JP3404292B2 - パルスエネルギートリマを備えるパルスレーザ - Google Patents
パルスエネルギートリマを備えるパルスレーザInfo
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Description
し、特に精密なパルスエネルギー制御を提供するパルス
レーザに関する。
スへのパルスエネルギーにおける本質的にゼロ変動を要
求するパルスエネルギーの精密な制御を必要とするもの
がある。特にガス放電レーザにおいて、この目的を達成
するのにしばしば困難を有する。例えば、集積回路リソ
グラフィーに利用される最良の従来技術によるエキシマ
レーザは数パーセントのパルス−パルス安定性を提供す
る。これらの変動は、利得媒体における変動及び放電プ
ロセスにおける変動のような種々の要因に帰する。リソ
グラフィーに使用される典型的なエキシマレーザのため
のレーザパルスの持続時間は、約10乃至20nsであ
り、パルス周波数は約1,000Hzの範囲内にある。
ギーの調和を得るための従来技術における試みは、放電
の電圧の精密な制御及び電圧間の時間中の電圧の調節の
ような、レーザに内在的な技術を伴う。これらの技術
は、パルスエネルギーにおける変動を数パーセントに減
らすことで成功してきた。必要なのは、パルス−パルス
エネルギー変動における大幅の削減を提供するシステム
である。
ネルギーの精密な制御を有するパルスレーザシステムを
提供する。ナノ秒あるいはサブナノ秒の範囲における応
答時間を有する敏速なパルスエネルギー検出器は、パル
スエネルギーに相当する電気信号をトリガ回路に与え、
トリガ回路は信号を積分し、積分された信号が予定の水
準に達した時に電気光学スイッチにトリガをかける。電
気光学スイッチの作動は、残りのパルスエネルギーが調
和のとれた所望の水準に維持されるようにパルスエネル
ギーの部分を削る。好ましい実施形態によれば、電気光
学スイッチはポッケルスセル及び少なくとも1つの偏光
ビームスプリッタを有する。この好ましい実施形態にお
いては、光学の遅延ラインは、作動するのにパルストリ
ミング要素のための追加的時間を提供する。
実施形態を説明する。図1を参照して本発明の好ましい
第1実施形態を説明する。図1は、パルス−パルスエネ
ルギー調和の本質的な改良を提供する実時間パルスエネ
ルギートリマーを有するエキシマレーザのブロック図で
ある。該システムは、一対の細長い電極と、エキシマレ
ーザガス(例えばKr、Fl、及びNeの混合物など)
と、電極と熱交換器との間にガスを循環させるファンと
を含むエキシマレーザチャンバを有する。かかるチャン
バはAkinsに発行された米国特許第4,959,8
4号に記載されており、出展を明示することによってそ
の開示内容を本願明細書の一部とする。レーザキャビテ
ィーの窓のアパーチャは、横方向に約2mm、縦方向に
20mmの断面を有するビームを生じさせる。レーザ共
鳴キャビティーは、3つのプリズムビームエキスパンダ
と、枢軸波長制御ミラーと、エシェルグレーティング及
び出力カプラ5からなる線狭帯域化モジュール10を備
え、それは約0.3の反射率を有する部分的反射ミラー
である。線狭帯域化モジュールの3つのプリズムビーム
エキスパンダは、グレーティングの効率を高め、水平方
向にビームを偏光させるように水平方向にビームを拡張
させる。
ルギーの約2パーセントを分離させ、超高速フォト検出
器7にスプリットオフ部分21を導く。ビーム20の主
要部分22は、4つの45°完全反射器11により形成
された遅延ライン30へ前進し、ポッケルスセル3を通
り、かつ水平方向に偏光された光を通して垂直方向の偏
光を遮断するように位置した偏光ビームスプリッタ4を
通る。フォト検出器7は、好ましくは約1nsのような
短時間の上昇時間を有する。かかる検出器(アイテム番
号FD5010)の1つはニュージャージー州ニュート
ンにオフィスのあるThor Labs,Inc.によ
り入手可能である。該ユニットは1mm2 あたり1ns
の活性領域を有する上昇時間を有する。ユニットは、敏
速PINフォトダイオード及び内部印加バッテリを含
む。
積分された信号を所望のパルスエネルギーに対応した予
定のカットオフ値と比較する電気−光学セルトリガ8に
供給される。カットオフ値に到達すると、トリガ8は敏
速ポッケルスセル3における高電圧を印加するトリガ信
号を生じさせる。ポッケルスセル3は、好ましくは1n
s以下の上昇時間を有し、5kHzまでの繰り返し率を
有する。かかるポッケルスセルの1つはカリフォルニア
州サンディエゴにオフィスをもつEnergyComp
ression Corporationにより入手可
能である。この特定のポッケルスセルは500psの上
昇時間を有し、3.5kVから9kVのボルト及び50
psより低いジッターを有する5kHzくらいの高さの
繰り返し率を備える。ポッケルスセル3に高電圧を加え
ると、スイッチの後ろでポッケルスセル3を横断するビ
ーム22の部分が偏光ビームスプリッタ4によって遮断
されるように、垂直方向に90°だけレーザビーム22
の偏光はシフトする。
1パーセント以下の変化量を有する、個々のパルス間で
の安定したエネルギーを提供するように削られる。図2
A及び2Bには、ポッケルスセルトリガ8のための2つ
の好ましい回路を示す。図2Aにおいて、敏速なフォト
ダイオード7から出る電流信号は電流−電圧回路40に
おける電流信号に転換され、回路40から出る電圧信号
は積分ステージ42において積分される。積分ステージ
42からの積分信号は比較器/トリガステージ44にお
けるしきい値信号と比較される。出力トリガ信号46
は、図1,3,4、及び5に示したポッケルスセル3の
高電圧をトリガするためのトリガ信号(±13Vなど)
を生じさせる比較器/トリガ回路の作動アンプのレール
からレールへ振動する。同一のアンプは全ての3つの回
路に使用しても良い。好ましいアンプの例は、CLC4
49又はCLC440である。しきい値電圧は48に示
したように調節可能である。調節は、手動でも良く、あ
るいはフィードバック回路の一部として自動でなされて
も良い。しきい値は、好ましくは僅かに最小パルスエネ
ルギーを下回るパルスエネルギーに相当するエネルギー
であり、典型的にはトリミング特徴なしにレーザ2によ
ってつくられる。ポッケルスセルトリガ8と関連の遅延
は凡そ4〜5nsと推定される。図2Bに示した回路に
おいて、フォトダイオードの出力はキャパシタ回路50
に積分される。キャパシタは、52に示したレジスタに
よりパルス間においてドレインされる。2B回路におけ
る比較器/トリガステージ44は2B回路と同一のもの
である。
ていない部分を転じさせるのに該システムに必要な時間
は、この実施形態のように約6〜7nsの範囲内にあ
る。従って、反射器11は約6〜7nsのビーム22の
遅延を与えるように位置している。これは、約2メート
ルのビームパス長における増加に匹敵する。好ましい構
成によれば、ミラー11によってつくられた遅延ルート
の長さは調節可能である。好ましくは、電子回路の応答
時間は測定され、それに従ってビームパス長を調節でき
る。パス長はシステムをチューニングするのに調節して
も良い。変形例として、追加的較正要素がパルストリミ
ングシステムに与えられるように、調節可能な遅延回路
はポッケルスセルトリガ8に築かれても良い。これらチ
ューニングシステムの両方又は一方が自動化され、パル
スエネルギーを所望の水準に維持するように出力パルス
エネルギーを測定するパルスエネルギー検出器とともに
フィードバックループに組み込まれても良い。他の実施形態 本発明は多くの他の特定の構成を使用して実施しても良
い。これら構成のいくつかを図3から5に示す。
鳴キャビティー内にあり、該配置は光学遅延パスを含ま
ない。パルスがパルストリミング要素のアクションタイ
ムと比べて比較的長い時、この配置は好ましい。図4の
配置において、レーザチャンバの上の傾斜した窓がレー
ザビームの初期偏光を与える。図5の配置において、い
くつかのパルス伸長はレーザ出力ビームを二分し、光学
遅延ラインにビームの半分を送ることによって与えられ
る。遅延された半分は遅延されていない半分に再接続さ
れる前に必要とされるようにトリミングされる。いくつ
かの特定の実施形態を述べてレーザを説明したけれど
も、種々の形態及び修正がなされても良いことを理解す
べきである。例えば、制御装置は、時間の機能としてト
リガしきい値を変更することにより時間で変動するパル
スエネルギーを有するポッケルスセルトリガユニットを
備えても良い。電気光学トリガ8は、合成信号の代わり
にフォトダイオード7からピークパルス信号に基づくポ
ッケルスセル3にトリガをかけるように構成しても良
い。この場合、ピークパルスエネルギーの機能である総
量によりパルスのテイルをトリミングするような適切な
アナログ回路が好ましい。説明したシステムの要素は、
異なっているけれども機能的には等しい要素と置き換え
ても良い。従って、本発明は添付の請求の範囲及びその
均等の範囲にのにみ限定される。
る。
である。
である。
である。
Claims (3)
- 【請求項1】パルスレーザビームにおける一連のパルス
における個々の各パルスのエネルギ出力の正確な制御を
提供するためのパルスレーザシステムであって、 A.パルスレーザビームを生じさせるパルスレーザと、 B.ナノ秒又はサブナノ秒の範囲の応答時間を有し、一
連のパルスにおける個々の各パルスのプレ出力パルスエ
ネルギーを検出し、且つ前記一連のパルスにおける前記
個々の各パルスに対して、前記個々のパルスのプレ出力
パルスエネルギに対応し、前記個々のパルスに関するプ
レ出力パルスエネルギ測定を定義する、信号を生じさせ
るように構成される敏速パルス検出器と、 C.前記一連のパルスにおける各パルスの一部をブロッ
クするためのナノ秒又はサブナノ秒の範囲の応答時間を
有する電気光学スイッチと、 D.個々の各パルスのエネルギ出力を前記個々のパルス
のプレ出力パルスエネルギ測定に基づいておおよその所
望のエネルギ出力に制限するように、前記敏速パルス検
出器からの前記信号に基づいて前記電気光学スイッチを
制御するように構成された電気光学スイッチトリガと、
を有し、前記電気光学スイッチが、ポッケルスセルと、少なくと
も1つの偏光ビームスプリッタとを備え、 前記電気光学スイッチトリガが、前記 敏速パルス検出器
からの電気信号が所定の値に達したとき、前記ポッケル
スセルに高電圧を提供するように構成されたトリガ回路
を備え、 たことを特徴とする パルスレーザシステム。 - 【請求項2】前記パルスレーザがエキシマレーザである
ことを特徴とする、請求項1に記載のパルスレーザシス
テム。 - 【請求項3】前記敏速パルスエネルギ検出器が、フォト
ダイオードであることを特徴とする請求項1に記載のパ
ルスレーザシステム。
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