JP3399596B2 - 拡散接合のための方法および装置 - Google Patents
拡散接合のための方法および装置Info
- Publication number
- JP3399596B2 JP3399596B2 JP25183693A JP25183693A JP3399596B2 JP 3399596 B2 JP3399596 B2 JP 3399596B2 JP 25183693 A JP25183693 A JP 25183693A JP 25183693 A JP25183693 A JP 25183693A JP 3399596 B2 JP3399596 B2 JP 3399596B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- envelope
- diffusion bonding
- stack
- sheets
- sheet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K20/00—Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating
- B23K20/22—Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating taking account of the properties of the materials to be welded
- B23K20/233—Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating taking account of the properties of the materials to be welded without ferrous layer
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K20/00—Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating
- B23K20/02—Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating by means of a press ; Diffusion bonding
- B23K20/023—Thermo-compression bonding
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Pressure Welding/Diffusion-Bonding (AREA)
Description
【０００１】
【発明の背景】この発明は、チタンアルミ合金材料から
の構造ユニットの製造に関し、より特定的にはチタンア
ルミ合金シートを選択的に接合し、さらに超塑性的に伸
張されて所望の形のサンドイッチ構造を形成することが
できる金属構造を形成するためのプロセスおよび装置に
関する。
の構造ユニットの製造に関し、より特定的にはチタンア
ルミ合金シートを選択的に接合し、さらに超塑性的に伸
張されて所望の形のサンドイッチ構造を形成することが
できる金属構造を形成するためのプロセスおよび装置に
関する。
【０００２】
【既知の先行技術に関する議論】チタンアルミ合金材料
は、冶金技術において、高温に対する強度ならびに酸化
およびクリープに対する耐性が優れている材料として周
知である。
は、冶金技術において、高温に対する強度ならびに酸化
およびクリープに対する耐性が優れている材料として周
知である。
【０００３】チタンアルミ合金は他のチタン合金と同様
に、比較的脆くかつ室温またはそれに近い温度で加工お
よび／または製造することが難しい金属である。様々な
産業用の構造の形成に広く使用されている製造技術は拡
散接合である。
に、比較的脆くかつ室温またはそれに近い温度で加工お
よび／または製造することが難しい金属である。様々な
産業用の構造の形成に広く使用されている製造技術は拡
散接合である。
【０００４】拡散接合とは、接合面で原子を混合（co-m
ingling ）させるようにある時間継続して熱および圧力
を加えることによる、類似したまたは異なる金属の表面
の冶金接合をいう。
ingling ）させるようにある時間継続して熱および圧力
を加えることによる、類似したまたは異なる金属の表面
の冶金接合をいう。
【０００５】圧力を加えることによって材料の塑性流動
が得られ、通常の中空領域は満たされる。もし圧力が低
すぎれば接合面に小さな中空領域が残り、接合強度は到
達できる最大値よりも小さくなるであろう。また圧力を
加えることによって、表面の酸化物および表面の凹凸が
壊され、接合のための表面を清潔にする。
が得られ、通常の中空領域は満たされる。もし圧力が低
すぎれば接合面に小さな中空領域が残り、接合強度は到
達できる最大値よりも小さくなるであろう。また圧力を
加えることによって、表面の酸化物および表面の凹凸が
壊され、接合のための表面を清潔にする。
【０００６】拡散接合に使用される高い温度は接合面で
の原子の拡散を促進するとともに金属を軟化して表面の
変形を促進し、これにより接合面での原子の結合および
動きに関してより密接な接触が得られる。
の原子の拡散を促進するとともに金属を軟化して表面の
変形を促進し、これにより接合面での原子の結合および
動きに関してより密接な接触が得られる。
【０００７】この技術を実行するにあたって、高い温度
での空気中の酸素、窒素および水蒸気の含有量に特に敏
感な材料を確実に清潔にするために、チタンアルミ合金
材料の拡散接合が制御された環境で行なわれなければな
らないことが認められてきた。チタンアルミ合金は、こ
の接合プロセスの間保護されなければ脆くなりかつその
完全性は破壊される。
での空気中の酸素、窒素および水蒸気の含有量に特に敏
感な材料を確実に清潔にするために、チタンアルミ合金
材料の拡散接合が制御された環境で行なわれなければな
らないことが認められてきた。チタンアルミ合金は、こ
の接合プロセスの間保護されなければ脆くなりかつその
完全性は破壊される。
【０００８】
【発明の概要】したがってこの発明の主な目的はチタン
アルミ合金材料および他の類似した反応性物質を拡散接
合するプロセスの助けとなるような改良された装置を提
供することである。
アルミ合金材料および他の類似した反応性物質を拡散接
合するプロセスの助けとなるような改良された装置を提
供することである。
【０００９】この発明の別の目的は、分離されかつ制御
された環境でチタンアルミ合金材料の拡散接合を容易に
しこれにより接合されるべき表面の汚染を最小限にする
ことができる、これらの材料のためのエンベロープを提
供することである。なお、表面の汚染には、酸化、窒
化、油脂、埃などが含まれる。
された環境でチタンアルミ合金材料の拡散接合を容易に
しこれにより接合されるべき表面の汚染を最小限にする
ことができる、これらの材料のためのエンベロープを提
供することである。なお、表面の汚染には、酸化、窒
化、油脂、埃などが含まれる。
【００１０】この発明のさらに別の目的は、ガス拡散接
合のプロセスを実行する前にエンベロープを効果的に排
気することができるようにするためのフレーム部材を保
護エンベロープ内に提供することであり、ここでエンベ
ロープはまたガス拡散接合を行なうために必要な拡散接
合チャンバのチャンバを規定する１つの構成要素として
機能する。
合のプロセスを実行する前にエンベロープを効果的に排
気することができるようにするためのフレーム部材を保
護エンベロープ内に提供することであり、ここでエンベ
ロープはまたガス拡散接合を行なうために必要な拡散接
合チャンバのチャンバを規定する１つの構成要素として
機能する。
【００１１】簡単に言うと、この発明は汚染のないプロ
セスを確実に行なうことができる環境でチタンアルミ合
金のブランクの加工物のスタックの予め選択された領域
を拡散接合するための金属エンベロープ、およびそのよ
うな装置を使用して汚染のない拡散接合を達成するため
の方法である。
セスを確実に行なうことができる環境でチタンアルミ合
金のブランクの加工物のスタックの予め選択された領域
を拡散接合するための金属エンベロープ、およびそのよ
うな装置を使用して汚染のない拡散接合を達成するため
の方法である。
【００１２】より特定的には、保護エンベロープは第１
の上方の金属シートおよび第２の下方の金属シートを含
み、それらのシートはともに好ましくはステンレススチ
ールである。ブランク加工物のスタックは第１のシート
と第２のシートとの間に配置され、かつ矩形の金属フレ
ームは２つのシートの間で規定される容積内でスタック
の周辺に隣接して配置される。シートがその周辺で封止
された後、その中の容積は適切な装置によって真空にさ
れる。矩形のフレームのスロットは、２つのシートの間
で規定されかつフレーム内に配置される容積の排気を容
易にする。フレーム自体は、汚染のない真空の環境を作
り出す間、加工物のスタックの縁部が押し潰されるのを
防ぐ。
の上方の金属シートおよび第２の下方の金属シートを含
み、それらのシートはともに好ましくはステンレススチ
ールである。ブランク加工物のスタックは第１のシート
と第２のシートとの間に配置され、かつ矩形の金属フレ
ームは２つのシートの間で規定される容積内でスタック
の周辺に隣接して配置される。シートがその周辺で封止
された後、その中の容積は適切な装置によって真空にさ
れる。矩形のフレームのスロットは、２つのシートの間
で規定されかつフレーム内に配置される容積の排気を容
易にする。フレーム自体は、汚染のない真空の環境を作
り出す間、加工物のスタックの縁部が押し潰されるのを
防ぐ。
【００１３】保護エンベロープの第２の金属シートの頂
部で第１のフレームの周辺の外側の位置に固定される第
２の矩形のフレームを加えることによって、保護エンベ
ロープとともに効果的にガス拡散接合工具を形成する構
造が得られる。この工具は、それと密閉して係合される
第２の工具とともに、工具の温度を上げるサイクルの後
に高圧ガスが向けられるチャンバを形成して拡散接合プ
ロセスを行なうことによって、加工物のスタックガス拡
散接合を容易にする。
部で第１のフレームの周辺の外側の位置に固定される第
２の矩形のフレームを加えることによって、保護エンベ
ロープとともに効果的にガス拡散接合工具を形成する構
造が得られる。この工具は、それと密閉して係合される
第２の工具とともに、工具の温度を上げるサイクルの後
に高圧ガスが向けられるチャンバを形成して拡散接合プ
ロセスを行なうことによって、加工物のスタックガス拡
散接合を容易にする。
【００１４】この発明の他の目的および利点は以下の好
ましい実施例を考慮しかつ添付の図面を参照すれば明ら
かになるであろう。
ましい実施例を考慮しかつ添付の図面を参照すれば明ら
かになるであろう。
【００１５】この発明は好ましい手順とともに説明され
るが、以下の好ましい実施例の詳細な説明はこの発明を
それらの手順に制限するものではないことが理解される
はずである。反対に、この発明はこの発明の意図および
範囲内に含まれ得るすべての変更、修正およびそれに相
当するものを含むものとする。
るが、以下の好ましい実施例の詳細な説明はこの発明を
それらの手順に制限するものではないことが理解される
はずである。反対に、この発明はこの発明の意図および
範囲内に含まれ得るすべての変更、修正およびそれに相
当するものを含むものとする。
【００１６】
【好ましい実施例の詳細な説明】周知のように、拡散接
合は別々の要素を接合して単一の塊を形成することがで
きるプロセスである。使用する接合材およびパラメータ
の質は、それぞれどの材料を使用するかによって必然的
に変わる。
合は別々の要素を接合して単一の塊を形成することがで
きるプロセスである。使用する接合材およびパラメータ
の質は、それぞれどの材料を使用するかによって必然的
に変わる。
【００１７】この発明は特に、その表面が拡散接合およ
び超塑性プレフォームに必要な高い温度、すなわち使用
する特定の合金に応じて９２７℃（１７００°Ｆ）ない
し約１０３８℃（１９００°Ｆ）の温度で汚染されるで
あろう反応性金属に関する。
び超塑性プレフォームに必要な高い温度、すなわち使用
する特定の合金に応じて９２７℃（１７００°Ｆ）ない
し約１０３８℃（１９００°Ｆ）の温度で汚染されるで
あろう反応性金属に関する。
【００１８】図１を参照すると、この発明に従った、サ
ンドイッチ構造に形成されるべき３つの金属シートから
なるアセンブリの分解図が示されている。このアセンブ
リは金属ブランク１０、１２および１４からなり、好ま
しくはこれらはすべてそれぞれ対向する主要な上面およ
び下面１５および１６、１７および１８、ならびに１９
および２０を有するシートの形状である（図４も参
照）。使用するシートの数は負荷条件および設計の要求
に応じて変化する。しかしながら、最低２つのシートを
使用しなければならない。望ましくは、シートの少なく
とも１つは超塑性の特性を備える。加工可能な温度範囲
内で適切な超塑性の特性を示せばいかなる金属もそのよ
うなシートに使用することができる。しかしながら、非
常に重要であるのは、拡散接合に必要な温度範囲内で超
塑性の特性を示し、かつ成形する際の温度で汚染されや
すい金属材料である。典型的にこれらの特徴を示す材料
はチタンアルミ合金である。チタンアルミ合金の成形す
る際の温度が約５３８℃（１０ ００°Ｆ）であることに
注目することが重要である。金属ブランク１０、１２お
よび１４の最初の厚さは、成形されるべき部分の寸法の
関数として決定される。
ンドイッチ構造に形成されるべき３つの金属シートから
なるアセンブリの分解図が示されている。このアセンブ
リは金属ブランク１０、１２および１４からなり、好ま
しくはこれらはすべてそれぞれ対向する主要な上面およ
び下面１５および１６、１７および１８、ならびに１９
および２０を有するシートの形状である（図４も参
照）。使用するシートの数は負荷条件および設計の要求
に応じて変化する。しかしながら、最低２つのシートを
使用しなければならない。望ましくは、シートの少なく
とも１つは超塑性の特性を備える。加工可能な温度範囲
内で適切な超塑性の特性を示せばいかなる金属もそのよ
うなシートに使用することができる。しかしながら、非
常に重要であるのは、拡散接合に必要な温度範囲内で超
塑性の特性を示し、かつ成形する際の温度で汚染されや
すい金属材料である。典型的にこれらの特徴を示す材料
はチタンアルミ合金である。チタンアルミ合金の成形す
る際の温度が約５３８℃（１０ ００°Ｆ）であることに
注目することが重要である。金属ブランク１０、１２お
よび１４の最初の厚さは、成形されるべき部分の寸法の
関数として決定される。
【００１９】金属シートの選択された領域だけを接合す
るための好ましいステップは、シートとシートとの付着
または接合が望まれない、シートのスタック内のそれら
の領域に適切な遮断材料を与えるステップである。した
がって図１に示すように、領域３０、３２および３４は
遮断材料で覆われそれらの領域での接合は防がれる。表
面１５、１８および２０上の他の領域もまた接合しない
ように覆われてもよい。代替的には、金属シート構造
は、接合が望まれる領域でスポット溶接またはろう付け
されてもよい。さらに、以下に説明するように、金属シ
ート構造またはスタック４０は選択的に圧力を加えるこ
とによって選択された領域で拡散接合され得る。
るための好ましいステップは、シートとシートとの付着
または接合が望まれない、シートのスタック内のそれら
の領域に適切な遮断材料を与えるステップである。した
がって図１に示すように、領域３０、３２および３４は
遮断材料で覆われそれらの領域での接合は防がれる。表
面１５、１８および２０上の他の領域もまた接合しない
ように覆われてもよい。代替的には、金属シート構造
は、接合が望まれる領域でスポット溶接またはろう付け
されてもよい。さらに、以下に説明するように、金属シ
ート構造またはスタック４０は選択的に圧力を加えるこ
とによって選択された領域で拡散接合され得る。
【００２０】さらに、スタック４０の選択された領域を
それらの位置で拡散接合をしないようにするために遮断
材料で処理する場合、９２および９４として示されるよ
うな付加的な領域もまた接合しないように処理しなけれ
ばならない。一旦エンベロープがスタックの拡散接合の
プロセスを促進するために使用されそのプロセスが完了
すると、特に超塑性成形（ＳＰＦ）のプロセスにおいて
は、エンベロープを除去してからスタックはさらに処理
されるであろう。このＳＰＦプロセスを実行するため
に、ガスインフレーションチューブをスタックの典型的
には予め定められた位置に挿入しなければならない。付
加的な領域９２および９４に与えられる遮断材料は、チ
ューブが挿入されるスタックのシートの接合を防ぐ。こ
れにより、ＳＰＦプロセスに使用する膨張ガスはこのよ
うに予め定められた拡散接合されていない領域を通って
スタックの内部に確実に到達する。
それらの位置で拡散接合をしないようにするために遮断
材料で処理する場合、９２および９４として示されるよ
うな付加的な領域もまた接合しないように処理しなけれ
ばならない。一旦エンベロープがスタックの拡散接合の
プロセスを促進するために使用されそのプロセスが完了
すると、特に超塑性成形（ＳＰＦ）のプロセスにおいて
は、エンベロープを除去してからスタックはさらに処理
されるであろう。このＳＰＦプロセスを実行するため
に、ガスインフレーションチューブをスタックの典型的
には予め定められた位置に挿入しなければならない。付
加的な領域９２および９４に与えられる遮断材料は、チ
ューブが挿入されるスタックのシートの接合を防ぐ。こ
れにより、ＳＰＦプロセスに使用する膨張ガスはこのよ
うに予め定められた拡散接合されていない領域を通って
スタックの内部に確実に到達する。
【００２１】図２は、この発明のエンベロープ１００
を、エンベロープの構成要素を示すために一部分破断し
た斜視図で示している。特定的には、エンベロープ１０
０は第１のシート１０２および第２の底部シート１０４
を含み、第１および第２のシートはその間の容積を規定
する。好ましくは、２つのシートはたとえばステンレス
スチールのような容易に成形可能な熱伝導性材料から成
形される。上述のように、複数の上に重ねた金属シート
からなる金属シートアセンブリまたはスタック４０は、
底部シート１０４の上側に配置される。その外形が実質
的に矩形である第１のフレーム１１０は、エンベロープ
の頂部シートと底部シートとの間で規定されかつ底部シ
ートの上にありかつスタックの周辺にある容積内に配置
される。第１のフレームの高さは好ましくはスタックの
高さよりも高く、そのためエンベロープの頂部シートが
底部シートの上に固定されると、頂部シートと底部シー
トとの間で規定される容積はスタックを包みこむ。
を、エンベロープの構成要素を示すために一部分破断し
た斜視図で示している。特定的には、エンベロープ１０
０は第１のシート１０２および第２の底部シート１０４
を含み、第１および第２のシートはその間の容積を規定
する。好ましくは、２つのシートはたとえばステンレス
スチールのような容易に成形可能な熱伝導性材料から成
形される。上述のように、複数の上に重ねた金属シート
からなる金属シートアセンブリまたはスタック４０は、
底部シート１０４の上側に配置される。その外形が実質
的に矩形である第１のフレーム１１０は、エンベロープ
の頂部シートと底部シートとの間で規定されかつ底部シ
ートの上にありかつスタックの周辺にある容積内に配置
される。第１のフレームの高さは好ましくはスタックの
高さよりも高く、そのためエンベロープの頂部シートが
底部シートの上に固定されると、頂部シートと底部シー
トとの間で規定される容積はスタックを包みこむ。
【００２２】好ましくは、エンベロープを構成する際
に、まずスタック４０を底部シート１０４の実質的に中
央に配置する。その後フレーム１１０をスタックのまわ
りに配置し、これを底部シートにタック溶接してもよ
い。頂部シートは底部シートの上のスタックおよび第１
のフレームの上に配置され、その後頂部シートの周辺は
たとえば頂部および底部シートの周辺に沿って溶接する
ことによって底部シートの周辺に固定され（一般に図２
および図３の溶接部１３０参照）、その結果頂部シート
と底部シートとの間で形成されかつ第１のフレームの周
辺の中にある「容積」は効果的に封止される。
に、まずスタック４０を底部シート１０４の実質的に中
央に配置する。その後フレーム１１０をスタックのまわ
りに配置し、これを底部シートにタック溶接してもよ
い。頂部シートは底部シートの上のスタックおよび第１
のフレームの上に配置され、その後頂部シートの周辺は
たとえば頂部および底部シートの周辺に沿って溶接する
ことによって底部シートの周辺に固定され（一般に図２
および図３の溶接部１３０参照）、その結果頂部シート
と底部シートとの間で形成されかつ第１のフレームの周
辺の中にある「容積」は効果的に封止される。
【００２３】第１のフレーム１１０のスロット１１２
（図３参照）は、エンベロープの頂部シート１０２と底
部シート１０４との間で規定される容積を真空にするの
を容易にするために設けられる。スロットは第１のフレ
ームの周辺全体に互いに予め定められ選択された間隔を
あけて設けられ、かつ第１のフレームの内側（スタック
４０に隣接する側）から対向する外側に延在する。さら
にスロットは第１のフレームの高さに対して直角に配置
される。浅い溝（好ましくは幅．０６０インチで深さ．
０２０インチのオーダ）１０６は、底部シート１０４で
第１のフレーム１１０の両側に形成される。溝は、第１
のフレームの外側に隣接して配置される内側の端部から
第１のフレームと底部シートの外側の周辺との間の距離
の約３分の２の位置に配置される外側の端部に延びる。
第１のフレームの対向する側の各々で、浅い溝の外側の
端部と底部シートの外側の周辺を越える外界とを通じる
ようにするための短い導管１５０および１５２が底部シ
ート上に配置される。これにより、頂部および底部シー
トが互いに封止されエンベロープを形成する場合、頂部
シート１０２と底部シート１０４との間で規定されかつ
第１のフレーム内にある「容積」の空気はエンベロープ
の外側に配置される適切な装置によって真空にすること
ができる。この方法で、実際に拡散接合のステップを実
行する前の最初の加熱段階のプロセスの間、エンベロー
プ内で汚染および酸素のない環境を維持することができ
る。
（図３参照）は、エンベロープの頂部シート１０２と底
部シート１０４との間で規定される容積を真空にするの
を容易にするために設けられる。スロットは第１のフレ
ームの周辺全体に互いに予め定められ選択された間隔を
あけて設けられ、かつ第１のフレームの内側（スタック
４０に隣接する側）から対向する外側に延在する。さら
にスロットは第１のフレームの高さに対して直角に配置
される。浅い溝（好ましくは幅．０６０インチで深さ．
０２０インチのオーダ）１０６は、底部シート１０４で
第１のフレーム１１０の両側に形成される。溝は、第１
のフレームの外側に隣接して配置される内側の端部から
第１のフレームと底部シートの外側の周辺との間の距離
の約３分の２の位置に配置される外側の端部に延びる。
第１のフレームの対向する側の各々で、浅い溝の外側の
端部と底部シートの外側の周辺を越える外界とを通じる
ようにするための短い導管１５０および１５２が底部シ
ート上に配置される。これにより、頂部および底部シー
トが互いに封止されエンベロープを形成する場合、頂部
シート１０２と底部シート１０４との間で規定されかつ
第１のフレーム内にある「容積」の空気はエンベロープ
の外側に配置される適切な装置によって真空にすること
ができる。この方法で、実際に拡散接合のステップを実
行する前の最初の加熱段階のプロセスの間、エンベロー
プ内で汚染および酸素のない環境を維持することができ
る。
【００２４】図３に示されているように好ましくは外形
が矩形である、薄いシート材料１０８および１０８は好
ましくは底部シートに形成される溝１０６にそれぞれ隣
接して配置される。これらのシートの厚さは、エンベロ
ープの縁部の封止を妨げないがしかし排気および加熱段
階のプロセスの間エンベロープの第１のフレーム内の
「容積」と外界とを通じるようにする通路または溝１０
６を塞ぐ、エンベロープの頂部および底部シートから保
護する大きさである。
が矩形である、薄いシート材料１０８および１０８は好
ましくは底部シートに形成される溝１０６にそれぞれ隣
接して配置される。これらのシートの厚さは、エンベロ
ープの縁部の封止を妨げないがしかし排気および加熱段
階のプロセスの間エンベロープの第１のフレーム内の
「容積」と外界とを通じるようにする通路または溝１０
６を塞ぐ、エンベロープの頂部および底部シートから保
護する大きさである。
【００２５】エンベロープ内の「容積」の排気は、導管
部材１５０または１５２の一方を密閉しかつ導管部材の
他方を真空ポンプに接続して、さらにポンプを駆動して
エンベロープの内部に負圧（吸引）を与えてそれにより
「容積」を真空にすることによって達成され得る。ポン
プは、ポンプに関連する圧力計Ｐ１が予め定められた真
空レベルに達したことを示すまで動作する。第２の圧力
計Ｐ２はエンベロープ全体が真空状態になったことを保
証するために使用され得る。これは、圧力計をエンベロ
ープの内部に接続しかつ圧力計をエンベロープ全体が真
空であることを証明するために使用することによって達
成される。
部材１５０または１５２の一方を密閉しかつ導管部材の
他方を真空ポンプに接続して、さらにポンプを駆動して
エンベロープの内部に負圧（吸引）を与えてそれにより
「容積」を真空にすることによって達成され得る。ポン
プは、ポンプに関連する圧力計Ｐ１が予め定められた真
空レベルに達したことを示すまで動作する。第２の圧力
計Ｐ２はエンベロープ全体が真空状態になったことを保
証するために使用され得る。これは、圧力計をエンベロ
ープの内部に接続しかつ圧力計をエンベロープ全体が真
空であることを証明するために使用することによって達
成される。
【００２６】エンベロープを真空にするこのプロセスの
間、シート１０８および１０８は溝１０６がふさがれな
いようにする役目を果たす。さらに支持および／または
保護するために、シート１０８および１０８と外形およ
び厚さが類似したシート１０９および１０９をシート１
０８および１０８の外側で溝の両側に設けてもよい。
間、シート１０８および１０８は溝１０６がふさがれな
いようにする役目を果たす。さらに支持および／または
保護するために、シート１０８および１０８と外形およ
び厚さが類似したシート１０９および１０９をシート１
０８および１０８の外側で溝の両側に設けてもよい。
【００２７】エンベロープ１００はまた、外形が実質的
に矩形でありかつその周囲の外形が第１のフレーム１１
０に一致しかつその大きさが第１のフレーム１１０を含
む第２のフレーム１２０を含む。第２のフレームは、第
１のフレームを底部シートに固定するために使用される
方法と同様の付着方法でエンベロープの頂部シート１０
２の上に固定される。第２のフレームの目的は、開示さ
れた金属シートのスタック４０の拡散接合を達成するた
めに企図された装置とともに以下に説明される。図４に
示されるように、フレーム１２０の頂部表面は、頂部シ
ート１０２の頂部表面に関して、頂部シート１０２の最
も上の表面の上に延在するほど十分に高い高さに配置さ
れる。
に矩形でありかつその周囲の外形が第１のフレーム１１
０に一致しかつその大きさが第１のフレーム１１０を含
む第２のフレーム１２０を含む。第２のフレームは、第
１のフレームを底部シートに固定するために使用される
方法と同様の付着方法でエンベロープの頂部シート１０
２の上に固定される。第２のフレームの目的は、開示さ
れた金属シートのスタック４０の拡散接合を達成するた
めに企図された装置とともに以下に説明される。図４に
示されるように、フレーム１２０の頂部表面は、頂部シ
ート１０２の頂部表面に関して、頂部シート１０２の最
も上の表面の上に延在するほど十分に高い高さに配置さ
れる。
【００２８】次に図４を参照すると、この発明によって
企図された態様で高温ガス拡散接合を行なうために使用
することができる装置が示されている。より特定的に
は、装置は上方のプレス部材２１０および下方のプレス
部材２２０を含む。プラテン部材２１２は上方のプレス
部材の露出面に装着され、上方の工具２１４は上方のプ
ラテン部材の露出面に装着される。同様に、下方のプラ
テン部材２２２は下方のプレス部材２２０の露出面に装
着され、下方の工具２２４は下方のプラテン部材の露出
面に装着される。上方および下方のプラテンはセラミッ
ク材料から製造される。好ましくは、上方および下方の
工具は優れた熱伝達の特徴を有する金属から作られる。
水平に延在するガス供給通路２３０は第２の垂直に延在
するガス供給通路２３２に接続され、これは上方の工具
の中央の位置から上方の工具の露出面の中央の位置に延
在する。圧力ライン２３５は、以下により詳細に説明す
る目的のために、ガス供給通路２３０を高圧力の接合ガ
スソース（図示せず）およびガス供給通路２３０へのガ
スの流れを起こしかつ止めるための適切なバルブ手段に
接続する。
企図された態様で高温ガス拡散接合を行なうために使用
することができる装置が示されている。より特定的に
は、装置は上方のプレス部材２１０および下方のプレス
部材２２０を含む。プラテン部材２１２は上方のプレス
部材の露出面に装着され、上方の工具２１４は上方のプ
ラテン部材の露出面に装着される。同様に、下方のプラ
テン部材２２２は下方のプレス部材２２０の露出面に装
着され、下方の工具２２４は下方のプラテン部材の露出
面に装着される。上方および下方のプラテンはセラミッ
ク材料から製造される。好ましくは、上方および下方の
工具は優れた熱伝達の特徴を有する金属から作られる。
水平に延在するガス供給通路２３０は第２の垂直に延在
するガス供給通路２３２に接続され、これは上方の工具
の中央の位置から上方の工具の露出面の中央の位置に延
在する。圧力ライン２３５は、以下により詳細に説明す
る目的のために、ガス供給通路２３０を高圧力の接合ガ
スソース（図示せず）およびガス供給通路２３０へのガ
スの流れを起こしかつ止めるための適切なバルブ手段に
接続する。
【００２９】エンベロープアセンブリ１００がプレスア
センブリの下方の工具上の適切な位置に配置されると、
上方および下方の工具は相対的に移動しそのため２つの
工具の間の間隔は減少する。上方の工具が下方の工具に
向かって下に移動すると、上方の工具の露出面は第２の
フレーム１２０の頂部表面と係合する。上方の工具は十
分な下方向の圧力で動かされフレーム１２０の頂部表面
と係合し、エンベロープの頂部シート１０２の上面とフ
レーム１２０の内側と上方の工具の露出した下面との間
の封止された容積「Ｖ」を作り出す。これらの操作を通
して、外部に接続されるポンプを介してエンベロープ内
で真空が維持される。
センブリの下方の工具上の適切な位置に配置されると、
上方および下方の工具は相対的に移動しそのため２つの
工具の間の間隔は減少する。上方の工具が下方の工具に
向かって下に移動すると、上方の工具の露出面は第２の
フレーム１２０の頂部表面と係合する。上方の工具は十
分な下方向の圧力で動かされフレーム１２０の頂部表面
と係合し、エンベロープの頂部シート１０２の上面とフ
レーム１２０の内側と上方の工具の露出した下面との間
の封止された容積「Ｖ」を作り出す。これらの操作を通
して、外部に接続されるポンプを介してエンベロープ内
で真空が維持される。
【００３０】この時点で、エンベロープ１００に加熱さ
れた環境が作り出されかつエンベロープはプレスアセン
ブリに固定され続ける。エンベロープが約９２７℃（１
７００°Ｆ）ないし１０３８℃（１９００°Ｆ）の範囲
内の温度に加熱されると、ガスはライン２３５を介して
容積「Ｖ」に送られ容積「Ｖ」内に非常に大きな圧力を
作り出す。この圧力によってエンベロープの頂部シート
はエンベロープの底部シートに向かって下方向に駆動さ
れる。この態様で、スタック４０の金属シートの互いに
面する表面は拡散接合を行なうのに十分な大きさの力で
押付けられる。
れた環境が作り出されかつエンベロープはプレスアセン
ブリに固定され続ける。エンベロープが約９２７℃（１
７００°Ｆ）ないし１０３８℃（１９００°Ｆ）の範囲
内の温度に加熱されると、ガスはライン２３５を介して
容積「Ｖ」に送られ容積「Ｖ」内に非常に大きな圧力を
作り出す。この圧力によってエンベロープの頂部シート
はエンベロープの底部シートに向かって下方向に駆動さ
れる。この態様で、スタック４０の金属シートの互いに
面する表面は拡散接合を行なうのに十分な大きさの力で
押付けられる。
【００３１】プロセスのこの局面の間、フレーム１２０
は、エンベロープの頂部シートが容積「Ｖ」に送られて
いるガスによってスタックに対して下方向に駆動される
ときスタック４０の金属シートの縁部がエンベロープの
頂部シートによって押し潰されないようにする。
は、エンベロープの頂部シートが容積「Ｖ」に送られて
いるガスによってスタックに対して下方向に駆動される
ときスタック４０の金属シートの縁部がエンベロープの
頂部シートによって押し潰されないようにする。
【００３２】この高圧力および高熱の環境を（拡散接合
を達成するための十分な継続時間の）予め定められた時
間維持した後、ガスの圧力は解放され、かつプレスアセ
ンブリのまわりの環境の温度は下げられ、かつプレスア
センブリは開放されかつエンベロープはエンベロープを
実際に除去することができる温度に冷される。
を達成するための十分な継続時間の）予め定められた時
間維持した後、ガスの圧力は解放され、かつプレスアセ
ンブリのまわりの環境の温度は下げられ、かつプレスア
センブリは開放されかつエンベロープはエンベロープを
実際に除去することができる温度に冷される。
【００３３】このようにこの発明に従って、上述の目
的、目標および利点を十分に満たすシートのような加工
物のスタックを拡散接合する方法を実行するためのエン
ベロープが提供されたことは明らかである。この発明は
特定の実施例に関して説明されたが、上述の説明を考慮
すれば種々の変更、修正および変形が当業者に明らかで
あるはずである。したがって、この発明は前掲の特許請
求の範囲の意図および範囲内のそのような変更、修正お
よび変形をすべて含むものとする。
的、目標および利点を十分に満たすシートのような加工
物のスタックを拡散接合する方法を実行するためのエン
ベロープが提供されたことは明らかである。この発明は
特定の実施例に関して説明されたが、上述の説明を考慮
すれば種々の変更、修正および変形が当業者に明らかで
あるはずである。したがって、この発明は前掲の特許請
求の範囲の意図および範囲内のそのような変更、修正お
よび変形をすべて含むものとする。
【図１】保護エンベロープに挿入する前の、選択的に拡
散接合するために処理される３つの金属シートからなる
アセンブリの分解図である。
散接合するために処理される３つの金属シートからなる
アセンブリの分解図である。
【図２】拡散接合を行なう前の、金属シートのパックに
関するエンベロープの製造方法を示す、エンベロープの
一部破断斜視図である。
関するエンベロープの製造方法を示す、エンベロープの
一部破断斜視図である。
【図３】エンベロープの上に固定されるフレーム部材を
含みガス拡散接合を行なう際に有用な工具を形成する、
図２に示されるエンベロープの内部の様々な構成要素を
示す、一部破断上面図である。
含みガス拡散接合を行なう際に有用な工具を形成する、
図２に示されるエンベロープの内部の様々な構成要素を
示す、一部破断上面図である。
【図４】高い温度に加熱しかつ拡散接合を行なうステッ
プの前に、密閉されたエンベロープが上方および下方の
プレスアセンブリ工具の間に配置される、この発明によ
って企図されるような拡散接合を行なうのに使用される
工具のアセンブリの側面図である。
プの前に、密閉されたエンベロープが上方および下方の
プレスアセンブリ工具の間に配置される、この発明によ
って企図されるような拡散接合を行なうのに使用される
工具のアセンブリの側面図である。
４０ スタック
１０２ 第１のシート
１０４ 第２のシート
１０６ 溝
１０８ シート
１１０ 第１のフレーム
１１２ スロット
１２０ 第２のフレーム
１３０ 溶接部
１５０ 導管
１５２ 導管
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 セブ・アール・サーキシアン
アメリカ合衆国、90503 カリフォルニ
ア州、トーランス、レッドビーム・アベ
ニュ、19514
(56)参考文献 米国特許4691857（ＵＳ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B23K 20/00 - 20/18
Claims (3)
- 【請求項１】 スタックの状態に構成されたチタンアル
ミ合金材料のシートの予め選択された領域の拡散接合を
防ぐと同時にシートのスタックの残りの領域を拡散接合
するための方法であって、前記方法は、 上方および下方の金属シートの間にチタンアルミ合金材
料の前記スタックを配置して前記スタックを含むエンベ
ロープを規定するステップと、 前記エンベロープ内でシートの前記スタックの外側に保
護的なフレーム部材を配置するステップとを含み、前記
フレーム部材の高さは前記スタックの高さよりも高く、
さらに、 前記フレーム部材の外側で前記エンベロープの前記上方
および下方のシートを互いに密閉するステップと、 前記エンベロープ内に汚染のない環境を与えるステップ
と、 拡散接合を行なうステップとを含み、封止された金属のエンベロープ内に前記スタックを配置
する前記ステップは、前記エンベロープの内部と外界と
を通じさせるための手段を設けるステップを含み、 前記エンベロープ内に汚染のない環境を与える前記ステ
ップは、真空にする装置を前記通じさせるための手段に
接続して前記エンベロープ内を真空にするステップを含
む 、方法。 - 【請求項２】 ガス圧力拡散接合プロセスの間反応性金
属の加工物に対して汚染のない環境を与えるための装置
であって、前記装置は、 周辺の縁部の領域が互いに面する頂部および底部シート
と、前記底部シートに関連し前記周辺の縁部の領域の内
部に配置されるエンベロープ部分を外界と通じるように
させるためのチャネル手段とを含む金属エンベロープ
と、 前記頂部シートと底部シートとの間に配置されかつ前記
加工物を囲むフレーム手段と、 前記チャネル手段に通じ前記ガス圧力拡散接合プロセス
の前およびその間前記 周辺の縁部の領域の内部に配置さ
れる前記エンベロープ部分を真空にするための手段を含
み、 前記頂部および底部シートならびに前記フレーム手段は
加工物が収納される内部の容積を規定し、 前記フレーム手段の高さは前記加工物よりも高く、その
ため前記加工物の縁の部分はガス圧力拡散接合プロセス
の間押し潰されないようにされる、装置。 - 【請求項３】 前記エンベロープの前記頂部シートの上
に配置される第２のフレーム部材をさらに含み、前記第
２のフレーム部材の周辺は前記フレーム手段を含み、か
つその高さは前記エンベロープの頂部シートの最も高い
部分の高さよりも高く、そのため前記ガス圧力拡散接合
プロセスが実行されるとき、前記頂部シートはプレス装
置と接触せず、 そのため、前記ガス圧力拡散接合プロセスを実行する際
に、前記第２のフレーム部材はプレス装置と協働して、
その中でガス圧力拡散接合の大きさの圧力が発生される
ガス圧力拡散接合チャンバを作り出す、請求項２に記載
の装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/724,250 US5253796A (en) | 1991-07-01 | 1991-07-01 | Retort for gas diffusion bonding of metals under vacuum |
| EP93115010A EP0645210B1 (en) | 1991-07-01 | 1993-09-17 | Retort for gas diffusion bonding of metals under vacuum |
| JP25183693A JP3399596B2 (ja) | 1991-07-01 | 1993-10-07 | 拡散接合のための方法および装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/724,250 US5253796A (en) | 1991-07-01 | 1991-07-01 | Retort for gas diffusion bonding of metals under vacuum |
| EP93115010A EP0645210B1 (en) | 1991-07-01 | 1993-09-17 | Retort for gas diffusion bonding of metals under vacuum |
| JP25183693A JP3399596B2 (ja) | 1991-07-01 | 1993-10-07 | 拡散接合のための方法および装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07112283A JPH07112283A (ja) | 1995-05-02 |
| JP3399596B2 true JP3399596B2 (ja) | 2003-04-21 |
Family
ID=27235210
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25183693A Expired - Lifetime JP3399596B2 (ja) | 1991-07-01 | 1993-10-07 | 拡散接合のための方法および装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5253796A (ja) |
| EP (1) | EP0645210B1 (ja) |
| JP (1) | JP3399596B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20170090991A (ko) * | 2016-01-29 | 2017-08-08 | 더 보잉 컴파니 | 금속 시트를 확산 본딩 및 성형하기 위한 방법 및 처리 흐름 |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6085965A (en) * | 1997-02-04 | 2000-07-11 | Mcdonnel & Douglas Corporation | Pressure bonding and densification process for manufacturing low density core metal parts |
| GB2360236B (en) * | 2000-03-18 | 2003-05-14 | Rolls Royce Plc | A method of manufacturing an article by diffusion bonding and superplastic forming |
| EP1322444A4 (en) * | 2000-09-11 | 2008-01-23 | Tosoh Smd Inc | METHOD FOR MANUFACTURING CATHODIC SPUTTER TARGETS WITH INTERNAL COOLING CHANNELS |
| US6857558B2 (en) * | 2002-02-27 | 2005-02-22 | Ferry, Iii Robert Thomas | Metal lamination method and structure |
| KR20050090409A (ko) * | 2002-12-20 | 2005-09-13 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 미세-가공되고 일체화된 유체 전달 시스템 |
| US6736370B1 (en) * | 2002-12-20 | 2004-05-18 | Applied Materials, Inc. | Diaphragm valve with dynamic metal seat and coned disk springs |
| US8225481B2 (en) * | 2003-05-19 | 2012-07-24 | Pratt & Whitney Rocketdyne, Inc. | Diffusion bonded composite material and method therefor |
| KR101211576B1 (ko) * | 2004-11-04 | 2012-12-12 | 마이크로칩스 인코포레이티드 | 압축 및 냉간 용접 밀봉 방법 및 장치 |
| KR100681534B1 (ko) * | 2005-07-25 | 2007-02-09 | 한국항공우주연구원 | 다중 금속판재의 확산접합용 치구와 이를 이용한 구조물제조방법 및 이에 의하여 제조된 구조물 |
| KR100820127B1 (ko) * | 2007-03-08 | 2008-04-08 | 현대자동차주식회사 | 확산접합법을 이용한 연료전지용 금속분리판 접합장치 |
| US7798388B2 (en) * | 2007-05-31 | 2010-09-21 | Applied Materials, Inc. | Method of diffusion bonding a fluid flow apparatus |
| US20080296354A1 (en) * | 2007-05-31 | 2008-12-04 | Mark Crockett | Stainless steel or stainless steel alloy for diffusion bonding |
| KR100924077B1 (ko) * | 2007-12-26 | 2009-11-02 | 한국항공우주연구원 | 불활성 가스를 이용한 이종재료의 확산접합용 장치 |
| DE102011102087A1 (de) * | 2011-05-19 | 2012-11-22 | Formtech Gmbh | Verfahren zur Bearbeitung eines Flächenelements |
| CN112846643B (zh) * | 2020-12-08 | 2022-06-21 | 北京星航机电装备有限公司 | 一种钛合金薄壁中空结构成形方法及成形装置 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3015885A (en) * | 1958-03-07 | 1962-01-09 | Lukens Steel Co | Cladding of steel plates with titanium |
| US3186083A (en) * | 1961-05-15 | 1965-06-01 | Lukens Steel Co | Method and parting compound for producing titanium clad stainless steel |
| US3345735A (en) * | 1963-02-25 | 1967-10-10 | Augustus H Nicholls | Honeycomb core construction through the application of heat and pressure |
| US4087037A (en) * | 1976-07-09 | 1978-05-02 | Mcdonnell Douglas Corporation | Method of and tools for producing superplastically formed and diffusion bonded structures |
| US4526312A (en) * | 1979-12-10 | 1985-07-02 | Rockwell International Corporation | Low cost method of making superplastically formed and diffusion bonded structures |
| US4603808A (en) * | 1984-07-16 | 1986-08-05 | Rockwell International Corporation | Super plastic forming method with heat treated seals |
| US4691857A (en) * | 1985-11-07 | 1987-09-08 | Trw Inc. | Method of shaping a workpiece |
| US4916027A (en) * | 1988-01-21 | 1990-04-10 | Rockwell International Corporation | Primary structure multi-layer insulation |
| GB8917613D0 (en) * | 1989-08-01 | 1989-09-13 | British Aerospace | Stopping-off process |
-
1991
- 1991-07-01 US US07/724,250 patent/US5253796A/en not_active Expired - Lifetime
-
1993
- 1993-09-17 EP EP93115010A patent/EP0645210B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1993-10-07 JP JP25183693A patent/JP3399596B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20170090991A (ko) * | 2016-01-29 | 2017-08-08 | 더 보잉 컴파니 | 금속 시트를 확산 본딩 및 성형하기 위한 방법 및 처리 흐름 |
| KR102660618B1 (ko) | 2016-01-29 | 2024-04-25 | 더 보잉 컴파니 | 금속 시트를 확산 본딩 및 성형하기 위한 방법 및 처리 흐름 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0645210A1 (en) | 1995-03-29 |
| US5253796A (en) | 1993-10-19 |
| EP0645210B1 (en) | 1997-07-02 |
| JPH07112283A (ja) | 1995-05-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3399596B2 (ja) | 拡散接合のための方法および装置 | |
| US3927817A (en) | Method for making metallic sandwich structures | |
| US5118026A (en) | Method for making titanium aluminide metallic sandwich structures | |
| US4117970A (en) | Method for fabrication of honeycomb structures | |
| US4331284A (en) | Method of making diffusion bonded and superplastically formed structures | |
| US3920175A (en) | Method for superplastic forming of metals with concurrent diffusion bonding | |
| US4361262A (en) | Method of making expanded sandwich structures | |
| EP0209606B1 (en) | Method and apparatus for the superplastic forming and/or diffusion bonding of sheet metal | |
| US5611944A (en) | Hollow component manufacture | |
| JPS5924893B2 (ja) | 金属サンドイッチ構造物製作方法 | |
| US4691857A (en) | Method of shaping a workpiece | |
| US5284288A (en) | Method of manufacturing an article by diffusion bonding | |
| US4811890A (en) | Method of eliminating core distortion in diffusion bonded and uperplastically formed structures | |
| US5479705A (en) | Method of manufacturing an article by superplastic forming and diffusion bonding | |
| US5226578A (en) | Method of manufacturing an article, a method of diffusion bonding and a vacuum chamber | |
| US5484977A (en) | Method of manufacturing an article by superplastic forming and diffusion bonding and vacuum chamber for use in processing workpieces for superplastic forming and diffusion bonding | |
| US6264091B1 (en) | Method of manufacturing an article by diffusion bonding | |
| JP3241524B2 (ja) | 金属の一体成形方法 | |
| US20200025461A1 (en) | Method of manufacturing heat dissipation unit | |
| JPH0994678A (ja) | チタン合金構造の一体成形方法 | |
| JPS57134287A (en) | Manufacture of diffusion-welded rolled clad metal | |
| JP2823411B2 (ja) | 拡散接合部材の製造方法 | |
| JP2774706B2 (ja) | ステンレスクラッド製品の製造方法 | |
| US5031823A (en) | Method of obtaining effective faying surface contact in vacuum brazing | |
| EP0560528A1 (en) | Manufacture of components by superplastic forming |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20030107 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090221 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090221 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100221 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100221 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110221 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120221 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130221 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130221 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140221 Year of fee payment: 11 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |