JP3428431B2 - Work transfer device and transfer method - Google Patents
Work transfer device and transfer methodInfo
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、半田ボールや電子
部品等のワークを所定の位置に移載するワークの移載装
置および移載方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a work transfer device and a work transfer method for transferring a work such as a solder ball or an electronic component to a predetermined position.
【０００２】[0002]
【従来の技術】導電性ボールなどのワークを基板に移載
する方法として真空吸着によってワークをピックアップ
する方法が広く用いられている。この方法は、吸着孔が
設けられた吸着ヘッドの吸着面に空気の負圧によりワー
クを吸着するものであり、機械的にワークをクランプす
る方法と比較して機構的にも簡便であり、ワークに対す
るダメージがないという利点がある。その反面、真空吸
着による方法はピックアップの確実性に難があり吸着ミ
スが発生しやすいため、吸着ミスのまま移載動作に移行
することのないよう、ワークが正常に吸着されているか
否かを吸着後に検査することが一般に行われる。2. Description of the Related Art A method of picking up a work by vacuum suction is widely used as a method of transferring a work such as a conductive ball onto a substrate. This method sucks the work by negative pressure of air on the suction surface of the suction head provided with the suction holes, and is mechanically simpler than the method of mechanically clamping the work. There is an advantage that there is no damage to. On the other hand, the vacuum suction method has a difficulty in pick-up reliability and tends to cause suction mistakes.Therefore, check whether the workpiece is suctioned normally so that it does not shift to the transfer operation with the suction mistake. Inspecting after adsorption is generally performed.
【０００３】この検査方法として、ワークを吸着した吸
着ヘッドの下面をカメラで撮像し、画像認識によってワ
ークの有無や吸着状態を検査する方法が知られている。
この方法では、カメラを上向きに配置し、このカメラの
上方に吸着ヘッドを位置させて撮像が行われる。As this inspection method, there is known a method of inspecting the presence or absence of the work and the suction state by image recognition by imaging the lower surface of the suction head sucking the work with a camera.
In this method, the camera is arranged facing upward, and the suction head is positioned above the camera to perform imaging.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところで、上向きに配
置されたカメラのレンズ面には、吸着ヘッドに吸着され
たワークそのものやその他のゴミなどの異物が落下しや
すいため、カメラのレンズ面等を保護する目的で、カメ
ラの上方には透明な保護板が配設される。しかしなが
ら、この保護板上には落下したワークや異物がそのまま
残留し易く、撮像視野内にこれらのワークや異物が存在
する状態で撮像を行った場合には、正常な画像取得が妨
げられワークの誤認識の原因となるという問題点があっ
た。By the way, since the work itself adsorbed by the adsorption head and other foreign matter such as dust easily fall onto the lens surface of the camera arranged upward, the lens surface of the camera is For protection purposes, a transparent protective plate is arranged above the camera. However, dropped works and foreign substances are likely to remain on the protective plate as they are, and when imaging is performed with these works and foreign substances present in the imaging field of view, normal image acquisition is hindered. There was a problem that it could cause misrecognition.
【０００５】そこで本発明は、ワークの誤認識を防止す
ることができるワークの移載装置および移載方法を提供
することを目的とする。Therefore, an object of the present invention is to provide a work transfer device and a work transfer method capable of preventing erroneous recognition of a work.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】請求項１記載のワークの
移載装置は、ワークを供給する供給部と、この供給部か
らワークを真空吸着によりピックアップして所定の位置
へ移載する吸着ヘッドと、この吸着ヘッドを昇降させる
昇降手段と、前記吸着ヘッドを水平方向へ移動させる移
動手段と、ワークを吸着した吸着ヘッドの下面を撮像し
てワークの状態を認識する認識部とを備え、前記認識部
の撮像手段の上方に透明な保護板を傾斜させて配設し、
この保護板上に落下するワークや異物を傾斜により排除
するようにした。According to a first aspect of the present invention, there is provided a work transfer device for supplying a work, and a suction head for picking up the work from the supply part by vacuum suction and transferring the work to a predetermined position. A lifting unit for moving the suction head up and down, a moving unit for moving the suction head in a horizontal direction, and a recognition unit for recognizing the state of the work by imaging the lower surface of the suction head that has sucked the work. A transparent protective plate is installed at an inclination above the image pickup means of the recognition unit,
The work and foreign matter falling on the protective plate are removed by the inclination.
【０００７】請求項２記載のワークの移載装置は、請求
項１記載のワークの移載装置であって、前記ワークが導
電性ボールである。A work transfer device according to a second aspect is the work transfer device according to the first aspect, wherein the work is a conductive ball.
【０００８】請求項３記載のワークの移載装置は、ワー
クを供給する供給部と、この供給部からワークを真空吸
着によりピックアップして所定の位置へ移載する吸着ヘ
ッドと、この吸着ヘッドを昇降させる昇降手段と、前記
吸着ヘッドを水平方向へ移動させる移動手段と、ワーク
を吸着した吸着ヘッドの下面を撮像してワークの状態を
認識する認識部とを備え、前記認識部の撮像手段の上方
に透明な保護板を配設し、この保護板に対してエアを噴
出して保護板上に落下するワークや異物を排除する第１
のエアブロー手段を設けた。According to a third aspect of the present invention, there is provided a work transfer device including a supply unit for supplying the work, a suction head for picking up the work from the supply unit by vacuum suction and transferring the work to a predetermined position, and the suction head. Elevating means for moving up and down, moving means for moving the suction head in a horizontal direction, and a recognition unit for recognizing the state of the work by imaging the lower surface of the suction head that has suctioned the work, and the recognition unit of the recognition unit. A transparent protective plate is arranged above, and air is ejected to the protective plate to remove a work or foreign matter falling on the protective plate.
The air blow means of
【０００９】請求項４記載のワークの移載装置は、請求
項３記載のワークの移載装置であって、前記ワークが導
電性ボールである。A work transfer device according to a fourth aspect of the present invention is the work transfer device according to the third aspect, wherein the work is a conductive ball.
【００１０】請求項５記載のワークの移載装置は、ワー
クを供給する供給部と、この供給部からワークを真空吸
着によりピックアップして所定の位置へ移載する吸着ヘ
ッドと、この吸着ヘッドを昇降させる昇降手段と、前記
吸着ヘッドを水平方向へ移動させる移動手段と、ワーク
を吸着した吸着ヘッドの下面を撮像してワークの状態を
認識する認識部とを備え、前記認識部の撮像手段の上方
に透明な保護板を配設し、この保護板上に落下するワー
クや異物を、前記吸着ヘッドの吸着孔からのエアの噴出
により排除する第２のエアブロー手段を設けた。According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a work transfer device, a supply unit for supplying the work, a suction head for picking up the work from the supply unit by vacuum suction and transferring the work to a predetermined position, and the suction head. Elevating means for moving up and down, moving means for moving the suction head in a horizontal direction, and a recognition unit for recognizing the state of the work by imaging the lower surface of the suction head that has suctioned the work, and the recognition unit of the recognition unit. A transparent protective plate is arranged above, and a second air blow means for removing the work and foreign matter falling on the protective plate by ejecting air from the suction holes of the suction head is provided.
【００１１】請求項６記載のワークの移載装置は、請求
項５記載のワークの移載装置であって、前記ワークが導
電性ボールである。A work transfer device according to a sixth aspect of the present invention is the work transfer device according to the fifth aspect, wherein the work is a conductive ball.
【００１２】請求項７記載のワークの移載方法は、ワー
クの供給部から吸着ヘッドによりワークを真空吸着して
ピックアップし、所定の位置へ移載するワークの移載方
法であって、ワークを供給部からピックアップした後お
よびまたは所定の位置へ移載した後に認識部の撮像手段
によって前記吸着ヘッドの下面を撮像して前記ワークの
状態を認識する工程と、前記撮像手段の上方に配設され
た透明な保護板上に落下するワークや異物を前記吸着ヘ
ッドの吸着孔からエアーを噴出させることにより排除す
る工程とを含む。According to a seventh aspect of the present invention, there is provided a work transfer method, wherein a work head is vacuum-sucked by a suction head from a work supply portion, picked up, and transferred to a predetermined position. After picking up from the supply section and / or after transferring to a predetermined position, a step of recognizing the state of the work by imaging the lower surface of the suction head by the imaging means of the recognition section, and arranged above the imaging means. And removing the work and foreign matter falling on the transparent protective plate by ejecting air from the suction holes of the suction head.
【００１３】請求項８記載のワークの移載方法は、請求
項７記載のワークの移載方法であって、前記ワークが導
電性ボールである。The work transfer method according to claim 8 is the work transfer method according to claim 7, wherein the work is a conductive ball.
【００１４】各請求項記載の発明によれば、撮像手段の
上方に配設される透明な保護板上に落下して残留するワ
ークや異物を、保護板を傾斜させることにより、または
保護板上をエアブローすることにより、保護板上面から
排除して撮像時に正常な画像を取得することができる。According to the invention described in each of the claims, the work and the foreign matter which are dropped and remain on the transparent protective plate disposed above the image pickup means are inclined by tilting the protective plate or on the protective plate. By air blowing, it is possible to exclude from the upper surface of the protective plate and obtain a normal image at the time of imaging.
【００１５】[0015]
【発明の実施の形態】（実施の形態１）図１は本発明の
実施の形態１の導電性ボールの移載装置の正面図、図２
（ａ）は同導電性ボールの移載装置の部分斜視図、図２
（ｂ）は同導電性ボールの移載装置の吸着ヘッドの下面
の画像図である。本実施の形態はワークとしての導電性
ボールを基板に移載する例を示したものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS (Embodiment 1) FIG. 1 is a front view of a conductive ball transfer device according to Embodiment 1 of the present invention.
2A is a partial perspective view of the same conductive ball transfer device, FIG.
(B) is an image view of the lower surface of the suction head of the conductive ball transfer device. This embodiment shows an example in which a conductive ball as a work is transferred onto a substrate.
【００１６】まず図１を参照して導電性ボールの移載装
置の構造について説明する。図１において、供給部１は
架台２上に容器３を載置して構成されている。容器３中
にはワークとしての導電性ボール４が多数貯溜されてい
る。First, the structure of the conductive ball transfer device will be described with reference to FIG. In FIG. 1, the supply unit 1 is configured by placing a container 3 on a pedestal 2. A large number of conductive balls 4 as works are stored in the container 3.
【００１７】供給部１の側方には認識部５が配設されて
いる。認識部５の基台６上には撮像手段としてのカメラ
７が上向きに装着されており、カメラ７の上方には透明
な保護板８が傾斜して配設されている。保護板８は上方
からの異物がカメラ７に直接落下するのを防止するため
のものであり、保護板８上に落下した導電性ボール４や
ゴミなどの異物は保護板８上の傾斜面を転落または滑落
して側方に設けられた受け箱９中に落下する。A recognition unit 5 is arranged on the side of the supply unit 1. A camera 7 as an image pickup means is mounted upward on a base 6 of the recognition unit 5, and a transparent protective plate 8 is arranged above the camera 7 in an inclined manner. The protective plate 8 is for preventing foreign matter from directly falling onto the camera 7, and foreign matter such as the conductive balls 4 and dust that have fallen onto the protective plate 8 can be detected on the inclined surface of the protective plate 8. It falls or slides and falls into a receiving box 9 provided on the side.
【００１８】認識部５の側方には、位置決め部１０が配
設されている。位置決め部１０は、Ｘ軸モータ１２を備
えたＸテーブル１１とＹ軸モータ１４を備えたＹテーブ
ル１３を段積みし、その上にクランパ１６を備えたホル
ダ１５を載置して構成されている。クランパ１６で基板
１７を保持した状態で、Ｘ軸モータ１２およびＹ軸モー
タ１４を駆動することにより、基板１７は水平面内で移
動して位置決めされる。A positioning unit 10 is provided on the side of the recognition unit 5. The positioning unit 10 is configured by stacking an X table 11 having an X-axis motor 12 and a Y table 13 having a Y-axis motor 14, and mounting a holder 15 having a clamper 16 thereon. . By driving the X-axis motor 12 and the Y-axis motor 14 while the substrate 17 is held by the clamper 16, the substrate 17 is moved and positioned in the horizontal plane.
【００１９】供給部１の上方には吸着ヘッド２０が配設
されている。吸着ヘッド２０は下端部に吸着ツール２１
を備えており、吸着ツール２１の下面には多数の吸着孔
２２が形成されている。吸着ツール２１の内部を図外の
吸引手段で吸引することにより、吸着孔２２は導電性ボ
ール４を真空吸着する。A suction head 20 is arranged above the supply unit 1. The suction head 20 has a suction tool 21 at the lower end.
And a large number of suction holes 22 are formed on the lower surface of the suction tool 21. By sucking the inside of the suction tool 21 by suction means (not shown), the suction holes 22 vacuum-suck the conductive balls 4.
【００２０】吸着ヘッド２０はＺ軸モータ２４を備えた
Ｚテーブル２３に固着されており、Ｚ軸モータ２４を駆
動することにより吸着ヘッド２０は昇降する。したがっ
てＺ軸モータ２４およびＺテーブル２３は吸着ヘッド２
０の昇降手段となっている。Ｚテーブル２３はモータ２
６を備えた移動テーブル２５に装着されており、モータ
２６を駆動することにより吸着ヘッド２０は供給部１上
から位置決め部１０上の間を移動する。したがって、モ
ータ２６および移動テーブル２５は吸着ヘッド２０の移
動手段となっている。The suction head 20 is fixed to a Z table 23 having a Z-axis motor 24, and by driving the Z-axis motor 24, the suction head 20 moves up and down. Therefore, the Z-axis motor 24 and the Z table 23 are attached to the suction head 2
It is a zero lifting mechanism. The Z table 23 is the motor 2
The suction head 20 is mounted on a moving table 25 provided with 6, and the motor 26 drives the suction head 20 to move between the supply unit 1 and the positioning unit 10. Therefore, the motor 26 and the moving table 25 are moving means of the suction head 20.
【００２１】図２（ａ）に示すように、カメラ７は画像
処理部３０と接続されており、画像処理部３０は検出部
３１と接続されている。吸着ヘッド２０をカメラ７の直
上に位置させた状態でカメラ７により吸着ヘッド２０の
下面を撮像し、画像処理部３０で撮像データを処理する
ことにより、図２（ｂ）に示すように吸着ヘッド３０の
吸着孔２２の位置に吸着された導電性ボール４の部分を
明像とし、吸着ヘッド２０の下面を暗像とする画像を得
ることができる。As shown in FIG. 2A, the camera 7 is connected to the image processing section 30, and the image processing section 30 is connected to the detection section 31. As shown in FIG. 2B, the camera 7 images the lower surface of the suction head 20 while the suction head 20 is positioned directly above the camera 7, and the image processing unit 30 processes the imaged data. It is possible to obtain an image in which the portion of the conductive ball 4 sucked at the position of the suction hole 22 of 30 serves as a bright image and the lower surface of the suction head 20 serves as a dark image.
【００２２】この導電性ボールの移載装置は上記のよう
に構成されており、以下動作について説明する。図１に
おいて、吸着ヘッド２０を供給部１の上方に位置させ、
容器３内の導電性ボール４に対して下降させる。吸着ヘ
ッド２０の下面が導電性ボール４の上面以下に沈み込ん
だならば図外の吸引手段を駆動して吸着ヘッド２０の内
部を吸引する。これにより、吸着孔２２には導電性ボー
ル４が真空吸着される。この後、吸着ヘッド２０は供給
部１から上昇し、認識部５の上方へ移動し、ここでカメ
ラ７により吸着ヘッド２０の下面の撮像が行われる。This conductive ball transfer device is constructed as described above, and its operation will be described below. In FIG. 1, the suction head 20 is located above the supply unit 1,
The conductive balls 4 in the container 3 are lowered. When the lower surface of the suction head 20 sinks below the upper surface of the conductive ball 4, the suction means (not shown) is driven to suck the inside of the suction head 20. As a result, the conductive balls 4 are vacuum-sucked to the suction holes 22. After that, the suction head 20 rises from the supply unit 1 and moves to above the recognition unit 5, where the camera 7 images the lower surface of the suction head 20.
【００２３】このとき、吸着された導電性ボール４やそ
の他の異物が保護板８上に落下することがあるが、この
ような場合でも、落下した導電性ボール４や異物は保護
板８の傾斜面上を転落して受け箱９に落下するので、保
護板８上面に導電性ボール４などが残留することがな
い。したがって撮像時には撮像視野内に妨害物が存在せ
ず、正常な画像を取得することができる。At this time, the attracted conductive balls 4 and other foreign matters may drop onto the protective plate 8. Even in such a case, the dropped conductive balls 4 and foreign matters are inclined to the protective plate 8. Since it falls on the surface and falls into the receiving box 9, the conductive balls 4 and the like do not remain on the upper surface of the protective plate 8. Therefore, at the time of image capturing, there is no obstacle in the image capturing visual field, and a normal image can be acquired.
【００２４】ここで、導電性ボール４の吸着ミスが検出
されたならば吸着ヘッド２０を再度供給部１上へ移動さ
せ、一旦導電性ボール４の吸着を解除した後、再度吸着
動作を行わせる。このように吸着動作を繰り返し、正常
に導電性ボール４を吸着したことが確認されたならば、
吸着ヘッド２０を位置決め部１０上へ移動させる。そこ
で吸着ヘッド２０に再度昇降動作を行わせ、真空吸着を
解除することにより、吸着ヘッド２０の下面に吸着した
導電性ボール４を基板１７上に移載する。Here, if a suction error of the conductive ball 4 is detected, the suction head 20 is moved again onto the supply unit 1, the suction of the conductive ball 4 is once released, and then the suction operation is performed again. . If it is confirmed that the conductive balls 4 are normally adsorbed by repeating the adsorption operation in this manner,
The suction head 20 is moved onto the positioning unit 10. Therefore, the suction head 20 is again moved up and down, and the vacuum suction is released, so that the conductive balls 4 sucked on the lower surface of the suction head 20 are transferred onto the substrate 17.
【００２５】（実施の形態２）図３は本発明の実施の形
態２の導電性ボールの移載装置の正面図、図４（ａ）は
同導電性ボールの移載装置の部分斜視図、図４（ｂ）は
同導電性ボールの移載装置の吸着ヘッドの下面の画像
図、図５、図６は同導電性ボールの移載装置の部分正面
図である。図３に示すように、本実施の形態２は認識部
５’の構成のみが実施の形態１と異り、他は実施の形態
１と同様であるので、これら同様の部分については説明
を省略する。(Second Embodiment) FIG. 3 is a front view of a conductive ball transfer device according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 4 (a) is a partial perspective view of the conductive ball transfer device. FIG. 4B is an image view of the lower surface of the suction head of the conductive ball transfer device, and FIGS. 5 and 6 are partial front views of the conductive ball transfer device. As shown in FIG. 3, the second embodiment is different from the first embodiment only in the configuration of the recognition unit 5 ′, and is otherwise the same as the first embodiment, and therefore the description of these similar parts will be omitted. To do.
【００２６】図３において、カメラ７の上方には透明な
保護板８’が水平に配設されている。保護板８’の側方
には第１のエアブロー手段であるエアノズル２７が備え
られており、エアノズル２７からは保護板８’上面に対
してエアが噴出される。次に動作を説明する。実施の形
態１と同様に、導電性ボール４を吸着した吸着ヘッド２
０を認識部５’の上方に位置させてカメラ７により吸着
ヘッド２０の下面を撮像する。In FIG. 3, a transparent protective plate 8'is horizontally arranged above the camera 7. An air nozzle 27, which is a first air blowing means, is provided on the side of the protective plate 8 ′, and air is ejected from the air nozzle 27 to the upper surface of the protective plate 8 ′. Next, the operation will be described. Similar to the first embodiment, the adsorption head 2 that adsorbs the conductive balls 4
The image of the lower surface of the suction head 20 is captured by the camera 7 with 0 positioned above the recognition unit 5 ′.
【００２７】このとき図４（ａ）に示すように、保護板
８’上に落下した導電性ボール４や糸くずなどのゴミ２
８が残留して撮像視野内の妨害物となり、図４（ｂ）の
画像図に示すように、正常な画像の取得を妨げることが
ある。図４（ｂ）中の４’は保護板８’上の導電性ボー
ル４によって遮光された部分が暗像として画像上に現れ
た例を示しており、２８’はゴミ２８が同様に画像中に
現れた例を示している。このような暗像部分の存在は導
電性ボール４の正常な画像認識を妨げ、誤認識の原因と
なる。At this time, as shown in FIG. 4A, dust 2 such as conductive balls 4 and lint dropped on the protective plate 8 '.
8 remains and becomes an obstacle in the imaging visual field, which may hinder the acquisition of a normal image as shown in the image view of FIG. 4'in FIG. 4B shows an example in which a portion of the protective plate 8'shielded by the conductive balls 4 appears as a dark image on the image, and 28 'indicates dust 28 in the image as well. Shows an example that appeared in. The presence of such a dark image portion hinders the normal image recognition of the conductive ball 4 and causes an erroneous recognition.
【００２８】そこで図５に示すように、エアノズル２７
よりエアを噴出させて保護板８’の上面のエアブローを
行う。これにより、保護板８’の上面に残留する導電性
ボール４やゴミ２８を吹き飛ばして排除することができ
る。また、図６に示すように、導電性ボール４を移載し
た後の吸着ヘッド２０を保護板８’上に移動させ、第２
のエアブロー手段であるエア供給源２９より吸着ヘッド
２０内にエアを供給し、吸着孔２２から保護板８’の上
面に対してエアを噴出させるようにしてもよい。この方
法によっても、保護板８’の上面に残留する導電性ボー
ル４やゴミなどの異物を除去して保護板８’の周囲に設
けられた受け箱９’に落下させることができる。Therefore, as shown in FIG. 5, the air nozzle 27
More air is ejected to blow air on the upper surface of the protective plate 8 '. As a result, the conductive balls 4 and dust 28 remaining on the upper surface of the protective plate 8'can be blown away and eliminated. Further, as shown in FIG. 6, the suction head 20 after the conductive balls 4 have been transferred is moved onto the protection plate 8 ′, and the second
It is also possible to supply air into the suction head 20 from the air supply source 29, which is an air blowing means, and jet the air from the suction holes 22 to the upper surface of the protective plate 8 ′. Also by this method, foreign matters such as the conductive balls 4 and dust remaining on the upper surface of the protective plate 8 ′ can be removed and dropped into the receiving box 9 ′ provided around the protective plate 8 ′.
【００２９】上記各実施の形態に示すように、上方に向
けて配置されたカメラ７の保護板を傾斜させて配設する
ことにより、また保護板の上面をエアブローすることに
より、保護板の上面に導電性ボールや異物が残留するこ
とに起因する誤認識を防止することができる。なお、上
記各実施の形態では、ワークとして導電性ボール４を例
に挙げているが、本発明の対象としては、導電性ボール
以外のワークであっても、真空吸着による移載が行わ
れ、下方からの画像認識の対象となるワークであればよ
い。As shown in each of the above-mentioned embodiments, by arranging the protective plate of the camera 7 arranged upwards in a tilted manner, and by blowing the upper surface of the protective plate with air, the upper surface of the protective plate is increased. It is possible to prevent erroneous recognition due to remaining conductive balls and foreign matters. In each of the above embodiments, the conductive ball 4 is taken as an example of the work, but the object of the present invention is to transfer a work other than the conductive ball by vacuum suction, Any work can be used as long as it is a target for image recognition from below.
【００３０】[0030]
【発明の効果】本発明によれば、撮像手段の上方に配設
される透明な保護板上に落下して残留するワークや異物
を、保護板を傾斜させることにより、また保護板上をエ
アブローすることにより、これらのワークや異物が保護
板上面に残留して撮像視野を妨げることを防止すること
ができる。したがって、撮像時に正常な画像を取得し
て、誤認識を防止することができる。According to the present invention, workpieces and foreign substances that have fallen and remain on the transparent protective plate disposed above the image pickup means can be blown by inclining the protective plate by air blow. By doing so, it is possible to prevent these works and foreign matter from remaining on the upper surface of the protective plate and obstructing the imaging visual field. Therefore, a normal image can be acquired at the time of image capturing, and erroneous recognition can be prevented.
【図１】本発明の実施の形態１の導電性ボールの移載装
置の正面図FIG. 1 is a front view of a conductive ball transfer device according to a first embodiment of the present invention.
【図２】（ａ）本発明の実施の形態１の導電性ボールの
移載装置の部分斜視図
（ｂ）本発明の実施の形態１の導電性ボールの移載装置
の吸着ヘッドの下面の画像図FIG. 2A is a partial perspective view of the conductive ball transfer device according to the first embodiment of the present invention. FIG. 2B is a bottom view of the suction head of the conductive ball transfer device according to the first embodiment of the present invention. Image
【図３】本発明の実施の形態２の導電性ボールの移載装
置の正面図FIG. 3 is a front view of a conductive ball transfer device according to a second embodiment of the present invention.
【図４】（ａ）本発明の実施の形態２の導電性ボールの
移載装置の部分斜視図
（ｂ）本発明の実施の形態２の導電性ボールの移載装置
の吸着ヘッドの下面の画像図FIG. 4A is a partial perspective view of the conductive ball transfer device according to the second embodiment of the present invention. FIG. 4B is a bottom view of the suction head of the conductive ball transfer device according to the second embodiment of the present invention. Image
【図５】本発明の実施の形態２の導電性ボールの移載装
置の部分正面図FIG. 5 is a partial front view of a conductive ball transfer device according to a second embodiment of the present invention.
【図６】本発明の実施の形態２の導電性ボールの移載装
置の部分正面図FIG. 6 is a partial front view of a conductive ball transfer device according to a second embodiment of the present invention.
１ 供給部 ４ 導電性ボール ５、５’ 認識部 ７ カメラ ８、８’ 保護板 １０ 位置決め部 １７ 基板 ２０ 吸着ヘッド ２２ 吸着孔 ２３ Ｚテーブル ２５ 移動テーブル ２７ エアノズル ２９ エア供給源 1 supply section 4 conductive balls 5, 5'recognition unit 7 camera 8,8 'protection plate 10 Positioning part 17 board 20 Suction head 22 Adsorption hole 23 Z table 25 moving table 27 Air nozzle 29 Air supply source
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｌ 21/92 ６０４Ｚ ６０４Ｔ (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/50 H01L 21/60 H01L 23/12 B23P 19/00 B23P 21/00 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI H01L 21/92 604Z 604T (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) H01L 21/50 H01L 21/60 H01L 23 / 12 B23P 19/00 B23P 21/00
Claims (8)
らワークを真空吸着によりピックアップして所定の位置
へ移載する吸着ヘッドと、この吸着ヘッドを昇降させる
昇降手段と、前記吸着ヘッドを水平方向へ移動させる移
動手段と、ワークを吸着した吸着ヘッドの下面を撮像し
てワークの状態を認識する認識部とを備え、前記認識部
の撮像手段の上方に透明な保護板を傾斜させて配設し、
この保護板上に落下するワークや異物を傾斜により排除
することを特徴とするワークの移載装置。1. A supply unit for supplying a work, a suction head for picking up the work from the supply unit by vacuum suction and transferring the work to a predetermined position, an elevating means for moving the suction head up and down, and the suction head. It comprises a moving means for moving in the horizontal direction and a recognition section for recognizing the state of the work by imaging the lower surface of the suction head sucking the work, and a transparent protection plate is tilted above the imaging means of the recognition section. Arranged,
A work transfer device characterized in that a work and a foreign substance falling on the protective plate are removed by an inclination.
徴とする請求項１記載のワークの移載装置。2. The work transfer device according to claim 1, wherein the work is a conductive ball.
らワークを真空吸着によりピックアップして所定の位置
へ移載する吸着ヘッドと、この吸着ヘッドを昇降させる
昇降手段と、前記吸着ヘッドを水平方向へ移動させる移
動手段と、ワークを吸着した吸着ヘッドの下面を撮像し
てワークの状態を認識する認識部とを備え、前記認識部
の撮像手段の上方に透明な保護板を配設し、この保護板
に対してエアを噴出して保護板上に落下するワークや異
物を排除する第１のエアブロー手段を設けたことを特徴
とするワークの移載装置。3. A supply unit for supplying the work, a suction head for picking up the work from the supply unit by vacuum suction and transferring the work to a predetermined position, an elevating means for moving the suction head up and down, and the suction head. It comprises a moving means for moving in the horizontal direction and a recognition unit for recognizing the state of the work by imaging the lower surface of the suction head that has sucked the work, and a transparent protection plate is arranged above the image sensing means of the recognition unit. A work transfer device comprising a first air blow means for ejecting air to the protective plate to drop a work and foreign matter falling on the protective plate.
徴とする請求項３記載のワークの移載装置。4. The work transfer device according to claim 3, wherein the work is a conductive ball.
らワークを真空吸着によりピックアップして所定の位置
へ移載する吸着ヘッドと、この吸着ヘッドを昇降させる
昇降手段と、前記吸着ヘッドを水平方向へ移動させる移
動手段と、ワークを吸着した吸着ヘッドの下面を撮像し
てワークの状態を認識する認識部とを備え、前記認識部
の撮像手段の上方に透明な保護板を配設し、この保護板
上に落下するワークや異物を、前記吸着ヘッドの吸着孔
からのエアの噴出により排除する第２のエアブロー手段
を設けたことを特徴とするワークの移載装置。5. A supply unit for supplying a work, a suction head for picking up the work from the supply unit by vacuum suction and transferring it to a predetermined position, an elevating means for moving the suction head up and down, and the suction head. It comprises a moving means for moving in the horizontal direction and a recognition unit for recognizing the state of the work by imaging the lower surface of the suction head that has sucked the work, and a transparent protection plate is arranged above the image sensing means of the recognition unit. A work transfer device characterized in that a second air blow means is provided for removing the work and foreign matter falling on the protective plate by ejecting air from the suction holes of the suction head.
徴とする請求項５記載のワークの移載装置。6. The work transfer device according to claim 5, wherein the work is a conductive ball.
クを真空吸着してピックアップし、所定の位置へ移載す
るワークの移載方法であって、ワークを供給部からピッ
クアップした後およびまたは所定の位置へ移載した後に
認識部の撮像手段によって前記吸着ヘッドの下面を撮像
して前記ワークの状態を認識する工程と、前記撮像手段
の上方に配設された透明な保護板上に落下するワークや
異物を前記吸着ヘッドの吸着孔からエアーを噴出させる
ことにより排除する工程とを含むことを特徴とするワー
クの移載方法。7. A method of transferring a work, wherein a work is vacuum-sucked by a suction head from a work supply part and picked up and transferred to a predetermined position, the work being picked up from the supply part and / or a predetermined position. After the transfer to the position, a step of recognizing the state of the work by imaging the lower surface of the suction head by the imaging means of the recognition unit, and the work falling on the transparent protection plate arranged above the imaging means. And a method of removing foreign matter by ejecting air from the suction holes of the suction head.
徴とする請求項７記載のワークの移載方法。8. The method of transferring a work according to claim 7, wherein the work is a conductive ball.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12570498A JP3428431B2 (en) | 1998-05-08 | 1998-05-08 | Work transfer device and transfer method |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP12570498A JP3428431B2 (en) | 1998-05-08 | 1998-05-08 | Work transfer device and transfer method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11330118A JPH11330118A (en) | 1999-11-30 |
| JP3428431B2 true JP3428431B2 (en) | 2003-07-22 |
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| CN110509022A (en) * | 2019-08-30 | 2019-11-29 | 中国电子科技集团公司第十四研究所 | Hair button automatic assembling apparatus and its method |
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- 1998-05-08 JP JP12570498A patent/JP3428431B2/en not_active Expired - Fee Related
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| JPH11330118A (en) | 1999-11-30 |
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