JP3377957B2 - Electret condenser microphone - Google Patents

Electret condenser microphone

Info

Publication number
JP3377957B2
JP3377957B2 JP37167598A JP37167598A JP3377957B2 JP 3377957 B2 JP3377957 B2 JP 3377957B2 JP 37167598 A JP37167598 A JP 37167598A JP 37167598 A JP37167598 A JP 37167598A JP 3377957 B2 JP3377957 B2 JP 3377957B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
box
electret condenser
fixed electrode
condenser microphone
vibrating membrane
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP37167598A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2000197192A (en
Inventor
宏志 畝
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Corp filed Critical Kyocera Corp
Priority to JP37167598A priority Critical patent/JP3377957B2/en
Publication of JP2000197192A publication Critical patent/JP2000197192A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3377957B2 publication Critical patent/JP3377957B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、エレクトレットコ
ンデンサマイクロホンに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electret condenser microphone.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のエレクトレットコンデンサマイク
ロホンの構造を図6に示す。中央部に音孔22aを有す
る筒状の金属ケース22の天面上に面布21を備え、天
面内側に膜リング23を介して、表面に蒸着等によって
金属層を形成したエレクトレット材からなる振動膜24
を備えている。振動膜24は、ギャップスペーサ25を
介して、コンデンサギャップ32を隔てて固定電極26
と対向配置し、さらに下方にFET28を収納した凹状
の絶縁体27とプリント基板29を配置し、上記金属ケ
ース22のカシメ部22bで固定されている。
2. Description of the Related Art The structure of a conventional electret condenser microphone is shown in FIG. It is made of an electret material in which a face cloth 21 is provided on the top surface of a cylindrical metal case 22 having a sound hole 22a in the central portion, and a metal layer is formed on the surface by vapor deposition or the like via a film ring 23 inside the top surface. Vibrating membrane 24
Is equipped with. The vibrating film 24 includes a fixed electrode 26 and a capacitor spacer 32 via a gap spacer 25.
The concave insulator 27 accommodating the FET 28 and the printed circuit board 29 are disposed further below, and are fixed by the caulking portion 22b of the metal case 22.

【0003】上記FET28の入力リード28aは固定
電極26に接続され、出力リード28bは絶縁体7とプ
リント基板29を貫通し、底面のハンダ付部9aに接続
している。一方、振動膜24は膜リング23によって金
属ケース22に導通している。
The input lead 28a of the FET 28 is connected to the fixed electrode 26, and the output lead 28b penetrates the insulator 7 and the printed board 29 and is connected to the soldered portion 9a on the bottom surface. On the other hand, the vibrating membrane 24 is electrically connected to the metal case 22 by the membrane ring 23.

【0004】いま、音孔22aから音声が入力すると振
動膜24が振動し、これによって振動膜24と固定電極
26間の静電容量が変化するため、これを検出すること
によって音声信号を得ることができる。
When a voice is input from the sound hole 22a, the vibrating membrane 24 vibrates, and the capacitance between the vibrating membrane 24 and the fixed electrode 26 changes. Therefore, a voice signal can be obtained by detecting this. You can

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のような
従来のエレクトレットコンデンサマイクロホンは、以下
のような問題があった。
However, the conventional electret condenser microphone as described above has the following problems.

【0006】(1)エレクトレットコンデンサマイクロ
ホンは小型軽量化が求められているが、従来のもので
は、部品点数が多く、またカシメ部22bやハンダ付部
29a等の厚みを小さくすることができず、また絶縁体
27やプリント基板29尚の存在のために、全体を小型
軽量化することができなかった。
(1) The electret condenser microphone is required to be small and lightweight, but in the conventional one, the number of parts is large, and the thickness of the caulking portion 22b and the soldered portion 29a cannot be reduced, Further, due to the presence of the insulator 27 and the printed circuit board 29, it was not possible to reduce the size and weight of the whole.

【0007】(2)従来のエレクトレットコンデンサマ
イクロホンは、固定電極26からプリント基板29まで
をアンプブロックとして組み立てておき、上下を逆にし
た金属ケース22内に各部品を置いて、最後にかしめる
ため、量産が困難であり、生産性が低かった。
(2) In the conventional electret condenser microphone, the fixed electrode 26 to the printed circuit board 29 are assembled as an amplifier block, the parts are placed in the metal case 22 which is turned upside down, and the parts are caulked at the end. , Mass production was difficult, and productivity was low.

【0008】(3)金属ケース22のカシメで固定する
ため、各部品の固定が確実ではなく、故障発生、歩留り
低下の原因となっていた。
(3) Since the metal case 22 is fixed by caulking, the fixing of each component is not reliable, which causes a failure and a decrease in yield.

【0009】(4)表面実装する場合、端子の取り出し
部であるハンダ付部29aが中央にあるため、実装が困
難であり、ショートの恐れが大きかった。
(4) In the case of surface mounting, since the soldered portion 29a, which is a terminal lead-out portion, is located at the center, mounting is difficult and there is a high risk of short-circuiting.

【0010】(5)各部品を小型化した場合、最も小型
化の制約を受ける部品はFET28又はICであり、こ
れらは角形状をしている。ところが従来の金属ケース2
2は円筒状であるため、角形状のFET28を収納する
と無駄が大きかった。しかも、金属ケース22が円筒状
体であるため、実装時等の取り扱いが困難で、位置決め
が難しく、さらには音孔22aを複雑形状にしようとし
ても加工が困難であった。
(5) When each component is miniaturized, the component that is most restricted by miniaturization is the FET 28 or the IC, which have a rectangular shape. However, the conventional metal case 2
Since 2 is a cylindrical shape, storing the square FET 28 was a big waste. Moreover, since the metal case 22 is a cylindrical body, it is difficult to handle at the time of mounting or the like, positioning is difficult, and even if the sound hole 22a is made to have a complicated shape, it is difficult to process.

【0011】(6)金属ケース22は周囲の振動を伝え
やすく、振動膜24に悪影響を及ぼし、特性低下の原因
となっていた。
(6) The metal case 22 easily transmits vibrations in the surroundings, adversely affects the vibrating film 24, and causes deterioration of characteristics.

【0012】(7)プリント基板29を貫通して出力リ
ード28bを備えているため、この部分の気密を保持す
るためにハンダ付部29bが必要であった。
(7) Since the printed board 29 is provided with the output lead 28b, the soldered portion 29b is required to maintain the airtightness of this portion.

【0013】[0013]

【課題を解決する為の手段】そこで本発明は、固定電極
と振動膜とを一定間隔で配置し、両者間の静電容量の変
化によって振動膜に与えられた音声信号を検出するよう
にしたエレクトレットコンデンサマイクロホンにおい
て、絶縁材からなる箱型ケース内に、上記固定電極と振
動膜、駆動用半導体素子を収納して構成したことを特徴
とする。
Therefore, in the present invention, the fixed electrode and the vibrating membrane are arranged at a constant interval, and the voice signal given to the vibrating membrane is detected by the change of the electrostatic capacitance between them. The electret condenser microphone is characterized in that the fixed electrode, the vibrating membrane, and the driving semiconductor element are housed in a box-shaped case made of an insulating material.

【0014】即ち、箱型ケース内に各部品を収納するこ
とによって、従来例のような絶縁体やプリント基板を省
略して部品点数を減らすことができる。しかも、箱型ケ
ースに各部品を載置し蓋体で覆うだけで良いため、量産
が容易であり、各部品を強固に固定することができる。
That is, by accommodating the respective parts in the box-shaped case, it is possible to reduce the number of parts by omitting the insulator and the printed board as in the conventional example. Moreover, since it suffices to place each component on the box-shaped case and cover it with the lid, mass production is easy and each component can be firmly fixed.

【0015】また本発明は、上記箱型ケースの壁面及び
/又は内部に導電路を備え、底面に電極取り出し部を備
えたことによって、簡単な構造で底面の両側に電極取り
出し部を備えることができ、表面実装を容易に行えるよ
うにした。
Further, according to the present invention, the box-shaped case is provided with the conductive paths on the wall surface and / or the inside thereof, and the bottom surface is provided with the electrode lead-out portions. It is possible to do surface mounting easily.

【0016】さらに本発明は、上記箱型ケースの内壁に
段部を備え、該段部に振動膜又は固定電極を載置したこ
とによって、部品点数を減らすとともに、各部品を強固
に固定できるようにした。
Further, according to the present invention, a step portion is provided on the inner wall of the box-shaped case, and the vibrating membrane or the fixed electrode is placed on the step portion, so that the number of parts can be reduced and each part can be firmly fixed. I chose

【0017】また本発明は、上記箱型ケースを角型とす
ることによって、収納するFETやICの形状と一致さ
せるとともに、取り扱いや位置決めを容易にできるよう
にした。
Further, according to the present invention, by making the box-shaped case rectangular, it is possible to match the shapes of the FETs and ICs to be housed and to facilitate handling and positioning.

【0018】さらに本発明は、上記固定電極を箱型ケー
スを覆う蓋体と兼用させることによって、さらに部品点
数を少なくした。
Further, according to the present invention, the number of parts is further reduced by using the fixed electrode also as a lid for covering the box-shaped case.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図によ
って説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0020】図1(a)に示すエレクトレットコンデン
サマイクロホンは、セラミックス、ガラス、樹脂あるい
はこれらを複合した絶縁体からなる箱型ケース9の凹部
9aの内壁に段部9bを備え、この凹部9a内に各部品
を収納して板状の蓋体2で覆ったものである。
The electret condenser microphone shown in FIG. 1 (a) is provided with a step 9b on the inner wall of the recess 9a of the box-shaped case 9 made of ceramics, glass, resin, or an insulating material composed of these, and the recess 9a is provided in the recess 9a. The components are housed and covered with a plate-shaped lid 2.

【0021】蓋体2は中央に音孔2aを備えた金属板で
あり、その下方に膜リング3を介して、金属層を形成し
たエレクトレット材からなる振動膜4を備え、さらにギ
ャップスペーサ5を介してコンデンサギャップを隔てて
固定電極6を備えている。この固定電極6が段部9b上
に載置され、段部9b上のメタライズ部とハンダ、ロ
ウ、導電性接着剤等で接合されており、さらに下方にF
ETやIC等の半導体素子8を収納してあり、この半導
体素子8には増幅回路等が形成されている。
The lid 2 is a metal plate having a sound hole 2a in the center, and a vibrating film 4 made of an electret material having a metal layer formed below it via a film ring 3 and a gap spacer 5 provided. A fixed electrode 6 is provided with a capacitor gap interposed therebetween. The fixed electrode 6 is placed on the stepped portion 9b, and is joined to the metallized portion on the stepped portion 9b with solder, solder, conductive adhesive, etc.
A semiconductor element 8 such as an ET or an IC is housed, and an amplifier circuit or the like is formed in this semiconductor element 8.

【0022】また、箱型ケース9は、導電ペーストを表
面に印刷したり、スルーホールに充填したり、導電ペー
ストを備えたグリーンシートを積層することによって、
表面及び/又は内部に導電路を備えている。まず、蓋体
2に接続する導電路7aは箱型ケース9の外壁を通って
底面の電極取り出し部10aに接続している。また固定
電極6を載置した段部9bに備えた導電路7bは半導体
素子8の入力端子8aに接続し、さらに出力端子8bに
接続した導電路7cは箱型ケース9の外部に導出されて
もう一方の電極取り出し部10bに接続されている。
Further, the box-shaped case 9 is formed by printing a conductive paste on the surface, filling through holes, or laminating green sheets provided with the conductive paste.
Conductive paths are provided on the surface and / or inside. First, the conductive path 7a connected to the lid 2 passes through the outer wall of the box-shaped case 9 and is connected to the electrode lead-out portion 10a on the bottom surface. Further, the conductive path 7b provided on the step portion 9b on which the fixed electrode 6 is mounted is connected to the input terminal 8a of the semiconductor element 8, and the conductive path 7c connected to the output terminal 8b is led out to the outside of the box-shaped case 9. It is connected to the other electrode extraction portion 10b.

【0023】また、図1(b)に示すように箱型ケース
9の上端面9cはメタライズされ、ハンダ、ロウ、導電
性接着剤等で蓋体2と接着されている。そのため、振動
膜4は膜リング3、蓋体2、導電路7aを通じて電極取
り出し部10aに接続している。一方、固定電極6は、
導電路7b、半導体素子8、導電路7cを通じてもう一
方の電極取り出し部10bに接続している。
Further, as shown in FIG. 1B, the upper end surface 9c of the box-shaped case 9 is metallized and adhered to the lid 2 with solder, solder, conductive adhesive or the like. Therefore, the vibrating membrane 4 is connected to the electrode lead-out portion 10a through the membrane ring 3, the lid 2, and the conductive path 7a. On the other hand, the fixed electrode 6 is
It is connected to the other electrode extraction portion 10b through the conductive path 7b, the semiconductor element 8 and the conductive path 7c.

【0024】なお、上記導電路7a,7cはスルーホー
ルを介して内部に形成することもできる。また、上記電
極取り出し部10aは接地され、他方の電極取り出し部
10bは半導体素子8の電源と、出力端子を兼用してい
る。
The conductive paths 7a and 7c may be formed inside via through holes. The electrode lead-out portion 10a is grounded, and the other electrode lead-out portion 10b also serves as a power source and an output terminal of the semiconductor element 8.

【0025】いま、蓋体2の音孔2aから音声が入力す
ると振動膜4が振動し、これによって振動膜4と固定電
極6間の静電容量が変化することから、これを検出する
ことによって音声信号を得ることができる。
Now, when a sound is input from the sound hole 2a of the lid body 2, the vibrating membrane 4 vibrates, which changes the electrostatic capacitance between the vibrating membrane 4 and the fixed electrode 6. Therefore, by detecting this, An audio signal can be obtained.

【0026】このような本発明のエレクトレットコンデ
ンサマイクロホンは、絶縁体の箱型ケース9を用いるこ
とによって、図6に示すような従来の構造に比べて、絶
縁体27やプリント基板29を無くすことができ、部品
点数を減らして小型化することができる。
In such an electret condenser microphone of the present invention, by using the box-shaped case 9 made of an insulator, the insulator 27 and the printed circuit board 29 can be eliminated as compared with the conventional structure shown in FIG. Therefore, the number of parts can be reduced and the size can be reduced.

【0027】さらに、本発明のエレクトレットコンデン
サマイクロホンは、箱型ケース9の凹部9a内に、底の
方から順番に各部品を収納、固定していき、最後に蓋体
2で覆うだけでよいため、製造工程が簡略化され、量産
を容易に行うことができる。しかも、箱型ケース9の内
側に段部9bを備え、この段部9bに固定電極6を接合
し、その他の部品もケースに確実に接合してあることに
より、強固に固定する事が可能となる。
Further, in the electret condenser microphone of the present invention, it suffices to store and fix each component in the recess 9a of the box-shaped case 9 in order from the bottom, and finally cover with the lid 2. The manufacturing process is simplified and mass production can be easily performed. Moreover, since the box-shaped case 9 is provided with the stepped portion 9b, the fixed electrode 6 is joined to the stepped portion 9b, and the other components are also securely joined to the case, it is possible to firmly fix the case. Become.

【0028】また、本発明のエレクトレットコンデンサ
マイクロホンは、図1(c)に示すように箱型ケース9
の底面の両側に電極取り出し部10a,10bを備えて
いるため、表面実装による電極取り出し構造を容易にす
ることができる。
The electret condenser microphone of the present invention has a box-shaped case 9 as shown in FIG. 1 (c).
Since the electrode lead-out portions 10a and 10b are provided on both sides of the bottom surface of the, the electrode lead-out structure by surface mounting can be facilitated.

【0029】さらに、上記箱型ケース9は、平面視した
ときの形状が四角形となった角型である。そのため、同
様に角型をした半導体素子8を収納した場合に無駄がな
いことから、全体をより小型化することができる。しか
も、このマイクロホンを表面実装する際に、角型である
ことにより取り扱いが容易であり、位置決めも簡単であ
る。
Further, the box-shaped case 9 has a rectangular shape when viewed in plan, and has a rectangular shape. Therefore, since there is no waste when the rectangular semiconductor element 8 is housed in the same manner, the overall size can be further reduced. Moreover, when the microphone is mounted on the surface, the square shape facilitates handling and positioning.

【0030】また、箱型ケース9を成す絶縁体として、
特にアルミナ、ジルコニア、ムライト、炭化珪素、窒化
珪素、窒化アルミニウム等を主成分とするセラミックス
を用いれば、特に振動減衰特性を向上させることができ
る。即ち、これらのセラミックスは、金属材などに比べ
て振動を減衰させる効果が大きいため、特に携帯電話等
の用途に用いる場合でも、外部の振動を内側に伝えにく
くすることができ、マイクロホンの性能を向上させるこ
とができる。
As an insulator forming the box-shaped case 9,
Particularly, when a ceramic containing alumina, zirconia, mullite, silicon carbide, silicon nitride, aluminum nitride, etc. as a main component is used, vibration damping characteristics can be particularly improved. That is, since these ceramics have a greater effect of damping vibrations than metal materials and the like, even when used for applications such as mobile phones, it is possible to make it difficult to transmit external vibrations to the inside and improve the performance of the microphone. Can be improved.

【0031】さらに、本発明では箱型ケース9を用いた
ため、蓋体2は平板状でよく、加工を容易にすることが
できる。そのため、例えば図1(d)に示すようにメッ
シュ状の音孔2aを備えた構造とすることもできる。通
常は音孔2aからの異物の侵入を防止するために面布
(不図示)等で覆う必要ががあるが、このようにメッシ
ュ状の音孔2aとすることによって、面布を省略するこ
とができる。
Furthermore, since the box-shaped case 9 is used in the present invention, the lid body 2 may be in the form of a flat plate, which facilitates the processing. Therefore, for example, as shown in FIG. 1D, the structure may be provided with a mesh-shaped sound hole 2a. Normally, it is necessary to cover with a face cloth (not shown) or the like in order to prevent foreign matter from entering through the sound hole 2a, but by using the mesh-like sound hole 2a in this way, the face cloth can be omitted. You can

【0032】また、他の実施形態として、図1(e)に
示すように、箱型ケース9に二つの段部9bを形成し、
それぞれに振動膜4と固定電極6を載置することもでき
る。このようにすれば、さらに膜リング3やギャップス
ペーサ5をなくすことができる。
Further, as another embodiment, as shown in FIG. 1 (e), two step portions 9b are formed in the box-shaped case 9,
The vibrating membrane 4 and the fixed electrode 6 may be placed on each of them. By doing so, the film ring 3 and the gap spacer 5 can be further eliminated.

【0033】さらに、本発明の他の実施形態を説明す
る。
Further, another embodiment of the present invention will be described.

【0034】図2に示すエレクトレットコンデンサマイ
クロホンは、固定電極6と蓋体2を兼用させた例であ
る。即ち、箱型ケース9の上端面を覆う蓋体2の下方に
ギャップスペーサ5を介して振動膜4を備え、この振動
膜4を段部9bに固定する。そして、蓋体2は導電路7
aを通じて電極取り出し部10aに接続し、振動膜4は
導電路7b、半導体素子8、導電路7cを通じて電極取
り出し部10bに接続している。
The electret condenser microphone shown in FIG. 2 is an example in which the fixed electrode 6 and the lid 2 are used in common. That is, the vibrating film 4 is provided below the lid body 2 that covers the upper end surface of the box-shaped case 9 via the gap spacer 5, and the vibrating film 4 is fixed to the step portion 9b. Then, the lid 2 has the conductive path 7
The vibration film 4 is connected to the electrode lead-out portion 10a through a, and the vibrating film 4 is connected to the electrode lead-out portion 10b through the conductive path 7b, the semiconductor element 8, and the conductive path 7c.

【0035】この実施形態では、蓋体2が固定電極6を
兼用しており、蓋体2(固定電極6)と振動膜4間の静
電容量の変化を検出するようになっている。そのため、
図1のものに比べてさらに部品点数を減らして小型化す
ることができる。
In this embodiment, the lid 2 also serves as the fixed electrode 6, and the change in the capacitance between the lid 2 (fixed electrode 6) and the vibrating membrane 4 is detected. for that reason,
The number of parts can be further reduced as compared with that of FIG. 1, and the size can be reduced.

【0036】次に、半導体素子8の取り付け構造につい
て説明する。図1、2の例では半導体素子8の入力リー
ド8aと出力リード8bをそれぞれ導電路7b,7c上
に載置し、ハンダ、ロウ、導電性接着剤等で接合してあ
る。
Next, the mounting structure of the semiconductor element 8 will be described. In the example of FIGS. 1 and 2, the input lead 8a and the output lead 8b of the semiconductor element 8 are placed on the conductive paths 7b and 7c, respectively, and joined by solder, solder, conductive adhesive or the like.

【0037】この他の実施形態として、図3(a)に示
すように、箱形ケース9の内側に二つの段部9a,9
a’を備えておいて、この段部9a’に半導体素子8の
入力リード8a、出力リード8bを載置し、導電路と接
合することもできる。あるいは、図3(b)(c)に示
すように、リードのない半導体素子8をもちいてワイヤ
ボンディング11により導電路と接続することもでき
る。
As another embodiment, as shown in FIG. 3A, two step portions 9a, 9 are provided inside the box-shaped case 9.
By providing a ′, the input lead 8a and the output lead 8b of the semiconductor element 8 can be placed on this step 9a ′ and joined to the conductive path. Alternatively, as shown in FIGS. 3B and 3C, it is also possible to use a semiconductor element 8 having no lead and connect it to the conductive path by wire bonding 11.

【0038】さらに、本発明では絶縁体の箱型ケース9
を用いていいることから、他の電子部品を搭載すること
も容易にできる。例えば、図4(a)に示すように半導
体素子8の下方に段部を形成し、この中に他の電子部品
12を備えたり、あるいは刃子方ケース9の底面側に凹
部を形成してこの中に他の電子部品12を備えることも
できる。
Further, according to the present invention, the box-shaped case 9 made of an insulator is used.
It is also possible to easily mount other electronic parts because the electronic parts are used. For example, as shown in FIG. 4A, a step is formed below the semiconductor element 8 and another electronic component 12 is provided therein, or a recess is formed on the bottom side of the blade case 9. Other electronic components 12 may be included in this.

【0039】また、本発明のエレクトレットコンデンサ
マイクロホンを製造する際に、多数個取りの手法を用い
て、大量生産を行うことができる。例えば、図5に示す
ように、セラミックスやガラス等の絶縁体からなる基板
13上に、多数の凹部9aを形成したものを作製してお
き、分割線14に沿って分割することによって各箱型ケ
ース9を得ることができる。あるいは、分割前に各凹部
9aに各部品を収納してエレクトレットコンデンサマイ
クロホンを作製した後で分割線14に沿って分割するこ
ともできる。
Further, when the electret condenser microphone of the present invention is manufactured, it is possible to mass-produce it by using a method of taking a large number of pieces. For example, as shown in FIG. 5, a substrate 13 made of an insulator such as ceramics or glass is provided with a large number of recesses 9a formed therein, and each box-shaped product is divided by dividing along a dividing line 14. Case 9 can be obtained. Alternatively, it is also possible to store each part in each recess 9a before the division to manufacture the electret condenser microphone, and then divide along the dividing line 14.

【0040】上記分割線14に沿った分割は、予め基板
13上に形成した分割溝によって切断したり、あるいは
ダイヤモンドカッタやレーザ光線等を用いて切断する。
このような方法を用いれば、大量のエレクトレットコン
デンサマイクロホンを一括生産することができる。
The division along the division line 14 is performed by dividing with a dividing groove formed on the substrate 13 in advance, or by using a diamond cutter, a laser beam or the like.
If such a method is used, a large number of electret condenser microphones can be collectively manufactured.

【0041】[0041]

【発明の効果】本発明によれば、固定電極と振動膜とを
一定間隔で配置し、両者間の静電容量の変化によって振
動膜に与えられた音声信号を検出するようにしたエレク
トレットコンデンサマイクロホンにおいて、絶縁材から
なる箱型ケース内に、上記固定電極と振動膜、駆動用半
導体素子を収納して構成したことによって、部品点数を
減らして小型化することができるとともに、量産が容易
であり、各部品を強固に固定することができる。
According to the present invention, the electret condenser microphone in which the fixed electrode and the vibrating membrane are arranged at a constant interval and the voice signal given to the vibrating membrane is detected by the change of the electrostatic capacitance between them. In the above, since the fixed electrode, the vibrating film, and the driving semiconductor element are housed in a box-shaped case made of an insulating material, the number of parts can be reduced and the size can be reduced, and mass production is easy. , Each part can be firmly fixed.

【0042】また、上記箱型ケースの壁面及び/又は内
部に導電路を備え、底面に電極取り出し部を備えたこと
によって、簡単な構造で底面の両側に電極取り出し部を
備えることができ、表面実装を容易に行うことができ
る。
In addition, since the conductive path is provided on the wall surface and / or inside of the box-shaped case and the electrode lead-out portions are provided on the bottom surface, the electrode lead-out portions can be provided on both sides of the bottom surface with a simple structure, It can be easily implemented.

【0043】さらに、上記箱型ケースを角型とすること
によって、収納する半導体素子の形状と一致させるとと
もに、取り扱いや位置決めを容易にすることができる。
Furthermore, by making the box-shaped case square, it is possible to make it conform to the shape of the semiconductor element to be housed and to facilitate handling and positioning.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明のエレクトレットコンデンサマイクロホ
ンを示しており、(a)は縦断面図、(b)は平面図、
(c)は底面図、(d)は蓋体の他の実施形態を示す斜
視図、(e)は他の実施形態を示す断面図である。
1 shows an electret condenser microphone of the present invention, (a) is a vertical sectional view, (b) is a plan view, FIG.
(C) is a bottom view, (d) is a perspective view showing another embodiment of the lid, and (e) is a sectional view showing another embodiment.

【図2】本発明の他の実施形態を示す縦断面図である。FIG. 2 is a vertical cross-sectional view showing another embodiment of the present invention.

【図3】(a)〜(c)は本発明のエレクトレットコン
デンサマイクロホンにおける、半導体素子の取り付け構
造を示す断面図である。
3A to 3C are cross-sectional views showing a mounting structure of a semiconductor element in the electret condenser microphone of the present invention.

【図4】(a)(b)は本発明のエレクトレットコンデ
ンサマイクロホンにおける、他の電子部品を搭載した例
を示す断面図である。
4A and 4B are cross-sectional views showing an example in which another electronic component is mounted in the electret condenser microphone of the present invention.

【図5】本発明のエレクトレットコンデンサマイクロホ
ンを多数個取りの手法で製造する方法を説明するための
図である。
FIG. 5 is a diagram for explaining a method of manufacturing a large number of electret condenser microphones of the present invention.

【図6】従来のエレクトレットコンデンサマイクロホン
を示す縦断面図である。
FIG. 6 is a longitudinal sectional view showing a conventional electret condenser microphone.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2:蓋体 2a:音孔 3:膜リング 4:振動膜 5:ギャップスペーサ 6:固定電極 7a,7b,7c:導電路 8:半導体素子 9:箱型ケース 9a:凹部 9b:段部 9c:上端面 10a,10b:電極取り出し部 2: Lid 2a: sound hole 3: Membrane ring 4: Vibration film 5: Gap spacer 6: Fixed electrode 7a, 7b, 7c: Conductive path 8: Semiconductor element 9: Box type case 9a: concave portion 9b: step 9c: Top surface 10a, 10b: Electrode take-out part

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】固定電極と振動膜とを一定間隔で配置し、
両者間の静電容量の変化によって振動膜に与えられた音
声信号を検出するようにしたエレクトレットコンデンサ
マイクロホンにおいて、絶縁材からなる箱型ケース内
に、上記固定電極、振動膜、半導体素子を収納し、上記
箱型ケースの壁面及び/又は内部に導電路を備え、底面
に電極取り出し部を備えたことを特徴とするエレクトレ
ットコンデンサマイクロホン。
1. A fixed electrode and a vibrating membrane are arranged at a constant interval,
In an electret condenser microphone designed to detect a voice signal applied to a vibrating membrane by a change in capacitance between the two, the fixed electrode, the vibrating membrane, and the semiconductor element are housed in a box-shaped case made of an insulating material. ,the above
The bottom surface of the box-shaped case is provided with a conductive path on the wall surface and / or inside.
An electret condenser microphone characterized in that the electrode lead-out portion is provided in the .
【請求項2】固定電極と振動膜とを一定間隔で配置し、
両者間の静電容量の変化によって振動膜に与えられた音
声信号を検出するようにしたエレクトレットコンデンサ
マイクロホンにおいて、絶縁材からなる箱型ケース内
に、上記固定電極、振動膜、半導体素子を収納し、上記
箱型ケースの内壁に備えた段部に振動膜又は固定電極を
載置したことを特徴とするエレクトレットコンデンサマ
イクロホン。
2. A fixed electrode and a vibrating membrane are arranged at a constant interval,
The sound given to the vibrating membrane due to the change in capacitance between the two.
Electret condenser designed to detect voice signals
In a microphone, in a box-shaped case made of insulating material
The fixed electrode, the vibrating membrane, and the semiconductor element are housed in the
A vibrating membrane or fixed electrode is attached to the step provided on the inner wall of the box-shaped case.
An electret condenser microphone characterized by being placed .
【請求項3】上記箱型ケースが角型であることを特徴と
する請求項1又は2記載のエレクトレットコンデンサマ
イクロホン。
3. A process according to claim 1 or 2 electret condenser microphone, wherein the said box-type case is square.
【請求項4】上記固定電極が箱型ケースを覆う蓋体を兼
用することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載
のエレクトレットコンデンサマイクロホン。
4. electret condenser microphone according to any one of claims 1 to 3 in which the fixed electrode is characterized in that it also serves as a lid for covering the box-type case.
JP37167598A 1998-12-25 1998-12-25 Electret condenser microphone Expired - Fee Related JP3377957B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP37167598A JP3377957B2 (en) 1998-12-25 1998-12-25 Electret condenser microphone

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP37167598A JP3377957B2 (en) 1998-12-25 1998-12-25 Electret condenser microphone

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000197192A JP2000197192A (en) 2000-07-14
JP3377957B2 true JP3377957B2 (en) 2003-02-17

Family

ID=18499117

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP37167598A Expired - Fee Related JP3377957B2 (en) 1998-12-25 1998-12-25 Electret condenser microphone

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3377957B2 (en)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7166910B2 (en) * 2000-11-28 2007-01-23 Knowles Electronics Llc Miniature silicon condenser microphone
JP2002345092A (en) * 2001-05-15 2002-11-29 Citizen Electronics Co Ltd Manufacturing method for condenser microphone
JP4528461B2 (en) * 2001-05-16 2010-08-18 シチズン電子株式会社 Electret condenser microphone
JP2002345063A (en) * 2001-05-17 2002-11-29 Citizen Electronics Co Ltd Microphone and production method therefor
WO2005104616A1 (en) * 2004-04-27 2005-11-03 Hosiden Corporation Electret capacitor microphone
JP4531543B2 (en) * 2004-12-07 2010-08-25 パナソニック株式会社 Acoustic sensor

Also Published As

Publication number Publication date
JP2000197192A (en) 2000-07-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6594369B1 (en) Electret capacitor microphone
US7080442B2 (en) Manufacturing method of acoustic sensor
US6744896B2 (en) Electret microphone
JP4751057B2 (en) Condenser microphone and manufacturing method thereof
US6898292B2 (en) Electret microphone
JP2008271425A (en) Acoustic sensor and fabricating method therefor
JP2002345088A (en) Pressure sensing device and manufacturing method for semiconductor substrate used for it
KR200218653Y1 (en) An electret condenser microphone
KR20110091472A (en) Piezoelectric vibrator and oscillator using the same
JP2001054196A (en) Electret condenser microphone
JP3427032B2 (en) Electret condenser microphone
JP2002223498A (en) Electret condenser microphone
JP3377957B2 (en) Electret condenser microphone
JP5097603B2 (en) Microphone unit
JP3389536B2 (en) Electret condenser microphone
JP2008211466A (en) Microphone package, microphone mounting body, and microphone device
JP4555068B2 (en) Method for manufacturing crystal resonator package
KR100409273B1 (en) A chip microphone
JP3338376B2 (en) Acoustic sensor, method of manufacturing the same, and semiconductor electret condenser microphone using the acoustic sensor
JP2006033215A (en) Condenser microphone and manufacturing method thereof
JP2001074767A (en) Accelerometer and its manufacture
JP4795697B2 (en) Vibrator package
JP2006157777A (en) Electret capacitor type microphone
JP5220584B2 (en) Piezoelectric oscillator and manufacturing method thereof
JP7044005B2 (en) Piezoelectric vibration device

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees