JP3422315B2 - 位置合わせ方法 - Google Patents

位置合わせ方法

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JP3422315B2 JP2000226589A JP2000226589A JP3422315B2 JP 3422315 B2 JP3422315 B2 JP 3422315B2 JP 2000226589 A JP2000226589 A JP 2000226589A JP 2000226589 A JP2000226589 A JP 2000226589A JP 3422315 B2 JP3422315 B2 JP 3422315B2
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Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【発明の属する技術分野】本発明は、位置合わせ方法に
関するものである。 【0002】 【従来の技術】TCP(Tape Carrier Package)をLC
Dに実装する直前に、TCPやLCDの位置合わせ対象
をカメラで観察し、位置ずれなどを補正した上で、LC
Dに実装するようになっている。また、LCDやTCP
には極細の電極やリードが非常に狭いピッチを介して数
十から数百に及ぶほど多数列設されており、その実装に
はXY方向に関して極めて高い位置精度が要求される。 【0003】 【発明が解決しようとする課題】従来、TCPの実装の
直前に行われる観察には、次の2つの方法がとられてい
た。第1の方法は次の通りである。まず認識精度を良く
するために、カメラの視野を固定する。次に、この視野
に対して、LCDとTCPをそれぞれXY方向に移動で
きるように支持する。そして、LCDとTCPが重なら
ない状態で両方をカメラの視野に入れて両者の相対的な
位置ずれ量を求める。そして、位置ずれ量を考慮して両
者を相対的に移動させ、LCDにTCPを重ね合わせて
実装を行うというものである。 【0004】また第2の方法は、次の通りである。ま
ず、TCPとLCDとをほとんど隙間を開けずに重ねて
おき、そのままTCPをLCDに向けて小距離下降させ
れば、実装が行えるようにしておく。そして、この重な
った部分をカメラの視野に入れて、両者の位置ずれ量を
求める。そして、位置補正を行って実装するというもの
である。しかしながら、LCDの電極には、TCPのリ
ードを接着するために異方性導電テープが貼着されてい
る。そして、カメラによりLCDのリードを観察する際
に、LCD自体や異方性導電テープが邪魔をして、TC
Pについて鮮明な画像が得られず、TCPの位置を正確
に検出できないことが多く、十分な実装精度が得られて
いなかった。また鮮明な画像が得られないと画像処理時
に頻繁にエラーがでて、TCP実装装置の動作が停止し
てしまう。このように、従来の第1及び第2の方法によ
るときは、実装精度が悪く、しかもTCP実装装置の稼
働率も低いという問題点があった。 【0005】そこで本発明は、十分な実装精度を得るこ
とができ、かつ実装装置の稼働率が低下しにくい位置合
わせ方法を提供することを目的とする。 【0006】 【課題を解決するための手段】本発明は、光を無指向的
に反射するざらついた表面を有する第1の位置合わせ対
象と第2の位置合わせ対象をカメラで観察して位置合わ
せを行なう位置合わせ方法であって、カメラの鏡筒の真
上であってカメラの焦点範囲内にZ軸モータにより上昇
下降するノズルの下面に保持された第1の位置合わせ対
象を位置させるステップと、斜め上方に光を照射して第
1の位置合わせ対象を明るく照らし、前記カメラで前記
第1の位置合わせ対象を観察して位置ずれ量を検出する
ステップと、前記Z軸モータを駆動して前記ノズルの下
面に保持された前記第1の位置合わせ対象を上昇させて
前記焦点範囲から外すと共にこの焦点範囲に第2の位置
合わせ対象を入れるステップと、同軸落射照明の光を用
い、前記カメラで前記第2の位置合わせ対象を観察して
位置ずれ量を検出するステップと、前記位置ずれに基づ
いて前記第1の位置合わせ対象と前記第2の位置合わせ
対象を相対的に水平方向へ移動して位置補正し、前記Z
軸モータを駆動して前記第1の位置合わせ対象を下降さ
せるステップ、とを含むことを特徴とする位置合わせ方
法である。 【0007】 【発明の実施の形態】次に図面を参照しながら、本発明
の実施の形態を説明する。図1は、本発明の一実施の形
態におけるTCP実装装置のブロック図、図2、図3は
本発明の一実施の形態におけるTCP実装装置の動作説
明図である。 【0008】図1において、1はLCD、2はLCD1
の上面に形成された電極又は位置合わせマーク等のLC
D側位置合わせ対象、3はLCD1を位置決めし、LC
D1をXY(水平)方向に移動させるXYテーブルであ
る。また、4はカメラ、5はカメラ4に接続され、上方
を向く鏡筒、6は光源部、7は光源部6から鏡筒5に同
軸落射照明用の光を供給する光ファイバであり、図2に
示すように、鏡筒5の内部には同軸落射照明用に光路を
上向きに90度曲げるハーフミラー5aが内蔵されてい
る。同軸落射照明用の光は、LCD1のLCD側位置合
わせ対象2の観察に使用される。 【0009】8は斜め上方を向く発光部9に光を供給す
る光ファイバである。光ファイバ8が供給する光は、T
CP17に形成されたリード又は位置合わせマークなど
のTCP側位置合わせ対象18の観察に使用される。 【0010】10は移動テーブル、11は移動テーブル
10の前面に垂直に固定されるボックス、12はボック
ス11の前面に昇降自在に支持されるブラケット、13
はボックス11の内部に回転自在に軸支される垂直な送
りネジ、14はボックス11の上部に下向きに固定さ
れ、送りネジ13を回転させるZ軸モータ、15はブラ
ケット12の後面に固定され、かつ送りネジ13に螺合
する送りナット、16はブラケット12に下向きに装着
され、下面でTCP17を吸着して水平に保持するノズ
ルである。従って、移動テーブル10を停止して、Z軸
モータ14を駆動し、送りネジ13を回転させることに
より、TCP17のXY方向位置を変更することなく、
TCP17を昇降させることができる。 【0011】また、20はCPU等からなり、全体を制
御する制御部、21はXYテーブル3をドライブするX
Yテーブル駆動部、22はZ軸モータ14をドライブす
るZ軸モータ駆動部、23はカメラ4で得た画像に基づ
いてパターンマッチング等の処理をしてLCD側位置合
わせ対象2、TCP側位置合わせ対象18の位置ずれ量
を検出する位置ずれ検出部である。 【0012】本実施の形態におけるTCP実装装置は上
記のような構成よりなり、次に図2、図3を参照しなが
ら、このTCP実装装置を用いた本実施の形態における
TCP実装方法について説明する。 【0013】まず図2に示すように、XYテーブル3を
駆動して、LCD1をカメラ4の視野に入らないように
水平方向にずらしておき、移動テーブル10を駆動して
ノズル16に保持されるTCP17のTCP側位置合わ
せ対象18を鏡筒5の真上(カメラ4の視野内)であっ
て、カメラ4の焦点範囲A内に位置させる。なお、この
後TCP17の実装が完了するまで、移動テーブル10
の位置は変更しない。そして、制御部20は光源部6を
作動させ、光ファイバ8、発光部9を介して斜め上方
(矢印N1)に光を照射し、TCP側位置合わせ対象1
8を明るく照らす。ここで、TCP側位置合わせ対象1
8の表面はざらついており、無指向的に光が反射され、
反射光の一部が矢印N2で示すように、鏡筒5に入射
し、ハーフミラー5aを透過してカメラ4にとらえられ
る。これにより、カメラ4はTCP側位置合わせ対象1
8の画像を出力し、位置ずれ検出部23がTCP側位置
合わせ対象18の位置をTCP側位置合わせ対象18の
理想位置からの位置ずれ量として検出し、制御部20に
出力する。 【0014】次に、図3の矢印N3で示すように、Z軸
モータ14を駆動して、TCP17を観察を行った水平
方向の位置を維持したまま垂直に上昇させ、カメラ4の
焦点範囲Aからはずす。また、XYテーブル3を駆動し
て、矢印N4で示すように、LCD1を水平方向に移動
して、LCD側位置合わせ対象2をカメラ4の視野内の
焦点範囲Aに入れる。そして、光ファイバ7、ハーフミ
ラー5aを介して光源部6の光を同軸落射用の照明とし
て用い、矢印N6で示す光をカメラ4でとらえて、LC
D1のLCD側位置合わせ対象2の画像を得る。以下同
様に位置ずれ検出部23がカメラ4の画像によりLCD
側位置合わせ対象2の位置をLCD側位置合わせ対象2
の理想位置からの位置ずれ量として検出し、制御部20
に出力する。 【0015】ここで、図3に示すように、LCD側位置
合わせ対象2の観察を行う際、TCP17がカメラ4の
光軸上(視野内)に存在するが、TCP17はカメラ4
の焦点範囲Aからはずれているので、LCD1の画像に
悪影響が及ぶことはない。 【0016】次いで、求めたTCP側位置合わせ対象1
8とLCD側位置合わせ対象2の位置ずれ量に基づい
て、XYテーブル3を駆動してLCD1をTCP1
対して水平方向に位置補正し、Z軸モータ14を駆動し
て、TCP17を、矢印N3と逆方向に、即ち観察を行
った水平方向の位置を維持したまま垂直に下降させるこ
とにより、LCD1に実装するものである。 【0017】なお本実施の形態では、LCD側を水平方
向へ移動して位置合わせを行っているがTCP側を水平
方向に移動してもよい。 【0018】 【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、カ
メラによる対象の観察を行う際、観察を妨げるものが無
く、鮮明な画像を得て、認識エラーを回避し稼働率を向
上することができる。
【図面の簡単な説明】 【図1】本発明の一実施の形態におけるTCP実装装置
のブロック図 【図2】本発明の一実施の形態におけるTCP実装装置
の動作説明図 【図3】本発明の一実施の形態におけるTCP実装装置
の動作説明図 【符号の説明】 1 LCD 2 LCD側位置合わせ対象 4 カメラ 17 TCP 18 TCP側位置合わせ対象 A 焦点範囲
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01B 11/00 G02F 1/1345 G05D 3/12 H05K 13/04

Claims (1)

  1. (57)【特許請求の範囲】 【請求項1】光を無指向的に反射するざらついた表面を
    有する第1の位置合わせ対象と第2の位置合わせ対象を
    カメラで観察して位置合わせを行なう位置合わせ方法で
    あって、 カメラの鏡筒の真上であってカメラの焦点範囲内にZ軸
    モータにより上昇下降するノズルの下面に保持された
    1の位置合わせ対象を位置させるステップと、斜め上方に光を照射して第1の位置合わせ対象を明るく
    照らし、 前記カメラで前記第1の位置合わせ対象を観察
    して位置ずれ量を検出するステップと、前記Z軸モータを駆動して前記ノズルの下面に保持され
    前記第1の位置合わせ対象を上昇させて前記焦点範囲
    から外すと共にこの焦点範囲に第2の位置合わせ対象を
    入れるステップと、同軸落射照明の光を用い、 前記カメラで前記第2の位置
    合わせ対象を観察して位置ずれ量を検出するステップ
    と、 前記位置ずれに基づいて前記ノズルの下面に保持された
    前記第1の位置合わせ対象と前記第2の位置合わせ対象
    を相対的に水平方向へ移動して位置補正し、前記Z軸モ
    ータを駆動して前記第1の位置合わせ対象を下降させる
    ステップ、 とを含むことを特徴とする位置合わせ方法。
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