
により、プリント基板上の配線を特定してノイズの発生
源を的確に設定することが可能かノイズ検出用のコイル
を得ることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るノイズ測定装置の第1の実施の形
態の構成を示す説明図である。
【図2】図1のノイズ検出用のコイルの配線に対する配
置の説明図である。
【図3】図2のノイズ検出用のコイルの出力とサイズと
の関係を示す特性図である。
【図4】図2のノイズ検出用のコイルの長さとノイズ分
離の差信号との関係を示す特性図である。
【図5】図2のノイズ検出用のコイルのサイズ設定の説
明図である。
【図6】本発明に係るノイズ測定装置の第2の実施の形
態の構成を示す説明図である。
【図7】従来のノイズ測定装置の構成を示す説明図であ
る。
【図8】従来の磁界測定用ブローブの説明図である。
【図9】従来の他の磁界測定用プローブの説明図であ
る。
【符号の説明】
1 電子機器 4 アンテナ 6 スペクトルアナライザ 7 コンピュータ 8 コントローラ 13 絶縁層 15 引出線 16,18 パッド 22 磁界キャンセル引出線 24 さぐりコイル 25 上表面導体 26 スルーホール 27 下表面導体 28 スルーホール 29 上表面導体 31 XYZステージ 32 コイル 33 増幅器 34 スペクトラムアナライザ 35 抵抗器 37 配線 38 プリント基板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01R 29/08 G01R 29/26 G01R 33/00 - 33/26

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の配線が所定のピッチで形成された
    プリント基板に対して、長方形のコイルを、その軸が前
    記プリント基板面に平行となるように配設し、前記コイ
    ルに前記配線に流れるノイズ電流からビオ・サバールの
    法則に従って生じる磁界により誘起される起電力に基づ
    いて、前記コイルからノイズ検出信号を出力させ、該ノ
    イズ検出信号をスペクトルアナライザに入力して、前記
    ノイズ電流の解析を行うノイズ測定装置であり、 前記コイルの長さと幅とが、前記コイルを配線のピッチ
    だけ移動させた時に、前記ノイズ検出信号の差信号が分
    離検出可能に設定されていることを特徴とするノイズ測
    定装置。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載のノイズ測定装置におい
    て、前記コイルの軸が、前記配線の長手方向に対して直
    交するように前記コイルが配設されていることを特徴と
    するノイズ測定装置。
  3. 【請求項3】 複数の配線が所定のピッチで形成された
    プリント基板に対して、長方形のコイルを配設し、前記
    コイルに前記配線に流れるノイズ電流からビオ・サバー
    ルの法則に従って生じる磁界により誘起される起電力に
    基づいて、前記コイルからノイズ検出信号を出力させ、
    該ノイズ検出信号をスペクトルアナライザに入力して、
    前記ノイズ電流の解析を行うノイズ測定装置であって、
    前記コイルの軸が前記プリント基板面に平行で、かつ前
    記配線の長手方向に対して直交するように前記コイルが
    配設されたときに、信号検出系の入力インピーダンスを
    Z、ノイズ電流の振幅をIa、ノイズ電流の角周波数を
    ω、配線の幅をW、配線の形成ピッチをxp、前記配線
    の長手方向に平行な方向のコイルの幅をb、該幅bに直
    角な方向のコイルの長さをa、コイルとプリント回路基
    板との距離をd、信号検出系の検出レベルをP、信号検
    出系の検出可能な電力差を△P、真空の透磁率をμ0と
    して、 【数1】10・log[A{BM1}2]≧P 【数2】20・logM1/M2>△P 但し、M1、M2、A、B、C、Dは〔数3〕ないし
    〔数8〕による。 【数3】 【数4】 【数5】A=(1/2Z)103 【数6】B=μ0bIaω/4πW 【数7】C(w)={(d+a)2+w2}/(d2
    2) 【数8】D(w)={(d+a)2+(xp−w)2}/
    {d2+(xp−w)2} を満足するように、前記コイルの長さと幅とが設定され
    ていることを特徴とするノイズ測定装置。
  4. 【請求項4】 請求項1ないし3のいずれかに記載のノ
    イズ測定装置に対して、前記コイルと前記スペクトルア
    ナライザ間に、前記ノイズ検出信号を増幅整形する増幅
    器が接続されていることを特徴とするノイズ測定装置。
  5. 【請求項5】 請求項記載のノイズ測定装置に対し
    て、前記コイルと前記増幅器間にインピーダンス整合用
    の抵抗器が設けられていることを特徴とするノイズ測定
    装置。
  6. 【請求項6】 複数の配線が所定のピッチで形成された
    プリント回路基板に対して、コイルが配設され、前記配
    線に流れるノイズ電流からビオ・サバールの法則に従っ
    て生じる磁界により誘起される起電力に基づいて、ノイ
    ズ信号を検出するノイズ検出用のコイルの設計方法であ
    り、前記コイルの軸が前記プリント基板面に平行で、かつ前
    記配線の長手方向に対して直交するように前記コイルが
    配設されたときに、 信号検出系の入力インピーダンスを
    Z、ノイズ電流の振幅をIa、ノイズ電流の角周波数を
    ω、配線の幅をW、配線の形成ピッチをxp、前記配線
    の長手方向に平行な方向のコイルの幅をb、該幅bに直
    角な方向のコイルの長さをa、コイルとプリント回路基
    板との距離をd、信号検出系の検出レベルをP、信号検
    出系の検出可能な電力差を△P、真空の透磁率をμ0と
    して、 【数1】10・log[A{BM1}2]≧P 【数2】20・logM1/M2>△P 但し、M1、M2、A、B、C、Dは〔数3〕ないし
    〔数8〕による。 【数3】 【数4】 【数5】A=(1/2Z)103 【数6】B=μ0bIaω/4πW 【数7】C(w)={(d+a)2+w2}/(d2
    2) 【数8】D(w)={(d+a)2+(xp−w)2}/
    {d2+(xp−w)2} を満足するように、前記コイルの長さと幅とが設定され
    ることを特徴とするノイズ検出用のコイルの設計方法。
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