JP3407534B2 - Barrier rib forming method for gas discharge panel - Google Patents

Barrier rib forming method for gas discharge panel

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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、コンピュータの表
示端末等に使用されているガス放電パネル( Pla-sma Di
splay Panel 以下PDPと略称する。)に係り、特に放
電部相互間でのクロストーク防止用の隔壁(以下バリア
リブと呼称する。)を作成する方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a gas discharge panel (Pla-sma Di
splay Panel Hereinafter, it is abbreviated as PDP. In particular, the present invention relates to a method of forming barrier ribs (hereinafter referred to as barrier ribs) for preventing crosstalk between discharge parts.

【0002】近年のPDPは、カラー化の開発によりテ
レビ表示が可能な大型フルカラーフラットパネルディス
プレイとして注目されるようになり、高解像度が要求さ
れるようになった。
With the development of colorization in recent years, PDPs have come into the spotlight as large-scale full-color flat panel displays capable of displaying on television, and high resolution is required.

【0003】また、PDPの各放電空間は、隣接する放
電セルや、カラー3原色の発光素子の仕切り等の所謂ク
ロストーク防止用に、バリアリブを基板上に、高精密に
作成せねばならず、一方では低コスト化と効率の良い製
造方法が要望されている。
Further, in each discharge space of the PDP, barrier ribs must be formed on the substrate with high precision in order to prevent so-called crosstalk such as adjacent discharge cells and partitions of light emitting elements of the three primary colors of color. On the other hand, there is a demand for low cost and efficient manufacturing methods.

【0004】[0004]

【従来の技術】従来のクロストーク防止用バリアリブの
形成は、ガラスペーストを基板上の所定領域に直接塗布
するスクリーン印刷法や、また近年ではサンドブラスト
法により形成されている。以下、従来のバリアリブ形成
方法の一例につき製造工程を図示しながら説明する。な
お、構成、動作の説明を理解し易くする為に全図を通じ
て同一部分には同一符号を付してその重複説明を省略す
る。
2. Description of the Related Art Conventionally, barrier ribs for preventing crosstalk are formed by a screen printing method in which a glass paste is directly applied to a predetermined area on a substrate, or in recent years, a sandblast method. Hereinafter, an example of a conventional barrier rib forming method will be described with reference to the manufacturing steps. In addition, in order to make the description of the configuration and the operation easy to understand, the same reference numerals are given to the same portions throughout the drawings, and the duplicate description thereof will be omitted.

【0005】図3は従来のバリアリブ形成工程を示す図
である。図3において、1はパネルの放電空間を構成
し、かつ電極,バリアリブ,蛍光体などの形成されるガ
ラス基板、2は放電点をアドレスするアドレス電極、3
はガラス基板1に一様な厚み(バリアリブの高さに相
当)をもってラミネート又は塗布された感光性レジス
ト、4は感光性レジスト3をバリアリブのパターン(例
えば帯状)にパターニングするためのパターンマスク、
5はバリアリブとなる黒色のガラスペースト、6は平面
視帯状のバリアリブである。
FIG. 3 is a diagram showing a conventional barrier rib forming process. In FIG. 3, reference numeral 1 denotes a glass substrate on which a discharge space of a panel is formed and electrodes, barrier ribs, phosphors, etc. are formed, 2 is an address electrode for addressing a discharge point,
Is a photosensitive resist laminated or applied on the glass substrate 1 with a uniform thickness (corresponding to the height of the barrier rib), 4 is a pattern mask for patterning the photosensitive resist 3 into a barrier rib pattern (for example, a strip),
Reference numeral 5 is a black glass paste that becomes a barrier rib, and 6 is a band-shaped barrier rib in plan view.

【0006】次にバリアリブ形成を工程順に説明する。
まず図3(a)において、アドレス電極2があらかじめ
形成されている感光性レジスト3をバリアリブの高さ相
当の厚みをもって、ラミネート又は塗布する。次に図3
(b)に示すようにこの感光性レジスト3上にバリアリ
ブに対応するパターンを有したパターンマスク4を設
け、該パターンマスク4に基づいて露光を行う。なお、
バリアリブの形状はアドレス電極2と平行して伸びる帯
状とする。
Next, the formation of barrier ribs will be described in the order of steps.
First, in FIG. 3A, the photosensitive resist 3 having the address electrodes 2 formed in advance is laminated or applied with a thickness corresponding to the height of the barrier ribs. Next in FIG.
As shown in (b), a pattern mask 4 having a pattern corresponding to the barrier ribs is provided on the photosensitive resist 3, and exposure is performed based on the pattern mask 4. In addition,
The shape of the barrier rib is a strip shape extending in parallel with the address electrode 2.

【0007】次に、図3(c)に示すように、現像する
ことによりバリアリブ形成に必要な部分のみに、感光性
レジスト3が残り、つまり帯状の凹部(溝)パターンが
ガラス基板1上に形成される。
Next, as shown in FIG. 3 (c), the photosensitive resist 3 is left only on the portions required for barrier rib formation by development, that is, a band-shaped recess (groove) pattern is formed on the glass substrate 1. It is formed.

【0008】次に図3(d)に示すように、バリアリブ
形成用の黒色のガラスペースト5を感光性レジスト3の
凹部に埋込み、これを乾燥及び仮焼成することで黒色の
ガラスペースト5を硬化させる。さらに、上記凹部以外
に付着した硬化ガラスを除去するために表面を研磨し、
感光性レジスト3表面の余分なガラスペースト5を、図
3(e)に示すように取り除く。
Next, as shown in FIG. 3D, the black glass paste 5 for forming the barrier ribs is embedded in the concave portion of the photosensitive resist 3, and the black glass paste 5 is cured by drying and calcination. Let Further, the surface is polished in order to remove the cured glass adhered to other than the recessed portion,
Excess glass paste 5 on the surface of the photosensitive resist 3 is removed as shown in FIG.

【0009】更にこれを洗浄した後、ガラス基板1を焼
成することにより、図3(f)に示すように感光性レジ
スト3を燃焼させて消去すると共に、ガラスペースト5
の焼成を行う。この後ガラス基板1を洗浄することで、
該ガラス基板1上にはアドレス電極2と平行する帯状の
バリアリブ6が形成される。
After cleaning the glass substrate 1, the glass substrate 1 is baked to burn and erase the photosensitive resist 3 as shown in FIG.
Is fired. After that, by cleaning the glass substrate 1,
Strip-shaped barrier ribs 6 parallel to the address electrodes 2 are formed on the glass substrate 1.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】ところで、PDPの分
解能は放電セルの数に依存する。従って分解能を向上さ
せる為には放電領域をせばめるバリアリブの厚み(幅)
を薄く形成する必要がある。しかしながら、図3の従来
例では、バリアリブの厚みは感光性レジスト3上に形成
する凹部パターン並びに、これを露光・現像して得た雌
型にガラスペースト5を充填する微細な技術的制約によ
り1mm当たり5本のバリアリブ形成が限度であった。
The resolution of PDP depends on the number of discharge cells. Therefore, in order to improve the resolution, the thickness (width) of the barrier rib that fills the discharge area
Needs to be formed thin. However, in the conventional example shown in FIG. 3, the thickness of the barrier rib is 1 mm due to the fine pattern of the concave pattern formed on the photosensitive resist 3 and the glass paste 5 filled in the female mold obtained by exposing and developing the concave pattern. The limit was the formation of five barrier ribs.

【0011】本発明は、以上の点を解決し、バリアリブ
の高さを損なうことなく厚みを薄く形成できるバリアリ
ブ形成方法の提供を目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to solve the above problems and to provide a method of forming a barrier rib which can form a thin barrier rib without impairing the height of the barrier rib.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに図1に示すように、基板上に複数の電極と複数の帯
状のバリアリブとを備えるガス放電パネルにおいて、前
記帯状のバリアリブを前記各電極の間に平行して形成す
る際に、前記複数の電極の配列を含む基板上に当該電極
配列の1本おきの電極に対して凹部となるパターンの
光性レジスト層を形成する工程と、前記各凹部に印刷に
よりガラスペーストを充填して該凹部の両側側壁にガラ
ス層からなる前記帯状のバリアリブを形成する工程と、
前記感光性レジスト層を除去する工程とを含む放電パネ
ルのバリアリブ形成方法によって達成される。
In order to achieve the above object, as shown in FIG. 1, a plurality of electrodes and a plurality of strips are formed on a substrate.
A gas discharge panel having a barrier rib
A strip-shaped barrier rib is formed in parallel between the electrodes.
The electrodes on the substrate including the array of the plurality of electrodes.
Forming a pattern sensitive <br/> optical resist layer serving as a recess with respect to every other electrode of the array, the glass layer on the lateral walls of the recess is filled with a glass paste by printing to the each recess A step of forming the strip-shaped barrier ribs made of
It is achieved by barrier ribs forming method of discharge panel and a step of removing the photosensitive resist layer.

【0013】この場合の印刷は、ガラスペースト5の印
刷回数を少なく設定(例えば2回に)することにより凹
部11の側壁のみにガラスペースト5を付着させることが
できる。また、ガラスペーストの粘度を約200P〜300Pに
することにより凹部11の側壁のみにガラスペースト5を
付着させることができる。
In the printing in this case, the glass paste 5 can be adhered only to the side wall of the recess 11 by setting the number of times of printing the glass paste 5 to be small (for example, twice). Further, by setting the viscosity of the glass paste to about 200P to 300P, the glass paste 5 can be attached only to the side wall of the recess 11.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を具体的に
説明する。図1は本発明の第1実施例のバリアリブ形成
方法を製造工程順に示す図である。すなわち、図1
(a)は感光性レジスト形成工程、図1(b)はガラス
ペースト印刷工程、図1(c)はバリアリブ焼成工程を
示す。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be specifically described below. 1A to 1D are views showing a method of forming a barrier rib according to a first embodiment of the present invention in the order of manufacturing steps. That is, FIG.
1A shows a photosensitive resist forming step, FIG. 1B shows a glass paste printing step, and FIG. 1C shows a barrier rib baking step.

【0015】まず図1(a)の工程において、従来例の
図3(b)及び(c)に示したように、ガラス基板上に
凹部11を有した感光性レジスト層を形成する。この場合
従来例と異なる点は、アドレス電極2が感光レジスト層
の真下及びレジスト間の凹部の夫々において等間隔に形
成されている点である。つまり、従来例の2倍のピッチ
で配列されていることを意味する。
First, in the step of FIG. 1A, as shown in FIGS. 3B and 3C of the conventional example, a photosensitive resist layer having a recess 11 is formed on a glass substrate. In this case, the point different from the conventional example is that the address electrodes 2 are formed at equal intervals directly below the photosensitive resist layer and in the recesses between the resists. That is, it means that they are arranged at a pitch twice that of the conventional example.

【0016】図1(b)の工程において、前記凹部11に
ガラスペースト5を充填するのであるが、そのガラスペ
ーストとしてPbOを約70wt%含むPbO-B2O3-SiO2系ガラ
ス(60〜70wt%)と、添加物としてセラミックスフィラ
ー(5〜10wt%)及びCr2O3約50wt%含む無機顔料(5
〜10wt%)と、有機溶剤としてターピネオールBCA 主成
分(15〜25wt%)と、樹脂としてセルロース系樹脂(1
〜2wt%)からなるバインダを混合して作られた粘度が
1000P 程度のガラスペースト(従来例のガラスペースト
と実質変わりがない)を用いる。
[0016] In step of FIG. 1 (b), than is to fill the glass paste 5 in the recess 11, PbO-B 2 O 3 -SiO 2 based glass (60 containing PbO about 70 wt% as a glass paste 70 wt%), an inorganic pigment containing ceramic filler (5-10 wt%) as an additive and about 50 wt% of Cr 2 O 3 (5
〜10wt%), terpineol BCA main component (15-25wt%) as organic solvent, and cellulosic resin (1
~ 2wt%) mixed with a binder
Use a glass paste of about 1000P (substantially the same as the conventional glass paste).

【0017】上記の成分で混合したガラスペースト5を
従来同様にスクリーン印刷法によって、凹部11に充填す
るが、その印刷回数を減らして該ペーストが凹部を完全
に埋めないようにする。具体的には350 メッシュのスク
リーンを使用した場合で2回が望ましい。
The glass paste 5 mixed with the above components is filled in the concave portion 11 by the screen printing method as in the conventional case, but the number of times of printing is reduced so that the paste does not completely fill the concave portion. Specifically, it is preferable to use twice when using a 350 mesh screen.

【0018】2回の場合と3回、4〜7回、8〜10回の
場合におけるガラスペースト乾燥後の凹部埋込み形状を
図1(b)の凹部11の一つに代表的に示した。この図か
ら明らかなように、2回印刷の場合は符号13に示す影線
部分の範囲、すなわち凹部の側面のみにガラスペースト
5が付着して理想的なバリアリブの形状となった。しか
し、3回印刷の場合は符号14に示すようにガラス基板1
の表面にも比較的厚くガラスペーストが付着し、つまり
バリアリブの基部が裾野のようになり所定の放電空間
(放電セル)を画定できない。
The shapes of the recesses embedded after drying the glass paste in the cases of two times, three times, four to seven times, and eight to ten times are typically shown in one of the recesses 11 in FIG. 1 (b). As is clear from this figure, in the case of the double printing, the glass paste 5 adhered only to the range of the shaded portion indicated by reference numeral 13, that is, only the side surface of the concave portion, and the shape of the ideal barrier rib was obtained. However, in the case of printing three times, as shown by reference numeral 14, the glass substrate 1
The glass paste is relatively thickly adhered to the surface of the barrier rib, that is, the base of the barrier rib becomes like a skirt, and a predetermined discharge space (discharge cell) cannot be defined.

【0019】4〜7回及び8〜10回印刷の場合は、その
傾向がさらに進み、終わりにはガラスペースト5が凹部
をほぼ埋めるような形態となった。このように凹部11の
全側壁に塗布されたガラスペースト5は、乾燥及び仮焼
成して硬化させた後、余分な表面箇所に付着したガラス
ペースト5を研磨により除去し、さらに苛性ソーダ3wt
%溶液に10分間浸漬洗浄により感光性レジスト3を除去
し、そしてガラス溶融温度近辺にて当該ガラスペースト
5の焼成を行い、第1図(c)に示すバリアリブ12をガ
ラス基板1上に形成する。
In the case of printing 4 to 7 times and 8 to 10 times, the tendency further progressed, and at the end, the glass paste 5 almost completely filled the concave portion. The glass paste 5 applied to all the side walls of the recess 11 in this way is dried and pre-baked to be hardened, and then the glass paste 5 attached to the extra surface portion is removed by polishing.
% Solution to remove the photosensitive resist 3 by immersing and washing the glass paste 5 near the glass melting temperature to form the barrier ribs 12 shown in FIG. 1 (c) on the glass substrate 1. .

【0020】この結果得られたバリアリブ12の実測寸法
は、バリアリブ12の中心線の間隔は130μm、高さは 10
5μm、バリアリブ12の厚み(幅)20μmであった。こ
の方法によれば厚みの薄い高精密のバリアリブ12が、従
来例の2倍の密度で得られる(従来例では凹部内に1個
のバリアリブを形成するのに対し、本実施例の場合は2
個形成できる。つまり凹部に1つの放電セル空間を形成
できる)効果がある。
The measured dimensions of the barrier ribs 12 obtained as a result are that the distance between the center lines of the barrier ribs 12 is 130 μm and the height thereof is 10 μm.
It was 5 μm and the thickness (width) of the barrier rib 12 was 20 μm. According to this method, the high-precision barrier rib 12 having a small thickness can be obtained with a density twice as high as that of the conventional example (in contrast to one barrier rib being formed in the recess in the conventional example, in the case of the present example, 2)
Can be formed individually. That is, there is an effect that one discharge cell space can be formed in the recess.

【0021】図2は本発明の第2実施例のバリアリブ形
成工程の要部拡大断面図を示す。この実施例では、ガラ
スペースト5に有機溶剤としてアルコールの分野で天然
に存在するα−テルピネオールを加え、高粘度のガラス
ペーストを用いた。すなわち、粘度200P〜300Pのガラス
ペーストを用意し、これをスクリーン印刷法によって、
凹部11に1回塗りした。
FIG. 2 is an enlarged sectional view of the essential part of the barrier rib forming step of the second embodiment of the present invention. In this example, α-terpineol naturally existing in the field of alcohol was added to the glass paste 5 as an organic solvent, and a high-viscosity glass paste was used. That is, a glass paste having a viscosity of 200P to 300P is prepared, and this is subjected to a screen printing method.
The recess 11 was coated once.

【0022】この結果、図示するように、粘度200P以下
のガラスペーストの1回塗りではガラス基板表面を含め
て凹部側面にガラスペーストが厚く形成されたが、粘度
200P〜300Pのガラスペーストの1回塗りでは、凹部11の
全側壁のみにガラスペースト5を塗布(基板表面にも僅
かに塗布)できることが確認された。即ち、粘度の調整
によっても厚みの薄いバリアリブ12が、従来例の2倍の
密度で得られる効果がある。
As a result, as shown in the figure, the glass paste having a viscosity of 200 P or less was thickly formed on the side surfaces of the concave portion including the surface of the glass substrate when the glass paste was applied once.
It was confirmed that the glass paste 5 can be applied (slightly applied to the surface of the substrate) only to all the sidewalls of the recess 11 by one-time application of the glass paste of 200P to 300P. That is, there is an effect that the barrier rib 12 having a small thickness can be obtained with twice the density of the conventional example even by adjusting the viscosity.

【0023】以上、説明したようにガラスペーストの印
刷回数を制御するか、又は粘度を制御して凹部の側壁の
みにガラスペーストを塗布することにより、高精細なバ
リアリブが形成可能となるため、この方法によって得ら
れたバリアリブを備えるガス放電パネルは分解能を著し
く向上できる。なお、バリアリブの形状はメッシュ形状
でもよい。
As described above, by controlling the number of times the glass paste is printed or by controlling the viscosity and applying the glass paste only to the side walls of the recesses, it is possible to form high-definition barrier ribs. The gas discharge panel including the barrier ribs obtained by the method can significantly improve the resolution. The barrier rib may have a mesh shape.

【0024】[0024]

【発明の効果】以上のように、本発明のガス放電パネル
のバリアリブ形成方法によれば、高精細なバリアリブが
能率良く、低コストで形成でき、このバリアリブを利用
したガス放電パネルは分解能を著しく高めることができ
るので、画質向上に寄与するところが大きい。
As described above, according to the method of forming a barrier rib for a gas discharge panel of the present invention, a high-definition barrier rib can be formed efficiently and at low cost, and a gas discharge panel using this barrier rib has a remarkably high resolution. Since it can be increased, it greatly contributes to the improvement of image quality.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 本発明の第1実施例のバリアリブ形成方法を
製造工程順に示す図
FIG. 1 is a diagram showing a method of forming a barrier rib according to a first embodiment of the present invention in the order of manufacturing steps.

【図2】 本発明の第2実施例のバリアリブ形成工程の
要部拡大断面図
FIG. 2 is an enlarged sectional view of an essential part of a barrier rib forming step according to a second embodiment of the present invention.

【図3】 従来のバリアリブ形成工程を示す図FIG. 3 is a diagram showing a conventional barrier rib forming process.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ガラス基板 3 感光性レジスト 5 ガラスペースト 6,12 バリアリブ 11 凹部 1 glass substrate 3 Photosensitive resist 5 glass paste 6,12 Barrier rib 11 recess

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平3−184231(JP,A) 特開 平3−179630(JP,A) 特開 平2−155142(JP,A) 特開 平3−57138(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01J 9/02 H01J 11/02 Continuation of front page (56) Reference JP-A-3-184231 (JP, A) JP-A-3-179630 (JP, A) JP-A-2-155142 (JP, A) JP-A-3-57138 (JP , A) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) H01J 9/02 H01J 11/02

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】基板上に複数の電極と複数の帯状のバリア
リブとを備えるガス放電パネルにおいて、前記帯状のバ
リアリブを前記各電極の間に平行して形成する際に、前
記複数の電極の配列を含む基板上に当該電極配列の1本
おきの電極に対して凹部となるパターンの感光性レジス
ト層を形成する工程と、前記各凹部に印刷によりガラス
ペーストを充填して該凹部の両側側壁にガラス層からな
る前記帯状のバリアリブを形成する工程と、前記感光性
レジスト層を除去する工程とを含んでなることを特徴と
するガス放電パネルのバリアリブ形成方法。
1. A plurality of electrodes and a plurality of strip-shaped barriers on a substrate.
In a gas discharge panel having a rib, the strip-shaped bar
When forming the rear ribs in parallel between the electrodes,
One of the electrode arrays on a substrate containing an array of electrodes
Forming a photosensitive resist layer pattern as a recess with respect to the electrodes of the favorite, the glass layer on the lateral walls of the recess is filled with a glass paste by printing to the each recess Tona
Process and barrier rib formation method for a gas discharge panel, characterized by comprising a step of removing the photosensitive resist layer to form the strip-shaped barrier ribs that.
【請求項2】 前記ガラスペーストが200P〜300Pの粘度
を有してなることを特徴とする請求項1記載のガス放電
パネルのバリアリブ形成方法。
2. The method of forming a barrier rib of a gas discharge panel according to claim 1, wherein the glass paste has a viscosity of 200P to 300P.
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