JP3474927B2 - Manufacturing method of intaglio for printing - Google Patents

Manufacturing method of intaglio for printing

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JP3474927B2
JP3474927B2 JP14350294A JP14350294A JP3474927B2 JP 3474927 B2 JP3474927 B2 JP 3474927B2 JP 14350294 A JP14350294 A JP 14350294A JP 14350294 A JP14350294 A JP 14350294A JP 3474927 B2 JP3474927 B2 JP 3474927B2
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はタンポ印刷に代表される
グラビアオフセット印刷による精密印刷に適した印刷用
凹版の製造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a printing intaglio suitable for precision printing by gravure offset printing represented by tampo printing.

【0002】[0002]

【従来の技術および発明が解決しようとする課題】パー
ソナルコンピュータ、電子式卓上計算器、デジタル時
計、テレビなどの電子機器に用いられる電子回路の回路
基板や液晶カラーディスプレイのカラーフィルターなど
の製造には、製造工程が少なく安価である印刷法の使用
が提案されている。なかでも、高い精度で精密印刷の可
能なグラビアオフセット印刷の使用が検討されている。
2. Description of the Related Art For manufacturing circuit boards for electronic circuits and color filters for liquid crystal color displays used in electronic devices such as personal computers, electronic desk calculators, digital watches, and televisions. It has been proposed to use a printing method, which has a small number of manufacturing steps and is inexpensive. Among them, the use of gravure offset printing, which enables highly accurate and precise printing, is being considered.

【0003】グラビアオフセット印刷用凹版の製版は、
基板の表面全体へエッチングレジストを形成する工程
と、レーザー光照射などにより印刷パターン対応部位の
エッチングレジストを除去して印刷パターンを形成する
工程と、エッチングにより印刷パターンに対応する凹部
を形成する工程とからなる。凹版の基板としては、一般
にソーダライムガラス、石英ガラス、ノンアルカリガラ
ス、低アルカリガラス、低膨張ガラスなどのガラス基板
が使用される。これにより、図3に示すように、凹版の
上面10が平坦であり、凹部11の深さdが一定であ
り、かつ凹部11の底面11aが平坦であり、さらにパ
ターンの直線性(すなわち、凹部11のエッジ12の直
線性)が高い凹版を作製することができ、高精度なグラ
ビアオフセット印刷が可能になる。
The intaglio plate for gravure offset printing is
A step of forming an etching resist on the entire surface of the substrate, a step of forming a printing pattern by removing the etching resist at a portion corresponding to the printing pattern by laser light irradiation, and a step of forming a concave portion corresponding to the printing pattern by etching. Consists of. As the intaglio substrate, a glass substrate such as soda lime glass, quartz glass, non-alkali glass, low alkali glass, or low expansion glass is generally used. As a result, as shown in FIG. 3, the top surface 10 of the intaglio plate is flat, the depth d of the recess 11 is constant, the bottom surface 11a of the recess 11 is flat, and the linearity of the pattern (that is, the recess It is possible to manufacture an intaglio plate having high linearity (edge 12 of 11), and high-precision gravure offset printing becomes possible.

【0004】このような凹版を用いてグラビアオフセッ
ト印刷を行なう場合には、凹版の凹部11へインキを充
填し、凹版からオフセットブランケットへインキを転写
させ、ついでオフセットブランケットから被印刷体へイ
ンキ層を転写させる。凹版の凹部へのインキの充填に際
しては、図4に示すように、凹版上面10の余分なイン
キ8を軟鋼板などの刃であるドクター9でかき取るドク
タリングが行なわれる。
When gravure offset printing is performed using such an intaglio plate, ink is filled in the recesses 11 of the intaglio plate, the ink is transferred from the intaglio plate to the offset blanket, and then an ink layer is formed from the offset blanket to the printing medium. Transfer. When the ink is filled in the concave portion of the intaglio plate, doctor ring is used to scrape off the excess ink 8 on the upper surface 10 of the intaglio plate with a doctor blade 9 such as a mild steel plate, as shown in FIG.

【0005】しかし、繰り返しドクタリングを行なう
と、凹版の凹部11のエッジ12が鋭利であるため、図
5に示すように、エッジ部12が欠けやすいという欠点
がある(図5に欠け部を14で示す)。一方、前記のよ
うなガラス基板のエッチングでは、基板は凹部11の深
さ方向だけでなく、横方向にも腐食される(サイドエッ
チング)。そのため、図6に示すように、パターン線幅
Wp でエッチングレジスト15を除去してパターニング
を行なった後、基板16をエッチングすると、仕上がっ
た凹部11の開口幅は、エッチングレジストにパターニ
ングされた幅Wp よりも広がった幅Wa となる。このと
き、凹版凹部11の開口幅Wa は、エッチングレジスト
にパターニングされた幅Wp と凹部11の深さ(すなわ
ちエッチング量Ya )とから下記の式で決定される。
However, when the doctoring is repeated, the edge 12 of the concave portion 11 of the intaglio plate is sharp, so that the edge portion 12 is apt to be chipped as shown in FIG. ). On the other hand, in the above glass substrate etching, the substrate is corroded not only in the depth direction of the recess 11 but also in the lateral direction (side etching). Therefore, as shown in FIG. 6, when the substrate 16 is etched after the etching resist 15 is removed with the pattern line width Wp and patterning is performed, the opening width of the finished recess 11 is the width Wp patterned by the etching resist. The width becomes wider than that of Wa. At this time, the opening width Wa of the intaglio recess 11 is determined by the following formula from the width Wp patterned on the etching resist and the depth of the recess 11 (that is, the etching amount Ya).

【0006】[0006]

【数1】Wa =Wp +Sa ─(1) Sa =k×Ya ─(2) Wp :パターンの線幅 Sa :サイドエッチング量 k :サイドエッチング率(定数) このため、所定の深さを維持したまま凹部11の開口幅
Wa を微調整するためには、エッチングレジストにパタ
ーニングされる幅Wp を上記(1) 式および(2)式から設
計し、新たに凹版を作り直す必要があった。
## EQU1 ## Wa = Wp + Sa-(1) Sa = k.times.Ya-(2) Wp: Pattern line width Sa: Side etching amount k: Side etching rate (constant) Therefore, the predetermined depth was maintained. In order to finely adjust the opening width Wa of the recess 11 as it is, it was necessary to design the width Wp patterned on the etching resist from the above equations (1) and (2) and remake a new intaglio plate.

【0007】ところが、高解像度化などの液晶ディスプ
レイの多様化に伴い、カラーフィルター印刷時に用いる
凹版の幅も単一では対応できず、種々の開口幅の凹部を
有する凹版が必要になってきた。そのため、凹部の開口
幅Wa が異なる種々の凹版を作製することが必要にな
り、レジストパターン用の原版が多数必要となり、コス
トアップになると共に煩雑であった。
However, with the diversification of liquid crystal displays such as high resolution, the width of the intaglio plate used for printing the color filter cannot be adjusted to a single width, and an intaglio plate having concave portions with various opening widths has been required. Therefore, it is necessary to manufacture various intaglio plates having different opening widths Wa of the recesses, which necessitates a large number of original plates for resist patterns, resulting in increased cost and complexity.

【0008】本発明の主たる目的は、ドクタリングの繰
り返しによる凹部の欠けを防止し、耐久性を向上させた
印刷用凹版の製造方法を提供することである。本発明の
他の目的は、1種のレジストパターン用の原版を用いて
種々の開口幅の凹部を作製することができる印刷用凹版
の製造方法を提供することである。
A main object of the present invention is to provide a method of manufacturing an intaglio plate for printing, which prevents the recess from being chipped due to repeated doctoring and has improved durability. Another object of the present invention is to provide a method for producing a printing intaglio plate, which is capable of producing recesses having various opening widths using one type of resist pattern original plate.

【0009】本発明者らは、ドクタリングの繰り返しに
よる凹部の欠けは凹部のエッジ部が鋭利なために生じや
すくなるのであるから、エッジ部を丸めれば、凹部の欠
けを防止できるという着想を得、さらに研究を重ねた結
果、基板表面にエッチングレジストを形成して、印刷パ
ターンに対応する部位のエッチングレジストを除去した
後、腐食液を用いた1回目のエッチングにて基板の表面
に印刷パターンの凹部を形成し、次いで基板の表面から
エッチングレジストを除去した上で、腐食液を用いた
回目のエッチングを行なうときは、簡単にエッジ部の角
を丸めることができ、その結果ドクタリングの繰り返し
による凹部の欠けを防止できるという新たな事実を見出
し、本発明を完成するに至った。しかも、本発明では、
たとえエッジ部の角を丸めても、前述のように、ガラス
基板を使用する場合における、版上面および凹部底面が
平坦で、凹部の深さが一定であり、かつパターンの直線
性が高いという利点が損なわれることがない。
The inventors of the present invention have a concept that the chipping of the recess due to repeated doctoring is likely to occur because the edge of the recess is sharp, so that the chipping of the recess can be prevented by rounding the edge. As a result of further research and development, an etching resist was formed on the substrate surface,
The etching resist on the part corresponding to the turn was removed
After that, a concave portion of the printed pattern was formed on the surface of the substrate by the first etching using the corrosive liquid , and then the etching resist was removed from the surface of the substrate , and then the corrosive liquid was used.
When the second etching is performed, the corners of the edge portion can be easily rounded, and as a result, the new fact that the chipping of the concave portion due to repeated doctoring can be prevented has been found, and the present invention has been completed. Moreover, in the present invention,
Even if the corners of the edges are rounded, as mentioned above, the advantage of using a glass substrate is that the plate top surface and bottom surface of the recess are flat, the depth of the recess is constant, and the linearity of the pattern is high. Is not damaged.

【0010】図1(a)は1回目のエッチングによって
基板1の表面に形成された凹部2を示しており、エッジ
部3は鋭利になっている。これに対して、図1(b)に
示すように前述の2回目のエッチングを行なった本発明
にかかわる凹版4はエッジ部3′が丸められている。ま
た、前記のように、2回のエッチングを行なうときは、
2回目のエッチングではレジストが除去されているた
め、版上面と凹部底面とが同時に同じ量だけエッチング
されるため、凹部の深さは変わらないが、凹部側面が同
時に同じ量だけエッチングされるため、結果的には凹部
の深さを変えずに開口幅のみが広げられたことになる。
従って、2回目のエッチング量(腐食量)を調整するこ
とにより、凹部の開口幅の調整も可能となる。
FIG. 1A shows a concave portion 2 formed on the surface of the substrate 1 by the first etching, and the edge portion 3 is sharp. On the other hand, as shown in FIG. 1 (b), the intaglio plate 4 according to the present invention, which has been subjected to the second etching described above, has a rounded edge portion 3 '. Further, as described above, when performing the etching twice,
Since the resist has been removed in the second etching, the top surface of the plate and the bottom surface of the recess are simultaneously etched by the same amount, so that the depth of the recess does not change, but the side faces of the recess are simultaneously etched by the same amount. As a result, only the opening width is widened without changing the depth of the recess.
Therefore, the opening width of the recess can be adjusted by adjusting the etching amount (corrosion amount) of the second time.

【0011】本発明における凹版の基板としては、例え
ばソーダライムガラス、ノンアルカリガラス、石英、低
アルカリガラス、低膨張ガラスなどを用いることがで
き、とくにカラーフィルターなどの精密印刷に適した凹
版を製造するためには、ソーダライムガラスなどの軟質
のガラス材料を用いるのが好ましい。1回目のエッチン
グを行なうには、まず基板の表面にエッチングレジスト
を形成する。エッチングレジストの材料としては、エッ
チングに使用する腐食液に対して十分な耐性を有するも
のであればよく、例えばクロム、ノボラック系樹脂など
があげられる。エッチングレジストの厚さは、通常、
0.05〜0.5μm程度であるのが好ましい。エッチ
ングレジストは、例えばCVD(化学蒸着)やPVD
(物理蒸着)などを使用して前記した材料を基板上に均
一に蒸着したり、各種コーターにより表面に直接塗布す
ることによって形成される。
As the substrate of the intaglio plate of the present invention, for example, soda lime glass, non-alkali glass, quartz, low alkali glass, low expansion glass and the like can be used, and in particular, an intaglio plate suitable for precision printing such as color filters is manufactured. In order to do so, it is preferable to use a soft glass material such as soda lime glass. To perform the first etching, an etching resist is first formed on the surface of the substrate. The material of the etching resist may be any material having sufficient resistance to the corrosive liquid used for etching, and examples thereof include chromium and novolac resins. The thickness of the etching resist is usually
It is preferably about 0.05 to 0.5 μm. The etching resist is, for example, CVD (chemical vapor deposition) or PVD.
It is formed by uniformly vapor-depositing the above-mentioned material on the substrate by using (physical vapor deposition) or by directly coating the surface with various coaters.

【0012】エッチングレジストを形成したあと、レー
ザー照射やフォトリソグラフィー法などによって印刷パ
ターンに対応する部位のエッチングレジストを除去し
て、基板の表面に印刷パターンを形成する。例えば液晶
カラーフィルターの場合には、印刷パターンとして幅が
約100μmのストライプパターンが形成される。しか
るのち、1回目のエッチングを行なう。このエッチング
に使用する腐食液は、例えばフッ酸を主成分として、他
に硝酸、硫酸、フッ化アンモニウムなどを含んだ混合水
溶液があげられる。使用する腐食液の種類、濃度、エッ
チング時間、エッチングの温度は、基板に形成する凹部
の深さに応じて適宜設定される。通常、1回目のエッチ
ングの腐食液は、0.1〜10μm/分の腐食速度をも
つように調整され、好ましくは0.5〜5μm/分の腐
食速度で用いられる。また、エッチングは、20〜25
℃の温度範囲で1〜10分間行なう。
After the etching resist is formed, the etching resist at the portion corresponding to the print pattern is removed by laser irradiation or a photolithography method to form the print pattern on the surface of the substrate. For example, in the case of a liquid crystal color filter, a stripe pattern having a width of about 100 μm is formed as a print pattern. Then, the first etching is performed. Examples of the corrosive liquid used for this etching include a mixed aqueous solution containing hydrofluoric acid as a main component and nitric acid, sulfuric acid, ammonium fluoride and the like. The type, concentration, etching time, and etching temperature of the corrosive liquid used are appropriately set according to the depth of the recesses formed in the substrate. Usually, the etchant for the first etching is adjusted to have a corrosion rate of 0.1 to 10 μm / min, and preferably used at a corrosion rate of 0.5 to 5 μm / min. Also, the etching is 20 to 25
Perform for 1 to 10 minutes in the temperature range of ° C.

【0013】1回目のエッチング終了後、基板表面のエ
ッチングレジストを全て除去し、次いで、2回目のエッ
チングを行なう。2回目のエッチングに用いる腐食液と
しては、1回目のエッチングに用いた腐食液と同じもの
を用いることができる。2回目のエッチングに用いる腐
食液のエッチング能力は、1回目のエッチングに用いる
腐食液のそれと同じかまたはそれよりも低いものを使用
するのが好ましい。具体的には、例えば2回目のエッチ
ングに用いる腐食液の濃度を調整して、腐食液のエッチ
ング能力が、1回目の腐食液のそれに対して腐食量で1
/1〜1/1000の範囲、好ましくは1/2〜1/1
00の範囲になるようにする。
After completion of the first etching, the etching resist on the surface of the substrate is completely removed, and then the second etching is performed. As the corrosive liquid used for the second etching, the same corrosive liquid as that used for the first etching can be used. It is preferable that the etching ability of the corrosive liquid used for the second etching is the same as or lower than that of the corrosive liquid used for the first etching. Specifically, for example, the concentration of the corrosive liquid used for the second etching is adjusted so that the etching capacity of the corrosive liquid is 1 in terms of the corrosion amount with respect to that of the first corrosive liquid.
/ 1 to 1/1000, preferably 1/2 to 1/1
It should be in the range of 00.

【0014】ここで、ドクタリングの繰り返しによる凹
部の欠けを防止するために凹部のエッジ部の角を丸める
場合には、1回目のエッチング量(Ya 、すなわちエッ
チングの深さを意味する)と2回目のエッチング量(Y
b 、すなわちエッチングの深さを意味する)の比(Yb
/Ya )が1/10000〜1/1、好ましくは1/1
00〜1/2であるのが適当である。
Here, when the corners of the edge of the recess are rounded in order to prevent the recess from being chipped due to repeated doctoring, the first etching amount (Ya, which means the etching depth) and 2 Second etching amount (Y
b, which means the etching depth) (Yb
/ Ya) is 1/10000 to 1/1, preferably 1/1
It is suitable that it is from 00 to 1/2.

【0015】一方、凹部の開口幅の調整を行なう場合に
は、図2に示すように、1回目のエッチングを行ないエ
ッチングレジスト5を全て除去した基板の表面に対し
て、2回目のエッチングを行なう。このとき、1回目の
エッチングによって形成された凹部2が開口幅Wa を有
するとすると、2回目のエッチングの開口幅Wb は下記
式で表される。
On the other hand, when the opening width of the recess is adjusted, as shown in FIG. 2, the first etching is performed and the second etching is performed on the surface of the substrate from which the etching resist 5 has been completely removed. . At this time, assuming that the concave portion 2 formed by the first etching has the opening width Wa, the opening width Wb of the second etching is expressed by the following formula.

【0016】[0016]

【数2】Wb = Wa + Sb ─(3) ここで、Sb はサイドエッチング量であって、下記式で
表される。
## EQU2 ## Wb = Wa + Sb- (3) where Sb is the side etching amount and is represented by the following formula.

【0017】[0017]

【数3】Sb = k × Yb ─(4) Yb :2回目のエッチングのエッチング量 k :サイドエッチング率(定数) (3)および(4)式から、2回目のエッチング時のサ
イドエッチング量Sbを変えることにより、種々の開口
幅Wb を有する凹部6を簡単に作製できることがわか
る。
## EQU00003 ## Sb = k.times.Yb-(4) Yb: Etching amount of second etching k: Side etching rate (constant) From equations (3) and (4), side etching amount Sb of second etching. It is understood that the concave portions 6 having various opening widths Wb can be easily manufactured by changing

【0018】2回目のサイドエッチング量Sb 、従って
2回目のエッチング量Yb は、目的とする開口幅Wb に
応じて任意に設定可能であり、とくに制限されるもので
はないが、基板1の厚さや強度などを考慮して、2回目
のサイドエッチング量Sb は通常、0.1〜100μ
m、好ましくは1〜50μmであるのが適当である。
The side etching amount Sb of the second time, that is, the etching amount Yb of the second time can be arbitrarily set according to the target opening width Wb and is not particularly limited, but the thickness of the substrate 1 and Considering the strength, the second side etching amount Sb is usually 0.1 to 100 μm.
m, preferably 1 to 50 μm.

【0019】[0019]

【実施例】以下に本発明の実施例を示す。 (凹部のエッジ部を丸めた凹版の製造例) 実施例1 ソーダライムガラス基板の表面にクロム膜のエッチング
レジスト(厚さ1000A)を形成し、印刷パターンで
あるストライプパターン(幅100μm)をレーザー光
で形成した。この基板を23℃に保った腐食液(フッ酸
と硫酸の混合水溶液、pH=1〜2)を用いて、エッチ
ング量(Ya )が8μmになるように、1回目のエッチ
ングを10分間行なった。次いで、基板からエッチング
レジストを除去し、1回目のときの1/1000の濃度
にした腐食液で2回目のエッチングを10分間行ない、
凹版を得た。 実施例2 ソーダライムガラス基板に、実施例1と同様にして、エ
ッチングレジストを形成し、ストライプパターンを形成
して1回目のエッチングを行なった。次いで、基板から
エッチングレジストを除去し、1回目のときの1/10
の濃度にした腐食液で2回目のエッチングを10分間行
ない、凹版を得た。 実施例3 ソーダライムガラス基板に、実施例1と同様にして、エ
ッチングレジストを形成し、ストライプパターンを形成
して1回目のエッチングを行なった。次いで、基板から
エッチングレジストを除去し、1回目のときの1/10
の濃度にした腐食液で2回目のエッチングを25分間行
ない、凹版を得た。 実施例4 ソーダライムガラス基板に、実施例1と同様にして、エ
ッチングレジストを形成し、ストライプパターンを形成
して1回目のエッチングを行なった。次いで、基板から
エッチングレジストを除去し、1回目のときの1/10
の濃度にした腐食液で2回目のエッチングを50分間行
ない、凹版を得た。 実施例5 ソーダライムガラス基板に、実施例1と同様にして、エ
ッチングレジストを形成し、ストライプパターンを形成
して1回目のエッチングを行なった。次いで、基板から
エッチングレジストを除去し、1回目のときの1/10
の濃度にした腐食液で2回目のエッチングを100分間
行ない、凹版を得た。 実施例6 ソーダライムガラス基板に、実施例1と同様にして、エ
ッチングレジストを形成し、ストライプパターンを形成
して1回目のエッチングを行なった。次いで、基板から
エッチングレジストを除去し、1回目のときの1/10
の濃度にした腐食液で2回目のエッチングを200分間
行ない、凹版を得た。 比較例1 ソーダライムガラス基板に、実施例1と同様にして、エ
ッチングレジストを形成し、ストライプパターンを形成
して1回目のエッチングを行なった。次いで、基板から
エッチングレジストを除去して凹版を得た。 (凹部のエッジ部を丸めた凹版の評価)本発明の実施例
1〜6および比較例で得た凹版について、2回目のエッ
チング後の凹版の形状とドクタリング試験によるエッジ
部の欠けの発生を調べた。ドクタリング試験のドクター
刃にはスウェーデン鋼を用い、合計100000回のド
クタリングのうち、1000回毎にエッジ部の状態を調
べた。これらの結果を表1に示す。
EXAMPLES Examples of the present invention will be shown below. (Production Example of Intaglio Plate with Rounded Edges of Recesses) Example 1 A chrome film etching resist (thickness: 1000 A) was formed on the surface of a soda lime glass substrate, and a stripe pattern (width: 100 μm), which is a printing pattern, was formed by laser light. Formed by. The first etching was performed for 10 minutes using a corrosive solution (hydrofluoric acid / sulfuric acid mixed solution, pH = 1 to 2) kept at 23 ° C. so that the etching amount (Ya) was 8 μm. . Next, the etching resist is removed from the substrate, and the second etching is performed for 10 minutes with a corrosive solution having a concentration of 1/1000 of the first etching,
I got an intaglio. Example 2 An etching resist was formed on a soda lime glass substrate in the same manner as in Example 1, a stripe pattern was formed, and the first etching was performed. Next, the etching resist is removed from the substrate, and 1/10 of the first time is removed.
The second etching was performed for 10 minutes with the corrosive liquid having the concentration of, to obtain an intaglio plate. Example 3 An etching resist was formed on a soda lime glass substrate in the same manner as in Example 1, a stripe pattern was formed, and the first etching was performed. Next, the etching resist is removed from the substrate, and 1/10 of the first time is removed.
The second etching was performed for 25 minutes with the corrosive liquid having the concentration of, to obtain an intaglio plate. Example 4 An etching resist was formed on a soda lime glass substrate in the same manner as in Example 1, a stripe pattern was formed, and the first etching was performed. Next, the etching resist is removed from the substrate, and 1/10 of the first time is removed.
The second etching was performed for 50 minutes with the corrosive liquid having the concentration of, to obtain an intaglio plate. Example 5 An etching resist was formed on a soda lime glass substrate in the same manner as in Example 1, a stripe pattern was formed, and the first etching was performed. Next, the etching resist is removed from the substrate, and 1/10 of the first time is removed.
The second etching was performed for 100 minutes with the corrosive solution having the concentration of, to obtain an intaglio plate. Example 6 An etching resist was formed on a soda lime glass substrate in the same manner as in Example 1, a stripe pattern was formed, and the first etching was performed. Next, the etching resist is removed from the substrate, and 1/10 of the first time is removed.
The second etching was performed for 200 minutes with the corrosive solution having the concentration of, to obtain an intaglio plate. Comparative Example 1 An etching resist was formed on a soda lime glass substrate in the same manner as in Example 1, a stripe pattern was formed, and the first etching was performed. Then, the etching resist was removed from the substrate to obtain an intaglio plate. (Evaluation of Intaglio Plates with Rounded Edges of Recesses) Regarding the intaglio plates obtained in Examples 1 to 6 and Comparative Example of the present invention, the shape of the intaglio plate after the second etching and the occurrence of chipping of the edge part due to the doctoring test were observed. Examined. Swedish steel was used for the doctor blade of the doctoring test, and the state of the edge portion was examined every 1000 times out of a total of 100,000 times of doctoring. The results are shown in Table 1.

【0020】[0020]

【表1】 [Table 1]

【0021】(表中のそれぞれの項目の内容を以下に示
す。 「凹版の形状」:2回目のエッチング後における凹版の
形状を示す。 「上面」:凹版の表面の平滑性を十点平均粗さ(Rz)
で示す。 〇:十分に平滑(Rz<0.1μm) △:やや粗い(0.1μm≦Rz<0.3μm) ×:粗い(Rz≧0.3μm) 「深さ」:凹部内の25個の点で測定した凹部の深さの
ばらつきを標準偏差(σ)で示す。
(The contents of each item in the table are shown below. "Shape of intaglio": Shows the shape of the intaglio after the second etching. "Upper surface": Smoothness of the surface of the intaglio with a ten-point average roughness. Sa (Rz)
Indicate. ◯: Sufficiently smooth (Rz <0.1 μm) Δ: Slightly rough (0.1 μm ≦ Rz <0.3 μm) ×: Rough (Rz ≧ 0.3 μm) “Depth”: at 25 points in the recess The standard deviation (σ) shows the variation in the measured depth of the recess.

【0022】〇:(σ<0.1μm) △:(0.1μm≦σ<0.3μm) ×:(σ≧0.3μm) 「底面」:凹部の底面の平滑性を十点平均粗さ(Rz)
で示す。〇、△、×は、「上面」と同じである。
◯: (σ <0.1 μm) Δ: (0.1 μm ≦ σ <0.3 μm) ×: (σ ≧ 0.3 μm) “Bottom surface”: The smoothness of the bottom surface of the recess is the ten-point average roughness. (Rz)
Indicate. ◯, Δ, and x are the same as the “top surface”.

【0023】「直線性」:エッジ部の直線性の乱れを示
す。 〇:乱れなし △:若干の乱れあり ×:エッジ部の丸め前の形状が保持されていない 「欠けが生じた回数」:エッジ部に欠けが生じたときの
ドクタリングの回数を示す。) (凹部の開口幅の調整例) 実施例7 ソーダライムガラス基板の表面にクロム膜のエッチング
レジスト(厚さ1000A)を形成し、印刷パターンで
あるストライプパターン(幅110μm)をレーザー光
で形成した。この基板を23℃に保った腐食液(フッ酸
と硫酸の混合水溶液、pH=1〜2)を用いて、エッチ
ング量(Ya )が8μmになるように、1回目のエッチ
ングを10分間行なった。次いで、基板からエッチング
レジストを除去し、エッチング能力が1回目のときの1
/10である腐食液を用いて、エッチング量(Yb )が
0.8mになるように2回目のエッチングを10分間行
ない、凹版を得た。 実施例8 ソーダライムガラス基板に、実施例7と同様にして、エ
ッチングレジストを形成し、ストライプパターンを形成
して1回目のエッチングを行なった。次いで、基板から
エッチングレジストを除去し、エッチング能力が1回目
のときの1/10である腐食液で2回目のエッチングを
20分間行ない、凹版を得た。 実施例9 ソーダライムガラス基板に、実施例7と同様にして、エ
ッチングレジストを形成し、ストライプパターンを形成
して1回目のエッチングを行なった。次いで、基板から
エッチングレジストを除去し、エッチング能力が1回目
のときの1/10である腐食液で2回目のエッチングを
50分間行ない、凹版を得た。 実施例10 ソーダライムガラス基板に、実施例7と同様にして、エ
ッチングレジストを形成し、ストライプパターンを形成
して1回目のエッチングを行なった。次いで、基板から
エッチングレジストを除去し、エッチング能力が1回目
のときの1/10である腐食液で2回目のエッチングを
100分間行ない、凹版を得た。 実施例11 ソーダライムガラス基板に、実施例7と同様にして、エ
ッチングレジストを形成し、ストライプパターンを形成
して1回目のエッチングを行なった。次いで、基板から
エッチングレジストを除去し、エッチング能力が1回目
のときの1/10である腐食液で2回目のエッチングを
200分間行ない、凹版を得た。 (開口幅を調整した凹版の評価)本発明の実施例7〜1
1で得た凹版について、2回目のエッチングによって凹
部の開口幅を調整した後の凹版の形状を調べた。その結
果を表2に示す。
"Linearity": Indicates the irregularity of the linearity of the edge portion. ◯: No turbulence Δ: Slight turbulence ×: The shape before rounding of the edge part is not retained “Number of times of chipping”: Indicates the number of times of doctoring when the edge part is chipped. (Example of Adjusting Opening Width of Recess) Example 7 An etching resist (thickness: 1000 A) of a chrome film was formed on the surface of a soda lime glass substrate, and a stripe pattern (width: 110 μm) that was a printing pattern was formed by laser light. . The first etching was performed for 10 minutes using a corrosive solution (hydrofluoric acid / sulfuric acid mixed solution, pH = 1 to 2) kept at 23 ° C. so that the etching amount (Ya) was 8 μm. . Next, the etching resist is removed from the substrate, and the etching ability is
The second etching was performed for 10 minutes so that the etching amount (Yb) was 0.8 m using a corrosive liquid of / 10 to obtain an intaglio plate. Example 8 An etching resist was formed on a soda lime glass substrate in the same manner as in Example 7, a stripe pattern was formed, and the first etching was performed. Then, the etching resist was removed from the substrate, and the second etching was performed for 20 minutes with a corrosive liquid having an etching capacity of 1/10 that of the first etching to obtain an intaglio plate. Example 9 An etching resist was formed on a soda lime glass substrate in the same manner as in Example 7, a stripe pattern was formed, and the first etching was performed. Then, the etching resist was removed from the substrate, and the second etching was performed for 50 minutes with a corrosive liquid having an etching ability of 1/10 that of the first etching to obtain an intaglio plate. Example 10 An etching resist was formed on a soda lime glass substrate in the same manner as in Example 7, a stripe pattern was formed, and the first etching was performed. Then, the etching resist was removed from the substrate, and the second etching was performed for 100 minutes with a corrosive liquid having an etching ability of 1/10 that of the first etching to obtain an intaglio plate. Example 11 An etching resist was formed on a soda lime glass substrate in the same manner as in Example 7, a stripe pattern was formed, and the first etching was performed. Then, the etching resist was removed from the substrate, and the second etching was performed for 200 minutes with a corrosive liquid having an etching ability of 1/10 that of the first etching to obtain an intaglio plate. (Evaluation of intaglio with adjusted opening width) Examples 7 to 1 of the present invention
Regarding the intaglio obtained in No. 1, the shape of the intaglio after adjusting the opening width of the indent by the second etching was examined. The results are shown in Table 2.

【0024】[0024]

【表2】 [Table 2]

【0025】(表中、「凹版の形状」の欄の「上面」、
「深さ」、「底面」、「直線性」およびその欄中の記号
の意味は、前記の表1の場合と同じである。)
(In the table, "top surface" in the column "shape of intaglio",
The meanings of “depth”, “bottom surface”, “linearity” and symbols in the columns are the same as in the case of Table 1 above. )

【0026】[0026]

【発明の効果】本発明によれば、1回目のエッチングに
て凹部を形成した後、凹版表面からエッチングレジスト
を除去して2回目のエッチングを行なうために、ドクタ
リングの繰り返しによる凹部のエッジ部の欠けが防止さ
れ、凹版の耐久性を高めることができる。
According to the present invention, after the concave portion is formed by the first etching, the etching resist is removed from the surface of the intaglio plate and the second etching is performed, so that the edge portion of the concave portion is formed by repeating the doctoring. It is possible to prevent chipping of the intaglio and enhance the durability of the intaglio plate.

【0027】また、本発明によれば、2回目のエッチン
グによって、凹部と表面が同時にエッチングされるため
に、凹版凹部の深さを変えずに開口部の幅を広げること
ができる。その結果、凹部の開口幅を任意に調整するこ
とが可能となり、開口幅に応じて多くの印刷パターンの
原版を作製する必要がなく、コストダウンを図ることが
できる。
Further, according to the present invention, since the recess and the surface are simultaneously etched by the second etching, the width of the opening can be increased without changing the depth of the intaglio recess. As a result, it is possible to arbitrarily adjust the opening width of the concave portion, and it is not necessary to prepare an original plate having many printing patterns according to the opening width, and the cost can be reduced.

【0028】かかる本発明の方法によって得られる印刷
用凹版は、高密度プリント基板による電子回路やレジス
トの印刷、または液晶カラーフィルターの印刷などの高
い寸法精度を要する精密印刷に好適に使用することがで
き、大量印刷の用途にも耐えうるため、工業的価値は極
めて高い。
The intaglio plate for printing obtained by the method of the present invention is suitable for use in precision printing requiring high dimensional accuracy such as printing of electronic circuits and resists on a high-density printed circuit board, or printing of liquid crystal color filters. It can be used for high-volume printing and has an extremely high industrial value.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】同図(a)は、本発明の製造方法の一実施例の
工程のうち、1回目のエッチング後の凹部の形状を示す
断面図、同図(b)は、2回目のエッチング後の凹部の
形状を示す断面図である。
1A is a cross-sectional view showing the shape of a recess after the first etching in the process of one embodiment of the manufacturing method of the present invention, and FIG. 1B is the second etching. It is sectional drawing which shows the shape of the recessed part after.

【図2】同図(a)は、本発明の製造方法の一実施例の
工程のうち、エッチングレジスト上に印刷パターンを形
成したときの凹版の断面図、同図(b)は、1回目のエ
ッチングを行なったときの凹版の断面図、同図(c)
は、1回目のエッチング後にエッチングレジストを除去
したときの凹版の断面図、同図(d)は、エッチングレ
ジストの除去後、凹部の開口幅を調節するために2回目
のエッチングを行なったときの断面図である。
FIG. 2A is a cross-sectional view of an intaglio plate when a printing pattern is formed on an etching resist in the process of one embodiment of the manufacturing method of the present invention, and FIG. Sectional view of the intaglio when the etching of FIG.
Is a cross-sectional view of the intaglio when the etching resist is removed after the first etching, and FIG. 6D shows a case where the second etching is performed to adjust the opening width of the recess after removing the etching resist. FIG.

【図3】基板にガラス基板を用いたときの凹版の断面図
である。
FIG. 3 is a cross-sectional view of an intaglio plate when a glass substrate is used as the substrate.

【図4】凹部にインキを充填するドクタリング工程を示
す凹版の断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view of an intaglio plate showing a doctoring process of filling ink in recesses.

【図5】ドクタリング工程によってエッジ部に欠けが生
じた凹版の断面図である。
FIG. 5 is a cross-sectional view of an intaglio having a chipped edge portion due to a doctoring process.

【図6】エッチング時のサイドエッチングを示す断面図
である。
FIG. 6 is a cross-sectional view showing side etching during etching.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1─基板 2─凹部 3、3’─エッジ部 4─凹版 1-Substrate 2-concave 3, 3'-edge part 4-Intaglio

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭55−124234(JP,A) 特開 昭55−124233(JP,A) 特開 昭53−61974(JP,A) 特開 平5−185327(JP,A) 特開 平4−373126(JP,A) 特開 平3−87383(JP,A) 特開 平3−76158(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B41C 1/02 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) Reference JP-A-55-124234 (JP, A) JP-A-55-124233 (JP, A) JP-A-53-61974 (JP, A) JP-A-5- 185327 (JP, A) JP-A-4-373126 (JP, A) JP-A-3-87383 (JP, A) JP-A-3-76158 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) B41C 1/02

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】基板表面にエッチングレジストを形成し
て、印刷パターンに対応する部位のエッチングレジスト
を除去した後、腐食液を用いた1回目のエッチングにて
基板の表面に印刷パターンの凹部を形成し、次いで基板
の表面からエッチングレジストを除去した上で、腐食液
を用いた2回目のエッチングを行なうことを特徴とする
印刷用凹版の製造方法。
1. An etching resist is formed on the surface of a substrate.
The etching resist of the part corresponding to the print pattern.
After removal of the corrosion solution to form a recess of the print pattern by first etching the surface of the substrate using the, then after removing the etching resist from the surface of the substrate, etchant
A method of manufacturing an intaglio plate for printing, which comprises performing a second etching using.
【請求項2】1回目のエッチング量(Ya)と2回目の
エッチング量(Yb)との比(Yb/Ya)が1/10
00〜1/2である請求項1記載の印刷用凹版の製造方
法。
2. The ratio (Yb / Ya) of the first etching amount (Ya) and the second etching amount (Yb) is 1/10.
The method for producing an intaglio plate for printing according to claim 1, wherein the intaglio is from 0 to 1/2.
【請求項3】2回目のエッチングに用いる腐食液のエッ
チング能力が1回目のエッチングに用いる腐食液のそれ
と同等またはそれよりも低い請求項1記載の印刷用凹版
の製造方法。
3. The method for producing an intaglio plate for printing according to claim 1, wherein the etching ability of the corrosive liquid used for the second etching is equal to or lower than that of the corrosive liquid used for the first etching.
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