JP3468110B2 - Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component - Google Patents
Manufacturing method of multilayer ceramic electronic componentInfo
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Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば積層コンデ
ンサなどの積層セラミック電子部品の製造方法に関し、
より詳細には、セラミック焼結体端面の形状を工夫する
ことにより外部電極表面が平坦化された積層セラミック
電子部品の製造方法に関する。The present invention relates to, for example relates to a manufacturing method of a multilayer ceramic electronic component, such as a multilayer capacitor,
More particularly, to a method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component of the external electrode surface is flattened by devising the shape of the sintered ceramic end face.
【0002】[0002]
【従来の技術】積層コンデンサなどの電子部品では、電
子部品素体の両端に外部電極が形成されている。図3
は、従来の積層コンデンサをプリント回路基板上に実装
した状態を示す断面図である。2. Description of the Related Art In electronic parts such as multilayer capacitors, external electrodes are formed on both ends of an electronic part body. Figure 3
FIG. 7 is a sectional view showing a state in which a conventional multilayer capacitor is mounted on a printed circuit board.
【0003】積層コンデンサ51は、誘電体セラミック
スよりなり、直方体状のセラミック焼結体52を有す
る。セラミック焼結体52の内部には、内部電極53〜
56がセラミック層を介して重なり合うように配置され
ている。内部電極53,55は、端面52aに引き出さ
れており、内部電極54,56は、端面52bに引き出
されている。端面52a,52bを覆うように外部電極
57,58が形成されている。The multilayer capacitor 51 is made of a dielectric ceramic and has a rectangular parallelepiped ceramic sintered body 52. Inside the ceramic sintered body 52, internal electrodes 53 to
56 are arranged so as to overlap with each other through the ceramic layer. The internal electrodes 53, 55 are drawn out to the end surface 52a, and the internal electrodes 54, 56 are drawn out to the end surface 52b. External electrodes 57 and 58 are formed so as to cover the end surfaces 52a and 52b.
【0004】外部電極57,58の形成は、導電ペース
トの塗布・焼き付けにより行われている。すなわち、セ
ラミック焼結体52を端面52a側から導電ペーストに
浸漬し、導電ペーストを付与し、乾燥させた後、焼き付
けることにより、外部電極57が形成されている。外部
電極58についても、同様の方法で形成されている。The external electrodes 57 and 58 are formed by applying and baking a conductive paste. That is, the external electrode 57 is formed by immersing the ceramic sintered body 52 in the conductive paste from the end face 52a side, applying the conductive paste, drying and baking. The external electrode 58 is also formed by the same method.
【0005】導電ペーストの焼き付けにより形成された
外部電極57,58では、端面52a,52bの中央部
分でその厚みが厚くなり、端面52a,52bと、上面
52c及び下面52dとのなす端縁部分、あるいは図示
されていない側面と端面52a,52bとのなす端縁部
分において、外部電極57,58の厚みが薄くなりがち
であった。すなわち、図3の矢印Aで示すように、上記
端縁部分においては、外部電極57,58の厚みが薄く
なりがちであった。In the external electrodes 57 and 58 formed by baking the conductive paste, the thickness becomes thicker at the central portions of the end surfaces 52a and 52b, and the edge portions formed by the end surfaces 52a and 52b and the upper surface 52c and the lower surface 52d, Alternatively, the thickness of the external electrodes 57 and 58 tends to be thin at the edge portions formed by the side surfaces (not shown) and the end surfaces 52a and 52b. That is, as shown by the arrow A in FIG. 3, the thickness of the external electrodes 57 and 58 tends to be thin at the edge portion.
【0006】端縁近傍において外部電極57,58の厚
みが薄くなると、外部電極57,58の外側にメッキ層
を形成したり、プリント回路基板59に実装するに際
し、メッキ液や半田フラックス等がセラミック焼結体5
2内に浸入し、特性が低下するおそれがある。When the thickness of the external electrodes 57, 58 becomes thin near the edges, when a plating layer is formed on the outside of the external electrodes 57, 58 or when the external electrodes 57, 58 are mounted on the printed circuit board 59, the plating solution, the solder flux, etc. are made into ceramics. Sintered body 5
There is a possibility that it will penetrate into the inside of the No. 2 and deteriorate the characteristics.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】そこで、従来、セラミ
ック焼結体52を得た後に、バレル研磨などにより、セ
ラミック焼結体52の端縁部分を図3に示されているよ
うに丸めることにより、上記端縁部分における外部電極
57,58の厚みを厚くする方法が採用されている。し
かしながら、図3に示されているように、セラミック焼
結体52の端縁部分を研磨により丸めたとしても、依然
として、端縁部分においては、外部電極57,58の厚
みは十分に厚くならず、場合によっては、メッキ液、湿
気あるいは半田フラックスなどの浸入により、特性が低
下することがあった。Therefore, conventionally, after the ceramic sintered body 52 is obtained, the edge portion of the ceramic sintered body 52 is rounded by barrel polishing or the like as shown in FIG. The method of increasing the thickness of the external electrodes 57 and 58 at the edge portions is adopted. However, as shown in FIG. 3, even if the edge portion of the ceramic sintered body 52 is rounded by polishing, the thickness of the external electrodes 57 and 58 is still not sufficiently thick at the edge portion. In some cases, the characteristics may be deteriorated due to the penetration of the plating solution, moisture, solder flux, or the like.
【0008】また、近年、積層コンデンサを初めとし
て、電子部品の小型化が一層進行している。従って、セ
ラミック焼結体52についても、より一層小さくなって
きている。その結果、例えば、図3に示すように、プリ
ント回路基板59上の電極ランド59a,59bに半田
60,61を用いて積層コンデンサ51を実装する場
合、半田60,61が固化する前に、一方の半田61の
表面張力により、矢印Bで示すようにセラミック焼結体
52が立ち上がってしまうことがあった。特に、上記の
ようにセラミック焼結体52の端面部分を丸めた場合、
上記立ち上がり、すなわちツームストーン現象と称され
ている現象が生じ易かった。In recent years, electronic components such as multilayer capacitors have been further miniaturized. Therefore, the ceramic sintered body 52 is also becoming smaller. As a result, for example, as shown in FIG. 3, when the multilayer capacitors 51 are mounted on the electrode lands 59a and 59b on the printed circuit board 59 by using the solders 60 and 61, one of them is required before the solders 60 and 61 are solidified. Due to the surface tension of the solder 61, the ceramic sintered body 52 sometimes stood up as shown by the arrow B. In particular, when the end surface portion of the ceramic sintered body 52 is rounded as described above,
The above-mentioned rising, that is, a phenomenon called a tombstone phenomenon was likely to occur.
【0009】本発明の目的は、小型化を進めた場合で
も、ツームストーン現象の発生を抑制することができ、
半田などを用いて実装する際に、プリント回路基板など
に対する電気的接続の信頼性を高め得る積層セラミック
電子部品の製造方法を提供することにある。The object of the present invention is to suppress the occurrence of the tombstone phenomenon even when miniaturization is promoted,
When implemented using solder to provide an electrical connection method of reliability may multilayer ceramic electronic component that enhances production for such as a printed circuit board.
【0010】[0010]
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明
は、第1,第2の端面が中間高さ位置でへこんだ凹状面
とされており、内部においてセラミック層を介して厚み
方向に重なり合うように複数の内部電極が配置されてお
り、端縁が丸められたセラミック焼結体を得るステップ
と、前記セラミック焼結体を、第1,第2の各端縁側か
ら導電ペーストに浸漬し、引き上げることにより、第
1,第2の端面上において外表面が平坦な第1,第2の
外部電極を形成するステップとを備える、積層セラミッ
ク電子部品の製造方法である。Means for Solving the Problems] inventions of claim 1
Is a concave surface in which the first and second end faces are dented at the intermediate height position.
It is said that the thickness is inside the ceramic layer.
Multiple internal electrodes are arranged so that
To obtain a ceramic sintered body with rounded edges
And whether the ceramic sintered body is on the side of each of the first and second edges.
Dip it in a conductive paste and pull it up.
First and second flat outer surfaces on the first and second end faces
Forming an external electrode.
Click Ru manufacturing method der of electronic components.
【0011】請求項2に記載の発明に係る積層セラミッ
ク電子部品の製造方法では、上記セラミック焼結体を得
るステップが、一方主面に内部電極が形成された複数の
セラミックグリーンシートと、内部電極が形成されてい
ない無地のセラミックグリーンシートとを用意する工程
と、前記内部電極が形成された複数のセラミックグリー
ンシート積層部分の上下に前記無地のセラミックグリー
ンシートが位置するように内部電極が形成されたセラミ
ックグリーンシート及び無地セラミックグリーンシート
を積層して積層体を得る工程と、前記積層体を焼成する
ことによりセラミック焼結体を得る工程とを備え、前記
内部電極が形成されたセラミックグリーンシートとし
て、無地のセラミックグリーンシートよりも柔らかいセ
ラミックグリーンシートを用い、かつ前記焼成に先立ち
積層体の端面を研磨剤により研磨する工程をさらに備え
ることを特徴とする。[0011]ContractRequirementTwoAccording to the invention described in 1.
The manufacturing method of electronic partssoIsObtain the above ceramic sintered body
StepOn the other hand, a plurality of internal electrodes are formed on the main surface
Ceramic green sheet and internal electrodes are formed
The process of preparing a plain green ceramic green sheet
And a plurality of ceramic grees on which the internal electrodes are formed.
Above and below the laminated sheet
With the internal electrodes so that the
Green sheet and plain ceramic green sheet
To obtain a laminate and firing the laminate.
And a step of obtaining a ceramic sintered body by
As a ceramic green sheet with internal electrodes
Softer than plain ceramic green sheets.
Using Lamic green sheet and before firing
Further comprises a step of polishing the end faces of the laminated body with an abrasive.
It is characterized by
【0012】請求項3に記載の発明に係る積層セラミッ
ク電子部品の製造方法では、上記セラミック焼結体を得
るステップが、一方主面に内部電極が形成された複数の
セラミックグリーンシートと、内部電極が形成されてい
ない無地のセラミックグリーンシートとを用意する工程
と、前記内部電極が形成された複数のセラミックグリー
ンシート積層部分の上下に前記無地のセラミックグリー
ンシートが位置するように内部電極が形成されたセラミ
ックグリーンシート及び無地セラミックグリーンシート
を積層して積層体を得る工程と、前記積層体を焼成する
ことによりセラミック焼結体を得る工程とを備え、前記
無地のセラミックグリーンシートとして、焼成時の収縮
率が、内部電極が形成されるセラミックグリーンシート
の収縮率よりも小さいセラミックグリーンシートを用い
ることを特徴とする。In the method for manufacturing a monolithic ceramic electronic component according to the third aspect of the present invention, the ceramic sintered body is obtained.
A step of preparing a plurality of ceramic green sheets having internal electrodes formed on one main surface thereof and a plain ceramic green sheet having no internal electrodes formed thereon, and a plurality of ceramics having the internal electrodes formed therein. A step of stacking a ceramic green sheet and an uncoated ceramic green sheet having internal electrodes formed so that the plain ceramic green sheets are located above and below the green sheet stacking portion to obtain a stack, and firing the stack. And a step of obtaining a ceramic sintered body according to claim 1, wherein a ceramic green sheet having a shrinkage rate during firing that is smaller than that of the ceramic green sheet on which the internal electrodes are formed is used as the plain ceramic green sheet. And
【0013】請求項4に記載の発明では、内部電極が形
成されるセラミックグリーンシートとして、無地のセラ
ミックグリーンシートに比べてガラスフリット含有割合
が高いセラミックグリーンシートが用いられる。According to the fourth aspect of the invention, as the ceramic green sheet on which the internal electrodes are formed, a ceramic green sheet having a higher glass frit content than the plain ceramic green sheet is used.
【0014】請求項5に記載の発明では、内部電極が形
成されるセラミックグリーンシートとして、無地のセラ
ミックグリーンシートに比べて可塑剤含有割合が高いセ
ラミックグリーンシートが用いられる。According to the fifth aspect of the invention, as the ceramic green sheet on which the internal electrodes are formed, a ceramic green sheet having a plasticizer content higher than that of the plain ceramic green sheet is used.
【0015】[0015]
【発明の実施の形態】図1は、本発明に係る積層セラミ
ック電子部品の一実施例としての積層コンデンサを示す
断面図である。1 is a sectional view showing a monolithic capacitor as an embodiment of a monolithic ceramic electronic component according to the present invention.
【0016】積層コンデンサ1は、誘電体セラミックス
よりなるセラミック焼結体2を有する。セラミック焼結
体2は、略直方体状の形状を有する。すなわち、セラミ
ック焼結体2は、上面2a、下面2b及び対向し合う一
対の端面2c,2d並びに図示されていない一対の側面
を有する。The multilayer capacitor 1 has a ceramic sintered body 2 made of dielectric ceramics. The ceramic sintered body 2 has a substantially rectangular parallelepiped shape. That is, the ceramic sintered body 2 has an upper surface 2a, a lower surface 2b, a pair of opposing end surfaces 2c and 2d, and a pair of side surfaces (not shown).
【0017】もっとも、第1,第2の端面2c,2d
は、中間高さ位置においてへこんだ凹状面とされてい
る。また、セラミック焼結体2の端面2c,2dと、上
面2a、下面2b及び一対の側面とのなす端縁部分が丸
められている。すなわち、図1に矢印Aで示すように、
例えば、端面2cと上面2aとのなす端縁部分が丸めら
れている。Of course, the first and second end faces 2c, 2d
Is a recessed concave surface at the intermediate height position. Further, the end faces 2c, 2d of the ceramic sintered body 2, the upper face 2a, the lower face 2b, and the pair of side faces are rounded. That is, as shown by the arrow A in FIG.
For example, the edge portion formed by the end surface 2c and the upper surface 2a is rounded.
【0018】セラミック焼結体2内には、複数の内部電
極3〜6が、セラミック層を介して厚み方向に重なり合
うように配置されている。内部電極3,5は、端面2c
に露出するように引き出されている。他方、内部電極
4,6は、第2の端面2dに露出するように引き出され
ている。In the ceramic sintered body 2, a plurality of internal electrodes 3 to 6 are arranged so as to overlap each other in the thickness direction with a ceramic layer interposed therebetween. The internal electrodes 3 and 5 have end faces 2c
Is exposed to expose. On the other hand, the internal electrodes 4 and 6 are drawn out so as to be exposed at the second end surface 2d.
【0019】端面2c,2dを覆うように、それぞれ、
第1,第2の外部電極7,8が形成されている。外部電
極7,8は、端面2c,2dだけでなく、セラミック焼
結体2の上面2a、下面2b及び一対の側面にも至るよ
うに形成されている。To cover the end faces 2c and 2d, respectively,
First and second external electrodes 7 and 8 are formed. The external electrodes 7 and 8 are formed so as to reach not only the end faces 2c and 2d but also the upper face 2a, the lower face 2b, and the pair of side faces of the ceramic sintered body 2.
【0020】上記外部電極7,8は、セラミック焼結体
2を得た後に、導電ペーストを塗布し、焼き付けること
により形成されている。すなわち、セラミック焼結体2
を端面2c側から導電ペーストに浸漬し、引き上げるこ
とにより、導電ペーストを端面2cを覆うように付着さ
せ、しかる後、端面2dにも同様にして導電ペーストを
付着させる。しかる後、導電ペーストを焼き付けること
により、外部電極7,8が形成されている。The external electrodes 7 and 8 are formed by applying a conductive paste and baking after obtaining the ceramic sintered body 2. That is, the ceramic sintered body 2
Is immersed in the conductive paste from the side of the end face 2c and pulled up to adhere the conductive paste so as to cover the end face 2c, and thereafter, the conductive paste is similarly attached to the end face 2d. After that, the external electrodes 7 and 8 are formed by baking a conductive paste.
【0021】積層コンデンサ1の特徴は、端面2c,2
dが、中間高さ位置においてへこんだ凹状面とされてい
ることにあり、それによって、外部電極7,8の端面2
c,2dを覆っている部分の外表面7a,8aが平坦と
されている。好ましくは、外部電極7,8の外表面7
a,8aが、セラミック焼結体2の端面2c,2dより
平坦とされる。The characteristic of the multilayer capacitor 1 is that the end faces 2c, 2
d is that it is a concave concave surface at the intermediate height position, whereby the end surfaces 2 of the external electrodes 7 and 8 are formed.
The outer surfaces 7a and 8a of the portions covering c and 2d are made flat. Preferably, the outer surfaces 7 of the outer electrodes 7, 8
a and 8a are made flatter than the end faces 2c and 2d of the ceramic sintered body 2.
【0022】すなわち、外部電極7,8の形成に際して
は、上記のようにして導電ペーストを端面2c,2dを
覆うように付着させる。この場合、端面が平坦である場
合には、図3に示した従来の積層コンデンサ51の場合
のように、導電ペーストからセラミック焼結体を引き上
げた際に、端面の中央で導電ペーストの厚みが厚くな
る。That is, when forming the external electrodes 7 and 8, the conductive paste is attached so as to cover the end faces 2c and 2d as described above. In this case, when the end face is flat, when the ceramic sintered body is pulled up from the conductive paste, as in the case of the conventional multilayer capacitor 51 shown in FIG. 3, the thickness of the conductive paste is at the center of the end face. Get thicker.
【0023】これに対して、本実施例では、端面2c,
2dが凹状面とされているので、導電ペーストに端面2
cまたは端面2dを浸漬し、引き上げた場合、端面2
c,2dの中間高さ位置において導電ペーストが厚く付
着するが、凹状面とされている分だけ導電ペーストの外
表面が平坦化される。従って、焼き付け後に外部電極
7,8の外表面7a,8aの平坦性が高められる。On the other hand, in this embodiment, the end faces 2c,
Since 2d is a concave surface, the end surface 2
When d or end face 2d is dipped and pulled up, end face 2
The conductive paste adheres thickly at the intermediate height positions of c and 2d, but the outer surface of the conductive paste is flattened by the amount of the concave surface. Therefore, the flatness of the outer surfaces 7a, 8a of the external electrodes 7, 8 is improved after baking.
【0024】よって、小型化に伴い前述したツームスト
ーン現象が生じ易くなるが、本実施例の積層コンデンサ
1では、外部電極7,8の外表面7a,8aが平坦化さ
れるので、ツームストーン現象の発生を効果的に抑制す
ることができる。Therefore, the tombstone phenomenon described above is more likely to occur with the downsizing, but in the multilayer capacitor 1 of this embodiment, the outer surfaces 7a and 8a of the external electrodes 7 and 8 are flattened, so that the tombstone phenomenon occurs. Can be effectively suppressed.
【0025】なお、上記凹状面とする程度については、
導電ペーストの付着力によっても異なるため、一義的に
は定め得ないが、好ましくは、上記ツームストーン現象
を効果的に抑制するには、内部電極3〜6が積層されて
いる部分において外部電極7,8の外表面が平坦となる
ように決定される。Regarding the degree of the concave surface,
Although it cannot be uniquely determined because it depends on the adhesive force of the conductive paste, it is preferable to effectively suppress the above-mentioned tombstone phenomenon by forming the external electrode 7 in the portion where the internal electrodes 3 to 6 are laminated. , 8 are determined so that the outer surfaces thereof are flat.
【0026】また、上記凹状面の凹状の具体的な程度に
ついても、セラミック焼結体2の寸法などによって異な
るため一義的には定め得ないが、例えば、セラミック焼
結体2として、1.6×0.8×0.8mm以下の寸法
のものを用いる場合には、端面2c,2dの最外側端よ
りも最内側端が3μm以上、より好ましくは5μm以上
内側にへこんだ形状とされることが望ましく、それによ
って外部電極7,8の外表面7a,8aをより平坦とす
ることができる。The specific degree of the concave shape of the concave surface cannot be uniquely determined because it depends on the size of the ceramic sintered body 2 or the like. When using one having a size of × 0.8 × 0.8 mm or less, the innermost end of the end faces 2c and 2d should be 3 μm or more, more preferably 5 μm or more indented from the outermost end. Is desirable, which allows the outer surfaces 7a, 8a of the external electrodes 7, 8 to be made flatter.
【0027】上記のように、端面2c,2dを中間高さ
位置でへこんだ凹状面とする方法については、特に限定
されないが、以下の様々な方法を例示することができ
る。第1の方法としては、セラミック焼結体2を得るに
あたって、内部電極が上面に形成されるセラミックグリ
ーンシートとして、内部電極3〜6が積層されている部
分の上下に配置されている無地のセラミックグリーンシ
ートに比べて柔らかいセラミックグリーンシートを用
い、焼成に先立ち積層体の端面を研磨剤により研磨する
方法が挙げられる。すなわち、サンドブラストなどによ
り積層体を研磨した場合、内部電極が積層されている中
央のセラミックグリーンシートが相対的に柔らかいた
め、積層体端面の中間高さ位置部分が、上方及び下方部
分に比べてより多く研磨される。よって、焼成後に、端
面2c,2dを上記凹状面とすることができる。As described above, the method of making the end surfaces 2c, 2d concave by denting at the intermediate height position is not particularly limited, but the following various methods can be exemplified. As a first method, in obtaining the ceramic sintered body 2, plain ceramics which are arranged above and below a portion where the internal electrodes 3 to 6 are laminated as a ceramic green sheet having internal electrodes formed on the upper surface. A method of using a ceramic green sheet that is softer than that of a green sheet and polishing the end faces of the laminate with an abrasive prior to firing. That is, when the laminated body is polished by sandblasting or the like, since the central ceramic green sheet on which the internal electrodes are laminated is relatively soft, the intermediate height position portion of the end face of the laminated body is more than the upper and lower portions. Many are polished. Therefore, after firing, the end faces 2c and 2d can be formed into the concave surfaces.
【0028】上記のように、内部電極が積層されている
セラミックグリーンシートを、無地のセラミックグリー
ンシートよりも柔らかくする方法についても、種々の方
法を用い得るが、例えば、内部電極が形成されるセラミ
ックグリーンシート中の可塑剤含有割合を相対的に高く
する方法等が挙げられる。As described above, various methods can be used for making the ceramic green sheet on which the internal electrodes are laminated softer than the plain ceramic green sheet. For example, a ceramic on which the internal electrodes are formed can be used. Examples include a method of relatively increasing the plasticizer content in the green sheet.
【0029】第2の方法は、上記内部電極が形成される
セラミックグリーンシートに比べて、上記無地のセラミ
ックグリーンシートとして、焼成時の収縮率が小さいも
のを用いる。この場合には、焼成に先立って積層体を得
た段階では、その端面は平坦であるが、焼成することに
より、上記収縮率差により、端面2c,2dの中間高さ
位置がへこみ、端面2c,2dが凹状面とされる。In the second method, the plain ceramic green sheet, which has a smaller shrinkage rate during firing than the ceramic green sheet on which the internal electrodes are formed, is used. In this case, although the end face is flat at the stage of obtaining the laminated body prior to firing, the firing causes the intermediate height position of the end faces 2c and 2d to be dented due to the difference in shrinkage ratio, and the end face 2c , 2d are concave surfaces.
【0030】上記のように収縮率を異ならせる方法につ
いても様々な方法を用いることができる。例えば、内部
電極が形成されるセラミックグリーンシートにおけるガ
ラスフリット含有割合を、無地のセラミックグリーンシ
ートのガラスフリット含有割合よりも高くする方法、あ
るいは内部電極が形成されるセラミックグリーンシート
の可塑剤含有割合を、無地のセラミックグリーンシート
の可塑剤含有割合よりも高くする方法などを挙げること
ができる。Various methods can be used as the method for making the shrinkage ratio different as described above. For example, a method of increasing the glass frit content rate in the ceramic green sheet in which the internal electrodes are formed to be higher than the glass frit content rate in the plain ceramic green sheet, or the plasticizer content rate in the ceramic green sheet in which the internal electrodes are formed A method of increasing the content of the plasticizer in the plain ceramic green sheet may be used.
【0031】また、第3の方法として、セラミック焼結
体2を得た後に、セラミック焼結体2の端面2c,2d
の中間高さ位置部分を選択的に研磨し、端面2c,2d
を凹状面としてもよい。なお、端面2c,2dを凹状面
とする上述した各種方法は、適宜併用してもよい。As a third method, after obtaining the ceramic sintered body 2, the end faces 2c, 2d of the ceramic sintered body 2 are obtained.
Selectively polish the middle height position part of the end faces 2c, 2d
May be a concave surface. The above-mentioned various methods in which the end surfaces 2c and 2d are concave surfaces may be appropriately used in combination.
【0032】次に、具体的な実験例を説明することによ
り、上記積層コンデンサの製造方法を明らかにすると共
に、ツームストーン現象が効果的に抑制されることを具
体的に説明する。Next, a concrete experimental example will be described to clarify the method for manufacturing the above-mentioned multilayer capacitor and concretely explain that the tombstone phenomenon is effectively suppressed.
【0033】チタン酸バリウムを主成分とするセラミッ
ク粉末、ポリビニルブチラール系バインダ、有機溶剤及
び可塑剤としてのジオクチルフタレートを混合し、ジオ
クチルフタレート含有割合がセラミック粉末100重量
部に対して2.5重量部である、第1のセラミックスラ
リーを得た。Ceramic powder containing barium titanate as a main component, polyvinyl butyral binder, organic solvent and dioctyl phthalate as a plasticizer were mixed, and the dioctyl phthalate content was 2.5 parts by weight based on 100 parts by weight of ceramic powder. A first ceramic slurry was obtained.
【0034】次に、第1のセラミックスラリーと同様に
して、但し、ジオクチルフタレート含有割合がセラミッ
ク粉末100重量部に対して3.0重量部である、第2
のセラミックスラリーを用意した。Next, as in the case of the first ceramic slurry, except that the dioctyl phthalate content is 3.0 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the ceramic powder.
The ceramic slurry of was prepared.
【0035】上記第1のセラミックスラリーを用い、ド
クターブレード法により第1のセラミックグリーンシー
トを成形した。同様にして、第2のセラミックスラリー
を用い、第2のセラミックグリーンシートを成形した。
第1のセラミックグリーンシートの上面に、導電ペース
トをスクリーン印刷することにより、内部電極を形成し
た。Using the above first ceramic slurry, a first ceramic green sheet was formed by the doctor blade method. Similarly, a second ceramic green sheet was formed using the second ceramic slurry.
An internal electrode was formed by screen-printing a conductive paste on the upper surface of the first ceramic green sheet.
【0036】次に、図2(a)〜(d)に示す各第1,
第2のセラミックグリーンシートを積層し、厚み方向に
加圧することによりセラミック積層体を得た。すなわ
ち、図2(b)及び(c)に示す内部電極12,14が
印刷された第1のセラミックグリーンシート11,13
を交互に70枚積層し、上下に図2(a)及び(d)に
示す無地の第2のセラミックグリーンシート15,16
をそれぞれ15枚積層し、セラミック積層体を得た。Next, each of the first and the first shown in FIGS.
A second ceramic green sheet was laminated and pressed in the thickness direction to obtain a ceramic laminated body. That is, the first ceramic green sheets 11 and 13 printed with the internal electrodes 12 and 14 shown in FIGS. 2B and 2C.
70 sheets are alternately laminated, and the second plain green ceramic green sheets 15 and 16 shown in FIGS.
15 sheets were laminated to obtain a ceramic laminated body.
【0037】上記のようにして得られたセラミック積層
体の第1,第2の端面(内部電極が引き出されている端
面)をサンドブラスト法により研削した。その結果、可
塑剤としてのジオクチルフタレート含有割合が多い第1
のセラミックグリーンシートが積層されている中間高さ
位置部分は、上方部分及び下方部分に比べて多く削ら
れ、端面が凹状面とされた。The first and second end faces (the end faces from which the internal electrodes are drawn out) of the ceramic laminate obtained as described above were ground by the sandblast method. As a result, the first content of dioctyl phthalate as a plasticizer is high.
The intermediate height position portion where the ceramic green sheets of (1) were laminated was shaved more than the upper portion and the lower portion, and the end surface was made a concave surface.
【0038】上記のようにして、端面が凹状面とされた
セラミック積層体を焼成し、図1に示したセラミック焼
結体2を得た。しかる後、セラミック焼結体2の端面2
c側からセラミック焼結体2を導電ペースト層に浸漬
し、引き上げることにより、端面2cを覆うように導電
ペーストを付着させた。続いて、端面2d側からセラミ
ック焼結体2を導電ペースト層に浸漬し、引き上げるこ
とにより、端面2dを覆うように導電ペースト層を形成
した。As described above, the ceramic laminate having the concave end surface was fired to obtain the ceramic sintered body 2 shown in FIG. After that, the end surface 2 of the ceramic sintered body 2
The ceramic sintered body 2 was immersed in the conductive paste layer from the c side and pulled up to attach the conductive paste so as to cover the end face 2c. Subsequently, the ceramic sintered body 2 was immersed in the conductive paste layer from the end face 2d side and pulled up to form a conductive paste layer so as to cover the end face 2d.
【0039】しかる後、上記端面2c,2dを覆うよう
に付着された導電ペーストを焼き付けることにより、第
1,第2の外部電極7,8を形成し、積層コンデンサ1
を得た。積層コンデンサ1の外形寸法は、1.6×0.
8×0.8mmである。Thereafter, the conductive paste attached so as to cover the end faces 2c and 2d is baked to form the first and second external electrodes 7 and 8 and the multilayer capacitor 1
Got The external dimensions of the multilayer capacitor 1 are 1.6 × 0.
It is 8 × 0.8 mm.
【0040】上記積層コンデンサ1を得るにあたり、サ
ンドブラスト法による研削条件を変更することにより、
端面2c,2dのへこみ量を下記の表1に示すように0
μm、1μm、3μm及び5μmと変化させ、種々の積
層コンデンサを得た。そして、このようにして得られた
種々の積層コンデンサをプリント回路基板上にリフロー
半田付け法により実装し、ツームストーン現象が生じる
か否かを確認した。結果を下記の表1に示す。In obtaining the above multilayer capacitor 1, by changing the grinding conditions by the sandblast method,
As shown in Table 1 below, the amount of dents on the end faces 2c and 2d is 0.
Various laminated capacitors were obtained by changing the thickness to 1 μm, 1 μm, 3 μm and 5 μm. Then, various laminated capacitors thus obtained were mounted on a printed circuit board by a reflow soldering method, and it was confirmed whether or not a tombstone phenomenon occurs. The results are shown in Table 1 below.
【0041】なお、上記へこみ量とは、端面2c,2d
の最外側端から凹状部の最内側端までの水平方向距離を
いうものとする。The above-mentioned dent amount means the end faces 2c, 2d.
The horizontal distance from the outermost end to the innermost end of the concave portion.
【0042】[0042]
【表1】 [Table 1]
【0043】表1から明らかなように、端面2c,2d
のへこみ量が0μmの場合、すなわち凹状面とされてい
ない面には、1000個の積層コンデンサあたり、5個
の積層コンデンサにおいてツームストーン現象が発生し
た。As is clear from Table 1, the end faces 2c, 2d
When the dent amount is 0 μm, that is, on the surface which is not the concave surface, the tombstone phenomenon occurs in 5 laminated capacitors per 1000 laminated capacitors.
【0044】これに対して、へこみ量を1μm以上と
し、端面2c,2dを凹状面とした場合、ツームストー
ン現象の発生割合を効果的に抑制することができ、特
に、へこみ量3μm以上とした場合はツームストーン現
象の発生が皆無であった。On the other hand, when the dent amount is 1 μm or more and the end surfaces 2c and 2d are concave surfaces, the occurrence rate of the tombstone phenomenon can be effectively suppressed, and particularly, the dent amount is 3 μm or more. In this case, the tombstone phenomenon did not occur at all.
【0045】従って、端面2c,2dを凹状面とするこ
とにより、導電ペーストの塗布・焼き付けにより形成さ
れた外部電極7,8の外表面7a,8aが平坦化され、
それによってツームストーン現象の発生を効果的に抑制
し得ることがわかる。Therefore, by making the end surfaces 2c and 2d concave, the outer surfaces 7a and 8a of the external electrodes 7 and 8 formed by applying and baking the conductive paste are flattened,
As a result, it can be seen that the occurrence of the tombstone phenomenon can be effectively suppressed.
【0046】なお、上記実施例では、積層コンデンサを
例にとり説明したが、本発明に係る積層セラミック電子
部品は、積層コンデンサに限らず、積層サーミスタ、積
層バリスタ、積層圧電セラミック電子部品などの様々な
積層セラミック電子部品一般に適用することができる。
そして、積層セラミック電子部品の外形寸法が1.6×
0.8×0.8mm以下のものに適用するとより効果的
である。In the above embodiments, the multilayer capacitor is described as an example, but the multilayer ceramic electronic component according to the present invention is not limited to the multilayer capacitor, and various types such as a multilayer thermistor, a multilayer varistor, a multilayer piezoelectric ceramic electronic component, etc. It can be applied to multilayer ceramic electronic components in general.
And the external dimensions of the monolithic ceramic electronic component are 1.6 ×
It is more effective when applied to those having a size of 0.8 × 0.8 mm or less.
【0047】[0047]
【発明の効果】請求項1に記載の発明に係る積層セラミ
ック電子部品の製造方法では、セラミック焼結体の第
1,第2の端面が中間高さ位置でへこんだ凹状面とされ
ているので、第1,第2の外部電極が導電ペーストの塗
布・焼き付けにより形成されているが、第1,第2の外
部電極表面が平坦化される。また、セラミック焼結体の
端縁が丸められている。従って、プリント回路基板など
に例えばリフロー半田法により実装した場合のツームス
トーン現象を効果的に抑制することができ、積層セラミ
ック電子部品の実装作業の信頼性及び安定性を高めるこ
とが可能となる。In the method for manufacturing a monolithic ceramic electronic component according to the first aspect of the present invention, the first and second end surfaces of the ceramic sintered body are concave surfaces which are recessed at the intermediate height position. The first and second external electrodes are formed by applying and baking a conductive paste, but the surfaces of the first and second external electrodes are flattened. In addition, the ceramic sintered body
The edges are rounded. Therefore, the tombstone phenomenon when mounted on a printed circuit board or the like by, for example, the reflow soldering method can be effectively suppressed, and the reliability and stability of the mounting work of the laminated ceramic electronic component can be improved.
【0048】また、第1,第2の端面が上記凹状面とさ
れており、それによって外部電極の外表面が平坦とされ
る。従って、プリント回路基板に積層セラミック電子部
品を実装するに際してのツームストーン現象を抑制する
ことができ、積層セラミック電子部品の実装の信頼性及
び安定性を高めることができる。[0048] Further, first, and second end surfaces is with the concave surface, whereby the outer surface of the outer electrode is flat. Therefore, the tombstone phenomenon at the time of mounting the laminated ceramic electronic component on the printed circuit board can be suppressed, and the reliability and stability of the mounting of the laminated ceramic electronic component can be improved.
【0049】請求項2に記載の発明に係る積層セラミッ
ク電子部品の製造方法では、内部電極が形成されるセラ
ミックグリーンシートとして、無地のセラミックグリー
ンシートよりも柔らかいセラミックグリーンシートを用
い、焼成に先立ち積層体端面を研磨剤により研磨した場
合、内部電極が形成されているセラミックグリーンシー
ト端縁が大きく研磨され、それによって端面を凹状面と
することができる。従って、焼成により、第1,第2の
端面が中間高さ位置でへこんだ凹状面とされているセラ
ミック焼結体を確実に得ることができる。In the method for manufacturing a laminated ceramic electronic component according to the second aspect of the present invention, a ceramic green sheet that is softer than a plain ceramic green sheet is used as the ceramic green sheet on which internal electrodes are formed, and the ceramic green sheet is laminated before firing. When the body end surface is polished with an abrasive, the edge of the ceramic green sheet on which the internal electrode is formed is largely polished, whereby the end surface can be made a concave surface. Thus, by firing, first, as possible out to the second end face to reliably obtain a ceramic sintered body which is a recessed concave surface at an intermediate height position.
【0050】請求項3に記載の発明では、無地のセラミ
ックグリーンシートとして、焼成時の収縮率が、内部電
極が形成されているセラミックグリーンシートの収縮率
よりも小さいセラミックグリーンシートを用いるため、
焼成により得られたセラミック焼結体において、第1,
第2の端面では、内部電極が積層されている中間高さ位
置部分がへこみ、第1,第2の端面が凹状面とされる。 According to the third aspect of the present invention, since the ceramic green sheet having a shrinkage factor during firing that is smaller than that of the ceramic green sheet on which the internal electrodes are formed is used as the plain ceramic green sheet,
In the ceramic sintered body obtained by firing,
On the second end surface, the intermediate height position portion where the internal electrodes are laminated is dented, and the first and second end surfaces are concave surfaces .
【0051】また、請求項4に記載の発明では、内部電
極が形成されるセラミックグリーンシートとして、無地
のセラミックグリーンシートに比べてガラスフリット含
有割合が高いセラミックグリーンシートを用いるため、
無地のセラミックグリーンシートの焼成に際しての収縮
率が、内部電極が形成されるセラミックグリーンシート
の収縮率よりも小さくされる。従って、焼成後に、第
1,第2の端面が確実に凹状面とされる。Further, in the invention according to claim 4 , as the ceramic green sheet on which the internal electrodes are formed, the ceramic green sheet having a higher glass frit content ratio than the plain ceramic green sheet is used.
The shrinkage rate of the plain ceramic green sheet during firing is made smaller than the shrinkage rate of the ceramic green sheet on which the internal electrodes are formed. Thus, after firing, the first and second end surfaces is reliably concave surface.
【0052】請求項5に記載の発明では、内部電極が形
成されるセラミックグリーンシートとして、無地のセラ
ミックグリーンシートに比べて可塑剤含有割合が高いセ
ラミックグリーンシートを用いるので、焼成に先立ち第
1,第2の端面を研磨した場合、内部電極が積層されて
いる中間高さ位置が上方及び下方部分に比べて大きく研
磨され、それによって第1,第2の端面を確実に凹状面
とすることができる。また、無地のセラミックグリーン
シートの焼成に際しての収縮率が、内部電極が形成され
るセラミックグリーンシートの収縮率よりも小さくされ
る。従って、焼成後に、第1,第2の端面が確実に凹状
面とされる。 In the invention described in claim 5 , as the ceramic green sheet on which the internal electrodes are formed, a ceramic green sheet having a higher plasticizer content ratio than that of the plain ceramic green sheet is used. When the second end face is polished, the intermediate height position where the internal electrodes are laminated is polished larger than the upper and lower portions, whereby the first and second end faces can be surely made concave. it can. Further, the shrinkage rate of the plain ceramic green sheet during firing is made smaller than the shrinkage rate of the ceramic green sheet on which the internal electrodes are formed. Therefore, after firing, the first and second end faces are surely made concave .
【図1】本発明の一実施例に係る積層コンデンサを示す
断面図。FIG. 1 is a sectional view showing a multilayer capacitor according to an embodiment of the present invention.
【図2】(a)〜(d)は、実施例の積層コンデンサを
得るのに用意したセラミックグリーンシート及びその上
に形成される内部電極形状を説明するための各平面図。2A to 2D are plan views for explaining a ceramic green sheet prepared for obtaining the multilayer capacitor of the embodiment and the shape of internal electrodes formed thereon.
【図3】従来の積層コンデンサをプリント回路基板に実
装した場合のツームストーン現象を説明するための縦断
面図。FIG. 3 is a vertical cross-sectional view for explaining a tombstone phenomenon when a conventional multilayer capacitor is mounted on a printed circuit board.
1…積層コンデンサ 2…セラミック焼結体 2c,2d…第1,第2の端面 3〜6…内部電極 7,8…第1,第2の外部電極 7a,8a…外表面 11,13,15,16…セラミックグリーンシート 12,14…内部電極 1. Multilayer capacitor 2 ... Ceramic sintered body 2c, 2d ... First and second end faces 3-6 ... Internal electrodes 7, 8 ... First and second external electrodes 7a, 8a ... Outer surface 11, 13, 15, 16 ... Ceramic green sheet 12, 14 ... Internal electrodes
Claims (5)
んだ凹状面とされており、内部においてセラミック層を
介して厚み方向に重なり合うように複数の内部電極が配
置されており、端縁が丸められたセラミック焼結体を得
るステップと、 前記セラミック焼結体を第1,第2の各端面側から導電
ペーストに浸漬し、引き上げることにより、第1,第2
の端面上において外表面が平坦な第1,第2の外部電極
を形成するステップとを備え る、積層セラミック電子部
品の製造方法。1. The first and second end faces are dented at an intermediate height position.
It is a concave surface with a ceramic layer inside.
Multiple internal electrodes are arranged so that they overlap each other in the thickness direction.
The ceramic sintered body is placed and has rounded edges.
And the ceramic sintered body is electrically conductive from the first and second end face sides.
By soaking in the paste and pulling it up,
First and second external electrodes having flat outer surfaces on the end faces of the
Ru and a step of forming a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component.
が、 一方主面に内部電極が形成された複数のセラミックグリ
ーンシートと、内部電極が形成されていない無地のセラ
ミックグリーンシートとを用意する工程と、 前記内部電極が形成された複数のセラミックグリーンシ
ート積層部分の上下に前記無地のセラミックグリーンシ
ートが位置するように内部電極が形成されたセラミック
グリーンシート及び無地セラミックグリーンシートを積
層して積層体を得る工程と、 前記積層体を焼成することによりセラミック焼結体を得
る工程とを備え、 前記内部電極が形成されたセラミックグリーンシートと
して、無地のセラミックグリーンシートよりも柔らかい
セラミックグリーンシートを用い、かつ前記焼成に先立
ち積層体の端面を研磨剤により研磨する工程をさらに備
えることを特徴とする、請求項1に記載の積層セラミッ
ク電子部品の製造方法。2. A step of obtaining the ceramic sintered body.
However , a step of preparing a plurality of ceramic green sheets having internal electrodes formed on one main surface and a plain ceramic green sheet having no internal electrodes formed, and a plurality of ceramic green sheets having the internal electrodes formed A step of laminating a ceramic green sheet and internal ceramic green sheets having internal electrodes formed so that the plain ceramic green sheets are located above and below the laminated portion to obtain a laminated body; and by firing the laminated body, ceramic A step of obtaining a sintered body, using a ceramic green sheet softer than a plain ceramic green sheet as the ceramic green sheet on which the internal electrodes are formed, and polishing the end faces of the laminate with an abrasive prior to the firing. The method further comprising the step of : 1. A method for manufacturing a monolithic ceramic electronic component according to 1 .
が、 一方主面に内部電極が形成された複数のセラミックグリ
ーンシートと、内部電極が形成されていない無地のセラ
ミックグリーンシートとを用意する工程と、 前記内部電極が形成された複数のセラミックグリーンシ
ート積層部分の上下に前記無地のセラミックグリーンシ
ートが位置するように内部電極が形成されたセラミック
グリーンシート及び無地セラミックグリーンシートを積
層して積層体を得る工程と、 前記積層体を焼成することによりセラミック焼結体を得
る工程とを備え、 前記無地のセラミックグリーンシートとして、焼成時の
収縮率が、内部電極が形成されるセラミックグリーンシ
ートの収縮率よりも小さいセラミックグリーンシートを
用いることを特徴とする、請求項1に記載の積層セラミ
ック電子部品の製造方法。3. A step of obtaining the ceramic sintered body.
However , a step of preparing a plurality of ceramic green sheets having internal electrodes formed on one main surface and a plain ceramic green sheet having no internal electrodes formed, and a plurality of ceramic green sheets having the internal electrodes formed A step of laminating a ceramic green sheet and internal ceramic green sheets having internal electrodes formed so that the plain ceramic green sheets are located above and below the laminated portion to obtain a laminated body; and by firing the laminated body, ceramic And a step of obtaining a sintered body, characterized in that as the plain ceramic green sheet, a ceramic green sheet having a shrinkage rate during firing smaller than that of a ceramic green sheet on which internal electrodes are formed is used. A method for manufacturing a monolithic ceramic electronic component according to claim 1 .
リーンシートとして、無地のセラミックグリーンシート
に比べてガラスフリット含有割合が高いセラミックグリ
ーンシートを用いることを特徴とする、請求項2または
3に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。Wherein the ceramic green sheet in which the internal electrodes are formed, characterized by using glass frit content is high ceramic green sheet in comparison with plain ceramic green sheet, according to claim 2 or
4. The method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to item 3 .
リーンシートとして、無地のセラミックグリーンシート
に比べて可塑剤含有割合が高いセラミックグリーンシー
トを用いることを特徴とする、請求項2または3に記載
の積層セラミック電子部品の製造方法。5. The ceramic green sheet having a plasticizer content higher than that of a plain ceramic green sheet is used as the ceramic green sheet on which the internal electrodes are formed, according to claim 2 or 3 . Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component.
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