JP3477330B2 - 超音波発生装置 - Google Patents
超音波発生装置Info
- Publication number
- JP3477330B2 JP3477330B2 JP28836096A JP28836096A JP3477330B2 JP 3477330 B2 JP3477330 B2 JP 3477330B2 JP 28836096 A JP28836096 A JP 28836096A JP 28836096 A JP28836096 A JP 28836096A JP 3477330 B2 JP3477330 B2 JP 3477330B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin plate
- ultrasonic wave
- ultrasonic
- laser light
- dut
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、被試験体に超音波
を伝播させて非破壊検査を行う際に用いられる超音波発
生装置に関する。
を伝播させて非破壊検査を行う際に用いられる超音波発
生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】プラント製品等の被試験体内部に超音波
を伝播させ、被試験体内部からの反射波をその表面で観
測することによって被試験体内部のきずを非破壊で検査
する超音波探傷方法が広く用いられている。
を伝播させ、被試験体内部からの反射波をその表面で観
測することによって被試験体内部のきずを非破壊で検査
する超音波探傷方法が広く用いられている。
【０００３】上記したプラント製品の非破壊検査に適用
される従来の超音波発生装置を図４、図５を用いて説明
する。図４は、パルスレーザ光照射によるアブレーショ
ン効果を用いた超音波発生装置である。図４に示すよう
に、パルスレーザ光源１から、数１０〜数ｎｓｅｃ幅の
パルスレーザ光３を発生させる。このパルスレーザ光３
のエネルギーは、被試験体５の破壊しきい値よりも大き
い値を取るように設定されている。
される従来の超音波発生装置を図４、図５を用いて説明
する。図４は、パルスレーザ光照射によるアブレーショ
ン効果を用いた超音波発生装置である。図４に示すよう
に、パルスレーザ光源１から、数１０〜数ｎｓｅｃ幅の
パルスレーザ光３を発生させる。このパルスレーザ光３
のエネルギーは、被試験体５の破壊しきい値よりも大き
い値を取るように設定されている。
【０００４】このパルスレーザ光源１から発生したパル
スレーザ光３は、ミラー２で反射して被試験体５に到達
する。この被試験体５の表面では、上記したようにパル
スレーザ光３のエネルギーが被試験体５の破壊しきい値
より大きいため、数μｍ以下の表層が吹き飛ぶ。すなわ
ち被試験体５表面にアブレーションが発生するため、そ
の反作用として超音波、特に縦波が、この被試験体５の
表面に対して垂直方向に発生する。この超音波の反射波
の強度等の変化を観測することにより、被試験体の非破
壊検査を行う。
スレーザ光３は、ミラー２で反射して被試験体５に到達
する。この被試験体５の表面では、上記したようにパル
スレーザ光３のエネルギーが被試験体５の破壊しきい値
より大きいため、数μｍ以下の表層が吹き飛ぶ。すなわ
ち被試験体５表面にアブレーションが発生するため、そ
の反作用として超音波、特に縦波が、この被試験体５の
表面に対して垂直方向に発生する。この超音波の反射波
の強度等の変化を観測することにより、被試験体の非破
壊検査を行う。
【０００５】図５は、パルスレーザ光照射による熱弾性
効果を用いた超音波発生装置を示す図である。上記図４
に示したパルスレーザ光源１と同様の光源を用いるが、
このパルスレーザ光３のエネルギーは、被試験体５の破
壊しきい値よりも小さく設定されている。
効果を用いた超音波発生装置を示す図である。上記図４
に示したパルスレーザ光源１と同様の光源を用いるが、
このパルスレーザ光３のエネルギーは、被試験体５の破
壊しきい値よりも小さく設定されている。
【０００６】上記図４で説明した場合と同様に、パルス
レーザ光源１から発生したパルスレーザ光３は、ミラー
２で反射して被試験体５に到達する。この場合、上記し
たようにパルスレーザ光３のエネルギーが被試験体５の
破壊しきい値より小さいため、パルスレーザ光３のエネ
ルギーは被試験体５の表面で吸収され熱となり、熱膨張
が発生し、この膨脹・収縮の過程が音源となり超音波が
発生する。この過程は熱弾性と呼ばれ、上記図４で示し
た装置に比較して被試験体５表面の損傷は無いが、超音
波の発生強度は低く、また多方向に同程度の強度で発生
する。
レーザ光源１から発生したパルスレーザ光３は、ミラー
２で反射して被試験体５に到達する。この場合、上記し
たようにパルスレーザ光３のエネルギーが被試験体５の
破壊しきい値より小さいため、パルスレーザ光３のエネ
ルギーは被試験体５の表面で吸収され熱となり、熱膨張
が発生し、この膨脹・収縮の過程が音源となり超音波が
発生する。この過程は熱弾性と呼ばれ、上記図４で示し
た装置に比較して被試験体５表面の損傷は無いが、超音
波の発生強度は低く、また多方向に同程度の強度で発生
する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来の超音波
発生装置では、より確実な非破壊検査の実施のため強い
垂直方向に発生する超音波を得ようとすると、図４を用
いて説明したように被試験体５表面の損傷を誘起してい
た。また、この損傷を避けるためにパルスレーザ光３の
エネルギー強度を下げると、図５を用いて説明したよう
に垂直方向に発生する超音波成分が弱くなる上、多種の
超音波が発生するため、この超音波を観測する際の超音
雑音の発生する原因となっていた。
発生装置では、より確実な非破壊検査の実施のため強い
垂直方向に発生する超音波を得ようとすると、図４を用
いて説明したように被試験体５表面の損傷を誘起してい
た。また、この損傷を避けるためにパルスレーザ光３の
エネルギー強度を下げると、図５を用いて説明したよう
に垂直方向に発生する超音波成分が弱くなる上、多種の
超音波が発生するため、この超音波を観測する際の超音
雑音の発生する原因となっていた。
【０００８】本発明は上記課題を解決するためになされ
たもので、その目的とするところは、アブレーションに
よる被試験体表面の損傷を招くことなく、被試験体表面
に対して垂直方向に強い超音波を発生可能な超音波発生
装置を提供することにある。
たもので、その目的とするところは、アブレーションに
よる被試験体表面の損傷を招くことなく、被試験体表面
に対して垂直方向に強い超音波を発生可能な超音波発生
装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の超音波発生装置
は、被試験体に伝播すべき超音波の波長以下の厚さを有
し、該被試験体の表面に接触配置された薄板と、この薄
板にパルス光又は強度変調光を照射する光照射手段とを
具備してなり、前記パルス光又は振幅変調光の照射によ
るアブレーション効果により前記薄板に超音波を発生
し、該超音波を前記被試験体に伝播させることを特徴と
する。
は、被試験体に伝播すべき超音波の波長以下の厚さを有
し、該被試験体の表面に接触配置された薄板と、この薄
板にパルス光又は強度変調光を照射する光照射手段とを
具備してなり、前記パルス光又は振幅変調光の照射によ
るアブレーション効果により前記薄板に超音波を発生
し、該超音波を前記被試験体に伝播させることを特徴と
する。
【００１０】上記薄板は、被試験体と同一又は近似した
音響的性質を有するものが望ましい。本発明の超音波発
生装置によれば、以下に示す作用・効果を有する。
音響的性質を有するものが望ましい。本発明の超音波発
生装置によれば、以下に示す作用・効果を有する。
【００１１】パルス光又は強度変調光が薄板に照射され
ると、この薄板の表面においてアブレーション効果によ
る超音波が発生する。この超音波は薄板の表面から被試
験体との接触面まで伝播し、この接触面を通過して被試
験体に伝えられる。
ると、この薄板の表面においてアブレーション効果によ
る超音波が発生する。この超音波は薄板の表面から被試
験体との接触面まで伝播し、この接触面を通過して被試
験体に伝えられる。
【００１２】このようにパルス光又は強度変調光を直接
被試験体に照射することなく薄板に照射し、この薄板表
面で超音波を発生させ、発生した超音波を被試験体に伝
えることで、被試験体の損傷を招くことがない。
被試験体に照射することなく薄板に照射し、この薄板表
面で超音波を発生させ、発生した超音波を被試験体に伝
えることで、被試験体の損傷を招くことがない。
【００１３】また、薄板の板厚を発生させる超音波の波
長以下とすることにより、薄板伝播中における超音波の
減衰を招くことなく、被試験体の垂直方向に強い超音波
を発生させることができる。
長以下とすることにより、薄板伝播中における超音波の
減衰を招くことなく、被試験体の垂直方向に強い超音波
を発生させることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
の実施形態を説明する。 （第１実施形態）図１（ａ）は、本発明の第１実施形態
に係る超音波発生装置を示す斜視図、図１（ｂ）は、同
図（ａ）における超音波発生装置のＡ−Ａ´断面図であ
る。図１（ａ）に示すように本実施形態の超音波発生装
置は、パルスレーザ光３の発生源であるパルスレーザ光
源１（例えばＱスイッチ付ＹＡＧレーザ）、このパルス
レーザ光３を反射させるミラー２、また被試験体５に接
触配置し、発生した超音波を被試験体５に伝播させる薄
板４ａから構成される。
の実施形態を説明する。 （第１実施形態）図１（ａ）は、本発明の第１実施形態
に係る超音波発生装置を示す斜視図、図１（ｂ）は、同
図（ａ）における超音波発生装置のＡ−Ａ´断面図であ
る。図１（ａ）に示すように本実施形態の超音波発生装
置は、パルスレーザ光３の発生源であるパルスレーザ光
源１（例えばＱスイッチ付ＹＡＧレーザ）、このパルス
レーザ光３を反射させるミラー２、また被試験体５に接
触配置し、発生した超音波を被試験体５に伝播させる薄
板４ａから構成される。
【００１５】この薄板４ａには、被試験体５と音響的に
同質または近似した、すなわち同質または近似した材料
でできたものを用いることで、薄板４ａから被試験体５
に超音波が伝播する際に反射波が発生しないようにして
ある。またこの薄板４ａの板厚は、発生する超音波の波
長以下とし、アブレーションにより生じた超音波が減衰
せずに伝播し、被試験体５との接触面（以下、探傷面と
称する）を通過していくようにしてある。また、上記パ
ルスレーザ光３のエネルギー強度は、薄板４ａの表面を
吹き飛ばす程度、すなわちアブレーションが生じる程度
に調節されている。
同質または近似した、すなわち同質または近似した材料
でできたものを用いることで、薄板４ａから被試験体５
に超音波が伝播する際に反射波が発生しないようにして
ある。またこの薄板４ａの板厚は、発生する超音波の波
長以下とし、アブレーションにより生じた超音波が減衰
せずに伝播し、被試験体５との接触面（以下、探傷面と
称する）を通過していくようにしてある。また、上記パ
ルスレーザ光３のエネルギー強度は、薄板４ａの表面を
吹き飛ばす程度、すなわちアブレーションが生じる程度
に調節されている。
【００１６】上記実施形態の動作を以下説明する。パル
スレーザ光源１から発生したパルスレーザ光３は、ミラ
ー２により反射されて薄板４ａの表面に照射される。図
１（ｂ）に示すように、このレーザ光照射により薄板４
ａの表面でアブレーションが発生し、薄板４ａの数μｍ
以下の表層が吹き飛ぶため、その反作用として超音波、
特に縦波が、この薄板４ａの表面に対して垂直方向に発
生する。この発生した超音波は薄板４ａを伝播して探傷
面に到達し、被試験体５を伝播する。上記超音波は探傷
面と反対側の界面（以下、底面と称する）に到達し、反
射する。この反射した超音波を検出し、その反射波を測
定する。
スレーザ光源１から発生したパルスレーザ光３は、ミラ
ー２により反射されて薄板４ａの表面に照射される。図
１（ｂ）に示すように、このレーザ光照射により薄板４
ａの表面でアブレーションが発生し、薄板４ａの数μｍ
以下の表層が吹き飛ぶため、その反作用として超音波、
特に縦波が、この薄板４ａの表面に対して垂直方向に発
生する。この発生した超音波は薄板４ａを伝播して探傷
面に到達し、被試験体５を伝播する。上記超音波は探傷
面と反対側の界面（以下、底面と称する）に到達し、反
射する。この反射した超音波を検出し、その反射波を測
定する。
【００１７】ここで、被試験体５にきずが無い場合、上
記反射時間は一定であることからきずが無いことを確認
できる。一方、被試験体５にきずがある場合、被試験体
５中を伝わる超音波はきずにより反射されるため、きず
のない場合と比較して、探傷面から発したパルス光３が
同じく探傷面にもどるまでの光路が短くなり、一定であ
った反射波に変化が生じる。この反射波の変化を観測す
ることにより、被試験体５中にきずがあることが確認で
きる。
記反射時間は一定であることからきずが無いことを確認
できる。一方、被試験体５にきずがある場合、被試験体
５中を伝わる超音波はきずにより反射されるため、きず
のない場合と比較して、探傷面から発したパルス光３が
同じく探傷面にもどるまでの光路が短くなり、一定であ
った反射波に変化が生じる。この反射波の変化を観測す
ることにより、被試験体５中にきずがあることが確認で
きる。
【００１８】上記したように被試験体５に直接パルスレ
ーザ光３を照射せずに薄板４ａに照射し、この薄板４ａ
上で超音波を発生させるため、被試験体５を損傷するこ
となく、かつエネルギー強度の高いパルスレーザ光を用
いるため、被試験体５の表層と垂直方向の強い超音波を
伝播させることができる。
ーザ光３を照射せずに薄板４ａに照射し、この薄板４ａ
上で超音波を発生させるため、被試験体５を損傷するこ
となく、かつエネルギー強度の高いパルスレーザ光を用
いるため、被試験体５の表層と垂直方向の強い超音波を
伝播させることができる。
【００１９】（第２実施形態）図２（ａ）は、本発明の
第２実施形態に係る超音波発生装置を示す斜視図、図２
（ｂ）は、図２（ａ）における超音波発生装置のＡ−Ａ
´断面図である。図２（ａ）に示すように、本実施形態
の超音波発生装置は、パルスレーザ光を発生させるパル
スレーザ光源１、このパルスレーザ光３を被試験体５に
照射するためのミラー２については上記第１実施形態に
おけるものと同一である。また、発生した超音波を被試
験体５に伝播させる薄板として、図２（ｂ）に示すよう
なくぼみを持たせたものを用いる。
第２実施形態に係る超音波発生装置を示す斜視図、図２
（ｂ）は、図２（ａ）における超音波発生装置のＡ−Ａ
´断面図である。図２（ａ）に示すように、本実施形態
の超音波発生装置は、パルスレーザ光を発生させるパル
スレーザ光源１、このパルスレーザ光３を被試験体５に
照射するためのミラー２については上記第１実施形態に
おけるものと同一である。また、発生した超音波を被試
験体５に伝播させる薄板として、図２（ｂ）に示すよう
なくぼみを持たせたものを用いる。
【００２０】この薄板４ｂは、被試験体５と音響的に同
質のものを用い、その板厚を発生する超音波の波長以下
とする点及びパルスレーザ光３のエネルギー強度を薄板
４ｂの表面を吹き飛ばす程度に設定する点においては、
上記第１実施形態に用いる場合と同様である。
質のものを用い、その板厚を発生する超音波の波長以下
とする点及びパルスレーザ光３のエネルギー強度を薄板
４ｂの表面を吹き飛ばす程度に設定する点においては、
上記第１実施形態に用いる場合と同様である。
【００２１】上記実施形態の動作を以下説明する。な
お、本実施形態において、レーザ光発生から薄板４ｂ表
面に超音波が発生するまでの動作は上記第１実施形態と
同様であるので省略する。
お、本実施形態において、レーザ光発生から薄板４ｂ表
面に超音波が発生するまでの動作は上記第１実施形態と
同様であるので省略する。
【００２２】図２（ｂ）に示すように、薄板４ｂを伝播
する超音波は、探傷面に到達する。ここで、薄板４ｂに
はくぼみが設けてあり、そのくぼみの凸部分から被試験
体５に超音波が伝播する。すなわち、くぼみを設けるこ
とにより接触面が限定され、その接触した凸部分のみか
らしか超音波は伝播しない。このため、パルスレーザ光
３のビーム径以下の部分に選択的に超音波を発生させる
ことが可能である。また、このくぼみの形状を変形する
ことにより、音響光学的に求めうる超音波の強度指向性
等を制御することも可能となる。
する超音波は、探傷面に到達する。ここで、薄板４ｂに
はくぼみが設けてあり、そのくぼみの凸部分から被試験
体５に超音波が伝播する。すなわち、くぼみを設けるこ
とにより接触面が限定され、その接触した凸部分のみか
らしか超音波は伝播しない。このため、パルスレーザ光
３のビーム径以下の部分に選択的に超音波を発生させる
ことが可能である。また、このくぼみの形状を変形する
ことにより、音響光学的に求めうる超音波の強度指向性
等を制御することも可能となる。
【００２３】（第３実施形態）図３（ａ）は、本発明の
第３実施形態に係る超音波発生装置を示す斜視図、図３
（ｂ）は、図３（ａ）における被試験体のＡ−Ａ´断面
図である。図３（ａ）には示していないが、パルスレー
ザ光３を発生させるパルスレーザ光源１、ミラー２につ
いては上記第２実施形態におけるものと同一である。ま
た、発生した超音波を被試験体に伝播させる薄板とし
て、図３（ｂ）に示すようなくぼみを持たせたもので、
かつこのくぼみがアレイ状に設けられている。
第３実施形態に係る超音波発生装置を示す斜視図、図３
（ｂ）は、図３（ａ）における被試験体のＡ−Ａ´断面
図である。図３（ａ）には示していないが、パルスレー
ザ光３を発生させるパルスレーザ光源１、ミラー２につ
いては上記第２実施形態におけるものと同一である。ま
た、発生した超音波を被試験体に伝播させる薄板とし
て、図３（ｂ）に示すようなくぼみを持たせたもので、
かつこのくぼみがアレイ状に設けられている。
【００２４】パルスレーザ光３は、薄板４ｃの表面に照
射され、この薄板４ｃに設けられた複数のくぼみの凸部
分から被試験体５に超音波が伝わる。すなわち、くぼみ
を複数設けることにより、限定された接触面が複数にな
るため、超音波の強度や指向性を容易に制御することが
可能となる。なお、上記実施形態ではパルスレーザ光を
用いたが、強度変調光を用いてもよい。
射され、この薄板４ｃに設けられた複数のくぼみの凸部
分から被試験体５に超音波が伝わる。すなわち、くぼみ
を複数設けることにより、限定された接触面が複数にな
るため、超音波の強度や指向性を容易に制御することが
可能となる。なお、上記実施形態ではパルスレーザ光を
用いたが、強度変調光を用いてもよい。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、薄
板上で超音波を発生させるため、レーザ光により被試験
体を損傷することなく、また、薄板伝播中に超音波が減
衰することなく、被試験体に対して垂直方向に強い超音
波を発生させることができる。
板上で超音波を発生させるため、レーザ光により被試験
体を損傷することなく、また、薄板伝播中に超音波が減
衰することなく、被試験体に対して垂直方向に強い超音
波を発生させることができる。
【図１】本発明の第１実施形態に係る超音波発生装置を
示す図。
示す図。
【図２】本発明の第２実施形態に係る超音波発生装置を
示す図。
示す図。
【図３】本発明の第３実施形態に係る超音波発生装置を
示す図。
示す図。
【図４】従来のアブレーション効果を用いた超音波発生
装置を示す図。
装置を示す図。
【図５】従来の熱弾性効果を用いた超音波発生装置を示
す図。
す図。
１ パルスレーザ光源
２ ミラー
３ パルスレーザ光
４ａ，４ｂ，４ｃ 薄板
５ 被試験体
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 工藤 敏文
兵庫県高砂市荒井町新浜２丁目１番１号
三菱重工業株式会社高砂研究所内
(56)参考文献 特開 平４−1470553（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−223730（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01N 29/00
B06B 3/00
Claims (3)
- 【請求項１】被試験体に伝播すべき超音波の波長以下の
厚さを有し、該被試験体の表面に接触配置された薄板
と、この薄板にパルス光又は強度変調光を照射する光照
射手段とを具備してなり、 前記パルス光又は振幅変調光の照射によるアブレーショ
ン効果により前記薄板に超音波を発生し、該超音波を前
記被試験体に伝播させることを特徴とする超音波発生装
置。 - 【請求項２】前記薄板は凸部を有し、前記凸部により前
記薄板を前記被試験体に部分的に接触させた状態で前記
超音波を伝播させることを特徴とする請求項１に記載の
超音波発生装置。 - 【請求項３】前記凸部は前記薄板にアレイ状に複数設け
られてなることを特徴とする請求項２に記載の超音波発
生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28836096A JP3477330B2 (ja) | 1996-10-30 | 1996-10-30 | 超音波発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28836096A JP3477330B2 (ja) | 1996-10-30 | 1996-10-30 | 超音波発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10128236A JPH10128236A (ja) | 1998-05-19 |
| JP3477330B2 true JP3477330B2 (ja) | 2003-12-10 |
Family
ID=17729201
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28836096A Expired - Fee Related JP3477330B2 (ja) | 1996-10-30 | 1996-10-30 | 超音波発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3477330B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20060272418A1 (en) | 2005-06-03 | 2006-12-07 | Brown University | Opto-acoustic methods and apparatus for perfoming high resolution acoustic imaging and other sample probing and modification operations |
| JP2007017389A (ja) * | 2005-07-11 | 2007-01-25 | Yamatake Corp | 流れ検出装置 |
| US8302480B2 (en) | 2007-02-05 | 2012-11-06 | Brown University | Enhanced ultra-high resolution acoustic microscope |
| JP5134277B2 (ja) * | 2007-03-30 | 2013-01-30 | 三菱重工業株式会社 | 超音波検査装置 |
| JP5260130B2 (ja) * | 2007-08-10 | 2013-08-14 | 三菱重工業株式会社 | 超音波検査装置、超音波検査方法および原子力プラントの非破壊検査方法 |
| JP4962461B2 (ja) * | 2008-10-03 | 2012-06-27 | 株式会社豊田中央研究所 | 超音波計測装置 |
| JP5358335B2 (ja) * | 2009-07-28 | 2013-12-04 | トヨタ自動車株式会社 | 検査装置 |
| US9995670B2 (en) * | 2015-12-09 | 2018-06-12 | The Boeing Company | Method of controlling a laser bond inspection system |
-
1996
- 1996-10-30 JP JP28836096A patent/JP3477330B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10128236A (ja) | 1998-05-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Schindel et al. | Applications of micromachined capacitance transducers in air-coupled ultrasonics and nondestructive evaluation | |
| US8210045B2 (en) | Continuous laser generation of ultrasound | |
| JP2664443B2 (ja) | 超音波でサンプルを調査する装置 | |
| JP4386709B2 (ja) | レーザ超音波による材料非破壊検査方法及び装置 | |
| JP3477330B2 (ja) | 超音波発生装置 | |
| Di Scalea et al. | Remote laser generation of narrow-band surface waves through optical fibers | |
| JP5285845B2 (ja) | 欠陥検出装置および欠陥検出方法 | |
| JP2010175340A (ja) | 板厚測定方法および板厚測定装置 | |
| Pierce et al. | Temporal modulation of a laser source for the generation of ultrasonic waves | |
| JP3704843B2 (ja) | 非接触非破壊の材料評価方法とその装置及び弾性波励起方法と弾性波励起装置 | |
| Ing et al. | Self‐focusing Rayleigh wave using a time reversal mirror | |
| Kromine et al. | Detection of subsurface defects using laser based technique | |
| McKie et al. | Inspection of components having complex geometries using laser-based ultrasound | |
| JPH10260163A (ja) | レーザー超音波検査装置 | |
| JP3545611B2 (ja) | レーザー超音波検査装置及びレーザー超音波検査方法 | |
| JP2002228639A (ja) | レーザー超音波検査装置及びレーザー超音波検査方法 | |
| JPH06186208A (ja) | 弾性波の発生方法 | |
| Noroy et al. | Transient elastic wave generation by an array of thermoelastic sources | |
| Caron et al. | Ultrasonic NDE of composite panels with gas-coupled laser acoustic detection | |
| KR20020011662A (ko) | 레이저 유도 초음파를 이용하여 금속재의 내부 결함을측정하는 방법 | |
| JP4059418B2 (ja) | レーザー超音波検査方法 | |
| JPH0933490A (ja) | 非接触非破壊材料評価方法及び装置 | |
| Huang et al. | Crack detection in fuselage panels by a narrow-band laser-based ultrasonic system | |
| JPH0481654A (ja) | 超音波検出装置 | |
| JPH10260164A (ja) | レーザー超音波検査装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20030902 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |