JP3462276B2 - Aluminum foil for electrolytic capacitor electrode and method for producing aluminum electrode foil using the foil - Google Patents

Aluminum foil for electrolytic capacitor electrode and method for producing aluminum electrode foil using the foil

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JP3462276B2
JP3462276B2 JP24415094A JP24415094A JP3462276B2 JP 3462276 B2 JP3462276 B2 JP 3462276B2 JP 24415094 A JP24415094 A JP 24415094A JP 24415094 A JP24415094 A JP 24415094A JP 3462276 B2 JP3462276 B2 JP 3462276B2
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、電解コンデンサ電極
用アルミニウム箔及び該アルミニウム箔をエッチングし
た電解コンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法に関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an aluminum foil for electrolytic capacitor electrodes and a method for producing an aluminum electrode foil for electrolytic capacitors obtained by etching the aluminum foil.

【0002】なおこの明細書において、アルミニウムの
語はその合金を含む意味で用いる。
In this specification, the term aluminum is used to include its alloy.

【0003】[0003]

【従来の技術】電解コンデンサ用アルミニウム電極材と
して用いられるアルミニウム箔は、可及的大きな表面積
を有して単位体積当たりの静電容量の大きいものである
ことが要請される。このため、一般的に電気化学的ある
いは化学的なエッチング処理を施してアルミニウム箔の
実効面積を拡大することが行われており、更にこの拡面
率の可及的増大を目的として、エッチングピットをより
均一に発生させるための研究がなされている。
2. Description of the Related Art An aluminum foil used as an aluminum electrode material for an electrolytic capacitor is required to have a surface area as large as possible and a large capacitance per unit volume. Therefore, in general, electrochemical or chemical etching treatment is performed to expand the effective area of the aluminum foil, and etching pits are formed to increase the surface expansion ratio as much as possible. Studies have been conducted to generate the particles more uniformly.

【0004】例えば、中間焼鈍直前及び仕上げ焼鈍直前
の箔圧延において、箔の圧延方向に対して直角方向の中
心線平均粗さ(Ra )を0.35μm以下にロール粗度
を変更して調整することにより、立方体方位粒結晶粒の
集積度を大きくする提案がなされている(特公平1−3
3546号)。さらには、箔の圧延方向に対する表面の
圧延目残り、またはスクラッチに角度をつけ、かつ中心
線平均粗さ(Ra )を0.10μm以上とし水平方向の
トンネルピットの合体を防止することも提案されている
(特開平6−88298号)
For example, in the foil rolling just before the intermediate annealing and just before the finish annealing, the center line average roughness (Ra) in the direction perpendicular to the rolling direction of the foil is adjusted by changing the roll roughness to 0.35 μm or less. Therefore, it has been proposed to increase the degree of accumulation of cubic oriented grains (Japanese Patent Publication No. 1-3.
3546). Furthermore, it is also proposed that the rolling residue or scratches on the surface with respect to the rolling direction of the foil be angled and the center line average roughness (Ra) be set to 0.10 μm or more to prevent coalescence of the tunnel pits in the horizontal direction. (Japanese Patent Laid-Open No. 6-88298)

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記のよう
な従来提案では、エッチング初期において局部溶解を生
じ、エッチングピットどうしが連通して粗大な局部溶解
ピットとなり、結果において充分に期待されるような拡
面率の増大効果を得ることが難しいという問題点があっ
た。
However, in the above-mentioned conventional proposals, local dissolution occurs at the initial stage of etching, and etching pits communicate with each other to form coarse local dissolution pits. There is a problem that it is difficult to obtain the effect of increasing the surface expansion rate.

【0006】この発明は、かかる問題点を解決するため
になされたものであって、エッチング初期における局部
溶解ピットの発生を抑制することによって、多数の深い
エッチングピットを均一かつ高密度に形成することがで
き、拡面率すなわち静電容量に優れたものとなしうる電
解コンデンサ電極用アルミニウム箔の提供を目的とする
ものである。
The present invention has been made in order to solve such a problem, and it is possible to form a large number of deep etching pits uniformly and with high density by suppressing the generation of local dissolution pits in the initial stage of etching. It is an object of the present invention to provide an aluminum foil for an electrode of an electrolytic capacitor, which is capable of achieving a high surface area ratio, that is, an excellent capacitance.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記目的において、発明
者は、鋭意実験と研究を繰り返した結果、エッチング核
はアルミニウム箔表面の凹凸部分に多く形成されること
を知見するに至り、かかる知見から出発してエッチング
初期における局部溶解ピットの発生を抑制し得るアルミ
ニウム箔の表面状態を求めてさらに実験と研究を繰り返
した結果、この発明を完成し得たものである。
For the above-mentioned purpose, the inventor has found that as a result of repeated experiments and research, the etching nuclei are often formed on the uneven portions of the aluminum foil surface. The present invention has been completed as a result of repeating the experiment and the research after obtaining the surface condition of the aluminum foil capable of suppressing the generation of the local dissolution pit in the initial stage of etching after the start.

【0008】即ちこの発明の1つは、表面割れの占有面
積が30%以上で、かつ表面の凹凸プロファイルのう
ち、圧延方向と直角な方向において、頂角が140度以
下の山の数が20個/0.5mm以下であることを特徴
とするものである。
That is, according to one aspect of the present invention, the number of peaks having an apex angle of 140 degrees or less is 20 in the surface unevenness profile in the surface irregularity profile of 30% or more and in the direction perpendicular to the rolling direction. It is characterized in that the number is 0.5 / mm or less.

【0009】上記において、表面割れとは、“アルミニ
ウムおよびアルミニウム合金の表面欠陥分類(軽金属学
会発行)”にて定義された表面形態であり、具体的に
は、圧延方向に対して直角に現れる無数の微細な表面割
れをいう。この表面割れは、光学顕微鏡的には、数μm
〜数10μmの長さの溝状欠陥として観察される。この
表面割れの占有面積が箔の全表面積の30%以上に規定
されるのは、30%未満ではエッチング初期における局
部溶解ピットの発生が多くなり、結果的に大きな静電容
量を得ることができないからであるが、その理由は次の
ように推測される。
In the above, the surface crack is a surface morphology defined in "Classification of Surface Defects of Aluminum and Aluminum Alloys" (published by Japan Institute of Light Metals), and specifically, countless numbers appearing at right angles to the rolling direction. Of fine surface cracks. This surface crack is several μm in terms of an optical microscope.
It is observed as a groove-like defect having a length of several tens of μm. The area occupied by the surface cracks is defined to be 30% or more of the total surface area of the foil. If the area is less than 30%, local dissolution pits are often generated in the initial stage of etching, and as a result, a large capacitance cannot be obtained. However, the reason is speculated as follows.

【0010】即ち、初期のエッチングピットの核となる
微細な凹部形状部が表面割れによって発生し、エッチン
グピットを分散させるものと推測されるが、表面割れの
占有面積が箔の全表面積の30%未満では、その効果に
乏しいからと推測される。特に好ましい表面割れの占有
面積は40%以上であり、上限は70%とするのが好ま
しい。
That is, it is presumed that a fine concave shape portion which becomes the nucleus of the initial etching pit is generated by the surface crack and disperses the etching pit, but the area occupied by the surface crack is 30% of the total surface area of the foil. It is presumed that if the value is less than the above, the effect is poor. The particularly preferable surface crack occupying area is 40% or more, and the upper limit is preferably 70%.

【0011】このような表面割れは、圧延時のロールと
板(箔)との接触弧内へ引込まれる圧延油を過剰にした
り、1パス当たりの圧下量を少なくしたり、圧延速度を
増加させること等によって発生させることができ、従っ
てこれらを調整することによって、表面割れの占有面積
を30%以上とすることができる。
Such surface cracks cause an excessive amount of rolling oil drawn into the contact arc between the roll and the plate (foil) during rolling, reduce the amount of reduction per pass, and increase the rolling speed. And the like. Therefore, by adjusting these, the occupied area of surface cracks can be made 30% or more.

【0012】表面割れの占有面積が30%以上であって
も、鋭角的な圧延筋が多数存在すると、エッチング初期
の段階で多数の局部溶解ピットを生じてしまうため、こ
のような圧延筋は少なくしなければならない。具体的に
は、図1に示すように、アルミニウム箔(1)の圧延方
向と直角な方向(図のY方向)において、頂角(θ)が
140度以下の鋭角的な山(2)の数が0.5mmの長
さ当たり20個以下であることが必要である。このよう
に、表面割れの占有面積が30%以上であっても、圧延
方向と直角な方向において頂角(θ)が140度以下の
鋭角的な山(2)の数が0.5mm当たり20個を越え
て存在すると、エッチング初期の段階で多数の局部溶解
ピットを生じてしまうのは次の理由によるものと推測さ
れる。
Even if the area occupied by surface cracks is 30% or more, if there are many sharp-angled rolling streaks, many local melting pits will occur at the initial stage of etching. Must. Specifically, as shown in FIG. 1, in the direction (Y direction in the figure) perpendicular to the rolling direction of the aluminum foil (1), the apex angle (θ) of the acute peak (2) of 140 degrees or less is formed. It is necessary that the number is 20 or less per 0.5 mm length. Thus, even if the area occupied by surface cracks is 30% or more, the number of acute peaks (2) having an apex angle (θ) of 140 degrees or less in the direction perpendicular to the rolling direction is 20 per 0.5 mm. It is presumed that the presence of more than one of the above causes a large number of local dissolution pits in the initial stage of etching for the following reason.

【0013】即ち、圧延筋は突起(凸形状)となってい
るうえ、圧延方向に沿って並んでいるためエッチングの
ごく初期に電位集中が起こり、優先的にしかも筋状に局
部溶解ピットが発生すると推測される。従って、この筋
状の凸部をなくせば、初期エッチングの不均一性が抑制
されると考えられる。
That is, since the rolling streaks are protrusions (convex shapes) and are arranged along the rolling direction, concentration of electric potential occurs at the very early stage of etching, and local melting pits preferentially occur in streaks. It is supposed to be. Therefore, it is considered that the nonuniformity of the initial etching is suppressed by eliminating the streak-shaped convex portion.

【0014】好ましくは、圧延方向と直角な方向におけ
る頂角(θ)が140度以下の鋭角的な山(2)の数は
0.5mm当たり10個以下とするのが良い。このよう
な圧延筋は圧延ロールの研磨筋の転写によって生じるこ
とから、圧延ロールの研磨筋を制御することにより、頂
角140度以下の山(2)の数を前記範囲に制御するこ
とができる。なお、箔表面の凹凸プロファイルは表面粗
さ計等で測定すれば良い。
Preferably, the number of acute peaks (2) having an apex angle (θ) of 140 degrees or less in a direction perpendicular to the rolling direction is 10 or less per 0.5 mm. Since such rolling streaks are generated by transferring the polishing streaks of the rolling roll, the number of peaks (2) having an apex angle of 140 degrees or less can be controlled within the above range by controlling the polishing streaks of the rolling roll. . The uneven profile of the foil surface may be measured with a surface roughness meter or the like.

【0015】また、エッチング初期における局部溶解ピ
ットの発生を抑制できるこの発明の第2のものは、表面
におけるオイルピットの占有面積が30%以上であるこ
とを特徴とする電解コンデンサ電極用アルミニウム箔で
ある。
A second aspect of the present invention capable of suppressing the generation of local dissolution pits at the initial stage of etching is an aluminum foil for electrolytic capacitor electrodes, characterized in that the surface area of the oil pits is 30% or more. is there.

【0016】ここにオイルピットとは、圧延油が埋め込
まれた後に生じた孔をいう。このオイルピットは一般に
は箔表面の形状を損なうものと考えられているが、この
発明では、オイルピットを積極的に利用しその占有面積
を箔の全表面の30%以上とする。このように、オイル
ピットの占有面積を30%以上とすることによって、局
部溶解ピットの発生を抑制できるのは、オイルピットは
油膜の非常に厚い部分であったため、ロール表面との接
触領域が少なく、その結果箔表面が自由表面となり初期
の局部溶解ピットにつながるエッチングピットの核が減
少することによるものと推測される。特に好ましいオイ
ルピットの占有面積は40%以上であり、上限は70%
とするのが好ましい。
Here, the oil pit means a hole formed after the rolling oil is embedded. This oil pit is generally considered to impair the shape of the foil surface, but in the present invention, the oil pit is positively utilized and the occupied area is 30% or more of the entire surface of the foil. As described above, by making the occupied area of the oil pits 30% or more, the occurrence of the local dissolution pits can be suppressed because the oil pits are the very thick part of the oil film, and the contact area with the roll surface is small. As a result, it is speculated that the nuclei of the etching pits that lead to the initial local dissolution pits decrease as the foil surface becomes a free surface. The particularly preferred occupation area of the oil pit is 40% or more, and the upper limit is 70%.
Is preferred.

【0017】オイルピットは、材料の変形抵抗や圧延油
の粘度等の影響を受ける。従って、材料に中間焼鈍を施
してから圧延に供するか、動粘度の高い圧延油を用いて
圧延する等の手段によって、オイルピットの占有面積率
を高めることができる。
The oil pit is affected by the deformation resistance of the material and the viscosity of rolling oil. Therefore, the occupied area ratio of the oil pit can be increased by means such as applying the material to the intermediate annealing and then rolling, or rolling with a rolling oil having a high kinematic viscosity.

【0018】さらに、オイルピットの占有面積が30%
以上という要件に加えて、表面割れの占有面積が30%
以上であることの要件を付加することによって、エッチ
ング初期における局部溶解ピットの発生をさらに抑制で
き、ひいてはさらに大きな静電容量を得ることができ
る。かつまた、オイルピットの占有面積、表面割れの占
有面積の要件に加えて、表面の凹凸プロファイルのう
ち、圧延方向と直角な方向において、頂角が140度以
下の山の数が20個/0.5mm以下であることの要件
を付加すると、これらが相乗的に作用して益々局部溶解
ピットの発生を抑制でき、大きな静電容量を得ることが
できる。なお、これらの表面割れの占有面積、頂角が1
40度以下の山の数に関する要件は、前述したものと同
じであるので、その説明は省略する。
Further, the occupation area of the oil pit is 30%.
In addition to the above requirements, the area occupied by surface cracks is 30%
By adding the above requirement, it is possible to further suppress the occurrence of local dissolution pits in the initial stage of etching, and to obtain a larger capacitance. Moreover, in addition to the requirements for the occupied area of the oil pit and the occupied area of the surface crack, the number of peaks having an apex angle of 140 degrees or less is 20/0 in the surface unevenness profile in the direction perpendicular to the rolling direction. When the requirement of 0.5 mm or less is added, these act synergistically and the occurrence of local dissolution pits can be further suppressed, and a large capacitance can be obtained. The area occupied by these surface cracks and the apex angle are 1
The requirement regarding the number of peaks of 40 degrees or less is the same as that described above, and thus the description thereof is omitted.

【0019】なお、この発明に用いるアルミニウム箔
は、エッチングピットを均一に成長させるためにAl純
度99.9%以上のものが好ましく、特に99.99%
以上の高純度のものが好ましいが、これらに限定される
ものではなく、電解コンデンサに使用される範囲内のも
のであれば良い。
The aluminum foil used in the present invention preferably has an Al purity of 99.9% or more, particularly 99.99%, in order to uniformly grow etching pits.
The above-mentioned high-purity ones are preferable, but not limited to these, as long as they are in a range used for electrolytic capacitors.

【0020】この発明に係る電解コンデンサ電極用アル
ミニウム箔は、拡面率向上のためにエッチング処理を施
されたのち、電極箔として使用される。而して、この発
明に係るアルミニウム箔は、その表面形態が特定されて
いるためエッチング初期の段階で粗大な局部溶解ピット
の発生は抑制されるが、更に好ましくはエッチング前に
アルミニウム箔の表層を除去するのが良い。アルミニウ
ム箔の表層を除去することにより、圧延時に表層に埋め
込まれた酸化物や圧延油等の物質を除去することがで
き、前述したような表面形態が一層顕著に露出して、粗
大な局部溶解ピットの発生がさらに抑制されて一層大き
な静電容量を得ることができるからである。しかし、除
去厚さが厚すぎると表面形態が損なわれて消失するた
め、除去厚さは平均で0.5μm以下に設定しなければ
ならない。特に好ましくは平均で0.3μm以下であ
り、また下限値は平均で0.01μmとするのが好まし
い。
The aluminum foil for electrolytic capacitor electrodes according to the present invention is used as an electrode foil after being subjected to an etching treatment for improving the surface expansion rate. Thus, the aluminum foil according to the present invention, whose surface morphology is specified, suppresses the generation of coarse local dissolution pits in the initial stage of etching, but more preferably the surface layer of the aluminum foil before etching. Good to remove. By removing the surface layer of the aluminum foil, substances such as oxides and rolling oil embedded in the surface layer during rolling can be removed, and the above-mentioned surface morphology is more significantly exposed, resulting in coarse local dissolution. This is because the generation of pits can be further suppressed and a larger capacitance can be obtained. However, if the removed thickness is too thick, the surface morphology is impaired and disappears. Therefore, the removed thickness must be set to 0.5 μm or less on average. Particularly preferably, the average value is 0.3 μm or less, and the lower limit value is preferably 0.01 μm on average.

【0021】なお、アルミニウム箔の表層除去の方法は
特に限定されることはないが、一例としてアルカリエッ
チングや酸エッチングを挙げ得る。また、除去後のフレ
ッシュな表面が露出している状態でエッチングを行わせ
るとともにひいては静電容量を増大させるべく、表層の
除去はエッチングの直前に行う方が良い。
The method of removing the surface layer of the aluminum foil is not particularly limited, but examples thereof include alkali etching and acid etching. Further, it is better to remove the surface layer immediately before the etching in order to perform the etching in a state where the fresh surface after the removal is exposed and further increase the electrostatic capacity.

【0022】[0022]

【作用】請求項1〜4に係る電解コンデンサ電極用アル
ミニウム箔では、エッチング初期における局部溶解ピッ
トの発生が抑制され、箔表面全体に均一分散状態に多数
のエッチングピットが生成されるとともに、これが成長
して深くて太いエッチングピットとなり、その結果、拡
面率が増大し静電容量が増大する。
In the aluminum foil for electrolytic capacitor electrodes according to claims 1 to 4, the occurrence of local dissolution pits is suppressed in the initial stage of etching, and a large number of etching pits are formed in a uniformly dispersed state on the entire foil surface and grow. As a result, deep and thick etching pits are formed, and as a result, the surface expansion rate increases and the capacitance increases.

【0023】また、請求項1〜4のいずれか1に記載さ
れた箔の表層を、平均厚さ0.5μm以下の範囲で除去
したのちエッチングを行うことによって、圧延時に表層
に埋め込まれた酸化物や圧延油等の物質が除去され、粗
大な局部溶解ピットの発生がさらに抑制される。
Further, the surface layer of the foil according to any one of claims 1 to 4 is removed in a range of an average thickness of 0.5 μm or less, and then etching is performed, so that the oxidation embedded in the surface layer during rolling is performed. Substances such as rolling stock and rolling oil are removed, and the generation of coarse local dissolution pits is further suppressed.

【0024】[0024]

【実施例】【Example】

(実施例1)Fe:15ppm、Si:25ppm、C
u:30ppmを含有するAl純度99.99%のアル
ミニウムの鋳塊を、常法に従い面削、熱間圧延及び冷間
圧延を行った。なお、冷間圧延の途中に、表1に示すよ
うな条件で中間焼鈍を行った。また、No11のものに
ついては中間焼鈍を行わなかった。
(Example 1) Fe: 15 ppm, Si: 25 ppm, C
An ingot of aluminum having an Al purity of 99.99% and containing u: 30 ppm was subjected to chamfering, hot rolling and cold rolling according to a conventional method. During the cold rolling, intermediate annealing was performed under the conditions shown in Table 1. Moreover, about No. 11, the intermediate annealing was not performed.

【0025】冷間圧延後、圧延速度、圧延油の粘度、ロ
ールの表面粗度を変化させて箔圧延を行い、表面形態の
異なる複数のアルミニウム箔(厚さはいずれも100μ
m)を得た。なお、圧延速度はロール周速で100〜8
00m/分の間で変化させ、圧延油は鉱物油をベースに
アルコールを5%添加したものを使用するとともに、そ
の粘度は1.3〜4cstの間で変化させ、ロールの表
面粗度は中心線平均粗さ(Ra )で0.4〜0.03μ
mの間で変化させた。
After cold rolling, foil rolling was carried out by changing the rolling speed, the viscosity of rolling oil, and the surface roughness of the rolls, and a plurality of aluminum foils having different surface morphologies (thickness: 100 μm) were used.
m) was obtained. The rolling speed is 100 to 8 in terms of roll peripheral speed.
The rolling oil used was a mineral oil based on which 5% of alcohol was added, the viscosity was changed between 1.3 and 4 cst, and the surface roughness of the roll was at the center. Line average roughness (Ra) 0.4-0.03μ
It was changed between m.

【0026】次いで、各アルミニウム箔をアルゴン雰囲
気中で520℃×3時間最終焼鈍した。
Next, each aluminum foil was finally annealed at 520 ° C. for 3 hours in an argon atmosphere.

【0027】上記により得た各アルミニウム箔の表面
を、レーザ表面粗さ計および顕微鏡により観察して、表
面割れ占有面積率、オイルピットの占有面積率、圧延方
向と直角な方向の長さ0.5mmあたりにおける頂角が
140度以下の山の数を測定した。それらの結果を表1
に示す。
The surface of each aluminum foil obtained as described above was observed by a laser surface roughness meter and a microscope, and the area ratio occupied by surface cracks, the area ratio occupied by oil pits, and the length in the direction perpendicular to the rolling direction were measured. The number of peaks having an apex angle of 140 degrees or less per 5 mm was measured. The results are shown in Table 1.
Shown in.

【0028】次に、上記各種類のアルミニウム箔を、表
層の除去処理を施すことなく、5%塩酸と10%硫酸と
の混液(80℃)中で、電流密度を直流20A/dm2
として80秒間一次エッチングしたのち、続いて5%塩
酸(80℃)中で、電流密度を直流5A/dm2 として
10分間二次エッチングした。
Next, the aluminum foil of each of the above types was subjected to a current density of 20 A / dm 2 in a mixed solution of 5% hydrochloric acid and 10% sulfuric acid (80 ° C.) without removing the surface layer.
After the primary etching for 80 seconds, the secondary etching was subsequently performed in 5% hydrochloric acid (80 ° C.) at a current density of 5 A / dm 2 for 10 minutes.

【0029】そして、その後ほう酸浴中で380Vに化
成処理したのち、各電極箔の静電容量を測定した。その
結果を、比較例1を100%とした場合の相対比較にて
表1に示す。
Then, after performing chemical conversion treatment at 380 V in a boric acid bath, the capacitance of each electrode foil was measured. The results are shown in Table 1 as a relative comparison when Comparative Example 1 was set to 100%.

【0030】[0030]

【表1】 また、エッチング後に各アルミニウム箔の表面を観察し
たところ、No1、2の比較品は、粗大な局部溶解ピッ
トが生じていたのに対し、No3〜11の実施品は粗大
な局部溶解ピットの発生が抑制されたものであった。
[Table 1] Further, when the surface of each aluminum foil was observed after etching, coarse local dissolution pits were generated in the comparative products of Nos. 1 and 2, whereas coarse local dissolution pits were generated in the products of Nos. 3 to 11. It was suppressed.

【0031】上記結果からわかるように、本発明実施品
は比較品に較べて局部溶解ピットを抑制して静電容量を
増大しうることを確認し得た。
As can be seen from the above results, it can be confirmed that the product of the present invention can suppress the local dissolution pit and increase the capacitance as compared with the comparative product.

【0032】(実施例2)実施例1における表1のNo
3、5、7、9(いずれも実施品)と同一のアルミニウ
ム箔を用い、各アルミニウム箔の表層を、表2に示すよ
うな各種の平均除去厚さにて除去した。除去処理は、
2.5%のNaOH(30℃)中で浸漬時間を変化させ
ることによって行った。
(Example 2) No. of Table 1 in Example 1
The same aluminum foils as 3, 5, 7, and 9 (all of which were carried out) were used, and the surface layer of each aluminum foil was removed with various average removal thicknesses as shown in Table 2. The removal process is
It was carried out by varying the soaking time in 2.5% NaOH (30 ° C.).

【0033】次に、表層を除去した各アルミニウム箔
を、直ちに実施例1と同一のエッチング条件にてエッチ
ングしたのち、さらにほう酸浴中で380Vに化成処理
した。そして、各電極箔の静電容量を測定した。その結
果を、表1のNo1のアルミニウム箔についての静電容
量を100としたときの相対比較にて、表2に示す。
Next, each aluminum foil from which the surface layer was removed was immediately etched under the same etching conditions as in Example 1, and then subjected to chemical conversion treatment in a boric acid bath at 380V. Then, the capacitance of each electrode foil was measured. The results are shown in Table 2 as a relative comparison when the capacitance of No. 1 aluminum foil in Table 1 is set to 100.

【0034】[0034]

【表2】 上記表2の結果から、エッチング前にアルミニウム箔の
表層を平均0.5μm以下の厚さにわたって除去するこ
とにより、さらに大きな静電容量を得ることができるこ
とを確認し得た。
[Table 2] From the results of Table 2 above, it could be confirmed that a larger capacitance can be obtained by removing the surface layer of the aluminum foil over an average thickness of 0.5 μm or less before etching.

【0035】[0035]

【発明の効果】請求項1〜4に係る電解コンデンサ電極
用アルミニウム箔は、上述の次第で、アルミニウム箔の
表面形態を規定したから、エッチング初期における局部
溶解ピットの発生を抑制することができ、箔表面全体に
均一分散状態に多数のエッチングピットを生成すること
ができるとともに、これが成長して深くて太いエッチン
グピットとなり、その結果、拡面率を増大しえて静電容
量を増大することができる。
Since the aluminum foil for electrolytic capacitor electrodes according to claims 1 to 4 defines the surface morphology of the aluminum foil as described above, it is possible to suppress the occurrence of local dissolution pits at the initial stage of etching. It is possible to generate a large number of etching pits in a uniformly dispersed state on the entire foil surface, and these grow to become deep and thick etching pits. As a result, it is possible to increase the surface area ratio and increase the capacitance. .

【0036】また、請求項1〜4のいずれか1に記載さ
れたアルミニウム箔の表層を、平均厚さ0.5μm以下
の範囲で除去したのちエッチングを行うことによって、
圧延時に表層に埋め込まれた酸化物や圧延油等の物質を
除去することができ、上記表面形態が一層顕著に露出し
て、粗大な局部溶解ピットの発生をさらに抑制すること
ができ一層大きな静電容量を得ることができる。
Further, by removing the surface layer of the aluminum foil according to any one of claims 1 to 4 in a range of an average thickness of 0.5 μm or less, etching is performed,
It is possible to remove substances such as oxides and rolling oil embedded in the surface layer during rolling, the surface morphology is more significantly exposed, and it is possible to further suppress the occurrence of coarse local dissolution pits and to achieve greater static Capacitance can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明に係るアルミニウム箔の表面を、圧延
方向と直交する方向において切断したときの模式的断面
拡大図である。
FIG. 1 is a schematic enlarged cross-sectional view of a surface of an aluminum foil according to the present invention, which is cut in a direction orthogonal to a rolling direction.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…アルミニウム箔 2…山 1 ... Aluminum foil 2 ... mountain

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 熊谷 透 堺市海山町6丁224番地 昭和アルミニ ウム株式会社内 (72)発明者 加藤 豊 堺市海山町6丁224番地 昭和アルミニ ウム株式会社内 (72)発明者 御所名 健司 堺市海山町6丁224番地 昭和アルミニ ウム株式会社内 (56)参考文献 特開 平6−88298(JP,A) 特開 平4−341545(JP,A) 特開 平5−200405(JP,A) 特開 昭58−174539(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01G 9/055 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Toru Kumagai 6-224 Kaiyama-cho, Sakai-shi, Showa Aluminum Co., Ltd. (72) Inventor Yutaka Kato 6-224 Haiyama-cho, Sakai-shi, Showa Aluminum Co., Ltd. 72) Inventor Kenji Goji 6224, Kaiyama-cho, Sakai City Within Showa Aluminum Co., Ltd. (56) References JP-A-6-88298 (JP, A) JP-A-4-341545 (JP, A) JP HEI 5-200405 (JP, A) JP 58-174539 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) H01G 9/055

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 表面割れの占有面積が30%以上で、か
つ表面の凹凸プロファイルのうち、圧延方向と直角な方
向において、頂角が140度以下の山の数が20個/
0.5mm以下であることを特徴とする電解コンデンサ
電極用アルミニウム箔。
1. The number of peaks having an apex angle of 140 ° or less is 20 / in the surface unevenness profile having an area occupied by surface cracks of 30% or more and in a direction perpendicular to the rolling direction.
Aluminum foil for electrolytic capacitor electrodes, which is 0.5 mm or less.
【請求項2】 表面におけるオイルピットの占有面積が
30%以上であることを特徴とする電解コンデンサ電極
用アルミニウム箔。
2. An aluminum foil for an electrolytic capacitor electrode, wherein an occupied area of the oil pit on the surface is 30% or more.
【請求項3】 表面におけるオイルピットの占有面積が
30%以上で、かつ表面割れの占有面積が30%以上で
あることを特徴とする電解コンデンサ電極用アルミニウ
ム箔。
3. An aluminum foil for an electrolytic capacitor electrode, wherein an occupied area of oil pits on the surface is 30% or more and an occupied area of surface cracks is 30% or more.
【請求項4】 表面におけるオイルピットの占有面積が
30%以上で、かつ表面割れの占有面積が30%以上で
あり、さらに表面の凹凸プロファイルのうち、圧延方向
と直角な方向において、頂角が140度以下の山の数が
20個/0.5mm以下であることを特徴とする電解コ
ンデンサ電極用アルミニウム箔。
4. The area occupied by oil pits on the surface is 30% or more, and the area occupied by surface cracks is 30% or more. Further, in the uneven profile of the surface, in the direction perpendicular to the rolling direction, the apex angle is The aluminum foil for electrolytic capacitor electrodes, wherein the number of peaks at 140 degrees or less is 20 / 0.5 mm or less.
【請求項5】 請求項1〜4のいずれか1に記載された
箔の表層を、平均厚さ0.5μm以下の範囲で除去した
のちエッチングを行うことを特徴とする電解コンデンサ
用アルミニウム電極箔の製造方法。
5. An aluminum electrode foil for an electrolytic capacitor, characterized in that the surface layer of the foil according to any one of claims 1 to 4 is removed in a range of an average thickness of 0.5 μm or less and then etched. Manufacturing method.
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