JP3436211B2 - Method for manufacturing rear substrate of plasma display and method for manufacturing plasma display panel - Google Patents

Method for manufacturing rear substrate of plasma display and method for manufacturing plasma display panel

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JP3436211B2
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はプラズマディスプレ
イの背面基板およびプラズマディスプレイパネルに関す
る。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a back substrate of a plasma display and a plasma display panel.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来から画像表示装置としてはCRTが
多用されてきているが、CRTは、外形容積が大きく重
量が大であること、高電圧が必要なこと等の欠点があ
り、近年、発光ダイオード(LED)や液晶表示装置
(LCD)、プラズマディスプレイパネル(PDP)、
あるいはプラズマアドレス液晶(PALC)等の平面画
像表示装置が開発され、これらの利用範囲が拡大しつつ
ある。
2. Description of the Related Art Conventionally, a CRT has been widely used as an image display device. However, the CRT has drawbacks such as a large outer volume and a large weight, and a high voltage is required. Diode (LED), liquid crystal display (LCD), plasma display panel (PDP),
Alternatively, flat-panel image display devices such as plasma addressed liquid crystal (PALC) have been developed, and the range of use thereof is expanding.

【0003】なかでも、マルチメディアの浸透に伴い、
情報のインターフェイスとして大型画面用カラー表示装
置等に用いられるPDPは、プラズマ発光を利用した単
純な構造で、大型画面、高画質、軽量薄型で設置場所等
の制約を受けない画像表示装置として将来性が注目され
ている。
Above all, with the spread of multimedia,
The PDP used as a color display device for a large screen as an information interface has a simple structure utilizing plasma emission, and has a great potential as an image display device with a large screen, high image quality, light weight and thin shape and no restrictions on installation location. Is attracting attention.

【0004】かかるPDPは、2枚の平坦な基板、すな
わち前面基板と背面基板からなり、これらの間には、そ
の空間を仕切る隔壁、そして電極、誘電体、そして蛍光
体層が形成され、これらにより構成された微少な空間を
放電表示セルとして用いている。
Such a PDP is composed of two flat substrates, that is, a front substrate and a rear substrate, and a partition for partitioning the space, an electrode, a dielectric and a phosphor layer are formed between them. The minute space constituted by is used as a discharge display cell.

【0005】すなわち、それぞれの放電表示セルは、一
般的には、前面基板に一対の放電電極が、背面基板に放
電表示セルの発光のスイッチングを行うアドレス電極が
それぞれ設けられ、これら電極は誘電体で覆われてい
る。そして、そのセル中に希ガス等の放電可能なガスを
封入されており、放電電極間に電圧を選択的に印加して
発生させた放電によりプラズマを発生させ、該プラズマ
から放出される真空紫外線により放電表示セル内に形成
された蛍光体層を発光させて画像表示装置の発光素子と
して利用するものである。
That is, each discharge display cell is generally provided with a pair of discharge electrodes on the front substrate and an address electrode for switching light emission of the discharge display cell on the rear substrate, and these electrodes are made of a dielectric material. Is covered with. Then, a dischargeable gas such as a rare gas is sealed in the cell, plasma is generated by discharge generated by selectively applying a voltage between the discharge electrodes, and vacuum ultraviolet rays emitted from the plasma The phosphor layer formed in the discharge display cell is caused to emit light and is used as a light emitting element of an image display device.

【0006】ここで、放電表示セルを構成するための隔
壁は、絶縁物からなり、一般には金属無機酸化物を鉛ガ
ラスでつなぎ合わせたものなどが使用されている。
Here, the barrier ribs for constructing the discharge display cell are made of an insulating material, and in general, those in which metallic inorganic oxides are connected by lead glass are used.

【0007】その隔壁の作り方にはいろいろなものが知
られているが、現在のところ、サンドブラスト法が主流
となっている(隔壁の作り方の公知例については、亀矢
月刊 LCD intelligence 1997
年8月号 57ページ等参照)。この方法は、基板にリ
ブ形成材料を所定の厚さに塗布したのち、必要な部分を
マスキングして、これに砂を吹き付けて不要なリブ形成
材料を削り取ることにより、リブを形成する方法であ
る。
Various methods are known for forming the partition walls, but at present, the sandblast method is predominant.
(See August issue, page 57, etc.). In this method, a rib is formed by applying a rib-forming material on a substrate to a predetermined thickness, masking a necessary portion, and blowing sand onto the mask to scrape off the unnecessary rib-forming material. .

【0008】一般的には、背面基板上に放電表示セルの
構成要素である隔壁、誘電体、そして電極が形成されて
いる。現行の製造プロセスでは、(1)ガラス基板上に
電極を形成する工程(2)その上に誘電体層を形成する
工程(3)その上に隔壁を形成する工程、すなわち、電
極→誘電体→隔壁、の順に形成することにより、図1に
示すような背面基板を製造している。そして、それぞれ
の工程には基板焼成工程が含まれるため、基板寸法は各
工程毎に変動する。
In general, barrier ribs, dielectrics, and electrodes, which are components of a discharge display cell, are formed on a back substrate. In the current manufacturing process, (1) a step of forming an electrode on a glass substrate (2) a step of forming a dielectric layer thereon (3) a step of forming partition walls thereon, that is, electrode → dielectric → By forming the barrier ribs in this order, a back substrate as shown in FIG. 1 is manufactured. Since each process includes a substrate baking process, the substrate size varies for each process.

【0009】このため、高精細化等の要請から、寸法精
度の要求が厳しくなると、基板焼成による基板の寸法変
化から電極と隔壁の位置合わせが困難になる、という問
題が生ずる。
Therefore, if the dimensional accuracy becomes strict due to the demand for higher definition and the like, there arises a problem that it becomes difficult to align the electrode and the partition wall due to the dimensional change of the substrate due to the baking of the substrate.

【0010】また、画素ピッチが狭くなると、電極形成
工程における電極間のショート等の欠陥が生じやすくな
る、という問題が生ずる。
Further, when the pixel pitch is narrowed, there arises a problem that a defect such as a short circuit between electrodes is likely to occur in the electrode forming process.

【0011】ところで、隔壁は一般に、それぞれ独立し
た柱として形成されているが、ディスプレイの高精細
化、高輝度化に伴い、開口率を大きくするため、隔壁幅
をより細くすることが求められる。
By the way, the partition walls are generally formed as independent pillars, but it is required to make the partition wall width narrower in order to increase the aperture ratio as the display becomes finer and brighter.

【0012】この場合、隔壁がそれぞれ独立した柱とし
て形成されると、隔壁が細くなればなるほど、隔壁が倒
れやすくなる、という問題が生ずる。
In this case, if the partition walls are formed as independent pillars, the thinner the partition walls are, the more likely the partition walls are to collapse.

【0013】また、各画素の発光輝度を高くするために
は、蛍光体そのものの発光輝度を高くすればよいが、そ
れ以外の手段として、蛍光体から放射される光を反射さ
せて、より多くの光を外部へ取り出しても良い。
Further, in order to increase the light emission brightness of each pixel, the light emission brightness of the phosphor itself may be increased. However, as another means, the light emitted from the phosphor is reflected to increase the brightness. Light may be taken out.

【0014】このために、背面基板に形成される隔壁は
反射率の高い、白色の材料で形成するとともに、隔壁間
の電極上にも白色の誘電体を形成して基板の反射率を出
来るだけ高くすることが好ましい。
For this reason, the barrier ribs formed on the rear substrate are formed of a white material having a high reflectance, and a white dielectric material is also formed on the electrodes between the barrier ribs to maximize the reflectance of the substrate. It is preferable to raise it.

【0015】また、誘電体は基板裏面への可視光の透過
を抑制できるだけの厚さであることが望ましい。しか
し、駆動電圧の制約、すなわち、誘電体を厚くするとそ
れに伴い駆動電圧が高くなってしまうという問題点か
ら、誘電体の厚さは10〜15μm程度が一般的であ
る。
Further, it is desirable that the dielectric has a thickness that can suppress transmission of visible light to the back surface of the substrate. However, the thickness of the dielectric is generally about 10 to 15 μm because of the limitation of the drive voltage, that is, when the thickness of the dielectric increases, the drive voltage increases accordingly.

【0016】したがって、このような背面基板を使用し
て作製されたプラズマディスプレイでは背面基板の裏面
への発光光の透過が多く、十分な輝度が得られないとい
う問題点があった。
Therefore, in a plasma display manufactured using such a back substrate, there is a problem that a large amount of emitted light is transmitted to the back surface of the back substrate and sufficient brightness cannot be obtained.

【0017】[0017]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
問題点を解決するためになされたものであり、その課題
とするところは、以下の(1)から(2)である。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such a problem, and its problems are (1) to (2) below.

【0018】(1)隔壁幅が狭くなっても倒れない隔壁
を有するプラズマディスプレイの背面基板およびプラズ
マディスプレイパネルを提供すること。 (2)背面基板の裏面への発光光のもれが少ないプラズ
マディスプレイの背面基板およびプラズマディスプレイ
パネルを提供すること。
(1) To provide a back substrate of a plasma display and a plasma display panel having a partition wall that does not collapse even if the partition wall width becomes narrow. (2) To provide a back substrate of a plasma display and a plasma display panel in which light emitted to the back surface of the back substrate is small.

【0019】[0019]

【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明
は、背面基板上に形成された隔壁が凹型の形状を有する
構造からなり、前記背面基板が、可視光反射率が、蛍
光体を塗布していない状態において50%以上であり、
前記隔壁を構成する前記凹型の構造物底部の厚さが、
記構造物の隔壁上部の幅以上のものであるプラズマディ
スプレイの背面基板の製造方法において、隔壁形成の手
段として、あらかじめ隔壁の逆形状が形成された凹版を
用い、これにリブペーストを充填して、当該ペーストを
所定の基板に転写する手段を用いることを特徴とするプ
ラズマディスプレイの背面基板の製造方法である。
According to claim 1 - Summary of the inventors consists structures barrier ribs formed on the rear substrate has a concave shape, the rear substrate, visible light reflectance, the phosphor Is 50% or more in the state where is not applied,
The thickness of the structure bottom of the concave constituting the partition wall, before
Filling method of manufacturing a rear substrate of the serial structure der pulp plasma display more than the width of the barrier ribs of, as a means of partition wall forming, with intaglio reverse shape is formed in advance bulkhead, which in the rib paste Then, a method of manufacturing the rear substrate of the plasma display is characterized by using means for transferring the paste to a predetermined substrate.

【0020】請求項2に記載の発明は、請求項1の製造
方法で製造された背面基板を用い、前面基板とはり合せ
ることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造
方法である。
[0020] According to a second aspect of the invention, using the rear substrate manufactured by the manufacturing method according to claim 1, is a manufacturing method of a plasma display panel, characterized in that bonded to the front substrate.

【0021】[0021]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら、本発
明の実施の形態を説明する。なお、図面では隔壁3列分
のみ示しているが、実際にはプラズマディスプレイの背
面基板の仕様に応じた所定の数の隔壁の配列により基板
が構成される。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. Although only three columns of partition walls are shown in the drawing, the substrate is actually configured by a predetermined number of partition walls arranged according to the specifications of the rear substrate of the plasma display.

【0022】請求項1記載の発明においては、隔壁がそ
れぞれ独立した柱として構成されているのではなく、図
2に示すように、底部を共通とした形状、すなわち、隔
壁が凹型の形状を有する構造物からなる。このため、隔
壁幅が狭くなっても倒れにくくなる。また、隔壁の底部
を他の隔壁と共通とした形状、すなわち、隔壁が凹型の
形状を有する構造物からなるとともに、可視光の反射率
を50%以上としている。また、図7に示すように、隔
壁を構成する凹型の構造物底部の厚さDが、前記構造物
の隔壁上部の幅d以上となっている。このため、一般的
なプラズマディスプレイの隔壁でいうところの隔壁幅と
同等以上の厚さの層が、本発明の凹型構造の底部に存
在する。したがって、基板裏面への光の透過は隔壁の光
の透過と同等またはそれ以下、すなわち、事実上問題と
ならない程度となる。
According to the first aspect of the present invention, the partition walls are not formed as independent columns, but as shown in FIG. 2, the partition walls have a common bottom, that is, the partition walls have a concave shape. It consists of structures. For this reason, even if the partition wall width becomes narrow, it does not easily fall. Further, the partition wall has a shape in which the bottom portion is common to other partition walls, that is, the partition wall is formed of a structure having a concave shape, and the visible light reflectance is 50% or more. In addition, as shown in FIG. 7, the thickness D of the bottom of the concave structure constituting the partition is
Is greater than the width d of the upper part of the partition wall . For this reason, the layer one general plasma display septum say at the partition wall width equal to or greater than the thickness of the is present at the bottom of the concave structure of the present invention. Therefore, the light transmission to the back surface of the substrate is equal to or less than the light transmission of the partition wall, that is, to the extent that there is practically no problem.

【0023】[0023]

【実施例】以下、実施例により本発明を説明する。EXAMPLES The present invention will be described below with reference to examples.

【0024】<参考例1> サンドブラスト用リブペースト(日本電気硝子製 PL
S−3550)をガラス基板上にスクリーン印刷法によ
り200μmの厚さにコーティングした。
<Reference Example 1> Rib paste for sandblasting (PL made by Nippon Electric Glass Co., Ltd.)
S-3550) was coated on a glass substrate by screen printing to a thickness of 200 μm.

【0025】しかるのち、耐サンドブラスト性を有する
厚さ25μmのドライフィルムレジスト(東京応化工業
製 BFー703)をラミネートした。
Thereafter, a dry film resist having a thickness of 25 μm (BF-703 manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) having sandblast resistance was laminated.

【0026】ピッチ150μm、幅50μmの開口幅の
ストライプパターンを有するフォトマスクを介して、前
記ドライフィルムレジストを高圧水銀灯を用いて200
[mJ/cm2]で露光した。
The dry film resist was exposed through a photomask having a stripe pattern with a pitch of 150 μm and an opening width of 50 μm to 200 using a high pressure mercury lamp.
Exposure was performed at [mJ / cm2].

【0027】露光後、0.2%炭酸ナトリウム水溶液を
用い、ピッチ150μm、幅50μmのレジストパター
ンを解像した。
After exposure, a 0.2% aqueous sodium carbonate solution was used to resolve a resist pattern having a pitch of 150 μm and a width of 50 μm.

【0028】レジストパターンが形成された前記基板
を、サンドブラスト装置を用い、凹型の形状にリブペー
ストを成形した。
A rib paste was formed into a concave shape on the substrate having the resist pattern formed thereon by using a sandblasting machine.

【0029】しかるのち、BF剥離液(東京応化工業
製)を用い、レジストを剥離したのち、水洗して乾燥し
た。
Then, the resist was stripped using a BF stripping solution (manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.), washed with water and dried.

【0030】レジスト剥離した基板を、熱風焼成炉にて
580℃で20分焼成して、図2に示すような凹型形状
の隔壁を得た。
The resist-peeled substrate was baked in a hot air baking furnace at 580 ° C. for 20 minutes to obtain a concave partition wall as shown in FIG.

【0031】この隔壁にスクリーン印刷を用いて、感光
性銀ペースト(デュポン製 FODEL DC202)
を基板全面に塗布した。なお、塗布の際、スキージのア
タック角度は20度とした。
Photosensitive silver paste (FODEL DC202 manufactured by DuPont) was applied to the partition walls by screen printing.
Was applied to the entire surface of the substrate. During the application, the attack angle of the squeegee was 20 degrees.

【0032】前記銀ペースト乾燥後、電極パターン形成
のため、ピッチ150μm、幅30μmの開口幅のスト
ライプパターンおよび電極引き出し用の端子パターンを
有するフォトマスクを介して、前記ドライフィルムレジ
ストを高圧水銀灯を用いて200[mJ/cm2]で露
光した。
After the silver paste was dried, a high pressure mercury lamp was used as the dry film resist through a photomask having a stripe pattern having an opening width of 150 μm and an opening width of 30 μm and a terminal pattern for drawing out electrodes for forming an electrode pattern. Exposure at 200 [mJ / cm2].

【0033】露光後、0.2%炭酸ナトリウム水溶液を
用い、電極ピッチ150μm、幅30μmのストライプ
パターン、およびそれから引き出される端子パターンを
解像した。
After the exposure, a 0.2% sodium carbonate aqueous solution was used to resolve a stripe pattern having an electrode pitch of 150 μm and a width of 30 μm, and a terminal pattern extracted therefrom.

【0034】しかるのち、電極パターンが形成された基
板を、熱風焼成炉にて550℃で20分焼成して電極を
得た。
Thereafter, the substrate on which the electrode pattern was formed was fired in a hot air firing furnace at 550 ° C. for 20 minutes to obtain an electrode.

【0035】前記電極が形成された基板に誘電体ペース
ト(ノリタケ製 NP−7972J)をスクリーン印刷
によりを基板全面に塗布した。なお、塗布の際、スキー
ジのアタック角度は20度とした。
A dielectric paste (NP-7972J manufactured by Noritake Co., Ltd.) was applied to the entire surface of the substrate by screen printing. During the application, the attack angle of the squeegee was 20 degrees.

【0036】しかるのち、誘電体が塗布された基板を、
熱風焼成炉にて530℃で20分焼成して、図2に示す
ような隔壁、電極、誘電体が形成された基板を得た。
Thereafter, the substrate coated with the dielectric is
Firing was performed for 20 minutes at 530 ° C. in a hot air firing furnace to obtain a substrate having partition walls, electrodes and dielectrics as shown in FIG.

【0037】得られた基板の評価を行ったところ、電極
間のショートは発生していなかった。また、隔壁のよ
れ、倒れ等も確認できなかった。
When the obtained substrate was evaluated, no short circuit between the electrodes occurred. Moreover, the partition walls could not be twisted or collapsed.

【0038】この基板にスクリーン印刷により赤、緑、
青の蛍光体を流し込んで焼成し、背面基板を完成した。
ついで、ガラス基板に透明電極、バス電極、透明誘電
体、MgO保護膜を順次形成した前面基板を用意し、両
者を張り合わせた後、常法に従って、真空排気、ガス封
入を行いプラズマディスプレイパネルを作製した。
Screen printing of red, green,
The blue phosphor was poured and baked to complete the back substrate.
Then, prepare a front substrate in which a transparent electrode, a bus electrode, a transparent dielectric, and a MgO protective film are sequentially formed on a glass substrate, and after bonding the two together, vacuum exhaust and gas filling are performed according to a conventional method to produce a plasma display panel. did.

【0039】<参考例2> サンドブラスト用リブペーストとして、酸化チタン90
重量部、ガラスフリット10重量部、エチルセルロース
溶液10重量部をロールミルで混錬したペーストを作製
して、これをスクリーン印刷法により200μmの厚さ
にコーティングした。
Reference Example 2 Titanium oxide 90 was used as a rib paste for sandblasting.
By weight, 10 parts by weight of glass frit and 10 parts by weight of ethyl cellulose solution were kneaded with a roll mill to prepare a paste, which was coated to a thickness of 200 μm by a screen printing method.

【0040】これを参考例1と同様の工程により隔壁、
電極、誘電体を作製した。凹型の隔壁底部の厚さは20
μmであり、電極部以外の可視光の反射率は50%だっ
た。
This was subjected to the same steps as in Reference Example 1,
An electrode and a dielectric were prepared. The thickness of the bottom of the concave partition wall is 20
μm, and the reflectance of visible light other than the electrode portion was 50%.

【0041】この基板にスクリーン印刷により赤、緑、
青の蛍光体を流し込んで焼成し、背面基板を完成した。
ついで、ガラス基板に透明電極、バス電極、透明誘電
体、MgO保護膜を順次形成した前面基板を用意し、両
者を張り合わせた後、常法に従って、真空排気、ガス封
入を行いプラズマディスプレイパネルを作製した。
By screen printing on this substrate, red, green,
The blue phosphor was poured and baked to complete the back substrate.
Then, prepare a front substrate in which a transparent electrode, a bus electrode, a transparent dielectric, and a MgO protective film are sequentially formed on a glass substrate, and after bonding the two together, vacuum exhaust and gas filling are performed according to a conventional method to produce a plasma display panel. did.

【0042】<参考例3> サンドブラスト用リブペースト(日本電気硝子製 PL
S−3550)をガラス基板上にスクリーン印刷法によ
り20μmの厚さにコーティングした。
<Reference Example 3> Rib paste for sandblasting (PL manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd.)
S-3550) was coated on a glass substrate by screen printing to a thickness of 20 μm.

【0043】しかるのち、耐サンドブラスト性を有する
厚さ25μmのドライフィルムレジスト(東京応化工業
製 BFー703)をラミネートした。
After that, a dry film resist having a thickness of 25 μm (BF-703 manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) having sandblast resistance was laminated.

【0044】電極配置部形成のため、ピッチ150μ
m、幅30μmの開口幅のストライプパターンおよび電
極引き出し用の端子パターンを有するフォトマスクを介
して、前記ドライフィルムレジストを高圧水銀灯を用い
て200[mJ/cm2]で露光した。
A pitch of 150 μ for forming the electrode arrangement portion
The dry film resist was exposed at 200 [mJ / cm 2] using a high pressure mercury lamp through a photomask having a stripe pattern with an opening width of m and a width of 30 μm and a terminal pattern for drawing out electrodes.

【0045】露光後、0.2%炭酸ナトリウム水溶液を
用い、電極ピッチ150μm、幅30μmのストライプ
パターン、および端子パターンを解像した。
After the exposure, a 0.2% aqueous sodium carbonate solution was used to resolve a stripe pattern having an electrode pitch of 150 μm and a width of 30 μm, and a terminal pattern.

【0046】前記リブペースト上に前記レジストパター
ンが形成された基板上にサンドブラスト用リブペースト
(日本電気硝子製 PLSー3550)をスクリーン印
刷法によりさらに180μmコーティングした。
On the substrate on which the resist pattern was formed on the rib paste, a sandblasting rib paste (PLS-3550 manufactured by Nippon Electric Glass) was further coated by 180 μm by a screen printing method.

【0047】しかるのち、耐サンドブラスト性を有する
厚さ25μmのドライフィルムレジスト(東京応化工業
製 BFー703)をラミネートした。
Thereafter, a dry film resist having a thickness of 25 μm (BF-703 manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) having sandblast resistance was laminated.

【0048】隔壁パターン形成のため、ピッチ150μ
m、幅50μmの開口幅のストライプパターンを有する
フォトマスクを介して、前記ドライフィルムレジストを
高圧水銀灯を用いて200[mJ/cm2]で露光し
た。なお、この露光の際、先の電極パターンの露光とは
ストライプの幅方向に75μmだけピッチを移動させて
露光した。
A pitch of 150 μ for forming the partition pattern
The dry film resist was exposed at 200 [mJ / cm 2] using a high pressure mercury lamp through a photomask having a stripe pattern with an opening width of m and a width of 50 μm. In this exposure, the exposure was performed by shifting the pitch in the width direction of the stripe by 75 μm from the exposure of the above electrode pattern.

【0049】露光後、0.2%炭酸ナトリウム水溶液を
用い、ピッチ150μm、幅50μmのレジストパター
ンを解像した。
After the exposure, a 0.2% sodium carbonate aqueous solution was used to resolve a resist pattern having a pitch of 150 μm and a width of 50 μm.

【0050】レジストパターンを形成した前記基板を、
サンドブラスト装置(不二製作所製)を用い、始めにパ
ターン形成したドライフィルムレジストの所まで不要の
リブペーストを削り取り、凹型の形状にリブペーストを
成形した。
The substrate having the resist pattern formed thereon is
Using a sandblasting machine (manufactured by Fuji Manufacturing Co., Ltd.), unnecessary rib paste was scraped off to the dry film resist where the pattern was formed first, and the rib paste was formed into a concave shape.

【0051】しかるのち、BF剥離液(東京応化工業
製)を用い、レジストを剥離したのち、水洗して乾燥し
た。
Thereafter, the resist was stripped using a BF stripping solution (manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.), washed with water and dried.

【0052】レジスト剥離により、始めにパターン形成
したレジストも剥離されるため、その結果として、隔壁
を構成する凹型の構造物の凹部内側の底部に電極配置部
としての凹部が形成された。
By the resist peeling, the resist which was patterned first is also peeled off. As a result, a concave portion as an electrode arrangement portion was formed at the bottom inside the concave portion of the concave structure forming the partition wall.

【0053】レジストを剥離した基板を、熱風焼成炉に
て580℃で20分焼成して、図3に示すような凹型形
状および凹部内側の底部にさらに電極配置部である凹部
が形成された隔壁を得た。
The substrate from which the resist has been peeled off is baked in a hot air baking oven at 580 ° C. for 20 minutes to form a concave shape and a partition wall in which a concave portion as an electrode arrangement portion is further formed on the bottom inside the concave portion. Got

【0054】この隔壁にスクリーン印刷を用いて、感光
性銀ペースト(デュポン製 FODEL DC202)
を基板全面に塗布した。なお、塗布の際、スキージのア
タック角度は20度とした。
Photosensitive silver paste (FODEL DC202 manufactured by DuPont) was applied to the partition wall by screen printing.
Was applied to the entire surface of the substrate. During the application, the attack angle of the squeegee was 20 degrees.

【0055】前記銀ペースト乾燥後、電極パターン形成
のため、ピッチ150μm、幅30μmの開口幅のスト
ライプパターンおよび電極引き出し用の端子パターンを
有するフォトマスクを前記電極配置部に位置あわせした
のち、高圧水銀灯を用いて200[mJ/cm2]で露
光した。
After the silver paste was dried, a photomask having a stripe pattern having an opening width of 150 μm and an opening width of 30 μm and a terminal pattern for drawing out an electrode was aligned with the electrode arrangement portion to form an electrode pattern, and then a high pressure mercury lamp was used. Was used for exposure at 200 [mJ / cm 2].

【0056】露光後、0.2%炭酸ナトリウム水溶液を
用い、電極ピッチ150μm、幅30μmのストライプ
パターン、およびそれから引き出される端子パターンを
解像した。
After exposure, a 0.2% sodium carbonate aqueous solution was used to resolve a stripe pattern having an electrode pitch of 150 μm and a width of 30 μm, and a terminal pattern extracted from the stripe pattern.

【0057】しかるのち、電極パターンが形成された基
板を、熱風焼成炉にて550℃で20分焼成して電極を
得た。
After that, the substrate on which the electrode pattern was formed was fired in a hot air firing furnace at 550 ° C. for 20 minutes to obtain an electrode.

【0058】前記電極が形成された基板に誘電体ペース
ト(ノリタケ製 NP−7972J)をスクリーン印刷
により隔壁凹部内に塗布した。なお、塗布の際、スキー
ジのアタック角度は20度とした。
A dielectric paste (NP-7972J manufactured by Noritake Co., Ltd.) was applied to the inside of the partition wall recesses by screen printing on the substrate on which the electrodes were formed. During the application, the attack angle of the squeegee was 20 degrees.

【0059】しかるのち、誘電体が塗布された基板を、
熱風焼成炉にて530℃で20分焼成して、図3に示す
ような隔壁、電極、誘電体が形成された基板を得た。
After that, the substrate coated with the dielectric is
The substrate was fired at 530 ° C. for 20 minutes in a hot air firing furnace to obtain a substrate having partition walls, electrodes, and a dielectric material as shown in FIG.

【0060】この基板にスクリーン印刷により赤、緑、
青の蛍光体を流し込んで焼成し、背面基板を完成した。
ついで、ガラス基板に透明電極、バス電極、透明誘電
体、MgO保護膜を順次形成した前面基板を用意し、両
者を張り合わせた後、常法に従って、真空排気、ガス封
入を行いプラズマディスプレイパネルを作製した。
By screen printing on this substrate, red, green,
The blue phosphor was poured and baked to complete the back substrate.
Then, prepare a front substrate in which a transparent electrode, a bus electrode, a transparent dielectric, and a MgO protective film are sequentially formed on a glass substrate, and after bonding the two together, vacuum exhaust and gas filling are performed according to a conventional method to produce a plasma display panel. did.

【0061】得られたパネルの評価を行ったところ、電
極間のショートは発生していなかった。また、隔壁のよ
れ、倒れ等も確認できなかった。そして、電極と隔壁の
相対的な位置関係は、面内全域にわたり一定で、すべて
隔壁の幅方向の中点からストライプの幅方向に75μm
だけ離れた位置に電極の幅方向の中点が配置されてい
た。
When the obtained panel was evaluated, no short circuit between the electrodes occurred. Moreover, the partition walls could not be twisted or collapsed. The relative positional relationship between the electrode and the partition wall is constant over the entire surface, and is 75 μm in the width direction of the stripe from the midpoint in the width direction of the partition wall.
The middle point in the width direction of the electrode was arranged at a position separated by only.

【0062】<参考例4> サンドブラスト用リブペースト(日本電気硝子製 PL
S−3550)をガラス基板上にスクリーン印刷法によ
り20μmの厚さにコーティングした。
<Reference Example 4> Rib paste for sandblasting (PL manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd.)
S-3550) was coated on a glass substrate by screen printing to a thickness of 20 μm.

【0063】しかるのち、耐サンドブラスト性を有する
厚さ25μmのドライフィルムレジスト(東京応化工業
製 BFー703)をラミネートした。
Thereafter, a dry film resist having a thickness of 25 μm (BF-703 manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) having sandblast resistance was laminated.

【0064】電極配置部形成のため、ピッチ150μ
m、幅100μmの開口幅のストライプパターンおよび
電極引き出し用の端子パターンを有するフォトマスクを
介して、前記ドライフィルムレジストを高圧水銀灯を用
いて200[mJ/cm2]で露光した。
A pitch of 150 μ for forming the electrode arrangement portion
The dry film resist was exposed at 200 [mJ / cm <2>] using a high pressure mercury lamp through a photomask having a stripe pattern having an opening width of m and a width of 100 [mu] m and a terminal pattern for drawing out electrodes.

【0065】露光後、0.2%炭酸ナトリウム水溶液を
用い、電極ピッチ150μm、幅100μmのストライ
プパターン、および端子パターンを解像した。
After exposure, a 0.2% aqueous sodium carbonate solution was used to resolve a stripe pattern having an electrode pitch of 150 μm and a width of 100 μm, and a terminal pattern.

【0066】再度リブペーストを、スクリーン印刷法に
より25μmの厚さにコーティングした。
The rib paste was coated again by screen printing to a thickness of 25 μm.

【0067】そして、端子パターンより内側の部分の
み、スクリーン印刷法により、前記リブペーストを再度
160μmの厚さにコーティングした。
Then, only the portion inside the terminal pattern was coated again with the rib paste to a thickness of 160 μm by the screen printing method.

【0068】しかるのち、耐サンドブラスト性を有する
厚さ25μmのドライフィルムレジスト(東京応化工業
製 BFー703)を基板全面にラミネートした。
Then, a dry film resist having a thickness of 25 μm (BF-703 manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) having sandblast resistance was laminated on the entire surface of the substrate.

【0069】隔壁パターン形成のため、ピッチ150μ
m、幅50μmの開口幅のストライプパターンを有する
フォトマスクを介して、前記ドライフィルムレジストを
高圧水銀灯を用いて200[mJ/cm2]で露光し
た。なお、この露光の際、先の露光とはストライプの幅
方向に75μmだけピッチを移動させて露光した。
A pitch of 150 μ for forming the partition pattern
The dry film resist was exposed at 200 [mJ / cm 2] using a high pressure mercury lamp through a photomask having a stripe pattern with an opening width of m and a width of 50 μm. In this exposure, the exposure was performed by shifting the pitch in the width direction of the stripe by 75 μm from the previous exposure.

【0070】露光後、0.2%炭酸ナトリウム水溶液を
用い、ピッチ150μm、幅50μmのレジストパター
ンを解像した。
After exposure, a 0.2% sodium carbonate aqueous solution was used to resolve a resist pattern having a pitch of 150 μm and a width of 50 μm.

【0071】レジストパターンを形成した前記基板を、
サンドブラスト装置(不二製作所製)を用い、始めにパ
ターン形成したドライフィルムレジストの所まで不要の
リブペーストを削り取り、凹型の形状にリブペーストを
成形した。
The substrate on which the resist pattern is formed is
Using a sandblasting machine (manufactured by Fuji Manufacturing Co., Ltd.), unnecessary rib paste was scraped off to the dry film resist where the pattern was formed first, and the rib paste was formed into a concave shape.

【0072】しかるのち、BF剥離液(東京応化工業
製)を用い、レジストを剥離したのち、水洗して乾燥し
た。
After that, the resist was stripped using a BF stripping solution (manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.), washed with water and dried.

【0073】レジストを剥離した基板を、熱風焼成炉に
て580℃で20分焼成して、図4に示すような凹型形
状および端子部凹部が形成された隔壁を得た。
The substrate from which the resist had been peeled off was baked in a hot air baking oven at 580 ° C. for 20 minutes to obtain partition walls having a concave shape and terminal portion concave portions as shown in FIG.

【0074】この隔壁にインキジェットプリンタを用い
て、銀ペーストを当該凹部に充填した。
An ink jet printer was used to fill the partition with silver paste.

【0075】しかるのち、電極パターンが形成された基
板を、熱風焼成炉にて550℃で20分焼成して電極を
得た。
After that, the substrate on which the electrode pattern was formed was fired in a hot air firing furnace at 550 ° C. for 20 minutes to obtain an electrode.

【0076】前記電極が形成された基板に誘電体ペース
ト(ノリタケ製 NP−7972J)をスクリーン印刷
により隔壁凹部内に塗布した。なお、塗布の際、スキー
ジのアタック角度は20度とした。
A dielectric paste (NP-7972J manufactured by Noritake Co., Ltd.) was applied to the recesses of the partition wall by screen printing on the substrate on which the electrodes were formed. During the application, the attack angle of the squeegee was 20 degrees.

【0077】しかるのち、誘電体が塗布された基板を、
熱風焼成炉にて530℃で20分焼成して、図4に示す
ような基板を得た。
After that, the substrate coated with the dielectric is
Baking was performed at 530 ° C. for 20 minutes in a hot air baking furnace to obtain a substrate as shown in FIG.

【0078】<参考例5> 参考例1と同様の工程により、凹型の構造物からなる隔
壁を作製した。
Reference Example 5 By the same steps as in Reference Example 1, a partition wall made of a concave structure was produced.

【0079】しかるのち、線径30μmの42−6合金
ワイヤ(42wt%Ni−6wt%Cr−52%wt%
Fe)を電極として、凹部内側の底部に配置した。
After that, a 42-6 alloy wire (42 wt% Ni-6 wt% Cr-52% wt% having a wire diameter of 30 μm) was used.
Fe) was used as an electrode and was arranged at the bottom inside the recess.

【0080】前記電極が配置された基板に誘電体ペース
ト(ノリタケ製 NP−7972J)をスクリーン印刷
によりを隔壁凹部内に塗布した。なお、塗布の際、スキ
ージのアタック角度は20度とした。
A dielectric paste (NP-7972J manufactured by Noritake Co., Ltd.) was applied to the inside of the partition wall recesses by screen printing on the substrate on which the electrodes were arranged. During the application, the attack angle of the squeegee was 20 degrees.

【0081】しかるのち、誘電体が塗布された基板を、
熱風焼成炉にて530℃で20分焼成して、図5に示す
ようなプラズマディスプレイの背面基板を得た。
Thereafter, the substrate coated with the dielectric is
The back substrate of the plasma display as shown in FIG. 5 was obtained by firing at 530 ° C. for 20 minutes in a hot air firing furnace.

【0082】この基板にスクリーン印刷により赤、緑、
青の蛍光体を流し込んで焼成し、背面基板を完成した。
ついで、ガラス基板に透明電極、バス電極、透明誘電
体、MgO保護膜を順次形成した前面基板を用意し、両
者を張り合わせた後、常法にしたがって、真空排気、ガ
ス封入を行いプラズマディスプレイパネルを作製した。
Screen printing of red, green,
The blue phosphor was poured and baked to complete the back substrate.
Next, prepare a front substrate in which a transparent electrode, a bus electrode, a transparent dielectric, and a MgO protective film are sequentially formed on a glass substrate, and after bonding the two together, vacuum evacuation and gas filling are performed according to a conventional method to form a plasma display panel. It was made.

【0083】<参考例6> 参考例3と同様の工程により、凹型の構造物の凹部内側
の底部にさらに凹部が形成された隔壁を作製した。
Reference Example 6 By the same steps as in Reference Example 3, a partition wall having a recess formed in the bottom of the recess of the recessed structure was produced.

【0084】しかるのち、線径30μmの42−6合金
ワイヤ(42wt%Ni−6wt%Cr−52%wt%
Fe)を電極として、凹部内側の底部に形成された凹部
にはめ込んだ。
Thereafter, a 42-6 alloy wire (42 wt% Ni-6 wt% Cr-52% wt%) having a wire diameter of 30 μm was prepared.
Fe) was used as an electrode and was fitted into the recess formed in the bottom inside the recess.

【0085】前記電極が形成された基板に誘電体ペース
ト(ノリタケ製 NP−7972J)をスクリーン印刷
によりを隔壁凹部内に塗布した。なお、塗布の際、スキ
ージのアタック角度は20度とした。
A dielectric paste (NP-7972J manufactured by Noritake Co., Ltd.) was applied to the inside of the partition wall recesses by screen printing on the substrate on which the electrodes were formed. During the application, the attack angle of the squeegee was 20 degrees.

【0086】しかるのち、誘電体が塗布された基板を、
熱風焼成炉にて530℃で20分焼成して、図6に示す
ようなプラズマディスプレイの背面基板を得た。
After that, the substrate coated with the dielectric is
The back substrate of the plasma display as shown in FIG. 6 was obtained by firing at 530 ° C. for 20 minutes in a hot air firing furnace.

【0087】この基板にスクリーン印刷により赤、緑、
青の蛍光体を流し込んで焼成し、背面基板を完成した。
ついで、ガラス基板に透明電極、バス電極、透明誘電
体、MgO保護膜を順次形成した前面基板を用意し、両
者を張り合わせた後、常法にしたがって、真空排気、ガ
ス封入を行いプラズマディスプレイパネルを作製した。
Screen printing of red, green,
The blue phosphor was poured and baked to complete the back substrate.
Next, prepare a front substrate in which a transparent electrode, a bus electrode, a transparent dielectric, and a MgO protective film are sequentially formed on a glass substrate, and after bonding the two together, vacuum evacuation and gas filling are performed according to a conventional method to form a plasma display panel. It was made.

【0088】<参考例7> サンドブラスト用リブペースト(日本電気硝子製 PL
S−3550)をガラス基板上にスクリーン印刷法によ
り70μmの厚さにコーティングした。
Reference Example 7 Rib paste for sandblasting (PL made by Nippon Electric Glass Co., Ltd.)
S-3550) was coated on a glass substrate by screen printing to a thickness of 70 μm.

【0089】しかるのち、耐サンドブラスト性を有する
厚さ25μmのドライフィルムレジスト(東京応化工業
製 BFー703)をラミネートした。
Thereafter, a dry film resist having a thickness of 25 μm (BF-703 manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) having sandblast resistance was laminated.

【0090】電極配置部形成のため、ピッチ150μ
m、幅100μmの開口幅のストライプパターンおよび
電極引き出し用の端子パターンを有するフォトマスクを
介して、前記ドライフィルムレジストを高圧水銀灯を用
いて200[mJ/cm2]で露光した。
A pitch of 150 μ for forming the electrode arrangement portion
The dry film resist was exposed at 200 [mJ / cm <2>] using a high pressure mercury lamp through a photomask having a stripe pattern having an opening width of m and a width of 100 [mu] m and a terminal pattern for drawing out electrodes.

【0091】露光後、0.2%炭酸ナトリウム水溶液を
用い、電極ピッチ150μm、幅100μmのストライ
プパターン、および端子パターンを解像した。
After the exposure, a 0.2% sodium carbonate aqueous solution was used to resolve a stripe pattern having an electrode pitch of 150 μm and a width of 100 μm, and a terminal pattern.

【0092】再度リブペーストを、スクリーン印刷法に
より25μmの厚さにコーティングした。そして、端子
パターンより内側の部分のみ、スクリーン印刷法によ
り、前記リブペーストを再度160μmの厚さにコーテ
ィングした。
The rib paste was coated again by screen printing to a thickness of 25 μm. Then, only the portion inside the terminal pattern was coated again with the rib paste to a thickness of 160 μm by the screen printing method.

【0093】しかるのち、耐サンドブラスト性を有する
厚さ25μmのドライフィルムレジスト(東京応化工業
製 BFー703)を基板全面にラミネートした。
Thereafter, a dry film resist having a thickness of 25 μm (BF-703 manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) having sandblast resistance was laminated on the entire surface of the substrate.

【0094】隔壁パターン形成のため、ピッチ150μ
m、幅50μmの開口幅のストライプパターンを有する
フォトマスクを介して、前記ドライフィルムレジストを
高圧水銀灯を用いて200[mJ/cm2]で露光し
た。なお、この露光の際、先の露光とはストライプの幅
方向に75μmだけピッチを移動させて露光した。
150 μm pitch for forming partition pattern
The dry film resist was exposed at 200 [mJ / cm 2] using a high pressure mercury lamp through a photomask having a stripe pattern with an opening width of m and a width of 50 μm. In this exposure, the exposure was performed by shifting the pitch in the width direction of the stripe by 75 μm from the previous exposure.

【0095】露光後、0.2%炭酸ナトリウム水溶液を
用い、ピッチ150μm、幅50μmのレジストパター
ンを解像した。
After exposure, a 0.2% aqueous sodium carbonate solution was used to resolve a resist pattern having a pitch of 150 μm and a width of 50 μm.

【0096】レジストパターンを形成した前記基板を、
サンドブラスト装置(不二製作所製)を用い、始めにパ
ターン形成したドライフィルムレジストの所まで不要の
リブペーストを削り取り、凹型の形状にリブペーストを
成形した。
The substrate having the resist pattern formed thereon is
Using a sandblasting machine (manufactured by Fuji Manufacturing Co., Ltd.), unnecessary rib paste was scraped off to the dry film resist where the pattern was formed first, and the rib paste was formed into a concave shape.

【0097】しかるのち、BF剥離液(東京応化工業
製)を用い、レジストを剥離したのち、水洗して乾燥し
た。
Thereafter, the resist was stripped using a BF stripping solution (manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.), washed with water and dried.

【0098】レジストを剥離した基板を、熱風焼成炉に
て580℃で20分焼成した。その結果、隔壁の厚さ、
幅とも焼成前の約80%となり、凹部下部の厚さが約5
5μm、凹部上部幅が40μmの凹型形状の隔壁を得
た。
The substrate from which the resist had been peeled off was baked in a hot air baking oven at 580 ° C. for 20 minutes. As a result, the partition wall thickness,
The width is about 80% of that before firing, and the thickness of the bottom of the recess is about 5
A recess-shaped partition wall having a width of 5 μm and an upper width of the recess of 40 μm was obtained.

【0099】この隔壁にスクリーン印刷を用いて、感光
性銀ペースト(デュポン製 FODEL DC202)
を基板全面に塗布した。なお、塗布の際、スキージのア
タック角度は20度とした。
Photosensitive silver paste (FODEL DC202 manufactured by DuPont) was applied to the partition walls by screen printing.
Was applied to the entire surface of the substrate. During the application, the attack angle of the squeegee was 20 degrees.

【0100】前記銀ペースト乾燥後、電極パターン形成
のため、ピッチ150μm、幅30μmの開口幅のスト
ライプパターンおよび電極引き出し用の端子パターンを
有するフォトマスクを前記電極配置部に位置あわせした
のち、高圧水銀灯を用いて200[mJ/cm2]で露
光した。
After the silver paste was dried, a photomask having a stripe pattern having an opening width of 150 μm and an opening width of 30 μm and a terminal pattern for drawing out electrodes was aligned with the electrode arrangement portion to form an electrode pattern, and then a high pressure mercury lamp was used. Was used for exposure at 200 [mJ / cm 2].

【0101】しかるのち、電極パターンが形成された基
板を、熱風焼成炉にて550℃で20分焼成して電極を
得た。
Thereafter, the substrate on which the electrode pattern was formed was baked in a hot air baking furnace at 550 ° C. for 20 minutes to obtain an electrode.

【0102】前記電極が形成された基板に誘電体ペース
ト(ノリタケ製 NP−7972J)をスクリーン印刷
により隔壁凹部内に塗布した。
A dielectric paste (NP-7972J manufactured by Noritake Co., Ltd.) was applied to the inside of the partition wall by screen printing on the substrate on which the electrodes were formed.

【0103】なお、塗布の際、スキージのアタック角度
は20度とした。
During the application, the attack angle of the squeegee was 20 degrees.

【0104】しかるのち、誘電体が塗布された基板を、
熱風焼成炉にて530℃で20分焼成して、図7に示す
ような基板を得た。
Thereafter, the substrate coated with the dielectric is
Baking was performed at 530 ° C. for 20 minutes in a hot air baking furnace to obtain a substrate as shown in FIG. 7.

【0105】この基板にスクリーン印刷により赤、緑、
青の蛍光体を流し込んで焼成し、背面基板を完成した。
ついで、ガラス基板に透明電極、バス電極、透明誘電
体、MgO保護膜を順次形成した前面基板を用意し、両
者を張り合わせた後、常法に従って、真空排気、ガス封
入を行いプラズマディスプレイパネルを作製した。
Screen printing of red, green,
The blue phosphor was poured and baked to complete the back substrate.
Then, prepare a front substrate in which a transparent electrode, a bus electrode, a transparent dielectric, and a MgO protective film are sequentially formed on a glass substrate, and after bonding the two together, vacuum exhaust and gas filling are performed according to a conventional method to produce a plasma display panel. did.

【0106】得られたパネルの評価を行ったところ、電
極間のショートは発生していなかった。また、隔壁のよ
れ、倒れ等も確認できなかった。
When the obtained panel was evaluated, no short circuit occurred between the electrodes. Moreover, the partition walls could not be twisted or collapsed.

【0107】<実施例1> 隔壁形成の手段として、あらかじめ、隔壁の逆形状が形
成された凹版を用い、これにリブペーストを充填して、
当該ペーストを所定の基板に転写した。その結果、凹型
の構造物の隔壁上部幅が50μm、凹型の構造物の底部
厚さが70μmの成形体を得た。
<Example 1> As a means for forming partition walls, an intaglio plate having an inverted shape of the partition walls was used in advance, and rib paste was filled therein,
The paste was transferred to a predetermined substrate. As a result, concave
The upper width of the partition wall of the structure is 50 μm, and the bottom of the concave structure
A molded body having a thickness of 70 μm was obtained.

【0108】しかるのち、これを焼成したところ、幅、
厚さとも焼成前の約80%となり、隔壁となる上部幅が
40μm、凹型の構造物の底部の厚さが約55μmの凹
型形状の隔壁を得た。
Then, when this was baked, the width,
Both thickness becomes about 80% before firing, upper portion width bulkhead and ing is 40 [mu] m, the thickness of the bottom portion of the concave structure is to obtain a partition wall of the concave shape of about 55 .mu.m.

【0109】この基板にスクリーン印刷により赤、緑、
青の蛍光体を流し込んで焼成し、背面基板を完成した。
ついで、ガラス基板に透明電極、バス電極、透明誘電
体、MgO保護膜を順次形成した前面基板を用意し、両
者を張り合わせた後、常法に従って、真空排気、ガス封
入を行いプラズマディスプレイパネルを作製した。
[0109] Screen printing of red, green,
The blue phosphor was poured and baked to complete the back substrate.
Then, prepare a front substrate in which a transparent electrode, a bus electrode, a transparent dielectric, and a MgO protective film are sequentially formed on a glass substrate, and after bonding the two together, vacuum exhaust and gas filling are performed according to a conventional method to produce a plasma display panel. did.

【0110】<実施例2> 隔壁形成の手段として、あらかじめ隔壁の逆形状が形成
された凹版を用い、これにリブペーストを充填して、当
該ペーストを所定の基板に転写した。その結果、凹型の
構造物の隔壁上部幅が50μm、凹型の構造物の底部の
厚さが50μmの成形体を得た。
<Example 2> As a means for forming partition walls, an intaglio plate in which the reverse shape of the partition walls was previously formed was used, and rib paste was filled in this intaglio plate, and the paste was transferred to a predetermined substrate. As a result, the concave
A molded body was obtained in which the upper width of the partition wall of the structure was 50 μm and the thickness of the bottom of the concave structure was 50 μm.

【0111】しかるのち、これを焼成したところ、幅、
厚さとも焼成前の約80%となり、凹型の構造物の隔壁
上部幅が40μm、凹型の構造物の底部の厚さが約40
μmの凹型形状の隔壁を得た。
Then, when this was fired, the width,
The thickness was about 80% before firing, the upper width of the partition wall of the concave structure was 40 μm, and the thickness of the bottom portion of the concave structure was about 40 μm.
A μm concave partition wall was obtained.

【0112】この基板にスクリーン印刷により赤、緑、
青の蛍光体を流し込んで焼成し、背面基板を完成した。
ついで、ガラス基板に透明電極、バス電極、透明誘電
体、MgO保護膜を順次形成した前面基板を用意し、両
者を張り合わせた後、常法に従って、真空排気、ガス封
入を行いプラズマディスプレイパネルを作製した。
Screen printing of red, green,
The blue phosphor was poured and baked to complete the back substrate.
Then, prepare a front substrate in which a transparent electrode, a bus electrode, a transparent dielectric, and a MgO protective film are sequentially formed on a glass substrate, and after bonding the two together, vacuum exhaust and gas filling are performed according to a conventional method to produce a plasma display panel. did.

【0113】[0113]

【発明の効果】以上に示したように、本発明によれば、
(1)隔壁幅が狭くなっても倒れない隔壁を有するプラ
ズマディスプレイの背面基板およびプラズマディスプレ
イパネルを提供すること。 (2)背面基板の裏面への発光光のもれが少ないプラズ
マディスプレイの背面基板およびプラズマディスプレイ
パネルを提供すること。
As described above, according to the present invention,
(1) To provide a rear substrate of a plasma display and a plasma display panel having a partition wall that does not collapse even if the partition wall width becomes narrow. (2) To provide a back substrate of a plasma display and a plasma display panel in which light emitted to the back surface of the back substrate is small.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】一般的なプラズマディスプレイの背面基板の断
面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view of a back substrate of a general plasma display.

【図2】本発明の一実施例におけるプラズマディスプレ
イの背面基板の断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view of a back substrate of a plasma display according to an embodiment of the present invention.

【図3】本発明の一参考例におけるプラズマディスプレ
イの背面基板の断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view of a back substrate of a plasma display according to a reference example of the present invention.

【図4】本発明の一参考例におけるプラズマディスプレ
イの背面基板の断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view of a back substrate of a plasma display according to a reference example of the present invention.

【図5】本発明の一参考例におけるプラズマディスプレ
イの背面基板の断面図である。
FIG. 5 is a cross-sectional view of a back substrate of a plasma display according to a reference example of the present invention.

【図6】本発明の一参考例におけるプラズマディスプレ
イの背面基板の断面図である。
FIG. 6 is a cross-sectional view of a back substrate of a plasma display according to a reference example of the present invention.

【図7】本発明の一実施例、一参考例におけるプラズマ
ディスプレイの背面基板の断面図である。
FIG. 7 is a cross-sectional view of a back substrate of a plasma display according to an example and a reference example of the present invention.

【図8】本発明の実施例1の変形例におけるプラズマデFIG. 8 is a plasma display according to a modification of the first embodiment of the present invention.
ィスプレイの背面基板の断面図である。It is sectional drawing of the back substrate of a display.

【図9】本発明の実施例2の変形例におけるプラズマデFIG. 9 is a plasma display according to a modification of the second embodiment of the present invention.
ィスプレイの背面基板の断面図である。It is sectional drawing of the back substrate of a display.

【図10】本発明の一参考例におけるプラズマディスプFIG. 10 is a plasma display in one reference example of the present invention.
レイの背面基板の断面図である。It is sectional drawing of the back substrate of a ray.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10・・基板 20・・隔壁 30・・電極 40・・誘電体 50・・金属線 10 ... Board 20 ... 30 ... Electrode 40..Dielectric 50 ... Metal wire

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01J 11/02 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) H01J 11/02

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】背面基板上に形成された隔壁が凹型の形状
を有する構造からなり、 前記背面基板が、可視光反射率が、蛍光体を塗布してい
ない状態において50%以上であり、 前記隔壁を構成する前記凹型の構造物底部の厚さが、
記構造物の隔壁上部の幅以上のものであるプラズマディ
スプレイの背面基板の製造方法において、 隔壁形成の手段として、あらかじめ隔壁の逆形状が形成
された凹版を用い、これにリブペーストを充填して、当
該ペーストを所定の基板に転写する手段を用いることを
特徴とするプラズマディスプレイの背面基板の製造方
法。
1. A partition wall formed on the rear substrate made of a structure having a concave shape, the rear substrate, and the visible light reflectance is 50% or more in a state not applied in the phosphor, the thickness of the structure bottom of the concave constituting the partition wall, before
Filling method of manufacturing a rear substrate of the serial structure der pulp plasma display more than the width of the barrier ribs of, as a means of partition wall forming, with intaglio reverse shape is formed in advance bulkhead, which in the rib paste Then, a method of manufacturing the back substrate of the plasma display, characterized in that means for transferring the paste to a predetermined substrate is used.
【請求項2】請求項1の製造方法で製造された背面基板
を用い、前面基板とはり合せることを特徴とするプラズ
マディスプレイパネルの製造方法。
2. Using the rear substrate manufactured by the manufacturing method according to claim 1, a method of manufacturing a plasma display panel, characterized in that bonded to the front substrate.
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