JP3422175B2 - Method of manufacturing gas discharge panel - Google Patents

Method of manufacturing gas discharge panel

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JP3422175B2 JP12121096A JP12121096A JP3422175B2 JP 3422175 B2 JP3422175 B2 JP 3422175B2 JP 12121096 A JP12121096 A JP 12121096A JP 12121096 A JP12121096 A JP 12121096A JP 3422175 B2 JP3422175 B2 JP 3422175B2
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ガス放電パネルの
製造方法に係り、特に、ガス放電パネルの排気やガス充
填に用いる通気管の取り付け方法の改良、さらに、通気
管の取り付け工程に続く排気工程やガス充填工程の改良
等に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a gas discharge panel, and more particularly, to an improvement in a method for attaching a ventilation pipe used for exhausting a gas discharge panel or gas filling, and further for an exhaust following a step of attaching the ventilation pipe. It relates to improvement of the process and the gas filling process.

【0002】ガス放電パネルには、AC型とDC型の2
種類があり、いずれもカラー表示のできる大型の平面型
表示装置の実現が可能であるため、CRTに代わる表示
デバイスとして注目されている。特に、蛍光体発光によ
りフルカラー表示に適した面放電型のAC型ガス放電パ
ネルは、ハイビジョンを含むテレビジョン表示の分野に
その用途が拡大されつつある。
There are two types of gas discharge panels, AC type and DC type.
There are various types, and any of them can realize a large-sized flat display device capable of color display, and therefore, they are attracting attention as a display device that replaces a CRT. In particular, the surface discharge type AC gas discharge panel suitable for full-color display due to the emission of phosphor is expanding its application to the field of television display including high vision.

【0003】これらのガス放電パネルは、通気管の取り
付け方法、排気工程やガス充填工程に関連して、その製
造方法等の改良が望まれている。
For these gas discharge panels, it is desired to improve the manufacturing method and the like in relation to the method of attaching the ventilation tube, the exhausting step and the gas filling step.

【0004】[0004]

【従来の技術】ガス放電パネルの内部空間を真空に排気
する際にその気密性を保持し、かつその後内部空間に封
入した放電ガスを気密に保持するための気密封止部は、
基本的には、基板周辺部と通気管部の2ヶ所があり、そ
の構造は図11に示すようになっている。この構造は、
AC型およびDC型のいずれのガス放電パネルにおいて
もほぼ同様である。
2. Description of the Related Art An airtight sealing portion for maintaining the airtightness of a gas discharge panel when it is evacuated to a vacuum and for keeping the discharge gas sealed in the inner space airtight.
Basically, there are two places, the peripheral portion of the substrate and the ventilation pipe portion, and the structure thereof is as shown in FIG. This structure is
The same applies to both the AC type and DC type gas discharge panels.

【0005】図中111が前面側、121が背面側のガ
ラス基板を構成している。(以後、前者をA基板、後者
をB基板と称する。)これらの基板は、100μm程度
のギャップを隔てて組み合わされ、その周辺部を封止材
140で気密封止される。さらに、B基板の片隅に通気
孔125があり、その背面側に外端部を密封された通気
管160aが取り付けられている。この通気管160a
の外端部は、最初は符号160の通気管に示すように開
口した状態にあり、この通気管160が排気・ガス充填
装置の所定の管に接続されて、まず内部空間130が真
空に排気され、次にその内部空間130に所定の放電ガ
スが充填される。そのガス充填が終了した後、通気管1
60は、加熱によりチップオフされて同図160aの通
気管に示すように先端部が閉塞され、所定の放電ガスが
充填されたガス放電パネル100となる。
In the drawing, 111 is a front side glass substrate, and 121 is a rear side glass substrate. (Hereinafter, the former is referred to as an A substrate, and the latter is referred to as a B substrate.) These substrates are combined with a gap of about 100 μm therebetween, and their peripheral portions are hermetically sealed with a sealing material 140. Further, there is a ventilation hole 125 in one corner of the B substrate, and a ventilation pipe 160a whose outer end is sealed is attached to the back side thereof. This ventilation pipe 160a
The outer end of the is initially in an open state as shown by the ventilation pipe 160, and this ventilation pipe 160 is connected to a predetermined pipe of the exhaust / gas filling device to first evacuate the internal space 130 to a vacuum. Then, the internal space 130 is filled with a predetermined discharge gas. Vent pipe 1 after the gas filling is completed
The gas discharge panel 100 is chipped off by heating and has its tip closed as shown by the ventilation pipe in FIG. 160a, and is filled with a predetermined discharge gas.

【0006】なお、符号EHは、実際の表示を行う表示
領域を示している。この表示を実現するために、二つの
基板111,121の内側には、電極、誘電体層、隔
壁、蛍光体等の部材が適宜配設されている。これらの図
示は省略したが、具体的には、例えばフルカラー表示の
できるAC型ガス放電パネルの場合には、特開平6−2
67431号公報等に開示されている。
Reference numeral EH indicates a display area for actual display. In order to realize this display, members such as an electrode, a dielectric layer, a partition, and a phosphor are appropriately disposed inside the two substrates 111 and 121. Although not shown in the drawings, specifically, for example, in the case of an AC type gas discharge panel capable of full-color display, JP-A-6-2 is used.
It is disclosed in Japanese Patent No. 67431.

【0007】このガス放電パネル100の通気管160
は、従来次のようにして取り付けていた。図12(a)
に示すように、通気管160の接続側端部は、取り付け
強度を高めるために、ガラス基板との接続面積が増大す
るように裾広に形成されたスカート部161を備え、そ
の下面(接続面)はガラス基板への接続のために平坦化
されている。このスカート部161の下面を含む周辺部
分に融着用のガラスペースト170aを塗布する。この
融着用ガラスペースト170aは、低融点ガラスフリッ
ト、バインダ、および有機溶剤等からなる。
The ventilation pipe 160 of the gas discharge panel 100
Was conventionally attached as follows. Figure 12 (a)
As shown in FIG. 6, the end portion on the connection side of the ventilation pipe 160 is provided with a skirt portion 161 formed wide so as to increase the connection area with the glass substrate in order to increase the attachment strength, and the lower surface (connection surface) ) Is planarized for connection to the glass substrate. The glass paste 170a for fusing is applied to the peripheral portion including the lower surface of the skirt portion 161. The glass paste 170a for fusing is composed of a low melting point glass frit, a binder, an organic solvent, and the like.

【0008】このようにして準備した通気管160を、
図12(b)に示すように、ガラス基板121の外面
に、作業者が孔の位置を合わせてほぼ垂直に押し当てる
形で配置する。その後さらに、スカート部の下部周辺に
ガラスペースト170bを作業者が塗布し、塗布の不十
分な箇所が無いようにしている。このようにして配設さ
れた通気管160は、水平方向に配置されたガラス基板
121の上に、ガラスペースト170a,170bの粘
着力と自重とで配設された状態を保持している。
The ventilation pipe 160 thus prepared is
As shown in FIG. 12B, the operator aligns the positions of the holes on the outer surface of the glass substrate 121 and presses them substantially vertically. After that, the operator further applies the glass paste 170b around the lower part of the skirt portion so that there is no insufficient application. The ventilation pipe 160 thus arranged holds the state in which it is arranged on the glass substrate 121 arranged in the horizontal direction by the adhesive force of the glass pastes 170a and 170b and its own weight.

【0009】このように、ガラス基板121の上に通気
管160を配置した状態で加熱・降温の熱処理を行う。
融着用のガラスペースト170a,170bは、加熱処
理により溶融し、その後の降温処理により固化して、通
気管160とガラス基板121とが固着(ガラス融着)
される。
As described above, the heat treatment of heating and cooling is performed with the ventilation pipe 160 arranged on the glass substrate 121.
The glass pastes 170a and 170b for fusing are melted by a heat treatment and solidified by a subsequent temperature lowering treatment, and the ventilation pipe 160 and the glass substrate 121 are fixed (glass fusion).
To be done.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】このようにして通気管
160を取り付ける場合、次のような問題が発生してい
た。
When the ventilation pipe 160 is attached in this manner, the following problems occur.

【0011】(1) 通気管160にガラスペースト170
aを塗布し、その通気管160をガラス基板121上に
配設し、さらにガラスペースト170bを塗布するとい
う工程は、人手による作業が主体の工程であるため、塗
布量、塗布状態、配設する状態等にばらつきがあり、不
良品が発生する原因となっている。
(1) Glass paste 170 is placed on the ventilation pipe 160.
The process of applying a, arranging the ventilation pipe 160 thereof on the glass substrate 121, and further applying the glass paste 170b is mainly a manual process, and therefore the amount of application, the state of application, and the arrangement are performed. There are variations in the state and the like, which causes defective products.

【0012】(2) 従って、経験を必要とし、手間のかか
る工程となっている。 (3) 通気管160は、図12(b)に示すようにガラス
基板121上に配設してからガラス融着が完了するま
で、それを保持する手段がないため、その通気管160
に力が加わるようなことは一切行うことができない。さ
らに、ガラス基板121,111を垂直方向に立てるこ
ともできない。(この場合に、横向きになった通気管1
60は、ガラスペースト170a,170bが加熱溶融
する時に、自重で落下してしまう。) 従って、通気管取り付け工程に続く排気工程等を一連の
工程として処理することができない。即ち、通気管の取
り付け工程を完了し、常温に戻した後で、ようやく次の
排気工程等に回すことになる。
(2) Therefore, it is a labor-intensive process that requires experience. (3) The ventilation pipe 160 has no means for holding it until the glass fusion is completed after the ventilation pipe 160 is disposed on the glass substrate 121 as shown in FIG.
You can't do anything that adds power to. Further, the glass substrates 121 and 111 cannot be set upright. (In this case, the vent pipe 1 that was turned sideways
60 is dropped by its own weight when the glass pastes 170a and 170b are heated and melted. ) Therefore, the exhaust process and the like following the ventilation pipe attaching process cannot be processed as a series of processes. That is, after the process of attaching the ventilation pipe is completed and the temperature is returned to room temperature, it is finally sent to the next exhaust process or the like.

【0013】本発明は、これらの問題を解決し、塗布
量、塗布状態、配設する状態等のばらつきが小さく、作
業者の手間がかからず、ガラス基板を垂直方向に置いて
通気管を取り付けることも可能にし、しかも不良品の発
生が少ない通気管取り付け方法の提供を目的とする。
The present invention solves these problems, has a small variation in the coating amount, coating state, arrangement state, etc., does not require the operator's labor, and places the glass substrate in the vertical direction to form the ventilation pipe. It is an object of the present invention to provide a method for attaching a ventilation pipe, which can be attached, and in which defective products are less likely to occur.

【0014】さらに、通気管取り付け工程中に通気管に
力が加わってもよい方法とすることにより、通気管の取
り付け工程に続く排気工程等を一連の工程として処理す
る方法の提供を目的とする。
Further, it is an object of the present invention to provide a method of treating the exhaust process and the like subsequent to the attaching process of the ventilation pipe as a series of processes by adopting a method in which a force may be applied to the ventilation pipe during the attaching process of the ventilation pipe. .

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、請求項1記載の発明は、通気孔を有する基板に通
気管を取り付け、通気孔を介して内部の排気または放電
ガス充填を行うガス放電パネルの製造方法であって、
カート形状の基端部を有する通気管と、通気管を基板に
接着するための固形の接着用部材とを、基板の通気孔に
位置合わせして配置すると共に、通気管を挿通させる切
り欠き部と基端部を押さえる支持部とを有するクリップ
手段を用いて、通気管と接着用部材とを基板に固定し、
この固定状態で、接着用部材を加熱により溶融させた後
降温により固化させ通気管を基板に固着させることを特
徴とするガス放電パネルの製造方法を提供する。(な
お、請求項7はこの製造方法に用いるクリップの構成を
示している)。
In order to solve the above problems SUMMARY OF THE INVENTION The invention of Claim 1 Symbol mounting is fitted with a vent pipe to a substrate having a vent, internal exhaust or discharge gas filled through the vent hole A method of manufacturing a gas discharge panel, comprising :
Ventilation pipe with cart-shaped base end and ventilation pipe as substrate
A solid bonding material for bonding to the ventilation holes of the board
Along with aligning the position, cut the vent pipe through
Using a clip means having a notch portion and a support portion for pressing the base end portion , the ventilation pipe and the adhesive member are fixed to the substrate ,
In this fixed state, a method for manufacturing a gas discharge panel is provided, in which the bonding member is melted by heating and then solidified by cooling to fix the ventilation tube to the substrate. (N
Note that claim 7 defines the structure of the clip used in this manufacturing method.
Shown).

【0016】このクリップ手段は、通気管を支持する側
の一方の支持板に通気管を挿通させる切り欠き部と、通
気管のスカート部を押さえる支持部とを有してなるもの
である。
The clip means has a notch portion for inserting the ventilation pipe into one of the support plates on the side supporting the ventilation pipe, and a support portion for pressing the skirt portion of the ventilation pipe.

【0017】なお、ここで言う「スカート形状」や「ス
カート部」の「スカート」は、通気管の端部が裾広とな
る形状の総称として用いた表現であり、フラスコ状に広
がった形状のみに限定されるものではない。
The "skirt shape" and the "skirt" of the "skirt portion" referred to here are expressions used as a general term for the shape in which the end of the ventilation pipe is widened, and only the shape expanded into a flask shape. It is not limited to.

【0018】この固形の接着用部材は、予め機械加工
(例えば、型を用いて加工)することができるため、寸
法等にばらつきの少ない均質なものとすることができ
る。また、クリップ手段の構造を適正なものとすること
により、通気管をガラス基板面に押圧(固定)し、融着
する状態を均質なものとすることができる。これらの均
質化の作用により、加熱および降温の処理によりガラス
基板の通気孔部に融着された通気管は、その仕上がりの
ばらつきが小さく、不良品の発生が少ないものとするこ
とができる。
Since this solid bonding member can be previously machined (for example, processed by using a mold), it can be made homogeneous with little variation in dimensions and the like. Further, by making the structure of the clip means proper, the ventilation tube can be pressed (fixed) to the surface of the glass substrate and the fusion state can be made uniform. Due to the homogenizing effect, the ventilation pipe fused to the ventilation hole portion of the glass substrate by the heating and cooling process can have a small variation in the finish, and the occurrence of defective products can be reduced.

【0019】さらに、固形の接着用部材の形成は機械化
され、クリップ手段の取り付けも簡便な工程であるた
め、作業者の熟練や手間が少なくてすむ。また、通気管
はクリップ手段により固定されているため、ガラス基板
を垂直方向に立てることが可能であり、これにより加熱
炉の中に通気管を取り付ける工程にある多数のガス放電
パネルをスペース効率良く並べることが可能になるた
め、作業効率を向上できる(請求項6に対応)
Further, since the formation of the solid adhesive member is mechanized, and the attachment of the clip means is a simple process, the skill and labor of the operator can be reduced. Further, since the ventilation pipe is fixed by the clip means, it is possible to stand the glass substrate in the vertical direction, which allows a large number of gas discharge panels in the process of mounting the ventilation pipe in the heating furnace to be space-efficient. Since they can be arranged, work efficiency can be improved (corresponding to claim 6) .

【0020】このクリップ手段として、弾性のある金属
からなるクリップを用いることにより、その取り付けと
取り外しとの作業性を向上させることができる。請求項
記載の発明は、通気管を基板に融着するための加熱
が、一対の基板周辺部の封止用接着部材を融着する加熱
と同時に行われることを特徴とするガス放電パネルの製
造方法を提供する。
By using a clip made of elastic metal as the clip means, the workability of attaching and detaching the clip can be improved. Claim
In the invention described in 2, the method for manufacturing the gas discharge panel is characterized in that the heating for fusing the ventilation tube to the substrate is performed at the same time as the heating for fusing the sealing adhesive members of the pair of peripheral portions of the substrate. I will provide a.

【0021】このようにすることにより、上記の作用・
効果に加えて、一対の基板の周辺部の気密封止と、通気
管とガラス基板との気密封止(融着)とを同一の工程で
行い、工程を簡略化することができる。
By doing so, the above-mentioned operation
In addition to the effect, the hermetic sealing of the peripheral portions of the pair of substrates and the hermetic sealing (fusion) of the ventilation tube and the glass substrate can be performed in the same step, and the steps can be simplified.

【0022】請求項3記載の発明は、通気孔を有する基
板に通気管を取り付け、通気孔を介して内部の排気また
は放電ガス充填を行うガス放電パネルの製造方法であっ
て、スカート形状の基端部を有する通気管と、通気管を
基板に接着するための固形の接着用部材とを、基板の通
気孔に位置合わせして配置すると共に、クリップ手段を
用いて通気管と接着用部材とを基板に固定し、通気管の
端部に排気用配管を接続し、この状態で、接着用部材に
より通気管を基板に固着するための加熱及びその加熱後
の降温の処理を行うと共に、その加熱後の降温途中の
温状態において排気を行うことを特徴とするガス放電パ
ネルの製造方法を提供する。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a gas discharge panel manufacturing method in which a ventilation pipe is attached to a substrate having a ventilation hole, and the interior is exhausted or a discharge gas is filled through the ventilation hole. A ventilation pipe having an end portion and a solid bonding member for bonding the ventilation pipe to the substrate are arranged in alignment with the ventilation holes of the substrate, and the ventilation pipe and the bonding member are arranged by using clip means. Is fixed to the substrate, the exhaust pipe is connected to the end of the ventilation pipe, and in this state, heating for fixing the ventilation pipe to the substrate with an adhesive member and after heating
Performs processing of cooling, to provide a method for manufacturing a gas discharge panel and performing an exhaust in a heated state of the middle cooling after the heating.

【0023】この通気管はクリップ手段によりガラス基
板に固定されているため、この状態で外部から多少の力
が加わっても外れることはないし、融着工程での接続も
確実に行うことができる。従って、クリップ手段の設置
後、融着工程に先立って、予め排気用の配管を、取り付
けヘッド等の接続手段を用いて接続することができる。
(従来技術では、これは不可能である。)この接続手段
として耐熱性のあるものを用いれば、通気管を融着する
ための加熱・降温の工程と、二つのガラス基板に挾持さ
れた内部空間の真空排気の工程を一連の工程として処理
することができる。
Since this ventilation pipe is fixed to the glass substrate by the clip means, it does not come off even if some force is applied from the outside in this state, and the connection in the fusion process can be surely performed. Therefore, after the clip means is installed, the exhaust pipe can be connected in advance by using a connecting means such as a mounting head, etc., prior to the fusing step.
(This is not possible with the conventional technology.) If a heat-resistant material is used as this connecting means, the heating / cooling process for fusing the ventilation pipe and the internal structure held between the two glass substrates The process of evacuating the space can be processed as a series of processes.

【0024】この一連の工程は、真空排気の後に、放電
用のガスを充填する工程、さらにその後の通気管のチッ
プオフの工程等を含ませることができる。これにより、
工程を簡略化できるばかりでなく、通気管取り付け後に
空気中に一時放置する工程が無くなるため、不純物の汚
染を受け易い状態にある内部空間を一層清浄に保つこと
が可能になる。
This series of steps may include a step of filling a discharge gas after evacuation, and a step of cutting off the vent pipe thereafter. This allows
Not only can the process be simplified, but since the process of temporarily leaving it in the air after attaching the ventilation pipe is eliminated, it is possible to keep the internal space more susceptible to contamination by impurities more clean.

【0025】請求項記載の方法に加えて、請求項4記
載の方法を用いれば、基板周辺部の気密封止と、通気管
とガラス基板との気密接着と、内部空間の真空排気とを
一連の工程で行うことが可能となる。さらにこの一連の
工程の中に、放電ガスの充填と、通気管のチップオフと
を含ませることができる。これにより、工程をさらに簡
略化できるばかりでなく、不純物の汚染を受け易い状態
にある内部空間を一層清浄に保つことが可能になる。
In addition to the method described in claim 2, when the method described in claim 4 is used, the airtight sealing of the peripheral portion of the substrate, the airtight adhesion between the ventilation tube and the glass substrate, and the evacuation of the internal space are performed. It becomes possible to carry out in a series of steps. Further, the discharge gas filling and the vent tube tip-off can be included in this series of steps. This not only simplifies the process, but also makes it possible to keep the internal space, which is liable to be contaminated with impurities, cleaner.

【0026】請求項記載の発明は、固形の接着用部材
を、加熱処理により予め通気管のスカート部に融着した
構成の通気用組立体を用いることを特徴とする。接着用
部材を通気管と独立のものではなく、予め通気管と一体
化したものとすることにより、通気管をガラス基板に固
定する方法を簡略化できる。
According to a fourth aspect of the present invention, the solid bonding member is previously fused to the skirt portion of the ventilation pipe by heat treatment .
It is characterized by using a ventilation assembly of the construction . The method of fixing the ventilation pipe to the glass substrate can be simplified by making the bonding member not integrated with the ventilation pipe but integrated with the ventilation pipe in advance.

【0027】請求項記載の発明は、対向して配置した
一対の基板の周辺部の基板間にペースト状または固形の
第1の接着用部材を配設した後、接着用部材と一対の基
板とを第1のクリップ手段により固定する工程と、通気
孔を有する基板の通気孔に位置合わせして固形の第2の
接着用部材と通気管とを配置した後、通気管を挿通させ
る切り欠き部と通気管のスカート状の基端部を押さえる
支持部とを有する第2のクリップ手段を用いて通気管と
接着用部材とを基板に固定する工程と、第1および第2
の接着用部材を加熱炉で加熱溶融させた後降温により固
化させて一対の基板の封止と通気管の固着とを同時に行
う工程とを含むことを特徴とするガス放電パネルの製造
方法を提供する。
According to a fifth aspect of the present invention, a paste-like or solid first adhesive member is disposed between the peripheral substrates of the pair of opposed substrates, and then the adhesive member and the pair of substrates are arranged. and fixing the first clip means bets, after and aligned with the vent hole of the base plate having a vent disposed and a second bonding member and the vent pipe of a solid, are inserted through the vent tube
Hold the notch and the skirt-shaped base end of the ventilation pipe.
Fixing the ventilation pipe and the bonding member to the substrate by using the second clip means having the supporting portion; and the first and second
A method for manufacturing a gas discharge panel, comprising the steps of: melting the adhesive member in a heating furnace and then solidifying the adhesive member by lowering the temperature to simultaneously seal a pair of substrates and fix the ventilation pipe. To do.

【0028】このようにすることにより、一対の基板の
周辺部を気密封止するための第1の接着用部材と、通気
管を通気孔部に気密接続するための第2の接着用部材と
を同一の工程で加熱により溶融させた後、降温により固
化させることができる。従って、一対の基板の周辺部の
気密封止と、通気管とガラス基板との気密封止(融着)
とを同一の工程で行うことができる。
By doing so, the first adhesive member for hermetically sealing the peripheral portions of the pair of substrates, and the second adhesive member for hermetically connecting the vent pipe to the vent hole portion. Can be melted by heating in the same step and then solidified by lowering the temperature. Therefore, the hermetic sealing of the peripheral portion of the pair of substrates and the hermetic sealing (fusion) of the ventilation tube and the glass substrate
And can be performed in the same process.

【0029】この方法に加えて、請求項記載の方法を
用いれば、基板周辺部の気密封止と、通気管とガラス基
板との気密接着と、内部空間の真空排気とを一連の工程
で行うことが可能となる。さらにこの一連の工程の中
に、放電ガスの充填と、通気管のチップオフとを含ませ
ることができる。これにより、工程をさらに簡略化でき
るばかりでなく、不純物の汚染を受け易い状態にある内
部空間を一層清浄に保つことが可能になる。
In addition to this method, if the method according to claim 3 is used, airtight sealing of the peripheral portion of the substrate, airtight adhesion between the ventilation tube and the glass substrate, and evacuation of the internal space are performed in a series of steps. It becomes possible to do. Further, the discharge gas filling and the vent tube tip-off can be included in this series of steps. This not only simplifies the process, but also makes it possible to keep the internal space, which is liable to be contaminated with impurities, cleaner.

【0030】[0030]

【発明の実施の形態】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

〔第1実施形態〕本発明を具体化した第1実施形態を、
図1〜図6を参照して説明する。
[First Embodiment] A first embodiment of the present invention will be described.
This will be described with reference to FIGS.

【0031】図1は、前面側のガラス基板(A基板)1
1と、背面側のガラス基板(B基板)21とを、周辺部
に封止材40を備えた形で組み合わせ、B基板にある通
気孔25の背面部に、通気管60をセットした状態を示
している。この通気管60は、そのスカート形状を有す
基端部(以下、スカート部61と記す)とB基板21
との間に固形化した接着用部材としてのプリフォーム7
5を挟み、クリップ手段としてのクリップ80で図1に
示すようにセットされている。
FIG. 1 shows a front glass substrate (A substrate) 1
1 and the glass substrate (B substrate) 21 on the back side are combined in a form in which the sealing material 40 is provided in the peripheral portion, and the ventilation pipe 60 is set on the back portion of the ventilation hole 25 in the B substrate. Shows. The ventilation pipe 60 has a skirt-shaped base end portion (hereinafter referred to as a skirt portion 61) and a B substrate 21.
Preform 7 as an adhesive member solidified between
5, and a clip 80 as a clip means is set as shown in FIG.

【0032】この状態で加熱および降温の熱処理を行う
ことにより、プリフォーム75をガラス化し、それを接
着材として通気管60をB基板21に固着(ガラス融
着)することができる。
By performing heat treatment such as heating and cooling in this state, the preform 75 can be vitrified and the ventilation pipe 60 can be fixed to the B substrate 21 (glass fusion) by using it as an adhesive.

【0033】図1に示したように通気管60をセットす
る方法は、次の通りである。 (イ) 周辺部に封止材40を挾持するように、A基板11
とB基板21とを組合せたものを、通気孔25のあるB
基板21が上側になるようにして準備する。
The method of setting the ventilation pipe 60 as shown in FIG. 1 is as follows. (A) The A substrate 11 is so held that the encapsulating material 40 is held in the peripheral portion.
And the B substrate 21 are combined into a B with a vent hole 25.
The substrate 21 is prepared so that it is on the upper side.

【0034】(ロ) B基板21の通気孔25の部分にプリ
フォーム75を置き、さらにその上に通気管60を置
き、それぞれの孔の中心部が揃うように位置合わせをす
る。 (ハ) その状態で、通気管60のスカート部61をB基板
に押圧するようにクリップ80をセットする。
(B) The preform 75 is placed on the vent hole 25 portion of the B substrate 21, and the vent pipe 60 is placed on the preform 75, and the preforms 75 are aligned so that the central portions of the respective holes are aligned. (C) In that state, the clip 80 is set so that the skirt portion 61 of the ventilation tube 60 is pressed against the B substrate.

【0035】ここで、ガラス基板11,21は、厚さが
2〜3mm、通気孔の直径が2mm程度のものを用いて
いる。通気管60はガラスからなり、図2に示すよう
に、直径約5mm長さ約5cmの中空の管部60bと、
ガラス基板21に接続する端面を平坦化しかつ裾広に形
成した直径約9.5mmのスカート部61とを備えてい
る。
Here, the glass substrates 11 and 21 have a thickness of 2 to 3 mm and a vent hole diameter of about 2 mm. The ventilation pipe 60 is made of glass, and as shown in FIG. 2, a hollow pipe portion 60b having a diameter of about 5 mm and a length of about 5 cm,
It has a skirt portion 61 having a diameter of about 9.5 mm, which is flattened at the end face connected to the glass substrate 21 and formed wide.

【0036】なお、本実施形態では、通気管のスカート
部をクリップによる押さえ部(挾持部)として利用して
いるが、この挾持部構造としては鍔(フランジ)形状等
が採用できる。
In the present embodiment, the skirt portion of the ventilation pipe is used as a holding portion (holding portion) by a clip, but a collar (flange) shape or the like can be adopted as the holding portion structure.

【0037】プリフォーム75は、図3の平面図(a)
と、そのA−A部矢視の断面図(b)とに示すように、
外周部が1〜1.5mmの厚さで、中央部に直径約7m
mの孔部76と、その孔の上部に直径約10mmの段差
部77を備えた形状をしている。この孔部76の直径
は、B基板の通気孔25の直径(約2mm)より5mm
程度大きいものとし、セット時のばらつきに対する余裕
としている。また、高さ約0.5mmの壁を有する段差
部77の直径は通気管60のスカート部61の直径とほ
ぼ同等のものとしてセットする精度を上げられるように
している。なお、この段差部77は、セット作業を容易
にするための工夫であり、ここに通気管60のスカート
部61を嵌め込んでセット作業を行う。
The preform 75 is a plan view (a) of FIG.
And a cross-sectional view (b) taken along the line AA of FIG.
The outer circumference is 1 to 1.5 mm thick and the center is about 7 m in diameter.
m has a hole portion 76, and a step portion 77 having a diameter of about 10 mm is provided on the upper portion of the hole portion 76. The diameter of the hole portion 76 is 5 mm larger than the diameter (about 2 mm) of the vent hole 25 of the B substrate.
It is assumed to be large, and there is a margin for variations in setting. Further, the diameter of the step portion 77 having a wall having a height of about 0.5 mm is set to be substantially the same as the diameter of the skirt portion 61 of the ventilation pipe 60 so that the accuracy of setting can be improved. The step portion 77 is a device for facilitating the setting work, and the skirt portion 61 of the ventilation pipe 60 is fitted therein to perform the setting work.

【0038】このプリフォーム75は、低融点ガラスを
主成分とした粉末を成形治具に入れ、熱処理を施すこと
により製作している。このような形状を持つように固形
化されたものであるため、セット作業を精度良く簡便に
行うことができる。
The preform 75 is manufactured by placing powder containing low melting point glass as a main component in a molding jig and subjecting it to heat treatment. Since it is solidified so as to have such a shape, the setting work can be performed accurately and easily.

【0039】低融点ガラスを主成分としたこのプリフォ
ーム75は、410°C程度の熱処理を施すことにより
溶融し、370°C程度以下に降温することにより固化
したガラスとなる。従って、図1のようにセットされた
状態で加熱および降温の熱処理を行うことにより、B基
板21と通気管60とを固着することができる。
The preform 75 containing low melting point glass as a main component is melted by heat treatment at about 410 ° C., and solidified by lowering the temperature to about 370 ° C. or less. Therefore, the B substrate 21 and the ventilation pipe 60 can be fixed to each other by performing heat treatment such as heating and cooling in the state of being set as shown in FIG.

【0040】次に、通気管60とB基板21とを押圧し
てセットするクリップ80は、図4に示すような形状を
している。同図(a)は平面図、(b)はB−B矢視の
断面図を示している。同図(b)には、クリップ80を
セットするための支持板90を併記する形で示した。こ
のクリップ80は、耐熱性とバネ性のあるインコネルの
ような金属材料で形成されている。
Next, the clip 80 for pressing and setting the ventilation pipe 60 and the B substrate 21 has a shape as shown in FIG. The figure (a) is a top view and the figure (b) has shown sectional drawing of the BB arrow. In FIG. 2B, a support plate 90 for setting the clip 80 is also shown in a form of being additionally shown. The clip 80 is formed of a metal material such as Inconel that has heat resistance and spring properties.

【0041】同図(a)に示すように、クリップ80に
は、その片方の面に切り欠き部81があり、この切り欠
き部81の中に通気管60が入る(挿通する)ようにし
てクリップ80をセットする。切り欠き部81の両側は
通気管60のスカート部を押さえる支持部83となる。
このセットは、同図(b)に示した支持板90a,90
bをクリップ80の折り返し部82の内側に挟んで、一
対の支持板90a,90bの外側を互いに内向き方向に
押さえ、梃子の原理で先端部を開き、切り欠き部81の
間に通気管60が入るように配置して、二つの支持板9
0a,90bに加えた力を除去すればよい。
As shown in FIG. 7A, the clip 80 has a cutout portion 81 on one surface thereof, and the vent pipe 60 is inserted (inserted) into the cutout portion 81. Set the clip 80. Both sides of the cutout portion 81 serve as support portions 83 that hold down the skirt portion of the ventilation pipe 60.
This set is composed of the support plates 90a, 90 shown in FIG.
By sandwiching b inside the folded-back portion 82 of the clip 80, the outer sides of the pair of support plates 90a and 90b are pressed inwardly toward each other, the tip is opened by the principle of leverage, and the ventilation pipe 60 is provided between the cutouts 81. Are placed so that the two support plates 9
The force applied to 0a and 90b may be removed.

【0042】このようにしてクリップ80をセットする
作業は非常に容易であり、この工程は機械化することも
できる。さらに、この切り欠き部81の寸法を適正化す
ることにより、次に説明するように通気管60の取り付
け精度を上げることができる。
The operation of setting the clip 80 in this way is very easy, and this step can be mechanized. Further, by optimizing the size of the cutout portion 81, it is possible to increase the mounting accuracy of the ventilation pipe 60 as described below.

【0043】図5は、通気管60のB基板21への取り
付けを完了し、その作業に用いたクリップを取り外した
後の状態を示したものである。この図のように、通気管
60は、プリフォームが溶融して固化した接続部分78
が完全に気密状態となり、B基板21の上に垂直に立
ち、その仕上がり精度が高くかつばらつきが少ないもの
であることが必要であり、その実現が本実施形態の一つ
の目的である。
FIG. 5 shows a state after the attachment of the ventilation tube 60 to the B board 21 is completed and the clip used for the operation is removed. As shown in this figure, the ventilation pipe 60 has a connection portion 78 in which the preform is melted and solidified.
Must be completely airtight, stand vertically on the B substrate 21, and must have high finishing accuracy and little variation, which is one of the purposes of this embodiment.

【0044】ここで、接続部分78が完全に気密状態と
なりリーク不良にならないという点は、第1に、固形化
したプリフォーム75を用いることにより実現される。
人手による塗布という、ばらつきの大きい方法ではない
ことがその要因である。第2に、クリップ80を適正な
条件でセットするという方法を用いることにより、その
取り付け精度(特に通気管60の傾き)を上げることが
できる。この二つの条件を同時に実現して初めて上記の
目的を実現できるものとなる。
Here, the fact that the connection portion 78 is completely airtight and does not cause a leak failure is firstly realized by using the solidified preform 75.
The reason for this is that it is not a method with large variations, such as manual application. Secondly, by using the method of setting the clip 80 under appropriate conditions, the attachment accuracy (in particular, the inclination of the ventilation pipe 60) can be increased. Only when these two conditions are realized at the same time can the above purpose be realized.

【0045】そこで、クリップ80を適正な条件でセッ
トし、通気管60の取り付け精度(特に通気管60の傾
き)を上げるにはどのようにすべきかについて、図6を
用いて説明する。
Therefore, how to set the clip 80 under appropriate conditions and increase the mounting accuracy of the ventilation pipe 60 (in particular, the inclination of the ventilation pipe 60) will be described with reference to FIG.

【0046】同図(b)はクリップ80の切り欠き部8
1と通気管60との位置関係を示す図である。切り欠き
部81の幅Wは約5mmである。通気管60をクリップ
80の切り欠き部81の奥端部81aに当接するよう
に、クリップ80をセットするため、その長さLを変え
ることにより、通気管60のスカート部61を押さえる
位置が変わる。従って、それに応じて、通気管60の取
り付け後の傾き(倒れ角度)が変動する。
FIG. 7B shows the cutout portion 8 of the clip 80.
It is a figure which shows the positional relationship of 1 and the ventilation pipe 60. The width W of the cutout portion 81 is about 5 mm. Since the clip 80 is set so that the ventilation pipe 60 is brought into contact with the rear end portion 81a of the cutout portion 81 of the clip 80, by changing the length L thereof, the position of pressing the skirt portion 61 of the ventilation pipe 60 is changed. . Therefore, the inclination (tilt angle) after attachment of the ventilation pipe 60 changes accordingly.

【0047】そこで、切り欠き部81の長さLを3,
4,5,6mmとした場合に、通気管60の倒れ角度が
どのように変動するかについて調べたデータをグラフに
して同図(a)に示した。このグラフによれば、切り欠
き部81の長さLを4〜5mmの範囲内に設定すること
により、通気管を精度良く(ほぼ垂直に)取り付けるこ
とができることを示している。
Therefore, the length L of the cutout portion 81 is set to 3,
The data obtained by investigating how the tilt angle of the ventilation pipe 60 fluctuates in the case of 4, 5 and 6 mm is shown in the graph (a) of FIG. According to this graph, by setting the length L of the cutout portion 81 within the range of 4 to 5 mm, it is possible to attach the ventilation pipe with high accuracy (almost vertically).

【0048】以上説明したように、通気管60を図1の
ようにセットして、加熱および降温の熱処理を行い、そ
の熱処理の完了後にクリップ80を取り外すという方法
で通気管60の取り付けを行うことにより、次のような
効果を得ることができる。
As described above, the ventilation pipe 60 is set as shown in FIG. 1, heat treatment for heating and cooling is performed, and the clip 80 is removed after completion of the heat treatment to attach the ventilation pipe 60. As a result, the following effects can be obtained.

【0049】(1) 通気管とガラス基板の通気孔部との融
着は、仕上がりのばらつきが小さく、不良品の発生が少
ないものとすることができる。 (2) 作業者の熟練や手間が少なくてすみ、作業を簡略化
することができる。(機械化もし易いものとなってい
る。) (3) ガラス基板を垂直方向に並べることが可能になるた
め、加熱炉の中に多数のガス放電パネルを効率良く並べ
ることも可能になり、作業効率を上げることができる。
(1) The fusion of the ventilation pipe and the ventilation hole of the glass substrate can be such that the variation in the finish is small and the number of defective products is small. (2) The skill and labor of the operator are small, and the work can be simplified. (It is also easy to mechanize.) (3) Since it is possible to arrange the glass substrates in the vertical direction, it is possible to arrange many gas discharge panels in the heating furnace efficiently, and work efficiency is improved. Can be raised.

【0050】なお、本実施形態では、通気管60の材料
はガラスであるとして説明したが、ガラス以外の材料
(例えば、セラミックや金属)でもよい。クリップ手段
として、クリップの例を示したが、クリップとは異なる
別の形態のものであっても、押圧が可能な部材であれば
よい。複数のものでも単一品として構成された治具でも
よい。その形状も、本実施形態に限定されるものではな
い。
In the present embodiment, the material of the ventilation pipe 60 is glass, but it may be a material other than glass (for example, ceramic or metal). Although an example of a clip is shown as the clip means, another form different from the clip may be used as long as it can be pressed. The jig may be a plurality of jigs or a single jig. The shape is also not limited to this embodiment.

【0051】さらに、前記(イ) の工程で説明した「周辺
部に封止材40を挾持するように、A基板11とB基板
21とを組み合わせたもの」に関して、封止材40は、
熱処理により融着処理を完了したものであっても、熱処
理前の(融着されていない)状態のものであってもよ
い。ここで、後者の具体例は、第3実施形態の中に示し
た。一方、前者の場合には、封止材40の軟化温度が、
通気管60を融着するプリフォーム75の融着温度より
高いものを用いていればよい。
Further, regarding the "combination of the A substrate 11 and the B substrate 21 so as to hold the sealing material 40 in the peripheral portion" described in the step (a), the sealing material 40 is
The fusion treatment may be completed by the heat treatment, or may be in a state before the heat treatment (not fused). Here, a specific example of the latter is shown in the third embodiment. On the other hand, in the former case, the softening temperature of the sealing material 40 is
What is higher than the fusion temperature of the preform 75 for fusion bonding the ventilation pipe 60 may be used.

【0052】〔第2実施形態〕本発明を具体化した第2
実施形態を、図7を参照して説明する。本実施形態は、
通気管60とプリフォーム(図3の75)との組合せを
改善したものである。
[Second Embodiment] A second embodiment of the present invention
The embodiment will be described with reference to FIG. 7. In this embodiment,
This is an improved combination of the ventilation pipe 60 and the preform (75 in FIG. 3).

【0053】第1実施形態においては、これらは別々の
ものであるため、図1に示すようにセットするために
は、予め組み合わされたガラス基板11,21に対し
て、通気管60と、プリフォーム75と、クリップ80
との三つの部品を位置合わせしてセットする必要があっ
た。
In the first embodiment, since these are separate, in order to set them as shown in FIG. 1, the ventilation pipe 60 and the plug should be attached to the glass substrates 11 and 21 which are combined in advance. Reform 75 and clip 80
It was necessary to align and set the three parts.

【0054】そこで、本実施形態においては、このプリ
フォーム(図3の75)を、熱処理により、予めスカー
ト部61に符号79で示すように固着した通気管60を
用いる。この熱処理としては、両者を組合せた状態で、
例えばガスバーナの炎を当てて融着する方法がある。あ
るいは、加熱炉の中に入れる方法でもよい。
Therefore, in this embodiment, the preform (75 in FIG. 3) is heat-treated to use the ventilation pipe 60 which is fixed to the skirt portion 61 in advance as indicated by reference numeral 79. For this heat treatment, in a state where both are combined,
For example, there is a method of applying a flame of a gas burner and fusing. Alternatively, it may be placed in a heating furnace.

【0055】このようにして、プリフォーム(図3の7
5)と通気管60とを一体化した通気用組立体を用いる
ことにより、第1実施形態の場合よりも簡便に、ガラス
基板21に、通気管60とクリップ80とをセットする
ことができる。
In this way, the preform (7 in FIG. 3) is
By using the ventilation assembly in which 5) and the ventilation pipe 60 are integrated, the ventilation pipe 60 and the clip 80 can be set on the glass substrate 21 more easily than in the case of the first embodiment.

【0056】〔第3実施形態〕本発明を具体化した第3
実施形態を、図8〜図10を参照して説明する。本実施
形態は、第1実施形態の方法の前後に別の工程を組み合
わせて一連の工程となし、全体の工程を合理化する改善
と、内部空間を一層清浄化する改善とを可能とするもの
である。
[Third Embodiment] A third embodiment of the present invention.
The embodiment will be described with reference to FIGS. 8 to 10. The present embodiment forms a series of steps by combining different steps before and after the method of the first embodiment, and enables an improvement that rationalizes the whole process and an improvement that further cleans the internal space. is there.

【0057】図8は、本実施形態における処理プロセス
のフローを示し、図9は、そのフローを模式的に図示し
たものである。工程を(A) 〜(F) の6工程に分け、図8
と図9において、それぞれ対応する工程には同一の符号
を付けて示した。
FIG. 8 shows the flow of the processing process in the present embodiment, and FIG. 9 schematically shows the flow. The process is divided into 6 steps (A) to (F), as shown in FIG.
9 and FIG. 9, the corresponding steps are denoted by the same reference numerals.

【0058】(A) 予め周辺部に封止材(第1の接着用部
材)を印刷したA基板と、通気孔を有するB基板とを、
封止材を挾持するように位置合わせして組合せ、その周
辺部に、封止材のある部分を押圧するように基板押圧用
のクリップ(第1のクリップ手段)85をセットする。
(A) An A substrate on which a sealing material (first adhesive member) is printed in advance on the peripheral portion, and a B substrate having a vent hole,
The sealing material is positioned and combined so as to be held, and a clip (first clip means) 85 for pressing the substrate is set on the peripheral portion so as to press a portion having the sealing material.

【0059】(B) B基板の通気孔部に、通気管60とプ
リフォーム(第2の接着用部材)とを、通気管押圧用の
クリップ(第2のクリップ手段)80によりセットす
る。このようにセットしたものを通気管・基板アセンブ
リと呼称する。(この通気管・基板アセンブリは、以後
の一連の処理が完了するまで、各工程の処理が加えられ
たものも含めて、全て通気管・基板アセンブリと呼称す
るものとする。) なお、この工程は、第1実施形態の方法に対応するもの
である。
(B) The ventilation pipe 60 and the preform (second bonding member) are set in the ventilation hole of the B substrate by the ventilation pipe pressing clip (second clipping means) 80. The assembly thus set is called a ventilation tube / substrate assembly. (This vent tube / substrate assembly is referred to as the vent tube / substrate assembly, including the ones to which the processes of each step have been added, until the subsequent series of processes is completed.) Corresponds to the method of the first embodiment.

【0060】(C) そのように組み立てられた通気管・基
板アセンブリを封止・排気炉260の中に配置し、その
通気管部に真空排気用の耐熱性真空ヘッド210(この
内容は、図10を参照して後述する)を取り付け、封止
・排気炉260の扉を閉める。ここで、封止・排気炉2
60内に搬入してセットした通気管・基板アセンブリは
1個であるが、これは模式的に示したもので、通常は複
数の通気管・基板アセンブリをセットする。
(C) The thus-assembled vent pipe / substrate assembly is placed in a sealing / exhaust furnace 260, and the vent pipe portion has a heat-resistant vacuum head 210 for evacuation (the contents are shown in FIG. 10), and the door of the sealing / exhaust furnace 260 is closed. Here, the sealing and exhaust furnace 2
The number of the ventilation pipe / substrate assembly that is carried into the unit 60 and set is one, but this is a schematic illustration, and usually a plurality of ventilation pipe / substrate assemblies are set.

【0061】本実施形態においてはこの工程が重要であ
る。第1実施形態に対応する(B) の工程を用いることに
より、このように真空ヘッド210を取り付けることが
可能となり、さらに(D) 以降の一連の工程を可能として
いる。この内容は、工程フローとその効果の説明の後で
(図10を参照して)詳細に説明する。
This step is important in this embodiment. By using the step (B) corresponding to the first embodiment, the vacuum head 210 can be attached in this way, and further the series of steps after (D) are possible. This content will be described in detail after the description of the process flow and its effect (see FIG. 10).

【0062】(D) この状態で、約410°Cに加熱する
ことにより、封止材(第1の接着用部材)とプリフォー
ム(第2の接着用部材)とを溶融させる。なお、これら
の接着用部材は、いずれも低融点ガラスを主成分とする
材料であり、この温度で溶融するように調整されてい
る。
(D) In this state, the sealing material (first adhesive member) and the preform (second adhesive member) are melted by heating to about 410 ° C. Each of these bonding members is a material whose main component is low-melting glass, and is adjusted to melt at this temperature.

【0063】次に、約350°Cにまで降温させて保持
する。この過程で二つの接着用部材は固化してガラスと
なり、基板周辺部の封止と、通気管の封止(ガラス融
着)とが同時に行われる。
Next, the temperature is lowered to about 350 ° C. and kept. In this process, the two bonding members are solidified into glass, and the sealing of the peripheral portion of the substrate and the sealing of the ventilation pipe (glass fusion) are performed simultaneously.

【0064】これで通気管・基板アセンブリの気密封止
が完了し、すでに真空ヘッド210が装着されているた
め、ここで真空ヘッド210に連結した排気装置(図9
には図示せず、図10に図示)を作動させることによ
り、通気管・基板アセンブリの内部空間を真空に排気す
ることができる。封止・排気炉260の内部は約350
°Cに保持されているため、加熱状態で真空排気処理が
できる。(内部表面に付着している不純物や不純ガスの
放出を加熱により加速し、内部空間の真空度を上げるこ
とができる。) 十分な排気処理の後、炉内の温度を常温にまで降温させ
る。この後、通気管・基板アセンブリの内部空間に、放
電ガスを導入する。このために、排気装置(図9には図
示せず、図10に図示)は、放電ガスを導入するための
ガスボンベや所定の配管等を有する構成となっている。
Since the airtight tube / substrate assembly is now hermetically sealed and the vacuum head 210 is already mounted, the exhaust device connected to the vacuum head 210 (see FIG. 9).
The internal space of the ventilation tube / substrate assembly can be evacuated to a vacuum by activating (not shown in FIG. 10, but shown in FIG. 10). The sealing / exhaust furnace 260 has about 350 inside.
Since the temperature is kept at ° C, vacuum evacuation processing can be performed in a heated state. (The emission of impurities and impure gas adhering to the inner surface can be accelerated by heating, and the degree of vacuum in the inner space can be increased.) After sufficient exhaust processing, the temperature inside the furnace is lowered to room temperature. Then, the discharge gas is introduced into the inner space of the ventilation tube / substrate assembly. For this reason, the exhaust device (not shown in FIG. 9 but shown in FIG. 10) is configured to have a gas cylinder for introducing the discharge gas, a predetermined pipe, and the like.

【0065】(E) この処理の完了後、封止・排気炉26
0の扉を開け、ガスバーナにて通気管をチップオフす
る。 (F) このチップオフ処理を完了した通気管・基板アセン
ブリを、封止・排気炉260から取り出し、2種類のク
リップ85,80を全て取り外して一連の工程が完了す
る。
(E) After the completion of this process, the sealing / exhaust furnace 26
Open the 0 door and tip off the ventilation pipe with a gas burner. (F) The vent tube / substrate assembly that has completed this chip-off process is taken out of the sealing / exhaust furnace 260, and the two types of clips 85 and 80 are all removed to complete the series of steps.

【0066】このようにして完成した通気管・基板アセ
ンブリは、次の工程(エージング、特性試験等)に搬送
される。従来は、以上のような一連の工程と異なり、封
止炉内で通気管の取り付けを行った後に常温に戻し、通
気管・基板アセンブリを封止炉から外に取出し、次に加
熱炉を有する排気装置に取り付けて、加熱状態で排気す
るという方法を用いていた。このような従来の方法に比
べて、本実施形態に示したように一連の工程を遂行する
ことの効果は、次の通りである。
The ventilation pipe / substrate assembly thus completed is transported to the next step (aging, characteristic test, etc.). Conventionally, unlike the above-described series of steps, the ventilation tube is attached in the sealing furnace, then returned to room temperature, the ventilation tube / substrate assembly is taken out of the sealing furnace, and then the heating furnace is provided. The method of attaching to an exhaust device and exhausting in a heated state was used. Compared with such a conventional method, the effect of performing a series of steps as shown in this embodiment is as follows.

【0067】(1) 本実施形態においては、通気管の取り
付けを完了した通気管・基板アセンブリを、通気管の外
端部が開放状態のままで常温に戻して空気中に一時放置
するという工程がない。これは、内部空間を清浄化する
上で効果の大きい改善である。
(1) In the present embodiment, the step of returning the ventilation pipe / substrate assembly, to which the ventilation pipe has been attached, to room temperature while leaving the outer end of the ventilation pipe open and temporarily leaving it in the air There is no. This is a highly effective improvement in cleaning the interior space.

【0068】即ち、従来のように、大気中において約4
10°Cから常温に戻すという工程は、内部空間に大気
中の不純物を吸着させる結果をもたらすため、その後真
空に排気する工程においては、加熱状態で長時間をかけ
て清浄化の処理を行うことが必要になる。特に、AC型
のガス放電パネルの場合には、内部空間に不純物の汚染
を受け易いMgO膜を備えているため、この影響が大き
い。排気工程に移るまでの放置時間が長い場合は、一層
その影響は大きいものとなる。
That is, as in the conventional case, about 4 in the atmosphere.
The process of returning the temperature from 10 ° C to room temperature causes the impurities in the atmosphere to be adsorbed to the internal space. Therefore, in the process of evacuating to a vacuum after that, the cleaning process should be performed in a heated state for a long time. Will be required. In particular, in the case of an AC type gas discharge panel, this effect is great because the internal space is provided with a MgO film that is easily contaminated with impurities. The effect becomes more significant when the time for leaving to the exhaust process is long.

【0069】これに対して、本実施形態の場合には、基
板周辺部と通気管部の封止工程の後、温度を常温に戻す
ことなく、約350°Cのレベルに保持し、その状態で
内部空間の排気を行っている。従って、空気中の不純物
が内部空間に吸着することが、約350°Cの熱印加に
より抑制され、その状態で真空排気が行われるため、内
部空間を清浄化する効果が大きいものとなる。特に、内
部空間にMgO膜を有するAC型ガス放電パネルにおい
て、この効果は顕著である。
On the other hand, in the case of this embodiment, after the step of sealing the peripheral portion of the substrate and the ventilation tube portion, the temperature is maintained at a level of about 350 ° C. without returning to room temperature, and the state is maintained. The internal space is exhausted at. Therefore, adsorption of impurities in the air to the internal space is suppressed by application of heat at about 350 ° C., and vacuum exhaust is performed in that state, so that the effect of cleaning the internal space becomes great. In particular, this effect is remarkable in the AC type gas discharge panel having the MgO film in the internal space.

【0070】(2) 本実施形態においては、封止工程と排
気工程とにおける加熱・降温の熱処理工程が、従来は二
つであったものを、一つの工程に合体しているため、封
止工程と排気工程とを完了するのに要する時間をほぼ半
分に削減することができる。即ち、封止工程と排気工程
とに要する時間は、それぞれの熱工程による時間がほと
んどを占めるため、この熱工程を半減すれば、全体の処
理時間もほぼ半減するものとなっている。
(2) In the present embodiment, since the heat treatment process of heating / cooling in the sealing process and the exhaust process is conventionally two, it is combined into one process. The time required to complete the process and the evacuation process can be reduced to almost half. That is, the time required for the sealing step and the evacuation step occupies most of the time required for each heat step. Therefore, if the heat step is halved, the total processing time is also halved.

【0071】なお、本実施形態においては、基板周辺部
の封止と通気管の取り付けと排気の三つの工程を一つの
熱工程で処理している。従来は、これらの三つの工程
を、三つの熱処理工程で行う場合もあり、このような場
合に比べれば全工程に要する時間はほぼ1/3になる。
In this embodiment, the three steps of sealing the peripheral portion of the substrate, attaching the ventilation pipe, and exhausting the gas are performed in one heat step. Conventionally, these three steps may be performed in three heat treatment steps, and the time required for all the steps is about 1/3 as compared with such a case.

【0072】このように、基板周辺部の封止と通気管の
取り付けと排気の三つの工程を、一連の工程として(一
つの熱工程で)処理することにより、製造工程を大幅に
削減することが可能になる。
As described above, the three steps of sealing the peripheral portion of the substrate, attaching the ventilation pipe, and exhausting are processed as a series of steps (in one heat step), thereby significantly reducing the manufacturing steps. Will be possible.

【0073】ここで、本実施形態のような一連の工程
は、上記(C),(D) の工程を実現することにより可能とな
ったものである。この内容について、図10を参照して
説明する。
Here, the series of steps as in this embodiment is made possible by realizing the steps (C) and (D). The contents will be described with reference to FIG.

【0074】図10は、封止・排気炉260の中に、通
気管・基板アセンブリ200を搬入して真空ヘッド21
0をセットした状態を横から見て図示したものである。
(これに対して、図9は上から見て図示したものであ
る。)通気管・基板アセンブリ200のガラス基板1
1,21を水平に置き、垂直に立っている通気管60の
外端部に、真空ヘッド210を取り付けている。真空ヘ
ッド210には、真空排気用の配管220が付いてお
り、それは排気・ガス充填装置250に接続されてい
る。なお、その配管の途中に、通気管60に真空ヘッド
210を取り付け易くするために、ベローズ等の緩衝手
段230を配置することが望ましい。
In FIG. 10, the ventilation tube / substrate assembly 200 is carried into the sealing / exhaust furnace 260 and the vacuum head 21 is inserted.
The figure shows a state in which 0 is set when viewed from the side.
(On the other hand, FIG. 9 is shown from above.) The glass substrate 1 of the ventilation pipe / substrate assembly 200.
The vacuum heads 210 are attached to the outer ends of the ventilation pipes 60, which are placed horizontally and vertically. The vacuum head 210 is provided with a pipe 220 for vacuum exhaust, which is connected to an exhaust / gas filling device 250. In addition, in order to facilitate the attachment of the vacuum head 210 to the ventilation pipe 60, it is desirable to dispose a cushioning means 230 such as a bellows in the middle of the pipe.

【0075】ここで重要なことは、本実施形態において
は、第1に、真空ヘッド210を取り付ける時に力が加
わっても通気管60が外れないようにすることである。
そして第2に、この状態で約410°Cに加熱してプリ
フォーム75が溶融しかつ真空ヘッド210による外力
が加わっても、通気管60がB基板21に接触した状態
を確実に保持することができるようにすることである。
What is important here is, in the present embodiment, firstly, the vent pipe 60 is prevented from coming off even if a force is applied when the vacuum head 210 is attached.
Secondly, even if the preform 75 is melted by being heated to about 410 ° C. in this state and an external force is applied by the vacuum head 210, the state in which the ventilation pipe 60 is in contact with the B substrate 21 is surely maintained. Is to be able to.

【0076】これらの2点が可能であることは、図10
の構成を見れば明らかである。第1の点に関しては、真
空ヘッド210を取り付ける時に通気管60に力が加わ
り、第2の点に関しては、プリフォーム75を加熱溶融
する際に通気管60に力が加わることが問題となる。い
ずれも、問題となる外力の主たるものは、真空ヘッド2
10に起因したものである。このような外力に対して、
通気管60は、クリップ80の押圧により強固に固定さ
れているため、位置がずれたり融着不良が発生したりす
ることはない。一方、従来の方法では、通気管60をこ
のように保持する手段がないため、このような工程を実
現することは不可能であった。
The fact that these two points are possible is shown in FIG.
It is clear from the composition of. Regarding the first point, a force is applied to the ventilation pipe 60 when the vacuum head 210 is attached, and regarding the second point, a force is applied to the ventilation pipe 60 when the preform 75 is heated and melted. In both cases, the main problem of external force is the vacuum head 2.
It is due to 10. Against such external force,
Since the ventilation pipe 60 is firmly fixed by the pressing of the clip 80, the position of the ventilation pipe 60 does not shift and the fusion failure does not occur. On the other hand, in the conventional method, since there is no means for holding the ventilation pipe 60 in this way, it is impossible to realize such a process.

【0077】結局、このような一連の工程を可能にした
のは、第1実施形態の方法を用いていることによるもの
である。なお、図10のように真空ヘッド210を用い
ることに代えて、真空排気用の配管220をガラス管と
し、それを通気管60に、ガスバーナ等により直接溶着
することもできる。
After all, the reason why such a series of steps is made possible is that the method of the first embodiment is used. Instead of using the vacuum head 210 as shown in FIG. 10, the vacuum exhaust pipe 220 may be a glass pipe, and the glass pipe may be directly welded to the ventilation pipe 60 by a gas burner or the like.

【0078】図9および図10においては、通気管・基
板アセンブリ200のガラス基板11,21を水平方向
に設置して処理しているが、これを垂直方向に設置して
処理することもできる。
In FIGS. 9 and 10, the glass substrates 11 and 21 of the ventilation pipe / substrate assembly 200 are installed horizontally for processing, but they can also be installed vertically for processing.

【0079】[0079]

【発明の効果】請求項1及び記載の発明によれば、通
気管とガラス基板の通気孔部との融着は、仕上がりのば
らつきが小さく、不良品の発生が少ないものとすること
ができる。さらに、作業者の熟練や手間が少なくてす
み、機械化もし易いものとなっている。また、請求項6
記載の発明によりガラス基板を垂直方向に並べることが
可能になるため、加熱炉の中に多数のガス放電パネルを
効率良く並べることも可能になり、作業効率を向上でき
る。
According to the first and seventh aspects of the present invention, the fusion bonding between the ventilation pipe and the ventilation hole portion of the glass substrate can be such that the variation in the finish is small and the number of defective products is small. . Furthermore, it requires less skill and labor for the operator and is easy to mechanize. In addition, claim 6
Since the glass substrates can be arranged in the vertical direction by the invention described above, a large number of gas discharge panels can be arranged efficiently in the heating furnace, and the work efficiency can be improved.

【0080】さらに、クリップを用いたことにより、そ
の取り付けと取り外しとの作業性を向上させることがで
きる。請求項記載の発明によれば、通気管を融着する
工程と、内部空間の真空排気の工程を一連の工程として
処理することができる。従って、工程を簡略化できるば
かりでなく、通気管取り付け後に空気中に一時放置する
工程が無くなるため、不純物を吸着し易い内部空間を一
層清浄に保つことが可能になる。
Further, by using the clip, the workability of attaching and detaching the clip can be improved. According to the third aspect of the invention, the process of fusing the ventilation pipe and the process of evacuating the internal space can be processed as a series of processes. Therefore, not only can the process be simplified, but the process of temporarily leaving it in the air after attaching the ventilation pipe is eliminated, so that the internal space where impurities are easily adsorbed can be kept cleaner.

【0081】さらに、この一連の工程は、真空排気の後
に放電用のガスを充填する工程、その後の通気管のチッ
プオフの工程等を含ませることができるため、全体の工
程を大幅に簡略化できる。
Furthermore, since this series of steps can include a step of filling a discharge gas after evacuation and a step of cutting off the vent pipe after that, etc., the whole steps are greatly simplified. it can.

【0082】請求項記載の発明によれば、接着用部材
を予め通気管と一体化したものとすることにより、通気
管をガラス基板に固定する工程を簡略化できる。請求項
2及び5記載の発明によれば、一対の基板の周辺部の気
密封止と、通気管とガラス基板との気密接着とを同一の
工程で行うことができる。
According to the fourth aspect of the present invention, the bonding member is previously integrated with the ventilation tube, so that the step of fixing the ventilation tube to the glass substrate can be simplified. Claim
According to the inventions described in 2 and 5, the hermetic sealing of the peripheral portions of the pair of substrates and the hermetic bonding of the ventilation tube and the glass substrate can be performed in the same step.

【0083】[0083]

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 第1実施形態を示す図FIG. 1 is a diagram showing a first embodiment.

【図2】 通気管の形状を示す図FIG. 2 is a diagram showing the shape of a ventilation pipe.

【図3】 プリフォームの形状を示す図FIG. 3 is a diagram showing the shape of a preform.

【図4】 クリップの形状を示す図FIG. 4 is a diagram showing the shape of a clip.

【図5】 通気管の取り付け完了後の状態を示す図FIG. 5 is a view showing a state after the attachment of the ventilation pipe is completed.

【図6】 クリップの切り欠き部の長さと、通気管の倒
れ角度との関係を示す図
FIG. 6 is a diagram showing the relationship between the length of the cutout portion of the clip and the tilt angle of the ventilation pipe.

【図7】 第2実施形態を示す図FIG. 7 is a diagram showing a second embodiment.

【図8】 第3実施形態を示すフローチャートFIG. 8 is a flowchart showing a third embodiment.

【図9】 第3実施形態の工程を示す図FIG. 9 is a diagram showing a process of the third embodiment.

【図10】 真空ヘッドの取り付けを示す図FIG. 10 is a diagram showing attachment of a vacuum head.

【図11】 ガス放電パネルを示す図FIG. 11 is a diagram showing a gas discharge panel.

【図12】 従来の通気管取り付け方法を示す図FIG. 12 is a view showing a conventional method for attaching a ventilation pipe.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10,100 ガス放電パネル 11,111 ガラス基板、A基板 21,121 ガラス基板、B基板 25,125 通気孔 30,130 内部空間 40,140 封止材 60,160,160a 通気管 60b 管部 61,161 スカート部 75 プリフォーム 76 孔部 77 段差部 80 クリップ 81 切り欠き部 81a 切り欠き部の奥端部 82 折り返し部 83 支持部 90,90a,90b 支持板 170a,170b ガラスペースト 200 通気管・基板アセンブリ 210 真空ヘッド 220 配管 230 緩衝手段 250 排気・ガス充填装置 260 封止・排気炉 EH 表示領域 10,100 gas discharge panel 11,111 Glass substrate, A substrate 21,121 glass substrate, B substrate 25,125 ventilation holes 30,130 Internal space 40,140 sealing material 60,160,160a Vent pipe 60b pipe section 61,161 Skirt part 75 preform 76 hole 77 Step 80 clips 81 Notch 81a The rear end of the notch 82 Folding part 83 Support 90, 90a, 90b Support plate 170a, 170b Glass paste 200 Vent pipe / substrate assembly 210 vacuum head 220 piping 230 buffer means 250 Exhaust gas filling device 260 sealing and exhaust furnace EH display area

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01J 9/26 H01J 9/385 H01J 9/395 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) H01J 9/26 H01J 9/385 H01J 9/395

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 通気孔を有する基板に通気管を取り付
け、該通気孔を介して内部の排気または放電ガス充填を
行うガス放電パネルの製造方法であって、 スカート形状の基端部を有する前記通気管と、前記通気
管を前記基板に接着するための固形の接着用部材とを、
前記基板の通気孔に位置合わせして配置すると共に、 該通気管を挿通させる切り欠き部と該基端部を押さえる
支持部とを有するクリップ手段を用いて、該通気管と該
接着用部材とを該基板に固定し、 この固定状態で、該接着用部材を加熱により溶融させた
後降温により固化させ該通気管を該基板に固着させるこ
とを特徴とするガス放電パネルの製造方法。
1. A method of manufacturing a gas discharge panel in which a ventilation tube is attached to a substrate having a ventilation hole, and the inside of the gas is exhausted or a discharge gas is filled through the ventilation hole, the method having a skirt-shaped base end portion. A ventilation pipe and a solid bonding member for bonding the ventilation pipe to the substrate,
Using the clip means, which is aligned with the ventilation hole of the substrate and has a notch portion for inserting the ventilation pipe and a support portion for pressing the base end portion, the ventilation pipe and the bonding member are provided. Is fixed to the substrate, and in this fixed state, the adhesive member is melted by heating and then solidified by lowering the temperature to fix the ventilation pipe to the substrate.
【請求項2】 請求項1記載の加熱が、一対の基板周辺
部の封止用接着部材を融着する加熱と同時に行われるこ
とを特徴とするガス放電パネルの製造方法。
2. The method for manufacturing a gas discharge panel according to claim 1, wherein the heating according to claim 1 is performed simultaneously with the heating for fusing the sealing adhesive members in the peripheral portions of the pair of substrates.
【請求項3】 通気孔を有する基板に通気管を取り付
け、該通気孔を介して内部の排気または放電ガス充填を
行うガス放電パネルの製造方法であって、 スカート形状の基端部を有する前記通気管と、前記通気
管を前記基板に接着するための固形の接着用部材とを、
前記基板の通気孔に位置合わせして配置すると共に、ク
リップ手段を用いて該通気管と該接着用部材とを該基板
に固定し、 前記通気管の端部に排気用配管を接続し、 この状態で、該接着用部材により該通気管を該基板に固
着するための加熱及びその加熱後の降温の処理を行うと
共に、前記加熱後の降温途中の加温状態において排気を
行うことを特徴とするガス放電パネルの製造方法。
3. A method for manufacturing a gas discharge panel in which a ventilation pipe is attached to a substrate having a ventilation hole, and the inside of the exhaust gas or discharge gas is filled through the ventilation hole, the method having a skirt-shaped base end portion. A ventilation pipe and a solid bonding member for bonding the ventilation pipe to the substrate,
The ventilation pipe and the bonding member are fixed to the substrate by using clip means while being aligned with the ventilation hole of the substrate, and an exhaust pipe is connected to an end of the ventilation pipe, In this state, heating for fixing the ventilation pipe to the substrate by the bonding member and a temperature lowering process after the heating are performed, and exhaust is performed in a warming state during the temperature lowering after the heating. Method for manufacturing gas discharge panel.
【請求項4】 請求項1記載の通気管及び固形の接着用
部材として、該接着用部材が、加熱により予め前記通気
管のスカート部に融着された構成の通気用組立体を用い
ることを特徴とするガス放電パネルの製造方法。
4. The ventilation pipe according to claim 1, wherein the bonding member is a ventilation bonding assembly having a structure in which the bonding member is previously fused to the skirt portion of the ventilation pipe by heating. A characteristic gas discharge panel manufacturing method.
【請求項5】 対向して配置した一対の基板の周辺部の
基板間にペースト状または固形の第1の接着用部材を配
設した後、該接着用部材と一対の該基板とを第1のクリ
ップ手段により固定する工程と、 通気孔を有する前記基板の該通気孔に位置合わせして固
形の第2の接着用部材と通気管とを配置した後、前記通
気管を挿通させる切り欠き部と前記通気管のスカート状
の基端部を押さえる支持部とを有する第2のクリップ手
段を用いて該通気管と該接着用部材とを該基板に固定す
る工程と、 第1および第2の接着用部材を加熱炉で加熱溶融させた
後降温により固化させて一対の該基板の封止と該通気管
の固着とを同時に行う工程とを含むことを特徴とするガ
ス放電パネルの製造方法。
5. A paste-like or solid first bonding member is disposed between the peripheral substrates of the pair of substrates arranged to face each other, and the bonding member and the pair of substrates are first bonded to each other. Fixing with a clip means, and a cutout portion for inserting the ventilation pipe after the solid second adhesive member and the ventilation pipe are aligned with the ventilation hole of the substrate having the ventilation hole. Fixing the ventilation pipe and the bonding member to the substrate by using a second clip means having a support portion that holds the skirt-shaped base end portion of the ventilation pipe, and the first and second A method for manufacturing a gas discharge panel, comprising the steps of heating and melting an adhesive member in a heating furnace and then solidifying the adhesive member by lowering the temperature to simultaneously seal a pair of the substrates and fix the ventilation pipe.
【請求項6】 請求項1または請求項3記載の加熱が、
前記基板を垂直方向に配置した状態で行われることを特
徴とするガス放電パネルの製造方法。
6. The heating according to claim 1 or 3,
A method of manufacturing a gas discharge panel, which is performed in a state where the substrate is arranged in a vertical direction.
【請求項7】 ガス放電パネルの排気または放電ガス充
填に用いられる通気管を前記ガス放電パネル用の基板に
接着用部材で固定する際に使用するクリップであって、 前記通気管を支持する側の支持板に、通気管を挿通させ
るための切り欠き部と、通気管のスカート形状の基端部
を押さえるための支持部とを有してなることを特徴とす
るクリップ。
7. A clip used when fixing a ventilation pipe used for exhausting a gas discharge panel or filling a discharge gas to a substrate for the gas discharge panel with an adhesive member, the side supporting the ventilation pipe. A clip, characterized in that the support plate has a notch for inserting the ventilation pipe and a support for pressing the skirt-shaped base end of the ventilation pipe.
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