JP3450157B2 - Vacuum suction pad - Google Patents
Vacuum suction padInfo
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- JP3450157B2 JP3450157B2 JP17560297A JP17560297A JP3450157B2 JP 3450157 B2 JP3450157 B2 JP 3450157B2 JP 17560297 A JP17560297 A JP 17560297A JP 17560297 A JP17560297 A JP 17560297A JP 3450157 B2 JP3450157 B2 JP 3450157B2
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- B65G2249/04—Arrangements of vacuum systems or suction cups
- B65G2249/045—Details of suction cups suction cups
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネルを搬送
する際にワークを保持したり、ガラススクライバー等の
加工機のテーブルにワークを固定するための真空吸着パ
ッドに関する。The present invention relates is or holding the work in transporting the liquid crystal panel, the vacuum suction path for fixing the workpiece to the machine table, such as glass scriber
About the dead .
【０００２】[0002]
【従来の技術】図１は、ワークの給材および除材時を行
う搬送ロボット等に従来より使用されている真空吸着パ
ッド１と、吸着対象の液晶パネル２を示している。その
真空吸着パッド１は、おわんを伏せた形状に似るゴム製
の吸盤１ａと、その吸盤１ａの上部を貫通して上方に延
在する吸引管１ｂとからなる。液晶パネル２は周知のご
とく、２枚のガラス板３を粒状のスペーサ４を挟んで重
ね合わせてから、両ガラス板３の周縁部を接着剤５を用
いて相互に固定し、接着剤５の層に設けた小孔から液晶
を注入したものである。2. Description of the Related Art FIG. 1 shows a vacuum suction pad 1 and a liquid crystal panel 2 to be suctioned, which are conventionally used in a transfer robot or the like for supplying and removing a work. The vacuum suction pad 1 is composed of a rubber suction cup 1a that resembles a bent bowl shape, and a suction pipe 1b that extends upward through the upper portion of the suction cup 1a. As is well known, the liquid crystal panel 2 is formed by stacking two glass plates 3 with a granular spacer 4 sandwiched therebetween, and then fixing the peripheral portions of both glass plates 3 to each other with an adhesive 5 to fix the adhesive 5 to each other. The liquid crystal is injected through the small holes provided in the layer.
【０００３】図２は、その吸盤１ａの下端周縁部１ａ'
を液晶パネル２の上面に押し当て、吸引管１ｂを通じて
真空吸引したところを示す。この真空吸引により、上側
のガラス板３が大気圧との差圧力によって上方に湾曲
し、その箇所で上下ガラス板間のギャップが大きくな
り、一時的に圧力が低くなる結果、液晶がその箇所に流
れ込むようになる。スペーサ４は例えば直径５μｍのも
のを１００個／ｍｍ2±５％のように均一な密度となる
ように封入されているがガラス板３とは固着されていな
いので液晶の移動に伴ってスペーサ４も移動する。液晶
パネル２に液晶が未封入の場合は圧力の低くなった箇所
に空気が流れ込むが、この場合、スペーサ４の移動抵抗
が少ないため、スペーサ４の移動が更に増長される。FIG. 2 shows a lower end peripheral edge portion 1a 'of the suction cup 1a.
Is pressed against the upper surface of the liquid crystal panel 2, and vacuum suction is performed through the suction tube 1b. By this vacuum suction, the upper glass plate 3 bends upward due to the pressure difference from the atmospheric pressure, the gap between the upper and lower glass plates increases at that position, and the pressure temporarily decreases, so that the liquid crystal moves to that position. It will begin to flow. Spacers 4 having a diameter of 5 μm, for example, are encapsulated so as to have a uniform density of 100 pieces / mm 2 ± 5%, but are not fixed to the glass plate 3, so that the spacers 4 move as the liquid crystal moves. Also moves. When liquid crystal is not enclosed in the liquid crystal panel 2, air flows into a place where the pressure is low, but in this case, the movement resistance of the spacer 4 is small, and therefore the movement of the spacer 4 is further increased.
【０００４】この結果、吸着終了後も図３に示すよう
に、スペーサ４の分布にバラツキが生じ、それに応じて
ギャップにもバラツキが生じる。ギャップが±０.０２
ｍｍ以上にばらつくと表示面に色むらが現れて製品不良
となる。As a result, as shown in FIG. 3, even after the adsorption is completed, the distribution of the spacers 4 varies, and accordingly, the gap also varies. Gap is ± 0.02
If it is more than mm, color unevenness appears on the display surface, resulting in a defective product.
【０００５】図４は、例えばガラススクライバー等に使
用される真空吸着テーブル１１を示している。下図の平
面図に示されるように、テーブル面には一定の間隔で吸
引孔１２が設けられている。各吸引孔１２は、上図の側
断面図に示されるように、連通溝１３を通じて互いに連
通しているが、下図に示されるように、２つのサイズの
液晶パネル２、２'に対応できるように、連通溝１３は
２グループに分けられ、それぞれに個別の排気口１４が
設けられる。FIG. 4 shows a vacuum suction table 11 used for, for example, a glass scriber. As shown in the plan view of the figure below, suction holes 12 are provided at regular intervals on the table surface. The suction holes 12 are communicated with each other through the communication groove 13 as shown in the side sectional view of the upper figure, but as shown in the lower figure, the suction holes 12 are compatible with the liquid crystal panels 2 and 2'of two sizes. In addition, the communication groove 13 is divided into two groups, each of which is provided with an individual exhaust port 14.
【０００６】上図に示されるように、テーブル１１は、
上下の部材１１ａ，１１ｂをパッキン１５を用いて気密
に接合されたものであり、先の連通溝１３は、下部材１
１ｂに凹状の溝を形成して得たものである。このテーブ
ル１１により液晶パネル２を吸引固定すると、個々の吸
引孔１２において、図２で述べたのと同様、スペーサの
移動によるギャップ変化が生じた。As shown in the above figure, the table 11 is
The upper and lower members 11a and 11b are airtightly joined to each other by using a packing 15.
It is obtained by forming a concave groove in 1b. When the liquid crystal panel 2 was sucked and fixed by the table 11, a gap change due to the movement of the spacer occurred in each of the suction holes 12 as in the case described with reference to FIG.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】このように吸着時に液
晶パネル２が変形した原因は、ガラス板の板厚やスペー
サ４のサイズに比べて、吸盤１ａや吸引孔１２の口径が
大きいためである。吸盤１ａでは口径は数十ｍｍもあ
り、吸引孔１２でさえ口径は数ｍｍもあるのに対して、
ガラス板厚は０.５〜１.１ｍｍであり、その板厚は薄い
ものが選択される傾向がある。The reason why the liquid crystal panel 2 is deformed at the time of suction is that the diameter of the suction cup 1a and the suction hole 12 is larger than the thickness of the glass plate and the size of the spacer 4. . The suction cup 1a has a diameter of several tens of millimeters, and even the suction hole 12 has a diameter of several millimeters.
The glass plate thickness is 0.5 to 1.1 mm, and a thin plate tends to be selected.
【０００８】その課題を回避しようとして、図１の真空
吸着パッド１において、吸盤１ａのサイズを小さくすれ
ば、吸引力が不足するため、図５に示されるように、複
数個の真空吸着パッド１が必要となるが、その構成では
機構が複雑化するだけでなく、複数個の真空吸着パッド
１を用いて液晶パネル２を歪ませることなくバランスよ
く吸着することは困難である。In order to avoid this problem, in the vacuum suction pad 1 of FIG. 1, if the size of the suction cup 1a is reduced, the suction force will be insufficient, so that as shown in FIG. However, in that configuration, not only the mechanism becomes complicated, but also it is difficult to use a plurality of vacuum suction pads 1 to suction the liquid crystal panel 2 in a well-balanced manner without distorting it.
【０００９】又、図４の真空吸着テーブル１１におい
て、金属性のテーブルに微細な吸引孔１２を多数設け、
かつ、それに対応して連通管１３を形成するには精密加
工が必要であり、製作コストが高価になる。Further, in the vacuum suction table 11 of FIG. 4, a large number of fine suction holes 12 are provided in a metallic table,
In addition, in order to form the communication pipe 13 correspondingly, precision processing is required, which increases the manufacturing cost.
【００１０】又、従来の真空吸着パッド１や真空吸着テ
ーブル１１では、構造上、種々のサイズのワークに対応
できず、規定サイズ外のワークを扱うことはできなかっ
た。Further, the conventional vacuum suction pad 1 and the vacuum suction table 11 cannot handle works of various sizes due to the structure, and cannot handle works of sizes other than the specified size.
【００１１】又、テーブル１１は、ワーク載置面はフラ
ットでなくてはならないために精密加工が必要であり、
又、変形が生じないように強固なものとなっている。そ
のため、テーブル自体の重量が大きく、そのためテーブ
ル１１を移動および転回させるための強力な駆動系を必
要とした。Further, the table 11 needs to be precisely machined because the work mounting surface must be flat.
It is also strong so that it does not deform. Therefore, the weight of the table itself is large, which requires a powerful drive system for moving and turning the table 11.
【００１２】従って本発明は、ワークを変形させること
なく吸着でき、かつ、軽量、安価で大きな駆動系も必要
としない真空吸着パッドを提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, an object of the present invention is to provide a vacuum suction pad which can suck a work without deforming it, is lightweight, is inexpensive, and does not require a large drive system.
【００１３】[0013]
【課題を解決するための手段】各種板状材料に、図４に
示した吸引孔１２に相当する多数の微細な孔を容易に形
成することが可能である。しかし、それらの多数の孔相
互をつなぐ連通管１３を設けるのは加工が複雑になる。
ここで発想の転換を図り、吸引孔１２をエッチングする
のではなく、その部位を非エッチング部としその他をエ
ッチングすれば、非エッチングの箇所が凸部として残
る。それらの各凸部が独立しておれば(隣接する凸部と
離隔)、エッチングにより生じた凹部は相互がつながっ
ており、先の連通管を設ける必要はなくなる。本発明の
真空吸着装置はこの新規な着想に基づく。It is possible to easily form a large number of minute holes corresponding to the suction holes 12 shown in FIG. 4 in various plate-shaped materials. However, the processing becomes complicated to provide the communication pipe 13 that connects these many holes to each other.
Here, if the idea is changed and the suction hole 12 is not etched, but that portion is made a non-etched portion and the other portions are etched, the non-etched portion remains as a convex portion. If the respective convex portions are independent (separated from the adjacent convex portions), the concave portions formed by etching are connected to each other, and it is not necessary to provide the communicating tube. The vacuum suction device of the present invention is based on this novel idea.
【００１４】エッチングを行う板状材料としては、金属
板以外では、紫外線照射によりエッチングを行う感光性
樹脂材が最適である。シート状の感光性樹脂版の表面
に、所望のパターンを描いたフイルムをマスクとして貼
り合わせ、その上から紫外線を照射(感光)した後、その
感光性樹脂を処理液でエッチング(現像)することによ
り、パターンの箇所以外ではエッチングされて凹部が形
成され、光を透過しないパターンの箇所は非エッチング
のために凸部として残される。As a plate-like material for etching, a photosensitive resin material for etching by irradiation of ultraviolet rays is most suitable, other than a metal plate. On the surface of the sheet-shaped photosensitive resin plate, stick the film with a desired pattern as a mask, irradiate ultraviolet rays from above (photosensitive), and then etch (develop) the photosensitive resin with a treatment liquid As a result, the concave portions are formed by etching except the pattern portions, and the pattern portions that do not transmit light are left as convex portions due to non-etching.
【００１５】このエッチング技法を用いて、例えば円盤
形状の感光性樹脂版に対し、その周縁部を気密保持のた
めにエッチング無しのフラット面とし(この部分は図１
の１ａ'と同等の役目をなす)、他の部分に対して、微細
の独立した凸部を形成する。そのため各凹部は互いに連
通しており、凸部を液晶パネル２に当接すれば、周縁部
による気密が保持されるために凹部は閉空間となり、そ
の凹部を真空引きすれば、液晶パネルは感光性樹脂に吸
着されるが、多数の微細な凸部が液晶パネルに当接して
いるためパネルが変形することはない。又、感光性樹脂
自体で面精度がよく、かつ適当な柔軟性を有しているの
で液晶パネル２への吸着性が良好である。Using this etching technique, for example, a disk-shaped photosensitive resin plate is provided with a flat surface without etching for maintaining airtightness (this part is shown in FIG.
1a '), and fine independent protrusions are formed on the other portions. Therefore, the recesses are in communication with each other, and when the protrusions are brought into contact with the liquid crystal panel 2, airtightness is maintained by the peripheral portion, so that the recesses become closed spaces, and when the recesses are evacuated, the liquid crystal panel becomes photosensitive. Although it is adsorbed by the resin, the panel is not deformed because many fine projections are in contact with the liquid crystal panel. Further, since the photosensitive resin itself has good surface accuracy and has appropriate flexibility, it has good adsorbability to the liquid crystal panel 2.
【００１６】[0016]
【発明の実施の形態】図６は、本発明の真空吸着装置を
採用した真空吸着パッド２１における１実施形態を示し
た分解図である。２２が感光性樹脂材からなる円盤状の
吸着盤であり、中央部には、上下方向に貫通した吸入口
２２ｃが設けられ、その吸着盤２２の裏面には後述する
ように多数の凸部が設けられている。本実施形態では、
感光性樹脂材として旭化成製の印刷版材であるＡＦＰを
用いた。このＡＦＰ版の硬度はショア４５°程度である
が、必要に応じて他の版材料を使用すれば、ショア４５
°〜Ｄ３０°程度の任意の硬度を選択できる。感光性樹
脂材であれば、印刷用版材に限定されず、金属板やセラ
ミック等でもエッチング処理或はこれと類似の加工方法
を適用できるのであれば、それらの素材を使用できる。FIG. 6 is an exploded view showing an embodiment of a vacuum suction pad 21 adopting the vacuum suction device of the present invention. Reference numeral 22 denotes a disk-shaped suction plate made of a photosensitive resin material, and a suction port 22c penetrating in the vertical direction is provided in the central portion, and a large number of convex portions are formed on the back surface of the suction plate 22 as described later. It is provided. In this embodiment,
As a photosensitive resin material, AFP, which is a printing plate material manufactured by Asahi Kasei, was used. The hardness of this AFP plate is about 45 ° Shore, but if other plate materials are used as necessary, the Shore 45
It is possible to select any hardness in the range of ° to D30 °. As long as it is a photosensitive resin material, it is not limited to a printing plate material, and metal plates, ceramics and the like can be used as long as the etching treatment or a processing method similar thereto can be applied.
【００１７】２３は前記ＡＦＰが外部応力により変形し
ないように貼り合わされた補強層であり、製版材料とし
て製品化される段階で貼り合わされる。２４は、吸着盤
２２と同径のマグネットシートである。２５は、マグネ
ットシート２４と保持材２３とを接合するための両面接
着シートであり、その径は、後述する吸着盤２２におけ
る吸着部２２ｂの径に等しい。これらの部材２３〜２５
には、吸入口２２ｃと対応する位置に穴Ｑが設けられ
る。Reference numeral 23 denotes a reinforcing layer bonded so that the AFP is not deformed by external stress, and is bonded at the stage of being commercialized as a plate-making material. Reference numeral 24 is a magnet sheet having the same diameter as the suction plate 22. Reference numeral 25 denotes a double-sided adhesive sheet for joining the magnet sheet 24 and the holding material 23, and the diameter thereof is equal to the diameter of the suction portion 22b of the suction plate 22 described later. These members 23-25
Has a hole Q at a position corresponding to the suction port 22c.
【００１８】２６は、マグネットシート２４と同径の鉄
製保持部材であり、中央部(つまり、吸入口２２ｃと対
応する位置)に、この保持部材２６を支持するための支
持部材２６ａが設けられており、その支持部材２６ａに
は、吸引管２７が挿通されており、その吸引管２７は、
不図示の真空ポンプにつながる。以上の説明からわかる
ように、吸着盤２２は、補強層２３、両面接着シート２
５、マグネットシート２４と一体的に接合され、それは
マグネットシート２４を通じて保持部材２１と着脱自在
に設けられる。Reference numeral 26 is an iron holding member having the same diameter as that of the magnet sheet 24, and a supporting member 26a for supporting the holding member 26 is provided at the center (that is, at a position corresponding to the suction port 22c). The suction pipe 27 is inserted through the support member 26a, and the suction pipe 27 is
It is connected to a vacuum pump (not shown). As can be seen from the above description, the suction plate 22 includes the reinforcing layer 23 and the double-sided adhesive sheet 2.
5. The magnet sheet 24 is integrally joined to the magnet sheet 24, and the magnet sheet 24 is detachably attached to the holding member 21.
【００１９】吸着盤２２を下方から見た図を図７に示
し、その側断面図を図８に示し、これらの図面において
図６と同一の要素に対しては共通の符号を付している。
この吸着盤２２には、周縁のフラットな面の気密部２２
ａと、吸着部２２ｂとがあり、両面接着シート２５の径
を吸着部材２２ｂの径としたため、図８でわかるよう
に、吸着盤２２は、その吸着部２２ｂのみがマグネット
シート２４を介して支持部材２６に固定されるが、気密
部２２ａは、固定されずにフリーとなっている。FIG. 7 shows a view of the suction plate 22 from below, and FIG. 8 is a side sectional view thereof, in which the same elements as those in FIG. 6 are designated by the same reference numerals. .
The suction plate 22 includes an airtight portion 22 having a flat peripheral surface.
a and the attraction portion 22b, and the diameter of the double-sided adhesive sheet 25 is set to the diameter of the attraction member 22b. Therefore, as can be seen in FIG. 8, the attraction plate 22 supports only the attraction portion 22b via the magnet sheet 24. Although fixed to the member 26, the airtight portion 22a is not fixed and is free.
【００２０】図９は、両面接着シート２５の径を吸着盤
２２の径と同じにした実施形態であり、この場合は、吸
着盤２２の全面が支持部材２６に固定される。FIG. 9 shows an embodiment in which the diameter of the double-sided adhesive sheet 25 is the same as the diameter of the suction plate 22. In this case, the entire surface of the suction plate 22 is fixed to the support member 26.
【００２１】図７の領域Ｘの拡大図を図１０に示し、そ
の側断面図を図１１に示し、図１２は、図９に対応する
側断面図である。気密部２２ａは非エッチングの箇所で
あり、吸着部２２ｂにおいては、複数の小円の領域を非
エッチング部とし、その他をエッチングすることによ
り、小円の箇所が凸部Ｍとして残り、その他が凹部Ｎと
なる。ここで、凸部Ｍと気密部２２ａとは共に非エッチ
ング部であるため同一面上にある。An enlarged view of the area X in FIG. 7 is shown in FIG. 10, a side sectional view thereof is shown in FIG. 11, and FIG. 12 is a side sectional view corresponding to FIG. The airtight portion 22a is a non-etching portion, and in the suction portion 22b, a plurality of small circle regions are non-etching portions, and the other portions are etched, so that the small circle portions remain as convex portions M and the other portions are concave portions. N. Here, since both the convex portion M and the airtight portion 22a are non-etched portions, they are on the same surface.
【００２２】凸部Ｍの分布密度は、１０〜２５０メッシ
ュ／インチで適当であり、個々の凸部Ｍ(小円)の大きさ
は、前記の分布密度において、吸着部２２ｂに対する全
凸部Ｍの面積率が１０〜５０％となるような大きさとす
る。又、凹部Ｎの深さ(エッチング深さ)は、数十μ〜数
百μもあれば十分である。尚、凸部Ｍの形状は円以外に
多角形であっても差し支えない。The distribution density of the convex portions M is appropriately 10 to 250 mesh / inch, and the size of each convex portion M (small circle) is the total convex portion M for the suction portion 22b in the above distribution density. The area ratio is 10 to 50%. Further, the depth (etching depth) of the concave portion N is sufficient if it is several tens μ to several hundreds μ. The shape of the convex portion M may be a polygon other than a circle.
【００２３】このように形成された吸着盤２２を平面な
液晶パネル２に圧し当てると、凹部Ｎは、気密部２２ａ
によって閉空間を形成し、しかも個々の凸部Ｍが独立
(他の凸部と接触していない)しているため一つの閉空間
となる。従って、図６に示した吸入口２２ｃがこの空間
に連通しておれば、その吸入口２２ｃを通じて真空引き
を行うことにより、液晶パネル２は吸着盤２２に吸着さ
れる。When the suction plate 22 formed in this manner is pressed against the flat liquid crystal panel 2, the concave portion N becomes the airtight portion 22a.
To form a closed space, and the individual protrusions M are independent
Since it is not in contact with other convex parts, it becomes one closed space. Therefore, if the suction port 22c shown in FIG. 6 communicates with this space, the liquid crystal panel 2 is sucked by the suction plate 22 by performing vacuuming through the suction port 22c.
【００２４】図１３は、吸着部２２ｂの中央部を示して
おり、その中心位置Ｏに対して径が１〜２ｍｍのドリル
を用いて穴をあけて吸入口２２ｃを設けたところを図１
４に示しており、２重円で示されているのは、空気の流
れをスムーズにするために設けたテーパーを示す。FIG. 13 shows the central portion of the suction portion 22b, and the suction port 22c is provided by making a hole in the center position O using a drill having a diameter of 1 to 2 mm.
4 and the double circles indicate the taper provided for smoothing the air flow.
【００２５】図１５は、この真空吸着パッド２１で液晶
パネル２を吸着したところを示す。吸着時、気密部２２
ａと同一面にある多数の凸部Ｍが液晶パネル２の面に当
接しているため、液晶パネル２が変形することはなく
(従ってスペーサ４の移動は無い)、又、吸着盤２２自身
が柔質材料であり、しかも、気密部２２ａの箇所はマグ
ネットシート２４に固定されずにフリーとなっているた
め、液晶パネル２に橈みがあっても確実に吸着する。凹
部の容積は僅かであるので吸引に要する真空ポンプは小
型のもので十分であり、瞬時に吸着可能であり、作業性
も高まる。FIG. 15 shows the liquid crystal panel 2 sucked by the vacuum suction pad 21. Airtight part 22 when adsorbed
Since a large number of convex portions M on the same surface as a are in contact with the surface of the liquid crystal panel 2, the liquid crystal panel 2 is not deformed.
(Therefore, the spacer 4 does not move) Further, since the suction plate 22 itself is made of a soft material, and the airtight portion 22a is not fixed to the magnet sheet 24 but is free, the liquid crystal panel 2 is Adheres securely even if there is a radius. Since the volume of the concave portion is small, a small vacuum pump is sufficient for suction, and it is possible to instantly suck and the workability is improved.
【００２６】尚、吸着盤２２自身に十分な柔軟性がある
場合は、図９に示したように両面接着シート２５によ
り、吸着盤２２の全面を固定したタイプとしてもよい。When the suction cup 22 itself has sufficient flexibility, the suction cup 22 may be fixed on its entire surface by a double-sided adhesive sheet 25 as shown in FIG.
【００２７】上記の吸着盤２２は、吸着部２２ｂに、斑
点状に多数の凸部を残すようにしてエッチングした実施
形態であったが、吸着部２２ｂの形状はこれに限定され
ず、例えば図１６に示した吸着盤２２'では、吸着部２
２ｂとして同芯円の溝Ｌ1をエッチングすると共に、そ
れらの溝Ｌ1を互いにつなぐために十字の溝Ｌ2をエッチ
ングしている。これらの溝は上述した凹部に相当し、こ
れらの溝で囲まれた領域が凸部に相当する。溝Ｌの幅は
１ｍｍとした。図中のＹ部の拡大図を図１７の上図に示
し、その側断面図を下図に示した。十字の溝Ｌ2の交点
に図１４で示したのと同じ吸引口２２ｃが設けられる。Although the suction plate 22 is an embodiment in which the suction portion 22b is etched so that a large number of spots are left as spots, the shape of the suction portion 22b is not limited to this, and for example, as shown in FIG. In the suction plate 22 'shown in FIG.
As 2b, the concentric circle groove L 1 is etched, and the cross groove L 2 is etched to connect these grooves L 1 to each other. These grooves correspond to the above-mentioned concave portions, and the region surrounded by these grooves corresponds to the convex portion. The width of the groove L was 1 mm. An enlarged view of the Y portion in the figure is shown in the upper diagram of FIG. 17, and a side sectional view thereof is shown in the lower diagram. The same suction port 22c as shown in FIG. 14 is provided at the intersection of the cross groove L 2 .
【００２８】以上の実施形態は、吸着盤２２、２２'に
感光性樹脂を用いたものであったが、金属材料にエッチ
ングを施すことにより、図７もしくは図１６に示した凹
部を形成してもよく、その時の真空吸着パッド３１を図
１８に示している。この場合、図１９に示すように支持
部材２６の裏面に気密部２２ａ、吸着部２２ｂが化学エ
ッチング等により直接形成される。In the above-described embodiment, the suction plates 22 and 22 'are made of a photosensitive resin. However, the recess shown in FIG. 7 or 16 is formed by etching the metal material. The vacuum suction pad 31 at that time is shown in FIG. In this case, as shown in FIG. 19, the airtight portion 22a and the suction portion 22b are directly formed on the back surface of the support member 26 by chemical etching or the like.
【００２９】図１に示した従来の真空吸着パッド１では
吸盤にゴム球体を用いる関係上、パッドの形状は必然的
に円となったが、本発明の真空吸着パッド２１，３１で
は、その形状は随意であり、図２０に示した真空吸着パ
ッド２１'では液晶パネル２の形状に相似した四角形と
している。この場合、吸着部２２ｂは、図７と同様に円
のままであってもよく、あるいは四角に形成されてもよ
い。In the conventional vacuum suction pad 1 shown in FIG. 1, since the rubber sphere is used as the suction cup, the shape of the pad is inevitably a circle, but in the vacuum suction pads 21 and 31 of the present invention, the shape thereof is. Is optional, and the vacuum suction pad 21 ′ shown in FIG. 20 has a quadrangle similar to the shape of the liquid crystal panel 2. In this case, the suction portion 22b may remain a circle as in FIG. 7, or may be formed in a square shape.
【００３０】図２１は、ワークの給材、除材を行う搬送
ロボット４１に本発明の真空吸着パッド２１(又は３１)
を装着した例を示す。水平方向に旋回すると共に軸回転
可能な水平アーム４２の先端部に真空吸着パッド２１が
支持部２６ａで吊すようにして取り付けられる。取り付
けに際しては、例えばホースの接続に用いるカチットを
採用すれば、吸引管２７の接続と同時に真空吸着パッド
２１本体(軽量のためカチットで支持可能)を固定でき
る。上述したように、マグネットシートの採用により、
吸着部２２のみを容易に交換することができ、又、サイ
ズの異なるパッドもカチットにより容易に取替可能であ
る。FIG. 21 shows a vacuum suction pad 21 (or 31) of the present invention for a transfer robot 41 for supplying and removing workpieces.
Here is an example of wearing the. The vacuum suction pad 21 is attached to the tip of a horizontal arm 42 that can pivot in the horizontal direction and can rotate about the axis so as to be suspended by a support portion 26a. At the time of attachment, for example, if a cavit used for connecting a hose is adopted, the main body of the vacuum suction pad 21 (which can be supported by the cagit because it is lightweight) can be fixed at the same time when the suction pipe 27 is connected. As mentioned above, by adopting the magnet sheet,
Only the suction part 22 can be easily replaced, and pads of different sizes can also be easily replaced by a click.
【００３１】次にガラススクライバーおよびガラス面取
り装置等の加工装置における作業テーブルに本発明の真
空吸着装置を適用した真空吸着テーブルについて説明す
る。図２２に真空吸着テーブル５１の１実施形態を示
し、図４のテーブルと同様に２種類のワークサイズに対
応するものである。Next, a vacuum suction table in which the vacuum suction device of the present invention is applied to a work table in a processing device such as a glass scriber and a glass chamfering device will be described. FIG. 22 shows one embodiment of the vacuum suction table 51, and corresponds to two kinds of work sizes, like the table of FIG.
【００３２】テーブル５２上に感光性樹脂による吸着盤
５３が固定されており、その表面には、円形の吸着部５
３ｂがエッチングりより形成されている。個々の吸着部
５３ｂは、図７に示した吸着部２２ｂに相当し、それ以
外の箇所５３ａが気密部２２ａに相当する。液晶パネル
２のサイズに対しては３×４個の吸着部５３ｂが形成さ
れ、液晶パネル２'に対しては、更にＬ字状に１列に配
列されている。A suction plate 53 made of a photosensitive resin is fixed on the table 52, and a circular suction portion 5 is provided on the surface thereof.
3b is formed by etching. Each of the suction portions 53b corresponds to the suction portion 22b shown in FIG. 7, and the other portions 53a correspond to the airtight portion 22a. For the size of the liquid crystal panel 2, 3 × 4 suction portions 53b are formed, and for the liquid crystal panel 2 ′, they are further arranged in a line in an L shape.
【００３３】各グループ毎に、各吸着部５３ｂにおける
凹部を相互につなぐために幅１ｍｍ程度の格子状の溝Ｌ
3、Ｌ字状の溝Ｌ4がそれぞれに形成される。この溝は前
記の凹部の形成時に形成されるものであるため、凹部と
深さは同じである。領域Ｚに対する拡大図を図２３の上
図に示し、その側断面図を下図に示す。溝Ｌ3において
は十字に交差する箇所(吸着部５３ｂの中心であり、２
箇所ある)に吸入口５３ｃが設けられ、溝Ｌ4において
は、孔あけが容易なように、吸着部５３ｂ以外の２点で
吸入口５３ｃが設けられる。各吸入口５３ｃに連結する
排気管１４が設けられる。For each group, a grid-like groove L having a width of about 1 mm is formed in order to connect the concave portions of the suction portions 53b to each other.
3 , L-shaped groove L 4 is formed in each. This groove has the same depth as the recess because it is formed when the recess is formed. An enlarged view of the region Z is shown in the upper diagram of FIG. 23, and its side sectional view is shown in the lower diagram. In the groove L 3 , a portion intersecting with a cross (the center of the suction portion 53b,
The suction port 53c is provided at a certain position), and the suction port 53c is provided at two points other than the suction portion 53b in the groove L 4 so that the hole can be easily formed. An exhaust pipe 14 connected to each suction port 53c is provided.
【００３４】吸着部５３ｂの形成面上に液晶パネル２を
セットして、排気管１４より真空吸引すれば、液晶パネ
ル２は橈むことなく、テーブル５２に吸着される。When the liquid crystal panel 2 is set on the surface where the suction portion 53b is formed and vacuum suction is carried out from the exhaust pipe 14, the liquid crystal panel 2 is sucked onto the table 52 without being distorted.
【００３５】図２４に示した真空吸着テーブル５１で
は、吸着盤５３'に周縁の気密部５３ａを残し、全面に
吸着部５３ｂを形成した例である。このテーブル５１で
は、３種類のワークサイズに対応できるように、気密部
５３ａおよび吸着部５３ｂは３グループに分けて形成さ
れている。In the vacuum suction table 51 shown in FIG. 24, the airtight portion 53a at the periphery is left on the suction plate 53 ', and the suction portion 53b is formed on the entire surface. In this table 51, the airtight portion 53a and the suction portion 53b are formed in three groups so as to correspond to three kinds of work sizes.
【００３６】各吸着部５３ｂにおいて、格子状の溝
Ｌ5、直線状の溝Ｌ6、Ｌ7がそれぞれ設けられ、溝Ｌ6に
おいては２箇所ある十字交差点に吸入口５３ｃが形成さ
れ、溝Ｌ6、Ｌ7においてはそれぞれ一つづつ吸入口５３
ｃが形成され、それらの各吸入口５３ｃに連通する排気
管１４が設けられる。尚、各吸着部５３ｂにおける凹部
は一つの空間を形成しているので溝Ｌは不可欠な要素で
はないが、このような溝を形成しておくと、空気の通り
道となって真空吸引がスムーズに行われる。領域Ｚ'に
対する拡大図を図２５の上図に示し、その側断面図を下
図に示す。[0036] In each of the adsorption unit 53b, lattice-like grooves L 5, provided linear grooves L 6, L 7, respectively, in the grooves L 6 are suction port 53c is formed in a cross intersection in two points, grooves L 6 and L 7 each have a suction port 53
c is formed, and the exhaust pipe 14 communicating with each of the suction ports 53c is provided. It should be noted that the groove L is not an indispensable element because the concave portion of each suction portion 53b forms one space, but if such a groove is formed, it serves as a passageway for air to facilitate vacuum suction. Done. An enlarged view of the region Z ′ is shown in the upper diagram of FIG. 25, and its side sectional view is shown in the lower diagram.
【００３７】図２２、図２４に示した真空吸着テーブル
５１と図４に示したテーブル１１を比較するとわかるよ
うに、本発明に係わる真空吸着テーブル５１は、テーブ
ル５２も含め構造が極めて単純であることがわかる。As can be seen by comparing the vacuum suction table 51 shown in FIGS. 22 and 24 with the table 11 shown in FIG. 4, the structure of the vacuum suction table 51 according to the present invention including the table 52 is extremely simple. I understand.
【００３８】図２６は、図２４の真空吸着テーブル５１
を具備したガラススクライバーを示す。テーブル５１
は、Ｙ方向およびθ方向に移動可能となっている。その
真空吸着テーブル５１に吸着固定した液晶パネル２に対
してＸ方向のガイド６２に沿ってカッターヘッド６３が
移動し、そのとき、カッターヘッド６３の下端に取り付
けられたカッターホイール６４によって液晶パネル２に
スクライブラインが刻まれる。６５は、液晶パネル２の
位置決めのために用いる一対のＣＣＤカメラである。FIG. 26 shows the vacuum suction table 51 of FIG.
3 shows a glass scriber equipped with. Table 51
Are movable in the Y and θ directions. The cutter head 63 moves along the guide 62 in the X direction with respect to the liquid crystal panel 2 sucked and fixed to the vacuum suction table 51, and at that time, the cutter wheel 64 attached to the lower end of the cutter head 63 moves the liquid crystal panel 2 to the liquid crystal panel 2. The scribe line is engraved. Reference numeral 65 is a pair of CCD cameras used for positioning the liquid crystal panel 2.
【００３９】[0039]
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、吸着盤
としてエッチング加工可能な板状材料を用い、その一方
面に対し、周縁所定幅を非エッチングとして気密部と
し、他の領域を吸着部とするために、多数の独立した凸
部が残るようにエッチングを行い、そのエッチングによ
り形成された凹部を吸引管を用いて真空吸引するもので
あり、前記凸部が微小間隔でワーク表面に当接するため
に、吸着時にワークが圧力差で変形するようなことはな
い。又、本装置は従来のものに比べて構造が単純である
ために安価に形成でき、しかもワークサイズに応じて種
々のサイズを容易に製作できる。更には前記の凹部の容
積が微小であるためと、特に前記の板状材料として柔軟
性のある感光性樹脂を用いればワークへの吸着性がよく
なり、真空漏れが軽減されるために、排気管などの配管
径は小さくてよく、真空ポンプも小型のものでよい。吸
着性が良いことからワークを確実に吸着することができ
る。本装置を適用した真空吸着テーブルでは、テーブル
自身を軽量にできるため、テーブルを移動させるための
駆動系も非力でよい。又、従来の真空吸着パッドではワ
ーク全面がテーブルに接触していたために、ワークをテ
ーブルから引き離す時に静電気が発生したが、本真空吸
着テーブルでは、ワークのテーブルへの接触面積は、気
密部と吸着部の凸部のみで少なく、その分、静電気の発
生が抑制される。尚、本装置の吸着対象は、液晶パネル
のみならず、例えば、極めて薄いフィルムなどであって
もしわを付けることなく吸着できる。As described above, according to the present invention, a plate-shaped material that can be etched is used as the suction plate, and one side of the plate-shaped material is a non-etching portion having a predetermined peripheral edge width to be an airtight portion, and the other area is sucked. In order to form the parts, etching is performed so that a large number of independent convex portions remain, and the concave portions formed by the etching are vacuum-sucked using a suction tube. Due to the contact, the work does not deform due to the pressure difference during the suction. Further, since the present apparatus has a simpler structure than the conventional one, it can be formed at a low cost, and various sizes can be easily manufactured according to the work size. Furthermore, since the volume of the recess is very small, especially when a flexible photosensitive resin is used as the plate-like material, the adsorption to the work is improved, and the vacuum leakage is reduced. The pipe diameter such as a pipe may be small, and the vacuum pump may be small. Since the adsorptivity is good, it is possible to securely adsorb the work. In the vacuum suction table to which the present device is applied, the weight of the table itself can be reduced, so that the driving system for moving the table can be powerless. In the conventional vacuum suction pad, the entire surface of the work was in contact with the table, so static electricity was generated when the work was pulled away from the table.In this vacuum suction table, the contact area of the work with the table is The number of convex portions is small, and accordingly, the generation of static electricity is suppressed. In addition, not only the liquid crystal panel but also an extremely thin film or the like can be sucked by the present apparatus without wrinkling.
【図１】 従来の真空吸着パッドおよびワークの側断面
図FIG. 1 is a side sectional view of a conventional vacuum suction pad and a work.
【図２】 その真空吸着パッドでワークを吸着したとこ
ろを示した図FIG. 2 is a diagram showing a work piece sucked by the vacuum suction pad.
【図３】 吸着が原因でギャップ変化が生じたワークを
示した図FIG. 3 is a diagram showing a work in which a gap has changed due to adsorption.
【図４】 従来の真空吸着テーブルの平面図とその側断
面図FIG. 4 is a plan view and a side sectional view of a conventional vacuum suction table.
【図５】 複数個の吸着パッドでワークを吸着する様子
を示した図FIG. 5 is a diagram showing a state where a plurality of suction pads suck a workpiece.
【図６】 本発明の真空吸着パッドの分解斜視図FIG. 6 is an exploded perspective view of the vacuum suction pad of the present invention.
【図７】 図６の真空吸着パッドを下から眺めた平面図FIG. 7 is a plan view of the vacuum suction pad of FIG. 6 viewed from below.
【図８】 図７の真空吸着パッドの側断面図8 is a side sectional view of the vacuum suction pad of FIG.
【図９】 図７の真空吸着パッドの変形例を示した図9 is a view showing a modified example of the vacuum suction pad of FIG.
【図１０】 図７における部分拡大図10 is a partially enlarged view of FIG.
【図１１】 図１０の側断面図11 is a side sectional view of FIG.
【図１２】 図９に対応する側断面図FIG. 12 is a side sectional view corresponding to FIG.
【図１３】 図７の吸着部に吸引口を形成していない状
態の拡大図FIG. 13 is an enlarged view of a state in which a suction port is not formed in the suction portion of FIG.
【図１４】 図１３において吸引口を形成したときの拡
大図FIG. 14 is an enlarged view when the suction port is formed in FIG.
【図１５】 本発明の真空吸着パッドでワークを吸着し
たときを示した図FIG. 15 is a view showing a case where a work is sucked by the vacuum suction pad of the present invention.
【図１６】 図７の吸着盤の別の実施形態を示した平面
図およびその側断面図FIG. 16 is a plan view and a side sectional view showing another embodiment of the suction cup of FIG.
【図１７】 図１６の平面図における部分拡大図および
その側断面図17 is a partially enlarged view of the plan view of FIG. 16 and a side sectional view thereof.
【図１８】 本発明の真空吸着パッドの別の実施形態を
示した斜視図FIG. 18 is a perspective view showing another embodiment of the vacuum suction pad of the present invention.
【図１９】 図１８の真空吸着パッドを下から眺めた図FIG. 19 is a bottom view of the vacuum suction pad of FIG.
【図２０】 本発明の真空吸着パッドの別の実施形態を
示した図FIG. 20 is a view showing another embodiment of the vacuum suction pad of the present invention.
【図２１】 本発明の真空吸着パッドを具備した搬送ロ
ボットの斜視図FIG. 21 is a perspective view of a transfer robot equipped with the vacuum suction pad of the present invention.
【図２２】 本発明の真空吸着装置を適用してなる真空
吸着テーブルの平面図およびその側断面図FIG. 22 is a plan view and a side sectional view of a vacuum suction table to which the vacuum suction device of the present invention is applied.
【図２３】 図２２の平面図における部分拡大図および
その側断面図23 is a partially enlarged view of the plan view of FIG. 22 and a side sectional view thereof.
【図２４】 本発明の別の実施形態を示した真空吸着テ
ーブルの平面図およびその側断面図FIG. 24 is a plan view and a side sectional view of a vacuum suction table showing another embodiment of the present invention.
【図２５】 図２４の平面図における部分拡大図および
その側断面図25 is a partially enlarged view of the plan view of FIG. 24 and a side sectional view thereof.
【図２６】 本発明の真空吸着テーブルを具備したガラ
ススクライバーの斜視図FIG. 26 is a perspective view of a glass scriber equipped with the vacuum suction table of the present invention.
２ 液晶パネル ４ スペーサ １４ 排気管 ２１ 真空吸着パッド ２２ 吸着盤 ２２ａ 気密部 ２２ｂ 吸着部 ２２ｃ 吸引口 ２４ マグネットシート ２５ 両面接着シート ２６ 保持部材 ２６ａ 支持部材 ２７ 吸引管 ３１ 真空吸着パッド ４１ 搬送ロボット ５１ 真空吸着テーブル ５２ テーブル ５３ 吸着盤 ５３ａ 気密部 ５３ｂ 吸着部 ５３ｃ 吸引口 ６１ ガラススクライバー Ｌ 溝 Ｍ 凸部 Ｎ 凹部 2 LCD panel 4 spacers 14 Exhaust pipe 21 Vacuum suction pad 22 Suction plate 22a Airtight section 22b Adsorption part 22c Suction port 24 magnet sheet 25 Double-sided adhesive sheet 26 Holding member 26a Support member 27 Suction tube 31 Vacuum suction pad 41 Transport robot 51 Vacuum suction table 52 tables 53 suction plate 53a Airtight section 53b Adsorption part 53c suction port 61 glass scriber L groove M convex part N recess
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小村 勇一 大阪府東大阪市高井田３番３号 小村製 版株式会社内 (56)参考文献 特開 平10−229115（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−321127（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−51143（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−9626（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−330401（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−122941（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B23Q 3/08 B65G 49/06 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Yuichi Omura Inventor Yuichi Omura 3-3 Takaida, Higashi-Osaka City, Osaka Prefecture Omura Prepress Co., Ltd. (56) Reference JP-A-10-229115 (JP, A) JP-A-9 -321127 (JP, A) JP-A-8-51143 (JP, A) JP-A-60-9626 (JP, A) JP-A-8-330401 (JP, A) JP-A-8-122941 (JP, A) ) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) B23Q 3/08 B65G 49/06
Claims (8)
て相互に固定した液晶パネルを吸着するための真空吸着
パッドにおいて、紫外線照射によりエッチングを行える感光性樹脂材を用
いた吸着盤と、 前記吸着盤の一方面に対し、周縁所定幅を非エッチング
領域とした気密部と、 前記気密部の内周部に、エッチングにより形成された深
さが数十μｍ〜数百μｍである凹部と、 前記エッチングにより残された多数の独立した１０〜２
５０メッシュ／インチの密度で分布する凸部の占める面
積率が１５〜５０％である吸着部と、 前記凹部に通じる吸引管と、 を具備することを特徴とする真空吸着パッド。 1.Stack two glass plates with a spacer in between
LCD panels fixed to each other byVacuum adsorption for adsorption
padAtUses a photosensitive resin material that can be etched by UV irradiation
The suction cup Non-etching with a specified width on one side of the suction plate
An airtight part as an area, A depth formed by etching on the inner periphery of the airtight portion.
A recess having a size of several tens of micrometers to several hundreds of micrometers; A large number of independent 10-2 left by the etching
Surface occupied by convex portions distributed at a density of 50 mesh / inch
An adsorption part having a product rate of 15 to 50%, A suction tube leading to the recess, A vacuum suction pad comprising:
防止のために硬性の高い部材を貼り合わせることを特徴
とする請求項１に記載の真空吸着パッド。 2. The vacuum suction pad is further modified
Characterized by bonding highly rigid members for prevention
The vacuum suction pad according to claim 1.
るための真空吸着パッドにおいて、 紫外線照射によりエッチングを行える感光性樹脂材を用
いた吸着盤と、 前記吸着盤の一方面に対し、周縁所定幅を非エッチング
領域とした気密部と、 前記気密部の内周部に、エッチングにより形成された凹
部と、 前記エッチングにより残された多数の独立した凸部から
なる吸着部と、 前記凹部に通じる吸引管と、 を具備し、前記気密部に前記感光性樹脂材の変形防止の
為の硬性の高い部材を貼り合わせずにフリーとしたこと
を特徴とする真空吸着パッド。 3.Adsorbs workpieces on transport machines and processing machines
In the vacuum suction pad for Uses a photosensitive resin material that can be etched by UV irradiation
The suction cup Non-etching with a specified width on one side of the suction plate
An airtight part as an area, The inner peripheral portion of the airtight portion has a recess formed by etching.
Department, From the large number of independent protrusions left by the etching
And a suction part that A suction tube leading to the recess, To prevent deformation of the photosensitive resin material in the airtight portion.
To be free without attaching highly rigid members for
Vacuum suction pad characterized by.
において、紫外線照射によりエッチングを行える感光性樹脂材を用
いた吸着盤と、 前記吸着盤の一方面に対し、周縁所定幅を非エッチング
領域とした気密部と、 前記気密部の内周部に、エッチングにより形成された凹
部と、 前記エッチングにより残された多数の独立した凸部から
なる吸着部とを具備し、 前 記吸着盤(２２)の他方面を両面接着シート(２５)を用
いてマグネットシート(２４)に貼り合わせ、前記マグネ
ットシート(２４)の他方の面を、強磁性体の支持部材
(２６)に着脱自在に接合し、更に前記吸着盤(２２)に形
成された凹部に通じる吸引管(２７)を設けたことを特徴
とする真空吸着パッド。4. A vacuum suction pad for sucking a workpiece.
AtUses a photosensitive resin material that can be etched by UV irradiation
The suction cup Non-etching with a specified width on one side of the suction plate
An airtight part as an area, The inner peripheral portion of the airtight portion has a recess formed by etching.
Department, From the large number of independent protrusions left by the etching
And a suction section that Previous Use the double-sided adhesive sheet (25) on the other side of the suction plate (22).
Magnet sheet (24)),PreviousMagne
Seat (24) On the other side of the
(26), And the suction board (22)
Suction tube leading to the formed recess (27) Is provided
Vacuum suction pad to be.
ペーサを挟んで重ねて相互に固定した液晶パネルを吸着
するための真空吸着パッドにおいて、 紫外線照射によりエッチングを行える感光性樹脂材を用
い、 テーブル(５２)上に設けられた吸着盤(５３)と、 前記吸着盤の一方面に対し周縁所定幅を非エッチング領
域とした気密部と、 前記気密部の内周部に、エッチングにより形成された深
さが数十μｍ〜数百μｍである凹部と、 前記エッチングにより残された多数の独立した１０〜２
５０メッシュ／インチの密度の凸部の占める面積率が１
５〜５０％である吸着部と、 前記吸着盤(５３)に形成された凹部に通じる排気管(１
４)と、を前記テーブル(５２)に設けたことを特徴とす
る真空吸着パッド。 5.Place two glass plates on the table of the processing machine.
Adsorbs liquid crystal panels that are stacked on top of each other with a pacer in between and fixed to each other
In the vacuum suction pad for Uses a photosensitive resin material that can be etched by UV irradiation
I A suction cup (53) provided on the table (52), A predetermined width of the peripheral edge of one side of the suction plate is not etched.
The airtight part that is the area, A depth formed by etching on the inner periphery of the airtight portion.
A recess having a size of several tens of micrometers to several hundreds of micrometers; A large number of independent 10-2 left by the etching
The area ratio occupied by the protrusions with a density of 50 mesh / inch is 1
5-50% adsorption part, Exhaust pipe (1) leading to the recess formed in the suction plate (53)
4) and 4 are provided on the table 52.
Vacuum suction pad.
ンチの密度で分布されることを特徴とする請求項３又は
４に記載の真空吸着パッド。 6. The convex portion has a mesh size of 10 to 250 mesh.
3. The distribution according to claim 3 or 4,
The vacuum suction pad according to 4.
率は１５〜５０％であることを特徴とする請求項６に記
載の真空吸着パッド。 7. The area occupied by the convex portion with respect to the suction portion
The rate is 15 to 50%, and the rate is 15%.
Mounted vacuum suction pad.
ある事を特徴とする請求項７に記載の吸着パッド。 8. The depth of the recess is several tens μm to several hundreds μm.
The suction pad according to claim 7, wherein the suction pad is provided.
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|---|---|---|---|
| JP17560297A JP3450157B2 (en) | 1997-07-01 | 1997-07-01 | Vacuum suction pad |
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| JPH1119838A (en) | 1999-01-26 |
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