JP3008255B2 - Piezoelectric transformer - Google Patents

Piezoelectric transformer

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JP3008255B2 JP7088483A JP8848395A JP3008255B2 JP 3008255 B2 JP3008255 B2 JP 3008255B2 JP 7088483 A JP7088483 A JP 7088483A JP 8848395 A JP8848395 A JP 8848395A JP 3008255 B2 JP3008255 B2 JP 3008255B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、圧電性セラミックスを
用いた圧電トランスに関し、特に圧電セラミックス矩形
板の内部と表面に分極用と入出力用の電極を形成し、矩
形板の長さ方向の共振を利用した圧電トランスに関する
ものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a piezoelectric transformer using piezoelectric ceramics. The present invention relates to a piezoelectric transformer using resonance.

【0002】[0002]

【従来の技術】静電気発生装置や液晶ディスプレイのバ
ックライト点灯用などでは、大きな電流値は必要としな
いが、1kV−数ワット程度の高電圧電源が用いられて
いる。現在、これらの電源には電磁式トランスが昇圧用
として用いられているが、発生電磁ノイズの低減や低消
費電力化、機器の小型低背化などの要求により、圧電ト
ランスの実用化の検討がなされている。
2. Description of the Related Art A high voltage power supply of about 1 kV to several watts is used for a static electricity generating device or for lighting a backlight of a liquid crystal display. At present, electromagnetic transformers are used as boosters for these power supplies, but due to demands such as reduction of generated electromagnetic noise, lower power consumption, and downsizing of equipment, the study of practical use of piezoelectric transformers has been considered. It has been done.

【0003】図3は従来の圧電トランスに用いられてい
る圧電振動子の構造の概略斜視図である。図3におい
て、圧電セラミックス矩形板31には、長さ方向のおよ
そ半分の部分に厚さ方向に対向する電極32および33
が形成されている。また、圧電セラミックス矩形板31
の長側面には、側面電極34および35が形成されてい
る。圧電セラミックス矩形板31において、電極32,
33の部分は厚さ方向に分極され、側面電極34と側面
電極35の間の部分は圧電セラミックス矩形板31の幅
方向に分極されている。
FIG. 3 is a schematic perspective view of the structure of a piezoelectric vibrator used in a conventional piezoelectric transformer. In FIG. 3, a piezoelectric ceramic rectangular plate 31 has electrodes 32 and 33 opposed to a half part in the length direction in the thickness direction.
Are formed. Also, the piezoelectric ceramic rectangular plate 31
Side electrodes 34 and 35 are formed on the long side surface of. In the piezoelectric ceramic rectangular plate 31, electrodes 32,
The portion 33 is polarized in the thickness direction, and the portion between the side electrodes 34 and 35 is polarized in the width direction of the piezoelectric ceramic rectangular plate 31.

【0004】図4は図3の圧電振動子を用いた圧電トラ
ンスの動作原理の説明図であり、図4(a)は圧電セラ
ミックス矩形板の断面図、図4(b)は圧電セラミック
ス矩形板が長さ方向振動の1波長共振モードで振動して
いる場合の変位分布であり、図4(c)はその時の歪分
布を示している。図4(a)において電極33をアース
端子とし、電極32に圧電セラミックス矩形板の長さ方
向の1波長共振モードの共振周波数に等しい周波数の電
圧を印加すると、矩形板は、図4(b)及び(c)に示
すように振動する。この時、側面電極34と35の間に
は圧電効果により電圧が発生する。ここで、電極32に
印加した入力電圧と側面電極34および35間に発生し
た出力電圧について説明すると、電極32と電極33の
対向間隔は側面電極34および35との間隔に比べ十分
に小さく、電極32,33の面積は側面電極34および
35間の面積より十分に大きいため、入力側の静電容量
は出力側の静電容量に比べ十分大きな値となる。従っ
て、入力側に低い電圧を印加して振動子を振動した場
合、出力側に入力側電極間と出力側電極間の間隔と静電
容量の比に比例した大きな電圧が発生する。
FIG. 4 is an explanatory view of the operation principle of a piezoelectric transformer using the piezoelectric vibrator of FIG. 3, wherein FIG. 4 (a) is a sectional view of a piezoelectric ceramic rectangular plate, and FIG. 4 (b) is a piezoelectric ceramic rectangular plate. Fig. 4 (c) shows a displacement distribution when vibrating in the one-wavelength resonance mode of longitudinal vibration, and Fig. 4 (c) shows a strain distribution at that time. In FIG. 4A, when the electrode 33 is used as a ground terminal and a voltage having a frequency equal to the resonance frequency of the one-wavelength resonance mode in the longitudinal direction of the piezoelectric ceramic rectangular plate is applied to the electrode 32, the rectangular plate becomes And vibrate as shown in FIG. At this time, a voltage is generated between the side electrodes 34 and 35 by a piezoelectric effect. Here, the input voltage applied to the electrode 32 and the output voltage generated between the side electrodes 34 and 35 will be described. The facing distance between the electrode 32 and the electrode 33 is sufficiently smaller than the distance between the side electrodes 34 and 35. Since the area of 32, 33 is sufficiently larger than the area between the side electrodes 34 and 35, the capacitance on the input side is a value sufficiently larger than the capacitance on the output side. Therefore, when a vibrator is vibrated by applying a low voltage to the input side, a large voltage is generated on the output side in proportion to the ratio between the distance between the input side electrodes and the output side electrodes and the capacitance.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、表面電
極ではその端部においてセラミックス分極時に電界が集
中し、甚だしくは短絡し、圧電トランスが破壊に至ると
いう問題点がある。また、銀または銀−パラジウム合金
は、電圧が印加された状態で、大気中の水分が電極に付
着すると容易にイオン化し、所謂マイグレーション現象
を起こすので、かかる構造の圧電トランスを高湿度環境
下で使用すると絶縁抵抗が低下し、甚だしくは短絡し、
圧電トランスが破壊に至るという問題点がある。マイグ
レーションの防止方法として、電極材料にイオン化しに
くい白金や金を用いることが考えられるが、白金や金は
高価であり、圧電トランスを工業的に安価に生産するこ
とはできない。
However, the surface electrode has a problem in that the electric field is concentrated at the end of the surface electrode during the polarization of the ceramics, and the surface electrode is severely short-circuited, resulting in breakdown of the piezoelectric transformer. In addition, silver or silver-palladium alloy is easily ionized when moisture in the air adheres to the electrodes in a state where a voltage is applied, causing a so-called migration phenomenon. If used, insulation resistance will be reduced,
There is a problem that the piezoelectric transformer is broken. As a method for preventing migration, it is conceivable to use platinum or gold, which is difficult to ionize, as an electrode material. However, platinum and gold are expensive, and a piezoelectric transformer cannot be industrially produced at low cost.

【0006】本発明の課題は、従来構造の問題点を解決
すべく、セラミックス分極時に短絡し、圧電トランスが
破壊することがなく、低コストで、高湿度環境下で使用
してもマイグレーションの発生しない、高信頼性が得ら
れる構造の圧電トランスを提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the problems of the conventional structure by avoiding short-circuiting during polarization of ceramics and destruction of a piezoelectric transformer, low cost, and generation of migration even when used in a high humidity environment. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a piezoelectric transformer having a structure capable of obtaining high reliability.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明によれば、圧電セ
ラミックスからなる矩形板の長さ方向の共振モードを利
用した圧電トランスにおいて、四隅の角を落とした形状
を有し、セラミックス分極用電極及びトランス入力用電
極として設けられた前記矩形板の厚さ方向に対面する複
数対の対面電極層を有し、該対面電極層が前記矩形板の
長側面に向かって、かつ互いに異なる方向に延びた凸部
が設けられ、さらに一方の長側面に向かって延びた凸部
に接続される第1の共通配線層と他方の長側面に向かっ
て延びた凸部に接続される第2の共通配線層を具備して
構成されていることを特徴とする圧電トランスが得られ
る。
According to the present invention, there is provided a piezoelectric transformer utilizing a longitudinal resonance mode of a rectangular plate made of piezoelectric ceramics, in which four corners are reduced.
Having a plurality of pairs of facing electrode layers facing in the thickness direction of the rectangular plate provided as a ceramic polarization electrode and a transformer input electrode, and the facing electrode layer faces a long side surface of the rectangular plate. And a first common wiring layer connected to the convex portion extending toward one long side and a convex portion extending toward the other long side. A piezoelectric transformer characterized by having a second common wiring layer to be connected is obtained.

【0008】さらに、本発明によれば、前記複数対の対
面電極層が前記矩形板の表面に露出しない状態でその内
部に有していることを特徴とする圧電トランスが得られ
る。
Further, according to the present invention, there is provided a piezoelectric transformer wherein the plurality of pairs of facing electrode layers are provided inside the rectangular plate without being exposed to the surface thereof.

【0009】[0009]

【作用】セラミックス分極用電極およびトランス入力用
電極である対面電極は、長方形の四隅の角を落としたこ
とにより、セラミックス分極時に長方形の四隅において
電界が集中することを避けられ、該矩形板の他方の区分
の長側面に設けた電極層との間で短絡、あるいは破壊す
ることのない圧電トランスを得ることができる。また、
前記対面電極層を全て内部に有することにより、高湿環
境下で使用してもマイグレーションの発生しない、高信
頼性が得られる圧電トランスを低コストで得ることがで
きる。
The facing electrode, which is the electrode for ceramic polarization and the electrode for transformer input, has the corners of the four corners of the rectangle dropped, so that the electric field can be prevented from being concentrated at the four corners of the rectangle during the polarization of the ceramics. A piezoelectric transformer that does not short-circuit or break with an electrode layer provided on the long side surface of the section can be obtained. Also,
By having all of the facing electrode layers inside, a piezoelectric transformer that does not cause migration even when used in a high-humidity environment and has high reliability can be obtained at low cost.

【0010】[0010]

【実施例】以下、本発明に係る圧電トランスの一実施例
について図1を参照して詳細に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the piezoelectric transformer according to the present invention will be described below in detail with reference to FIG.

【0011】圧電セラミックス矩形板11の長手方向中
央部を境界としてその境界より左右いずれか一方の区分
(本実施例では左側の区分)には、圧電セラミックス矩
形板11の厚さ方向に対面する3対の対面電極層12
a,12b,12cがセラミックス分極用電極及びトラ
ンス入力用電極として設けられている。対面電極層12
a,12b,12cは、それぞれ圧電セラミックス矩形
板11の長側面に向かって、かつ互いに異なる方向に延
びた凸部を設けている。一方の長側面に向かって延びた
凸部(図の上から第1,第3,及び第5の電極層に設け
られている凸部)は第1の共通配線層としての外部電極
14と接続している。他方の長側面に向かって延びた凸
部(図の上から第2,第4,及び第6の電極層に設けら
れている凸部)は第2の共通配線層としての外部電極1
5と接続している。他方の区分(本実施例では右側の区
分)であって、圧電セラミックス矩形板11の両長側面
には、それぞれセラミックス分極用電極及びトランス出
力用電極として第1及び第2の表面電極層15,16を
有している。
With the center of the piezoelectric ceramic rectangular plate 11 in the longitudinal direction as a boundary, one of the left and right sections (the left section in the present embodiment) from the boundary (the left section in this embodiment) faces the piezoelectric ceramic rectangular plate 11 in the thickness direction. Two facing electrode layers 12
a, 12b, and 12c are provided as a ceramic polarization electrode and a transformer input electrode. Facing electrode layer 12
Each of a, 12b, and 12c is provided with a convex portion extending toward the long side surface of the piezoelectric ceramic rectangular plate 11 and extending in a direction different from each other. One of the protrusions extending toward the long side surface (the protrusions provided on the first, third, and fifth electrode layers from the top in the figure) is connected to the external electrode 14 as the first common wiring layer. are doing. The protruding portion extending toward the other long side surface (the protruding portion provided on the second, fourth, and sixth electrode layers from the top in the figure) is the external electrode 1 as a second common wiring layer.
5 is connected. In the other section (the right section in the present embodiment), the first and second surface electrode layers 15 and 20 are provided on both long side surfaces of the piezoelectric ceramic rectangular plate 11 as a ceramic polarization electrode and a transformer output electrode, respectively. 16.

【0012】次に、本実施例に係る圧電トランスの具体
的な製造方法を詳細に説明する。PZT系圧電セラミッ
クスの厚み235μmのグリーンシート上に銀−パラジ
ウム電極ペーストで内部電極パターンを印刷し、該印刷
シートを4層積層し、その上に電極パターンのないセラ
ミックグリーンシートを1層積層し、該積層体を熱圧着
し、大気中で焼結する。更に、銀ペーストを用いて、得
られた焼結体表面部に、あらかじめ積層により内部に形
成した電極パターンと同じ電極パターンを形成する。長
側面部に、内部電極12と接続する外部電極13,14
と圧電トランスの出力部の分極及び出力用の表面電極1
5,16を形成し、長さ40mm、幅10mm、厚さ1
mmの長さ方向1波長共振モードの圧電トランスを構成
する。圧電トランスは、1波長共振モードの節の部分が
圧電セラミックス矩形板の長さ方向の端面からそれぞれ
10mmの位置にあるので、その近傍の外部電極と表面
電極部を支持し、かつ該電極をリード線の接続取り出し
部とした。圧電セラミックスの分極は、温度150°、
電界強度1.2kV/mmで実施した。本圧電トランス
の性能は共振周波数が81kHz、負荷抵抗100kΩ
時、入力電圧5Vで出力電圧500Vの昇圧比100が
得られた。
Next, a specific method for manufacturing the piezoelectric transformer according to this embodiment will be described in detail. An internal electrode pattern is printed with a silver-palladium electrode paste on a 235-μm-thick green sheet of PZT-based piezoelectric ceramics, the printed sheet is laminated four layers, and a ceramic green sheet without an electrode pattern is laminated thereon, The laminate is thermocompressed and sintered in the atmosphere. Furthermore, the same electrode pattern as the electrode pattern previously formed inside by lamination is formed on the surface of the obtained sintered body using a silver paste. External electrodes 13 and 14 connected to the internal electrodes 12 are provided on the long side surfaces.
And the surface electrode 1 for polarization and output of the output part of the piezoelectric transformer
5, 16 are formed, length 40mm, width 10mm, thickness 1
1 mm resonance mode in the longitudinal direction. Since the nodes of the one-wavelength resonance mode are located at 10 mm from the end face of the piezoelectric ceramic rectangular plate in the longitudinal direction, the piezoelectric transformer supports the external electrodes and the surface electrode portions in the vicinity thereof, and leads the electrodes. It was a wire connection and take-out part. The polarization of piezoelectric ceramics is 150 °
The test was performed at an electric field strength of 1.2 kV / mm. The performance of this piezoelectric transformer has a resonance frequency of 81 kHz and a load resistance of 100 kΩ.
At this time, an input voltage of 5 V and an output voltage of 500 V resulted in a boost ratio of 100.

【0013】実施例1の圧電トランスの分極時の歩留ま
りを評価した結果を表1に示した。比較のため、図3に
示した圧電トランスも同時に以下の表1に示した。
Table 1 shows the results of evaluating the yield of the piezoelectric transformer of Example 1 during polarization. For comparison, the piezoelectric transformer shown in FIG. 3 is also shown in Table 1 below.

【0014】[0014]

【表1】 表1により明らかに、本発明構造の圧電トランスでは、
分極時の歩留まりは100%であるが、比較例では歩留
まりは20%となっている。
[Table 1] As apparent from Table 1, in the piezoelectric transformer having the structure of the present invention,
The yield during polarization is 100%, but in the comparative example, the yield is 20%.

【0015】次に、本発明に係る圧電トランスの他の実
施例について図2を参照して説明する。この図2に示さ
れた他の実施例と上述の実施例とは内部電極の形成方法
を除いて同じである。即ち、内部電極22は図1に示さ
れた内部電極12と異なり、電極6層全てが圧電セラミ
ックス矩形板21の内部に設けられている。従って、圧
電セラミックス矩形板21の表面には図1に示すような
電極の露出部分はない。
Next, another embodiment of the piezoelectric transformer according to the present invention will be described with reference to FIG. The other embodiment shown in FIG. 2 and the above embodiment are the same except for the method of forming the internal electrodes. That is, the internal electrode 22 is different from the internal electrode 12 shown in FIG. 1 in that all the six layers of the electrodes are provided inside the piezoelectric ceramic rectangular plate 21. Therefore, there is no exposed portion of the electrode on the surface of the piezoelectric ceramic rectangular plate 21 as shown in FIG.

【0016】次に、他の実施例に係る圧電トランスの具
体的な製造方法を詳細に説明する。PZT系圧電セラミ
ックスの厚み210μmおよび60μmのグリーンシー
ト上に銀−パラジウム電極ペーストで内部電極パターン
を印刷し、60μm印刷シートを1層積層した上に21
0μm印刷シートを5層積層し、その上に電極パターン
のない60μmグリーンシートを1層積層し、該積層体
を熱圧着し、大気中で焼結する。更に、銀ペーストを用
いて、得られた焼結体の長側面部に、内部電極と接続す
る外部電極23,34と圧電トランスの出力部の分極及
び出力用の表面電極15,16を形成し、長さ40m
m、幅10mm、厚さ1mmの長さ方向1波長共振モー
ドの圧電トランスを構成する。本圧電トランスの性能は
共振周波数が81.5kHz、負荷抵抗100kΩ時、
入力電圧5Vで出力電圧510Vの昇圧比102が得ら
れた。
Next, a specific method for manufacturing a piezoelectric transformer according to another embodiment will be described in detail. An internal electrode pattern is printed with a silver-palladium electrode paste on a 210 μm and 60 μm thick green sheet of PZT-based piezoelectric ceramics, and a 60 μm printed sheet is laminated on top of 21 layers.
Five layers of 0 μm printed sheets are laminated, and one layer of 60 μm green sheets without an electrode pattern is laminated thereon, and the laminated body is thermocompression-bonded and sintered in air. Further, using silver paste, external electrodes 23 and 34 connected to the internal electrodes and surface electrodes 15 and 16 for polarization and output of the output portion of the piezoelectric transformer are formed on the long side surface of the obtained sintered body. , Length 40m
A piezoelectric transformer of one-wavelength resonance mode in the length direction with a width of 10 mm and a thickness of 1 mm is constructed. The performance of this piezoelectric transformer is as follows when the resonance frequency is 81.5 kHz and the load resistance is 100 kΩ.
A step-up ratio 102 of an output voltage of 510 V was obtained at an input voltage of 5 V.

【0017】実施例2の圧電トランスの高湿度環境下で
の信頼性を評価するため、温度85℃−相対湿度90%
の環境下で連続駆動試験を実施した。比較のため、図3
に示した圧電トランスも同時に試験し、その結果を以下
の表2に示した。
In order to evaluate the reliability of the piezoelectric transformer of the second embodiment in a high humidity environment, a temperature of 85 ° C. and a relative humidity of 90%
A continuous drive test was performed under the following environment. For comparison, FIG.
Were also tested at the same time, and the results are shown in Table 2 below.

【0018】[0018]

【表2】 表2より明らかに、本発明構造の圧電トランスでは、温
度85℃−相対湿度90%の環境下で連続駆動試験10
00時間での不良発生はないが、比較例では100%不
良となっている。
[Table 2] It is clear from Table 2 that the piezoelectric transformer of the present invention has a continuous driving test 10
No failure occurred at 00 hours, but 100% failure in the comparative example.

【0019】[0019]

【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、セラミックス分極時に短絡、破壊することのな
い圧電トランス、さらに、低コストで、高湿度環境下で
使用してもマイグレーションの発生しない、高信頼性が
得られる構造の圧電トランスを提供することが可能であ
る。
As described above in detail, according to the present invention, the piezoelectric transformer which does not short-circuit or break down when the ceramics are polarized, and which can be used at low cost even when used in a high humidity environment. It is possible to provide a piezoelectric transformer having a structure that does not generate and can obtain high reliability.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例に係る圧電トランスの構造を
示した斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing a structure of a piezoelectric transformer according to one embodiment of the present invention.

【図2】本発明の他の実施例に係る圧電トランスの構造
を示した斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view showing a structure of a piezoelectric transformer according to another embodiment of the present invention.

【図3】従来の圧電トランスの構造を示した概略斜視図
である。
FIG. 3 is a schematic perspective view showing the structure of a conventional piezoelectric transformer.

【図4】(a)は、圧電セラミックス矩形板の断面図で
あり、(b)は圧電セラミックス矩形板が長さ方向1波
長共振モードで振動している場合の変位分布図であり、
(c)はその時の歪分布を示した図である。
4A is a sectional view of a piezoelectric ceramic rectangular plate, and FIG. 4B is a displacement distribution diagram when the piezoelectric ceramic rectangular plate vibrates in a longitudinal one-wavelength resonance mode;
(C) is a diagram showing the strain distribution at that time.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11,21 圧電セラミックス矩形板 12,22 内部電極層 13,14,23,24 外部電極 15,16 表面電極 11, 21 Piezoelectric ceramic rectangular plate 12, 22 Internal electrode layer 13, 14, 23, 24 External electrode 15, 16 Surface electrode

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 41/107 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) H01L 41/107

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 圧電セラミックスからなる矩形板の長さ
方向の共振モードを利用した圧電トランスにおいて、
隅の角を落とした形状を有し、セラミックス分極用電極
及びトランス入力用電極として設けられた前記矩形板の
厚さ方向に対面する複数対の対面電極層を有し、該対面
電極層が前記矩形板の長側面に向かって、かつ互いに異
なる方向に延びた凸部が設けられ、さらに一方の長側面
に向かって延びた凸部に接続される第1の共通配線層と
他方の長側面に向かって延びた凸部に接続される第2の
共通配線層を具備して構成されていることを特徴とする
圧電トランス。
1. A piezoelectric transformer utilizing the resonance mode in the length direction of the rectangular plate made of a piezoelectric ceramic, the four
It has a shape with corners dropped, and has a plurality of pairs of facing electrode layers facing in the thickness direction of the rectangular plate provided as a ceramic polarization electrode and a transformer input electrode, and the facing electrode layer is Protrusions extending toward the long side of the rectangular plate and extending in different directions are provided, and further, the first common wiring layer connected to the protrusion extending toward one long side and the other long side. A piezoelectric transformer comprising a second common wiring layer connected to a protruding portion extending toward the piezoelectric transformer.
【請求項2】 請求項1記載の圧電トランスにおいて、
前記複数対の対面電極層が前記矩形板の表面に露出しな
い状態でその内部に有していることを特徴とする圧電ト
ランス。
2. The piezoelectric transformer according to claim 1, wherein
A piezoelectric transformer, wherein the plurality of pairs of facing electrode layers are provided inside the rectangular plate without being exposed to the surface thereof.
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