JP3401663B2 - Piezoelectric transformer - Google Patents

Piezoelectric transformer

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JP3401663B2
JP3401663B2 JP16010797A JP16010797A JP3401663B2 JP 3401663 B2 JP3401663 B2 JP 3401663B2 JP 16010797 A JP16010797 A JP 16010797A JP 16010797 A JP16010797 A JP 16010797A JP 3401663 B2 JP3401663 B2 JP 3401663B2
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Japan
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rectangular plate
piezoelectric ceramic
ceramic rectangular
linear
electrodes
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超史 勝野
良明 布田
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エヌイーシートーキン株式会社
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  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
  • Dc-Dc Converters (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は矩形板の長さ振動を
用いながら、入力側、あるいは出力側、もしくは双方に
k33モードを利用した圧電トランスに関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a piezoelectric transformer that uses the k33 mode on the input side or the output side or both while using the length vibration of a rectangular plate.

【0002】[0002]

【従来の技術】携帯テレビやノート型パソコンを始め各
種携帯電子機器の普及にともない、これらの機器に直流
電圧を供給するために商用交流電圧を電源とし直流電圧
を出力するACアダプターが用いられている。一般的な
ACアダプターの回路図を図3にしめす。入力側にまず
電磁ノイズ対策用のコモンモードチョークコイルがあ
り、次に全波整流回路があり、次に直流回路に並列に大
きな瞬時断線対策用の平滑コンデンサーがある。その次
に直流を交流に変換するスイッチS1,S2があり、こ
こで変換された交流電圧が電磁式トランスに入り、所定
の交流電圧に変換される。最後にこの交流電圧を整流
し、所定の直流電圧を出力するのがスイッチング方式の
ACアダプターである。ACアダプターに用いられてい
る電子部品の中で体積が大きくかつ、ACアダプターの
変換効率に影響を及ぼすのが電磁トランスである。最
近、ACアダプターにたいする高効率化、小型低背化、
電磁ノイズの低減や低消費電力かの要求が高まり、電磁
式トランスに変わり、機械振動のエネルギーを変換媒体
とする圧電トランスの検討がなされている。圧電トラン
スの効率は圧電トランス出力インピーダンスと負荷との
インピーダンスマッチングが重要であるが、ACアダプ
ターの出力部に接続される各種携帯電子機器の入力イン
ピーダンスはおよそ数Ωから数十Ω程度である。圧電ト
ランスの出力インピーダンスは各周波数ω(=2πf)
と出力側制動容量Cd2によって(1)式のように求ま
る。
2. Description of the Related Art With the widespread use of various portable electronic devices such as portable televisions and notebook computers, AC adapters that use a commercial AC voltage as a power source and output a DC voltage have been used to supply a DC voltage to these devices. There is. A circuit diagram of a general AC adapter is shown in FIG. On the input side, there is a common mode choke coil to prevent electromagnetic noise, then there is a full-wave rectifier circuit, and then there is a smoothing capacitor in parallel with the DC circuit to prevent large instantaneous disconnections. Next, there are switches S1 and S2 for converting DC into AC, and the AC voltage converted here enters an electromagnetic transformer and is converted into a predetermined AC voltage. Finally, a switching type AC adapter rectifies this AC voltage and outputs a predetermined DC voltage. Among the electronic components used in the AC adapter, the electromagnetic transformer has a large volume and affects the conversion efficiency of the AC adapter. Recently, high efficiency, small size and low profile of AC adapter,
With the increasing demands for reduction of electromagnetic noise and low power consumption, a piezoelectric transformer that uses mechanical vibration energy as a conversion medium has been studied instead of an electromagnetic transformer. Although the impedance matching between the output impedance of the piezoelectric transformer and the load is important for the efficiency of the piezoelectric transformer, the input impedance of various portable electronic devices connected to the output part of the AC adapter is about several Ω to several tens Ω. The output impedance of the piezoelectric transformer is at each frequency ω (= 2πf)
And the output side braking capacity Cd2, it is obtained as in the equation (1).

【0003】 R=1/ωCd2 (1) ここで一例としてR=10Ω、f=120kHz、のと
きCd2=160nFとなる。
R = 1 / ωCd2 (1) As an example, when R = 10Ω and f = 120 kHz, Cd2 = 160 nF.

【0004】実用的な寸法のACアダプター用圧電トラ
ンスにおいてこのような大きな制動容量を確保するため
には対抗内部電極による積層構造が必要となってくる。
In order to secure such a large braking capacity in a piezoelectric transformer for an AC adapter having a practical size, it is necessary to have a laminated structure with counter internal electrodes.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、インピ
ーダンス整合をとるために、出力側に対抗内部電極を採
用するには、内部電極とセラミックスの積層方向が圧電
セラミックス矩形板の長さ方向に一致する(k33)と
厚み方向に一致する(k31)方法の2通りが考えられ
る。
However, in order to employ impedance-matching internal electrodes on the output side in order to achieve impedance matching, the stacking direction of the internal electrodes and the ceramics coincides with the length direction of the piezoelectric ceramic rectangular plate ( There are two possible methods: (k33) and (k31) method of matching in the thickness direction.

【0006】前者は後者よりもより高い電気機械結合係
数が期待できることから圧電トランスとしてのエネルギ
ー変換効率が高くなる。しかし機械的な強度の面で問題
が残る。
Since the former is expected to have a higher electromechanical coupling coefficient than the latter, the energy conversion efficiency of the piezoelectric transformer becomes high. However, problems remain in terms of mechanical strength.

【0007】すなわち内部電極層である貴金属と圧電セ
ラミックスは化学的に反応せず、機械的に固着している
だけである。長さ方向の共振周波数で駆動された場合、
内部電極とセラミックス境界面から破壊する可能性があ
る。さらに長さ方向への積層は、積層数が多くコスト的
にも問題である。また内部電極が矩形板側面において1
層おきに露出し、外部電極によって接続されている場合
はもう一つ別の強度的問題が生ずる。1層おきに側面に
露出させる場合、側面近傍には図1(A)で不活性部と
表示した部分が分極されない。一方、活性部は分極され
ると長さ方向に伸びるため、不活性部近傍は図1(C)
で示したように変形し、大きな歪みを生ずることにな
る。これによる残留応力は圧電セラミック材料の場合、
一般的に材料の引っ張り強度に相当するものであること
が知られている。
That is, the noble metal, which is the internal electrode layer, and the piezoelectric ceramic do not chemically react with each other, but are mechanically fixed to each other. When driven at the resonant frequency in the length direction,
There is a possibility of destruction from the interface between the internal electrode and the ceramics. Further, stacking in the length direction has a large number of stacks, which is a problem in terms of cost. Moreover, the internal electrode is 1 on the side surface of the rectangular plate.
Another strength problem arises when exposed layer by layer and connected by external electrodes. When every other layer is exposed on the side surface, a portion indicated as an inactive portion in FIG. 1A is not polarized near the side surface. On the other hand, when the active portion is polarized, it extends in the lengthwise direction, so that the vicinity of the inactive portion is shown in FIG.
It will be deformed as shown in, and a large distortion will occur. The residual stress caused by this is
It is generally known that it corresponds to the tensile strength of a material.

【0008】本発明の目的は以下の通りである。The objects of the present invention are as follows.

【0009】内部電極を面電極ではなくて線状電極と
し積層方向は圧電トランス矩形板の厚み方向とすること
で、機械的強度が高く、エネルギー変換効率も良く、更
に低コストな圧電トランスを提供すること。
By providing the internal electrodes as linear electrodes instead of surface electrodes and by laminating in the thickness direction of the piezoelectric transformer rectangular plate, a piezoelectric transformer having high mechanical strength, good energy conversion efficiency, and low cost is provided. To do.

【0010】面電極あるいは線状電極を用いて高い結
合係数を得ながらも、不活性部における強度低下を防止
すること。
To prevent a decrease in strength in the inactive portion while obtaining a high coupling coefficient by using a plane electrode or a linear electrode.

【0011】k33を用いて高い結合係数を得ながら
も、不活性部における強度低下を防止すること。
To prevent a decrease in strength in the inactive portion while obtaining a high coupling coefficient by using k33.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、圧電セラミック矩形板の長さ方向の1波長共振モ
ードを利用した圧電トランスにおいて、圧電セラミッ
矩形板の長さ方向に2等分したうちの少なくとも一方
の部分に、長さ方向に直交した複数の面内において幅方
向に平行にかつ厚み方向に線状電極を積層することで複
数層の線状内部電極を長さ方向に積層した構造とし、こ
れら複数層の線状内部電極群が、前記圧電セラミック
形板の2つの側面に長さ方向において交互に露出してい
ることを特徴とする構造の圧電トランス。
In order to solve the above problems, in a piezoelectric transformer utilizing a one-wavelength resonance mode in the length direction of a piezoelectric ceramic rectangular plate, a piezoelectric ceramic
On at least one portion of which is bisected in the longitudinal direction of the click rectangular plate, double by parallel and stacked linear electrode in the thickness direction in the width direction in the multiple plane orthogonal to the longitudinal direction
A structure in which several layers of linear internal electrodes are laminated in the lengthwise direction, and a group of linear internal electrodes of these multiple layers are alternately exposed in the lengthwise direction on two side surfaces of the piezoelectric ceramic rectangular plate. Piezoelectric transformer with a structure characterized by

【0013】の圧電トランスにおいて長さ方向に直
交して複数層設けられた線状内部電極群が、前記圧電セ
ラミック矩形板の2つの側面に露出していることを特徴
とする構造の圧電トランス以上の圧電トランスを検討し
た。
[0013] In the piezoelectric transformer and perpendicular to the longitudinal direction linear internal electrode group provided a plurality of layers of the piezoelectric cell
A piezoelectric transformer having a structure characterized by being exposed on two side surfaces of a lamic rectangular plate was examined.

【0014】上記問題点を解決するために、圧電セラ
ミック矩形板の長さ方向の1波長共振モードを利用した
圧電トランスにおいて、前記圧電セラミック矩形板の長
さ方向に2等分したうちの少なくとも一方の部分に、長
さ方向に直交した複数の面内において幅方向に平行に
厚み方向に線状電極を積層することで複数層の線状内
部電極を長さ方向に積層した構造とし、これら複数層
状内部電極群が、前記圧電セラミック矩形板の2つの
側面に露出し、更に前記圧電セラミック矩形板側面に設
けられた厚さ方向に平行な複数の側面電極によって接続
され、これら厚さ方向に平行な側面電極が長さ方向に1
つおきに同極となるよう引き出され、前記圧電セラミッ
矩形板側面、上下面、あるいは両端面において接続さ
れていることを特徴とする圧電トランスをも検討した。
In order to solve the above problems, in a piezoelectric transformer utilizing a one-wavelength resonance mode in the lengthwise direction of a piezoelectric ceramic rectangular plate, at least one of the two halves of the piezoelectric ceramic rectangular plate in the lengthwise direction. in part, or in parallel in the width direction in the plane of the number of multiple orthogonal to the length <br/> direction
Multiple layers linear within by stacking in the thickness direction of the linear electrodes One
The part electrode is laminated in the length direction structure of multiple layers
Linear internal electrode group, the exposed on two sides of the piezoelectric ceramic rectangular plate, are connected by further said piezoelectric ceramic rectangular plate plurality of side electrodes parallel to the thickness direction provided on the side surface, these thickness direction Parallel side electrodes are 1 in the length direction
The piezoelectric ceramic
(C) A piezoelectric transformer characterized in that it is connected to the side surface of the rectangular plate, the upper and lower surfaces, or both end surfaces was also examined.

【0015】[0015]

【作用】本発明の圧電トランスによって入力側、または
出力側、あるいは双方ともk33を用いたうえで強度の
確保を図れる。また矩形板側面の線状電極を引き出して
側面、上下面、あるいは両端面においてまとめることに
より、振動のノード点(振幅ゼロの部分)においてリー
ド付けが可能となり、信頼性の向上を図ることができ
る。
With the piezoelectric transformer of the present invention, the strength can be ensured by using k33 on the input side, the output side, or both. Further, by pulling out the linear electrodes on the side surfaces of the rectangular plate and collecting them on the side surfaces, the upper and lower surfaces, or both end surfaces, it becomes possible to lead at the node point of vibration (the portion where the amplitude is zero), and the reliability can be improved. .

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態による圧電ト
ランスを実施例において請求項に対応させながら図面を
用いて説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A piezoelectric transformer according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings with reference to the accompanying claims.

【0017】[0017]

【実施例】[実施例1] 図に本発明の請求項1に係る圧電トランスにおけるそ
の振動子構造の概略斜視図を示す。寸法は長さ32m
m、幅10mm、厚さ6mmである。入力部である圧電
セラミック振動子矩形板11の約半分の部分領域には銀
−パラジウム合金を用いた線状内部電極14、16を線
幅100ミクロン、長さ9mm、ピッチ2mmで8本配
置され、一本置きに交互に側面に露出している。出力部
である矩形板残りの約半分の領域には同じく銀−パラジ
ウム合金を用いた線状内部電極15、17を線幅80ミ
クロン、長さ8mm、ピッチ500μmで30本配置さ
れ、一本置きに交互に側面露出している。この平面パタ
ーンを図1()に示す。図中の矢印は分極方向であ
る。またこの平面パターンが厚さ方向に120μm間隔
で50層積層されている。また入出力部それぞれの側面
には複数積層された線状内部電極と接続するための外部
電極12、13が存在する。試作した圧電トランスの共
振周波数と入出力側の振動子定数及び出力側の制動容量
から計算した最適負荷を表1に示す。また試作した圧電
トランスの1波長共振モードを利用し、矩形板の長さ方
向の端面から1/4の位置を支持して入力70Vrms 、
負荷抵抗10Ω時の圧電トランス特性を測定した。その
結果も表1に示す。
EXAMPLE 1 FIG. 1 is a schematic perspective view of the vibrator structure of a piezoelectric transformer according to claim 1 of the present invention. Dimension is 32m long
m, width 10 mm, and thickness 6 mm. Eight linear internal electrodes 14 and 16 using a silver-palladium alloy are arranged in a line width of 100 μm, a length of 9 mm, and a pitch of 2 mm in a partial area of about a half of the piezoelectric ceramic vibrator rectangular plate 11 which is an input portion. , Every other is exposed on the side alternately. In the remaining half of the rectangular plate which is the output part, 30 linear internal electrodes 15 and 17 also made of a silver-palladium alloy are arranged with a line width of 80 μm, a length of 8 mm and a pitch of 500 μm. Alternately exposed to the side. The plane pattern shown in FIG. 1 (B). The arrow in the figure indicates the polarization direction. Further, 50 layers of this plane pattern are laminated in the thickness direction at intervals of 120 μm. Further, external electrodes 12 and 13 for connecting to a plurality of stacked linear internal electrodes are present on the side surfaces of each of the input / output portions. Table 1 shows the optimum load calculated from the resonance frequency of the prototype piezoelectric transformer, the oscillator constants on the input and output sides, and the braking capacity on the output side. Also, using the one-wavelength resonance mode of the prototype piezoelectric transformer, the input 70Vrms, supporting the position of ¼ from the end face in the length direction of the rectangular plate,
The piezoelectric transformer characteristic was measured when the load resistance was 10Ω. The results are also shown in Table 1.

【0018】[0018]

【表1】 [Table 1]

【0019】[実施例2]図2に本発明の請求項2に係
る圧電トランスにおけるその振動子構造の概略斜視図を
示す。寸法は長さ32mm、幅10mm、厚さ6mmで
ある。入力部である圧電トランス振動子矩形板21の約
半分の部分領域には銀−パラジウム合金を用いた入力用
線状内部電極24を線幅100ミクロン、長さ8mm、
ピッチ2mmで8本配置され、すべて2つの側面(前後
両側面)に露出している。出力部である矩形板21の残
りの約半分の領域には同じく銀−パラジウム合金を用い
た線状内部電極26と27とを線幅80ミクロン、長さ
9mm、ピッチ500μmで30本配置され、一本置き
に交互に側面に露出している。この平面パターンを図2
(B)に示す。この平面パターンが厚さ方向に120μ
m間隔で50層積層されている。また出力部のそれぞれ
の側面には複数積層された線状内部電極26および27
を接続するための外部電極として出力用側面電極25が
設けられている。一方、入力側には線状内部電極24を
1本置きに選択した入力用側面電極22および入力用側
面電極23を設け、矩形板21の上面において各電極を
一緒に纏める構造である。試作した圧電トランスの共振
周波数と入出力側の振動子定数及び出力側の制動容量か
ら計算した最適負荷を表1に示す。また試作した圧電ト
ランスの1波長共振モードを利用し、矩形板21の長さ
方向の端面から1/4の位置を支持して入力70Vrms
、負荷抵抗10Ω時の圧電トランス特性を測定した。
その結果も表1に示す。
[Embodiment 2] FIG. 2 shows a schematic perspective view of a vibrator structure of a piezoelectric transformer according to a second embodiment of the present invention. The dimensions are 32 mm in length, 10 mm in width, and 6 mm in thickness. An input linear internal electrode 24 made of a silver-palladium alloy is provided in a partial area of about a half of the piezoelectric transformer vibrator rectangular plate 21 which is an input part, with a line width of 100 μm and a length of 8 mm.
Eight pieces are arranged with a pitch of 2 mm, and all are exposed on two side surfaces (front and rear side surfaces). In the other half of the area of the rectangular plate 21 which is the output section, 30 linear internal electrodes 26 and 27 also made of a silver-palladium alloy are arranged with a line width of 80 microns, a length of 9 mm and a pitch of 500 μm. It is exposed to the side alternately every other line. This plane pattern is shown in FIG.
It shows in (B). This plane pattern is 120μ in the thickness direction.
50 layers are laminated at m intervals. A plurality of linear internal electrodes 26 and 27 are stacked on each side surface of the output section.
An output side surface electrode 25 is provided as an external electrode for connecting to. On the other hand, on the input side, the input side electrode 22 and the input side electrode 23, in which every other linear internal electrode 24 is selected, are provided, and the electrodes are put together on the upper surface of the rectangular plate 21. Table 1 shows the optimum load calculated from the resonance frequency of the prototype piezoelectric transformer, the oscillator constants on the input and output sides, and the braking capacity on the output side. In addition, the one-wavelength resonance mode of the prototype piezoelectric transformer is used to support a position ¼ from the end face in the length direction of the rectangular plate 21 and input 70 Vrms.
The piezoelectric transformer characteristics were measured when the load resistance was 10Ω.
The results are also shown in Table 1.

【0020】これによると実施例2の圧電トランスは、
実施例1の圧電トランスと比較して入力側の容量比が7
から5に改善されていることが示されているが、これは
実施例2の圧電トランスの場合、外部電極近傍の圧電的
に不活性な部分が入力側に存在しないことから振動子特
性が改善されたものと考えられる。
According to this, the piezoelectric transformer of the second embodiment is
The capacitance ratio on the input side is 7 compared to the piezoelectric transformer of the first embodiment.
However, in the case of the piezoelectric transformer of the second embodiment, since the piezoelectrically inactive portion in the vicinity of the external electrode does not exist on the input side, the oscillator characteristic is improved. It is thought that it was done.

【0021】また、線状内部電極群を採用した実施例1
の圧電トランスの抗折強度は、面状電極を採用した場合
よりも大きくなり、更に実施例2の圧電トランスの場
合、入力部において分極時あるいは駆動に圧電トランス
の破壊の起点となる不活性部が無くなることから、より
強度が改善されていることがわかる。また今回の実施例
では2つの側面に露出した線状内部電極24は入力部の
みに配置し、出力部は実施例1(請求項1)と同じ構造
であるが、スクリーン印刷あるいはスパッタリング等の
手法によって出力部にも適用できること、その場合は強
度、振動子特性等においてより改善が可能であることは
言うまでもない。
Example 1 employing a linear internal electrode group
The bending strength of the piezoelectric transformer is larger than that when the planar electrode is adopted, and in the case of the piezoelectric transformer of the second embodiment, the inactive portion that becomes the starting point of the piezoelectric transformer breakdown at the input portion during polarization or driving. It can be seen that the strength is further improved from the disappearance of. In this example, the linear internal electrodes 24 exposed on the two side surfaces are arranged only in the input section, and the output section has the same structure as in Example 1 (claim 1), but a method such as screen printing or sputtering is used. It goes without saying that it can also be applied to the output section, and in that case, the strength, oscillator characteristics, etc. can be improved.

【0022】[実施例3] 図4の本発明の圧電トランスの請求項3(実施例3)に
係る振動子は、寸法は長さ32mm、幅10mm、厚さ
6mmである。入力部である矩形板41の約半分の領域
には銀−パラジウム合金を用いた線状内部電極44を線
幅100ミクロン、長さ9mm、ピッチ2mmで8本配
置され、すべて2つの側面に露出している。出力部であ
る矩形板41の残りの約半分の領域には同じく銀−パラ
ジウム合金を用いた線状内部電極46を線幅100ミク
ロン、長さ8mm、ピッチ500mmで30本配置さ
れ、一本置きに交互に側面に露出している。この平面パ
ターンを図4(B)に示す。図中の矢印は分極方向であ
る。
[Embodiment 3] The vibrator according to claim 3 (Embodiment 3) of the piezoelectric transformer of the present invention in FIG. 4 has dimensions of 32 mm in length, 10 mm in width, and 6 mm in thickness. Eight linear internal electrodes 44 using a silver-palladium alloy with a line width of 100 microns, a length of 9 mm, and a pitch of 2 mm are arranged in about half the area of the rectangular plate 41 which is the input section, and are exposed on two side surfaces. is doing. In the remaining approximately half of the rectangular plate 41, which is the output section, 30 linear internal electrodes 46 , which are also made of a silver-palladium alloy, are arranged with a line width of 100 microns, a length of 8 mm, and a pitch of 500 mm. Alternately exposed to the side. This plane pattern is shown in FIG. The arrow in the figure indicates the polarization direction.

【0023】また、この平面パターンが厚さ方向に12
0μm間隔で50層積層されている。これら線状内部電
極44は、矩形板41の側面に設けられた厚さ方向に平
行な複数の線状電極(入力用側面電極)42、43によ
って接続され、更に長さ方向に1つおきに同極となるよ
う引き出され、矩形板41の上面においてまとめられて
いる。試作した圧電トランスの1波長共振モードを利用
し、矩形板41の長さ方向の端面から1/4の位置を支
持して入力70Vrms 、負荷抵抗10Ω時の圧電トラン
ス特性を測定した。その結果を表2に示す。
Further, this plane pattern is 12 in the thickness direction.
50 layers are laminated at intervals of 0 μm. These linear internal electrodes 44 are connected by a plurality of linear electrodes (input side electrodes) 42, 43 provided in the side surface of the rectangular plate 41 and parallel to the thickness direction, and every other one in the length direction. It is drawn out so as to have the same polarity and is collected on the upper surface of the rectangular plate 41. Using the one-wavelength resonance mode of the trial-produced piezoelectric transformer, the piezoelectric transformer characteristic was measured at an input of 70 Vrms and a load resistance of 10 Ω while supporting a position ¼ from the end face in the length direction of the rectangular plate 41. The results are shown in Table 2.

【0024】[0024]

【表2】 [Table 2]

【0025】入力部の線状内部電極群が矩形板41の長
さ方向に1層おきに露出している従来の構造に対しても
同様の評価を行った。その結果も表2に示す。これによ
ると本発明での圧電トランスは、入力部の線状内部電極
群が矩形板41の長さ方向に1層おきに露出している従
来の構造に対して入力側の容量比が7から5に改善され
ていることが示されているが、これは本発明での圧電ト
ランスの場合、外部電極(入力用側面電極42、43、
出力用側面電極45)近傍の圧電的に不活性な部分が入
力側に存在しないことから振動子特性が改善されたもの
と考えられる。
The same evaluation was performed on the conventional structure in which the linear internal electrode group of the input section is exposed every other layer in the lengthwise direction of the rectangular plate 41. The results are also shown in Table 2. According to this, in the piezoelectric transformer according to the present invention, the capacitance ratio on the input side is 7 in comparison with the conventional structure in which the linear internal electrode group of the input section is exposed every other layer in the length direction of the rectangular plate 41. 5, it is shown that this is improved in the case of the piezoelectric transformer of the present invention by the external electrodes (the input side electrodes 42, 43,
Since the piezoelectrically inactive portion near the output side surface electrode 45) does not exist on the input side, it is considered that the vibrator characteristics are improved.

【0026】また、本発明での圧電トランスの抗折強度
は、入力部において分極時あるいは駆動に圧電トランス
の破壊の起点となる不活性部が無くなることから、線状
内部電極群が交互に露出する従来の構造より改善されて
いることがわかる。実施例3では2つの側面に露出した
線状内部電極44は入力部のみに配置し、出力部は従来
の構造のままであるが、スクリーン印刷あるいはスパッ
タリング等の手法によって出力部にも適用できること、
その場合は強度、振動子特性等においてより改善が可能
であることは言うまでもない。
Further, the bending strength of the piezoelectric transformer according to the present invention has no inactive portion, which is a starting point of destruction of the piezoelectric transformer during polarization or driving, at the input portion, so that the linear internal electrode groups are alternately exposed. It can be seen that the structure is improved over the conventional structure. In Example 3, the linear internal electrodes 44 exposed on the two side surfaces are arranged only in the input section and the output section has the conventional structure, but it can be applied to the output section by a method such as screen printing or sputtering.
In that case, needless to say, the strength and the characteristics of the vibrator can be further improved.

【0027】[実施例4] 図1を再度参照して、本発明の請求項4(実施例4)に
おける振動子構造の概略を述べる。寸法は長さ32m
m、幅10mm、厚さ6mmである。入力部である矩形
板の約半分の領域には銀−パラジウム合金を用いた
内部電極14,16を線幅100ミクロン、長さ9m
m、ピッチ2mmで8本配置され、一本置きに交互に側
面に露出している。出力部である矩形板残りの約半分の
領域には同じく銀−パラジウム合金を用いた状内部電
極15,17を線幅100ミクロン、長さ9mm、ピッ
チ500μmで30本配置され、一本置きに交互に側面
に露出している。この平面パターンを図1(A)に示
す。図中の矢印は分極方向である。またこの平面パター
ンが厚さ方向に120μm間隔で50層積層されてい
る。また入出力部それぞれの側面には複数積層された
状内部電極15,17と接続するための外部電極が設け
られている。試作した圧電トランスの共振周波数と入出
力側の振動子定数及び出力側の制動容量から計算した最
適負荷を表3に示す。また試作した圧電トランスの1波
長共振モードを利用し、矩形板の長さ方向の端面から1
/4の位置を支持して入力100Vrms 、負荷抵抗30
Ω時の圧電トランス特性を測定した。その結果を表3に
示す。
[Embodiment 4] Referring again to FIG. 1, an outline of a vibrator structure according to claim 4 (embodiment 4) of the present invention will be described. Dimension is 32m long
m, width 10 mm, and thickness 6 mm. The linear internal electrodes 14 and 16 made of a silver-palladium alloy are provided in a region of about half of the rectangular plate which is the input portion, with a line width of 100 μm and a length of 9 m.
8 are arranged with a pitch of 2 mm and a pitch of 2 mm, and every other one is alternately exposed on the side surface. Rectangular plate remaining approximately likewise the half area of silver which is the output unit - line width 100 micron linear internal electrodes 15, 17 using a palladium alloy, length 9 mm, arranged 30 present at a pitch 500 [mu] m, every single Alternately exposed to the side. This plane pattern is shown in FIG. The arrow in the figure indicates the polarization direction. Further, 50 layers of this plane pattern are laminated in the thickness direction at intervals of 120 μm. The external electrode for connection with input-output unit linear <br/> shaped internal electrodes 15, 17 which are stacked on each side are provided. Table 3 shows the optimum load calculated from the resonance frequency of the prototype piezoelectric transformer, the oscillator constants on the input and output sides, and the damping capacitance on the output side. In addition, using the one-wavelength resonance mode of the prototyped piezoelectric transformer, the 1
/ 4 position is supported, input 100Vrms, load resistance 30
The piezoelectric transformer characteristics at Ω were measured. The results are shown in Table 3.

【0028】[0028]

【表3】 [Table 3]

【0029】[実施例5] 図4を再度参照して、本発明の請求項5(実施例5)に
おける振動子構造の概略を述べる。寸法は長さ32m
m、幅10mm、厚さ6mmである。入力部である矩形
板41の約半分の領域には銀−パラジウム合金を用いた
状内部電極44を線幅100ミクロン、長さ9mm、
ピッチ2mmで8本配置され、すべて2つの側面に露出
している。出力部である矩形板残りの約半分の領域には
同じく銀−パラジウム合金を用いた状内部電極46,
47を線幅100ミクロン、長さ9mm、ピッチ500
μmで30本配置され、一本置きに交互に側面に露出し
ている。この平面パターンを図4(A)に示す。図中の
矢印は分極方向である。またこの平面パターンが厚さ方
向に120μm間隔で50層積層されている。
[Fifth Embodiment] With reference to FIG. 4 again, an outline of a vibrator structure according to claim 5 (fifth embodiment) of the present invention will be described. Dimension is 32m long
m, width 10 mm, and thickness 6 mm. A silver-palladium alloy was used for about half the area of the rectangular plate 41 which is the input part.
The linear internal electrode 44 has a line width of 100 μm and a length of 9 mm,
Eight pieces are arranged with a pitch of 2 mm, and all are exposed on two side surfaces. Rectangular plate remaining approximately likewise the half area of silver which is the output unit - linear internal electrode 46 using a palladium alloy,
47 with a line width of 100 microns, a length of 9 mm, and a pitch of 500
30 pieces are arranged with a thickness of μm, and every other one is alternately exposed on the side surface. This plane pattern is shown in FIG. The arrow in the figure indicates the polarization direction. Further, 50 layers of this plane pattern are laminated in the thickness direction at intervals of 120 μm.

【0030】また、入力部それぞれの側面には複数積層
された状内部電極46,47と接続するための外部電
極が設けられているが、入力側は線状内部電極を1本置
きに選択して矩形板上面にてまとめる構造としてある。
試作した圧電トランスの共振周波数と入出力側の振動子
定数及び出力側の制動容量から計算した最適負荷も表3
に示す。
Further, although the external electrodes to be connected to the input unit linear internal electrodes 46, 47 which are stacked on each side is provided, the input side selects every one linear internal electrodes Then, the rectangular plate is assembled on the upper surface.
Table 3 also shows the optimum load calculated from the resonant frequency of the prototype piezoelectric transformer, the oscillator constants on the input and output sides, and the damping capacitance on the output side.
Shown in.

【0031】その上、試作した圧電トランスの1波長共
振モードを利用し、矩形板41の長さ方向の端面から1
/4の位置を支持して入力100Vrms 、負荷抵抗30
Ω時の圧電トランス特性を測定した。その結果も表3に
示す。
In addition, by utilizing the one-wavelength resonance mode of the piezoelectric transformer manufactured as a prototype, the rectangular plate 41 is moved from the end face in the longitudinal direction to 1
/ 4 position is supported, input 100Vrms, load resistance 30
The piezoelectric transformer characteristics at Ω were measured. The results are also shown in Table 3.

【0032】これによると入力側の容量比が7から5に
改善されていることが示されているが、これは本請求項
の構造の場合、外部電極近傍の圧電的に不活性な部分が
入力側に存在しないことから振動子特性が改善されたも
のと考えられる。またこの不活性部分極時、あるいは駆
動に際しても圧電トランスの破壊をもたらすクラックの
起点となる部分であるが、入力部において無くなること
により強度が改善されていることがわかる。今回の実施
例では2つの側面に露出した状内部電極は入力部のみ
に配置し、出力部は請求項1と同じ構造であるが、スク
リーン印刷あるいはスパッタリング等の手法によって出
力部にも適用できること、その場合は強度、振動子特性
等においてより改善が可能であることは言うまでもな
い。
According to this, it is shown that the capacitance ratio on the input side is improved from 7 to 5, but in the case of the structure of the present invention, the piezoelectrically inactive portion near the external electrode is It is considered that the oscillator characteristics are improved because it does not exist on the input side. Further, it can be seen that the strength of the inactive portion is improved by eliminating it in the input portion, which is a starting point of a crack that causes destruction of the piezoelectric transformer even when the inactive portion is at the extreme or during driving. This time embodiment linear internal electrodes exposed to the two sides in place only on the input unit, an output unit is the same structure as claimed in claim 1, can be applied to the output portion by a method of screen printing, sputtering or the like Needless to say, in that case, it is possible to further improve the strength and the oscillator characteristics.

【0033】[0033]

【発明の効果】以上、述べたように本発明によれば、線
状内部電極を用いた構造とし積層方向は圧電セラミック
ス矩形板の厚み方向とすることができるため、製造コス
トを低下させることができる。更に圧電トランス的に不
活性な部分を除くことによって機械的強度が大きく信頼
性に優れた構造の圧電トランスを提供することが可能に
なる。
As described above, according to the present invention, since the structure using the linear internal electrodes can be adopted and the laminating direction can be the thickness direction of the piezoelectric ceramic rectangular plate, the manufacturing cost can be reduced. it can. Furthermore, by removing the inactive portion of the piezoelectric transformer, it is possible to provide a piezoelectric transformer having a structure with high mechanical strength and excellent reliability.

【0034】また、線状内部電極を用いた構造とし積層
方向は圧電セラミックス矩形板の厚み方向とすることで
機械的強度が高くかつ効率90%以上の構造の圧電トラ
ンスを提供することが可能になる。また矩形板側面の線
状電極を引き出して側面、上下面、あるいは両端面にお
いてまとめることにより、振動のノード点(振幅ゼロの
部分)においてリード付けが可能となり、信頼性の向上
を図ることができる。
Further, it is possible to provide a piezoelectric transformer having a structure having a high mechanical strength and an efficiency of 90% or more by adopting a structure using a linear internal electrode and arranging the laminating direction in the thickness direction of the piezoelectric ceramic rectangular plate. Become. Further, by pulling out the linear electrodes on the side surfaces of the rectangular plate and collecting them on the side surfaces, the upper and lower surfaces, or both end surfaces, it becomes possible to lead at the node point of vibration (the portion where the amplitude is zero), and the reliability can be improved. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】(A)は、請求項1(実施例1)の圧電トラン
スの概略斜視図、(B)は、(A)の圧電トランスの内
部電極パターンを示す図、(C)は、(A)の圧電トラ
ンスの分極時の変形概略図である。
1A is a schematic perspective view of a piezoelectric transformer according to claim 1 (embodiment 1), FIG. 1B is a view showing an internal electrode pattern of the piezoelectric transformer of FIG. 1A, and FIG. It is a deformation | transformation schematic diagram at the time of polarization of the piezoelectric transformer of A).

【図2】(A)は、請求項2(実施例2)の圧電トラン
スの概略斜視図、(B)は、(A)の圧電トランスの内
部電極パターンを示す図である。
FIG. 2A is a schematic perspective view of a piezoelectric transformer of claim 2 (embodiment 2), and FIG. 2B is a diagram showing internal electrode patterns of the piezoelectric transformer of FIG.

【図3】一般的な電磁式ACアダプタの回路ブロック図
である。
FIG. 3 is a circuit block diagram of a general electromagnetic AC adapter.

【図4】(A)は、請求項3(実施例3)の圧電トラン
スの概略斜視図、(B)は、(A)の圧電トランスの内
部電極パターンを示す図である。
FIG. 4A is a schematic perspective view of a piezoelectric transformer of claim 3 (embodiment 3), and FIG. 4B is a diagram showing internal electrode patterns of the piezoelectric transformer of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 圧電トランス振動子矩形板(圧電セラミック矩
形板) 12 入力用側面電極 13 出力用側面電極 14,16 入力用線状(帯状)内部電極 15,17 出力用線状(帯状)内部電極 21 圧電トランス振動子矩形板 22 入力用側面電極 23 入力用側面電極 24 入力用線状内部電極 25 出力用側面電極 26,27 出力用線状内部電極 31 電磁ノイズ対策用コモンモードチョークコイル 32 全波整流回路 33 平滑コイル 34 スイッチング回路 35 電磁式トランス 36 整流回路 37 平滑回路 41 圧電トランス振動子矩形板 42 入力用側面電極 43 入力用側面電極 44 入力用線状(帯状)内部電極 45 出力用側面電極 46,47 出力用線状(帯状)内部電極
11 Piezoelectric Transformer Oscillator Rectangular Plate (Piezoelectric Ceramic Rectangular Plate) 12 Input Side Electrodes 13 Output Side Electrodes 14, 16 Input Linear (Strip) Internal Electrodes 15, 17 Output Linear (Strip) Internal Electrodes 21 Piezoelectric Transformer Oscillator rectangular plate 22 Input side electrode 23 Input side electrode 24 Input side internal electrode 25 Output side electrode 26, 27 Output side internal electrode 31 Common mode choke coil 32 for electromagnetic noise suppression Full-wave rectification circuit 33 Smoothing coil 34 Switching circuit 35 Electromagnetic transformer 36 Rectifying circuit 37 Smoothing circuit 41 Piezoelectric transformer vibrator Rectangular plate 42 Input side electrode 43 Input side electrode 44 Input linear (strip) internal electrode 45 Output side electrode 46, 47 Output line (strip) internal electrode

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 41/107 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) H01L 41/107

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 圧電セラミック矩形板の長さ方向の1波
長共振モードを利用した圧電トランスにおいて、前記圧
電セラミック矩形板は、長さ方向に2等分したうちの少
なくとも一方の部分領域を備え、該一方の部分領域に
は、長さ方向に直交した複数の面内において幅方向に平
行にかつ厚み方向に線状電極を積層することで複数層の
線状内部電極を長さ方向に積層した構造とし、これら複
数層の線状内部電極群が、前記圧電セラミック矩形板の
両側面に長さ方向において1層おきに交互に露出してい
ることを特徴とする圧電トランス。
1. A piezoelectric transformer utilizing a one-wavelength resonance mode in a length direction of a piezoelectric ceramic rectangular plate, wherein the piezoelectric ceramic rectangular plate has at least one partial region divided into two in the length direction, in one partial region the can in the length direction of linear internal electrodes of the plurality of layers by parallel and stacked linear electrode in the thickness direction in the width direction in the multiple plane orthogonal to the longitudinal direction A piezoelectric transformer having a laminated structure , wherein a plurality of layers of linear internal electrode groups are alternately exposed on both side surfaces of the piezoelectric ceramic rectangular plate every other layer in the length direction.
【請求項2】 圧電セラミック矩形板の長さ方向の1波
長共振モードを利用した圧電トランスにおいて、前記圧
電セラミック矩形板の長さ方向に2等分した2つの部分
領域のうち、少なくとも一方の部分領域に、長さ方向に
直交した複数の面内において幅方向に平行にかつ厚み方
向に線状電極を積層することで複数の線状内部電極
長さ方向に積層した構造とし、これら複数層の線状内部
電極群が、前記圧電セラミック矩形板の2つの側面に露
出していることを特徴とする圧電トランス。
2. A piezoelectric transformer using a one-wavelength resonance mode in the length direction of a piezoelectric ceramic rectangular plate, wherein at least one of two partial regions divided in the length direction of the piezoelectric ceramic rectangular plate. a region, a linear internal electrodes of layers by parallel and stacked linear electrode in the thickness direction in the width direction in the plane of the multiple orthogonal to the longitudinal direction
And it was laminated in the length direction structure, the piezoelectric transformer linear internal electrode groups of the plurality layers, and wherein the exposed on two sides of the piezoelectric ceramic rectangular plate.
【請求項3】 圧電セラミック矩形板の長さ方向の1波
長共振モードを利用した圧電トランスにおいて、前記圧
電セラミック矩形板の長さ方向に2等分したうちの少な
くとも一方の部分領域に、長さ方向に直交した複数の
内において幅方向に平行にかつ厚み方向に線状電極を積
層することで複数の線状内部電極を長さ方向に積層し
た構造とし、これら複数層の線状内部電極群が、前記圧
電セラミック矩形板の2つの側面に露出し、更に、前記
圧電セラミック矩形板の側面に設けられた厚さ方向に平
行な複数の側面電極によって接続され、これら厚さ方向
に平行な側面電極が長さ方向に1つおきに同極となるよ
う引き出され、前記圧電セラミック矩形板の側面、上下
面、あるいは両端面において接続されていることを特徴
とする圧電トランス。
3. A piezoelectric transformer using a one-wavelength resonance mode in a length direction of a piezoelectric ceramic rectangular plate, wherein a length is provided in at least one partial region of the piezoelectric ceramic rectangular plate divided into two in the length direction. product a parallel and linear electrodes in the thickness direction in the width direction in the multiple plane orthogonal to the direction
By stacking multiple layers of linear internal electrodes in the length direction,
It has a structure, linear internal electrode groups of the plurality layers, the pressure
Electrostatic exposed to two sides of the ceramic rectangular plate, further, which is connected by a piezoelectric ceramic rectangular plate plurality of side electrodes parallel to the thickness direction provided on the side surface of the length is parallel to the side electrodes of these thickness direction A piezoelectric transformer characterized in that it is drawn out so that every other pole has the same polarity in the vertical direction, and is connected to the side surface, upper and lower surfaces, or both end surfaces of the piezoelectric ceramic rectangular plate.
【請求項4】 圧電セラミック矩形板の長さ方向の共振
モードを利用した圧電トランスにおいて、前記圧電セラ
ミック矩形板の長さ方向のほぼ半分の部分領域に、長さ
方向に直交した前記圧電セラミック矩形板の一方の側面
に露出する第一の複数の状内部電極と、長さ方向に直
交し前記圧電セラミック矩形板の他方の側面に露出する
第二の複数の状内部電極とを備え、前記第一の複数の
内部電極の間のほぼ中間の位置に前記第二の状内
部電極を配置し、これら内部電極は、前記圧電セラ
ミック矩形板の両側面でそれぞれ共通の外部電極に接続
し、前記圧電セラミック矩形板の長さ方向の残りのほぼ
半分の部分には、長さ方向に直交し前記圧電セラミック
矩形板の一方の側面に露出する第三の複数の状内部電
極と、長さ方向に直交し前記圧電セラミック矩形板の
方の側面に露出する第四の複数の帯状内部電極とを備
え、前記第一〜前記第四の各線状内部電極は、幅方向に
平行にかつ厚み方向に線状電極を積層して成り、これら
の各線状内部電極は、前記圧電セラミック矩形板の側面
でそれぞれ共通の外部電極に接続したことを特徴とする
圧電トランス。
4. A piezoelectric transformer using a resonance mode in a length direction of a piezoelectric ceramic rectangular plate, wherein the piezoelectric ceramic rectangular plate orthogonal to the length direction is provided in a partial region of the piezoelectric ceramic rectangular plate in the length direction. comprises a first plurality of linear internal electrodes exposed to one side of the plate, and a second plurality of linear internal electrodes perpendicular to the longitudinal direction exposed to the other side of the piezoelectric ceramic rectangular plate, The first plurality
Said second linear internal electrodes arranged substantially in an intermediate position between the linear internal electrodes, these linear internal electrode is connected to the respective common external electrode on both sides of the piezoelectric ceramic rectangular plate, wherein the remaining approximately half of the length direction of the piezoelectric ceramic rectangular plate, a third plurality of linear internal electrodes perpendicular to the longitudinal direction exposed on one side surface of the piezoelectric ceramic rectangular plate, the lengthwise direction And a fourth plurality of strip-shaped internal electrodes that are exposed to the other side surface of the piezoelectric ceramic rectangular plate, and the first to fourth linear internal electrodes are arranged in the width direction.
It is made by stacking linear electrodes in parallel and in the thickness direction.
2. Each of the linear internal electrodes is connected to a common external electrode on the side surface of the piezoelectric ceramic rectangular plate.
【請求項5】 圧電セラミック矩形板の長さ方向の共振
モードを利用した圧電トランスにおいて、前記圧電セラ
ミック矩形板の長さ方向のほぼ半分の部分領域に、長さ
方向に直交し、かつ厚み方向に線状電極を複数積層して
成り、更に、前記圧電セラミック矩形板の2つの側面に
露出する第一の複数の状内部電極を長さ方向に積層し
た構造とし、該第一の複数の状内部電極は、前記圧電
セラミック矩形板の側面あるいは上面において2つの外
部電極に接続される一方、前記圧電セラミック矩形板の
長さ方向の残りのほぼ半分の部分にも、長さ方向に直交
し、かつ厚み方向に線状電極を複数積層して成り、更
に、前記圧電セラミック矩形板の2つの側面に交互に
出する第二の複数の状内部電極を長さ方向に積層した
構造とし、該第二の複数の状内部電極は、前記圧電セ
ラミック矩形板の側面あるいは上面において2つの外部
電極に接続されていることを特徴とする圧電トランス。
5. A piezoelectric transformer using a resonance mode of a piezoelectric ceramic rectangular plate in a longitudinal direction, wherein the piezoelectric ceramic rectangular plate is substantially orthogonal to the longitudinal direction in a partial region of a half of the longitudinal direction of the piezoelectric ceramic rectangular plate and in the thickness direction. Stack multiple linear electrodes on
It made, further, laminating a first plurality of linear internal electrodes exposed to the two sides of the piezoelectric ceramic rectangular plate in the longitudinal direction
Has a structure, a plurality of linear internal electrodes of said first, said piezoelectric while the side surface or the upper surface of the ceramic rectangular plate is connected to the two external electrodes, the remaining substantially half of the length direction of the piezoelectric ceramic rectangular plate The second part is also formed by stacking a plurality of linear electrodes perpendicular to the length direction and in the thickness direction, and further exposed alternately on the two side faces of the piezoelectric ceramic rectangular plate. by laminating a plurality of linear internal electrodes in the longitudinal direction
The structure, a plurality of linear internal electrodes of the second, the piezoelectric transformer, characterized in that connected to the two external electrodes on the side surface or the upper surface of the piezoelectric ceramic rectangular plate.
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