JP3421458B2 - Ｉｃテスター用ハンドラのテストトレイ - Google Patents
Ｉｃテスター用ハンドラのテストトレイInfo
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- JP3421458B2 JP3421458B2 JP31419694A JP31419694A JP3421458B2 JP 3421458 B2 JP3421458 B2 JP 3421458B2 JP 31419694 A JP31419694 A JP 31419694A JP 31419694 A JP31419694 A JP 31419694A JP 3421458 B2 JP3421458 B2 JP 3421458B2
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- tray
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣテスター用ハンド
ラのテストトレイの構造に関するもので、特にトレイイ
ンサートにおけるＩＣ押さえ機構の細部構成に関するも
のである。
ラのテストトレイの構造に関するもので、特にトレイイ
ンサートにおけるＩＣ押さえ機構の細部構成に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣテスターを用いてＩＣの特性を測定
する場合、ＩＣはハンドラによってハンドリングされ、
そのＩＣテスター内の所定役割を持った各ステーション
に移送されていく。即ち、「ＩＣの受け取り」→「温度
印加」→「ＩＣ特性測定」→「ＩＣの受け渡し」といっ
たステーションの設定が一般的なものである。しかし、
ハンドリングの際には、ハンドラの駆動機構そのものに
よって惹起される振動やオペレータの操作時等の外部要
因での振動やショック或いは傾けによって、ＩＣの位置
ズレや飛び出しが生じてしまう。そこで、ＩＣテスター
内でのＩＣ姿勢・位置の保持・制御が可能で、容易には
飛び出してはしまわないような構造とし、各種の工夫を
加えたテストトレイを複数個用いて、ハンドラ内の上記
各ステーションを循環させている。
する場合、ＩＣはハンドラによってハンドリングされ、
そのＩＣテスター内の所定役割を持った各ステーション
に移送されていく。即ち、「ＩＣの受け取り」→「温度
印加」→「ＩＣ特性測定」→「ＩＣの受け渡し」といっ
たステーションの設定が一般的なものである。しかし、
ハンドリングの際には、ハンドラの駆動機構そのものに
よって惹起される振動やオペレータの操作時等の外部要
因での振動やショック或いは傾けによって、ＩＣの位置
ズレや飛び出しが生じてしまう。そこで、ＩＣテスター
内でのＩＣ姿勢・位置の保持・制御が可能で、容易には
飛び出してはしまわないような構造とし、各種の工夫を
加えたテストトレイを複数個用いて、ハンドラ内の上記
各ステーションを循環させている。
【０００３】図３に代表的なテストトレイ１の斜視図を
示した。同時にＩＣ３がテストトレイ１内の１つのトレ
イインサート２と呼ばれる部分に収納されることを図示
している。そのＩＣ３の収納部分が１つのテストトレイ
１に１６個×４列＝６４個ある例を示した。また、図２
には従来技術によるトレイインサート２のＩＣ押さえ機
構の細部構成の１部分を示した。図２に示すように、一
般的で代表的なものは、受け取ったＩＣ３が位置ズレし
たり飛び出したりしないようにするために、トレイイン
サート２の１部にプラスチック製のツメ９を形成した。
それの樹脂弾性を利用してＩＣ３を受け取るときには開
閉機構によって拡げて行い、また、受け取った後の所定
姿勢及び所定位置の保持のためには、開閉機構で閉じて
ツメ９で押さえて行っていた。
示した。同時にＩＣ３がテストトレイ１内の１つのトレ
イインサート２と呼ばれる部分に収納されることを図示
している。そのＩＣ３の収納部分が１つのテストトレイ
１に１６個×４列＝６４個ある例を示した。また、図２
には従来技術によるトレイインサート２のＩＣ押さえ機
構の細部構成の１部分を示した。図２に示すように、一
般的で代表的なものは、受け取ったＩＣ３が位置ズレし
たり飛び出したりしないようにするために、トレイイン
サート２の１部にプラスチック製のツメ９を形成した。
それの樹脂弾性を利用してＩＣ３を受け取るときには開
閉機構によって拡げて行い、また、受け取った後の所定
姿勢及び所定位置の保持のためには、開閉機構で閉じて
ツメ９で押さえて行っていた。
【０００４】つまり、従来技術のトレイインサート２の
ＩＣ押さえ機構の構成は、図２の（Ａ）、（Ｂ）に示す
ように、被測定対象とするＩＣ３のリード端子のない側
にプラスチックス製の各種形状のツメ９を掛けるように
したものである。近時、ＩＣ３のパッケージは、軽薄短
小化し、また一方では多リード端子化による大型化も進
み、益々多様化が進んでいる。この従来技術の構成によ
るツメ９は、ＩＣ３の収納部４と１体モールド成形型で
量産ができ、材料費も安くコストパフォーマンスはよい
が、（１）ツメ９の樹脂弾性の利用を繰り返すうちバネ
性が劣化してしまいバネ寿命が短い。（２）また、機械
的強度が弱いため外力が加わった場合に破損しやすい。
（３）さらには、ツメ９を開閉する機構が複雑となるの
みならず、リード端子のでている方向に合わせての品種
対応が必要である。といった問題点を有していた。
ＩＣ押さえ機構の構成は、図２の（Ａ）、（Ｂ）に示す
ように、被測定対象とするＩＣ３のリード端子のない側
にプラスチックス製の各種形状のツメ９を掛けるように
したものである。近時、ＩＣ３のパッケージは、軽薄短
小化し、また一方では多リード端子化による大型化も進
み、益々多様化が進んでいる。この従来技術の構成によ
るツメ９は、ＩＣ３の収納部４と１体モールド成形型で
量産ができ、材料費も安くコストパフォーマンスはよい
が、（１）ツメ９の樹脂弾性の利用を繰り返すうちバネ
性が劣化してしまいバネ寿命が短い。（２）また、機械
的強度が弱いため外力が加わった場合に破損しやすい。
（３）さらには、ツメ９を開閉する機構が複雑となるの
みならず、リード端子のでている方向に合わせての品種
対応が必要である。といった問題点を有していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、ＩＣテスター用ハンドラのテストトレイの
トレイインサートにおけるＩＣ押さえ機構において、
（イ）ＩＣを押さえるツメが繰り返し開閉されてもバネ
性が劣化せず長寿命なものとすること。（ロ）機械的強
度が向上する構成とすること。（ハ）開閉機構はシンプ
ルなものとし、被測定対象となるＩＣのパッケージ形状
の変更にも容易に対応できる構成の構造とする。ことで
ある。
する課題は、ＩＣテスター用ハンドラのテストトレイの
トレイインサートにおけるＩＣ押さえ機構において、
（イ）ＩＣを押さえるツメが繰り返し開閉されてもバネ
性が劣化せず長寿命なものとすること。（ロ）機械的強
度が向上する構成とすること。（ハ）開閉機構はシンプ
ルなものとし、被測定対象となるＩＣのパッケージ形状
の変更にも容易に対応できる構成の構造とする。ことで
ある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明においては、上記
課題を解決するために、（Ａ）ＩＣを押さえるツメをバ
ネ性のある金属によって形成された板バネとし、（Ｂ）
ガイド穴に沿ってバネ駆動部を上下させることで板バネ
を弾性変形させ、ＩＣを押さえ又は開放する、（Ｃ）ま
た、別に構成したＩＣの所定位置を保持する収納部の周
囲に、所定個数のガイド穴と板バネ保持用シャフトを設
ける、という構造とした。
課題を解決するために、（Ａ）ＩＣを押さえるツメをバ
ネ性のある金属によって形成された板バネとし、（Ｂ）
ガイド穴に沿ってバネ駆動部を上下させることで板バネ
を弾性変形させ、ＩＣを押さえ又は開放する、（Ｃ）ま
た、別に構成したＩＣの所定位置を保持する収納部の周
囲に、所定個数のガイド穴と板バネ保持用シャフトを設
ける、という構造とした。
【０００７】即ち、ＩＣテスター用ハンドラのテストト
レイの構造、特にトレイインサート部におけるＩＣ押さ
え機構においては、多数回の繰り返し開閉動作に対して
バネ性を失わず、従ってＩＣを押さえる力が劣化するこ
となく長寿命化し、板バネの形状と弾性変形させるバネ
駆動部の機構との組み合わせによって被測定対象ＩＣの
パッケージ形状の変更にも対応しやすくしたことで、上
記課題を解決し目的を達成した。
レイの構造、特にトレイインサート部におけるＩＣ押さ
え機構においては、多数回の繰り返し開閉動作に対して
バネ性を失わず、従ってＩＣを押さえる力が劣化するこ
となく長寿命化し、板バネの形状と弾性変形させるバネ
駆動部の機構との組み合わせによって被測定対象ＩＣの
パッケージ形状の変更にも対応しやすくしたことで、上
記課題を解決し目的を達成した。
【０００８】
【作用】ＩＣテスター用ハンドラのテストトレイにおけ
るトレイインサートの機構とより長寿命で、シンプルな
ＩＣ押さえ及び開放の動作が可能なものとすることがで
きたのはバネ性つまり弾性を有する金属による板バネの
形状を得たことである。即ち、本発明による板バネの形
状としたことで、極めて小さい押下又は開放ストローク
で、大きな板バネの開放角度が得られたのである。ま
た、本発明の板バネの形状としたことで、バネ駆動部を
用いて上下にのみ短い距離のストローク分だけ動作する
構成の機構でよく、シンプルにできたので被測定対象Ｉ
Ｃのパッケージの形状によるリード端子の出方の方向の
違いにも容易に対応することが可能となった。
るトレイインサートの機構とより長寿命で、シンプルな
ＩＣ押さえ及び開放の動作が可能なものとすることがで
きたのはバネ性つまり弾性を有する金属による板バネの
形状を得たことである。即ち、本発明による板バネの形
状としたことで、極めて小さい押下又は開放ストローク
で、大きな板バネの開放角度が得られたのである。ま
た、本発明の板バネの形状としたことで、バネ駆動部を
用いて上下にのみ短い距離のストローク分だけ動作する
構成の機構でよく、シンプルにできたので被測定対象Ｉ
Ｃのパッケージの形状によるリード端子の出方の方向の
違いにも容易に対応することが可能となった。
【０００９】
【実施例】図１は、本発明による実施例のトレイインサ
ート２の構造を示す断面図である。図２は、従来技術に
おけるトレイインサート２の構造の一部分を示す概念図
である。図３には、ＩＣテスターのハンドラ用のテスト
トレイ１とＩＣ３がテストトレイ１のトレイインサート
２部分に収納される状況を示す。
ート２の構造を示す断面図である。図２は、従来技術に
おけるトレイインサート２の構造の一部分を示す概念図
である。図３には、ＩＣテスターのハンドラ用のテスト
トレイ１とＩＣ３がテストトレイ１のトレイインサート
２部分に収納される状況を示す。
【００１０】（１）図１に示すのは、本発明の実施例に
よるトレイインサート２の構造の断面図である。本発明
ではＩＣ押さえの為の従来のツメ９がプラスチックスの
１体モールド成形型によるものに代えて、バネ性を有す
る金属による板バネ７とした。図１−（Ａ）は、本発明
による材質と形状の板バネ７がＩＣ３を押さえている状
況を示す。板バネ７は、ガイド穴５内に挿入されバネ保
持用シャフト６で位置決めされ組み込まれる前の状態で
は、図示した角度αが９０度前後に成形されたもので構
成されている。このために図１−（Ａ）に示すように、
トレイインサート２内に組み込まれると常にＩＣ３を押
さえる力が働く構造となった。
よるトレイインサート２の構造の断面図である。本発明
ではＩＣ押さえの為の従来のツメ９がプラスチックスの
１体モールド成形型によるものに代えて、バネ性を有す
る金属による板バネ７とした。図１−（Ａ）は、本発明
による材質と形状の板バネ７がＩＣ３を押さえている状
況を示す。板バネ７は、ガイド穴５内に挿入されバネ保
持用シャフト６で位置決めされ組み込まれる前の状態で
は、図示した角度αが９０度前後に成形されたもので構
成されている。このために図１−（Ａ）に示すように、
トレイインサート２内に組み込まれると常にＩＣ３を押
さえる力が働く構造となった。
【００１１】（２）次に、ＩＣ３の押さえから開放する
場合には、図１−（Ｂ）に示すように、上方向からバネ
駆動部８によって板バネ７の上部を押しつけることで、
板バネ７がガイド穴５の底部に押し込まれ、そのために
それまでＩＣ３を押さえていた板バネ７の先端部分が持
ち上げられ、ＩＣ３を押さえる力から開放することがで
きる。その後は、ハンドラのピックアップ＆プレースヘ
ッドによって収納部から次工程用のテストトレイ１に搬
出させ、次のＩＣ３を受け取って収納し、押さえること
を繰り返す。
場合には、図１−（Ｂ）に示すように、上方向からバネ
駆動部８によって板バネ７の上部を押しつけることで、
板バネ７がガイド穴５の底部に押し込まれ、そのために
それまでＩＣ３を押さえていた板バネ７の先端部分が持
ち上げられ、ＩＣ３を押さえる力から開放することがで
きる。その後は、ハンドラのピックアップ＆プレースヘ
ッドによって収納部から次工程用のテストトレイ１に搬
出させ、次のＩＣ３を受け取って収納し、押さえること
を繰り返す。
【００１２】（３）本発明による実施例は、バネ性を有
する金属による板バネ７による構成のものについて説明
したが、従来技術とは異なり、収納部４との一体モール
ド成形型によって構成するのではなく板バネ形状のシン
プルなものなので、金属に代えて、例えばプラスチック
ス板バネとすることも可能である。
する金属による板バネ７による構成のものについて説明
したが、従来技術とは異なり、収納部４との一体モール
ド成形型によって構成するのではなく板バネ形状のシン
プルなものなので、金属に代えて、例えばプラスチック
ス板バネとすることも可能である。
【００１３】（４）また、本発明による実施例では、バ
ネの形状を板バネ７としたが、ガイド穴５部にガイド溝
を設けたものとすることで、バネ性を有する金属による
丸棒で形成したバネとすることも可能であり、さらには
板状、丸棒以外の形状のものでも良い。その材質につい
てもバネ性の高いプラスチックスでも良く、また、他の
材質でも良い。そして、それらを各々組み合わせて構成
することも可能である。
ネの形状を板バネ７としたが、ガイド穴５部にガイド溝
を設けたものとすることで、バネ性を有する金属による
丸棒で形成したバネとすることも可能であり、さらには
板状、丸棒以外の形状のものでも良い。その材質につい
てもバネ性の高いプラスチックスでも良く、また、他の
材質でも良い。そして、それらを各々組み合わせて構成
することも可能である。
【００１４】
【発明の効果】本発明は、以上の説明したように構成さ
れているので、以下に記載されるような効果を奏する。 （１）被測定対象ＩＣが薄くて小型、軽量であるが故
に、従来技術ではプラスチックス製のツメが用いられて
きたが、それをバネ性を有する金属の板バネとしたので
耐久性が向上し、長寿命化が達成できた。 （２）板バネの上部方向から、従来技術と比較すれば極
めて小さなストロークによって大きな開放クリアランス
が得られたので、開放又は押さえのための機構をシンプ
ルなものとすることができた。 （３）また、上記（２）に記載した理由で、構成部品点
数が少なくなり低コスト化が実現した。 （４）更に、同様の理由で、トレイインサート部が小さ
くなりコンパクト化が図れたので、テストトレイ上のト
レイインサートを増加させてＩＣの軽薄短小化に対応し
たり、或いは逆にＩＣの多リード端子化による大型化に
対してもトレイインサートの減少を最小限とすることが
できた。
れているので、以下に記載されるような効果を奏する。 （１）被測定対象ＩＣが薄くて小型、軽量であるが故
に、従来技術ではプラスチックス製のツメが用いられて
きたが、それをバネ性を有する金属の板バネとしたので
耐久性が向上し、長寿命化が達成できた。 （２）板バネの上部方向から、従来技術と比較すれば極
めて小さなストロークによって大きな開放クリアランス
が得られたので、開放又は押さえのための機構をシンプ
ルなものとすることができた。 （３）また、上記（２）に記載した理由で、構成部品点
数が少なくなり低コスト化が実現した。 （４）更に、同様の理由で、トレイインサート部が小さ
くなりコンパクト化が図れたので、テストトレイ上のト
レイインサートを増加させてＩＣの軽薄短小化に対応し
たり、或いは逆にＩＣの多リード端子化による大型化に
対してもトレイインサートの減少を最小限とすることが
できた。
【図１】本発明の実施例によるトレイインサートの構造
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図２】従来技術によるトレイインサートの構造の一部
分を示す概念図である。
分を示す概念図である。
【図３】ＩＣテスターのハンドラ用のテストトレイと、
ＩＣをテストトレイのトレイインサート部分に収納する
状況を示す。
ＩＣをテストトレイのトレイインサート部分に収納する
状況を示す。
１ テストトレイ
２ トレイインサート
３ ＩＣ
４ 収納部
５ ガイド穴
６ 板バネ保持用シャフト
７ 板バネ
８ バネ駆動部
９ ツメ
Claims (3)
- 【請求項１】 テストトレイ（１）のトレイインサート
（２）におけるＩＣ押さえ機構の構成において、 ＩＣ（３）の所定位置を保持する収納部（４）の周囲
に、所定個数のガイド穴（５）及び板バネ保持用シャフ
ト（６）と、 上記ガイド穴（５）に沿ってバネ駆動部（８）を上下さ
せることで弾性変形を行い上記ＩＣ（３）を押さえ或い
は開放するバネ性のある金属によって形成された板バネ
（７）と、 を具備することを特徴とするＩＣテスター用ハンドラの
テストトレイ。 - 【請求項２】 板バネ（７）の材質を金属に代え、プラ
スチックスとした請求項１記載のＩＣテスター用ハンド
ラのテストトレイ。 - 【請求項３】 板バネ（７）の形状を板状に代え、丸棒
又は他の形状とした請求項１又は２記載のＩＣテスター
用ハンドラのテストトレイ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31419694A JP3421458B2 (ja) | 1994-11-24 | 1994-11-24 | Ｉｃテスター用ハンドラのテストトレイ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31419694A JP3421458B2 (ja) | 1994-11-24 | 1994-11-24 | Ｉｃテスター用ハンドラのテストトレイ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08146085A JPH08146085A (ja) | 1996-06-07 |
| JP3421458B2 true JP3421458B2 (ja) | 2003-06-30 |
Family
ID=18050432
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31419694A Expired - Fee Related JP3421458B2 (ja) | 1994-11-24 | 1994-11-24 | Ｉｃテスター用ハンドラのテストトレイ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3421458B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19745365A1 (de) * | 1997-10-14 | 1999-01-21 | Siemens Ag | Halteeinrichtung für integrierte Schaltungen |
| KR100693766B1 (ko) * | 2005-10-20 | 2007-03-12 | 주식회사 대성엔지니어링 | 테스트 트레이 및 테스트 트레이 인서트의 래치 개폐시스템 |
| KR200445542Y1 (ko) * | 2007-11-12 | 2009-08-11 | (주)테크윙 | 테스트핸들러용 셋플레이트 |
-
1994
- 1994-11-24 JP JP31419694A patent/JP3421458B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08146085A (ja) | 1996-06-07 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20030408 |
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