JP3427032B2 - Electret condenser microphone - Google Patents

Electret condenser microphone

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JP3427032B2
JP3427032B2 JP2000052613A JP2000052613A JP3427032B2 JP 3427032 B2 JP3427032 B2 JP 3427032B2 JP 2000052613 A JP2000052613 A JP 2000052613A JP 2000052613 A JP2000052613 A JP 2000052613A JP 3427032 B2 JP3427032 B2 JP 3427032B2
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electret condenser
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vibrating membrane
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    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
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    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/161Cap
    • H01L2924/1615Shape
    • H01L2924/16195Flat cap [not enclosing an internal cavity]

Landscapes

  • Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、エレクトレットコ
ンデンサマイクロホンに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electret condenser microphone.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のエレクトレットコンデンサマイク
ロホンの構造を図4に示す。中央部に音孔22aを有す
る筒状の金属ケース22の天面上に面布21を備え、天
面内側に膜リング23を介して、表面に蒸着等によって
金属層を形成したエレクトレット材からなる振動膜24
を備えている。振動膜24は、ギャップスペーサ25を
介して、コンデンサギャップ32を隔てて固定電極26
と対向配置し、さらに下方にFET28を収納した凹状
の絶縁体27とプリント基板29を配置し、上記金属ケ
ース22のカシメ部22bで固定されている。
2. Description of the Related Art The structure of a conventional electret condenser microphone is shown in FIG. It is made of an electret material in which a face cloth 21 is provided on the top surface of a cylindrical metal case 22 having a sound hole 22a in the central portion, and a metal layer is formed on the surface by vapor deposition or the like via a film ring 23 inside the top surface. Vibrating membrane 24
Is equipped with. The vibrating film 24 includes a fixed electrode 26 and a capacitor spacer 32 via a gap spacer 25.
The concave insulator 27 accommodating the FET 28 and the printed circuit board 29 are disposed further below, and are fixed by the caulking portion 22b of the metal case 22.

【0003】上記FET28の入力リード28aは固定
電極26に接続され、出力リード28bは絶縁体7とプ
リント基板29を貫通し、底面のハンダ付部29aに接
続している。一方、振動膜24は膜リング23によって
金属ケース22に導通している。
The input lead 28a of the FET 28 is connected to the fixed electrode 26, and the output lead 28b penetrates the insulator 7 and the printed board 29 and is connected to the soldered portion 29a on the bottom surface. On the other hand, the vibrating membrane 24 is electrically connected to the metal case 22 by the membrane ring 23.

【0004】いま、音孔22aから音声が入力すると振
動膜24が振動し、これによって振動膜24と固定電極
26間の静電容量が変化するため、これを検出すること
によって音声信号を得ることができる。
When a voice is input from the sound hole 22a, the vibrating membrane 24 vibrates, and the capacitance between the vibrating membrane 24 and the fixed electrode 26 changes. Therefore, a voice signal can be obtained by detecting this. You can

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のような
従来のエレクトレットコンデンサマイクロホンは、以下
のような問題があった。
However, the conventional electret condenser microphone as described above has the following problems.

【0006】(1)エレクトレットコンデンサマイクロ
ホンは小型軽量化が求められているが、従来のもので
は、部品点数が多く、またカシメ部22bやハンダ付部
29a等の厚みを小さくすることができず、また絶縁体
27やプリント基板29尚の存在のために、全体を小型
軽量薄型化することができなかった。
(1) The electret condenser microphone is required to be small and lightweight, but in the conventional one, the number of parts is large and the thickness of the crimped portion 22b, the soldered portion 29a, etc. cannot be reduced, Further, due to the presence of the insulator 27 and the printed circuit board 29, it was not possible to reduce the size and weight of the entire device.

【0007】(2)金属ケース22のカシメで固定する
ため気密性が不充分であり、各部品をハンダやロウなど
で接合することができなかった。
(2) Since the metal case 22 is fixed by caulking, the airtightness is insufficient, and it is impossible to join the respective parts with solder or solder.

【0008】(3)振動膜24の材質はFEP等のフッ
素系樹脂、マイラー等のポリエステル系樹脂等が用いら
れており、その耐熱性に限界があるため、マイクロホン
をプリント基板に接合することが困難であった。
(3) The vibrating membrane 24 is made of a fluorine resin such as FEP or a polyester resin such as Mylar, and its heat resistance is limited. Therefore, the microphone may be bonded to the printed circuit board. It was difficult.

【0009】例えば、図5(a)に示すようにマイクロ
ホン40に縦方向のリード42を備え、プリント基板4
1の貫通孔42に固定する方法では、貫通孔42を加工
する手間が必要であり、また取付けのスペースが大きく
なってしまうという不都合があった。
For example, as shown in FIG. 5A, a microphone 40 is provided with a vertical lead 42, and a printed circuit board 4 is provided.
The method of fixing to the through hole 42 of No. 1 has a disadvantage that the through hole 42 needs to be processed and the mounting space becomes large.

【0010】また、図5(b)に示すように、マイクロ
ホン40を導電性ゴムなどのソケット43で保持してプ
リント基板41に固定する方法では、ソケット43が高
価であり厚みが大きくなるという問題があった。
Further, as shown in FIG. 5B, in the method of holding the microphone 40 by the socket 43 made of conductive rubber or the like and fixing it to the printed circuit board 41, the socket 43 is expensive and has a large thickness. was there.

【0011】さらに、図5(c)に示すように、マイク
ロホン40に横方向のリード44を備えたものでは、広
い面積が必要となって実装効率が悪かった。また、図5
(d)(e)に示すようにプリント基板41にフレキシ
ブルシート45を備えてこれにマイクロホン40を固定
したものでも、同様に広い面積を必要とし実装効率が悪
かった。
Further, as shown in FIG. 5C, the microphone 40 having the lateral leads 44 requires a large area, resulting in poor mounting efficiency. Also, FIG.
Even if the printed board 41 is provided with the flexible sheet 45 and the microphone 40 is fixed to the printed board 41 as shown in (d) and (e), the same large area is required and the mounting efficiency is poor.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】そこで本発明は、固定電
極と振動膜とを一定間隔で配置し、両者間の静電容量の
変化によって振動膜に与えられた音声信号を検出するよ
うにしたエレクトレットコンデンサマイクロホンにおい
て、絶縁材からなる箱型ケースの表面に導電路を形成す
るとともに上端面をメタライズし、上記箱型ケース内に
上記固定電極及び振動膜とを収納し、これらを覆う金属
板の蓋体を導電性接着剤で上記メタライズ部に接合した
ことを特徴とする。
Therefore, in the present invention, the fixed electrode and the vibrating membrane are arranged at a constant interval, and the voice signal given to the vibrating membrane is detected by the change of the electrostatic capacitance between them. In the electret condenser microphone, a conductive path is formed on the surface of a box-shaped case made of an insulating material, the upper end surface is metallized, the fixed electrode and the vibrating membrane are housed in the box-shaped case, and a metal plate covering them is used. The lid is joined to the metallized portion with a conductive adhesive.

【0013】また本発明は、上記箱型ケースをプリント
基板上に導電性接着剤で接合するようにしたことを特徴
とする。
Further, the present invention is characterized in that the box-shaped case is bonded onto a printed circuit board with a conductive adhesive.

【0014】さらに本発明は、上記導電性接着剤として
150℃以下で硬化するものを用いたことを特徴とす
る。
Further, the present invention is characterized in that the above-mentioned conductive adhesive is one which cures at 150 ° C. or lower.

【0015】即ち、本発明は、箱型ケースに各部品を収
納することで小型、薄型で部品点数を少なくするととも
に、比較的低温で硬化する導電性接着剤で蓋体を接合す
ることにより、耐熱性の低い振動膜を用いても強固に各
部材を固定することを可能としたものである。
That is, according to the present invention, by accommodating each part in a box-shaped case, the size and size are reduced, and the number of parts is reduced, and the lid is joined by a conductive adhesive which cures at a relatively low temperature. Even if a vibrating membrane having low heat resistance is used, each member can be firmly fixed.

【0016】同様に、本発明は箱型ケースを導電性接着
剤でプリント基板に固定することで、耐熱性の低い振動
膜を用いても容易に簡単な構造で表面実装できるように
したものである。
Similarly, according to the present invention, a box-shaped case is fixed to a printed circuit board with a conductive adhesive, so that even a vibration film having low heat resistance can be easily surface-mounted with a simple structure. is there.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図によ
って説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0018】図1(a)に示すエレクトレットコンデン
サマイクロホンは、セラミックス、ガラス、樹脂あるい
はこれらを複合した絶縁体からなる箱型ケース9に凹部
9aを備え、この凹部9aに振動膜4と固定電極6とF
ETやIC等の半導体素子8を収納し、板状の蓋体2で
覆ったものである。
The electret condenser microphone shown in FIG. 1 (a) is provided with a recess 9a in a box-shaped case 9 made of ceramics, glass, resin or an insulating material composed of a combination thereof, and the vibration film 4 and the fixed electrode 6 are provided in the recess 9a. And F
A semiconductor element 8 such as an ET or an IC is housed and covered with a plate-shaped lid 2.

【0019】上記蓋体2は中央に音孔2aを備えた金属
板であり、金属層を形成したエレクトレット材からなる
振動膜4を凹部9aの段部9bに備えるとともに、凹部
9aの底面にコンデンサギャップを隔てて固定電極6を
備えている。この下方にはFETやIC等の半導体素子
8を収納してあり、この半導体素子8には増幅回路等が
形成されている。
The lid 2 is a metal plate having a sound hole 2a in the center, and a vibrating membrane 4 made of an electret material having a metal layer is provided on the step 9b of the recess 9a and a capacitor is provided on the bottom of the recess 9a. A fixed electrode 6 is provided with a gap. Below this, a semiconductor element 8 such as an FET or an IC is housed, and an amplifier circuit or the like is formed in this semiconductor element 8.

【0020】さらに、ケース9は、導電ペーストを表面
に印刷したり、スルーホールに充填したり、導電ペース
トを備えたグリーンシートを積層することによって、表
面及び/又は内部に導電路を備えている。まず、蓋体2
に接続する導電路7aは箱型ケース9の外壁を通って底
面の電極取り出し部10aに接続しており、この導電路
7aはRFの回り込みや静電気を防止する作用も成すも
のである。
Further, the case 9 is provided with a conductive path on the surface and / or inside by printing a conductive paste on the surface, filling through holes, or stacking green sheets having a conductive paste. . First, the lid 2
The conductive path 7a connected to is connected to the electrode lead-out portion 10a on the bottom surface through the outer wall of the box-shaped case 9, and the conductive path 7a also has a function of preventing RF wraparound and static electricity.

【0021】また固定電極6は導電路7bと導通して、
半導体素子8の入力端子8aに接続し、さらに出力端子
8bに接続した導電路7cは箱型ケース9の外部に導出
されてもう一方の電極取り出し部10bに接続されてい
る。
The fixed electrode 6 is electrically connected to the conductive path 7b,
The conductive path 7c connected to the input terminal 8a of the semiconductor element 8 and further connected to the output terminal 8b is led out of the box-shaped case 9 and connected to the other electrode lead-out portion 10b.

【0022】なお、図1(b)に示すように箱型ケース
9の上端面9cはメタライズされ、導電性接着剤等で蓋
体2と接着されることによって、この蓋体2は導電路7
aと接続されている。また、振動膜4はこの蓋体2と導
通し、これを通じて電極取り出し部10aに接続してい
る。
As shown in FIG. 1 (b), the upper end surface 9c of the box-shaped case 9 is metallized and adhered to the lid body 2 with a conductive adhesive or the like, so that the lid body 2 is electrically conductive.
It is connected to a. The vibrating membrane 4 is electrically connected to the lid body 2 and is connected to the electrode lead-out portion 10a through the lid body 2.

【0023】なお、上記導電路7a,7cはスルーホー
ルを介して内部に形成することもできる。また、上記電
極取り出し部10aは接地され、他方の電極取り出し部
10bは半導体素子8の電源と、出力端子を兼用してい
る。
The conductive paths 7a and 7c can be formed inside via through holes. The electrode lead-out portion 10a is grounded, and the other electrode lead-out portion 10b also serves as a power source and an output terminal of the semiconductor element 8.

【0024】いま、蓋体2の音孔2aから音声が入力す
ると振動膜4が振動し、これによって振動膜4と固定電
極6間の静電容量が変化することから、これを検出する
ことによって音声信号を得ることができる。
Now, when a sound is input from the sound hole 2a of the lid body 2, the vibrating membrane 4 vibrates, which changes the electrostatic capacitance between the vibrating membrane 4 and the fixed electrode 6. Therefore, by detecting this, An audio signal can be obtained.

【0025】このような本発明のエレクトレットコンデ
ンサマイクロホンは、絶縁体の箱型ケース9を用いるこ
とによって、図4に示すような従来の構造に比べて、絶
縁体27やプリント基板29を無くすことができ、部品
点数を減らして小型化することができる。
In such an electret condenser microphone of the present invention, by using the box-shaped case 9 made of an insulator, the insulator 27 and the printed board 29 can be eliminated as compared with the conventional structure shown in FIG. Therefore, the number of parts can be reduced and the size can be reduced.

【0026】なお、上記半導体素子8と箱型ケース9と
の固定は、鉛スズ系ハンダ、金シリコン(AuSi)、
金スズ(AuSn)、金ゲルマニウム(AuGe)等の
ロウ材、エポキシ系・ポリイミド系・ポリマー系・銀ガ
ラスなどの導電性接着剤を用いる。一方、蓋体2と箱型
ケース9との接合は、室温又は150℃以下の比較的低
温で硬化するような、銀等の導電剤を含有するエポキシ
系・ポリマー系等の導電性接着剤を用いる。そのため、
耐熱性の低い材質からなる振動膜4を用いることがで
き、容易に低コストでマイクロホンを製造できる。
The semiconductor element 8 and the box-shaped case 9 are fixed to each other by using lead-tin solder, gold silicon (AuSi),
A brazing material such as gold tin (AuSn) or gold germanium (AuGe), or a conductive adhesive such as epoxy-based / polyimide-based / polymer-based / silver glass is used. On the other hand, the lid 2 and the box-shaped case 9 are bonded to each other with a conductive adhesive such as an epoxy-based or polymer-based adhesive containing a conductive agent such as silver, which is hardened at room temperature or a relatively low temperature of 150 ° C. or lower. To use. for that reason,
Since the vibrating membrane 4 made of a material having low heat resistance can be used, the microphone can be easily manufactured at low cost.

【0027】あるいは、全体を一括組み立てする場合
は、半導体素子8と箱型ケース9との固定も上記低温硬
化型の導電性接着剤を用いる。
Alternatively, when assembling the whole as a whole, the semiconductor element 8 and the box-shaped case 9 are fixed by using the above-mentioned low temperature curable conductive adhesive.

【0028】上記低温硬化型の導電性接着剤としては、
銀、アルミニウム等の導電剤をエポキシ系、ポリマー系
の樹脂やガラスなどに混合し、体積固有抵抗10-3〜1
-5Ω/cm程度、硬化温度150℃以下となるように
したものである。ここで、硬化温度を150℃以下とし
たのは、一般的な振動膜4の材質であるFEP等のフッ
素系樹脂、マイラー等のポリエステル系樹脂等の耐熱温
度以下で硬化させるためである。
As the above-mentioned low temperature curable type conductive adhesive,
A conductive agent such as silver or aluminum is mixed with epoxy-based or polymer-based resin or glass to obtain a volume resistivity of 10 -3 to 1
The curing temperature is about 0 −5 Ω / cm and the curing temperature is 150 ° C. or less. Here, the curing temperature is set to 150 ° C. or less in order to cure it at a temperature lower than the heat resistant temperature of a fluorine-based resin such as FEP or a polyester-based resin such as Mylar which is a material of a general vibrating film 4.

【0029】また、本発明のエレクトレットコンデンサ
マイクロホンは、図1(c)に示すように箱型ケース9
の底面の両側に電極取り出し部10a,10bを備えて
いるため、表面実装による電極取り出し構造を容易にす
ることができる。
The electret condenser microphone of the present invention has a box-shaped case 9 as shown in FIG. 1 (c).
Since the electrode lead-out portions 10a and 10b are provided on both sides of the bottom surface of the, the electrode lead-out structure by surface mounting can be facilitated.

【0030】即ち、プリント基板上に本発明のエレクト
レットコンデンサマイクロホンを載置し、上記低温硬化
型の導電性接着剤で固定することによって、極めて簡単
な構造で実装することができる。
That is, by mounting the electret condenser microphone of the present invention on a printed circuit board and fixing it with the above-mentioned low temperature curing type conductive adhesive, it is possible to mount with an extremely simple structure.

【0031】さらに、上記箱型ケース9は、平面視した
ときの形状が四角形となった角型である。そのため、同
様に角型をした半導体素子8を収納した場合に無駄がな
いことから、全体をより小型化することができる。しか
も、このマイクロホンを表面実装する際に、角型である
ことにより取り扱いが容易であり、位置決めも簡単であ
る。
Further, the box-shaped case 9 has a rectangular shape in a plan view when viewed from above. Therefore, since there is no waste when the rectangular semiconductor element 8 is housed in the same manner, the overall size can be further reduced. Moreover, when the microphone is mounted on the surface, the square shape facilitates handling and positioning.

【0032】また、箱型ケース9を成す絶縁体として、
特にアルミナ、ジルコニア、ムライト、炭化珪素、窒化
珪素、窒化アルミニウム等を主成分とするセラミックス
を用いれば、特に振動減衰特性を向上させることができ
る。即ち、これらのセラミックスは、金属材などに比べ
て振動を減衰させる効果が大きいため、特に携帯電話等
の用途に用いる場合でも、外部の振動を内側に伝えにく
くすることができ、マイクロホンの性能を向上させるこ
とができる。
As an insulator forming the box-shaped case 9,
Particularly, when a ceramic containing alumina, zirconia, mullite, silicon carbide, silicon nitride, aluminum nitride, etc. as a main component is used, vibration damping characteristics can be particularly improved. That is, since these ceramics have a greater effect of damping vibrations than metal materials and the like, even when used for applications such as mobile phones, it is possible to make it difficult to transmit external vibrations to the inside and improve the performance of the microphone. Can be improved.

【0033】さらに、本発明では箱型ケース9を用いた
ため、蓋体2は平板状でよく、加工を容易にすることが
できる。そのため、図1(d)に示すように例えばメッ
シュ状の音孔2aを備えた構造とすることもできる。通
常は音孔2aからの異物の侵入を防止するために面布
(不図示)等で覆う必要があるが、このようにメッシュ
状の音孔2aとすることによって、面布を省略すること
ができる。
Further, since the box-shaped case 9 is used in the present invention, the lid 2 may be in the form of a flat plate, which facilitates the processing. Therefore, as shown in FIG. 1D, for example, a structure having a mesh-shaped sound hole 2a can be adopted. Normally, it is necessary to cover with a face cloth (not shown) or the like in order to prevent foreign matter from entering through the sound hole 2a, but by using the mesh-shaped sound hole 2a in this way, the face cloth can be omitted. it can.

【0034】次に本発明の他の実施形態を図2に示す。
この実施形態は、固定電極6と蓋体2を兼用させたもの
である。
Next, another embodiment of the present invention is shown in FIG.
In this embodiment, the fixed electrode 6 and the lid 2 are combined.

【0035】即ち、箱型ケース9の上面を覆う蓋体2の
下方にギャップスペーサ5を介して振動膜4を備え、こ
の振動膜4は段部9bに載置して導電路7b、半導体素
子8、導電路7cを通じて電極取り出し部10bに接続
している。また固定電極を兼用する蓋体2は導電路7a
を通じてもう一方の電極取り出し部10aに接続してい
る。
That is, the vibrating film 4 is provided below the lid 2 that covers the upper surface of the box-shaped case 9 with the gap spacer 5 interposed therebetween. The vibrating film 4 is placed on the step portion 9b to form the conductive path 7b and the semiconductor element. 8 and the electrode lead-out part 10b through the conductive path 7c. The lid 2 which also serves as a fixed electrode has a conductive path 7a.
It is connected to the other electrode lead-out part 10a through.

【0036】この構造では、さらに部品点数を少なくし
て小型化することができる。
With this structure, the number of parts can be further reduced and the size can be reduced.

【0037】さらに他の実施形態を図3(a)に示すよ
うに、箱型ケース9の内側に二つの段部9b,9b’を
備えておいて、この段部9b’に半導体素子8の入力リ
ード8a,出力リード8bを載置し、導電路と接続する
こともできる。あるいは、図3(b)(c)に示すよう
に、リードのない半導体素子8を用いてワイヤボンディ
ング11により導電路と接続することもできる。
In another embodiment, as shown in FIG. 3A, a box-shaped case 9 is provided with two step portions 9b and 9b ', and the semiconductor element 8 is provided on the step portion 9b'. The input lead 8a and the output lead 8b may be placed and connected to the conductive path. Alternatively, as shown in FIGS. 3B and 3C, the semiconductor element 8 having no lead can be used to connect to the conductive path by wire bonding 11.

【0038】また、上記箱型ケース9内に他の電子備品
を搭載することもできる。あるいは小型化した場合に、
振動膜4の振動の反射波が再度振動膜4に入射して特性
を劣化させることを防止するために、凹部内に背室を設
けて空間を広げておくこともできる。
Further, other electronic equipment can be mounted in the box-shaped case 9. Or if it gets smaller,
In order to prevent the reflected wave of the vibration of the vibrating film 4 from entering the vibrating film 4 again and deteriorating the characteristics, a back chamber may be provided in the recess to widen the space.

【0039】さらに、本発明のエレクトレットコンデン
サマイクロホンを製造する際に、多数個取りの手法を用
いて、多数の箱型ケース9が繋がった状態で製造し、最
後に分割することもできる。
Further, when manufacturing the electret condenser microphone of the present invention, it is also possible to manufacture the electret condenser microphone in a state where a large number of box-shaped cases 9 are connected, and finally divide the same.

【0040】[0040]

【発明の効果】本発明によれば、固定電極と振動膜とを
一定間隔で配置し、両者間の静電容量の変化によって振
動膜に与えられた音声信号を検出するようにしたエレク
トレットコンデンサマイクロホンにおいて、絶縁材から
なる箱型ケース内に、上記固定電極及び振動膜を収納
し、これらを覆う蓋体を導電性接着剤で接合したことに
よって、部品点数を減らして小型化することができると
ともに、耐熱性の低い振動膜を用いて容易に製造するこ
とができる。
According to the present invention, the electret condenser microphone in which the fixed electrode and the vibrating membrane are arranged at a constant interval and the voice signal given to the vibrating membrane is detected by the change of the electrostatic capacitance between them. In, in the box-shaped case made of an insulating material, the fixed electrode and the vibrating film are housed, and the lid covering them is joined with a conductive adhesive, so that the number of parts can be reduced and the size can be reduced. It can be easily manufactured by using a vibration film having low heat resistance.

【0041】その結果、本発明のエレクトレットコンデ
ンサマイクロホンは、超薄型液晶モニター、カードリモ
コン、ボイスメモリー、パソコンの音声入力などさまざ
まな用途に使用することができる。
As a result, the electret condenser microphone of the present invention can be used in various applications such as an ultra-thin liquid crystal monitor, a card remote controller, a voice memory, and a voice input of a personal computer.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明のエレクトレットコンデンサマイクロホ
ンを示しており、(a)は縦断面図、(b)は平面図、
(c)は底面図。(d)は蓋体の他の実施形態を示す斜
視図である。
1 shows an electret condenser microphone of the present invention, (a) is a vertical sectional view, (b) is a plan view, FIG.
(C) is a bottom view. (D) is a perspective view showing another embodiment of the lid.

【図2】本発明の他の実施形態を示す縦断面図である。FIG. 2 is a vertical cross-sectional view showing another embodiment of the present invention.

【図3】(a)〜(c)は本発明の他の実施形態を示す
縦断面図である。
3A to 3C are vertical cross-sectional views showing another embodiment of the present invention.

【図4】従来のエレクトレットコンデンサマイクロホン
を示す縦断面図である。
FIG. 4 is a vertical cross-sectional view showing a conventional electret condenser microphone.

【図5】(a)〜(e)は従来のエレクトレットコンデ
ンサマイクロホンの実装方法を示す図である。
5A to 5E are diagrams showing a method of mounting a conventional electret condenser microphone.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2:蓋体 2a:音孔 3:膜リング 4:振動膜 5:ギャップスペーサ 6:固定電極 7a〜7c:導電路 8:半導体素子 9:箱型ケース 9a:凹部 9b、9b’:段部 9c:上端面 10a,10b:電極取り出し部 2: Lid 2a: sound hole 3: Membrane ring 4: Vibration film 5: Gap spacer 6: Fixed electrode 7a-7c: Conductive path 8: Semiconductor element 9: Box type case 9a: concave portion 9b, 9b ': step 9c: Top surface 10a, 10b: Electrode take-out part

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】固定電極と振動膜とを一定間隔で配置し、
両者間の静電容量の変化によって振動膜に与えられた音
声信号を検出するようにしたエレクトレットコンデンサ
マイクロホンにおいて、絶縁材からなる箱型ケースの表
面に導電路を形成するとともに上端面をメタライズし、
上記箱型ケース内に上記固定電極及び振動膜とを収納
、これらを覆う金属板の蓋体を導電性接着剤で上記メ
タライズ部に接合したことを特徴とするエレクトレット
コンデンサマイクロホン。
1. A fixed electrode and a vibrating membrane are arranged at a constant interval,
A table of a box-shaped case made of an insulating material in an electret condenser microphone that detects a voice signal applied to a vibrating membrane by a change in capacitance between the two.
Forming a conductive path on the surface and metallizing the upper end surface,
The fixed electrode and the vibrating membrane are stored in the box-shaped case .
And, the main the lid of the metal plate covering them with a conductive adhesive
An electret condenser microphone characterized by being joined to the riser section .
【請求項2】上記箱型ケースをプリント基板上に導電性
接着剤で接合することを特徴とする請求項1記載のエレ
クトレットコンデンサマイクロホン。
2. The electret condenser microphone according to claim 1, wherein the box-shaped case is bonded onto a printed circuit board with a conductive adhesive.
【請求項3】上記導電性接着剤が150℃以下で硬化す
るものであることを特徴とする請求項1または2記載の
エレクトレットコンデンサマイクロホン。
3. The electret condenser microphone according to claim 1, wherein the conductive adhesive is hardened at 150 ° C. or lower.
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