JP3426913B2 - Resin sealing device for electronic components - Google Patents

Resin sealing device for electronic components

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JP3426913B2
JP3426913B2 JP13614897A JP13614897A JP3426913B2 JP 3426913 B2 JP3426913 B2 JP 3426913B2 JP 13614897 A JP13614897 A JP 13614897A JP 13614897 A JP13614897 A JP 13614897A JP 3426913 B2 JP3426913 B2 JP 3426913B2
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resin
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stencil printing
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  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品の樹脂封
止装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a resin sealing device for electronic parts.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、電子部品の樹脂封止装置は、各種
型式のものが公知であるが、その代表例として、真空雰
囲気下において、基板に搭載されている電子部品上に位
置決めされた孔版の上面に所定量の封止用樹脂液を供給
し、次いで、スキージを移動させて、かかる樹脂を孔版
の樹脂押し込み孔に押し込んで電子部品を封止する所
謂、真空孔版印刷式の樹脂封止装置が挙げられる。な
お、このような樹脂封止装置は、例えば、特開平5−1
14620号公報等において開示されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, various types of resin sealing devices for electronic parts have been known. As a typical example thereof, a stencil positioned on an electronic part mounted on a substrate in a vacuum atmosphere. A predetermined amount of sealing resin liquid is supplied to the upper surface of the, then the squeegee is moved, and the resin is pushed into the resin pushing hole of the stencil to seal the electronic component, so-called vacuum stencil printing resin sealing A device is mentioned. Note that such a resin sealing device is disclosed in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 5-1
It is disclosed in Japanese Patent Publication No. 14620.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところが、この従来の
樹脂封止装置は、封止用樹脂液を孔版の上面に供給する
樹脂供給装置のノズルや孔版及びスキージ等を常時、真
空雰囲気下に位置せしめる一方において、かかる真空雰
囲気に対して電子部品搭載の基板を出し入れするもので
ある為、次のような諸々の欠点を有していた。
However, in this conventional resin encapsulation device, the nozzle of the resin supply device for supplying the encapsulating resin liquid to the upper surface of the stencil, the stencil, the squeegee, etc. are always positioned in a vacuum atmosphere. On the other hand, since the board on which the electronic component is mounted is put in and taken out from the vacuum atmosphere, it has various drawbacks as follows.

【0004】すなわち、その一つとして、樹脂供給装置
のノズル及び孔版を真空チャンバー内に装着している
為、孔版の上面への封止用樹脂液の供給を常に同一位置
で行なわねばならなく、従って、必要に応じて封止用樹
脂液の供給位置の変更が困難であって、かつ、スキージ
や孔版に余剰の封止用樹脂液が残存し易い故、樹脂封止
済み基板の生産中に、その量が次第に多くなって生産に
支障をきたし、よって、多列処理には採用し難く効率的
な樹脂封止済み基板の生産が困難であった。
That is, as one of them, since the nozzle of the resin supply device and the stencil are mounted in the vacuum chamber, the sealing resin liquid must be always supplied to the upper surface of the stencil at the same position. Therefore, it is difficult to change the supply position of the encapsulating resin liquid as needed, and since excess encapsulating resin liquid is likely to remain on the squeegee or stencil, the resin-encapsulated substrate is produced during production. However, the amount gradually increases, which hinders the production. Therefore, it is difficult to adopt the multi-row process and it is difficult to efficiently produce the resin-sealed substrate.

【0005】また、他の一つとして、封止用樹脂液は高
粘度液であるから、真空チャンバー内への補給が煩わし
いと共に、移動するスキージと干渉させないように樹脂
供給装置のノズルを装着することの困難性を有し、実用
性に欠けるものであった。
As another one, since the sealing resin liquid is a high-viscosity liquid, it is troublesome to replenish it in the vacuum chamber, and the nozzle of the resin supply device is mounted so as not to interfere with the moving squeegee. However, it was not practical.

【0006】また、他の一つとして、開口部の少ない真
空チャンバー内に、スキージや樹脂供給装置のノズル及
び孔版等を装着している為、操作調整及びメインテナン
スが非常に煩わしく、しかも、孔版の上面に供給された
封止用樹脂液の取扱いと基板の供給取り出しとを別個の
箇所で行うものである為、一連の作業の繁雑性を有して
いたと共に真空チャンバーが大型化されてエネルギーの
ロスが多く、かつ、処理時間が長かった。
As another one, since a squeegee, a nozzle of a resin supply device, a stencil, etc. are mounted in a vacuum chamber having a small opening, operation adjustment and maintenance are very troublesome, and the stencil Since the encapsulation resin liquid supplied to the upper surface is handled and the substrate is taken out and taken out at different locations, the series of operations is complicated and the vacuum chamber is enlarged to save energy. The loss was large and the processing time was long.

【0007】その為、樹脂封止済み基板の生産性を高め
る為に、より短いサイクルで基板を後送りしたい場合等
において、この樹脂封止装置は採用し難かった。なお、
真空雰囲気を形成する為の真空チャンバーの基板出し入
れ口の気密が煩わしく、かつ、高価な気密手段の装着が
必要とされる欠点も有していた。
Therefore, in order to increase the productivity of the resin-sealed substrate, it is difficult to adopt this resin-sealed device in the case where the substrate is to be fed further in a shorter cycle. In addition,
There is also a drawback that the airtightness of the substrate loading / unloading port of the vacuum chamber for forming a vacuum atmosphere is troublesome, and an expensive airtight means is required to be attached.

【0008】本発明は、このような欠点に鑑みて発明さ
れたものであって、大気圧下において孔版の上面に封止
用樹脂液を供給し、そして、孔版と一緒に基板を真空雰
囲気下に移動させ、かつ、ここで孔版印刷を行うように
すること、すなわち、大気圧下における樹脂液供給と、
真空雰囲気下における孔版印刷とに分業することによ
り、後工程への基板送りを迅速に行うことができて樹脂
封止済み基板の生産性を一段と高めることができること
等を見い出し本発明を完成したものである。
The present invention has been invented in view of the above drawbacks, in which a sealing resin liquid is supplied to the upper surface of a stencil at atmospheric pressure, and the substrate is placed in a vacuum atmosphere together with the stencil. And to perform stencil printing here, that is, resin liquid supply under atmospheric pressure,
The present invention has been completed by discovering that the division of labor into stencil printing in a vacuum atmosphere allows the substrate to be rapidly fed to the subsequent process and further enhances the productivity of the resin-sealed substrate. Is.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】すなわち、本発明に係る
電子部品の樹脂封止装置は、請求項1に記載するよう
に、基板に搭載の電子部品上に位置決めされた孔版の上
面に封止用樹脂液を供給する大気圧下の作業ステーショ
ンから、封止用樹脂液が供給された前記孔版と一緒に前
記基板を孔版印刷ステーションへ移動せしめる基板移動
装置と、前記孔版印刷ステーションにおいて前記孔版の
樹脂押し込み孔に前記封止用樹脂液を押し込んで前記電
子部品を封止するスキージを有し、かつ、前記スキージ
による前記電子部品の封止に先立って、前記スキージを
移動せしめる前記孔版印刷ステーションの所定空間領域
を外気と遮断して雰囲気を真空にせしめる真空チャンバ
ー装置とを備えていることを特徴とするものである。
That is, a resin sealing device for an electronic component according to the present invention, as described in claim 1, seals an upper surface of a stencil positioned on an electronic component mounted on a substrate. A substrate moving device for moving the substrate to the stencil printing station together with the stencil to which the sealing resin liquid has been supplied, from a work station under atmospheric pressure for supplying the resin liquid for use, and the stencil printing device in the stencil printing station. Of a stencil printing station that has a squeegee that pushes the sealing resin liquid into a resin pushing hole to seal the electronic component, and that moves the squeegee prior to sealing the electronic component by the squeegee. And a vacuum chamber device that shuts off a predetermined space region from the outside air to make the atmosphere a vacuum.

【0010】なお、作業ステーションにおける孔版の上
面への封止用樹脂液の供給は、人手を介して行ってもよ
いが、ここに樹脂液供給装置を装着するのが好ましく、
また、基板移動装置は、基板を支持し、かつ、孔版を前
記基板に搭載の電子部品に対して接近離反せしめる孔版
移動手段を装着したワークテーブルと前記ワークテーブ
ルを作業ステーションと孔版印刷ステーション間を往復
動せしめるテーブル移動装置とで構成するのが好まし
く、そして、テーブル移動装置は、ワークテーブルを水
平に保ちながら円軌跡を描くように一方方向へ間歇移動
させ得るように構成するか若しくはワークテーブルを水
平に保ちながら直線往復動させ得るように構成するのが
好ましい。
The supply of the sealing resin liquid to the upper surface of the stencil at the work station may be performed manually, but it is preferable to attach a resin liquid supply device here.
Further, the substrate moving device supports the substrate and mounts a stencil moving means for moving the stencil toward and away from electronic components mounted on the substrate, and the work table between the work station and the stencil printing station. The table moving device is preferably configured to be reciprocally movable, and the table moving device is configured to be capable of intermittently moving in one direction so as to draw a circular locus while keeping the work table horizontal, or the work table. It is preferable to be constructed so that it can be linearly reciprocated while being kept horizontal.

【0011】また、真空チャンバー装置は、孔版印刷ス
テーションへ移動せしめられたワークテーブルに、スキ
ージを内設した真空チャンバーの下端開口を圧接せしめ
て孔版印刷ステーションの所定空間領域を外気と遮断す
るチャンバー移動装置と前記真空チャンバー内から排気
する真空ポンプ装置とで構成するのが好ましく、そし
て、チャンバー移動装置は、真空チャンバーを揺動若し
くは上下動せしめて下端開口をワークテーブルに対して
圧接離別させ得るように構成するのが好ましい。
In the vacuum chamber apparatus, the work table moved to the stencil printing station is pressed against the lower end opening of the vacuum chamber in which the squeegee is installed to move the chamber to shut off a predetermined space area of the stencil printing station from the outside air. It is preferable that the apparatus comprises an apparatus and a vacuum pump apparatus for evacuating from the inside of the vacuum chamber, and the chamber moving apparatus is capable of swinging or vertically moving the vacuum chamber to press and separate the lower end opening from the work table. It is preferable to configure.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】正面図である図1〜3において、
この樹脂封止装置は、樹脂液供給装置1と基板移動装置
2と真空チャンバー装置3とを備えているが、図1にお
いては、電子部品4を搭載の基板5が、基板移動装置2
によって大気圧下の作業ステーションAに移動されて来
た姿が示されている。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Referring to FIGS.
This resin sealing device includes a resin liquid supply device 1, a substrate moving device 2, and a vacuum chamber device 3. However, in FIG. 1, the substrate 5 on which the electronic component 4 is mounted is not the substrate moving device 2.
Is shown moving to work station A under atmospheric pressure.

【0013】そして、基板移動装置2は、基板5を支持
する矩形のワークテーブル8と、ワークテーブル8上に
装着された孔版移動手段7と、ワークテーブル8を作業
ステーションAと孔版印刷ステーションB間を往復動せ
しめるテーブル移動装置9とで構成され、かつ、テーブ
ル移動装置9は、この例においては、ワークテーブル8
を水平に保ちながら円軌跡を描くように一方方向へ間歇
移動させ得るように構成されている。
The substrate moving device 2 includes a rectangular work table 8 for supporting the substrate 5, a stencil moving means 7 mounted on the work table 8, and a work table 8 between the work station A and the stencil printing station B. And a table moving device 9 for reciprocating the table. The table moving device 9 is, in this example, a work table 8
It is configured so that it can be intermittently moved in one direction so as to draw a circular locus while keeping horizontal.

【0014】すなわち、テーブル移動装置9は、インデ
ックス11の軸に装着されて水平に保たれながら左回り
(反時計回り)に間歇回転せしめられる円板12を備
え、かつ、この円板12上に、同一円上に位置されるよ
うに等間隔に複数のワークテーブル8が装着されてい
る。また、孔版移動手段7は、アクチュエータ13を介
して孔版6を図示矢印のように揺動せしめて基板5に搭
載の電子部品4に対して接近離反させ得るようにワーク
テーブル8上に装着されている。なお、孔版6は、ワー
クテーブル8に対して着脱自在に装着されている。
That is, the table moving device 9 is equipped with a disk 12 which is mounted on the shaft of the index 11 and which is intermittently rotated counterclockwise while being kept horizontal, and on the disk 12. , A plurality of work tables 8 are mounted at equal intervals so as to be located on the same circle. Further, the stencil moving means 7 is mounted on the work table 8 so that the stencil 6 can be swung via the actuator 13 as shown by an arrow so that the electronic component 4 mounted on the substrate 5 can be moved toward and away from the electronic component 4. There is. The stencil 6 is detachably attached to the work table 8.

【0015】その為、孔版6は、図1において示されて
いる垂直状態の退避位置から図2において示されている
水平状態の位置へ揺動、すなわち、基板5に搭載の電子
部品4上に位置され、これにより、後述するように孔版
印刷を行うのに好適な位置に位置決めされる。なお、孔
版6のかかる揺動制御は、樹脂液供給装置1が邪魔にな
らない位置において行われ、そして、基板5に搭載の電
子部品4上に位置決めされた状態の姿で作業ステーショ
ンAに移動されて来る。
Therefore, the stencil 6 swings from the retracted position in the vertical state shown in FIG. 1 to the position in the horizontal state shown in FIG. 2, that is, on the electronic component 4 mounted on the substrate 5. And is thereby positioned in a position suitable for stencil printing as described below. The swing control of the stencil 6 is performed at a position where the resin liquid supply device 1 does not interfere, and is moved to the work station A while being positioned on the electronic component 4 mounted on the substrate 5. Come on.

【0016】すると、樹脂液供給装置1が、待機位置か
ら孔版6の右端部に封止用樹脂を供給するに適した位置
に移動される。これは、図示されていない装置フレーム
に装着されているアクチュエータ15を介して行われる
が、アクチュエータ15は、図1において、そのピスト
ンロッドを前後方向へ水平に出没し得るように装着され
ており、かつ、かかるピストンロッドの先端にアーム1
7の一端が固定されていると共に、アーム17の他端が
樹脂液供給装置1のノズル16に固定されている。
Then, the resin liquid supply device 1 is moved from the standby position to a position suitable for supplying the sealing resin to the right end portion of the stencil 6. This is performed via an actuator 15 mounted on a device frame (not shown), but the actuator 15 is mounted so that its piston rod can be horizontally retracted in the front-back direction in FIG. Also, the arm 1 is attached to the tip of the piston rod.
One end of 7 is fixed, and the other end of the arm 17 is fixed to the nozzle 16 of the resin liquid supply device 1.

【0017】その為、アクチュエータ15のピストンロ
ッドを出没制御することにより樹脂液供給装置1を前後
方向へ移動させることができるが、その際、樹脂液供給
装置1は、図示されていない上部レールで案内されて前
後方向へ移動し得るように装着されている。よって、図
2において示されているように、大気圧下の作業ステー
ションッティングAにおいて、樹脂液供給装置1のノズ
ル16から孔版6上に所定量の封止用樹脂液18を供給
することができる。なお、かかる樹脂液の供給に際し、
樹脂液供給装置1は、前記待機位置における高さよりも
下方に移動されてノズル16が孔版6に所定に接近せし
められる。
Therefore, the resin liquid supply apparatus 1 can be moved in the front-back direction by controlling the piston rod of the actuator 15 to move in and out. At that time, the resin liquid supply apparatus 1 is mounted on an upper rail (not shown). It is mounted so that it can be guided and moved in the front-rear direction. Therefore, as shown in FIG. 2, a predetermined amount of the sealing resin liquid 18 can be supplied onto the stencil 6 from the nozzle 16 of the resin liquid supply device 1 in the work station putting A under atmospheric pressure. it can. When supplying such a resin liquid,
The resin liquid supply device 1 is moved below the height at the standby position, and the nozzle 16 is caused to approach the stencil 6 in a predetermined manner.

【0018】これは、前記上部レールの設置高さを作業
ステーションAにおいて低くしていることに基づくが、
樹脂液供給装置1は、封止用樹脂液18が収容されてい
る密閉構造のタンク19と、このタンク19の底に弁2
0を介して装着されたノズル16と、封止用樹脂液18
をノズル16から吐出する際にタンク19に圧空を供給
する給気手段21等を備えている。
This is based on the fact that the installation height of the upper rail is made low at the work station A.
The resin liquid supply device 1 includes a tank 19 having a closed structure in which a sealing resin liquid 18 is stored, and a valve 2 at the bottom of the tank 19.
Nozzle 16 mounted through 0 and sealing resin liquid 18
An air supply unit 21 for supplying compressed air to the tank 19 when the air is discharged from the nozzle 16 is provided.

【0019】そして、水平状態の孔版6上に、所定量の
封止用樹脂液18を供給し得ると、樹脂液供給装置1
は、前記待機位置へ移動されると共にテーブル移動装置
9によりワークテーブル8が移動、すなわち、例えば、
ワークテーブル8が4個装着されている場合において
は、ワークテーブル8が間歇的に90度づつ移動され
る。
When a predetermined amount of the sealing resin liquid 18 can be supplied onto the horizontal stencil 6, the resin liquid supply device 1
Is moved to the standby position and the work table 8 is moved by the table moving device 9, that is, for example,
When four work tables 8 are mounted, the work tables 8 are intermittently moved by 90 degrees.

【0020】その為、封止用樹脂液18が供給せしめら
れた孔版6と一緒に基板5を、作業ステーションAから
孔版印刷ステーションB側へと次々と移動せしめること
ができ、従って、作業ステーション位置Aにおいて孔版
6上に所定量の封止用樹脂液18を供給している間に、
孔版印刷ステーションBにおいて真空雰囲気下における
孔版印刷を行うことができる。
Therefore, the substrate 5 together with the stencil 6 to which the sealing resin liquid 18 has been supplied can be moved from the work station A to the stencil printing station B side one after another. While supplying a predetermined amount of the sealing resin liquid 18 on the stencil 6 in A,
In the stencil printing station B, stencil printing can be performed in a vacuum atmosphere.

【0021】図3においては、真空チャンバー装置3に
よる真空雰囲気下における孔版印刷を終えた状態が示さ
れているが、真空チャンバー装置3は、スキージ22を
内設した真空チャンバー23と、チャンバー移動装置2
4と、真空ポンプ装置25等を備えている。なお、真空
チャンバー23は、その下端が開口されており(以下、
下端開口26という。)、かつ、これに内設されている
スキージ22は、電動機27で正逆回転せしめられる螺
子軸28に螺着されている。
FIG. 3 shows a state in which the stencil printing is completed in the vacuum atmosphere by the vacuum chamber device 3, but the vacuum chamber device 3 includes the vacuum chamber 23 having the squeegee 22 therein and the chamber moving device. Two
4 and a vacuum pump device 25 and the like. The vacuum chamber 23 has an open lower end (hereinafter,
It is called the lower end opening 26. ), And the squeegee 22 provided therein is screwed onto a screw shaft 28 that is rotated in the forward and reverse directions by an electric motor 27.

【0022】また、チャンバー移動装置24は、真空チ
ャンバー23を揺動せしめて下端開口26をワークテー
ブル8に対して圧接離別させ得るように構成されてい
る。また、真空ポンプ装置25は、真空ポンプ30と、
切換弁31と、排気ホース32及び給排気ホース33等
を備えている。
The chamber moving device 24 is constructed so as to swing the vacuum chamber 23 so that the lower end opening 26 can be pressed and separated from the work table 8. The vacuum pump device 25 includes a vacuum pump 30,
The switching valve 31, the exhaust hose 32, the air supply / exhaust hose 33, etc. are provided.

【0023】その為、テーブル移動装置9によりワーク
テーブル8が間歇的に移動され、封止用樹脂液18が供
給せしめられた孔版6と一緒に基板5が孔版印刷ステー
ションBに移動されて来ると、チャンバー移動装置24
により真空チャンバー23が左回り(反時計回り)に揺
動され、その下端開口26がワークテーブル8の上面に
圧接にされ、これにより、真空チャンバー23の下端開
口26が閉塞されてチャンバー内の雰囲気が外気と遮断
せしめられる。
Therefore, when the work table 8 is intermittently moved by the table moving device 9 and the substrate 5 is moved to the stencil printing station B together with the stencil 6 to which the sealing resin liquid 18 is supplied. , Chamber moving device 24
The vacuum chamber 23 is swung counterclockwise (counterclockwise), and its lower end opening 26 is brought into pressure contact with the upper surface of the work table 8, whereby the lower end opening 26 of the vacuum chamber 23 is closed and the atmosphere in the chamber is closed. Is cut off from the outside air.

【0024】すると、真空ポンプ装置25による排気が
開始されて真空チャンバー23内が真空にせしめられ
る。すなわち、切替弁31が所定に開閉制御されて真空
チャンバー23内の空気が給排気ホース33、排気ホー
ス32及び真空ポンプ30を経て排気される。
Then, evacuation by the vacuum pump device 25 is started and the inside of the vacuum chamber 23 is evacuated. That is, the switching valve 31 is controlled to open and close in a predetermined manner, and the air in the vacuum chamber 23 is exhausted through the air supply / exhaust hose 33, the exhaust hose 32, and the vacuum pump 30.

【0025】また、これに引き続いて、電動機27によ
り螺子軸28が駆動回転される。その為、スキージ22
が左側から右側へ移動し、孔版6上に供給されている封
止用樹脂液18が均され、これにより、封止用樹脂液1
8が、孔版6に所定パターンに穿設されている樹脂押し
込み孔(図示されていない)に押し込まれる。このよう
に、真空雰囲気下において孔版印刷を行うので、電子部
品4を良好に樹脂封止することができると共にそれを迅
速に行うことができる。
Further, subsequently to this, the screw shaft 28 is driven and rotated by the electric motor 27. Therefore, squeegee 22
Moves from the left side to the right side, and the sealing resin liquid 18 supplied onto the stencil 6 is leveled, whereby the sealing resin liquid 1
8 is pushed into a resin pushing hole (not shown) formed in the stencil 6 in a predetermined pattern. Since the stencil printing is performed in the vacuum atmosphere as described above, the electronic component 4 can be favorably resin-sealed, and the electronic component 4 can be quickly performed.

【0026】なお、孔版移動手段7のアクチュエータ1
3は、スキージ22の移動に邪魔にならない位置に配さ
れており、そして、所定に孔版印刷を終えると、切替弁
31、35を所定に開閉制御してコンプレッサー36か
ら給気ホース37,38及び給排気ホース33を経て、
圧空を真空チャンバー23内へ供給すると共に、チャン
バー移動装置24により真空チャンバー23を右回り
(時計回り)に揺動せしめる。この状態が図3において
示されている。
The actuator 1 of the stencil moving means 7
3 is arranged at a position where it does not interfere with the movement of the squeegee 22, and when the stencil printing is completed in a predetermined manner, the switching valves 31, 35 are controlled to be opened and closed in a predetermined manner so that the compressor 36 supplies the air supply hoses 37, 38 and. Via the air supply / exhaust hose 33,
The compressed air is supplied into the vacuum chamber 23, and the vacuum chamber 23 is swung clockwise (clockwise) by the chamber moving device 24. This state is shown in FIG.

【0027】また、スキージ22は、左側から右側へ所
定ストローク移動されると、電動機27による螺子軸2
8の逆回転により右側から左側の元の位置へリターンさ
れるが、かかるスキージ22の往復動は、1回に限定さ
れず、必要に応じて複数回行ってもよい。また、真空雰
囲気下で孔版印刷を行った後、真空チャンバー23内を
一旦、大気圧以上の加圧雰囲気にしてから、図3におい
て示されているように真空チャンバー23を上方へ揺動
せしめてもよい。
When the squeegee 22 is moved from the left side to the right side by a predetermined stroke, the screw shaft 2 driven by the electric motor 27 is moved.
Although it is returned to the original position from the right side to the left side by the reverse rotation of 8, the reciprocating movement of the squeegee 22 is not limited to one time, and may be performed a plurality of times as necessary. Further, after performing the stencil printing in a vacuum atmosphere, the inside of the vacuum chamber 23 is temporarily set to a pressurized atmosphere of atmospheric pressure or higher, and then the vacuum chamber 23 is swung upward as shown in FIG. Good.

【0028】これにより、電子部品4を一段と良好に樹
脂封止、すなわち、封止用樹脂液を電子部品4の隅々に
十分に含浸させることができる。なお、これ以外の例え
ば、真空雰囲気下で孔版印刷を行った後、真空チャンバ
ー23を上方へ揺動せしめて一旦、大気圧にし、次い
で、テーブル移動装置9によりワークテーブル8を他の
箇所へ移動させると共にその箇所を大気圧以上の加圧雰
囲気に制御するようにしてもよい。
As a result, the electronic component 4 can be more favorably resin-sealed, that is, the sealing resin liquid can be sufficiently impregnated in every corner of the electronic component 4. In addition to this, for example, after performing stencil printing in a vacuum atmosphere, the vacuum chamber 23 is swung upward to temporarily bring it to atmospheric pressure, and then the table moving device 9 moves the work table 8 to another place. At the same time, the location may be controlled to a pressurized atmosphere of atmospheric pressure or higher.

【0029】以下、孔版印刷ステーションBにおいて真
空雰囲気下での孔版印刷を終えた基板5は、このステー
ションBから他の箇所へ移動される。このように、本樹
脂封止装置によると、例えば、作業ステーションA→待
機位置(作業ステーションAから90度変位の箇所)→
孔版印刷ステーションB(待機位置から90度変位の箇
所)→基板取出供給位置(孔版印刷ステーションBから
90度変位の箇所)→作業ステーションAといったよう
に、或いは、作業ステーションA→孔版印刷ステーショ
ンB(作業ステーションAから90度変位の箇所)→基
板取出位置(孔版印刷ステーションBから90度変位の
箇所)→基板供給位置(基板取出位置から90度変位の
箇所)→作業ステーションAといったように、ワークテ
ーブル8を一方方向へ間歇的に移動させて樹脂封止する
ことができる。
After that, the stencil printing is completed in the vacuum atmosphere at the stencil printing station B, and the substrate 5 is moved from this station B to another place. As described above, according to the present resin sealing device, for example, the work station A → standby position (a position displaced 90 degrees from the work station A) →
Stencil printing station B (place displaced 90 degrees from standby position) → substrate unloading supply position (place displaced 90 degrees from stencil printing station B) → work station A, or work station A → stencil printing station B ( Work station A is displaced by 90 degrees. → Substrate take-out position (place where stencil printing station B is displaced by 90 degrees) → Substrate supply position (place where substrate is taken out by 90 degrees) → Work station A. The table 8 can be intermittently moved in one direction for resin sealing.

【0030】しかし、これに限定されず、他の例えば、
作業ステーションA→孔版印刷ステーションB→作業テ
ステーションA、或いは、作業ステーションA→孔版印
刷ステーションB→基板取出供給位置→作業ステーショ
ンAといったようにワークテーブル8を一方方向へ間歇
的に移動させて樹脂封止することもできる。
However, the present invention is not limited to this, and other examples such as
Work station A → stencil printing station B → work station A, or work station A → stencil printing station B → substrate unloading / feeding position → work station A, and so on. It can also be sealed.

【0031】なお、樹脂液供給装置1が孔版6上に封止
用樹脂18を供給するときにタンク19内に圧空を供給
する給気手段21は、切替弁35を所定に開閉制御して
コンプレッサー36から給気ホース37,40を経て圧
空を供給するが、その際、弁20,41は開口せしめら
れる。また、封止用樹脂18の供給を停止するときには
弁20が閉じられる。また、封止用樹脂18の供給に先
立ってタンク19内の封止用樹脂18から脱気するが、
これは、切替弁31を所定に開閉制御して排気ホース4
2,32及び真空ポンプ30を経て排気する。その際、
弁43が開口せしめられる。
The air supply means 21 for supplying compressed air into the tank 19 when the resin liquid supply device 1 supplies the sealing resin 18 onto the stencil 6 controls the switching valve 35 to open and close in a predetermined manner. The compressed air is supplied from 36 through the air supply hoses 37 and 40, while the valves 20 and 41 are opened. Further, the valve 20 is closed when the supply of the sealing resin 18 is stopped. Further, before the supply of the sealing resin 18, the sealing resin 18 in the tank 19 is deaerated,
This is to control the opening / closing of the switching valve 31 in a predetermined manner to control the exhaust hose 4
2, 32 and the vacuum pump 30 are evacuated. that time,
The valve 43 is opened.

【0032】以上、一実施形態、すなわち、作業ステー
ションAに樹脂液供給装置1を装置した実施形態につい
て述べたが、本発明においては、作業ステーションAに
おいて、作業者の手作業により孔版6上に封止用樹脂1
8を供給してもよく、それらは必要に応じて選択され
る。
The embodiment has been described above, that is, the embodiment in which the resin liquid supply device 1 is installed in the work station A. However, in the present invention, the work station A is placed on the stencil 6 manually by the operator. Sealing resin 1
8 may be supplied and they are selected as required.

【0033】また、孔版6上への封止用樹脂18の供給
は、塗布、吐出、滴下等、いかなる態様であってもよ
く、また、基板移動装置2は、封止用樹脂液18が供給
された孔版6と一緒に基板5を作業ステーションAから
孔版印刷ステーションBへ移動させ得るものである限り
においては、いかなる型式のものであってよい。これに
より、大気圧下における樹脂液供給と、真空雰囲気下に
おける孔版印刷とに分業することができる。
The sealing resin 18 may be supplied onto the stencil 6 in any form such as coating, discharging and dropping, and the substrate moving device 2 is supplied with the sealing resin liquid 18. It may be of any type as long as it can move the substrate 5 with the stencil 6 from the work station A to the stencil printing station B. As a result, it is possible to divide the work into supplying the resin liquid under atmospheric pressure and performing stencil printing in a vacuum atmosphere.

【0034】そして、後工程への基板送りを迅速に行う
ことができて樹脂封止済み基板の生産性を一段と高める
為に基板5を支持し、かつ、孔版6を基板5に搭載の電
子部品4に対して接近離反せしめる孔版移動手段7を装
着したワークテーブル8及びこのワークテーブル8を作
業ステーションAと孔版印刷ステーションB間を往復動
せしめるテーブル移動装置9で構成した型式の基板移動
装置2が好ましい。なお、テーブル移動装置9は、ワー
クテーブル8を水平に保ちながら円軌跡を描くように一
方方向へ間歇移動させ得るように構成したり、或いは、
図4〜6において示されているように、ワークテーブル
8を水平に保ちながら直線往復動させ得るように構成し
てもよい。
An electronic component in which the substrate 5 is supported and the stencil 6 is mounted on the substrate 5 so that the substrate can be quickly sent to the subsequent process and the productivity of the resin-sealed substrate is further enhanced. A work table 8 equipped with a stencil moving means 7 for moving the work table 8 closer to and away from the work 4 and a table moving device 2 for moving the work table 8 back and forth between a work station A and a stencil printing station B. preferable. The table moving device 9 is configured to be intermittently movable in one direction so as to draw a circular locus while keeping the work table 8 horizontal, or
As shown in FIGS. 4 to 6, the work table 8 may be configured to be linearly reciprocated while being kept horizontal.

【0035】図4〜6において、テーブル移動装置9
は、電動機51により正逆回転し得るように水平に装着
されたネジ軸52と、このネジ軸52に螺着されたワー
クテーブル8とで構成され、電動機51によるネジ軸5
2の正逆回転制御により、ワークテーブル8を水平に保
ちながら作業ステーションAと孔版印刷ステーションB
間を直線往復動せしめることができる。
4 to 6, the table moving device 9 is shown.
Is composed of a screw shaft 52 horizontally mounted by the electric motor 51 so as to be able to rotate in the forward and reverse directions, and a work table 8 screwed to the screw shaft 52.
By the forward / reverse rotation control of 2, the work station A and the stencil printing station B are maintained while keeping the work table 8 horizontal.
It is possible to make a linear reciprocating motion between.

【0036】従って、ワークテーブル8を水平に保ちな
がら直線往復動させ得るように構成されたテーブル移動
装置9を備えた基板移動装置2によると、封止用樹脂液
18が供給せしめられた孔版6と一緒に基板5を作業ス
テーションAから孔版印刷ステーションBへ移動させる
ことができ、そして、真空雰囲気下で孔版印刷した後、
基板5を、孔版6と一緒に孔版印刷ステーションBから
作業ステーションAへ移動させることができる。
Therefore, according to the substrate moving device 2 provided with the table moving device 9 configured to reciprocate linearly while keeping the work table 8 horizontal, the stencil 6 to which the sealing resin liquid 18 is supplied. The substrate 5 can be moved from the work station A to the stencil printing station B together with, and after stencil printing under a vacuum atmosphere,
The substrate 5 together with the stencil 6 can be moved from the stencil printing station B to the work station A.

【0037】このように、本発明においては、ワークテ
ーブル8を水平に保ちながら直線往復動させ得るように
構成されたテーブル移動装置9を備えた基板移動装置2
を装着したり、或いは、ワークテーブル8を水平に保ち
ながら円軌跡を描くように一方方向へ間歇移動させ得る
ように構成されたテーブル移動装置9を備えた基板移動
装置2を装着したりすることができるが、前者(ネジ軸
送り型のテーブル移動装置を備えた基板移動装置)より
も、後者(インデックス型のテーブル移動装置を備えた
基板移動装置)を装着する方が好ましい。
As described above, in the present invention, the substrate moving device 2 is provided with the table moving device 9 configured to be capable of linearly reciprocating while keeping the work table 8 horizontal.
Or to mount the substrate moving device 2 having the table moving device 9 configured to be intermittently moved in one direction so as to draw a circular locus while keeping the work table 8 horizontal. However, it is preferable to mount the latter (a substrate moving device having an index type table moving device) rather than the former (a substrate moving device having a screw shaft feed type table moving device).

【0038】それは、前者(ネジ軸送り型のテーブル移
動装置を備えた基板移動装置)の方が、樹脂封止済み基
板の生産性に劣るからである。従って、樹脂封止済み基
板の生産性があまり問題視されないとき、例えば、少数
の樹脂封止済み基板を生産すればよい場合等において前
者を採用すればよい。
This is because the former (substrate moving device provided with a screw shaft feed type table moving device) is inferior in productivity of the resin-sealed substrate. Therefore, when the productivity of the resin-sealed substrate is not considered to be a problem, for example, the former may be adopted when only a small number of resin-sealed substrates need to be produced.

【0039】また、チャンバー移動装置24は、その構
造の単純化等からして真空チャンバー23を揺動し得る
ように構成するのが好ましいが、他の形態の移動装置、
例えば、真空チャンバー23を水平状態に保ちながら上
下動させて孔版印刷ステーションBのワークテーブル8
に対して下端開口26を圧接離別せしめる形態の移動装
置等であってもよい。また、テーブル移動装置9の円板
12に代えて、その上端にワークテーブル8が装着され
るアームを放射状にインデックス11の軸に装着しても
よい。
Further, the chamber moving device 24 is preferably constructed so as to be able to oscillate the vacuum chamber 23 in view of the simplification of its structure, but other types of moving devices,
For example, while the vacuum chamber 23 is kept horizontal, the vacuum chamber 23 is moved up and down to move the work table 8 of the stencil printing station B.
On the other hand, it may be a moving device or the like in which the lower end opening 26 is pressed and separated. Further, instead of the disc 12 of the table moving device 9, an arm on which the work table 8 is attached may be radially attached to the shaft of the index 11 at its upper end.

【0040】また、ワークテーブル8の形状は、矩形以
外の形状であってもよく、更に、インデックス型のテー
ブル移動装置9を備えた基板移動装置2を装着する場合
において、ワークテーブル8の装着個数は必要に応じて
選択される。なお、孔版印刷に際し、真空チャンバー2
3の真空度は、10toll以下の低真空度に保持され
る。
Further, the shape of the work table 8 may be a shape other than a rectangular shape, and when the substrate moving device 2 equipped with the index type table moving device 9 is mounted, the number of the work tables 8 mounted. Are selected according to need. In addition, in the stencil printing, the vacuum chamber 2
The vacuum degree of 3 is maintained at a low vacuum degree of 10 toll or less.

【0041】[0041]

【発明の効果】上述の如く、本発明によると、電子部品
の樹脂封止装置に関し、大気圧下における樹脂液供給
と、真空雰囲気下における孔版印刷とを分業し得て、後
工程への基板送りを迅速に行うことができ、従って、樹
脂封止済み基板の生産性を一段と高めることができる。
また、メインテナンスの容易化及び真空チャンバーの小
型化を図ることができ、更に、真空チャンバーの基板出
し入れ口の気密の容易化を図ることもできる。
As described above, according to the present invention, a resin sealing apparatus for electronic parts can be divided into a resin liquid supply under atmospheric pressure and a stencil printing under a vacuum atmosphere, and a substrate for a subsequent process can be divided. The feeding can be performed quickly, and therefore the productivity of the resin-sealed substrate can be further improved.
Further, the maintenance can be facilitated and the size of the vacuum chamber can be reduced, and further the airtightness of the substrate loading / unloading port of the vacuum chamber can be facilitated.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】電子部品の樹脂封止装置の構成を示す正面図で
ある。
FIG. 1 is a front view showing a configuration of a resin sealing device for an electronic component.

【図2】図1の樹脂封止装置における、大気圧下におけ
る樹脂液供給及び真空雰囲気下における孔版印刷を示す
正面図である。
FIG. 2 is a front view showing the resin liquid supply under atmospheric pressure and the stencil printing under a vacuum atmosphere in the resin sealing apparatus of FIG.

【図3】図1の樹脂封止装置における、真空雰囲気下に
おける孔版印刷を終えた状態を示す正面図である。
FIG. 3 is a front view of the resin sealing device of FIG. 1 showing a state in which stencil printing is completed in a vacuum atmosphere.

【図4】電子部品の樹脂封止装置の他の構成を示す正面
図である。
FIG. 4 is a front view showing another configuration of a resin sealing device for electronic components.

【図5】図4の樹脂封止装置における、大気圧下におけ
る樹脂液供給を示す正面図である。
5 is a front view showing the resin liquid supply under atmospheric pressure in the resin sealing device of FIG.

【図6】図4の樹脂封止装置における、真空雰囲気下に
おける孔版印刷を示す正面図である。
6 is a front view showing stencil printing in a vacuum atmosphere in the resin sealing device of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

A 作業ステーション B 孔版印刷ステーション 1 樹脂液供給装置 2 基板移動装置 3 真空チャンバー装置 4 電子部品 5 基板 6 孔版 7 孔版移動手段 8 ワークテーブル 9 テーブル移動装置 16 ノズル 18 封止用樹脂 22 スキージ 23 真空チャンバー 24 チャンバー移動装置 25 真空ポンプ装置 26 下端開口 A work station B Stencil printing station 1 Resin liquid supply device 2 Substrate moving device 3 Vacuum chamber device 4 electronic components 5 substrates 6 stencil 7 Stencil moving means 8 work table 9 Table moving device 16 nozzles 18 Sealing resin 22 Squeegee 23 Vacuum chamber 24 Chamber moving device 25 Vacuum pump device 26 Bottom opening

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 基板に搭載の電子部品上に位置決めされ
た孔版の上面に封止用樹脂液を供給する大気圧下の作業
ステーションから、封止用樹脂液が供給された前記孔版
と一緒に前記基板を孔版印刷ステーションへ移動せしめ
る基板移動装置と、前記孔版印刷ステーションにおいて
前記孔版の樹脂押し込み孔に前記封止用樹脂液を押し込
んで前記電子部品を封止するスキージを有し、かつ、前
記スキージによる前記電子部品の封止に先立って、前記
スキージを移動せしめる前記孔版印刷ステーションの所
定空間領域を外気と遮断して雰囲気を真空にせしめる真
空チャンバー装置とを備えていることを特徴とする電子
部品の樹脂封止装置。
1. A work station under atmospheric pressure for supplying a sealing resin liquid onto the upper surface of a stencil positioned on an electronic component mounted on a substrate, together with the stencil to which the sealing resin liquid is supplied. A substrate moving device that moves the substrate to a stencil printing station, and a squeegee that seals the electronic component by pushing the sealing resin liquid into a resin pushing hole of the stencil in the stencil printing station, and Prior to sealing the electronic component with a squeegee, a vacuum chamber device that shuts off a predetermined space region of the stencil printing station that moves the squeegee from the outside air to make the atmosphere a vacuum is provided. Parts resin sealing device.
【請求項2】 作業ステーションに、孔版の上面に封止
用樹脂液を供給する樹脂液供給装置を装着していること
を特徴とする請求項1に記載の電子部品の樹脂封止装
置。
2. The resin sealing device for electronic parts according to claim 1, wherein a resin liquid supplying device for supplying a sealing resin liquid to the upper surface of the stencil is mounted on the work station.
【請求項3】 基板移動装置を、基板を支持し、かつ、
孔版を前記基板に搭載の電子部品に対して接近離反せし
める孔版移動手段を装着したワークテーブルと前記ワー
クテーブルを作業ステーションと孔版印刷ステーション
間を往復動せしめるテーブル移動装置とで構成したこと
を特徴とする請求項1又は2に記載の電子部品の樹脂封
止装置。
3. A substrate moving device supporting a substrate, and
A work table equipped with stencil moving means for moving the stencil toward and away from electronic components mounted on the substrate; and a table moving device for reciprocating the work table between a working station and a stencil printing station. The resin sealing device for an electronic component according to claim 1 or 2.
【請求項4】 テーブル移動装置を、ワークテーブルを
水平に保ちながら円軌跡を描くように一方方向へ間歇移
動させ得るように構成したことを特徴とする請求項3に
記載の電子部品の樹脂封止装置。
4. The resin sealing of electronic parts according to claim 3, wherein the table moving device is configured to be intermittently moved in one direction so as to draw a circular locus while keeping the work table horizontal. Stop device.
【請求項5】 テーブル移動装置を、ワークテーブルを
水平に保ちながら直線往復動させ得るように構成したこ
とを特徴とする請求項3に記載の電子部品の樹脂封止装
置。
5. The resin-sealing device for an electronic component according to claim 3, wherein the table moving device is configured to be capable of linearly reciprocating while keeping the work table horizontal.
【請求項6】 真空チャンバー装置を、孔版印刷ステー
ションへ移動せしめられたワークテーブルに、スキージ
を内設した真空チャンバーの下端開口を圧接せしめて孔
版印刷ステーションの所定空間領域を外気と遮断するチ
ャンバー移動装置と前記真空チャンバー内から排気する
真空ポンプ装置とで構成したことを特徴とする請求項4
又は5に記載の電子部品の樹脂封止装置。
6. A vacuum chamber apparatus is moved to a stencil printing station, and a work table moved to a stencil printing station is pressed against a lower end opening of a vacuum chamber having a squeegee installed therein to shut off a predetermined space region of the stencil printing station from the outside air. 5. An apparatus and a vacuum pump apparatus for evacuating the inside of the vacuum chamber.
Or the resin sealing device of the electronic component as described in 5.
【請求項7】 チャンバー移動装置を、スキージを内設
した真空チャンバーを揺動若しくは上下動せしめて下端
開口をテーブルに対して圧接離別し得るように構成した
ことを特徴とする請求項6に記載の電子部品の樹脂封止
装置。
7. The chamber moving device is configured such that a vacuum chamber having a squeegee therein can be swung or moved up and down so that the lower end opening can be pressed and separated from the table. Resin encapsulation equipment for electronic components.
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