JP3463968B2 - Transparent conductive film - Google Patents

Transparent conductive film

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JP3463968B2
JP3463968B2 JP32196295A JP32196295A JP3463968B2 JP 3463968 B2 JP3463968 B2 JP 3463968B2 JP 32196295 A JP32196295 A JP 32196295A JP 32196295 A JP32196295 A JP 32196295A JP 3463968 B2 JP3463968 B2 JP 3463968B2
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はフィルム液晶表示素
子に用いられる透明導電性フィルムに関するものであ
る。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a transparent conductive film used for a film liquid crystal display device.

【0002】[0002]

【従来の技術】ポリエーテルスルホンフィルムなどの表
面に、インジウムと錫の酸化物薄膜などを、スパッタリ
ングなどの方法により積層した透明導電性フィルムが、
フィルム液晶表示素子の透明電極基板用材料として使用
されている。フィルム液晶表示素子は液晶をプラスチッ
クフィルム基板で密封して構成されるが、基板の伸び縮
みや曲げによって内容積が変化すると液晶中にとけ込ん
でいた気体が泡になって表示機能を阻害するために、液
晶に気体を溶け込まさない工夫が種々行われてきた。プ
ラスチックフィルム基板にガスバリアー性を付与するこ
とも有効な手段として採用されている。ガスバリアー性
付与は、ガスバリアー性の物質をプラスチックフィルム
に塗布や蒸着等の手段で形成する方法がとられている。
従来の技術では、ガスバリアー性の物質がポリビニルア
ルコールやポリ塩化ビニリデン等の樹脂の場合は、生産
性が良く設備や技術の完成度の高い塗布方式が採られる
が、これらの樹脂のガスバリアー性は温度・湿度により
影響を受けるため完全とは言えないとの指摘がある。一
方金属酸化物やガラスをガスバリアー性物質として、蒸
着等の技術により極めて薄くプラスチックフィルムに積
層することも検討されているが、生産性や設備・技術の
完成度においてまだ実用レベルに達していない。そこ
で、手段として優れている塗布方式により、ガスバリア
ー性物質として優れている金属酸化物やガラスをプラス
チックフィルム基板に形成することが望まれている。
2. Description of the Related Art A transparent conductive film obtained by laminating an oxide thin film of indium and tin on the surface of a polyether sulfone film by a method such as sputtering is known.
It is used as a material for transparent electrode substrates of film liquid crystal display devices. A film liquid crystal display element is constructed by sealing the liquid crystal with a plastic film substrate, but when the internal volume changes due to expansion and contraction or bending of the substrate, the gas that has melted into the liquid crystal becomes bubbles and hinders the display function. However, various measures have been taken to prevent gas from dissolving in liquid crystals. Providing a gas barrier property to a plastic film substrate has also been adopted as an effective means. The gas barrier property is imparted by a method of forming a substance having a gas barrier property on a plastic film by means such as coating or vapor deposition.
In the conventional technology, when the gas barrier substance is a resin such as polyvinyl alcohol or polyvinylidene chloride, a coating method with good productivity and a high degree of perfection of equipment and technology is adopted, but the gas barrier property of these resins is adopted. It has been pointed out that is not perfect because it is affected by temperature and humidity. On the other hand, using metal oxide or glass as a gas barrier substance to form an extremely thin plastic film by a technique such as vapor deposition is being considered, but it has not reached a practical level in terms of productivity and perfection of equipment and technology. . Therefore, it is desired to form a metal oxide or glass, which is excellent as a gas barrier substance, on a plastic film substrate by a coating method which is excellent as a means.

【0003】金属アルコキシドの加水分解物を基材に塗
布して加熱することで、相当する金属酸化物層を形成す
ることはすでによく知られているが、プラスチックフィ
ルムに可撓性を保持して密着力のある金属酸化物層を形
成することは容易では無い。特にガスバリアー性が求め
られる場合は、加水分解物に有機基が極力残らないこと
が求められ、可撓性や密着力を得るための手法と相反す
ると考えられてきた。従来から、ガラス転移温度が12
0℃以上で、実質的に非晶性であり、フィルム厚みでの
リターデーション値が15nm以下である透明なプラス
チックフィルムが基体として構成されていることが重要
であるとの発明を発展させてきた。(特願昭58−30
926,特願昭59−84060、特願平5−2177
75、特願平217776等) また、透明導電膜とプ
ラスチックフィルムの密着力を向上させる為に、アンダ
ーコート層を設け、そのアンダーコート層には、シラン
カップリング剤を含ませることが極めて効果的であるこ
とを見いだしている。(特願昭59−59509、特願
平4−287134 8、特願平5−188416等)
It is already well known that a metal alkoxide hydrolyzate is applied to a base material and heated to form a corresponding metal oxide layer. It is not easy to form a metal oxide layer having adhesion. In particular, when gas barrier properties are required, it is required that the hydrolyzate contains no organic groups as much as possible, and it has been considered that this is inconsistent with the technique for obtaining flexibility and adhesion. Conventionally, the glass transition temperature is 12
The invention has been developed that it is important that a transparent plastic film which is substantially amorphous at 0 ° C. or higher and has a retardation value at the film thickness of 15 nm or less is constituted as a substrate. . (Japanese Patent Application Sho 58-30
926, Japanese Patent Application No. 59-84060, Japanese Patent Application No. 5-2177
75, Japanese Patent Application No. 217776, etc.) In order to improve the adhesion between the transparent conductive film and the plastic film, it is extremely effective to provide an undercoat layer, and the undercoat layer contains a silane coupling agent. Is found. (Japanese Patent Application No. 59-59509, Japanese Patent Application No. 4-2871348, Japanese Patent Application No. 5-188416, etc.)

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、プラ
スチックフィルム液晶表示素子に用いられる透明導電性
フィルムに、温度や湿度依存性が実質的に無いガスバリ
アー性を保有する無機質膜を、プラスチックフィルムの
可撓性を損なわず、実用上十分な密着力をもって付与す
ることである。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a transparent conductive film used for a plastic film liquid crystal display device with an inorganic film having a gas barrier property which is substantially independent of temperature and humidity. It is to impart the film with practically sufficient adhesion without impairing the flexibility of the film.

【0005】[0005]

【課題を解決する為の手段】今回、上記課題を達成する
ために、アルコキシシラン化合物の加水分解物を塗布乾
燥して無機薄膜を形成する技術を検討したところ、本発
明者らが従来進めてきた構成との組み合わせにおいて、
驚くべき相乗効果が得られ本発明に至った。
[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above object, the present inventors have studied a technique for forming an inorganic thin film by coating and drying a hydrolyzate of an alkoxysilane compound. In combination with the
A surprising synergistic effect was obtained, leading to the present invention.

【0006】 すなわち、ガラス転移温度が120℃以
上で、実質的に非晶性であり、フィルム厚みでのリター
デーション値が15nm以下である透明なプラスチック
フィルム基体(A)の少なくとも一方の面に、−OR
(H−OR1で表される化合物の常圧における沸点が12
0℃以下となるアルコール残基)で表される官能基を有
する物質がシランカップリング剤であり、それを含む有
機樹脂層(B)を形成し、そのB層上にSi(OR
(Rは炭素数4以下のアルキル基)で表されるテト
ラアルコキシシランに、M(OR3)n(R3は炭素数4以
下のアルキル基、nは3から5の整数)で表される金属
アルコキシドまたはPO(OR4)3(R4は炭素数4以下の
アルキル基)で表されるリン酸エステルのうち、少なく
とも1種以上を加えたものの共加水分解溶液を塗布し、
120℃以上でプラスチックフィルム基体のガラス転移
温度以下の条件で加熱して得られる無機硬化層(C)を
形成した積層体の少なくとも一方の面に、透明導電性を
有する薄膜(D)を積層した透明導電性フィルムであ
る。
That is, at least one surface of the transparent plastic film substrate (A) having a glass transition temperature of 120 ° C. or higher, being substantially amorphous, and having a retardation value at the film thickness of 15 nm or less, -OR 1
(The boiling point of the compound represented by H-OR 1 at atmospheric pressure is 12
A substance having a functional group represented by (an alcohol residue at 0 ° C. or lower) is a silane coupling agent, forms an organic resin layer (B) containing the silane coupling agent, and forms Si (OR 2 ) on the B layer.
4 (R 2 is an alkyl group having 4 or less carbon atoms) is represented by M (OR 3 ) n (R 3 is an alkyl group having 4 or less carbon atoms, and n is an integer of 3 to 5) Of the phosphoric acid ester represented by the metal alkoxide or PO (OR 4 ) 3 (R 4 is an alkyl group having a carbon number of 4 or less) to which at least one kind is added, and a co-hydrolysis solution is applied,
A thin film (D) having transparent conductivity is laminated on at least one surface of a laminate having an inorganic cured layer (C) formed by heating at 120 ° C. or higher and under the glass transition temperature of a plastic film substrate. It is a transparent conductive film.

【0007】[0007]

【発明の実施の形態】ガラス転移温度が120℃以上
の、実質的に非晶性であるプラスチック樹脂としては、
ポリカーボネート、ポリアリレート、ポリサルホン、ポ
リエーテルサルホン、環状ポリオレフィン等があげられ
る。この中で上記有機樹脂層(B)との密着性におい
て、ポリカーボネート、ポリアリレート、ポリサルホ
ン、ポリエーテルサルホンが好ましく、ガラス転移温度
が高いほど無機硬化層(C)を形成するのに高温で加熱
できて有利であり、ポリエーテルサルホンが最も好まし
い。これらの樹脂のフィルムを得るには溶融押出成膜法
や溶剤キャスト法等が可能であるが、溶剤キャスト法は
異物を濾過したり、リターデーションを小さくするには
有利だが、生産性が低く、溶剤が残留する問題があり、
特に肉厚のもので残留溶剤の問題が大きく、溶融押出成
膜が好ましい。溶融押出成膜法はリターデーションを小
さくすることが難しいと言われているが、成膜条件を精
密に管理することで可能である。なお、リターデーショ
ンとは、高分子のように分極率が方向性を持つ物質中を
進む光が直交する二方向の偏波に分かれて進む場合にフ
ィルムを通り抜ける間に二偏波の伝達距離がずれる度合
いを表しており、偏光を解消する作用がある。液晶表示
素子の多くは偏光を利用しており、素材としてはリター
デーションは全くないことが望ましいが、実用的には1
5nm以下であれば表示品位の低下は感知されない。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION As a substantially amorphous plastic resin having a glass transition temperature of 120 ° C. or higher,
Examples thereof include polycarbonate, polyarylate, polysulfone, polyether sulfone, cyclic polyolefin and the like. Among these, polycarbonate, polyarylate, polysulfone, and polyethersulfone are preferable in terms of adhesion to the organic resin layer (B), and the higher the glass transition temperature, the higher the temperature at which the inorganic cured layer (C) is formed. It is possible and advantageous, and polyether sulfone is most preferable. To obtain a film of these resins, a melt extrusion film forming method, a solvent casting method and the like are possible, but the solvent casting method is advantageous for filtering foreign matters and reducing the retardation, but the productivity is low, There is a problem that the solvent remains,
In particular, the thick film has a large problem of residual solvent, and melt extrusion film formation is preferable. It is said that it is difficult to reduce the retardation in the melt extrusion film forming method, but it is possible by precisely controlling the film forming conditions. Retardation is a transmission distance of two polarizations while passing through a film when light traveling in a substance having polarizability such as a polymer is divided into two polarizations orthogonal to each other. It represents the degree of deviation and has the effect of eliminating polarization. Most liquid crystal display devices use polarized light, and it is desirable that there be no retardation at all as a material, but practically 1
When the thickness is 5 nm or less, the deterioration of display quality is not detected.

【0008】 次に、プラスチックフィルム基体(A)
の少なくとも一方の面に、−OR(H−OR1で表され
る化合物の常圧における沸点が120℃以下となるアル
コール残基)で表される官能基を有する物質がシランカ
ップリング剤であり、それを含む有機樹脂層(B)をプ
ラスチックフィルム基体(A)と無機硬化層(C)との
密着力を向上させるために形成する。H−ORで表さ
れる化合物の常圧における沸点が120℃以下となる化
合物残基を有する物質としては、−OCH、−OC
等のアルコール残基があげられる。常圧で沸点が1
20℃以下であることは、無機硬化層(C)を形成する
ために120℃以上に加熱する工程において反応脱離物
質が残留しない為に重要となる。特に、入手が容易であ
り、有機樹脂やそれを塗布液とするための溶剤への溶解
性にすぐれるシランカップリング剤を用いることが好ま
しい。シランカップリング剤としては、ビニルトリエト
キシシラン、ビニルトリメトキシシラン、γ−メタクリ
ロキシプロピルトリメトキシシラン、β−(3,4エポ
キシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、γ−
グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシ
ドキシプロピルメチルジエトキシシラン、N−β(アミ
ノエチル)γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ
−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−メルカプト
プロピルトリメトキシシランなどがあげられる。
Next, the plastic film substrate (A)
Of the at least one surface, a substance having a functional group -OR 1 represented by (the boiling point at normal pressure of the compound represented by H-OR 1 is an alcohol residue to be 120 ° C. or less) Shiranka
An organic resin layer (B) , which is a pulling agent, is formed in order to improve the adhesion between the plastic film substrate (A) and the inorganic cured layer (C). As a substance having a compound residue having a boiling point of the compound represented by H-OR 1 at atmospheric pressure of 120 ° C. or lower, —OCH 3 , —OC 2
Examples thereof include alcohol residues such as H 5 . Boiling point is 1 at normal pressure
It is important that the temperature is 20 ° C. or lower because no reaction desorption substance remains in the step of heating to 120 ° C. or higher for forming the inorganic cured layer (C). In particular, it is preferable to use a silane coupling agent that is easily available and has excellent solubility in an organic resin or a solvent for using it as a coating liquid. As the silane coupling agent, vinyltriethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, β- (3,4epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, γ-
Glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane, N-β (aminoethyl) γ-aminopropyltrimethoxysilane, γ
-Aminopropyltriethoxysilane, γ-mercaptopropyltrimethoxysilane and the like can be mentioned.

【0009】次に、有機樹脂層(B)の上にSi(O
2)4(R2は炭素数4以下のアルキル基)で表されるテ
トラアルコキシシランに、M(OR3)n(Mは金属元素、
3は炭素数4以下のアルキル基、nは3から5の整
数)で表される金属アルコキシドまたはPO(OR4)
3(R4は炭素数4以下のアルキル基)で表されるリン酸
エステルのうち、少なくとも1種以上を加えたものの共
加水分解溶液を塗布し、120℃以上でプラスチックフ
ィルム基体のガラス転移温度以下の条件で加熱して得ら
れる無機硬化層(C)を形成する。有機樹脂層(B)を
両面に形成した場合は、無機硬化層(C)の形成はその
一方の面のみであっても、両面に行っても良い。M(O
3)n(Mは金属元素、R3は炭素数4以下のアルキル
基、nは3から5の整数)で表される金属アルコキシド
は、周期表の3A族、4A族、5A族、4B族又は5B
族のいずれかの金属元素からなる金属アルコキシドであ
り、例えば、Ti、Al、Zr等である。上記以外の金
属元素では十分なガスバリアー性を保有する無機硬化層
は得られない。Si(OR2)4(R2は炭素数4以下のアル
キル基)で表されるテトラアルコキシシランの加水分解
方法はすでに良く知られており、例えば作花済夫著『ゾ
ルーゲル法の科学』(アグネ承風社)等を参照すること
が出来る。加水分解物やその縮重合物を塗布し無機膜を
形成することも知られている。しかし、プラスチックフ
ィルム液晶表示素子用透明導電フィルムに求められる特
性を損なわず、目的とするガスバリア−性と可撓性、密
着性を兼ね備えた無機硬化層(C)は、本発明によって
初めて達成される。まず、第一に単なる加水分解物の塗
布によっては、加熱無機化での体積収縮によりフィルム
がカールしたり、無機膜にクラックが入る。よって、塗
布液はあらかじめ縮重合を進めたものでなくてはならな
い。次に、テトラアルコキシシランのR2は炭素数4以
下のアルキル基でなくてはならない。これは、無機化の
為の加熱条件である120℃以上の温度で、脱離反応で
発生してくるアルコールが気体の状態であるために重要
である。もし、液体や固体であると、無機膜に求めるガ
スバリアー性や密着性に重大な障害が発生する。
Next, Si (O) is formed on the organic resin layer (B).
A tetraalkoxysilane represented by R 2 ) 4 (R 2 is an alkyl group having 4 or less carbon atoms) and M (OR 3 ) n (M is a metal element,
R 3 is an alkyl group having 4 or less carbon atoms, n is an integer of 3 to 5) or a metal alkoxide represented by PO (OR 4 ).
3 (R 4 is an alkyl group having 4 or less carbon atoms), a co-hydrolysis solution of at least one of the phosphoric acid esters added is applied, and the glass transition temperature of the plastic film substrate at 120 ° C. or higher is applied. The inorganic cured layer (C) obtained by heating under the following conditions is formed. When the organic resin layer (B) is formed on both sides, the inorganic cured layer (C) may be formed on only one side or both sides. M (O
The metal alkoxide represented by R 3 ) n (M is a metal element, R 3 is an alkyl group having 4 or less carbon atoms, and n is an integer of 3 to 5) is a group 3A, 4A, 5A or 4B of the periodic table. Tribe or 5B
A metal alkoxide made of any metal element of the group, for example, Ti, Al, Zr or the like. Inorganic cured layers having sufficient gas barrier properties cannot be obtained with metal elements other than the above. The method for hydrolyzing a tetraalkoxysilane represented by Si (OR 2 ) 4 (R 2 is an alkyl group having 4 or less carbon atoms) is already well known. For example, Sakuhana Sakuo, "Science of Sol-Gel Method" ( Agne Seofusha) etc. can be referred to. It is also known to apply a hydrolyzate or a polycondensate thereof to form an inorganic film. However, the inorganic cured layer (C) having the desired gas barrier properties, flexibility, and adhesiveness without impairing the properties required of the transparent conductive film for plastic film liquid crystal display device is achieved for the first time by the present invention. . First, depending on the application of a simple hydrolyzate, the film may curl or the inorganic film may be cracked due to the volume contraction caused by heat mineralization. Therefore, the coating solution must have undergone polycondensation in advance. Next, R 2 of the tetraalkoxysilane must be an alkyl group having 4 or less carbon atoms. This is important because the alcohol generated by the elimination reaction is in a gas state at a temperature of 120 ° C. or higher which is a heating condition for mineralization. If it is a liquid or a solid, a serious obstacle occurs in the gas barrier property and the adhesiveness required for the inorganic film.

【0010】最後に、無機硬化層(C)を形成した積層
体の少なくとも一方の面に、透明導電性を有する薄膜
(D)を積層する。通常は、透明導電性薄膜(D)を無
機硬化層(C)上に形成する。透明導電性を有する薄膜
としては、インジウム、錫、アンチモン、亜鉛、カドミ
ウム等の酸化物や、それらの複合体、金、銀、パラジウ
ム等の金属が知られており特に限定されるものでは無い
が、液晶表示素子には、通常はインジウム錫酸化物(I
TO)が用いられる。透明導電性を有する薄膜の積層方
法は、蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング、
プラズマCVD等があげられるが、通常は、ITOの薄
膜を積層する場合は、スパッタリングが採用される。
Finally, a thin film (D) having transparent conductivity is laminated on at least one surface of the laminate having the inorganic cured layer (C) formed thereon. Usually, the transparent conductive thin film (D) is formed on the inorganic cured layer (C). As the thin film having transparent conductivity, oxides of indium, tin, antimony, zinc, cadmium and the like, composites thereof, metals such as gold, silver and palladium are known and are not particularly limited. For liquid crystal display elements, indium tin oxide (I
TO) is used. The method for laminating a thin film having transparent conductivity is vapor deposition, sputtering, ion plating,
Examples of the method include plasma CVD and the like. Sputtering is usually used when laminating ITO thin films.

【0011】透明導電性を有する薄膜(D)を無機硬化
層(C)上に形成する前に、無機硬化層(C)に薄膜
(D)との密着力を向上させるために下地処理をおこな
うことも有効である。特に、シランカップリング剤を含
むUV硬化型アクリレート樹脂硬化層(E)を塗布する
ことは、薄膜(D)との密着性も無機硬化層(C)との
密着性も優れており好ましい。
Before forming the transparent conductive thin film (D) on the inorganic hardened layer (C), an undercoat treatment is performed on the inorganic hardened layer (C) in order to improve the adhesion with the thin film (D). That is also effective. In particular, it is preferable to apply the UV-curable acrylate resin-cured layer (E) containing a silane coupling agent, because the adhesiveness with the thin film (D) and the inorganic cured layer (C) are excellent.

【0012】[0012]

【実施例】【Example】

《実施例1》 ポリエーテルサルホンフィルム(住友ベ
ークライト(株)製スミライトFS−5300、ガラス
転移温度223℃、厚み100μm、リターデーション
10nm)の両面に、エポキシアクリレート15部、ウ
レタンアクリレート10部、ポリエステルアクリレート
10部、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラ
ン2部、UV架橋開始剤1部、溶剤65部を混合した塗
布液を、グラビアコーターにより、乾燥厚み3μmとな
るよう塗布し硬化させて有機樹脂層を形成した。その上
に、テトラエトキシシラン187g、チタンテトラエト
キシド23g(テトラエトキシシランとチタンテトラエ
トキシドのモル比が90対10)、イソプロピルアルコ
ール120gを混合し、40℃で12時間攪拌し、イソ
プロピルアルコール1.7kgを加えて塗布液とし、リ
バースコーターにより、計算による乾燥塗布厚が0.1
μmになるように塗布し、180℃の熱風乾燥炉によっ
て加熱無機膜化し無機硬化層を形成した。この無機硬化
膜を形成した段階で、オキシトラン法により、酸素ガス
透過係数を測定したところ、湿度0%において0.6c
c/m2・day・atm、湿度95%において0.7
cc/m2・day・atmと、塗布前のフィルムで
は、湿度0%においても、200cc/m2・day・
atmであったのに比べ格段に向上していた。さらに、
この無機硬化膜の表面に、最初の工程でポリエーテルサ
ルホンフィルムに塗布した塗布液と同じものを、リバー
スコーターにより乾燥厚み3μmとなるように塗布し硬
化させてUV硬化型アクリレート樹脂硬化層を形成し
た。次に、このUV硬化型アクリレート樹脂硬化層の上
に、スパッタリングにより、ITOを表面抵抗が100
Ω/□、光線透過率が80%となるように形成した。こ
のようにして得られた透明導電フィルムを用いて、プラ
スチックフィルム液晶表示素子を作成し、80℃高温保
存、60℃95%RH高温高湿保存試験を行ったが、1
000時間経過後も、液晶表示素子に気泡の発生は見ら
れなかった。このことは、無機硬化膜のガスバリアー性
が、プラスチックフィルム液晶表示素子作成工程におけ
る、熱、薬品、曲げ、ラビング等の処理によっても損な
われなかったことを示している。また、ITOをエッチ
ング除去した面どうしを、エポキシ樹脂で接着しピール
テストを行ったが、500g/cmの剥離強度を示し、
かつ剥離面はエポキシ樹脂接着面であった。なお、酸素
ガス透過係数の測定方法はJIS K−7126、B法
(等圧法)による。
<< Example 1 >> Epoxy acrylate 15 parts, urethane acrylate 10 parts, polyester on both surfaces of a polyether sulfone film (Sumilite FS-5300 manufactured by Sumitomo Bakelite Co., Ltd., glass transition temperature 223 ° C., thickness 100 μm, retardation 10 nm) An organic resin layer obtained by applying a coating solution obtained by mixing 10 parts of acrylate, 2 parts of γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 1 part of a UV crosslinking initiator, and 65 parts of a solvent with a gravure coater to a dry thickness of 3 μm and curing the same. Was formed. On top of that, 187 g of tetraethoxysilane, 23 g of titanium tetraethoxide (the molar ratio of tetraethoxysilane and titanium tetraethoxide is 90:10) and 120 g of isopropyl alcohol were mixed and stirred at 40 ° C. for 12 hours, and isopropyl alcohol 1 Add 0.7 kg to make a coating solution, and use a reverse coater to obtain a dry coating thickness of 0.1.
It was applied so as to have a thickness of .mu.m, and it was heated into an inorganic film by heating in a hot air drying oven at 180.degree. When the oxygen gas permeation coefficient was measured by the oxytran method at the stage of forming this inorganic cured film, it was 0.6 c at a humidity of 0%.
0.7 at c / m 2 · day · atm and 95% humidity
cc / m 2 · day · atm and the film before coating is 200 cc / m 2 · day · even at 0% humidity.
Although it was atm, it was much improved. further,
On the surface of this inorganic cured film, the same coating solution as that applied to the polyether sulfone film in the first step was applied by a reverse coater to a dry thickness of 3 μm and cured to form a UV curable acrylate resin cured layer. Formed. Next, ITO is applied on the UV-curable acrylate resin cured layer by sputtering to have a surface resistance of 100.
Ω / □, the light transmittance was 80%. Using the transparent conductive film thus obtained, a plastic film liquid crystal display device was prepared, and stored at 80 ° C. high temperature and 60 ° C. 95% RH high temperature and high humidity.
No bubbles were observed in the liquid crystal display element even after 000 hours had elapsed. This indicates that the gas barrier property of the inorganic cured film was not impaired by the treatment of heat, chemicals, bending, rubbing, etc. in the plastic film liquid crystal display element production process. Also, the surfaces from which the ITO had been removed by etching were bonded with an epoxy resin and a peel test was conducted, showing a peel strength of 500 g / cm,
The release surface was an epoxy resin adhesive surface. The oxygen gas permeability coefficient is measured according to JIS K-7126, Method B (isobaric method).

【0013】《実施例2〜5》 実施例1でのテトラエ
トキシシランとチタンテトラエトキシドのモル比を、そ
れぞれ25対75(実施例2)、50対50(実施例
3)、75対25(実施例4)、90対10(実施例
5)としたこと以外は同様にして液晶表示素子を作成し
た。無機硬化膜を形成した段階での酸素ガス透過係数を
表1に示した。
<< Examples 2 to 5 >> The molar ratios of tetraethoxysilane and titanium tetraethoxide in Example 1 were 25:75 (Example 2), 50:50 (Example 3), and 75:25, respectively. A liquid crystal display device was produced in the same manner as in Example 4 except that the ratio was 90:10 (Example 5). Table 1 shows the oxygen gas permeation coefficient at the stage of forming the inorganic cured film.

【0014】《実施例6》 実施例1で無機硬化層に混
合するチタンテトラエトキシドを、アルミニウムエトキ
シドに変えたこと以外は同様にして液晶表示素子を作成
した。無機硬化膜を形成した段階での酸素ガス透過係数
を表1に示した。 《実施例7》 実施例1で無機硬化層に混合するチタン
テトラエトキシドを、ジルコニウムテトラエトキシドに
変えたこと以外は同様にして液晶表示素子を作成した。
無機硬化膜を形成した段階での酸素ガス透過係数を表1
に示した。 《実施例8》 実施例1で無機硬化層に混合するチタン
テトラエトキシドを、リン酸トリエチルに変えたこと以
外は同様にして液晶表示素子を作成した。無機硬化膜を
形成した段階での酸素ガス透過係数を表1に示した。
Example 6 A liquid crystal display device was prepared in the same manner as in Example 1 except that the titanium tetraethoxide mixed in the inorganic cured layer was changed to aluminum ethoxide. Table 1 shows the oxygen gas permeation coefficient at the stage of forming the inorganic cured film. Example 7 A liquid crystal display device was produced in the same manner as in Example 1, except that the titanium tetraethoxide mixed in the inorganic cured layer was changed to zirconium tetraethoxide.
Table 1 shows the oxygen gas permeation coefficient at the stage of forming the inorganic cured film.
It was shown to. Example 8 A liquid crystal display device was produced in the same manner as in Example 1 except that the titanium tetraethoxide mixed in the inorganic cured layer was changed to triethyl phosphate. Table 1 shows the oxygen gas permeation coefficient at the stage of forming the inorganic cured film.

【0015】《比較例1》 実施例1の無機硬化層とそ
の上のUV硬化型アクリレート樹脂硬化層を形成しない
で、比較実験を行ったところ、プラスチックフィルム液
晶表示素子の高温保存、高温高湿保存試験ともに、24
0時間で気泡の発生が確認された。
Comparative Example 1 A comparative experiment was carried out without forming the inorganic cured layer of Example 1 and the UV-curable acrylate resin cured layer on the inorganic cured layer. 24 for storage test
Generation of bubbles was confirmed at 0 hours.

【0016】《比較例2》 ポリエーテルサルフォンフ
ィルム上の有機樹脂層を、UV硬化型アクリレート樹脂
からシランカップリング剤を除いた配合処方で形成した
以外は実施例1と同様にして液晶表示素子を作成した。
比較試験を行ったところ、プラスチックフィルム液晶表
示素子の高温高湿保存試験において、480時間で気泡
の発生が確認された。この表示素子を調べると、シール
樹脂部分で剥がれが生じていることが確認された。IT
Oをエッチング除去した面どうしを、エポキシ樹脂で接
着しピールテストを行ったところ、50g/cm程度の
剥離強度しか無く、剥離面を調べたところ、無機硬化層
とポリエーテルスルフォンフィルム上のUV硬化樹脂層
の間で剥がれていた。
Comparative Example 2 A liquid crystal display device was prepared in the same manner as in Example 1 except that the organic resin layer on the polyether sulfone film was formed by a compounding recipe in which the silane coupling agent was removed from the UV curable acrylate resin. It was created.
As a result of a comparative test, it was confirmed that bubbles were generated at 480 hours in a high temperature and high humidity storage test of a plastic film liquid crystal display device. When this display element was examined, it was confirmed that peeling occurred at the seal resin portion. IT
When the peeling test was performed by bonding the surfaces from which O was removed by etching with an epoxy resin, there was only a peel strength of about 50 g / cm, and when the peeled surface was examined, it was UV cured on the inorganic cured layer and the polyether sulfone film. It was peeled off between the resin layers.

【0017】《比較例3》 実施例1において無機硬化
層の代わりに、ポリビニルアルコール層を形成して酸素
ガス透過係数を測定したところ、湿度0%においては
0.3cc/m2・day・atmと良好なガスバリア
ー性を示したが、湿度95%において50cc/m2
day・atmと、高湿度下においてガスバリアー性の
著しい低下が確認された。
Comparative Example 3 When a polyvinyl alcohol layer was formed in place of the inorganic hardened layer in Example 1 and the oxygen gas permeation coefficient was measured, it was 0.3 cc / m 2 · day · atm at 0% humidity. Showed good gas barrier properties, but 50 cc / m 2 · at 95% humidity
It was confirmed that the gas barrier property was remarkably deteriorated under high humidity.

【0018】[0018]

【表1】 [Table 1]

【0019】[0019]

【発明の効果】この発明により、プラスチックフィルム
液晶表示素子用に好適な、温湿度依存性の無いガスバリ
アー性を保有する透明導電フィルムが得られた。
According to the present invention, a transparent conductive film suitable for a plastic film liquid crystal display device and having a gas barrier property without temperature / humidity dependency was obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施例断面図である。FIG. 1 is a sectional view of an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施例断面図で、プラスチックフィル
ム基体の両面に無機硬化層を設けた例である。
FIG. 2 is a sectional view of an example of the present invention, which is an example in which an inorganic cured layer is provided on both surfaces of a plastic film substrate.

【図3】本発明の実施例断面図で、無機硬化層の上にU
V硬化型アクリレート樹脂硬化層を設けた例である。
FIG. 3 is a sectional view of an embodiment of the present invention, in which U is formed on the inorganic cured layer.
This is an example in which a V-curable acrylate resin cured layer is provided.

【図4】本発明の実施例断面図で、無機硬化層の上にU
V硬化型アクリレート樹脂硬化層を設けた例である。
FIG. 4 is a cross-sectional view of an embodiment of the present invention, showing U on the inorganic cured layer.
This is an example in which a V-curable acrylate resin cured layer is provided.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1・・・透明導電性薄膜(D) 2・・・無機硬化層(C) 3・・・有機樹脂層(B) 4・・・プラスチックフィルム基体(A) 5・・・UV硬化型アクリレート樹脂硬化層(E) 1 ... Transparent conductive thin film (D) 2 ... Inorganic cured layer (C) 3 ... Organic resin layer (B) 4 ... Plastic film substrate (A) 5 ... UV curable acrylate resin cured layer (E)

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 ガラス転移温度が120℃以上で、実質
的に非晶性であり、フィルム厚みでのリターデーション
値が15nm以下である透明なプラスチックフィルム基
体(A)の少なくとも一方の面に、−OR1(H−OR1
で表される化合物の常圧における沸点が120℃以下と
なるアルコール残基)で表される官能基を有する物質
シランカップリング剤であり、それを含む有機樹脂層
(B)を形成し、そのB層上にSi(OR2)4(R2は炭素
数4以下のアルキル基)で表されるテトラアルコキシシ
ランに、M(OR3)n(Mは金属元素、R3は炭素数4以
下のアルキル基、nは3から5の整数)で表される金属
アルコキシドまたはPO(OR4)3(R4は炭素数4以下の
アルキル基)で表されるリン酸エステルのうち、少なく
とも1種以上を加えたものの共加水分解溶液を塗布し、
120℃以上でプラスチックフィルム基体のガラス転移
温度以下の条件で加熱して得られる無機硬化層(C)を
形成した積層体の少なくとも一方の面に、透明導電性を
有する薄膜(D)を積層したことを特徴とする透明導電
性フィルム。
1. A transparent plastic film substrate (A) which has a glass transition temperature of 120 ° C. or higher, is substantially amorphous, and has a retardation value at the film thickness of 15 nm or less. -OR 1 (H-OR 1
Boiling point at atmospheric pressure of a compound represented by the substance having a functional group represented by the alcohol residue) to be 120 ° C. or less
A tetraalkoxysilane which is a silane coupling agent, forms an organic resin layer (B) containing it, and is represented by Si (OR 2 ) 4 (R 2 is an alkyl group having 4 or less carbon atoms) on the B layer. Is a metal alkoxide represented by M (OR 3 ) n (M is a metal element, R 3 is an alkyl group having 4 or less carbon atoms, n is an integer of 3 to 5) or PO (OR 4 ) 3 (R 4 is Of the phosphoric acid ester represented by an alkyl group having 4 or less carbon atoms), at least one or more of them is applied with a co-hydrolysis solution,
A thin film (D) having transparent conductivity is laminated on at least one surface of a laminate having an inorganic cured layer (C) formed by heating at 120 ° C. or higher and under the glass transition temperature of a plastic film substrate. A transparent conductive film characterized by the above.
【請求項2】 透明なプラスチックフィルム基体(A)
がポリカーボネート、ポリアリレート、ポリサルホン、
ポリエーテルサルホン樹脂の溶融押出成膜フィルムであ
ることを特徴とする請求項1記載の透明導電性フィル
ム。
2. A transparent plastic film substrate (A)
Is polycarbonate, polyarylate, polysulfone,
The transparent conductive film according to claim 1, which is a melt-extruded film of a polyethersulfone resin.
【請求項3】 M(OR3)n(Mは金属元素、R3は炭素数
4以下のアルキル基、nは3から5の整数)で表される
金属アルコキシドが、周期表の3A族、4A族、5A
族、4B族又は5B族のいずれかの金属元素からなる金
属アルコキシドであることを特徴とする請求項1又は2
記載の透明導電性フィルム。
3. A metal alkoxide represented by M (OR 3 ) n (M is a metal element, R 3 is an alkyl group having 4 or less carbon atoms, and n is an integer of 3 to 5) is a group 3A group of the periodic table, 4A family, 5A
Family, claim, characterized in that a metal alkoxide composed of any of metal elements 4B group or 5B group 1 or 2
The transparent conductive film described.
【請求項4】 無機硬化層(C)を形成した積層体の、
無機硬化層(C)上にシランカップリング剤を含むUV
硬化型アクリレート樹脂硬化層(E)を介し透明導電性
を有する薄膜(D)を積層したことを特徴とする請求項
1、2、又は3記載の透明導電性フィルム。
4. A laminate having an inorganic cured layer (C) formed,
UV containing a silane coupling agent on the inorganic cured layer (C)
The transparent conductive film according to claim 1, 2 or 3 , wherein a thin film (D) having transparent conductivity is laminated via a curable acrylate resin cured layer (E).
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