JP3437271B2 - Ink jet head, ink jet head cartridge and ink jet device - Google Patents

Ink jet head, ink jet head cartridge and ink jet device

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JP3437271B2
JP3437271B2 JP17911694A JP17911694A JP3437271B2 JP 3437271 B2 JP3437271 B2 JP 3437271B2 JP 17911694 A JP17911694 A JP 17911694A JP 17911694 A JP17911694 A JP 17911694A JP 3437271 B2 JP3437271 B2 JP 3437271B2
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ink
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、インクジェットヘッド
および該ヘッドを用いたインクジェット装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet head and an ink jet device using the head.

【0002】[0002]

【背景技術】従来より知られるインクジェットヘッド
は、その液路にインクを吐出させるために用いられるエ
ネルギー発生手段を有し、インク供給口を介してインク
タンク等から液室に供給されるインクを上記液路に導
き、ここでインクにエネルギー発生手段から発生するエ
ネルギーをインクに付与しこれを吐出口から吐出するも
のである。そして、この吐出インク滴は、被記録材に着
弾して画素を形成し記録が行われる。
2. Description of the Related Art Conventionally known ink jet heads have energy generating means used for ejecting ink to a liquid passage thereof, and ink supplied to a liquid chamber from an ink tank or the like via an ink supply port is described above. The ink is guided to the liquid path, where the energy generated from the energy generating means is applied to the ink, and the ink is ejected from the ejection port. Then, the ejected ink droplets land on the recording material to form pixels and recording is performed.

【0003】このようなインクジェットヘッドの中で
も、熱エネルギーを利用して記録液(インク)を吐出す
るインクジェットヘッドは、複数の吐出口を高密度に配
列することができるために高解像力の記録をすることが
可能である他、全体的にコンパクト化も容易であること
などの利点を有している。
Among such ink jet heads, an ink jet head for ejecting a recording liquid (ink) by utilizing thermal energy records a high resolution because a plurality of ejection ports can be arranged at a high density. In addition to being possible, it has an advantage that it can be easily made compact as a whole.

【0004】この熱エネルギーを利用する従来のインク
ジェットヘッドは、シリコン等の基体上に複数の発熱抵
抗体を列状に配すことで高密度化を達成し、また、複数
の発熱抵抗体に対して共通の蓄熱層や電気絶縁層を有し
た基板を用いる構成が一般的である。
A conventional ink jet head utilizing this heat energy achieves a high density by arranging a plurality of heating resistors in a row on a substrate such as silicon, and further, for a plurality of heating resistors. In general, a substrate having a common heat storage layer or an electrically insulating layer is used.

【0005】図11はこのような構成の背景技術として
のインクジェットヘッドの模式的断面図を示す。
FIG. 11 is a schematic sectional view of an ink jet head as a background art of such a constitution.

【0006】図において、符号1はアルミナ製の基板、
符号2aは蓄熱層、2bおよび2cは電気絶縁層をそれ
ぞれ示す。符号3は上記発熱抵抗体、符号3aは発熱抵
抗体3に電力を供給するための電極配線、符号4は耐キ
ャビテーション用保護膜をそれぞれ示す。
In the figure, reference numeral 1 is a substrate made of alumina,
Reference numeral 2a indicates a heat storage layer, and 2b and 2c indicate electric insulation layers, respectively. Reference numeral 3 indicates the heating resistor, reference numeral 3a indicates an electrode wiring for supplying electric power to the heating resistor 3, and reference numeral 4 indicates a cavitation-resistant protective film.

【0007】以上のように構成されるヒータボード(以
下、積層回路基板ともいう)100上に液路401等を
形成するための溝が設けられた天板400を接合するこ
とによりインクジェットヘッドが構成される。
An ink jet head is constructed by joining a top plate 400 having a groove for forming a liquid path 401 and the like on a heater board (hereinafter also referred to as a laminated circuit board) 100 having the above-described structure. To be done.

【0008】このような構成において、発熱抵抗体に通
電し吐出を行う場合これによって生ずる熱の全てが吐出
に用いられるわけではなく、その一部は隣接する液路等
へ前述の基板等を介して放熱される。
In such a structure, when the heating resistor is energized for discharging, not all of the heat generated by this is used for discharging, but a part of it is passed to the adjacent liquid passage or the like via the above-mentioned substrate or the like. Is dissipated.

【0009】このようなヘッド構成では、全ての吐出口
から同時にインクを吐出する場合、つまり前述の複数の
発熱抵抗体を同時に発熱させた場合には、発生する熱が
相互に影響し合って吐出インク滴の体積が比較的大きく
なってしまう。一方、単独で発熱抵抗体を発熱させた場
合には上述の状況に対して比較的小さな吐出体積とな
る。このため、単独で発熱抵抗体を駆動する場合に例え
ば全吐出時と同じ吐出量を得るためには通常以上に大き
な熱エネルギーを発生するようにしなければならない。
すなわち投入エネルギーに対する発泡効率に差が生じる
ため、単独吐出と全吐出との吐出量を調整するために電
源規模が複雑化したり、調整を行わず全吐出の場合の基
準とすると単独吐出時の吐出量不足が生じて記録画像品
位を著しく低下させることになる。
In such a head structure, when ink is ejected from all ejection ports at the same time, that is, when a plurality of heat generating resistors described above are simultaneously heated, the generated heat influences each other and ejects. The volume of the ink droplet becomes relatively large. On the other hand, when the heat generating resistor is solely caused to generate heat, the discharge volume becomes relatively small compared to the above situation. Therefore, when the heating resistor is driven independently, for example, in order to obtain the same discharge amount as in the case of full discharge, it is necessary to generate more heat energy than usual.
That is, since there is a difference in the bubbling efficiency with respect to the input energy, the power supply scale is complicated to adjust the discharge amount between single discharge and full discharge, or the discharge in single discharge is used as the reference for full discharge without adjustment. Insufficient amount will occur and the quality of the recorded image will be significantly degraded.

【0010】図12は、上述のようなヘッドの投入電力
Pに対する吐出量Vdの関係を示す線図である。
FIG. 12 is a diagram showing the relationship of the ejection amount Vd with respect to the input power P of the head as described above.

【0011】同図から明らかなように、特に吐出が開始
される電力P′THにおいて、単独吐出と全吐出との吐出
量に大きな差を生じており、インクが膜沸騰を起こすま
での温度を得るために必要な電力が等しいにもかかわら
ずこのような差が生じている。これは、発熱抵抗体が発
熱した後の発泡部分における蓄熱性に差を生じるためで
あり、単独のノズルから吐出した場合には隣接液路等へ
放熱が大きく、最大発泡の大きさが十分とならないうち
に消泡してしまい、全吐出のように複数の発熱抵抗体を
同時に駆動する場合には、それほど隣接液路等への放熱
が大きくないため発泡の大きさが十分であるためであ
る。
As is apparent from the figure, there is a large difference in the discharge amount between the single discharge and the total discharge, especially in the power P'TH at which the discharge is started, and the temperature at which the ink causes film boiling occurs. This difference occurs even though the power required to obtain it is equal. This is because there is a difference in heat storage property in the bubbling portion after the heating resistor has generated heat, and when discharged from a single nozzle, the heat radiation to the adjacent liquid passage is large and the maximum bubbling size is sufficient. This is because when the plural heat generating resistors are driven at the same time as in the case of full discharge, the amount of foaming is sufficient because the heat dissipation to the adjacent liquid passages is not so great when the bubbles disappear before they reach the end. .

【0012】すなわち、従来ヘッドにおいて、単独吐出
でも全吐出と同じ吐出量を得るためには、図12に示す
ようにP′THより大きなP′OPに相当する電力を必要と
することになる。
Namely, in the conventional head, even alone discharge to obtain the same ejection amount as full discharge would require power corresponding to OP 'larger P than TH' P as shown in FIG. 12.

【0013】[0013]

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記従来およ
び背景技術の問題点に鑑みてなされたものであり、その
目的とするところは、隣接する発熱抵抗体の間の積層回
路基板を構成する層の熱伝導を考慮して層構成を改良す
ることによって、少ない投入エネルギーで安定した吐出
を行い高品位な画像を得ることが可能なインクジェット
ヘッドおよびインクジェット装置を提供することにあ
る。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the problems of the above conventional and background arts, and an object of the present invention is to form a laminated circuit board between adjacent heating resistors. An object of the present invention is to provide an ink jet head and an ink jet device capable of performing stable ejection with a small amount of input energy to obtain a high-quality image by improving the layer structure in consideration of heat conduction of the layer.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
るための、本発明の主たる要件は、インクを吐出するた
めの複数の発熱抵抗体が列状に配されたインクジェット
ヘッドにおいて、基体上に該発熱抵抗体と電気的な絶縁
もしくは保護をするための複数の層とが積層された基板
と、該基板上に前記発熱抵抗体に対応して設けられた液
流路であって、該液流路を形成する部材の一部をなす隔
壁によってそれぞれが仕切られる複数の液流路と、を有
しており、前記隔壁は、前記複数の発熱抵抗体の配列に
おいて隣接する発熱抵抗体の間の一部の範囲において
記基板の最上層と接し、当該接する範囲のうちより狭い
範囲について前記複数の層の全てが除去されて中空の凹
部が形成されていることを特徴とする。
The main requirement of the present invention for solving such a problem is that an ink jet head in which a plurality of heat generating resistors for ejecting ink are arranged in a row is formed on a substrate. A substrate on which the heating resistor and a plurality of layers for electrical insulation or protection are laminated, and a liquid flow path provided on the substrate corresponding to the heating resistor , A partition that forms part of the member that forms the liquid flow path.
Has a plurality of liquid flow paths respectively by the wall is partitioned, and the partition wall, before the part of the range between the heating resistor adjacent in the sequence of the plurality of heating resistors
It is in contact with the uppermost layer of the substrate and is narrower in the contact area.
A hollow recess is formed by removing all of the plurality of layers in the range .

【0015】[0015]

【作用】以上の構成によれば、熱作用室となる液路の境
界をなす領域において積層回路基板をなす複数の層の層
構成を調整することで上記液路で発生する熱の液路外へ
の伝達を抑制することができ、液路外へ伝達する熱量が
低減される。
According to the above structure, by adjusting the layer structure of the plurality of layers forming the laminated circuit board in the region forming the boundary of the liquid passage serving as the heat action chamber, the heat generated in the liquid passage is outside the liquid passage. To the outside of the liquid path can be reduced.

【0016】[0016]

【実施例】以下に、図面に基づいて本発明の実施例を詳
細に説明する。
Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings.

【0017】図1は本発明の第1実施例に係るインクジ
ェットヘッドの積層回路基板の電気熱変換素子の配列方
向の断面を示す模式図である。
FIG. 1 is a schematic view showing a cross section in the direction of arrangement of electrothermal conversion elements of a laminated circuit board of an ink jet head according to the first embodiment of the present invention.

【0018】図中、符号1はアルミナやシリコン等より
なる基体、符号2aは酸化シリコン等で構成される電気
的絶縁層を兼ねた蓄熱層、2bおよび2cは酸化シリコ
ンや窒化シリコン等で構成された複数の発熱抵抗体のそ
れぞれを、それぞれの近傍で電気的に分離もしくは保護
するための電気絶縁層をそれぞれ示す。符号3はホウ化
ハフニウムや窒化タンタル等で構成される発熱抵抗体を
示し、発熱抵抗体3の上部には、その発熱部となる部分
を除いて発熱抵抗体3に電力を供給するためのアルミニ
ウム等で構成される電極配線3aが形成される。以上の
発熱抵抗体3および電極配線3aにより電気熱変換素子
が構成される。また、符号4はタンタル等の金属で構成
される耐キャビテーション用保護膜を示す。以上の各層
を配して、積層回路基板としてのヒータボード100が
構成される。
In the figure, reference numeral 1 is a substrate made of alumina, silicon or the like, reference numeral 2a is a heat storage layer also serving as an electrically insulating layer made of silicon oxide or the like, and 2b and 2c are made of silicon oxide or silicon nitride. Electrical insulating layers for electrically isolating or protecting each of the plurality of heat generating resistors in the vicinity thereof are shown. Reference numeral 3 indicates a heating resistor made of hafnium boride, tantalum nitride, or the like, and aluminum for supplying power to the heating resistor 3 is provided above the heating resistor 3 except for a portion serving as the heating portion. The electrode wiring 3a composed of the above is formed. The heating resistor 3 and the electrode wiring 3a described above constitute an electrothermal conversion element. Reference numeral 4 denotes a cavitation-resistant protective film made of metal such as tantalum. The heater board 100 as a laminated circuit board is configured by arranging the above layers.

【0019】以上示したヒータボード100上に、液路
401等を形成するための複数の隔壁400a等を一体
に設けた天板400を接合することによりインクジェッ
トヘッドが構成される。
An ink jet head is constructed by joining the top plate 400 integrally provided with a plurality of partition walls 400a for forming the liquid passages 401 and the like on the heater board 100 shown above.

【0020】本例においては、各発熱抵抗体間の層を構
成する層100aのうち蓄熱層を兼ねる第1絶縁層2a
および耐キャビテーション用保護層4の流路間の部分を
発熱抵抗体の発熱部の流路方向の長さより長い部分(図
1にはその断面のみが示される)を発熱抵抗体の配列方
向を横切り、流路に沿った方向に除去した積層回路を基
板とした。
In this example, the first insulating layer 2a, which also functions as a heat storage layer, of the layers 100a constituting the layers between the heating resistors.
And a portion between the flow paths of the cavitation-resistant protective layer 4 is longer than the length of the heat generating portion of the heat generating resistor in the flow path direction (only its cross section is shown in FIG. 1) across the array direction of the heat generating resistors. The laminated circuit removed in the direction along the flow path was used as the substrate.

【0021】具体的には、発熱抵抗体3の発熱部(電極
配線3aがない部分)のサイズを幅40μm、長さ10
5μmとし、厚みを0.05μmとする。このとき、第
1絶縁層2aの厚みは1.5μmで、除去幅を20μ
m、除去長さを400μmとする。同様に耐キャビテー
ション膜の厚みを0.2μmとし除去幅を20μm、除
去長さを400μmとした。
Specifically, the heating portion of the heating resistor 3 (the portion without the electrode wiring 3a) has a width of 40 μm and a length of 10
The thickness is 5 μm and the thickness is 0.05 μm. At this time, the thickness of the first insulating layer 2a is 1.5 μm, and the removal width is 20 μm.
m, and the removal length is 400 μm. Similarly, the thickness of the anti-cavitation film was 0.2 μm, the removal width was 20 μm, and the removal length was 400 μm.

【0022】図2にこのような基板の吐出部近傍を上方
から見た図を示している。図示されているように第1絶
縁層は、発熱抵抗体の間で、この発熱抵抗体の配列方向
と交差する方向(本実施例の場合、直交している)にド
ライエッチングやウエットエッチング等の方法を用いて
除去されている(この除法により形成された凹部を符号
5で示している)。
FIG. 2 shows a view of the vicinity of the discharge portion of such a substrate as seen from above. As shown in the drawing, the first insulating layer is formed between the heating resistors by dry etching, wet etching or the like in a direction intersecting the arrangement direction of the heating resistors (in the case of this embodiment, it is orthogonal). By using the method (the concave portion formed by this division method is indicated by reference numeral 5).

【0023】本例のインクジェットヘッドを、記録装置
に搭載し記録を行ったところ、低電力(約3.5W)で
単独吐出した場合でも高品位な記録結果を得ることがで
きた。
When the ink-jet head of this example was mounted on a recording apparatus and recording was performed, high-quality recording results could be obtained even when ejecting independently with low power (about 3.5 W).

【0024】図3は本例インクジェットヘッドの投入電
力Pに対する吐出量Vdを示した線図である。
FIG. 3 is a diagram showing the discharge amount Vd with respect to the input power P of the ink jet head of this example.

【0025】同図から明らかなように、全吐出時と単独
吐出時とでほとんど変わらない特性を示し、従来のイン
クジェットヘッドに比べ非常に熱効率が良くなっている
ことがわかる。
As is clear from the figure, the characteristics are almost the same between the full discharge and the single discharge, and it is understood that the thermal efficiency is much better than that of the conventional ink jet head.

【0026】これは、耐キャビテーション層4,第1絶
縁層2aを隣接発熱抵抗体間で除去することにより、隣
接液路への熱伝達媒体の量を少なくし、結果として全体
的な熱伝達量が減少するためである。これにより、不要
な放熱を避け、単独吐出においても充分な蓄熱効果を生
じ、小電力でも安定した発泡,吐出が可能となる。
This is because by removing the cavitation resistant layer 4 and the first insulating layer 2a between the adjacent heating resistors, the amount of the heat transfer medium to the adjacent liquid passage is reduced, and as a result, the overall heat transfer amount. Is reduced. As a result, unnecessary heat dissipation is avoided, a sufficient heat storage effect is produced even in single discharge, and stable bubbling and discharge are possible even with a small electric power.

【0027】本実施例においては、除去部は発熱抵抗体
間の発熱抵抗層列と交差した方向に延在しているが、そ
の長さは発熱抵抗体の列を中心に発熱抵抗体の長さより
2倍程度の長さが望ましく、さらに望ましくは発熱抵抗
体の5倍程度の長さが望ましい。
In the present embodiment, the removing portion extends in the direction intersecting the heating resistor layer row between the heating resistors, but the length thereof is the length of the heating resistor centering around the row of heating resistors. Therefore, the length is preferably about twice, and more preferably about 5 times the length of the heating resistor.

【0028】また、本実施例においては、発熱抵抗体に
沿った方向にインクを吐出する形態のヘッドで説明した
が、発熱抵抗体が配された面に対する側にインクを吐出
する形態のヘッドにおいても本発明を適用することがで
きる。
Further, in the present embodiment, the head which ejects ink in the direction along the heating resistor has been described, but in the head which ejects ink to the side on which the heating resistor is arranged. The present invention can also be applied.

【0029】図4は本発明の他の実施例を示す積層回路
基板の断面を示す模式図である。
FIG. 4 is a schematic view showing a cross section of a laminated circuit board showing another embodiment of the present invention.

【0030】本例では、実施例1と同様の層構成におい
て、各発熱抵抗体間の層100aのうち耐キャビテーシ
ョン層4および第3の絶縁層2cを幅20μm、長さ4
00μmにわたって除去する。
In this example, in the layer structure similar to that of Example 1, the cavitation-resistant layer 4 and the third insulating layer 2c of the layer 100a between the heating resistors are 20 μm wide and 4 long.
Remove over 00 μm.

【0031】本実施例のインクジェットヘッドを記録装
置に搭載し、記録を行ったところ、低電力(約3.5
W)でも高品位な記録結果を得ることができた。
When the ink jet head of this embodiment was mounted on a recording apparatus and recording was performed, low power (about 3.5) was obtained.
Even in W), high-quality recording results could be obtained.

【0032】また、投入電力Pに対する吐出量Vdを測
定すると、実施例1と同様に、従来インクジェットヘッ
ドに比べて熱効率が良いことが明らかとなった。
Further, when the discharge amount Vd with respect to the input power P was measured, it was revealed that the thermal efficiency was better than that of the conventional ink jet head, as in the first embodiment.

【0033】図5は、本実施例のヘッドを駆動させる場
合の駆動電力Pに対する吐出量Vdの変化を示したもの
(線A)であり、線Bは比較として、発熱抵抗体間の耐
キャビテーション膜のみを幅20μm、長さ400μm
にわたって除去したものについて同様の関係を示したも
のである。耐キャビテーション膜は、膜の厚さが他の絶
縁層等に対して薄い、つまり、熱容量が小さいため、元
々他の発熱抵抗体の方向への熱伝導がそれ程大きくな
い。従って、この膜の一部を除去してもあまり効果は得
られない。これに対し、本実施例や他の実施例のよう
に、膜の厚さが厚く熱容量が大きな絶縁層を除去した場
合には、同じ電力投入量でも多くのインクを吐出するこ
とができる。
FIG. 5 shows a change in the discharge amount Vd with respect to the drive power P when the head of this embodiment is driven (line A), and line B is a cavitation resistance between heating resistors as a comparison. 20 μm width, 400 μm length
It shows a similar relationship for the ones removed over. Since the anti-cavitation film has a smaller film thickness than other insulating layers, that is, has a small heat capacity, originally, heat conduction toward other heating resistors is not so large. Therefore, even if a part of this film is removed, the effect is not so great. On the other hand, when the insulating layer having a large film thickness and a large heat capacity is removed as in this embodiment and the other embodiments, a large amount of ink can be ejected even with the same power input.

【0034】図6は本発明の他の実施例を示す積層回路
基板の断面を示す模式図である。
FIG. 6 is a schematic view showing a cross section of a laminated circuit board showing another embodiment of the present invention.

【0035】実施例1と同様の層構成において、各発熱
抵抗体間の層100aのうち第1絶縁層2aのみを幅2
0μm、長さ400μmにわたって除去する。
In the layer structure similar to that of the first embodiment, only the first insulating layer 2a of the layer 100a between the heating resistors has the width 2
Remove over 0 μm, 400 μm length.

【0036】本実施例のインクジェットヘッドを記録装
置に搭載し、記録を行ったところ、先に述べた各実施例
とほぼ同様に低電力(約3.5W)でも高品位な記録結
果を得ることができた。
When the ink-jet head of this embodiment is mounted on a recording apparatus and recording is performed, high-quality recording results can be obtained even at low power (about 3.5 W), which is similar to each of the above-mentioned embodiments. I was able to.

【0037】また、投入電力Pに対する吐出量Vdを測
定しても、先の各実施例と同じく従来インクジェットヘ
ッドに比べて熱効率が良いことが明らかとなった。
Further, even when the discharge amount Vd with respect to the input power P was measured, it was revealed that the thermal efficiency was better than that of the conventional ink jet head as in the previous embodiments.

【0038】図7は、本発明の他の実施例を説明するた
めの図である。先に説明した各実施例においては、絶縁
層中の一層を除去した例について示したが、電気的なリ
ークの問題がなければ、本実施例のように全層のそれぞ
れ一部を除去してもよい(図中では除去部を符号5で示
し、除去長さは先の実施例と同様とした)。
FIG. 7 is a diagram for explaining another embodiment of the present invention. In each of the embodiments described above, an example in which one layer in the insulating layer is removed is shown, but if there is no problem of electrical leakage, a part of each layer is removed as in this example. (The removal portion is indicated by reference numeral 5 in the drawing, and the removal length is the same as that in the previous embodiment).

【0039】本実施例のように複数の層を除去して凹部
を形成すれば、この除去部分で隣接ノズル間の熱的クロ
ストークをさらに効率よく防止することができる。
If a plurality of layers are removed to form the recesses as in this embodiment, thermal crosstalk between adjacent nozzles can be prevented more efficiently at the removed portions.

【0040】このように、いくつの層を除去するかにつ
いては、隣接ノズル間での熱的クロストークを制限する
度合に合わせて決定すればよく、いずれか1つの絶縁層
を1/2程度除去することでも、効果を得ることができ
るが、いずれか一層を完全に除去してしまう方が望まし
い。
As described above, the number of layers to be removed may be determined according to the degree of limiting the thermal crosstalk between the adjacent nozzles, and any one insulating layer is removed by about ½. By doing so, the effect can be obtained, but it is desirable to completely remove one of the layers.

【0041】また、除去する絶縁層としては、発熱抵抗
体に近接する層を除去した方が効果が大きい。
As the insulating layer to be removed, it is more effective to remove the layer adjacent to the heating resistor.

【0042】次に、図8ないし図10を用いて、本発明
が実施もしくは適用される好適なインクジェットユニッ
トIJU、インクジェットヘッドIJH、インクジェッ
トカートリッジIJC、インクジェット記録装置本体I
JRAの説明図である。以下これらの図面を用いて各部
構成の説明を行う。
Next, with reference to FIGS. 8 to 10, a suitable ink jet unit IJU, an ink jet head IJH, an ink jet cartridge IJC, and an ink jet recording apparatus body I to which the present invention is applied or applied.
It is explanatory drawing of JRA. The configuration of each part will be described below with reference to these drawings.

【0043】本例でのインクジェットカートリッジIJ
Cは、図9の斜視図でわかるように、インクジェットヘ
ッドユニットとインクタンクとが一体化されたものであ
り、インクの収納割合が大きくなっているものである。
このインクジェットカートリッジIJCは、インクジェ
ット記録装置本体IJRAに載置されているキャリッジ
の位置決め手段および電気的接点とによって固定支持さ
れると共に、該キャリッジに対して着脱可能なディスポ
ーザブルタイプである。
Inkjet cartridge IJ in this example
As can be seen from the perspective view of FIG. 9, C indicates that the ink jet head unit and the ink tank are integrated, and the ink storage ratio is high.
The inkjet cartridge IJC is a disposable type that is fixed and supported by the positioning means and electrical contacts of the carriage mounted on the inkjet recording apparatus main body IJRA and is detachable from the carriage.

【0044】インクジェットユニットIJUは、電気信
号に応じて膜沸騰をインクに対して生ぜしめるための熱
エネルギーを生成する電気熱変換体を用いて記録を行う
バブルジェット方式のユニットである。
The ink jet unit IJU is a bubble jet type unit for recording by using an electrothermal converter that generates thermal energy for causing film boiling to the ink according to an electric signal.

【0045】図8において、100はSi基板上に複数
の列状に配された電気熱変換体(吐出ヒータ)と、これ
に電力を供給するAl等の電気配線とが成膜技術により
形成されて成るヒータボード(第1の基体)である。2
00はヒータボード100に対する配線基板である。
In FIG. 8, reference numeral 100 denotes an electrothermal converter (ejection heater) arranged in a plurality of rows on a Si substrate, and electric wiring such as Al for supplying electric power to the electrothermal converter, which is formed by a film forming technique. It is a heater board (first base body) formed by. Two
Reference numeral 00 is a wiring board for the heater board 100.

【0046】1300は複数のインク流路をそれぞれ区
分するための隔壁(溝)や各インク流路(液流路)へイ
ンクを与えるためにインクを収納するための共通液室等
を設けた溝付天板で、各インク流路に対応した吐出口を
複数有するオリフィスプレート400を一体成型したも
のである。これらの一体成型材料としてはポリサルフォ
ン樹脂が好ましいが、他の成型用樹脂材料でも良い。
Reference numeral 1300 is a groove provided with a partition (groove) for partitioning a plurality of ink flow paths and a common liquid chamber for accommodating ink to supply ink to each ink flow path (liquid flow path). This is a top plate integrally formed with an orifice plate 400 having a plurality of ejection openings corresponding to the respective ink flow paths. Polysulfone resin is preferable as the integral molding material, but other molding resin materials may be used.

【0047】300は配線基板200の裏面を平面で支
持する例えば金属製の支持体で、インクジェットユニッ
トの底板となる。500は押圧部材である押えばねであ
り、M字形状でそのM字の中央で共通液室を軽圧で押圧
すると共に前だれ部501で液路の一部、好ましくは吐
出口近傍の領域を線圧で集中押圧する。ヒータボード1
00および天板1300を押えばねの足部が支持体30
0の穴を通って支持体300の裏面側に係合することで
これらを挟み込んだ状態で両者を係合させることによ
り、押えばね500とその前だれ部501の集中付勢力
によってヒータボード100と天板1300とを圧着固
定されている。
Reference numeral 300 denotes a support body made of, for example, a metal, which supports the back surface of the wiring board 200 on a plane and serves as a bottom plate of the ink jet unit. Reference numeral 500 denotes a presser spring which is a pressing member and has an M-shape and presses the common liquid chamber with a light pressure at the center of the M-shape, and a front salient portion 501 forms a part of the liquid passage, preferably an area near the discharge port. Concentrated pressing with linear pressure. Heater board 1
00 and the top plate 1300, the foot of the spring is supported by the support member 30.
By engaging the rear surface side of the support body 300 through the hole of 0 and engaging them in a sandwiched state, the pressing spring 500 and the front slant portion 501 are concentrated and biased to the heater board 100. The top plate 1300 is fixed by pressure.

【0048】インクタンクは、カートリッジ本体100
0と、インク吸収体900とインク吸収体900をカー
トリッジ本体1000の上記ユニットIJU取付面とは
反対側の側面から挿入した後、これを封止する蓋部材1
100とで構成されている。1200はユニットIJU
に対してインクを供給するための供給口である。140
1はカートリッジ内部を大気に連通するために蓋部材に
設けられた大気連通口である。
The ink tank is the cartridge body 100.
0, the ink absorber 900, and the ink absorber 900 are inserted from the side surface of the cartridge body 1000 opposite to the unit IJU attachment surface, and then the lid member 1 for sealing the same.
It is composed of 100 and. 1200 is the unit IJU
Is a supply port for supplying ink to. 140
Reference numeral 1 is an atmosphere communication port provided in the lid member for communicating the inside of the cartridge with the atmosphere.

【0049】なお、本実施例においては天板1300は
耐インク性に優れたポリサルフォン、ポリエーテルサル
フォン、ポリフェニレンオキサイド、ポリプロピレンな
どの樹脂を用い、ポリフィスプレート部400と共に金
型内で一体に同時成型してある。
In this embodiment, the top plate 1300 is made of a resin such as polysulfone, polyether sulfone, polyphenylene oxide, polypropylene, etc., which has excellent ink resistance, and the top plate 1300 and the polyphis plate portion 400 are integrally and simultaneously formed in the mold. It is molded.

【0050】上述のように一体成型部品は、インク供給
部材600、天板・オリフィスプレート一体、インクタ
ンク本体1000としたので組立て精度が高水準となる
ばかりでなく、大量生産の品質向上上に極めて有効であ
る。また部品点数の個数は従来に比較して減少できてい
るので、優れた所望特性を確実に発揮できる。
As described above, since the integrally molded parts are the ink supply member 600, the top plate / orifice plate integrated, and the ink tank body 1000, not only the assembly accuracy becomes high, but also the quality of mass production is extremely improved. It is valid. Further, since the number of parts can be reduced as compared with the conventional one, excellent desired characteristics can be surely exhibited.

【0051】図10は本発明が適用されるインクジェッ
ト記録装置IJRAの外観図、駆動モータ5013の正
逆回転に連動して駆動力伝達ギア5011,5009を
介して回転するリードスクリュー5005のら線溝50
04に対して係合するキャリッジHCはピン(不図示)
を有し、矢印1,1方向に往復移動される。5002は
紙押え板であり、キャリッジ移動方向にわたって紙をプ
ラテンに対して押圧する。5007,5008はフォト
カプラでキャリッジのレバー5006のこの域での存在
を確認してモータ5013の回転方向切換等を行うため
のホームポジション検知手段である。5016は記録ヘ
ッドの前面をキャップするキャップ部材5022を支持
する部材で、5015はこのキャップ内を吸引する吸引
手段でキャップ内開口5023を介して記録ヘッドの吸
引回復を行う。5017はクリーニングブレードで、5
019はこのブレードを前後方向に移動可能にする部材
であり、本体支持板5018はこれらは支持されてい
る。ブレードは、この形態でなく周知のクリーニングブ
レードが本例に適用できることはいうまでもない。ま
た、5012は、吸引回復の吸引を開始するためのレバ
ーで、キャリッジと係合するカム5020の移動に伴っ
て移動し、駆動モータからの駆動力がクラッチ切換等の
公知の伝達手段で移動制御される。
FIG. 10 is an external view of an ink jet recording apparatus IJRA to which the present invention is applied, showing a lead groove 5005 having a helical groove which rotates via driving force transmission gears 5011 and 5009 in association with forward and reverse rotations of a driving motor 5013. Fifty
The carriage HC engaging with 04 is a pin (not shown)
And is reciprocated in the directions of arrows 1 and 1. A paper pressing plate 5002 presses the paper against the platen in the carriage movement direction. Reference numerals 5007 and 5008 denote home position detecting means for confirming the presence of the lever 5006 of the carriage in this area by a photocoupler and switching the rotation direction of the motor 5013. Reference numeral 5016 is a member that supports a cap member 5022 that caps the front surface of the recording head. Reference numeral 5015 is a suction unit that suctions the inside of the cap to perform suction recovery of the recording head through the in-cap opening 5023. 5017 is a cleaning blade.
Reference numeral 019 denotes a member that allows the blade to move in the front-rear direction, and the main body support plate 5018 supports these members. Needless to say, a well-known cleaning blade can be applied to this example instead of this form. Reference numeral 5012 is a lever for starting suction for suction recovery, which moves in accordance with movement of a cam 5020 that engages with the carriage, and the driving force from the driving motor is controlled by known transmission means such as clutch switching. To be done.

【0052】これらのキャッピング、クリーニング、吸
引回復は、キャリッジがホームポジション側領域にきた
ときにリードスクリュー5005の作用によってそれら
の対応位置で所望の処理が行えるように構成されている
が、周知のタイミングで所望の作動を行うようにすれ
ば、本例には何れも適用できる。上述における各構成は
単独でも複合的に見ても優れた発明であり、本発明にと
って好ましい構成例を示している。
The capping, cleaning, and suction recovery are configured so that desired processing can be performed at their corresponding positions by the action of the lead screw 5005 when the carriage comes to the home position side area. Any of these can be applied to this example as long as the desired operation is performed. Each of the above-described configurations is an excellent invention, either alone or in combination, and shows a preferred configuration example for the present invention.

【0053】なお、本装置にはインク吐出圧発生素子を
駆動するための駆動信号供給手段を有している。
The apparatus has drive signal supply means for driving the ink ejection pressure generating element.

【0054】なお、本発明は、特にインクジェット記録
方式の中でも、インク吐出を行わせるために利用される
エネルギとして熱エネルギを発生する手段(例えば電気
熱変換体やレーザ光等)を備え、前記熱エネルギにより
インクの状態変化を生起させる方式の記録ヘッド、記録
装置において優れた効果をもたらすものである。かかる
方式によれば記録の高密度化,高精細化が達成できるか
らである。
It should be noted that the present invention is provided with a means (for example, an electrothermal converter or a laser beam) for generating heat energy as energy used for ejecting ink, particularly in the ink jet recording system, and The effect is excellent in a recording head and a recording apparatus of a system that causes a change in ink state by energy. This is because such a system can achieve high density recording and high definition recording.

【0055】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第4723129号明細書,同第4740
796号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行うものが好ましい。この方式は所謂オンデマンド型,
コンティニュアス型のいずれにも適用可能であるが、特
に、オンデマンド型の場合には、液体(インク)が保持
されているシートや液路に対応して配置されている電気
熱変換体に、記録情報に対応していて核沸騰を越える急
速な温度上昇を与える少なくとも1つの駆動信号を印加
することによって、電気熱変換体に熱エネルギを発生せ
しめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさせて、結
果的にこの駆動信号に一対一で対応した液体(インク)
内の気泡を形成できるので有効である。この気泡の成
長,収縮により吐出用開口を介して液体(インク)を吐
出させて、少なくとも1つの滴を形成する。この駆動信
号をパルス形状とすると、即時適切に気泡の成長収縮が
行われるので、特に応答性に優れた液体(インク)の吐
出が達成でき、より好ましい。このパルス形状の駆動信
号としては、米国特許第4463359号明細書,同第
4345262号明細書に記載されているようなものが
適している。なお、上記熱作用面の温度上昇率に関する
発明の米国特許第4313124号明細書に記載されて
いる条件を採用すると、さらに優れた記録を行うことが
できる。
With regard to its typical structure and principle, see, for example, US Pat. No. 4,723,129 and US Pat. No. 4,740.
What is done using the basic principles disclosed in 796 is preferred. This method is a so-called on-demand type,
It can be applied to any of the continuous type, but especially in the case of the on-demand type, it can be applied to the sheet holding the liquid (ink) or the electrothermal converter arranged corresponding to the liquid path. By applying at least one drive signal corresponding to the recording information and giving a rapid temperature rise exceeding nucleate boiling, heat energy is generated in the electrothermal converter, and film boiling is caused on the heat acting surface of the recording head. Liquid (ink) corresponding to this drive signal in a one-to-one correspondence
It is effective because bubbles can be formed inside. Due to the growth and contraction of the bubbles, the liquid (ink) is ejected through the ejection opening to form at least one droplet. It is more preferable to make this drive signal into a pulse shape, because the bubble growth and contraction are immediately and appropriately performed, so that the ejection of the liquid (ink) with excellent responsiveness can be achieved. As the pulse-shaped drive signal, those described in US Pat. Nos. 4,463,359 and 4,345,262 are suitable. If the conditions described in US Pat. No. 4,313,124 of the invention relating to the rate of temperature rise on the heat acting surface are adopted, more excellent recording can be performed.

【0056】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口,液路,電気熱変換体
の組合せ構成(直線状液流路または直角液流路)の他に
熱作用部が屈曲する領域に配置されている構成を開示す
る米国特許第4558333号明細書,米国特許第44
59600号明細書を用いた構成も本発明に含まれるも
のである。加えて、複数の電気熱変換体に対して、共通
するスリットを電気熱変換体の吐出部とする構成を開示
する特開昭59−123670号公報や熱エネルギの圧
力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開示す
る特開昭59−138461号公報に基いた構成として
も本発明の効果は有効である。すなわち、記録ヘッドの
形態がどのようなものであっても、本発明によれば記録
を確実に効率よく行うことができるようになるからであ
る。
As the constitution of the recording head, in addition to the combination constitution of the ejection port, the liquid passage, and the electrothermal converter (the straight liquid passage or the right-angled liquid passage) as disclosed in the above-mentioned specifications, US Pat. No. 4,558,333, US Pat. No. 4,558,333, which discloses a configuration in which a heat acting portion is arranged in a bending region.
The structure using the specification of No. 59600 is also included in the present invention. In addition, Japanese Unexamined Patent Publication No. 59-123670 discloses a configuration in which a common slit is used as a discharge portion of the electrothermal converter for a plurality of electrothermal converters, and an opening for absorbing a pressure wave of thermal energy is provided. The effect of the present invention is effective even if the configuration corresponding to the ejection portion is disclosed in JP-A-59-138461. That is, according to the present invention, recording can be surely and efficiently performed regardless of the form of the recording head.

【0057】さらに、記録装置が記録できる記録媒体の
最大幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドの場合には放熱量、蓄熱の影響が大きく現われる
ため特に本発明を有効に適用することができる。そのよ
うな記録ヘッドとしては、複数記録ヘッドの組合せによ
ってその長さを満たす構成や、一体的に形成された1個
の記録ヘッドとしての構成のいずれでもよい。
Further, in the case of a full-line type recording head having a length corresponding to the maximum width of the recording medium which can be recorded by the recording apparatus, the influence of the amount of heat radiation and the accumulated heat greatly appears, so that the present invention is particularly effectively applied. be able to. Such a recording head may have a configuration that satisfies the length by a combination of a plurality of recording heads or a configuration as one recording head integrally formed.

【0058】加えて、上例のようなシリアルタイプのも
のでも、装置本体に固定された記録ヘッド、あるいは装
置本体に装着されることで装置本体との電気的な接続や
装置本体からのインクの供給が可能になる交換自在のチ
ップタイプの記録ヘッド、あるいは記録ヘッド自体に一
体的にインクタンクが設けられたカートリッジタイプの
記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効である。
In addition, even in the case of the serial type as in the above example, the recording head fixed to the main body of the apparatus or the electrical connection to the main body of the apparatus or the ink from the main body of the apparatus by being attached to the main body of the apparatus. The present invention is also effective when a replaceable chip-type recording head that can be supplied or a cartridge-type recording head in which an ink tank is integrally provided in the recording head itself is used.

【0059】また、本発明の記録装置の構成として、記
録ヘッドの吐出回復手段、予備的な補助手段等を付加す
ることは本発明の効果を一層安定できるので、好ましい
ものである。これらを具体的に挙げれば、記録ヘッドに
対してのキャッピング手段、クリーニング手段、加圧或
は吸引手段、電気熱変換体或はこれとは別の加熱素子或
はこれらの組み合わせを用いて加熱を行う予備加熱手
段、記録とは別の吐出を行なう予備吐出手段を挙げるこ
とができる。
Further, as the constitution of the recording apparatus of the present invention, it is preferable to add ejection recovery means for the recording head, preliminary auxiliary means, etc. because the effects of the present invention can be further stabilized. Specifically, heating is performed by using a capping unit, a cleaning unit, a pressure or suction unit for the recording head, an electrothermal converter or a heating element other than this, or a combination thereof. Examples thereof include a preliminary heating unit for performing the discharge and a preliminary discharge unit for performing discharge different from the recording.

【0060】また、搭載される記録ヘッドの種類ないし
個数についても、例えば単色のインクに対応して1個の
みが設けられたものの他、記録色や濃度を異にする複数
のインクに対応して複数個数設けられるものであっても
よい。すなわち、例えば記録装置の記録モードとしては
黒色等の主流色のみの記録モードだけではなく、記録ヘ
ッドを一体的に構成するか複数個の組み合わせによるか
いずれでもよいが、異なる色の複色カラー、または混色
によるフルカラーの各記録モードの少なくとも一つを備
えた装置にも本発明は極めて有効である。
Regarding the type and number of recording heads to be mounted, for example, only one recording head is provided corresponding to a single color ink, or a plurality of inks having different recording colors and densities are supported. A plurality of pieces may be provided. That is, for example, the recording mode of the recording apparatus is not limited to the recording mode of only the mainstream color such as black, but it may be either the recording head is integrally formed or a plurality of combinations may be used. The present invention is also extremely effective for an apparatus provided with at least one of full-color recording modes by color mixing.

【0061】さらに加えて、以上説明した本発明実施例
においては、インクを液体として説明しているが、室温
やそれ以下で固化するインクであって、室温で軟化もし
くは液化するものを用いてもよく、あるいはインクジェ
ット方式ではインク自体を30℃以上70℃以下の範囲
内で温度調整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあ
るように温度制御するものが一般的であるから、使用記
録信号付与時にインクが液状をなすものを用いてもよ
い。加えて、熱エネルギによる昇温を、インクの固形状
態から液体状態への状態変化のエネルギとして使用せし
めることで積極的に防止するため、またはインクの蒸発
を防止するため、放置状態で固化し加熱によって液化す
るインクを用いてもよい。いずれにしても熱エネルギの
記録信号に応じた付与によってインクが液化し、液状イ
ンクが吐出されるものや、記録媒体に到達する時点では
すでに固化し始めるもの等のような、熱エネルギの付与
によって初めて液化する性質のインクを使用する場合も
本発明は適用可能である。
In addition, in the above-described embodiments of the present invention, the ink is described as a liquid, but an ink that solidifies at room temperature or lower and that softens or liquefies at room temperature may be used. Or, in the inkjet system, it is common to control the temperature of the ink itself within the range of 30 ° C. or higher and 70 ° C. or lower to control the temperature so that the viscosity of the ink is within the stable ejection range. Sometimes, a liquid ink may be used. In addition, the temperature rise due to thermal energy is positively prevented by using it as the energy of the state change of the ink from the solid state to the liquid state, or in order to prevent the evaporation of the ink, it is solidified and heated in the standing state. You may use the ink liquefied by. In any case, by applying thermal energy such as ink that is liquefied by applying thermal energy according to the recording signal and liquid ink is ejected, or that begins to solidify when it reaches the recording medium. The present invention can be applied to the case where an ink having a property of being liquefied for the first time is used.

【0062】さらに加えて、本発明インクジェット記録
装置の形態としては、コンピュータ等の情報処理機器の
画像出力端末として用いられるものの他、リーダ等と組
合せた複写装置、さらには送受信機能を有するファクシ
ミリ装置の形態を採るもの等であってもよい。
In addition, as the form of the ink jet recording apparatus of the present invention, besides the one used as an image output terminal of an information processing apparatus such as a computer, a copying apparatus combined with a reader or the like, and a facsimile apparatus having a transmission / reception function are provided. It may be a form or the like.

【0063】また、本発明のヘッドを布へ記録を行う捺
染装置に組み込んでもよい。
The head of the present invention may be incorporated in a textile printing apparatus for recording on cloth.

【0064】[0064]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
熱作用室となる液路の境界において積層回路基板をなす
複数の層の熱伝導を考慮して層構成を改良することにに
よって、上記液路で生する熱の液路外への伝達を抑制す
ることができ、液路外へ伝達する熱量が低減される。
As described above, according to the present invention,
By improving the layer structure in consideration of the heat conduction of the plurality of layers forming the laminated circuit board at the boundary of the liquid passage serving as the heat action chamber, the transfer of heat generated in the liquid passage to the outside of the liquid passage is suppressed. Therefore, the amount of heat transferred to the outside of the liquid path is reduced.

【0065】この結果、投入エネルギーに対する熱効率
が向上し、少ない投入エネルギーで単独吐出時において
も安定した吐出量が得られるようになる。すなわち、消
費電力が少なく電源容量の節約となり、さらに高品位な
記録を実現できる。
As a result, the thermal efficiency with respect to the input energy is improved, and a stable discharge amount can be obtained with a small input energy even during the single discharge. That is, the power consumption is small, the power capacity is saved, and higher quality recording can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施例に係るインクジェットヘッドの
断面を示す模式図である。
FIG. 1 is a schematic view showing a cross section of an inkjet head according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の基板の部分構造を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a partial structure of a substrate of the present invention.

【図3】本発明のインクジェットヘッドにおける投入電
力と吐出量との関係を示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing a relationship between input power and ejection amount in the inkjet head of the present invention.

【図4】本発明の他の実施例を説明するための図であ
る。
FIG. 4 is a diagram for explaining another embodiment of the present invention.

【図5】本発明のインクジェットヘッドにおける投入電
力と吐出量との関係を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing a relationship between input power and ejection amount in the inkjet head of the present invention.

【図6】本発明の他の実施例を説明するための図であ
る。
FIG. 6 is a diagram for explaining another embodiment of the present invention.

【図7】本発明の他の実施例を説明するための図であ
る。
FIG. 7 is a diagram for explaining another embodiment of the present invention.

【図8】本発明のインクジェットカートリッジの分解斜
視図である。
FIG. 8 is an exploded perspective view of the inkjet cartridge of the present invention.

【図9】本発明のインクジェットカートリッジの外観斜
視図である。
FIG. 9 is an external perspective view of the inkjet cartridge of the present invention.

【図10】本発明のインクジェットヘッドを搭載した装
置を示す図である。
FIG. 10 is a diagram showing an apparatus equipped with the inkjet head of the present invention.

【図11】背景技術のインクジェットヘッドの断面図を
示す模式図である。
FIG. 11 is a schematic diagram showing a cross-sectional view of an inkjet head of the background art.

【図12】背景技術のヘッドにおける投入電力と吐出量
との関係を示す図である。
FIG. 12 is a diagram showing the relationship between the input power and the ejection amount in the head of the background art.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板 2a,2b,2c 電気絶縁層、またはガラス蓄熱層 3 発熱抵抗体 3a 電極配線 4 耐キャビテーション用保護膜 100 ヒータボード 100a 発熱抵抗体間の層 400 天板 400a 隔壁 401 液路 1 substrate 2a, 2b, 2c Electrical insulation layer or glass heat storage layer 3 Heating resistor 3a electrode wiring 4 Protective film for cavitation resistance 100 heater board 100a Layer between heating resistors 400 top plate 400a partition 401 liquid path

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 杉谷 博志 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キ ヤノン株式会社内 (72)発明者 折笠 剛 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キ ヤノン株式会社内 (72)発明者 泉田 昌明 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キ ヤノン株式会社内 (72)発明者 石永 博之 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キ ヤノン株式会社内 (56)参考文献 特開 平5−131624(JP,A) 特開 昭62−55155(JP,A) 特開 平5−177836(JP,A) 特開 平2−95850(JP,A) 特開 平6−166181(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B41J 2/05 B41J 2/175 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued Front Page (72) Inventor Hiroshi Sugitani 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inc. (72) Inventor Tsuyoshi Orikasa 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Incorporated (72) Inventor Masaaki Izumida 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inc. (72) Inventor Hiroyuki Ishinaga 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inc. (56) References JP-A-5-131624 (JP, A) JP-A-62-55155 (JP, A) JP-A-5-1777836 (JP, A) JP-A-2-95850 (JP, A) Kaihei 6-166181 (JP, A) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) B41J 2/05 B41J 2/175

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 インクを吐出するための複数の発熱抵抗
体が列状に配されたインクジェットヘッドにおいて、 基体上に該発熱抵抗体と電気的な絶縁もしくは保護をす
るための複数の層とが積層された基板と、 該基板上に前記発熱抵抗体に対応して設けられた液流路
であって、該液流路を形成する部材の一部をなす隔壁に
よってそれぞれが仕切られる複数の液流路と、を有して
おり、前記隔壁は、前記複数の発熱抵抗体の配列におい
て隣接する発熱抵抗体の間の一部の範囲で前記基板の最
上層と接し、該接する範囲のうちより狭い範囲について
前記基板の前記複数の層の全てが除去されて中空の凹部
が形成されていることを特徴とするインクジェットヘッ
ド。
1. In an ink jet head in which a plurality of heating resistors for ejecting ink are arranged in a row, the heating resistors and a plurality of layers for electrical insulation or protection are provided on a substrate. Laminated substrates and liquid flow paths provided on the substrates corresponding to the heating resistors
The partition wall forming part of the member forming the liquid flow path
Therefore, each partition has a plurality of liquid flow paths, and the partition wall is the uppermost part of the substrate in a partial range between adjacent heating resistors in the array of the plurality of heating resistors.
About the narrower range of the contact area with the upper layer
An inkjet head , wherein hollow layers are formed by removing all of the plurality of layers of the substrate .
【請求項2】 前記複数の層は絶縁層を含むことを特徴
とする請求項1に記載のインクジェットヘッド。
2. The ink jet head according to claim 1, wherein the plurality of layers include an insulating layer.
【請求項3】 前記複数の層は、電気的絶縁性と蓄熱性
とを兼ねた層を含むことを特徴とする請求項1に記載の
インクジェットヘッド。
3. The ink jet head according to claim 1, wherein the plurality of layers include a layer having both electrical insulation and heat storage.
【請求項4】 前記除去に係わる前記一部の範囲は、前
記隣接する発熱抵抗体の間であって、前記発熱抵抗体の
配列方向と交差する方向に延在していることを特徴とす
る請求項1に記載のインクジェットヘッド。
4. The part of the area related to the removal is between the adjacent heating resistors and extends in a direction intersecting with the arrangement direction of the heating resistors. The inkjet head according to claim 1.
【請求項5】 前記除去に係わる前記一部の範囲の長さ
は、前記配列方向と交差する方向の前記発熱抵抗体の長
さより長いことを特徴とする請求項に記載のインクジ
ェットヘッド。
5. The inkjet head according to claim 4 , wherein the length of the part of the area related to the removal is longer than the length of the heating resistor in a direction intersecting with the arrangement direction.
【請求項6】 請求項1ないし5のいずれかのインクジ
ェットヘッドと、該インクジェットヘッドに供給するイ
ンクを保持するインクタンクとを有することを特徴とす
るインクジェットヘッドカートリッジ。
6. An ink jet head cartridge, comprising: the ink jet head according to claim 1; and an ink tank that holds ink to be supplied to the ink jet head.
【請求項7】 請求項1ないし5のいずれかのインクジ
ェットヘッドと、被記録媒体を搬送する手段とを有する
ことを特徴とするインクジェット装置。
7. An ink jet apparatus comprising the ink jet head according to claim 1 and means for conveying a recording medium.
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