JP3420497B2 - アレイ導波路型波長合分波器 - Google Patents
アレイ導波路型波長合分波器Info
- Publication number
- JP3420497B2 JP3420497B2 JP5947098A JP5947098A JP3420497B2 JP 3420497 B2 JP3420497 B2 JP 3420497B2 JP 5947098 A JP5947098 A JP 5947098A JP 5947098 A JP5947098 A JP 5947098A JP 3420497 B2 JP3420497 B2 JP 3420497B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- waveguide
- fan
- channel
- array
- shaped slab
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、アレイ導波路型波
長合分波器に関する。詳しくは、光通信或いは光情報処
理分野で用いられる導波型光素子（光導波回路）に関す
るものである。具体的には、平面基板上に形成された導
波路により構成された光波長合分波器において、中心波
長を高精度で制御可能であることを特徴とする導波型光
素子（光導波回路）に関する。
長合分波器に関する。詳しくは、光通信或いは光情報処
理分野で用いられる導波型光素子（光導波回路）に関す
るものである。具体的には、平面基板上に形成された導
波路により構成された光波長合分波器において、中心波
長を高精度で制御可能であることを特徴とする導波型光
素子（光導波回路）に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、シリコン基板或いは石英基板上に
形成した石英系ガラス光導波路によって構成されたプレ
ーナ光波回路（ＰＬＣ：Planer Lightwave Circuit）の
研究開発が盛んに行われている。そこでは、アレイ導波
路型波長合分渡器（Arrayed-Waveguide Grating:ＡＷ
Ｇ）やマッハツェンダ干渉計のように、多光束或いは２
光束の光干渉を用いて、光波長合分波器を実現してい
る。
形成した石英系ガラス光導波路によって構成されたプレ
ーナ光波回路（ＰＬＣ：Planer Lightwave Circuit）の
研究開発が盛んに行われている。そこでは、アレイ導波
路型波長合分渡器（Arrayed-Waveguide Grating:ＡＷ
Ｇ）やマッハツェンダ干渉計のように、多光束或いは２
光束の光干渉を用いて、光波長合分波器を実現してい
る。
【０００３】前記アレイ導波路型波長合分波器では、並
列配置された互いに光路長がｎ×ΔＬずつ異なる数十〜
数百本のアレイ導波路を伝搬した複数の光の干渉によ
り、波長合分波機能を実現している。ここで、ｎは導波
路の実効屈折率、ΔＬは隣接したアレイ導波路問の長さ
の差であり、具体的には１０〜１００μｍ程度の値であ
ると報告されている（H.Takahashi et.al., "Arrayed-W
aveguide Grating for Wavelength Division Multi/Dem
ultiplexer with Nanometre Resolution", Electron. L
ett., Vol.26. No.2,pp.87-88, 1990）。
列配置された互いに光路長がｎ×ΔＬずつ異なる数十〜
数百本のアレイ導波路を伝搬した複数の光の干渉によ
り、波長合分波機能を実現している。ここで、ｎは導波
路の実効屈折率、ΔＬは隣接したアレイ導波路問の長さ
の差であり、具体的には１０〜１００μｍ程度の値であ
ると報告されている（H.Takahashi et.al., "Arrayed-W
aveguide Grating for Wavelength Division Multi/Dem
ultiplexer with Nanometre Resolution", Electron. L
ett., Vol.26. No.2,pp.87-88, 1990）。
【０００４】また、プレーナ光波回路において作製プロ
セスのばらつきから生じる光路長誤差をトリミングする
方法として、導波路の実効屈折率を恒久的に変化させる
方法が種々開発されている。実用的な方法の１つとして
は、導波路上に配置された薄膜ヒータに比較的大きな電
力（幅４ｍｍ×長さ４０μｍの場合５Ｗ程度）を印加
し、局所的に高温加熱する方法があり（特願平２−４２
５３８号、特願平４−１９２０７９号）、マッハツェン
ダー干渉計の光路長誤差がトリミングされている。
セスのばらつきから生じる光路長誤差をトリミングする
方法として、導波路の実効屈折率を恒久的に変化させる
方法が種々開発されている。実用的な方法の１つとして
は、導波路上に配置された薄膜ヒータに比較的大きな電
力（幅４ｍｍ×長さ４０μｍの場合５Ｗ程度）を印加
し、局所的に高温加熱する方法があり（特願平２−４２
５３８号、特願平４−１９２０７９号）、マッハツェン
ダー干渉計の光路長誤差がトリミングされている。
【０００５】しかしながら、従来は、これらのトリミン
グ法を積極的に利用し、各出力チャンネルの中心波長が
高精度に制御されたアレイ導波路型波長合分波器を作製
できなかった。
グ法を積極的に利用し、各出力チャンネルの中心波長が
高精度に制御されたアレイ導波路型波長合分波器を作製
できなかった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】これまでのアレイ導波
路型波長合分波器の光周波数特性（ここでは周波数間隔
１００ＧＨｚ）は、プレーナ光波回路の作製プロセス誤
差により各チャンネル出力が標準化されたグリッド周波
数（ＩＴＵ ｇｒｉｄ，１９３．１ＴＨｚを中心に１０
０ＧＨｚ間隔）或いは各波長分割多重（Wave-length Di
vision Multiplexing:ＷＤＭ）システム設計値から最大
で±５０ＧＨｚ程度ずれてしまうという問題点を有して
いた。
路型波長合分波器の光周波数特性（ここでは周波数間隔
１００ＧＨｚ）は、プレーナ光波回路の作製プロセス誤
差により各チャンネル出力が標準化されたグリッド周波
数（ＩＴＵ ｇｒｉｄ，１９３．１ＴＨｚを中心に１０
０ＧＨｚ間隔）或いは各波長分割多重（Wave-length Di
vision Multiplexing:ＷＤＭ）システム設計値から最大
で±５０ＧＨｚ程度ずれてしまうという問題点を有して
いた。
【０００７】本発明の目的は、波長分割多重システム実
現に不可欠な簡便かつ高精度な出力チャンネル波長のト
リミング機能を有するアレイ導波路型波長合分波器を提
供することにある。
現に不可欠な簡便かつ高精度な出力チャンネル波長のト
リミング機能を有するアレイ導波路型波長合分波器を提
供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】斯かる目的を解決する本
発明の請求項１に係るアレイ導波路型波長合分波器は、
基板上に配置された入力用チャネル導波路と、出力用チ
ャネル導波路と、チャネル導波路アレイと、前記入力用
チャネル導波路と前記チャネル導波路アレイを接続する
第１の扇形スラブ導波路と、前記出力用チャネル導波路
と前記チャネル導波路アレイを接続する第２の扇形スラ
ブ導波路とを備え、前記チャネル導波路アレイの長さが
所定の光路長差で順次長くなる構成を有し、前記第１の
扇形スラブ導波路と前記第２の扇形スラブ導波路の両方
に、扇形スラブ導波路を斜めに横切るように矩形の領域
を設け、前記第２の扇形スラブ導波路は前記矩形の領域
内外で屈折率が異なることを特徴とする。
発明の請求項１に係るアレイ導波路型波長合分波器は、
基板上に配置された入力用チャネル導波路と、出力用チ
ャネル導波路と、チャネル導波路アレイと、前記入力用
チャネル導波路と前記チャネル導波路アレイを接続する
第１の扇形スラブ導波路と、前記出力用チャネル導波路
と前記チャネル導波路アレイを接続する第２の扇形スラ
ブ導波路とを備え、前記チャネル導波路アレイの長さが
所定の光路長差で順次長くなる構成を有し、前記第１の
扇形スラブ導波路と前記第２の扇形スラブ導波路の両方
に、扇形スラブ導波路を斜めに横切るように矩形の領域
を設け、前記第２の扇形スラブ導波路は前記矩形の領域
内外で屈折率が異なることを特徴とする。
【０００９】上記目的を解決する本発明の請求項２に係
るアレイ導波路型波長合分波器は、基板上に配置された
入力用チャネル導波路と、出力用チャネル導波路と、チ
ャネル導波路アレイと、前記入力用チャネル導波路と前
記チャネル導波路アレイを接続する第１の扇形スラブ導
波路と、前記出力用チャネル導波路と前記チャネル導波
路アレイを接続する第２の扇形スラブ導波路とを備え、
前記チャネル導波路アレイの長さが所定の光路長差で順
次長くなる構成を有し、前記第１の扇形スラブ導波路と
前記第２の扇形スラブ導波路のどちらか一方又は両方
に、扇形スラブ導波路を斜めに横切るように矩形のヒー
タを配置したことを特徴とする。上記目的を解決する本
発明の請求項３に係るアレイ導波路型波長合分波器は、
請求項２において、前記ヒータは、分割されていること
を特徴とする。
るアレイ導波路型波長合分波器は、基板上に配置された
入力用チャネル導波路と、出力用チャネル導波路と、チ
ャネル導波路アレイと、前記入力用チャネル導波路と前
記チャネル導波路アレイを接続する第１の扇形スラブ導
波路と、前記出力用チャネル導波路と前記チャネル導波
路アレイを接続する第２の扇形スラブ導波路とを備え、
前記チャネル導波路アレイの長さが所定の光路長差で順
次長くなる構成を有し、前記第１の扇形スラブ導波路と
前記第２の扇形スラブ導波路のどちらか一方又は両方
に、扇形スラブ導波路を斜めに横切るように矩形のヒー
タを配置したことを特徴とする。上記目的を解決する本
発明の請求項３に係るアレイ導波路型波長合分波器は、
請求項２において、前記ヒータは、分割されていること
を特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】〔実施例１〕本発明の第１の実施
例に係るアレイ導波路型波長合分波器を図１に示す。本
実施例は、スラブ導波路３，４上に薄膜ヒータ５を配置
し、チャンネル間隔１００ＧＨｚ、チャンネル数１６を
実現したものである。
例に係るアレイ導波路型波長合分波器を図１に示す。本
実施例は、スラブ導波路３，４上に薄膜ヒータ５を配置
し、チャンネル間隔１００ＧＨｚ、チャンネル数１６を
実現したものである。
【００１１】即ち、このアレイ導波路型波長合分波器
は、基板上に配置された入力用チャネル導波路１と、出
力用チャネル導波路２と、チャネル導波路アレイ７と、
前記入力用チャネル導波路１と前記チャネル導波路アレ
イ７を接続する第１の扇形スラブ導波路３と、前記出力
用チャネル導波路２と前記チャネル導波路アレイ７を接
続する第２の扇形スラブ導波路４とを備え、前記チャネ
ル導波路アレイ７の長さが所定の光路長差で順次長くな
る構成を有する。
は、基板上に配置された入力用チャネル導波路１と、出
力用チャネル導波路２と、チャネル導波路アレイ７と、
前記入力用チャネル導波路１と前記チャネル導波路アレ
イ７を接続する第１の扇形スラブ導波路３と、前記出力
用チャネル導波路２と前記チャネル導波路アレイ７を接
続する第２の扇形スラブ導波路４とを備え、前記チャネ
ル導波路アレイ７の長さが所定の光路長差で順次長くな
る構成を有する。
【００１２】従って、このようなアレイ導波路型波長合
分波器において、入力用チャネル導波路１の一つに入力
される波長λの光は、第１の扇形スラブ導波路３におい
て放射状に広がる光となって複数のチャネル導波路アレ
イ７に取り込まれる。さらに、チャネル導波路アレイ７
を伝搬する光は、導波路長差ΔＬによってｎ・ΔＬずつ
の位相差が付与されるので、チャネル導波路アレイ７か
ら第２の扇形スラブ導波路４に向けて出射する光は、ｎ
−ΔＬずつ位相差の異なる多光束であり、これらが干渉
する結果、図２中に破線で示すように特定の出力チャネ
ル導波路に集光することとなる。
分波器において、入力用チャネル導波路１の一つに入力
される波長λの光は、第１の扇形スラブ導波路３におい
て放射状に広がる光となって複数のチャネル導波路アレ
イ７に取り込まれる。さらに、チャネル導波路アレイ７
を伝搬する光は、導波路長差ΔＬによってｎ・ΔＬずつ
の位相差が付与されるので、チャネル導波路アレイ７か
ら第２の扇形スラブ導波路４に向けて出射する光は、ｎ
−ΔＬずつ位相差の異なる多光束であり、これらが干渉
する結果、図２中に破線で示すように特定の出力チャネ
ル導波路に集光することとなる。
【００１３】更に、本実施例では、第１の扇形スラブ導
波路３と第２の扇形スラブ導波路４上に薄膜ヒータ５を
配置している。薄膜ヒータ５に用いた材質はＴa2Ｎであ
り、ヒータサイズは幅４ｍｍ×長さ６ｍｍのものを使用
した。
波路３と第２の扇形スラブ導波路４上に薄膜ヒータ５を
配置している。薄膜ヒータ５に用いた材質はＴa2Ｎであ
り、ヒータサイズは幅４ｍｍ×長さ６ｍｍのものを使用
した。
【００１４】従って、第２の扇形スラブ領域４上の薄膜
ヒータ４に通電して加熱することにより、薄膜ヒータ直
下はコアの屈折率が高くなる領域となり、屈折率の異な
る境界で図２の実線に示すように収束光が屈折して、集
光位置が横方向にずれることになる。
ヒータ４に通電して加熱することにより、薄膜ヒータ直
下はコアの屈折率が高くなる領域となり、屈折率の異な
る境界で図２の実線に示すように収束光が屈折して、集
光位置が横方向にずれることになる。
【００１５】この場合、波長λの光は図２中破線で示す
ようにずれた位置に集光するので出力用チャネル導波路
２から出力することはないが、代わりにλ＋Δλの光は
出力用チャネル導波路２に集光し、出力用チャネル導波
路２から出力されることになるので出力用チャネル導波
路２での透過スペクトルは長波長側へシフトする。尚、
アレイ導波路型波長合分波器を一定温度に保つために、
基板ホルダーは内部に液体窒素をフローさせる構造のも
のを採用した。
ようにずれた位置に集光するので出力用チャネル導波路
２から出力することはないが、代わりにλ＋Δλの光は
出力用チャネル導波路２に集光し、出力用チャネル導波
路２から出力されることになるので出力用チャネル導波
路２での透過スペクトルは長波長側へシフトする。尚、
アレイ導波路型波長合分波器を一定温度に保つために、
基板ホルダーは内部に液体窒素をフローさせる構造のも
のを採用した。
【００１６】上述したように、本実施例では、スラブ導
波路３，４上に薄膜ヒータ５を配置し、薄膜ヒータ５へ
の通電時間を制御することにより、第１の扇形スラブ導
波路３と前記第２の扇形スラブ導波路４の両方に、伝搬
光を屈折させて集光位置をずらすよう屈折率が異なる領
域が形成されるため、透過スペクトルをシフトさせるこ
とができた。
波路３，４上に薄膜ヒータ５を配置し、薄膜ヒータ５へ
の通電時間を制御することにより、第１の扇形スラブ導
波路３と前記第２の扇形スラブ導波路４の両方に、伝搬
光を屈折させて集光位置をずらすよう屈折率が異なる領
域が形成されるため、透過スペクトルをシフトさせるこ
とができた。
【００１７】具体的には、薄膜ヒータ５とスラブ導波路
３，４とのなす角度θを１０度とし、第２の扇形スラブ
導波路４上の薄膜ヒータ５のみを印加電力１０００Ｗ、
５００秒間通電したとき、第２の扇形スラブ導波路４か
ら出力用チャネル導波路２へ集光する光は、図２に示す
ように２０μｍ移動し、その結果、チャンネル間隔に相
当する１００ＧＨｚ長波長側へ透過スペクトルをシフト
させることができた。
３，４とのなす角度θを１０度とし、第２の扇形スラブ
導波路４上の薄膜ヒータ５のみを印加電力１０００Ｗ、
５００秒間通電したとき、第２の扇形スラブ導波路４か
ら出力用チャネル導波路２へ集光する光は、図２に示す
ように２０μｍ移動し、その結果、チャンネル間隔に相
当する１００ＧＨｚ長波長側へ透過スペクトルをシフト
させることができた。
【００１８】また、第１の扇形スラブ導波路３上に配置
された薄膜ヒータ５を同時間だけ通電にすることで、逆
に短波長側へ１００ＧＨｚ透過スペクトルをシフトさせ
ることができた。この結果、ヒータ通電時間をコントロ
ールすることで容易に出力チャンネルの中心波長を１Ｇ
Ｈｚ以下の精度でトリミング可能なアレイ導波路型波長
合分波器を得ることができた。
された薄膜ヒータ５を同時間だけ通電にすることで、逆
に短波長側へ１００ＧＨｚ透過スペクトルをシフトさせ
ることができた。この結果、ヒータ通電時間をコントロ
ールすることで容易に出力チャンネルの中心波長を１Ｇ
Ｈｚ以下の精度でトリミング可能なアレイ導波路型波長
合分波器を得ることができた。
【００１９】［実施例２］本発明の第２の実施例に係る
アレイ導波路型波長合分波器を図３に示す。本実施例
は、前述した実施例１の変形例に係るものであり、実施
例１との違いは、薄膜ヒータ５を細かく分割する構造を
採用した点である。即ち、１つのヒータサイズは幅４ｍ
ｍ×長さ５０μｍであり、計１２０個の薄膜ヒータ６が
スラブ導波路上に配置されている。
アレイ導波路型波長合分波器を図３に示す。本実施例
は、前述した実施例１の変形例に係るものであり、実施
例１との違いは、薄膜ヒータ５を細かく分割する構造を
採用した点である。即ち、１つのヒータサイズは幅４ｍ
ｍ×長さ５０μｍであり、計１２０個の薄膜ヒータ６が
スラブ導波路上に配置されている。
【００２０】また、実施例１と比較して、アレイ導波路
型波長合分波器を一定温度とするための基板ホルダーは
ペルチェ回路を使用するだけで十分であった。その結
果、各薄膜ヒータ６ヘの印加電力２０Ｗで５００秒間間
印加したとき、チャンネル間隔に相当する１００ＧＨｚ
長波長側へ透過スペクトルをシフトさせることができ、
ヒータ通電時間をコントロールすることで容易に出力チ
ャンネルの中心波長を１ＧＨｚ以下の精度でトリミング
可能なアレイ導波路型波長合分波器を得ることができ
た。
型波長合分波器を一定温度とするための基板ホルダーは
ペルチェ回路を使用するだけで十分であった。その結
果、各薄膜ヒータ６ヘの印加電力２０Ｗで５００秒間間
印加したとき、チャンネル間隔に相当する１００ＧＨｚ
長波長側へ透過スペクトルをシフトさせることができ、
ヒータ通電時間をコントロールすることで容易に出力チ
ャンネルの中心波長を１ＧＨｚ以下の精度でトリミング
可能なアレイ導波路型波長合分波器を得ることができ
た。
【００２１】尚、その他の構成は、前述した実施例１と
同様であり、同様な作用・効果を奏する。また、上記実
施例でも明らかなように本発明の本質は、アレイ導波路
型波長合分波器のスラブ導波路の実効屈折率を恒久的に
変化させて各出力チャンネルの透過スペクトルを制御す
ることにあり、エキシマランプなどの紫外線照射、エキ
シマレーザ、ＹＡＣレーザなどのレーザ照射、およびア
モルファスシリコン（ａ−Ｓi）膜による応力付与膜で
スラブ導波路の実効屈折率を変化させる方法も本発明に
含まれることは自明のことである。
同様であり、同様な作用・効果を奏する。また、上記実
施例でも明らかなように本発明の本質は、アレイ導波路
型波長合分波器のスラブ導波路の実効屈折率を恒久的に
変化させて各出力チャンネルの透過スペクトルを制御す
ることにあり、エキシマランプなどの紫外線照射、エキ
シマレーザ、ＹＡＣレーザなどのレーザ照射、およびア
モルファスシリコン（ａ−Ｓi）膜による応力付与膜で
スラブ導波路の実効屈折率を変化させる方法も本発明に
含まれることは自明のことである。
【００２２】更に、上述した実施例１，２では、スラブ
領域上の薄膜ヒータに通電して加熱することにより、ス
ラブ領域に屈折率の異なる領域を形成していたが、本発
明においては、ヒータ加熱に依らなくても屈折率が異な
る領域があればよい。
領域上の薄膜ヒータに通電して加熱することにより、ス
ラブ領域に屈折率の異なる領域を形成していたが、本発
明においては、ヒータ加熱に依らなくても屈折率が異な
る領域があればよい。
【００２３】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明により、
各出力チャンネルがシステム上設定される中心波長へ正
確に合わせられたアレイ導波路型波長合分波器を簡便に
得ることが可能となる。したがって、これまではアレイ
導波路型波長合分波器のチャンネル波長制御性の問題か
らチャンネル間隔が１００ＧＨｚ以下の波長分割多重シ
ステムを構築することは非常に困難であったが、本発明
により更にチャンネル間隔の狭い高密度波長分割多重シ
ステムを実現可能にするという重要な効果をもたらす。
各出力チャンネルがシステム上設定される中心波長へ正
確に合わせられたアレイ導波路型波長合分波器を簡便に
得ることが可能となる。したがって、これまではアレイ
導波路型波長合分波器のチャンネル波長制御性の問題か
らチャンネル間隔が１００ＧＨｚ以下の波長分割多重シ
ステムを構築することは非常に困難であったが、本発明
により更にチャンネル間隔の狭い高密度波長分割多重シ
ステムを実現可能にするという重要な効果をもたらす。
【図１】第１の実施例による中心波長トリミング機能付
きアレイ導波路型波長合分波器の構成図である。
きアレイ導波路型波長合分波器の構成図である。
【図２】第１の実施例における第２の扇形スラブ導波路
から出力用チャネル導波路へ集光する光がシフトする概
念図である。
から出力用チャネル導波路へ集光する光がシフトする概
念図である。
【図３】第２の実施例による中心波長トリミング機能付
きアレイ導波路型波長合分波器の構成図である。
きアレイ導波路型波長合分波器の構成図である。
【符号の説明】
１ 入力用チャネル導波路
２ 出力用チャネル導波路
３ 第１の扇形スラブ導波路
４ 第２の扇形スラブ導波路
５ 薄膜ヒータ
６ 分割された薄膜ヒータ
７ チャネル導波路アレイ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 大森 保治
東京都新宿区西新宿三丁目19番２号 日
本電信電話株式会社内
(72)発明者 井上 靖之
東京都新宿区西新宿三丁目19番２号 日
本電信電話株式会社内
(56)参考文献 特開 平９−269514（ＪＰ，Ａ)
特開 昭61−241735（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G02B 6/12
G02F 1/01
G02F 1/313
Claims (3)
- 【請求項１】 基板上に配置された入力用チャネル導波
路と、出力用チャネル導波路と、チャネル導波路アレイ
と、前記入力用チャネル導波路と前記チャネル導波路ア
レイを接続する第１の扇形スラブ導波路と、前記出力用
チャネル導波路と前記チャネル導波路アレイを接続する
第２の扇形スラブ導波路とを備え、前記チャネル導波路
アレイの長さが所定の光路長差で順次長くなる構成を有
し、前記第１の扇形スラブ導波路と前記第２の扇形スラ
ブ導波路の両方に、扇形スラブ導波路を斜めに横切るよ
うに矩形の領域を設け、 前記第２の扇形スラブ導波路は前記矩形の領域内外で屈
折率が異なる ことを特徴とするアレイ導波路型波長合分
波器。 - 【請求項２】 基板上に配置された入力用チャネル導波
路と、出力用チャネル導波路と、チャネル導波路アレイ
と、前記入力用チャネル導波路と前記チャネル導波路ア
レイを接続する第１の扇形スラブ導波路と、前記出力用
チャネル導波路と前記チャネル導波路アレイを接続する
第２の扇形スラブ導波路とを備え、前記チャネル導波路
アレイの長さが所定の光路長差で順次長くなる構成を有
し、前記第１の扇形スラブ導波路と前記第２の扇形スラ
ブ導波路のどちらか一方又は両方に、扇形スラブ導波路
を斜めに横切るように矩形のヒータを配置したことを特
徴とするアレイ導波路型波長合分波器。 - 【請求項３】 前記ヒータは、分割されていることを特
徴とする請求項２に記載のアレイ導波路型波長合分波
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5947098A JP3420497B2 (ja) | 1998-03-11 | 1998-03-11 | アレイ導波路型波長合分波器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5947098A JP3420497B2 (ja) | 1998-03-11 | 1998-03-11 | アレイ導波路型波長合分波器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11258435A JPH11258435A (ja) | 1999-09-24 |
| JP3420497B2 true JP3420497B2 (ja) | 2003-06-23 |
Family
ID=13114239
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5947098A Expired - Fee Related JP3420497B2 (ja) | 1998-03-11 | 1998-03-11 | アレイ導波路型波長合分波器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3420497B2 (ja) |
-
1998
- 1998-03-11 JP JP5947098A patent/JP3420497B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11258435A (ja) | 1999-09-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Okamoto | Recent progress of integrated optics planar lightwave circuits | |
| JP4181417B2 (ja) | Ｗｄｍに適用するためのマルチモード干渉カプラー | |
| JP2003513330A (ja) | 通過帯域平滑化フェーズドアレイ | |
| AU1344299A (en) | External cavity laser | |
| US20060210232A1 (en) | Planar waveguide-based variable optical attenuator | |
| Yamada | Crosstalk reduction in a 10-GHz spacing arrayed-waveguide grating by phase-error compensation | |
| US6813409B2 (en) | Free-space non-blocking switch | |
| US20020197012A1 (en) | Method and apparatus for adding/droping optical signals in a semiconductor substrate | |
| US5894533A (en) | Device for wavelength-related stabilization of an optical filter | |
| JP4100489B2 (ja) | アレイ導波路型波長合分波器 | |
| JP3420497B2 (ja) | アレイ導波路型波長合分波器 | |
| Clemens et al. | Wavelength-adaptable optical phased array in SiO 2-Si | |
| JP2001108850A (ja) | トリミングされ集積された光マルチビーム干渉計 | |
| JP2001124944A (ja) | 光合分波回路 | |
| JPH07333446A (ja) | 光合分波器 | |
| JP2000171648A (ja) | アレイ導波路格子 | |
| Elrofai | Review paper of array waveguide grating (AWG) | |
| JP3114698B2 (ja) | アレイ導波路格子 | |
| JP3238890B2 (ja) | アレイ導波路型波長合分波器 | |
| JP2798124B2 (ja) | 光導波路デバイス及びその製造方法 | |
| KR100334822B1 (ko) | 평면 도파로열 격자를 구비한 파장분할 다중/역다중화기의 중심파장 조절 방법 | |
| US6650796B2 (en) | Waveguide optical frequency router | |
| JP3698913B2 (ja) | 波長合分波光回路及びその製造方法 | |
| Takahashi | Arrayed Waveguide Grating (AWG) | |
| KR100488847B1 (ko) | 광학 스위치 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20030401 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090418 Year of fee payment: 6 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |