JP3395753B2 - バンドパスフィルタの製造方法及びバンドパスフィルタ - Google Patents
バンドパスフィルタの製造方法及びバンドパスフィルタInfo
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Description
に関し、例えばマイクロ波〜ミリ波帯における通信機器
に用いられるバンドパスフィルタの製造方法及びバンド
パスフィルタに関する。
LCフィルタが広く用いられている。従来のLCフィル
タの等価回路を図26に示す。
1,102を有し、各共振器101,102は、コンデ
ンサC及びインダクタンスLを並列に接続した構造を有
する。また、単一の電子部品として上記LCフィルタを
構成するために、従来、積層コンデンサ及び積層インダ
クタを一体化した構造が用いられている。すなわち、図
26に示す回路構成を実現するように、積層コンデンサ
部及び積層インダクタンス部からなる2個の共振器が、
1つの積層電子部品として構成されている。また、この
LCフィルタでは、2個の共振器101,102が、結
合コンデンサC1により結合されている。
成を有するLCフィルタを単一の部品として構成する場
合、多くの導体パターンと、導体パターン間を接続する
ビアホール電極とを形成しなければならない。従って、
所望とする特性を得るには、これらの多数の導体パター
ン及びビアホール電極を高精度に形成しなければならな
かった。
形成する必要があるため、構造が複雑であり、小型化に
限界があった。さらに、一般にLCフィルタの共振周波
数fは、f=1/2π(LC)1/2 で表される。ここで
Lは共振器のインダクタンスを、Cは容量を示す。従っ
て、より高い周波数で用いられるLCフィルタを得よう
とすると、共振器の容量CとインダクタンスLの積を小
さくする必要がある。すなわち、高周波化を図る場合、
共振器のインダクタンスL及び容量Cの製造誤差も小さ
くする必要がある。よって、高周波化を進めるにつれ
て、上記のような多数の導体パターンやビアホール電極
の精度をより一層高めねばならず、高周波化に限界があ
った。
を解消し、高周波化及び小型化を容易に図ることがで
き、さらに寸法精度の管理条件を緩和し得るバンドパス
フィルタの製造方法及びバンドパスフィルタを提供する
ことにある。
バンドパスフィルタの製造方法は、誘電体基板表面また
は誘電体基板内部に形成された一枚の金属膜において共
振周波数の異なる第1,第2の共振モードを発生させる
ように、該金属膜の形状と、金属膜に対する入出力結合
回路の結合点とを選択する工程と、前記第1,第2の共
振モードが結合するように、少なくとも一方の共振モー
ドの共振電流または共振電界の少なくとも一部を不連続
化して、共振長λ/2を調整する工程とを備えることを
特徴とする。
ルタの製造方法は、誘電体基板表面または誘電体基板内
部に形成された一枚の金属膜において共振周波数の異な
る第1,第2の共振モードを発生させるように、該金属
膜の形状と、金属膜に対する入出力結合回路の結合点と
を選択する工程と、前記第1,第2の共振モードが結合
するように、少なくとも一方の共振モードの共振電流ま
たは共振電界の少なくとも一部を不連続化して、一方の
共振モードの共振周波数を他方の共振モードの共振周波
数よりも大きく変化させる工程とを備えることを特徴と
する。本発明に係る製造方法の特定の局面では、前記第
1,第2の共振モードを結合する工程において、少なく
とも一方の共振モードの共振電流を少なくとも一部にお
いて不連続化することを特徴としている。
は、前記第1,第2の共振モードを結合する工程におい
て、前記第1,第2の共振モードの少なくとも一方の共
振電界を不連続化することを特徴としている。
誘電体基板と、前記誘電体基板表面または誘電体基板内
部に形成された一枚の金属膜と、前記金属膜の外周縁の
第1,第2の部分に結合された入出力結合回路とを備
え、前記入出力結合回路の結合点を結ぶ仮想直線に対し
て略平行な方向に伝搬する第1の共振モードと、前記仮
想直線に対して略直交する方向に伝搬する第2の共振モ
ードが発生するように、前記金属膜の形状及び入出力結
合回路の結合点の位置が選択されており、第1,第2の
共振モードを結合するために、少なくとも一方の共振モ
ードの共振電流または共振電界の少なくとも一部を不連
続化して、共振長λ/2を調整する結合手段をさらに備
えることを特徴とする。第4の発明に係るバンドパスフ
ィルタは、誘電体基板と、前記誘電体基板表面または誘
電体基板内部に形成された一枚の金属膜と、前記金属膜
の外周縁の第1,第2の部分に結合された入出力結合回
路とを備え、前記入出力結合回路の結合点を結ぶ仮想直
線に対して略平行な方向に伝搬する第1の共振モード
と、前記仮想直線に対して略直交する方向に伝搬する第
2の共振モードが発生するように、前記金属膜の形状及
び入出力結合回路の結合点の位置が選択されており、第
1,第2の共振モードを結合するために、少なくとも一
方の共振モードの共振電流または共振電界の少なくとも
一部を不連続化して、一方の共振モードの共振周波数を
他方の共振モードの共振周波数よりも大きく変化させる
結合手段をさらに備えることを特徴とする。
が、少なくとも一方の共振モードの共振電流を少なくと
も一部において不連続化する共振電流制御手段である。
本発明のさらに限定的な局面によれば、前記共振電流制
御手段が、前記金属膜に形成された貫通孔である。
段が、少なくとも一方の共振モードの共振電界を制御す
る共振電界制御手段である。本発明のさらに限定的な局
面によれば、前記共振電界制御手段が、前記誘電体基板
の少なくとも一部の層を介して前記金属膜に対向するよ
うに配置された共振電界制御用電極である。
に係るバンドパスフィルタの製造方法及びバンドパスフ
ィルタの具体的な実施形態を説明することにより、本発
明を明らかにする。
電体基板上または誘電体基板内部に一枚の金属膜が形成
されており、該金属膜の外周縁の第1,第2の部分に入
出力結合回路が結合されている。このような構造の共振
器では、金属膜の形状及び入出力結合回路の結合点の位
置により共振形態が定まる。これを、図1〜図16を参
照して説明する。
器として、図1〜図3に示すマイクロストリップ構造の
各共振器を作製し、共振形態を評価した。すなわち、図
1(a)及び(b)に示す共振器1では、誘電体基板2
の上面中央に長方形の金属膜3が形成されている。ま
た、誘電体基板2の下面の全面にはグラウンド電極4が
形成されている。金属膜3の対向し合う短辺3a,3b
の一端側にそれぞれ入出力結合回路を接続した。すなわ
ち、入出力結合回路の結合点5a,5bは、図示の○印
で示す位置とされている。
とを除いては、上記と同様にして、図2及び図3に示す
共振器6,9を作製した。共振器6では、金属膜7が菱
形の形状を有し、入出力結合点8a,8bは、隣り合う
辺に位置されている。また、共振器9では、金属膜10
が三角形の形状を有し、隣り合う2辺に入出力結合点1
1a,11bが配置されている。
れぞれ、図4〜図6に示す。なお、図4〜図6において
は、共振器1,6,9において、最も低い周波数域に現
れる共振並びに次に低い周波数域に現れる共振が示され
ている。
器1の最も低い周波数域に現れる共振を示し、矢印1B
で示す共振が、次に低い周波数域で現れる共振を示す。
同様に、図5の矢印6A及び6Bで示す共振は、それぞ
れ、共振器6における最も低い周波数域に現れる共振及
び次に低い周波数域に現れる共振を示す。また、図6に
示されている共振9Aは、共振器9において最も低い周
波数域において現れる共振を示し、共振9Bは次に低い
周波数域に現れる共振である。
1A,1B,6A,6B,9A,9Bにおける金属膜
3,7,10における共振状態を電磁界シュミレーター
(ヒューレットパッカー社製、品番:HFSS)により
確認した。結果を図7〜図12に示す。図7及び図8
は、それぞれ、共振器1における共振1A及び共振1B
における共振状態を示し、ここでは、各共振状態におけ
るグラウンド電極4と金属膜3との間の電界強度が強く
なる部分が示されている。例えば図7では、矢印A,B
で示す部分で電界強度が強くなっている。すなわち、共
振器1では、最も低い周波数域に現れる共振1Aでは、
長方形の金属膜3の長さ方向両端近傍において電界強度
が高められる。
長方形の金属膜3の一対の長辺近傍において電界強度が
高くなっている。図9及び図10に示すように、共振器
6の共振6Aでは、菱形の金属膜7の長い方の対角線の
両端近傍で電界強度が高められており、共振6Bでは、
短い方の対角線の両端近傍で電界強度が高められてい
る。
に、共振器9の共振9Aでは、三角形の金属膜10の入
出力結合点11a,11bが配置されている辺とは異な
る辺の両端近傍で電界強度が高められており、共振9B
では、入出力結合点が配置されている頂点近傍と、入出
力結合点が配置されていない辺の両端近傍で電界強度が
高められている。
に、金属膜3,7,10の形状並びに入出力結合点5
a,5b,8a,8b,11a,11bの位置により、
励起される共振形態が異なることがわかる。
をより詳細に説明する。図7に示した共振器1における
共振1Aについて、誘電体基板の厚み方向の電界ベクト
ルの様子を図13に示す。図7及び図13から、共振器
1の共振1Aは、長方形の金属膜3の対向する2辺間の
距離が約λ/2である共振となっていることがわかる。
2に示した共振を簡略化して示すと、図14〜図16の
矢印1A,1B、6A,6B、9A,9Bで表される。
すなわち、図14から明らかなように、長方形の金属膜
3を用いた共振器1では、対向し合う2辺間の距離がλ
/2となる2種類の共振1A,1Bが生じている。ま
た、図15に示すように、共振器6では、菱形の金属膜
7の長い方の対角線及び短い方の対角線の距離がそれぞ
れλ/2である共振6A,6Bが生じる。さらに、三角
形10の金属膜を用いた共振器9では、入出力結合点1
1a,11bが配置されているコーナー部と入出力結合
点が配置されていない辺との間の長さがλ/2である共
振9Aと、入出力結合点が配置されていない辺の方向の
長さをλ/2とする共振9Bが生じている。
有する共振器1,6,9では、金属膜の形状及び金属膜
に対する電力の入出力位置により、励振される共振形態
は変化するが、上記の結果から、この共振形態と金属膜
の形状及び入出力位置には、以下の関係があることがわ
かる。
1,第2の結合点を結ぶ仮想直線に対し、略平行な方向
と、略直交する方向において共振が生じる。なお、この
共振は、上記各方向における金属膜の長さ寸法がλ/2
となる共振である。
り、上記のように一対の辺間、あるいは一対の角間、あ
るいは辺と角との間の方向の共振となる。本願発明者
は、上記の結果を基に、図1の共振器1の金属膜3の短
辺方向の長さLを変化させた場合の共振1A及び1Bの
共振周波数の変化を測定した。結果を図17に示す。
が共振1Bを示す。なお、金属膜の寸法は、長辺=1.
6mmである。図17から明らかなように、短辺方向の
長さLを1.0mmから1.5mmまで長くしていった
場合、共振1Aの共振周波数はほとんど変化しないが、
共振1Bの共振周波数が徐々に低くなることがわかる。
これは、上述したように、共振1Bは、長方形の金属膜
3の短辺方向の共振であり、短辺の長さLが略λ/2で
ある共振であることを裏付ける。すなわち、短辺方向の
長さLを変化させることにより、共振1Bのλ/2が変
わり、それによって共振1Bの共振周波数が変動してい
る。
選択すれば、金属膜に励振される共振形態を決定するこ
とができ、どのような共振形態になるかは、上述したよ
うに、板状パターンの形状及び板状パターンに対する電
力の入出力位置、すなわち入出力結合回路の結合点を上
述した規則に従って選択すれば、所望とする2つの共振
を達成させ得ることがわかる。また、共振形態を考慮し
て、金属膜の寸法、図17の場合には長方形の金属膜の
短辺方向の長さを制御すれば、所望とする共振周波数の
共振を発生させることができる。
いた共振器1について説明したが、菱形の金属膜7を用
いた共振器6や三角形の金属膜10を用いた共振器9に
おいても同様と考えることができ、また金属膜の形状は
これらに限定されるものではない。すなわち、金属膜に
どのような共振を生じさせるかについては、上述したよ
うに、金属膜の形状、並びに金属膜に対する入出力結合
回路の結合点を選択することにより制御することができ
る。
と入出力結合回路の結合点を制御することにより2つの
共振の少なくとも一方の共振周波数を制御し得ることを
見出し、この2つの共振周波数を結合させれば、バンド
パスフィルタを構成し得るのではないかと考え、本発明
をなすに至った。
例としてのバンドパスフィルタにつき説明する。図19
及び図20は、共振器1の共振1A,1Bにおいて金属
膜に流れる共振電流の様子を略図的に示す平面図であ
る。ここでは、ハッチングを付している部分が、共振電
流の強い部分を示す。なお、図19及び図20に示す結
果は、ソネットソフトウェア社製、電磁界シュミレータ
ーSONNETを用いて求めた結果を略図的に示してい
る。
金属膜を流れる電流が端縁集中効果の影響を受けること
から、図7及び図8に示した電界分布の共振での電流分
布は、それぞれ、図19及び図20に示すとおりという
ことが理解され得る。
共振1Bとでは、共振電流の強い部分が異なることがわ
かる。上記の結果は、共振器1についてのものである
が、前述したように、金属膜に励振される最低周波数の
共振と、次に低い周波数の共振は、入出力結合点を結ぶ
仮想直線に対し略平行な方向と略直交する方向の共振と
なるため、必然的に共振電流が強く流れる位置は異な
る。従って、図19及び図20は、共振器1についての
結果であるが、他の形状の金属膜及び他の位置に結合点
が存在する場合であっても同様に、最低周波数の共振と
次に低い周波数の共振では、共振電流が強く流れる位置
は異なることになる。
A,共振1Bにおいて共振電流の強く流れる位置が異な
ることに鑑み、一方の共振の共振電流の流れを制御し得
る不連続部を設ければ、不連続部が設けられた側の周波
数を制御でき、ひいては2つの共振を結合させてバンド
パスフィルタを構成し得ることを見出した。
ドパスフィルタを示す平面図である。バンドパスフィル
タ21では、共振器1の金属膜3に貫通孔3xが形成さ
れている。この貫通孔3xは、金属膜3の長手方向と平
行な方向に延ばされている。図21では、共振1Aにお
いて共振電流が強く流れる部分がハッチングを付して示
されている。すなわち、貫通孔3xは、共振1Aの場合
の共振電流が強く流れる部分には影響をほとんど与えな
いことがわかる。
共振電流が強く流れる部分を斜線のハッチングを付して
示す模式的平面図である。図22から明らかなように、
貫通孔3xは、共振1Bの共振電流が強く流れる部分を
不連続化している。従って、貫通孔3xの形成により、
共振1Bの共振電流が大きな影響を受けたことがわか
る。なお、共振電流がほとんど流れないところに不連続
部を与えることになる共振1Aの場合には、貫通孔3x
による変化は現れない。
成することにより、共振電流の不連続によって共振1B
の共振周波数のみを低下させることができる。また、貫
通孔3xの形状を変えて、不連続部分の作用を制御すれ
ば、上記共振電流の不連続の制御を行うことができる。
従って、共振1Bの共振周波数を制御することができ
る。
合の共振1Bと共振1Bの周波数の変化を図18に示
す。なお、金属膜3の寸法は、図17に示した特性の場
合と同様である。
L1を変化させた場合、共振1Aの共振周波数はほとん
ど変化しないが、共振1Bの共振周波数が徐々に低下
し、共振1Aの共振周波数に近づくことがわかる。
共振周波数を制御する方法を説明したが、この原理は一
般的なものであり、共振器6や共振器9あるいは他の形
状の金属膜を用いた同様の共振器においても、上記と同
様に一方の共振モードの共振電流を少なくとも一部にお
いて不連続化する共振電流制御手段、例えば上記のよう
な貫通孔を形成することにより、一方の共振モードの共
振周波数を制御することができる。
の共振1Bの共振周波数を制御する例を説明したが、共
振1Aの共振周波数を制御することもできる。すなわ
ち、貫通孔3xに代えて、共振1Aで強い共振電流が流
れる位置に至る貫通孔を形成すれば、共振1Aの共振周
波数を制御することができる。
縁の第1,第2の部分に結合された入出力結合回路を備
える共振器において、一方の共振モードの共振電流また
は共振電界の少なくとも一部を不連続化することによ
り、不連続化されている側の共振モードの共振周波数を
制御することができる。言い換えれば、金属膜に励振さ
れる最低周波数の共振と、次に低い周波数の共振は、上
記のように共振電流が強く流れる位置が異なっているの
で、個別に各共振を制御することができる。
の共振電流を制御して、双方の共振周波数を制御しても
よい。また、共振電流を不連続化する不連続部として
は、貫通孔3xに限定されるものではない。
2の一部に凹部2aを形成し、金属膜3が凹部2aにも
至るように形成してもよい。この場合には、グラウンド
電極4と金属膜3との間の距離が、凹部2aが設けられ
ている部分で短くされているので、グラウンド電極4と
金属膜3との間の距離に不連続が生じ、共振1Bの共振
電界の強い部分が不連続化される。
に、内部電極23,24を共振1Bの共振電界が強い部
分に位置するように共振電界制御用電極としての内部電
極23,24を形成し、内部電極23,24をビアホー
ル電極25,26によりグラウンド電極と電気的に接続
してもよい。この場合には、内部電極23,24が設け
られている部分で、同様に共振電界が不連続化され、共
振電界が制御される。
は、共振電流や共振電界の強い部分を不連続化すること
により共振長λ/2を調整する部分を広く含むものであ
り、その構造については特に限定されるものではない。
板上に一枚の金属膜が形成されており、該金属膜の外周
縁の第1,第2の部分に入出力結合回路が結合されてい
るマイクロストリップ型共振器において、上記入出力結
合回路の結合点を結ぶ仮想直線に対して略平行な方向に
伝搬する第1の共振モード及び略直交する方向に伝搬す
る第2の共振モードが発生され、この第1,第2の共振
モードのうち少なくとも一方の共振モードの共振電流ま
たは共振電界の少なくとも一部を不連続化することによ
り、第1,第2の共振モードの少なくとも一方の共振周
波数を制御することができる。従って、上記不連続化の
程度を制御することにより、第1,第2の共振モードを
結合することができ、バンドパスフィルタを構成するこ
とができる。図25は、このような考えの基に構成され
た本発明の一実施例のバンドパスフィルタの周波数特性
を示す図であり、実線は通過特性を、破線は反射特性を
示す。
以下のとおりである。 誘電体基板…2.4×2.4mmのεr=9.8の材料
(アルミナ)からなる矩形板状の基板。 金属膜…1.6×1.2mm×厚み4μmの寸法を有す
るCuからなる金属膜。
に形成されており、4μmの厚みのCu膜。 貫通孔3x…200μm×1000μmの寸法を有し、
金属膜の中心を通り、金属膜の長辺と平行な方向に延ば
されている。
短辺において、一方の長辺とのコーナー部分から0mm
の位置。 図25から明らかなように、本実施例のバンドパスフィ
ルタによれば、共振1Aと共振1Bとが結合されて、矢
印Xで示す通過帯域の得られていることがわかる。
一枚の金属膜を形成し、誘電体基板の下面にグラウンド
電極を形成したマイクロストリップ型の共振器を利用し
たバンドパスフィルタにつき説明したが、上記金属膜の
形状と、入出力結合回路の結合点との関係により第1,
第2の共振モードを発生させ、第1,第2の共振モード
を共振電流または共振電界の少なくとも一部を不連続化
して第1,第2の共振モードを結合し得る限り、マイク
ロストリップ型の共振器を利用したものに限定されず、
本発明のバンドパスフィルタはトリプレート構造などを
有するものであってもよい。従って、上記金属膜は、誘
電体基板表面だけでなく、誘電体基板内部に形成されて
いてもよい。
ルタの製造方法では、誘電体基板表面または誘電体基板
内部に形成された一枚の金属膜の形状、並びに該金属膜
に対する入出力結合回路の結合点を選択することによ
り、金属膜に第1,第2の共振モードの共振が生じるよ
うに構成される。すなわち、金属膜の形状と、上記結合
点の位置を選択することにより、第1,第2の共振モー
ドの共振形態が決定される。そして、上記のようにして
共振形態が決定された第1,第2の共振モードが、少な
くとも一方の共振モードの共振電流または共振電界が不
連続化され、それによって、共振長λ/2を調整する、
あるいは一方のモードの共振周波数を他方のモードの共
振周波数よりも大きく変化させることにより、第1,第
2の共振モードが結合される。
上記のように金属膜の形状及び入出力結合回路の結合点
の位置、並びに一方の共振モードを他方の共振モードに
結合させるように一方の共振モードの共振電流または共
振電界を制御するだけで、高周波域で使用し得るバンド
パスフィルタを容易に提供することができる。
想直線に対して略平行に伝搬する第1の共振モードと、
仮想直線に対して略直交する方向に伝搬する第2の共振
モードが発生するように金属膜の形状及び入出力結合回
路の結合点の位置を選択すればよいだけであるため、金
属膜の形状の制約がほとんどなく、従来考えられなかっ
た形状の金属膜を用いてバンドパスフィルタを構成する
ことができる。また、入出力結合回路の結合点について
も、その位置の自由度が高められる。従って、バンドパ
スフィルタの設計の自由度を高めることができる。
とも一方の共振電流または共振電界の少なくとも一部を
不連続化するだけで、第1,第2の共振モードを結合さ
せることができ、従って様々な帯域のバンドパスフィル
タを容易に提供することができる。
タでは、誘電体基板表面または誘電体基板内部に形成さ
れた一枚の金属膜の外周縁の第1,第2の部分に入出力
結合回路が結合されており、入出力結合回路の一対の結
合点を結ぶ仮想直線に対して略平行な方向に伝搬する第
1の共振モードと、略直交する方向に伝搬する第2の共
振モードとが発生し、第1,第2の共振モードを結合す
るために、少なくとも一方の共振モードの共振電流また
は共振電界の少なくとも一部を不連続化し、共振長λ/
2を調整する、あるいは一方のモードの共振周波数を他
方のモードの共振周波数よりも大きく変化させる結合手
段がさらに備えられている。従って、金属膜の形状及び
入出力結合回路の結合点の位置を選択し、上記結合手段
により第1,第2の共振モードを結合させることによ
り、所望とする周波数域で通過帯域を構成し得るバンド
パスフィルタを提供することができる。
記のように一枚の金属膜の形状と、入出力結合回路の結
合位置を選択するだけで、様々な通過帯域を容易に構成
することができる。従って、高周波域で使用し得るバン
ドパスフィルタの構造の簡略化を図ることができ、かつ
製造に際しての寸法精度管理を容易とすることができ
る。
フィルタを容易にかつ安価に提供することが可能とな
る。また、上記結合手段については、少なくとも一方の
共振モードの共振電流または共振電界の少なくとも一部
を不連続化するものでよいため、共振電流を少なくとも
一部において不連続化する共振電流制御手段であっても
よく、あるいは共振電界を制御する共振電界制御手段で
あってもよい。
膜に貫通孔を形成するだけで、該共振電流制御手段を容
易に形成することができ、共振電界制御手段の場合に
は、誘電体基板の少なくとも一部の層を介して金属膜に
対向するように共振電界制御電極を形成するだけで、容
易に共振電界制御手段を構成することができる。
ライン型の共振器の第1の例を示す平面図及び断面図。
ライン型共振器の他の例を示す平面図。
ライン型共振器のさらに他の例を示す平面図。
及び次に低い周波数の共振を説明するための共振器の周
波数特性を示す図。
及び次に低い周波数の共振を説明するための共振器の周
波数特性を示す図。
及び次に低い周波数の共振を説明するための共振器の周
波数特性を示す図。
電界強度分布を示す図。
Bの電界強度分布を示す図。
電界強度分布を示す図。
5Bの電界強度分布を示す図。
の電界強度分布を示す図。
6Bの電界強度分布を示す図。
における電界ベクトルの分布を説明するための模式的断
面図。
ドを模式的に示す略図的平面図。
ドを模式的に示す略図的平面図。
ドを模式的に示す略図的平面図。
向の長さLと最低周波数の共振1A及び次に低い周波数
の共振1Bの共振周波数の変化を示す図。
の最低周波数の共振1Aと次に低い周波数の共振1Bの
共振周波数の変化を示す図。
振1Aの共振電流分布を略図的に示す平面図。
に低い周波数の共振1Bの共振電流分布を模式的に示す
平面図。
面図であって、貫通孔と最低周波数の共振1Aの共振電
流が強く流れる部分との関係を説明するための平面図。
面図であって、貫通孔と最低周波数の次に低い周波数の
共振1Aの共振電流が強く流れる部分との関係を説明す
るための平面図。
ンドパスフィルタの変形例を示す平面図及び断面図。
ンドパスフィルタの他の変形例を示す 平面図及び断面
図。
波数特性を示す図。
ルタの回路構成を示す図。
Claims (10)
- 【請求項1】 誘電体基板表面または誘電体基板内部に
形成された一枚の金属膜において共振周波数の異なる第
1,第2の共振モードを発生させるように、該金属膜の
形状と、金属膜に対する入出力結合回路の結合点とを選
択する工程と、 前記第1,第2の共振モードが結合するように、少なく
とも一方の共振モードの共振電流または共振電界の少な
くとも一部を不連続化して、共振長λ/2を調整する工
程とを備えることを特徴とする、バンドパスフィルタの
製造方法。 - 【請求項2】 誘電体基板表面または誘電体基板内部に
形成された一枚の金属膜において共振周波数の異なる第
1,第2の共振モードを発生させるように、該金属膜の
形状と、金属膜に対する入出力結合回路の結合点とを選
択する工程と、 前記第1,第2の共振モードが結合するように、少なく
とも一方の共振モードの共振電流または共振電界の少な
くとも一部を不連続化して、一方の共振モードの共振周
波数を他方の共振モードの共振周波数よりも大きく変化
させる工程とを備えることを特徴とする、バンドパスフ
ィルタの製造方法。 - 【請求項3】 前記第1,第2の共振モードを結合する
工程において、少なくとも一方の共振モードの共振電流
を少なくとも一部において不連続化する、請求項1また
は2に記載のバンドパスフィルタの製造方法。 - 【請求項4】 前記第1,第2の共振モードを結合する
工程において、前記第1,第2の共振モードの少なくと
も一方の共振電界を不連続化する、請求項1または2に
記載のバンドパスフィルタの製造方法。 - 【請求項5】 誘電体基板と、 前記誘電体基板表面または誘電体基板内部に形成された
一枚の金属膜と、 前記金属膜の外周縁の第1,第2の部分に結合された入
出力結合回路とを備え、 前記入出力結合回路の結合点を結ぶ仮想直線に対して略
平行な方向に伝搬する第1の共振モードと、前記仮想直
線に対して略直交する方向に伝搬する第2の共振モード
が発生するように、前記金属膜の形状及び入出力結合回
路の結合点の位置が選択されており、 第1,第2の共振モードを結合するために、少なくとも
一方の共振モードの共振電流または共振電界の少なくと
も一部を不連続化して、共振長λ/2を調整する結合手
段をさらに備える、バンドパスフィルタ。 - 【請求項6】 誘電体基板と、 前記誘電体基板表面または誘電体基板内部に形成された
一枚の金属膜と、 前記金属膜の外周縁の第1,第2の部分に結合された入
出力結合回路とを備え、 前記入出力結合回路の結合点を結ぶ仮想直線に対して略
平行な方向に伝搬する第1の共振モードと、前記仮想直
線に対して略直交する方向に伝搬する第2の共振モード
が発生するように、前記金属膜の形状及び入出力結合回
路の結合点の位置が選択されており、 第1,第2の共振モードを結合するために、少なくとも
一方の共振モードの共振電流または共振電界の少なくと
も一部を不連続化して、一方の共振モードの共振周波数
を他方の共振モードの共振周波数よりも大きく変化させ
る結合手段をさらに備える、バンドパスフィルタ。 - 【請求項7】 前記結合手段が、少なくとも一方の共振
モードの共振電流を少なくとも一部において不連続化す
る共振電流制御手段である、請求項5または6に記載の
バンドパスフィルタ。 - 【請求項8】 前記共振電流制御手段が、前記金属膜に
形成された貫通孔である、請求項7に記載のバンドパス
フィルタ。 - 【請求項9】 前記結合手段が、少なくとも一方の共振
モードの共振電界を制御する共振電界制御手段である、
請求項5または6に記載のバンドパスフィルタ。 - 【請求項10】 前記共振電界制御手段が、前記誘電体
基板の少なくとも一部の層を介して前記金属膜に対向す
るように配置された共振電界制御用電極である、請求項
9に記載のバンドパスフィルタ。
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