JP3155416B2 - Ink jet head and ink jet device - Google Patents

Ink jet head and ink jet device

Info

Publication number
JP3155416B2
JP3155416B2 JP30518693A JP30518693A JP3155416B2 JP 3155416 B2 JP3155416 B2 JP 3155416B2 JP 30518693 A JP30518693 A JP 30518693A JP 30518693 A JP30518693 A JP 30518693A JP 3155416 B2 JP3155416 B2 JP 3155416B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
grooves
separation groove
liquid flow
ink jet
groove
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP30518693A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH07156405A (en
Inventor
充志 木谷
実 野澤
邦彦 前岡
雅典 竹之内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP30518693A priority Critical patent/JP3155416B2/en
Priority to US08/346,917 priority patent/US6155677A/en
Priority to CA002136514A priority patent/CA2136514C/en
Priority to ES94118590T priority patent/ES2148269T3/en
Priority to EP94118590A priority patent/EP0656261B1/en
Priority to AU79037/94A priority patent/AU682409B2/en
Priority to CN94119807A priority patent/CN1096950C/en
Priority to DE69424131T priority patent/DE69424131T2/en
Priority to KR1019940031361A priority patent/KR0163220B1/en
Publication of JPH07156405A publication Critical patent/JPH07156405A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3155416B2 publication Critical patent/JP3155416B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、記録用の液体(インク
等)を飛翔液滴として吐出(オリフィス)から吐出さ
せ、記録媒体に付着させることによって記録を行うイン
クジェット記録装置に関し、特に、インクジェット記録
ヘッドとりわけカラー用のインクジェット記録ヘッド及
びインクジェット記録装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet recording apparatus which performs recording by discharging a recording liquid (ink or the like) as flying droplets from a discharge port (orifice) and attaching the liquid to a recording medium. The present invention relates to an ink jet recording head, particularly to a color ink jet recording head and an ink jet recording apparatus.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、インクジェット記録ヘッドにおい
ては、特開昭55−132253号公報に記載されてい
るように、シリコン基板上に形成された電気熱変換体
と、該シリコン基板上の記録用インク吐出口と、前記電
気熱変換体による熱作用部を有するインク流路と、該イ
ンク流路にインクを供給する共通液室を構成するための
凹部を有した天板とを接合することによって構成されて
いる。
2. Description of the Related Art Conventionally, in an ink jet recording head, as described in JP-A-55-132253, an electrothermal transducer formed on a silicon substrate and a recording ink on the silicon substrate are used. It is configured by joining an ejection port, an ink flow path having a heat acting portion by the electrothermal transducer, and a top plate having a concave portion for forming a common liquid chamber for supplying ink to the ink flow path. Have been.

【0003】また、インクジェット記録ヘッドにおいて
は、前記シリコン基板上に配された電気熱変換体を駆動
するための駆動回路が該シリコン基板内に作り込まれて
いる。前記シリコン基板の駆動回路からの配線を引き出
す配線板を備え前記駆動回路が作り込まれたシリコン基
板、及び該配線板は、前記放熱部材上に隣接して配置さ
れている。
In an ink jet recording head, a drive circuit for driving an electrothermal transducer disposed on the silicon substrate is built in the silicon substrate. A silicon substrate having a wiring board for drawing out wiring from a driving circuit of the silicon substrate, and the wiring board is built in, and the wiring board are arranged adjacent to the heat dissipation member.

【0004】前記駆動回路が作り込まれ、電気熱変換体
を備えたシリコン基板上に配された端子との間の電気的
接続アルミ配線によって行われる。電気熱変換体より引
き出された一方のアルミ配線は、シリコン基板内に作り
込まれた駆動回路に接続され、もう一方のアルミ配線
は、2層配線により一括して該シリコン基板の端部に引
き出され、ワイヤーボンディングによって配線板上の電
源のコモン端子に接続される。
[0004] The above-mentioned drive circuit is built in, and is electrically connected to terminals arranged on a silicon substrate provided with an electrothermal converter by aluminum wiring. One aluminum wiring drawn out of the electrothermal transducer is connected to a drive circuit built in the silicon substrate, and the other aluminum wiring is drawn out to the end of the silicon substrate collectively by two-layer wiring. It is connected to the common terminal of the power supply on the wiring board by wire bonding.

【0005】さらには、カラーインクジェット記録ヘッ
ドは図8に示す様にインクジェット記録ヘッド102を
複数個並ベたインクジェットユニット101を用いて多
色のカラー印字を行っている。上記従来例によるとイン
クジェット記録ヘッドを複数個配置する場合、コンパク
ト化が困難となり、またスピードが速くなるメリットは
あるもののコストがインクジェット記録ヘッドの個数倍
かかることになりコストアップとなる。
Further, as shown in FIG. 8, the color ink jet recording head performs multi-color printing using an ink jet unit 101 having a plurality of ink jet recording heads 102 arranged side by side. According to the above-described conventional example, when a plurality of ink jet recording heads are arranged, it is difficult to reduce the size of the ink jet recording heads, and although there is a merit of increasing the speed, the cost is multiplied by the number of the ink jet recording heads.

【0006】そこで、インク吐出用ノズル付き天板の共
通液室を複数に分割し、分割された液室毎に複数種のイ
ンクを供給することが提案されている。
Therefore, it has been proposed to divide the common liquid chamber of the top plate with ink discharge nozzles into a plurality of liquid chambers and supply a plurality of types of ink to each of the divided liquid chambers.

【0007】上記構成の場合、天板の複数の共通液室を
確実に分離する必要があるため、駆動回路を作り込んだ
シリコン基板と複数の共通液室を備えたインク吐出用ノ
ズル付き天板の各共通液室間に分離用の封止樹脂を流し
込む溝(以後分離溝と称する)を設けている。この分離
溝は、各液室間の前記インク吐出用ノズル間まで続いて
いる。
In the case of the above configuration, since it is necessary to surely separate a plurality of common liquid chambers of the top plate, a top plate with an ink discharge nozzle provided with a silicon substrate having a drive circuit and a plurality of common liquid chambers is provided. A groove (hereinafter referred to as a separation groove) into which a sealing resin for separation is poured is provided between the common liquid chambers. The separation groove extends between the ink discharge nozzles between the liquid chambers.

【0008】これによれば、一つのインクジェットヘッ
ドで多色の印字が可能となり、さらに、インクジェット
ヘッドのコンパクト化が可能となり、安価なカラーイン
クジェットヘッドを提供できる。
According to this, multicolor printing can be performed with one inkjet head, and the inkjet head can be downsized, so that an inexpensive color inkjet head can be provided.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとしている課題】上述した構成のイ
ンクジェットヘッドでは、共通液室間に分離用の封止樹
脂を流し込む場合、確実に封止樹脂が分離溝で止まり、
インク吐出用ノズルに流れ込まないようにする必要があ
り、封止樹脂の注入量を極微量に制御する必要がある。
このため、製造に手間がかかり、歩留り低下の原因にな
るという問題点がある。
In the ink jet head having the above-described structure, when the sealing resin for separation is poured between the common liquid chambers, the sealing resin is reliably stopped at the separation groove.
It is necessary to prevent the ink from flowing into the ink discharge nozzle, and it is necessary to control the injection amount of the sealing resin to a very small amount.
For this reason, there is a problem that it takes time and effort to manufacture and causes a decrease in yield.

【0010】本発明は上述したような従来の技術が有す
る問題点に鑑みてなされたものであって、一つのインク
ジェットヘッドで多色の印字を可能とし、インクジェッ
トヘッドのコンパクト化を可能としたうえで、さらに歩
留り向上が容易な構造のインクジェット記録ヘッドを実
現することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the prior art, and has been made in view of the fact that a single ink jet head can perform multicolor printing and can reduce the size of the ink jet head. Accordingly, it is an object of the present invention to realize an ink jet recording head having a structure capable of further improving the yield.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明のインクジェット
ヘッドは、インクを吐出して記録を行うための複数の吐
出口にそれぞれ連通する複数の液流路を構成するための
複数の溝からなる組と、該複数の溝からなる組に対応し
て設けられ、前記複数の液流路に共通に連通しインクを
貯留するための共通液室を構成するための凹部とがそれ
ぞれ複数設けられ、前記複数の吐出口が設けられたオリ
フィスプレートと一体化された溝付部材と、インクを吐
出するためのエネルギーを発生する複数のエネルギー発
生体が前記複数の液流路に対応して配置され、前記複数
の溝からなる複数の組および前記複数の凹部を覆うよう
に前記溝付部材に接合される基板と、を有し、前記溝付
部材の、前記複数の溝からなる組同士の間には複数の液
流路分離溝が形成され、前記凹部同士の間には前記複数
の液流路分離溝のうちの一部の分離溝とつながる共通液
室分離溝が形成されており、前記複数の液流路分離溝の
うちの、前記共通液室分離溝とつながる液流路分離溝お
よび前記共通液室分離溝には封止剤が充填されているこ
とを特徴とする。さらに、前記共通液室分離溝とつなが
る前記液流路分離溝の幅は、前記液流路の幅の整数倍で
ある構成としてもよい。
Means for Solving the Problems] The ink jet head of the present invention, the set comprising a plurality of grooves for constituting a plurality of liquid flow paths respectively communicating with the plurality of discharge ports for recording by discharging ink And a set corresponding to the plurality of grooves.
And a plurality of recesses for forming a common liquid chamber for storing ink that is in common communication with the plurality of liquid flow paths, and is integrated with an orifice plate provided with the plurality of discharge ports. a reduction has been grooved member, a plurality of energy generating elements for generating energy for discharging ink are arranged corresponding to the plurality of liquid flow paths, said plurality
A plurality of sets of grooves and a substrate joined to the grooved member so as to cover the plurality of recesses, and a plurality of sets of the grooved members between the sets of the plurality of grooves. Liquid
A channel separation groove is formed, and the plurality of
Common liquid connected to some of the liquid flow channel separation grooves
A chamber separation groove is formed, and of the plurality of liquid flow path separation grooves, a liquid flow path separation groove and a liquid flow path separation groove connected to the common liquid chamber separation groove.
Further, the common liquid chamber separation groove is filled with a sealant. Further, it is connected to the common liquid chamber separation groove.
The width of the liquid channel separation groove may be an integral multiple of the width of the liquid channel.

【0012】この場合、前記オリフィスプレートの、
記複数の液流路分離溝に対応する部分に貫通穴がそれぞ
れ形成されている構成としてもよい。
[0012] In this case, of the orifice plate, before
A configuration may be employed in which through holes are respectively formed in portions corresponding to the plurality of liquid flow path separation grooves .

【0013】また、前記オリフィスプレートの前記基板
側となる面に、複数の前記貫通穴のうちの、前記共通液
室分離溝とつながる前記液流路分離溝に対応して設けら
れた貫通穴とつながる溝が形成されている構成としても
よい。
Further, the on the substrate side becomes the surface of the orifice plate, of the plurality of the through holes, the common liquid
It may be configured such that a groove connected to a through hole provided corresponding to the liquid flow path separation groove connected to the chamber separation groove is formed.

【0014】また、前記基板の前記オリフィスプレート
側の端面部分に、複数の前記貫通穴のうちの、前記共通
液室分離溝とつながる前記液流路分離溝に対応して設け
られた貫通穴とつながる溝が形成されている構成として
もよい。
Further, the end face portion of the orifice plate side of the substrate, of the plurality of the through holes, the common
A configuration may be adopted in which a groove is formed that is connected to a through hole provided corresponding to the liquid flow path separation groove connected to the liquid chamber separation groove .

【0015】さらに、前記複数の液流路分離溝は、該複
数の液流路分離溝のうちの一部の液流路分離溝の幅と他
の液流路分離溝の幅とが互いに異なるように構成されて
いてもよく、前記オリフィスプレートの、前記複数の液
流路分離溝に対応する部分にそれぞれ形成された貫通穴
は、一部の貫通穴の大きさと他の貫通穴の大きさとが互
いに異なるように構成されていてもよい。
Further, in the plurality of liquid flow path separation grooves , a width of a part of the plurality of liquid flow path separation grooves and a width of another liquid flow path separation groove are different from each other. It may be configured as, in the orifice plate, the plurality of fluid
The through holes formed in the portions corresponding to the flow path separation grooves may be configured such that the size of some through holes and the size of other through holes are different from each other.

【0016】本発明のインクジェット記録装置は、上記
のように構成されたインクジェット記録ヘッドを用いて
いる。
The ink jet recording apparatus of the present invention uses the ink jet recording head configured as described above.

【0017】[0017]

【作用】本発明によれば、共通液室間に分離用の封止樹
脂注入溝を設けたインクジェット記録ヘッドにおいてイ
ンク吐出用ノズルと並ぶ前記注入溝部にはインク吐出用
ノズルと同様な間隔及び高さで液室分離溝(ダミーノズ
ル)を設け、多重にインク吐出用溝に封止樹脂が流れ込
みを防止する。
According to the present invention, in the ink jet recording head provided with the sealing resin injection groove for separation between the common liquid chambers, the injection groove portion aligned with the ink discharge nozzle has the same interval and height as the ink discharge nozzle. A liquid chamber separation groove (dummy nozzle) is provided to prevent the sealing resin from flowing into the ink discharge groove in multiple layers.

【0018】また、ダミーノズルのオリフィスプレート
に貫通穴を設けることにより、封止剤注入時に内部にあ
る空気が逃げるため封止剤をオリフィスプレート迄到達
し易くし、確実にインク吐出用ノズルに封止樹脂が流れ
込みを起こすことなく天板の複数の共通液室を確実に歩
留まりよく分離することが可能となるものである。
Further, by providing a through hole in the orifice plate of the dummy nozzle, the air inside escapes when the sealant is injected, so that the sealant can easily reach the orifice plate, and the ink can be reliably sealed in the ink discharge nozzle. This makes it possible to reliably separate the plurality of common liquid chambers of the top plate with good yield without causing the resin to flow.

【0019】さらには、前記オリフィスプレートに開け
た貫通穴の下側の基板側、あるいは前記基板側のオリフ
ィスプレート側に溝をつけることにより、基板とオリフ
ィスプレートの間に確実に封止樹脂を注入することが可
能となり、液室間分離を確実に行える様にするものであ
る。
Further, a sealing resin is reliably injected between the substrate and the orifice plate by providing a groove on the substrate side below the through hole formed in the orifice plate or on the orifice plate side of the substrate. It is possible to reliably perform separation between liquid chambers.

【0020】[0020]

【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0021】実施例1 図1は本発明の第1の実施例における溝付き天板を示す
斜視図、図2は図1に示した溝付き天板のノズル部の複
数の液室分離溝の拡大図、図3は第1の実施例によるイ
ンクジェット記録ヘッドの斜視図である。
Embodiment 1 FIG. 1 is a perspective view showing a grooved top plate according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a view showing a plurality of liquid chamber separation grooves of a nozzle portion of the grooved top plate shown in FIG. FIG. 3 is an enlarged view, and FIG. 3 is a perspective view of the ink jet recording head according to the first embodiment.

【0022】本実施例は4色一体のインクジェット記録
ヘッドである。図1において、100はインク吐出用ノ
ズル、110はノズル部のみが形成され、ダミーノズル
として設けられた複数の液室分離溝、130は共通液室
分離溝、150は共通液室分離溝壁、160はオリフィ
スプレート、170は共通液室分離溝130への封止剤
注入□、180は各色分のインクを貯蔵するために4個
設けられた共通液室である。
This embodiment is an ink jet recording head for four colors. In FIG. 1, reference numeral 100 denotes an ink discharge nozzle, 110 denotes a plurality of liquid chamber separating grooves provided only as nozzles and is provided as dummy nozzles, 130 denotes a common liquid chamber separating groove, 150 denotes a common liquid chamber separating groove wall, Reference numeral 160 denotes an orifice plate, 170 denotes injection of a sealant into the common liquid chamber separation groove 130, and 180 denotes four common liquid chambers provided for storing ink of each color.

【0023】図2において、液室分離溝110は複数の
分離溝(液流路分離溝)から構成されるもので、インク
吐出用ノズル100の2本分の幅とされ、共通液室分離
溝130とつなげられる分離溝と、これの両側に各々3
本ずつ設けられるインク吐出用ノズル100と同じ幅お
よび間隔で配設された分離溝からなるもので、ダミーノ
ズルの総数は計7本となる。120は液室分離溝110
を構成する各分離溝に対応してオリフィスプレート16
0に開けられた穴である。
In FIG. 2, the liquid chamber separation groove 110 is constituted by a plurality of separation grooves (liquid flow path separation grooves) , and has a width corresponding to two ink ejection nozzles 100, and a common liquid chamber separation groove. 130, and 3 on each side of the separation groove.
It is composed of separation grooves arranged at the same width and spacing as the ink ejection nozzles 100 provided one by one, and the total number of dummy nozzles is seven in total. 120 is a liquid chamber separation groove 110
Orifice plate 16 corresponding to each separation groove
It is a hole drilled at zero.

【0024】図3において、20は溝付き天板、19は
駆動回路を作り込んだ電気熱変換体を備えたシリコン基
板で溝付き天板20と接合されている。21はアルミプ
レートで、シリコン基板19からの放熱を行っている。
また、シリコン基板19は熱伝導性のよい接着剤により
アルミプレート21に接着されている。
In FIG. 3, reference numeral 20 denotes a grooved top plate, and 19 denotes a silicon substrate provided with an electrothermal converter in which a drive circuit is formed, which is joined to the grooved top plate 20. Reference numeral 21 denotes an aluminum plate which radiates heat from the silicon substrate 19.
The silicon substrate 19 is bonded to the aluminum plate 21 with an adhesive having good thermal conductivity.

【0025】インクジェットヘッドの液室間の液室分離
溝110に封止剤を注入する場合、封止剤をディスペン
サーで溝付き天板20の封止剤注入口170後端のシリ
コン基板19上に塗布する。塗布された封止剤は、毛管
力によって共通液室分離溝130に注入され、複数形成
された液室分離溝110のうちの中央の幅の広い液室分
離溝に到達する。
When the sealant is injected into the liquid chamber separation groove 110 between the liquid chambers of the ink jet head, the sealant is dispensed on the silicon substrate 19 at the rear end of the sealant injection port 170 of the grooved top plate 20 with a dispenser. Apply. The applied sealant is injected into the common liquid chamber separation groove 130 by capillary force, and reaches the central wide liquid chamber separation groove among the plurality of formed liquid chamber separation grooves 110.

【0026】共通液室分離溝130から液室分離溝11
0に封止樹脂が注入される場合、まず中央の分離溝のみ
に封止剤が注入される。中央の分離溝に封止剤が満たさ
れ、溢れる状態となると、溢れた封止は隣接する分離
溝に共通液室側より注入され、中央の分離溝から外側に
位置する各分離溝への封止の注入が順次行われる。
The common chamber separation groove 130 to the liquid chamber separation groove 11
In the case where the sealing resin is injected at 0, the sealing agent is first injected only into the central separation groove. Met sealant in the center of the separation trench, overflowing the state becomes, overflowing sealant is injected from the common liquid chamber side to the isolation trench adjacent the center of the separation grooves to each separation groove located on the outside injection of a sealing agent are sequentially performed.

【0027】さらに、分離溝先端の貫通穴まで到達した
封止剤は前記分離溝近傍のオリフィスプレートとシリコ
ン基板の隙間にも充填される。
Further, the sealant reaching the through hole at the tip of the separation groove is also filled in the gap between the orifice plate and the silicon substrate near the separation groove.

【0028】封止剤の注入量としては、インク吐出用ノ
ズル100と隣接する分離溝を除いた各分離溝がすべて
充填される量、本実施例の場合には、中央の分離溝を含
む5本の分離溝と前記分離溝近傍のオリフィスプレート
とシリコン基板の隙間に充填される量が注入される。
The amount of the sealant to be injected is such that all of the separation grooves except for the separation groove adjacent to the ink discharge nozzle 100 are filled. The amount to be filled in the gap between the silicon substrate and the separation groove and the orifice plate near the separation groove is injected.

【0029】封止剤の液室分離溝への注入時に、オリフ
ィスプレート160の液室分離溝110に対応する部分
に穴120を開けているので、内部にある空気が逃げ、
封止剤がオリフィスプレート160まで到達し易くなっ
ている。液室分離溝110各々の分離溝に注入された封
止剤は、オリフィスプレート160の穴120にて表面
張力で止まる。
When the sealant is injected into the liquid chamber separation groove, the hole 120 is opened in the portion of the orifice plate 160 corresponding to the liquid chamber separation groove 110, so that the air inside escapes.
The sealant easily reaches the orifice plate 160. The sealant injected into each of the liquid chamber separation grooves 110 stops at the hole 120 of the orifice plate 160 due to surface tension.

【0030】本実施例においては液室分離溝110を複
数の分離溝とし、インク吐出用ノズル100と隣接する
分離溝については封止を注入しない構成としている。
このため、封止の注入量が所定の量より少ない場合で
あっても複数の分離溝の内のいくつかには確実に封止
の注入がなされる。また、封止の注入量が所定の量よ
り多い場合には本来封止を注入しない分離溝の容積分
までが許容されるため、従来、極微量に制御する必要が
あった封止の注入が容易となり、各液室の分離を確実
に行うことができるとともに歩留りが向上する。
[0030] In this embodiment the liquid chamber separation groove 110 and a plurality of separation grooves, the separation grooves adjacent to the ink discharging nozzle 100 is configured so as not to inject the sealing agent.
Therefore, the injection amount of the sealing agent is reliably injected sealing agent <br/> for some of the plurality of separation grooves, even when less than the predetermined amount is made. Further, since the to a volume fraction of the separation grooves not inject originally sealant is allowed in the case the injection amount of the sealing agent is more than a predetermined amount, conventional, sealing agents had to be controlled to trace amounts And the liquid chambers can be reliably separated, and the yield is improved.

【0031】実施例2 図4は本発明の第2の実施例における溝付き天板を示す
斜視図、図5は図4に示した溝付き天板のノズル部の複
数の液室分離溝の拡大図、図6は第2の実施例によるイ
ンクジェット記録ヘッドの斜視図である。
Embodiment 2 FIG. 4 is a perspective view showing a grooved top plate according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a view showing a plurality of liquid chamber separation grooves of a nozzle portion of the grooved top plate shown in FIG. FIG. 6 is an enlarged view, and FIG. 6 is a perspective view of an ink jet recording head according to a second embodiment.

【0032】図4において、200はインク吐出用ノズ
ル、210はノズル部のみが形成され、ダミーノズルと
して設けられた複数の液室分離溝、230は共通液室分
離溝、250は共通液室分離溝壁、260はオリフィス
プレート、270は共通液室分離溝230への封止剤注
、280は共通液室、225はオリフィスプレート
260の共通液室分離溝230に対応する部分に設けら
れた溝である。
In FIG. 4, reference numeral 200 denotes an ink discharge nozzle, 210 denotes a plurality of liquid chamber separation grooves provided only as nozzles and is provided as a dummy nozzle, 230 denotes a common liquid chamber separation groove, and 250 denotes a common liquid chamber separation groove. groove wall, 260 is an orifice plate, 270 sealant Note <br/> entry mouth into the common liquid chamber separation groove 230, 280 is a common liquid chamber, 225 corresponding to the common liquid chamber separation groove 230 of orifice plate 260 It is a groove provided in the portion.

【0033】図5において、液室分離溝210は複数の
分離溝から構成されるもので、インク吐出用ノズル20
0の2本分の幅とされ、共通液室分離溝230とつなげ
られる分離溝と、これの両側に各々3本ずつ設けられる
インク吐出用ノズル200と同じ幅および間隔で配設さ
れた分離溝からなるもので、ダミーノズルの総数は計7
本となる。220は液室分離溝210を構成する各分離
溝に対応してオリフィスプレート260に開けられた穴
である。上述した溝225は、共通液室分離溝230を
構成する分離溝のうち、中央に位置する幅の広い分離溝
について開けられた穴220に連設されている。
In FIG. 5, the liquid chamber separation groove 210 is composed of a plurality of separation grooves,
0, two separation grooves connected to the common liquid chamber separation groove 230, and separation grooves arranged at the same width and spacing as the three ink ejection nozzles 200 provided on both sides of the separation groove. The total number of dummy nozzles is 7
It becomes a book. Reference numeral 220 denotes a hole formed in the orifice plate 260 corresponding to each of the separation grooves constituting the liquid chamber separation groove 210. The groove 225 described above is connected to the hole 220 formed in the wide separation groove located at the center among the separation grooves constituting the common liquid chamber separation groove 230.

【0034】図6において、300は溝付き天板、29
0は駆動回路を作り込んだ電気熱変換体を備えたシリコ
ン基板で溝付き天板300と接合されている。310は
アルミプレートで、シリコン基板290からの放熱を行
っている。また、シリコン基板290は熱伝導性のよい
接着剤によりアルミプレート310に接着されている。
In FIG. 6, reference numeral 300 denotes a grooved top plate, 29
Reference numeral 0 denotes a silicon substrate provided with an electrothermal converter in which a drive circuit is formed, and is bonded to the grooved top plate 300. An aluminum plate 310 radiates heat from the silicon substrate 290. The silicon substrate 290 is bonded to the aluminum plate 310 with an adhesive having good thermal conductivity.

【0035】インクジェットヘッドの液室間の液室分離
溝210に封止剤を注入する場合、封止剤をディスペン
サーで溝付き天板300の封止剤注入口270後端のシ
リコン基板290上に塗布する。塗布された封止剤は、
毛管力によって共通液室分離溝230に注入され、複数
形成された液室分離溝210のうちの中央の幅の広い液
室分離溝に到達する。
When the sealant is injected into the liquid chamber separation groove 210 between the liquid chambers of the ink jet head, the sealant is dispensed on the silicon substrate 290 at the rear end of the sealant injection port 270 of the grooved top plate 300 with a dispenser. Apply. The applied sealant is
The liquid is injected into the common liquid chamber separation groove 230 by capillary force, and reaches the wide liquid chamber separation groove at the center of the plurality of liquid chamber separation grooves 210.

【0036】共通液室分離溝230から液室分離溝21
0に封止樹脂が注入される場合、まず中央の分離溝のみ
に封止剤が注入される。中央の分離溝に封止剤が満たさ
れ、溢れる状態となると、溢れた封止は隣接する分離
溝に注入され、中央の分離溝から外側に位置する各分離
溝への封止の注入が順次行われ、さらに、分離溝先端
の貫通穴まで到達した封止剤は前記分離溝近傍のオリフ
ィスプレートとシリコン基板の隙間にも充填される。
The common chamber separation groove 230 to the liquid chamber separation groove 21
In the case where the sealing resin is injected at 0, the sealing agent is first injected only into the central separation groove. Sealant is filled in the middle of the separation grooves, when a full state, overflowing sealant is injected into the separation grooves adjacent, injected from the center of the separation groove of the sealing agent into each separation groove located on the outside Are sequentially performed, and the sealant reaching the through hole at the tip of the separation groove is also filled into the gap between the orifice plate and the silicon substrate near the separation groove.

【0037】封止剤の注入量としては、インク吐出用ノ
ズル200と隣接する分離溝を除いた各分離溝がすべて
充填される量、本実施例の場合には、中央の分離溝を含
む5本の分離溝と前記分離溝近傍のオリフィスプレート
とシリコン基板の隙間に充填される量が注入される。
The amount of the sealant to be injected is such that all of the separation grooves except for the separation groove adjacent to the ink discharge nozzle 200 are filled. The amount to be filled in the gap between the silicon substrate and the separation groove and the orifice plate near the separation groove is injected.

【0038】封止剤の液室分離溝への注入時に、オリフ
ィスプレート260の液室分離溝210に対応する部分
に穴220を開けているので、内部にある空気が逃げ、
封止剤がオリフィスプレート260まで到達し易くなっ
ている。液室分離溝210各々の分離溝に注入された封
止剤は、オリフィスプレート260の穴220にて表面
張力で止まる。
When the sealant is injected into the liquid chamber separation groove, the hole 220 is opened in the portion of the orifice plate 260 corresponding to the liquid chamber separation groove 210, so that the air inside escapes.
The sealant easily reaches the orifice plate 260. The sealant injected into each of the liquid chamber separation grooves 210 stops at the holes 220 of the orifice plate 260 due to surface tension.

【0039】液室分離溝210に封止剤を注入するとき
には、各色間のオリフィスプレート260とシリコン基
板290の隙間となる部分に適量の封止剤を注入する必
要がある。右1に示した実施例においては、毛管力によ
り上記隙間部分に封止を注入していたが、本実施例に
おいては、該注入をより確実とするために液室分離溝2
10のオリフィスプレート260に開けられている穴2
20につながるオリフィスプレート260のシリコン基
板290側に溝225を設けている。これにより、液室
分離溝210の中をオリフィスプレート260まで到達
した封止剤が前記溝225をつたわってオリフィスプレ
ート260とシリコン基板290の隙間にさらに確実に
注入される。
When injecting the sealant into the liquid chamber separation groove 210, it is necessary to inject an appropriate amount of the sealant into a space between the orifice plate 260 and the silicon substrate 290 for each color. In the embodiment shown on the right 1, the sealing agent is injected into the gap by capillary force. In this embodiment, however, the liquid chamber separating groove 2 is used to make the injection more reliable.
Hole 2 opened in orifice plate 260 of No. 10
A groove 225 is provided on the silicon substrate 290 side of the orifice plate 260 leading to the groove 20. Thus, the sealant reaching the orifice plate 260 in the liquid chamber separation groove 210 is more reliably injected into the gap between the orifice plate 260 and the silicon substrate 290 through the groove 225.

【0040】上記構成による封止剤が確実に注入される
という本実施例の作用は、シリコン基板のオリフィスプ
レート側に溝をつけても得られるものであり、この作用
により、歩留りがさらに向上する効果がある。
The operation of the present embodiment in which the sealant is reliably injected by the above structure can be obtained even if a groove is formed on the orifice plate side of the silicon substrate, and this operation further improves the yield. effective.

【0041】図7は本発明の4色一体のカラーインクジ
ェット記録ヘッドが適用されるインクジェット記録装置
IJRAの概観図である。
FIG. 7 is a schematic view of an ink jet recording apparatus IJRA to which the four color integrated color ink jet recording head of the present invention is applied.

【0042】ここで、キャリッジHCは駆動モーター5
013の正転逆転に連動して駆動力伝達ギア5011、
5009を介して回転するリードスクリュー5004の
螺旋溝5005に対して係合する。キャリッジHCはピ
ン(不図示)を有し、矢印a、b方向に往復移動され
る。キャリッジHCには記録ヘッド部5025、インク
タンク部5026が装着される。5002は紙押え板で
あり、キャリッジHCの移動方向にわたって紙をプラテ
ン5000に対して押圧する。5007、5008はフ
ォトカプラーであり、キャリッジHCのレバー5006
のこの域での存在を確認してモーター5013の回転方
向切り替え等をおこなうためのホームポジション検知手
段である。5016は記録ヘッドの前面をキャップする
キャップ部材5022を支持する部材、5015はこの
キャップ内を吸引する吸引手段であり、キャップ内開□
5023を介して記録ヘッドの吸引回復をおこなう。こ
の場合キャップは1個で4色のノズルを同時に吸引す
る。また5017はクリーニングブレード5019は、
このブレードを前後方向に移動可能にする部材であり、
本体支持板5018にこれらは支持されている。また、
5012は、吸引回復の吸引を開始するためのレバーで
あり、キャリッジHCと系合するカム5020の移動に
伴って移動し、駆動モーターからの駆動力がクラッチ切
り替え等の公知の伝達手段で移動制御される。
Here, the carriage HC is driven by the drive motor 5.
013, the driving force transmission gear 5011,
It engages with the spiral groove 5005 of the lead screw 5004 which rotates via 5009. The carriage HC has pins (not shown), and is reciprocated in the directions of arrows a and b. A recording head unit 5025 and an ink tank unit 5026 are mounted on the carriage HC. Reference numeral 5002 denotes a paper pressing plate, which presses the paper against the platen 5000 in the moving direction of the carriage HC. Reference numerals 5007 and 5008 denote photocouplers, and a lever 5006 of the carriage HC.
Is a home position detecting means for confirming the existence in this area and switching the rotation direction of the motor 5013 and the like. Reference numeral 5016 denotes a member that supports a cap member 5022 that caps the front surface of the recording head. Reference numeral 5015 denotes suction means that suctions the inside of the cap.
The suction recovery of the recording head is performed via 5023. In this case, one cap simultaneously sucks four color nozzles. 5017 is a cleaning blade 5019,
It is a member that enables this blade to move in the front-back direction,
These are supported by the main body support plate 5018. Also,
Reference numeral 5012 denotes a lever for starting suction for recovery of suction, which moves with the movement of the cam 5020 associated with the carriage HC, and controls the movement of the drive force from the drive motor by a known transmission means such as clutch switching. Is done.

【0043】これらのキャッピング、クリーニング、吸
引回復用キャリッジHCがホームポジション側領域に位
置づけられたときにリードスクリュー5005の作用に
よってそれらの対応位置で所望の処理が行なえるように
構成されているが、周知のタイミングで所望の動作を行
うようにすれば、本例にはいずれも適用できる。
When the capping, cleaning, and suction recovery carriages HC are positioned in the home position side area, the lead screw 5005 operates so that desired processing can be performed at the corresponding positions. If a desired operation is performed at a known timing, any of the embodiments can be applied.

【0044】本発明は、特にインクジェット記録方式の
中でも熱エネルギーを利用して飛翔的液滴を形成し、記
録を行うインクジェット方式のインクジェット記録ヘッ
ド、インクジェット記録装置において、優れた効果をも
たらすものである。
The present invention brings about an excellent effect particularly in an ink jet recording head and an ink jet recording apparatus of the ink jet type which perform recording by forming flying droplets by utilizing thermal energy among the ink jet recording methods. .

【0045】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第4723129号明細書、同第4740
796号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行うものが好ましい。この方式はいわゆるオンデマンド
型、コンティニュアス型のいずれにも適用可能である
が、特に、オンデマンド型の場合には、液体(インク)
が保持されているシートや液路に対応して配置されてい
る電気熱変換体に、記録情報に対応していて核沸騰を越
える急速な温度上昇を与える少なくとも一つの駆動信号
を印加することによって、電気熱変換体に熱エネルギー
を発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさ
せて、結果的にこの駆動信号に一対一で対応した液体
(インク)内の気泡を形成できるので有効である。この
気泡の成長、収縮により吐出用開口を介して液体(イン
ク)を吐出させて、少なくとも一つの滴を形成する。こ
の駆動信号をパルス形状とすると、即時適切に気泡の成
長収縮が行なわれるので、特に応答性に優れた液体(イ
ンク)の吐出が達成でき、より好ましい。
The typical structure and principle are described in, for example, US Pat. Nos. 4,723,129 and 4,740.
It is preferable to use the basic principle disclosed in the specification of Japanese Patent No. 796. This method can be applied to both the so-called on-demand type and continuous type. In particular, in the case of the on-demand type, liquid (ink)
By applying at least one drive signal corresponding to the recorded information and providing a rapid temperature rise exceeding nucleate boiling to an electrothermal transducer arranged corresponding to the sheet or liquid path in which This is effective because heat energy is generated in the electrothermal transducer, causing film boiling on the heat-acting surface of the recording head, and as a result, air bubbles in the liquid (ink) corresponding one-to-one to this drive signal can be formed. It is. By discharging the liquid (ink) through the discharge opening by the growth and contraction of the bubble, at least one droplet is formed. When the drive signal is formed into a pulse shape, the growth and shrinkage of the bubble are performed immediately and appropriately, so that the ejection of liquid (ink) having particularly excellent responsiveness can be achieved, which is more preferable.

【0046】このパルス形状の駆動信号としては、米国
特許第4463359号明細書、同第4345262号
明細書に記載されているようなものが適している。な
お、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許
第4313124号明細書に記載されている条件を採用
すると、更に優れた記録を行なうことができる。
As the pulse-shaped drive signal, those described in US Pat. Nos. 4,463,359 and 4,345,262 are suitable. Further, if the conditions described in US Pat. No. 4,313,124 relating to the temperature rise rate of the heat acting surface are adopted, more excellent recording can be performed.

【0047】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液路、電気熱変換体
の組み合わせ構成(直線状液流路または直角液流路)の
他に、熱作用部が屈曲する領域に配置されている構成を
開示する米国特許第4558333号明細書、米国特許
第4459600号明細書を用いた構成も本発明に含ま
れるものである。
As the configuration of the recording head, in addition to the combination of the discharge port, the liquid path, and the electrothermal converter (linear liquid flow path or right-angle liquid flow path) as disclosed in the above-mentioned respective specifications, The present invention also includes a configuration using U.S. Pat. No. 4,558,333 and U.S. Pat. No. 4,459,600, which disclose a configuration in which a heat acting portion is arranged in a bending region.

【0048】加えて、複数の電気熱変換体に対して、共
通するスリットを電気熱変換体の吐出部とする構成を開
示する特開昭59−123670号公報や熱エネルギー
の圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開
示する特開昭59−138461号公報に基づいた構成
としても本発明は有効である。
In addition, JP-A-59-123670 discloses a configuration in which a common slit is used as a discharge portion of an electrothermal converter for a plurality of electrothermal converters, or absorbs pressure waves of thermal energy. The present invention is also effective as a configuration based on JP-A-59-138461, which discloses a configuration in which an opening corresponds to a discharge unit.

【0049】また、本発明のインクジェット記録装置の
構成として設けられる、インクジェット記録ヘッドに対
しての回復手段、予備的な補助手段等を付加することは
本発明の効果を一層安定できるので好ましいものであ
る。これらを具体的に挙げれば、記録ヘッドに対しての
キャッピング手段、クリーニング手段、加圧あるいは吸
引手段、電気熱変換体あるいはこれとは別の加熱素子あ
るいはこれらの組み合わせによる予備加熱手段、記録と
は別の吐出を行う予備吐出モードを行うことも安定した
記録を行うために有効である。
It is preferable to add recovery means for the ink jet recording head, preliminary auxiliary means, and the like provided as components of the ink jet recording apparatus of the present invention since the effects of the present invention can be further stabilized. is there. If these are specifically mentioned, capping means for the recording head, cleaning means, pressurizing or suction means, preheating means using an electrothermal transducer or another heating element or a combination thereof, and recording Performing a preliminary ejection mode for performing another ejection is also effective for performing stable printing.

【0050】さらに加えて、本発明に係るインクジェッ
ト記録装置の形態としては、ワードプロセッサやコンピ
ュータ等の情報処理機器の画像出力端末として一体また
は別体に設けられるものの他、リーダと組み合せた複写
装置、さらには送受信機能を有するファクシミリ装置の
形態を採るものであってもよい。
In addition, the form of the ink jet recording apparatus according to the present invention may be a unit which is provided integrally or separately as an image output terminal of an information processing device such as a word processor or a computer, a copying apparatus combined with a reader, May take the form of a facsimile machine having a transmission / reception function.

【0051】[0051]

【発明の効果】以上説明したように、本発明に依れば、
複数の溝からなる組同士の間には複数の液流路分離溝が
形成され、凹部同士の間には複数の液流路分離溝のうち
の一部の液流路分離溝とつながる共通液室分離溝が形成
されており、複数の液流路分離溝のうちの、共通液室分
離溝とつながる液流路分離溝および共通液室分離溝には
封止剤が充填されているので、インク吐出用溝に封止樹
脂が流れ込みを起こすことなく天板の複数の共通液室を
確実に歩留まりよく分離することが可能となる。
As described above, according to the present invention,
A plurality of liquid flow path separation grooves are provided between sets of a plurality of grooves.
Of the plurality of liquid flow path separation grooves formed between the recesses.
A common liquid chamber separation groove connected to some liquid flow path separation grooves
And a common liquid chamber of the plurality of liquid flow path separation grooves.
Since the sealant is filled in the liquid flow path separation groove and the common liquid chamber separation groove connected to the separation groove , the plurality of common liquid chambers on the top plate can be formed without causing the sealing resin to flow into the ink discharge groove. Separation can be reliably performed with good yield.

【0052】さらには、前記オリフィスプレートに開け
た貫通穴の下側のオリフィスプレートのシリコン基板側
に溝をつけることにより、シリコン基板とオリフィスプ
レートの間に確実に封止樹脂を注入することが可能とな
り、さらに、液室間分離を確実に行える様にすることが
できる効果がある。
Further, by forming a groove on the silicon substrate side of the orifice plate below the through hole formed in the orifice plate, the sealing resin can be reliably injected between the silicon substrate and the orifice plate. Further, there is an effect that the separation between the liquid chambers can be surely performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施例の溝付き天板の図であ
る。
FIG. 1 is a view of a grooved top plate according to a first embodiment of the present invention.

【図2】図1に示した溝付き天板のノズル部の複数の液
室分離溝の拡大図である。
FIG. 2 is an enlarged view of a plurality of liquid chamber separation grooves of a nozzle portion of the grooved top plate shown in FIG.

【図3】本発明の第1の実施例のインクジェット記録ヘ
ッドの構成図である。
FIG. 3 is a configuration diagram of an ink jet recording head according to a first embodiment of the present invention.

【図4】本発明の第2の実施例の溝付き天板の図であ
る。
FIG. 4 is a view of a grooved top plate according to a second embodiment of the present invention.

【図5】図4に示した溝付き天板のノズル部の複数の液
室分離溝の拡大図である。
FIG. 5 is an enlarged view of a plurality of liquid chamber separation grooves of a nozzle portion of the grooved top plate shown in FIG.

【図6】本発明の第2の実施例のインクジェット記録ヘ
ッドの構成図である。
FIG. 6 is a configuration diagram of an ink jet recording head according to a second embodiment of the present invention.

【図7】本発明のインクジェット記録装置の概観図であ
る。
FIG. 7 is a schematic view of an ink jet recording apparatus according to the present invention.

【図8】インクジェット記録ヘッドを複数個並ベたイン
クジェットユニットの概観図である。
FIG. 8 is a schematic view of an ink jet unit in which a plurality of ink jet recording heads are arranged.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

100,200 インク吐出用ノズル 110,210 液室分離溝 120,220 穴 225 溝 130,230 共通液室分離溝 150,250 共通液室分離溝壁 160,260 オリフィスプレート 170,270 封止剤注入口 180280 共通液室 19,290 シリコン基板 20,300 溝付き天板 21,310 アルミプレート 100, 200 Ink discharge nozzle 110, 210 Liquid chamber separation groove 120, 220 hole 225 groove 130, 230 Common liquid chamber separation groove 150, 250 Common liquid chamber separation groove wall 160, 260 Orifice plate 170, 270 Sealant injection port 180280 Common liquid chamber 19,290 Silicon substrate 20,300 Grooved top plate 21,310 Aluminum plate

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 竹之内 雅典 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キ ヤノン株式会社内 (56)参考文献 特開 平7−148926(JP,A) 特開 昭61−19367(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B41J 2/05 B41J 2/16 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (72) Inventor Masanori Takenouchi 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Inside Canon Inc. (56) References JP-A-7-148926 (JP, A) JP-A Sho 61 −19367 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) B41J 2/05 B41J 2/16

Claims (9)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 インクを吐出して記録を行うための複数
の吐出口にそれぞれ連通する複数の液流路を構成するた
めの複数の溝からなる組と、該複数の溝からなる組に対
応して設けられ、前記複数の液流路に共通に連通しイン
クを貯留するための共通液室を構成するための凹部とが
それぞれ複数設けられ、前記複数の吐出口が設けられた
オリフィスプレートと一体化された溝付部材と、 インクを吐出するためのエネルギーを発生する複数のエ
ネルギー発生体が前記複数の液流路に対応して配置さ
れ、前記複数の溝からなる複数の組および前記複数の
部を覆うように前記溝付部材に接合される基板と、を有
し、 前記溝付部材の、前記複数の溝からなる組同士の間には
複数の液流路分離溝が形成され、前記凹部同士の間には
前記複数の液流路分離溝のうちの一部の液流路分離溝と
つながる共通液室分離溝が形成されており、 前記複数の液流路分離溝のうちの、前記共通液室分離溝
とつながる液流路分離溝および前記共通液室分離溝には
封止剤が充填されていることを特徴とするインクジェッ
トヘッド。
1. A set including a plurality of grooves for forming a plurality of liquid flow paths respectively communicating with a plurality of discharge ports for discharging ink to perform printing, and a set including the plurality of grooves.
And an orifice plate provided with a plurality of recesses respectively corresponding to the plurality of liquid flow paths, and a plurality of recesses for forming a common liquid chamber for storing ink which are commonly communicated with the plurality of liquid flow paths. A grooved member integrated with, a plurality of energy generators for generating energy for discharging ink are arranged corresponding to the plurality of liquid flow paths, and a plurality of sets of the plurality of grooves and A substrate joined to the grooved member so as to cover a plurality of concave portions, and between the sets of the plurality of grooves of the grooved member.
A plurality of liquid channel separation grooves are formed, and between the recesses.
A part of the plurality of liquid flow path separating grooves,
A common liquid chamber separation groove is formed, and the common liquid chamber separation groove is formed of the plurality of liquid flow path separation grooves.
An ink-jet head, wherein a sealant is filled in the liquid channel separation groove and the common liquid chamber separation groove connected to the liquid channel separation groove .
【請求項2】 前記共通液室分離溝とつながる前記液流
路分離溝の幅は、前記液流路の幅の整数倍である請求項
1に記載のインクジェットヘッド。
2. The liquid flow connected to the common liquid chamber separation groove.
2. The ink jet head according to claim 1, wherein the width of the path separation groove is an integral multiple of the width of the liquid flow path.
【請求項3】 前記オリフィスプレートの、前記複数の
液流路分離溝に対応する部分に貫通穴がそれぞれ形成さ
れていることを特徴とする請求項1または2に記載のイ
ンクジェットヘッド。
3. The plurality of orifice plates ,
3. The ink jet head according to claim 1, wherein a through hole is formed at a portion corresponding to the liquid flow channel separating groove .
【請求項4】 前記オリフィスプレートの前記基板側と
なる面に、複数の前記貫通穴のうちの、前記共通液室分
離溝とつながる前記液流路分離溝に対応して設けられた
貫通穴とつながる溝が形成されていることを特徴とする
請求項3に記載のインクジェットヘッド。
4. A plurality of through-holes , each of said plurality of through-holes , being provided on a surface facing said substrate of said orifice plate.
4. The ink jet head according to claim 3, wherein a groove connected to a through hole provided corresponding to the liquid channel separation groove connected to the separation groove is formed.
【請求項5】 前記基板の前記オリフィスプレート側の
端面部分に、複数の前記貫通穴のうちの、前記共通液室
分離溝とつながる前記液流路分離溝に対応して設けられ
た貫通穴とつながる溝が形成されていることを特徴とす
る請求項3に記載のインクジェットヘッド。
To wherein said end face portion of the orifice plate side of the substrate, of the plurality of the through-hole, said common liquid chamber
The inkjet head according to claim 3, characterized in that the grooves connecting with the through holes provided to correspond to the liquid flow path separation grooves leading separation grooves are formed.
【請求項6】 前記複数の液流路分離溝は、該複数の液
流路分離溝のうちの一部の液流路分離溝の幅と他の液流
路分離溝の幅とが互いに異なるように構成されているこ
とを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の
インクジェットヘッド。
6. The plurality of liquid flow path separation grooves , wherein a width of a part of the plurality of liquid flow path separation grooves and a width of another liquid flow path separation groove are different from each other. The inkjet head according to any one of claims 1 to 5, wherein the inkjet head is configured as follows.
【請求項7】 前記オリフィスプレートの、前記複数の
液流路分離溝に対応する部分にそれぞれ形成された貫通
穴は、一部の貫通穴の大きさと他の貫通穴の大きさとが
互いに異なるように構成されていることを特徴とする請
求項3から5のいずれか1項に記載のインクジェットヘ
ッド。
7. The plurality of orifice plates ,
4. The through-holes formed in portions corresponding to the liquid flow path separation grooves , respectively, are configured such that the size of some through-holes and the size of other through-holes are different from each other. 6. The inkjet head according to any one of items 1 to 5.
【請求項8】 前記各共通液室にはそれぞれ異なる色の
インクが供給される請求項1から7のいずれか1項に記
載のインクジェットヘッド。
8. The ink jet head according to claim 1, wherein inks of different colors are supplied to the respective common liquid chambers.
【請求項9】 請求項1から8のいずれか1項に記載の
インクジェットヘッドを用いて記録を行うことを特徴と
するインクジェット装置。
9. An ink jet apparatus which performs recording by using the ink jet head according to claim 1. Description:
JP30518693A 1993-11-26 1993-12-06 Ink jet head and ink jet device Expired - Lifetime JP3155416B2 (en)

Priority Applications (9)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP30518693A JP3155416B2 (en) 1993-12-06 1993-12-06 Ink jet head and ink jet device
CA002136514A CA2136514C (en) 1993-11-26 1994-11-23 An ink jet recording head, an ink jet unit and an ink jet apparatus using said recording head
US08/346,917 US6155677A (en) 1993-11-26 1994-11-23 Ink jet recording head, an ink jet unit and an ink jet apparatus using said recording head
EP94118590A EP0656261B1 (en) 1993-11-26 1994-11-25 An ink jet recording head, an ink jet unit and an ink jet apparatus using said recording head
ES94118590T ES2148269T3 (en) 1993-11-26 1994-11-25 HEAD FOR INK PRINTING, UNIT OF INK JETS AND APPARATUS FOR INK JET PRINTING INCLUDING SUCH PRINT HEAD.
AU79037/94A AU682409B2 (en) 1993-11-26 1994-11-25 An ink jet recording head, an ink jet unit and an ink jet apparatus using said recording head
CN94119807A CN1096950C (en) 1993-11-26 1994-11-25 An ink jet recording head, an ink jet unit ane an ink jet apparatus using said recording head
DE69424131T DE69424131T2 (en) 1993-11-26 1994-11-25 Ink jet recording head, ink jet unit and ink jet device with this recording head
KR1019940031361A KR0163220B1 (en) 1993-11-26 1994-11-26 An ink jet recording head, an ink jet unit and an ink jet apparatus using said recording head

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP30518693A JP3155416B2 (en) 1993-12-06 1993-12-06 Ink jet head and ink jet device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH07156405A JPH07156405A (en) 1995-06-20
JP3155416B2 true JP3155416B2 (en) 2001-04-09

Family

ID=17942093

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP30518693A Expired - Lifetime JP3155416B2 (en) 1993-11-26 1993-12-06 Ink jet head and ink jet device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3155416B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7121643B2 (en) 2003-03-10 2006-10-17 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Ink-jet printing head

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5205784B2 (en) * 2007-03-29 2013-06-05 ブラザー工業株式会社 Liquid ejection device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7121643B2 (en) 2003-03-10 2006-10-17 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Ink-jet printing head

Also Published As

Publication number Publication date
JPH07156405A (en) 1995-06-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6290334B1 (en) Recording apparatus, recording head and substrate therefor
JP3176134B2 (en) Semiconductor chip for inkjet recording head, inkjet recording head, and inkjet recording apparatus
JP3187607B2 (en) Ink jet recording device
US6474788B1 (en) Substrate for use of ink jet head, ink jet head, ink jet cartridge, and ink jet recording apparatus
JP3176136B2 (en) INK JET PRINT HEAD EQUIPPED WITH SEMICONDUCTOR CHIP FOR RECORD HEAD AND INK JET PRINTING APPARATUS
JP3229472B2 (en) Ink jet recording head and ink jet recording apparatus
US6231166B1 (en) Ink jet head
JP3200098B2 (en) Ink jet recording head and ink jet recording apparatus
JP3155416B2 (en) Ink jet head and ink jet device
JP3176249B2 (en) Ink jet recording head, ink jet recording apparatus, and information processing system
US6132031A (en) Ink-jet head, ink-jet cartridge and ink-jet printing apparatus
JP3437271B2 (en) Ink jet head, ink jet head cartridge and ink jet device
JP3126569B2 (en) Ink jet head, ink jet head cartridge and ink jet device
JP3126570B2 (en) Ink jet head, ink jet head cartridge and ink jet device
JP3255787B2 (en) Inkjet recording head
JP3376049B2 (en) Multicolor inkjet recording head
JP3890852B2 (en) Inkjet recording head and inkjet recording apparatus
JP2001253075A (en) Ink jet print head
JPH05338173A (en) Ink jet recording apparatus
JPH0839804A (en) Ink jet head and ink jet device using the same
JPH08216419A (en) Ink jet head cartridge and ink jet device
JPH09187938A (en) Ink jet head and ink jet recording apparatus
JPH0924612A (en) Ink jet head
JP2001287364A (en) Substrate for ink jet head, ink jet head and ink jet recorder
JPH0811306A (en) Ink jet head cartridge and ink jet device

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080202

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090202

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 9

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100202

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100202

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 10

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110202

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120202

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130202

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140202

Year of fee payment: 13

EXPY Cancellation because of completion of term