JP3392783B2 - Burn-in board insertion / extraction device - Google Patents

Burn-in board insertion / extraction device

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JP3392783B2
JP3392783B2 JP19480199A JP19480199A JP3392783B2 JP 3392783 B2 JP3392783 B2 JP 3392783B2 JP 19480199 A JP19480199 A JP 19480199A JP 19480199 A JP19480199 A JP 19480199A JP 3392783 B2 JP3392783 B2 JP 3392783B2
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board
burn
engaging
claw
connector
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孝司 吉田
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術の分野】本発明は、構造体を形成す
る上部材及び下部材を備えたボードキャリアに積載され
たバーンインボードをバーンイン装置のコネクタに挿入
及び該コネクタから抜去するための挿抜装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an insertion / extraction device for inserting and removing a burn-in board loaded on a board carrier having an upper member and a lower member forming a structure into a connector of a burn-in device. Regarding

【0002】[0002]

【従来の技術】恒温槽の内外に出し入れ可能なボードキ
ャリアに積載されたバーンインボードのエッジを恒温槽
の奥側に設けられたコネクタに挿抜する装置としては、
バーンインボードの先端肩部及び後端をボードキャリア
の前後端から突出させ、これらの部分を押す挿抜機構を
設け、全てのバーンインボードを同時に挿入又は抜去で
きるようにした各種装置が知られている(例えば特公平
5−62702号公報参照)。
2. Description of the Related Art As a device for inserting / removing the edge of a burn-in board loaded on a board carrier that can be put in and out of a thermostat into a connector provided on the back side of the thermostat,
Various devices are known in which the front shoulder and the rear end of the burn-in board are projected from the front and rear ends of the board carrier, and an insertion / removal mechanism for pushing these parts is provided so that all the burn-in boards can be inserted or removed at the same time ( See, for example, Japanese Examined Patent Publication No. 5-62702).

【0003】このような装置におけるバーンインボード
挿入機構は、ボードキャリアの上下端より更に上下位置
に先端の駆動部からから後端まで連結軸を延設し、これ
にバーンインボードの後端を押す挿入棒及びこれをボー
ドキャリアの進退経路の範囲外に退避させるアーム部分
を設け、バーンインボードのコネクタへの挿入と共に、
抜去時に挿入棒が邪魔にならないようにしている。
In the burn-in board insertion mechanism in such an apparatus, a connecting shaft is extended from the drive unit at the front end to the rear end at the upper and lower positions of the board carrier, and the rear end of the burn-in board is pushed into the connection shaft. A bar and an arm part that retracts it outside the range of the forward and backward path of the board carrier are provided, and with insertion into the burn-in board connector,
The insertion rod does not get in the way when it is removed.

【0004】しかしながら、このような従来の装置で
は、エッジ挿入用の機構がバーンインボードの後端側従
って恒温槽の入口側に設けられるので、アームによる挿
入棒の回動範囲のスペースが余分に必要になり、その分
だけ恒温槽が大型化することになる。又、強度を持たせ
にくい独立の挿入棒を用いるため、エッジ挿入時に挿入
棒がたわみやすいと共に、左右に分離された挿入棒で直
接バーンインボードの後端を押すので、左右で挿入力の
不均一になることがある。その結果、エッジがコネクタ
に十分入らずコンタクトエラーを生ずるおそれがある。
又、ボードキャリアの前後からバーンインボードが突出
するので、その支持状態が不安定で搬送時に位置ずれ等
を起こしやすい。
However, in such a conventional device, since an edge insertion mechanism is provided on the rear end side of the burn-in board, that is, on the inlet side of the constant temperature bath, an extra space is required for the range of rotation of the insertion rod by the arm. Therefore, the size of the constant temperature bath increases accordingly. In addition, since an independent insertion rod that does not have strength is used, the insertion rod is easily bent at the time of edge insertion, and since the rear end of the burn-in board is directly pushed by the left and right separated insertion rods, the insertion force is uneven on the left and right. May become. As a result, the edge may not sufficiently enter the connector and a contact error may occur.
Further, since the burn-in board projects from the front and the rear of the board carrier, the supporting state thereof is unstable, and a positional shift is likely to occur during transportation.

【0005】更に、自動化への対応が難しいという問題
がある。例えば特開平10−95507号公報に示され
ているように、バーンインボードを搭載したボードキャ
リアを恒温槽やIC挿抜機等の間でAGVによって無人
搬送させ、ICのバーンインテストを自動化した設備も
実用化されている。このような設備では、AGVに搭載
されたボードキャリアを恒温槽に自動的に移動させるよ
うにしているが、ボードキャリアが恒温槽へ乗り移った
時には、ボードキャリアに位置ずれや上下動が生じやす
いため、恒温槽の入口部にエッジ挿入機構があると障害
になるおそれがある。
Further, there is a problem that it is difficult to cope with automation. For example, as disclosed in Japanese Unexamined Patent Publication No. 10-95507, a facility for automating a burn-in test of an IC by carrying out an unmanned transfer of a board carrier equipped with a burn-in board by an AGV between a thermostatic chamber and an IC insertion / extraction machine Has been converted. In such equipment, the board carrier mounted on the AGV is automatically moved to the constant temperature tank, but when the board carrier is transferred to the constant temperature tank, the board carrier is likely to be displaced or moved up and down. If there is an edge insertion mechanism at the inlet of the constant temperature bath, it may cause an obstacle.

【0006】なお、従来恒温槽に固定されていたボード
ラックを、固定されたアウターラックとこれに取り付け
られたスライドレールとこのスライドレールで前後方向
に案内されるインナーラックとで構成し、エアシリンダ
をインナーラックに結合してこれを一定距離だけ往復動
させ、その動作によってインナーラックに積載されたバ
ーンインボードを機械的にコネクタに挿抜できるように
した装置が提案されている(実公平6−45275号公
報参照)。
The board rack, which is conventionally fixed to a constant temperature bath, is composed of a fixed outer rack, a slide rail attached to the fixed outer rack, and an inner rack guided in the front-rear direction by the slide rail. A device has been proposed in which the burn-in board loaded on the inner rack is mechanically inserted into and removed from the connector by coupling the inner rack to the inner rack and reciprocating the same for a certain distance (actual fair 6-45275). (See Japanese Patent Publication).

【0007】この装置では、バーンインボード搭載用の
各段のレールに穴を明け、穴の下から付勢されたピンを
突出可能に配置し、レールにバーンインボードを挿入す
るときには、バーンインボードでピンを押さえ付けるこ
とによってその挿入を可能にし、バーンインボードが所
定位置まで挿入されると、穴とピンとの位置が合い、ピ
ンが穴に入って上に突出し、バーンインボードとインナ
ーラックとを結合し、エアシリンダの往復動によってイ
ンナーラックを介してバーンインボードをコネクタへ挿
抜できるようにしている。
In this apparatus, a hole is formed in each rail for mounting the burn-in board, and a biased pin is arranged so as to project from the bottom of the hole. When the burn-in board is inserted into the rail, the pin is pushed by the burn-in board. Allowing its insertion by pressing, when the burn-in board is inserted to a predetermined position, the hole and the pin are aligned, the pin enters the hole and protrudes upward, joins the burn-in board and the inner rack, The burn-in board can be inserted into and removed from the connector via the inner rack by the reciprocating movement of the air cylinder.

【0008】しかしながら、このように付勢されたピン
でバーンインボードのコネクタへの挿抜時に生ずる横荷
重を受けるのは困難であると共に、このような構造は煩
雑で極めてコスト高となる。又、多段のレールに設けら
れた全ての穴の位置精度を良くするのが難しいと共に、
付勢されているため横荷重によってピン位置が動き易い
ため、バーンインボードの挿入量が不均一になってコン
タクトエラーが発生しやすい。又、本来的に固定式のボ
ードラックを少しだけ動けるようにしているため、ボー
ドキャリアのように、恒温槽外に搬出してバーンインボ
ードの搬送等の用途に使用することができない。
However, it is difficult for the pins thus biased to receive a lateral load generated when the burn-in board is inserted into or removed from the connector, and such a structure is complicated and extremely expensive. Also, it is difficult to improve the positional accuracy of all holes provided in the multi-stage rail,
Since the pin position is easily moved by the lateral load because it is biased, the insertion amount of the burn-in board becomes uneven, and a contact error is likely to occur. Further, since the fixed type board rack is originally designed to be able to move a little, it cannot be carried out to the outside of the thermostatic chamber and used for the purpose of carrying burn-in boards like a board carrier.

【0009】更に、恒温槽に固定されたボードラックに
積載されたバーンインボードに穴を設けると共に、この
中に出入り可能な爪部材とこれと一体化された抜去棒と
を備えた枠部材を設け、この枠部材を前後方向に進退動
作させると共に上下方向に昇降させ、爪部材と抜去棒と
をロの字型に動かし、バーンインボードの爪部材による
挿入と抜去棒による抜去とを行わせるようにした機械式
挿抜装置が提案されている(特開平8−136613号
公報参照)。しかしながら、この装置では、それぞれの
バーンインボードの穴に爪を出し入れするために、ボー
ドキャリアに積載されたバーンインボードのコネクタへ
の挿抜には不向きである。又、バーンインボードの全て
の段に爪出し入れ用の空間が必要になるので、バーンイ
ンボードの積載ピッチが広くなって積載数が少なくなる
という問題がある。
Further, a hole is provided in the burn-in board loaded on the board rack fixed to the constant temperature bath, and a frame member having a claw member capable of entering and leaving therein and a withdrawal rod integrated with the claw member is provided. , The frame member is moved back and forth in the front-back direction and moved up and down in the vertical direction to move the claw member and the removal bar in a square shape so that the burn-in board can be inserted by the claw member and removed by the removal bar. A mechanical insertion / extraction device has been proposed (see Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-136613). However, this device is not suitable for inserting / removing the burn-in board loaded on the board carrier into / from the connector because the nail is inserted into and removed from the hole of each burn-in board. Further, since a space for inserting and removing the nails is required in all the stages of the burn-in board, there is a problem that the loading pitch of the burn-in board becomes wide and the number of loadings decreases.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、従来
技術に於ける上記問題を総合的に解決し、比較的簡単な
機構でコスト高にならず、ボードキャリアへの積載状態
を向上させ、バーンインボードをコネクタに確実に結合
でき、バーンイン試験設備の全体的な自動化に適した挿
抜装置を提供することを課題とする。
Therefore, the present invention comprehensively solves the above problems in the prior art, does not increase the cost with a relatively simple mechanism, and improves the loading state on the board carrier. An object of the present invention is to provide a mating / unmating device that can reliably bond a burn-in board to a connector and is suitable for overall automation of burn-in test equipment.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために、請求項1の発明は、構造体を形成する上部
材及び下部材を備えたボードキャリアに積載されたバー
ンインボードをバーンイン装置のコネクタに挿入及び該
コネクタから抜去するための挿抜装置において、前記バ
ーンインボードの挿入方向の後端を受けるように前記ボ
ードキャリアに固定された受け部と、前記上部材又は下
部材のうちの少なくとも何れかの部材に設けられた係合
部と、該係合部と係合可能な係合部材と、該係合部材を
挿入及び抜去する方向に往復移動可能にする移動手段
と、前記係合部材が前記往復移動に対応して前記係合部
と往動時に係合し復動時に係合解除するように前記係合
部材の動作を可能にする係合オンオフ手段と、を有する
ことを特徴とする。
In order to solve the above problems, the present invention provides a burn-in board mounted on a board carrier having an upper member and a lower member forming a structure. In a device for inserting into and removing from a connector of a device, a receiving portion fixed to the board carrier so as to receive a rear end in the insertion direction of the burn-in board, and the upper member or the lower member. An engaging portion provided on at least one of the members, an engaging member engageable with the engaging portion, a moving means capable of reciprocating in a direction of inserting and removing the engaging member, and the engaging member. An engaging on / off means for enabling the operation of the engaging member so that the engaging member engages with the engaging portion in the forward movement and disengages in the returning movement corresponding to the reciprocating movement. Characterize.

【0012】上記において、前記係合部と前記係合部材
と前記移動手段と前記係合オンオフ手段とは、前記上部
材及び前記下部材に対応して設けられていることが望ま
しい。
In the above, it is preferable that the engaging portion, the engaging member, the moving means, and the engaging on / off means are provided corresponding to the upper member and the lower member.

【0013】請求項2の発明は、請求項1の発明の特徴
に加えて、前記係合部は穴部になっていて、前記係合部
材は前記穴部に嵌脱される爪を備えた爪状部材であるこ
とを特徴とする。
According to a second aspect of the present invention, in addition to the features of the first aspect, the engaging portion is a hole, and the engaging member includes a claw that is fitted into and removed from the hole. It is a claw-shaped member.

【0014】請求項3の発明は、請求項1の発明の特徴
に加えて、前記係合オンオフ手段は、前記係合部材の前
記動作が可能なように前記係合部材を回転可能に支持す
る支持軸と前記該係合部材に設けられたカム面と前記カ
ム面を案内するカムフォロアとを備えたカム機構から成
ることを特徴とする。
According to a third aspect of the present invention, in addition to the features of the first aspect, the engagement on / off means rotatably supports the engagement member so that the operation of the engagement member is possible. It is characterized by comprising a cam mechanism provided with a support shaft, a cam surface provided on the engaging member, and a cam follower for guiding the cam surface.

【0015】請求項4の発明は、上記に加えて、前記移
動手段が前記係合部材を前記抜去する方向に移動させる
ときに前記バーンインボードを前記コネクタから抜去す
るように前記移動手段に結合された抜去部材を備え、前
記支持軸は前記抜去部材に取り付けられていることを特
徴とする。
In addition to the above, the invention of claim 4 is coupled to the moving means so as to remove the burn-in board from the connector when the moving means moves the engaging member in the removing direction. A removing member, and the support shaft is attached to the removing member.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】図1乃至図3は、本発明を適用し
たバーンインボード挿抜装置を装備したボードキャリア
及び恒温槽の構成例を示し、それぞれ、恒温槽の側面及
び正面状態、ボードキャリアの上面及び側面を示す。挿
抜装置は、構造体を形成する上部材としての天板11及
び下部材としての底板12を備えたボードキャリア1に
積載されたバーンインボード2をバーンイン装置100
のコネクタ101に挿入及びこれから抜去するための装
置であり、バーンインボード2の挿入方向でありボード
キャリア1の前方向であるY1 方向の後端2aを受ける
ようにボードキャリア1に固定された受け部としての受
け板13、本例では天板11及び底板12の両方に設け
られた係合部である係合穴11a及び12a、これらと
係合可能な係合部材として本例では係合穴11a及び1
2aに嵌脱される爪3aを備えた爪部材3、挿入方向Y
1 及び抜去方向Y2 でありボードキャリア1の後方向、
即ち挿抜方向又は前後方向Yに爪部材3を往復移動可能
にする移動手段としてのエアシリンダ等から成るシリン
ダ装置4、爪部材3が往復移動に対応して穴11a、1
2aと往動時に係合し復動時に係合解除するように爪部
材3の動作を可能にする係合オンオフ手段としての本例
では支持ピン5、及び、長穴3bのカム面3c、カムフ
ォロア6等から成るカム機構を有する。
1 to 3 show examples of the construction of a board carrier and a thermostatic chamber equipped with a burn-in board inserting / removing device to which the present invention is applied, showing the side and front conditions of the thermostatic chamber and the board carrier, respectively. Top and side views are shown. The insertion / removal device burns in the burn-in board 2 mounted on a board carrier 1 provided with a top plate 11 as an upper member and a bottom plate 12 as a lower member forming a structure.
A device fixed to the board carrier 1 so as to receive the rear end 2a of the burn-in board 2 in the Y 1 direction which is the insertion direction of the burn-in board 2 and the front direction of the board carrier 1. The receiving plate 13 as a part, the engaging holes 11a and 12a which are engaging parts provided in both the top plate 11 and the bottom plate 12 in this example, and the engaging holes in this example as engaging members which can be engaged with these. 11a and 1
Claw member 3 with claw 3a that is inserted into and removed from 2a, insertion direction Y
1 and the withdrawal direction Y 2 and the rearward direction of the board carrier 1,
That is, the cylinder device 4 including an air cylinder or the like as a moving unit that allows the claw member 3 to reciprocate in the insertion / removal direction or the front-rear direction Y, and the claw member 3 corresponding to the reciprocal movement, the holes 11a, 1
In the present example, the support pin 5, the cam surface 3c of the elongated hole 3b, and the cam follower as the engagement on / off means that enables the claw member 3 to move so as to engage with the forward movement 2a and release the forward movement. It has a cam mechanism composed of 6 or the like.

【0017】前記係合穴11a及び12a、爪部材3、
シリンダ装置4並びにカム機構を構成する支持ピン5、
長穴3b及びガイドピン6は、本例では、天板11及び
底板12に対応して上下に設けられている。
The engaging holes 11a and 12a, the claw member 3,
A support pin 5, which constitutes the cylinder device 4 and the cam mechanism,
In this example, the elongated hole 3b and the guide pin 6 are provided above and below the top plate 11 and the bottom plate 12, respectively.

【0018】カム機構は、爪部材3の前記動作が可能な
ように、即ち爪3aが係合穴11a、12aに嵌脱する
ように、爪部材3を回転可能に支持する支持軸としての
前記支持ピン5、爪部材3に明けられた長穴3bにおけ
る係合穴11a、12a側の前記カム面3c、このカム
面を案内するカムフォロア6、等によって構成されてい
る。
The cam mechanism serves as a support shaft for rotatably supporting the pawl member 3 so that the pawl member 3 can perform the above-described operation, that is, the pawl 3a can be inserted into and removed from the engagement holes 11a and 12a. It is composed of the support pin 5, the cam surface 3c on the side of the engaging holes 11a and 12a in the elongated hole 3b formed in the claw member 3, the cam follower 6 for guiding the cam surface, and the like.

【0019】又本例では、シリンダ装置4が爪部材3を
抜去方向Y2 に移動させるときにバーンインボード2を
抜去するようにシリンダ装置4に結合された抜去部材と
しての抜去棒7を備えていて、支持ピン5は抜去棒7に
取り付けられている。
Further, in the present embodiment, the cylinder device 4 is provided with an extraction rod 7 as an extraction member connected to the cylinder device 4 so as to remove the burn-in board 2 when moving the claw member 3 in the removal direction Y 2. The support pin 5 is attached to the extraction rod 7.

【0020】図4〜図6はそれぞれ、挿抜装置部分の下
平面及び上平面並びに爪部材部分の動作状態を含む側面
を示す。これらの図を含めて、以上の基本構造を更に詳
細に説明する。なお、図4及び図5では中心線Cの左側
部分を省略している。恒温槽100の奥側の背面板10
2にコネクタ位置決め板103が取り付けられ、これに
コネクタ101が固定されている。板103には、ボー
ドキャリア1が乗り込んで来たときにこれを位置決めす
る上下のガイドピン104が取り付けられている。恒温
槽の底部両側には、ボードキャリア1を乗せて支持・搬
送させるためのローラ105が装備されている。
4 to 6 show side surfaces including the lower and upper planes of the insertion / removal device portion and the operating state of the claw member portion, respectively. The above basic structure will be described in more detail with reference to these drawings. 4 and 5, the left side portion of the center line C is omitted. Back plate 10 on the back side of the constant temperature bath 100
A connector positioning plate 103 is attached to the connector 2, and the connector 101 is fixed thereto. On the plate 103, upper and lower guide pins 104 for positioning the board carrier 1 when it comes in are attached. Rollers 105 for mounting, supporting, and carrying the board carrier 1 are provided on both sides of the bottom of the constant temperature bath.

【0021】抜去棒7は、恒温槽の幅方向であるX方向
の両側において上下方向に延設されていて、図7にも示
すバーンインボードの先端エッジ2bの両側の肩部2c
を押し、エッジ2bを介してバーンインボード2をコネ
クタ101から抜去できるように設けられている。そし
て、一体的剛性を持たせると共に、両側のものが上下方
向を含めて全体として同期的に動くように、抜去棒7は
上下において連結軸7aによって枠状に結合されてい
る。なお、図2では上側の連結軸を図示していない。
The withdrawal rods 7 extend vertically on both sides in the X direction, which is the width direction of the constant temperature bath, and shoulder portions 2c on both sides of the leading edge 2b of the burn-in board shown in FIG.
Is provided so that the burn-in board 2 can be removed from the connector 101 via the edge 2b. The extraction rod 7 is vertically coupled by a connecting shaft 7a in a frame shape so as to have an integral rigidity and allow both sides to move synchronously as a whole including the vertical direction. Note that the upper connecting shaft is not shown in FIG.

【0022】シリンダ装置4は、両側及び上下に合計4
台設けられていて、そのロッド4aは連結軸7aに結合
されていて、連結軸を介して抜去棒7を挿抜方向Y(Y
1 −Y2 )に往復移動させる。そして既述の如く、爪部
材3は、抜去棒7に取り付けられた支持ピン5に回転自
在に支持されていて、連結軸7a及び支持ピン5を介し
て抜去棒7と共に、シリンダ装置4によってY方向に往
復動可能にされている。なお、詳細図示を省略している
が、支持ピン5には通常適当な軸受部材が嵌め込まれ、
爪部材はその上で回転可能なようになっている。
The cylinder device 4 has a total of 4 on both sides and above and below.
A stand is provided, and its rod 4a is connected to a connecting shaft 7a, and the removing rod 7 is inserted in the inserting / extracting direction Y (Y
1- Y 2 ) Move back and forth. Then, as described above, the claw member 3 is rotatably supported by the support pin 5 attached to the removal rod 7, and together with the removal rod 7 via the connecting shaft 7 a and the support pin 5, the claw member 3 is moved by the cylinder device 4. It can be reciprocated in any direction. Although not shown in detail, a proper bearing member is usually fitted into the support pin 5,
The pawl member is rotatable on it.

【0023】爪部材3は図6に一例を示すような形状に
なっている。なお図6では、係合穴として下側のもの1
2aを示している。下側では、爪部材3の上方に係合穴
12aがあり、爪3aは下から回転して穴に入ることに
なる。上の係合穴11a部分では、爪部材3が係合穴1
1aの上にあり、爪3aが上から回転して穴に入ること
になるが、その他の点では下の部分と同じであるため、
以下では下の係合穴12aの場合について説明する。
The claw member 3 has a shape as shown in FIG. In FIG. 6, the lower one as the engaging hole 1
2a is shown. On the lower side, there is an engaging hole 12a above the claw member 3, and the claw 3a rotates into the hole from below. In the upper engaging hole 11a portion, the claw member 3 is engaged with the engaging hole 1
1a, the claw 3a rotates from above to enter the hole, but otherwise it is the same as the lower part,
The case of the lower engagement hole 12a will be described below.

【0024】既述の如く長穴3bのカム面3cをガイド
するようにカムフォロア6が設けられるが、カムフォロ
ア6は図4に示す如くシリンダ装置4の支持板4bに取
り付けられていていて、長穴3b内に入っている。詳細
図示を省略しているが、通常、カムフォロア6はピンと
これに嵌め込まれた軸受で構成され、軸受の外面が回転
しつつカム面3cを案内するようになっている。なお、
カム面3cを長穴3b内に設ければ、動作が安定してよ
り確実になるが、必ずしも長穴3bの一面になっている
必要はなく、目的とする動作ができる適当な曲面であれ
ばよい。係合穴12aは図示のような曲げ板部材によっ
て適当に補強されている。
As described above, the cam follower 6 is provided so as to guide the cam surface 3c of the elongated hole 3b. The cam follower 6 is attached to the support plate 4b of the cylinder device 4 as shown in FIG. It is in 3b. Although not shown in detail, normally, the cam follower 6 is composed of a pin and a bearing fitted in the pin, and the outer surface of the bearing guides the cam surface 3c while rotating. In addition,
If the cam surface 3c is provided in the elongated hole 3b, the operation is stable and more reliable, but it is not necessarily one surface of the elongated hole 3b, and if it is an appropriate curved surface capable of performing the intended operation. Good. The engagement hole 12a is appropriately reinforced by a bending plate member as shown.

【0025】図7はバーンインボードの構成例を示す。
本例のバーンインボード2は、ICを搭載した多数のI
Cソケット21とボードステー22及びこれを覆う裏板
23とをそれぞれ上下面に装備していると共に、ICソ
ケット21の外側に上面24から突出したガスケット2
5及びその溝枠26を備えている。先端のエッジ2bは
図示しない基板回路と接続されていて、ICは、ICソ
ケット21及び基板回路を介してエッジ2bと電気的に
接続される。バーンインボード2はボードキャリア1に
搭載され、後端2a又は肩部2cが押されることによ
り、エッジ2bを介して前記コネクタ101にY1 −Y
2 方向に挿抜される。
FIG. 7 shows an example of the structure of a burn-in board.
The burn-in board 2 of this example has a large number of I
The C socket 21, the board stay 22, and a back plate 23 covering the board stay 22 are provided on the upper and lower surfaces, respectively, and the gasket 2 protruding from the upper surface 24 to the outside of the IC socket 21.
5 and its groove frame 26. The tip edge 2b is connected to a substrate circuit (not shown), and the IC is electrically connected to the edge 2b via the IC socket 21 and the substrate circuit. The burn-in board 2 is mounted on the board carrier 1 and the rear end 2a or the shoulder portion 2c is pushed, so that the connector 101 is Y 1 -Y through the edge 2b.
It is inserted and removed in two directions.

【0026】図8及び9はボードキャリアの各部構造を
示す。これらの図を含めて、本例のボードキャリアの構
造を説明する。ボードキャリア1の基本構造は、窓31
が開けられ上下方向に延設された両側板30、四隅の上
下方向の枠を形成するように両側板30がY1 −Y2
向の両端で折り曲げられた縦枠部32、同様に上下端で
折り曲げられた前後方向横枠部33、これらの枠部と結
合された上下の幅方向横枠板60、これらの枠板と結合
された前記天板11及び底板12、等によって構成され
ている。前記受け板13は縦枠板32に取り付けられて
いる。従って、受け板13は上下方向に長くても縦枠板
32によって十分な曲げ剛性を付与されていて、変形す
ることなく全ての段のバーンインボードの後端2aを確
実に受け止めることができる。符号9は位置決め用穴
で、ボードキャリア1が恒温槽に入れられたときに上下
ガイドピン104、105と嵌合し、ボードキャリアを
位置決めする。符号8はそのときのセンサ用当て板であ
る。
8 and 9 show the structure of each part of the board carrier. The structure of the board carrier of this example will be described with reference to these drawings. The basic structure of the board carrier 1 is a window 31.
Side plates 30 that are opened and extend in the vertical direction, vertical frame portions 32 in which the side plates 30 are bent at both ends in the Y 1 -Y 2 direction so as to form the vertical frames of the four corners, and similarly the upper and lower ends. It is configured by the front-rear direction horizontal frame portion 33 bent by, the upper and lower widthwise horizontal frame plates 60 connected to these frame portions, the top plate 11 and the bottom plate 12 connected to these frame plates, and the like. . The receiving plate 13 is attached to the vertical frame plate 32. Therefore, the receiving plate 13 is provided with sufficient bending rigidity by the vertical frame plate 32 even if it is long in the vertical direction, and can reliably receive the rear ends 2a of the burn-in boards of all the stages without being deformed. Reference numeral 9 is a positioning hole, which is fitted with the upper and lower guide pins 104 and 105 when the board carrier 1 is placed in the constant temperature bath to position the board carrier. Reference numeral 8 is a sensor backing plate at that time.

【0027】両側板30には、側板加工時に窓31の一
部分を残してこれを側板面30bから内側に折り曲げた
折り曲げ部34によって溝30aを形成し、この部分で
バーンインボード2を多段として本例では10段に支持
するようにしている。又本例のボードキャリア1は、I
Cを無風加熱できるように蓋40を装備している。蓋4
0は、図8(d)に示すように、右側の実線で示す閉鎖
位置Aでバーンインボード2のガスケット25に圧接
し、ICを表面24との間で閉鎖する縁部分41を有す
る。
A groove 30a is formed on each of the side plates 30 by a bent portion 34 in which a part of the window 31 is left to be bent inward from the side plate surface 30b when the side plate is processed, and the burn-in board 2 is multi-staged at this portion. Then I try to support it in 10 steps. The board carrier 1 of this example is I
The lid 40 is equipped so that C can be heated without wind. Lid 4
As shown in FIG. 8D, 0 has an edge portion 41 that presses against the gasket 25 of the burn-in board 2 in the closed position A shown by the solid line on the right side and closes the IC with the surface 24.

【0028】蓋40を支持する蓋支持機構50は、蓋4
0がICを閉鎖する閉鎖位置Aと開放する開放位置Bと
の間で移動可能なように蓋40を支持する。そのため、
X方向に延設されY方向の両端部にあって各段で蓋40
を取り付け支持している梁棒51、これらを最上段でY
方向に枠状に結合している連結棒52、最上段の連結棒
52及び全段の梁棒51を貫通してこれらを固定してい
る縦連結棒53、底板12に固定された受け座54、一
端側がこの上に支持され他端側が最下段の梁棒5110
両端を介して縦連結軸53を支持するスプリング55、
等で構成されている。最上段の連結棒52の中央位置に
は、蓋支持機構50を介して蓋40を押し下げられるよ
うに操作端として押し込みピン56が設けられている。
The lid support mechanism 50 for supporting the lid 40 is provided with the lid 4
0 supports the lid 40 so that it can move between a closed position A where it closes the IC and an open position B where it opens. for that reason,
The lids 40 extend in the X direction and are located at both ends in the Y direction at each stage.
Beam rods 51 which are attached and supported, and these are Y at the top.
Direction connecting frame 52, frame-like connecting bar 52, uppermost connecting bar 52 and vertical connecting bar 53 penetrating through all the beam bars 51 and fixing them, receiving seat 54 fixed to bottom plate 12 , A spring 55 having one end side supported thereon and the other end side supporting the vertical connection shaft 53 through both ends of the beam bar 51 10 at the bottom stage,
Etc. A push-in pin 56 is provided at the central position of the uppermost connecting rod 52 as an operating end so that the lid 40 can be pushed down via the lid supporting mechanism 50.

【0029】恒温槽100には、駆動機構として2台の
蓋開閉用エアシリンダ110が設けられている。エアシ
リンダ110は、ロッド111を備えていて、駆動され
たときに、押し込みピン56を備えた蓋支持機構50を
介して蓋40を閉鎖位置Aと開放位置Bとの間で移動さ
せる。即ち、本例では、ロッド111が所定距離だけ突
き出すことにより、押し込みピン56、連結棒52、縦
連結軸53及び梁棒5110を介してスプリング55の力
に抗して蓋40を開放位置Bから閉鎖位置Aまで移動さ
せると共に、ロッド111が引っ込んで元の位置に復帰
することにより、スプリング55の力によって蓋40が
閉鎖位置Aから開放位置Bまで移動する。
The constant temperature bath 100 is provided with two air cylinders 110 for opening and closing the lid as a drive mechanism. The air cylinder 110 includes a rod 111, and when driven, moves the lid 40 between a closed position A and an open position B via a lid support mechanism 50 including a push pin 56. That is, in this example, the rod 111 is projected by a predetermined distance to open the lid 40 against the force of the spring 55 through the push pin 56, the connecting rod 52, the vertical connecting shaft 53, and the beam rod 51 10 to the open position B. From the closed position A to the closed position A, the rod 111 retracts and returns to the original position, and the force of the spring 55 moves the lid 40 from the closed position A to the open position B.

【0030】恒温槽100でICのバーンイン試験を行
うときには、ICを装着したバーンインボード2を搭載
したボードキャリア1を恒温槽の槽内120へ搬入/搬
出し、槽内120で位置決めした後蓋40を開閉するこ
とになる。この場合、これらの操作を全て人が行うこと
も当然可能であるが、本例ではこのような操作を自動的
に行えるようにしている。即ち、センサ130がボード
キャリア1の所定位置を検知すると、この信号を蓋開閉
制御器140に送り、蓋開閉用エアシリンダ110を作
動させるようにしている。
When carrying out the burn-in test of the IC in the constant temperature bath 100, the board carrier 1 having the burn-in board 2 having the IC mounted therein is carried in / out of the inside 120 of the constant temperature bath and positioned in the inside 120 of the rear cover 40. Will be opened and closed. In this case, it is naturally possible for a person to perform all of these operations, but in the present example, such operations are automatically performed. That is, when the sensor 130 detects a predetermined position of the board carrier 1, this signal is sent to the lid opening / closing controller 140 to operate the lid opening / closing air cylinder 110.

【0031】恒温槽100は、図示していないがバーン
イン試験のための通常の構成として、加熱器や送風機等
を備えていて、ボードキャリア1の幅X方向に平行層流
から成る熱風が図示しない断熱壁で囲われている槽内を
循環するように構成されている。
Although not shown, the constant temperature bath 100 is provided with a heater, a blower, etc. as a normal structure for the burn-in test, and hot air consisting of parallel laminar flow in the width X direction of the board carrier 1 is not shown. It is configured to circulate in a tank surrounded by a heat insulating wall.

【0032】以上のような挿抜装置はバーンイン試験に
おいて次のように作動してその作用効果を発揮する。恒
温槽100の外でバーンイン試験を行うべきICをバー
ンインボード2のICソケット21上に装着し、そのエ
ッジ2bを手前側にして図3の右側のボードキャリア1
の前側からY2 方向に溝30aに沿って受け板13に当
たるまでバーンインボードを挿入する。この場合IC挿
抜機を使用すれば、バーンインボード上へのICの装着
及びそのバーンインボードのボードキャリアへの搭載を
自動的に行うことが可能である。
The above insertion / extraction device operates in the following manner in the burn-in test and exerts its function and effect. An IC to be subjected to a burn-in test outside the constant temperature bath 100 is mounted on the IC socket 21 of the burn-in board 2, and its edge 2b is the front side, and the board carrier 1 on the right side in FIG.
The burn-in board is inserted from the front side of the board along the groove 30a in the Y 2 direction until it hits the receiving plate 13. In this case, if an IC inserter / extractor is used, it is possible to automatically mount the IC on the burn-in board and mount the burn-in board on the board carrier.

【0033】このように本発明を適用した受け板13に
よれば、従来のようにバーンインボードの前後端をボー
ドキャリアから突出させるのに較べて、バーンインボー
ドの整列及び位置決めが容易である。又、ボードキャリ
アの搬送中におけるバーンインボードの安定性が良い。
As described above, according to the receiving plate 13 to which the present invention is applied, alignment and positioning of the burn-in board are easier than in the case where the front and rear ends of the burn-in board are projected from the board carrier as in the conventional case. Further, the stability of the burn-in board during the transportation of the board carrier is good.

【0034】全てのバーンインボードが搭載されたボー
ドキャリア1は、無人搬送車(AGV)等の適当な搬送
手段で恒温槽100の前まで搬送され、恒温槽内に移載
される。このAGVは、図示しないが、ボードキャリア
の搬送及び恒温槽への出し入れを自動的に行えるよう
に、恒温槽との間を橋渡ししつつボードキャリア1を押
してこれを恒温槽内のローラ105上に移載する。
The board carrier 1 on which all the burn-in boards are mounted is transported to the front of the constant temperature bath 100 by an appropriate transport means such as an automated guided vehicle (AGV), and transferred into the constant temperature bath. Although not shown, this AGV pushes the board carrier 1 while bridging between the AGV and the thermostat so that the board carrier can be automatically transferred and put in and out of the thermostat, and the AGV is placed on the roller 105 in the thermostat. Reprint.

【0035】このとき、恒温槽の入口側には、従来の装
置に設けられていたバーンインボード挿抜のための機構
を設けていないので、ボードキャリアの恒温槽内への乗
り移りが安全且つ容易になる。又、恒温槽の入口側の空
間を狭くしてその分だけ恒温槽を小型化することができ
る。
At this time, since the mechanism for inserting and removing the burn-in board, which is provided in the conventional apparatus, is not provided on the inlet side of the constant temperature oven, the transfer of the board carrier into the constant temperature oven becomes safe and easy. . In addition, the space on the inlet side of the constant temperature oven can be narrowed to reduce the size of the constant temperature oven accordingly.

【0036】恒温槽100内に入れられたボードキャリ
ア1は、ローラ105のうち回転駆動されるローラによ
って図1のY1 方向に恒温槽の奥側に搬送され、図2の
センサ130が図3のセンサ用当て板8を検知すること
により、図1の下側及び図5に示すように、ボードキャ
リア1はその先端から少し突出したバーンインボード2
の肩部2cが抜去棒7に当たった位置で停止する。この
初期状態では、シリンダロッド4aは縮んでいて、抜去
棒7も初期位置にあって動かされていない。そして、爪
部材3も係合穴11a、12aから離脱した初期位置に
あり、バーンインボード2も当然コネクタ101に挿入
されていない。図6では、このときの爪部材3の状態を
二点鎖線で示している。
The board carrier 1 placed in the constant temperature bath 100 is conveyed to the back side of the constant temperature bath in the Y 1 direction of FIG. 1 by the roller of the rollers 105 which is driven to rotate, and the sensor 130 of FIG. As shown in the lower side of FIG. 1 and in FIG. 5, the board carrier 1 detects the sensor contact plate 8 of FIG.
The shoulder portion 2c stops at a position where it hits the extraction rod 7. In this initial state, the cylinder rod 4a is contracted, and the extraction rod 7 is also in the initial position and is not moved. The claw member 3 is also at the initial position where it is disengaged from the engagement holes 11a and 12a, and the burn-in board 2 is not inserted into the connector 101 as a matter of course. In FIG. 6, the state of the claw member 3 at this time is indicated by a two-dot chain line.

【0037】シリンダ装置4が作動し、ロッド4aが連
結軸7aを押すと、抜去棒7、支持ピン5を介して爪部
材3がY1 の挿入方向に動く。これにより、爪部材3の
カム面3cがカムフォロア6で案内され、爪部材3はY
1 方向へ動くと共に時計方向に回転し、図6において爪
部材3の爪3aだけを二点鎖線で示すように、爪3aが
係合穴12aの中に入り込む。図1の下側部分の二点鎖
線及び図5の平面図でもこの状態を示している。そして
この状態では、カムフォロア6がカム面3cのY1 方向
に向いた面に接触していて、爪部材3がこれから更にY
1 方向に動くと、同じ方向のカム面に案内されて爪3a
も同じY1 方向に動くことになる。
When the cylinder device 4 is actuated and the rod 4a pushes the connecting shaft 7a, the claw member 3 moves in the Y 1 insertion direction via the extraction rod 7 and the support pin 5. As a result, the cam surface 3c of the claw member 3 is guided by the cam follower 6, and the claw member 3 moves in the Y direction.
The claw 3a moves in one direction and rotates clockwise, and the claw 3a is inserted into the engagement hole 12a as shown by the chain double-dashed line of the claw member 3 in FIG. This state is also shown in the two-dot chain line in the lower part of FIG. 1 and in the plan view of FIG. Then, in this state, the cam follower 6 is in contact with the surface of the cam surface 3c facing the Y 1 direction, and the claw member 3 is further moved to the Y direction.
When moving in one direction, the pawl 3a is guided by the cam surface in the same direction.
Also moves in the same Y 1 direction.

【0038】シリンダロッド4aが更に伸びて爪部材3
が更にY1 方向に動くと、爪3a部分のみを一点鎖線で
示すように、爪3aが係合穴12aの縁に当たったP3
位置になり、この部分を押してボードキャリア1をY1
方向に動かし、爪部材3及びボードキャリア1が最終的
に実線で示すP4 位置に到達する。
The cylinder rod 4a further extends and the claw member 3
Is further moved in the Y 1 direction, as shown by the alternate long and short dash line of the claw 3a, the claw 3a hits the edge of the engaging hole 12a, P 3
Position and press this part to move the board carrier 1 to Y 1
Then, the claw member 3 and the board carrier 1 finally reach the position P 4 shown by the solid line.

【0039】この間に抜去棒7も爪部材3と同じ動きを
していて、二点鎖線で示す初期位置から実線で示す最終
位置まで移動している。この場合、爪3aがP2 の位置
にあるときには、抜去棒7とバーンインボード2の肩部
2cとは接触しているが、P 2 位置からP3 位置までは
爪部材3及び抜去棒7だけが動き、ボードキャリア1、
従ってバーンインボード2は動かないので、抜去棒7と
バーンインボード2の肩部2cとの間にはP2 からP3
までの間隔dが開くことになる。
During this time, the removal rod 7 also moves in the same manner as the claw member 3.
And, from the initial position shown by the two-dot chain line to the final position shown by the solid line
It has moved to the position. In this case, the claw 3a is P2Position of
The pull-out bar 7 and the shoulders of the burn-in board 2 when
It is in contact with 2c, but P 2Position to P3Up to the position
Only the claw member 3 and the removal bar 7 move, and the board carrier 1,
Therefore, since the burn-in board 2 does not move,
P between the shoulder 2c of the burn-in board 22To P3
The distance d up to will be opened.

【0040】このようなボードキャリア1の動きによ
り、その受け板13に後端2aが当たるように位置決め
されていたバーンインボード2は、爪3aのP3 の位置
のときから受け板13に押されてY1 方向に動き、爪3
aがP4 位置になったときにはバーンインボード2のエ
ッジ2bがコネクタ101に挿入されていて、バーンイ
ンボードの挿入が完了する。このようなバーンインボー
ド2の初期位置及び抜去完了の最終位置は、図1ではそ
れぞれ下及び上の部分、図4では最終位置、図5で初期
位置として示されている。
Due to the movement of the board carrier 1 as described above, the burn-in board 2 positioned so that the rear end 2a abuts the receiving plate 13 is pushed by the receiving plate 13 from the position of P 3 of the claw 3a. Move in the Y 1 direction and claw 3
When a reaches the P 4 position, the edge 2b of the burn-in board 2 has been inserted into the connector 101, and the insertion of the burn-in board is completed. The initial position of the burn-in board 2 and the final position of the removal completion are shown as the lower and upper parts in FIG. 1, the final position in FIG. 4, and the initial position in FIG.

【0041】以上のようなバーンインボードの挿入装置
によれば、恒温槽の上下3本のガイドピン104とこれ
に対応する位置決め用穴9との嵌合によってボードキャ
リアがY1 方向に正確に案内され、その動きが後端の受
け板13を介してそのままバーンインボードの後端2a
に伝達され、バーンインボード2も正確にY1 方向に動
くと共に、後端2aには左右の両端に均一な力が加えら
れる。その結果、バーンインボード2はコネクタ101
に確実に挿入される。即ち、従来、連結棒で結合してい
るため左右独立して動き得る挿入棒によるバーンインボ
ード後端の直接付勢では、左右で付勢力がアンバランス
になる可能性があったが、この問題が解消された。
According to the burn-in board insertion device described above, the board carrier is accurately guided in the Y 1 direction by fitting the upper and lower three guide pins 104 of the constant temperature bath and the corresponding positioning holes 9. Then, the movement of the burn-in board via the receiving plate 13 at the rear end is performed as it is at the rear end 2a of the burn-in board.
The burn-in board 2 also moves accurately in the Y 1 direction, and a uniform force is applied to the left and right ends of the rear end 2a. As a result, the burn-in board 2 has the connector 101.
Is securely inserted into. That is, in the past, the direct urging of the burn-in board rear end by the insertion rod that can move independently left and right due to the connection with the connecting rod may cause an imbalance in the urging force on the left and right. It was resolved.

【0042】又、受け板13はボードキャリア本体に取
り付けられるので、十分補強されていて、上下方向にお
いて中央部分が膨らむような変形がなく、バーンインボ
ードの全体を均一に必要十分な付勢力で付勢することが
できる。即ち、従来の装置の挿入棒の強度不足や、付勢
支持しているピンによる挿入力不足を解消することがで
きる。
Further, since the receiving plate 13 is attached to the main body of the board carrier, it is sufficiently reinforced so that there is no deformation such that the central portion swells in the vertical direction, and the burn-in board is uniformly applied with a necessary and sufficient urging force. It can be energized. That is, it is possible to solve the shortage of the strength of the insertion rod of the conventional device and the shortage of the insertion force due to the pin that is biased and supported.

【0043】更に、ボードキャリアの構造及び強度を利
用してバーンインボードを押すようにするので、ボード
キャリアを動かすための係合穴を先端近傍に配置できる
ため、駆動装置で動かすときの直接的な力の作用点とな
る係合穴と挿入力の受け点であるコネクタ位置との距離
を短くすることができる。その結果、従来の装置のよう
に先端から後端まで長く伸びた連結棒を使用したものに
較べて、動作部分の寸法誤差が大幅に小さくなり、バー
ンインボードのコネクタへの挿入量を精度良く定めるこ
とができる。
Further, since the burn-in board is pushed by utilizing the structure and strength of the board carrier, the engaging hole for moving the board carrier can be arranged in the vicinity of the tip, so that it can be directly moved by the driving device. It is possible to shorten the distance between the engagement hole, which is the force application point, and the connector position, which is the insertion force reception point. As a result, the dimensional error of the operating part is significantly smaller than that of a conventional device that uses a connecting rod that extends from the front end to the rear end, and the amount of insertion into the burn-in board connector is accurately determined. be able to.

【0044】以上のような左右及び上下の何れの方向に
も均一な押し力の付与、押す方向の一定性、押し込み量
の精度向上等により、本例の挿抜装置ではバーンインボ
ード挿入時のコンタクトエラーを完全に防止することが
できる。そして、バーンイン試験の完全自動化に大きく
寄与することができる。
Due to the uniform application of the pushing force in both the left and right and up and down directions, the uniformity of the pushing direction, the improvement of the pushing amount accuracy, etc., the contact error at the time of inserting the burn-in board in the insertion / removal device of this example. Can be completely prevented. And, it can greatly contribute to the complete automation of the burn-in test.

【0045】バーンインボード2がコネクタ101に挿
入されると、図示しない中継ボードを介して、恒温槽の
外に設置されているドライバーボードとICが電気的に
接続される。
When the burn-in board 2 is inserted into the connector 101, the driver board installed outside the thermostat and the IC are electrically connected via a relay board (not shown).

【0046】ボードキャリア1が最終位置になると、セ
ンサ130がオンになり、その信号により、蓋開閉制御
器140が蓋開閉用エアシリンダ110を駆動する。こ
れにより、押し込みピン56が押し込まれ、連結棒5
2、縦連結軸53、梁棒51を介して各段の蓋40が押
し下げられ、その縁部分41がガスケット25に圧接す
る。このときスプリング55は押し下げられて圧縮され
る。これにより、蓋40はバーンインボード2に装着さ
れているICを密閉して十分なシール効果を発揮する。
When the board carrier 1 reaches the final position, the sensor 130 is turned on, and the lid opening / closing controller 140 drives the lid opening / closing air cylinder 110 in response to the signal. As a result, the push-in pin 56 is pushed in, and the connecting rod 5
2, the lid 40 of each step is pushed down via the vertical connecting shaft 53 and the beam rod 51, and the edge portion 41 thereof is brought into pressure contact with the gasket 25. At this time, the spring 55 is pushed down and compressed. As a result, the lid 40 seals the IC mounted on the burn-in board 2 and exhibits a sufficient sealing effect.

【0047】ICが蓋40で閉鎖されると、恒温槽10
0では加熱器や送風機が運転され、槽内120では平行
層流の熱風が循環する。この熱風は両側板30に開けら
れた窓31を通過して蓋40の外を流れ、蓋40の内部
のICは外部から風が入らないと共に内部空気の対流も
最小限に抑制されていて無風条件に近い無風状態で加熱
される。その結果、風速のバラツキや風の当たる側と当
たらない側とができるような不具合がなくなり、全ての
ICが同じ条件で加熱昇温されて同じ温度になり、極め
て高精度の熱処理をすることができる。
When the IC is closed by the lid 40, the constant temperature bath 10
At 0, a heater and a blower are operated, and parallel laminar hot air circulates in the tank 120. This hot air flows through the windows 31 formed in the both side plates 30 and flows out of the lid 40, and the IC inside the lid 40 has no wind from the outside and the convection of the internal air is suppressed to the minimum. It is heated in a windless condition close to the conditions. As a result, there is no variation in the wind speed, and there is no problem that the side that is hit by the wind and the side that is not hit by the wind are eliminated, and all ICs are heated and raised to the same temperature under the same conditions, and extremely high-precision heat treatment can be performed. it can.

【0048】槽内120及び蓋40の内部のICが所定
温度になると、外部のドライバーボードによってICが
動作して、種々のテストが行われる。バーンイン試験が
終了すると、加熱器や送風機が停止し、バーンイン装置
の全体の制御装置から蓋開閉制御器140に信号が与え
られ、蓋開閉制御器140は蓋40を開くように制御す
る。これにより、蓋開閉用エアシリンダの押し出してい
たロッド111が引っ込められ、スプリング55のバネ
力によって閉鎖時とは反対の動作で各段の蓋が開かれ
る。
When the ICs inside the tank 120 and inside the lid 40 reach a predetermined temperature, the ICs are operated by an external driver board to perform various tests. When the burn-in test is completed, the heater and the blower are stopped, a signal is given to the lid opening / closing controller 140 from the overall control unit of the burn-in device, and the lid opening / closing controller 140 controls to open the lid 40. As a result, the rod 111 pushed out of the lid opening and closing air cylinder is retracted, and the spring force of the spring 55 opens the lid of each stage by an operation opposite to the closing operation.

【0049】ロッド111が退避して押し込みピン56
との圧接関係が外れると、ボードキャリア1が可動な状
態になり、シリンダ装置4が作動し、バーンインボード
2がコネクタ101から抜去される。このときの動作
は、基本的には挿入時の反対であるが、以下のとおりで
ある。
The rod 111 retracts and the push pin 56
When the pressure contact relationship with is released, the board carrier 1 becomes movable, the cylinder device 4 operates, and the burn-in board 2 is removed from the connector 101. The operation at this time is basically the opposite of the insertion, but is as follows.

【0050】シリンダ装置4が作動すると、そのロッド
4aが縮んで連結棒7aを介して抜去棒7を抜去方向Y
2 に動かすと共に、爪部材3を同方向に動かす。抜去動
作の初めでは、抜去棒7とバーンインボードの肩部2c
との間に挿入時に生じた間隔dがあり、ボードキャリア
1が動くことなく抜去棒7だけが動く。この動きが進行
して間隔dがなくなると、抜去棒7によって肩部2cが
2 方向に押され、バーンインボード2がコネクタ10
1から抜去される。
When the cylinder device 4 is actuated, the rod 4a contracts and the removal rod 7 is removed in the removal direction Y via the connecting rod 7a.
Move to 2 and move claw member 3 in the same direction. At the beginning of the removing operation, the removing rod 7 and the shoulder portion 2c of the burn-in board
There is a gap d between the and when the board carrier 1 is inserted, and only the extraction bar 7 moves without the board carrier 1 moving. When this movement progresses and the interval d disappears, the pull-out rod 7 pushes the shoulder portion 2c in the Y 2 direction, so that the burn-in board 2 is connected to the connector 10.
Removed from 1.

【0051】この動きと共に、爪部材3のカム面3cが
カムフォロア6の上端部分で案内され、爪部材3がY2
方向に動いて爪3aがP3 の位置に復帰すると、カム面
3cがカムフォロア6の円筒状の表面を下ることによ
り、爪部材3が反時計方向に回転して爪3aが係合穴1
2aから脱出する。これにより、ボードキャリア1のY
2 方向への動作が可能になり、恒温槽から取り出せるよ
うになる。この場合、ボードキャリアをAGVによって
自動的に取り出し、その上に移載することが可能であ
る。
With this movement, the cam surface 3c of the claw member 3
Guided by the upper end of the cam follower 6, the claw member 32
The claw 3a moves to the direction P3When returning to the position of, the cam surface
3c descends the cylindrical surface of the cam follower 6.
The pawl member 3 rotates counterclockwise and the pawl 3a engages with the engaging hole 1
Escape from 2a. As a result, Y of the board carrier 1
2It is possible to move in the direction, and it can be taken out from the constant temperature bath.
Growls In this case, board carrier by AGV
It is possible to take out automatically and transfer it onto it.
It

【0052】以上のようなバーンインボード挿抜装置に
よれば、上下の1種類のシリンダ装置の動作のみでバー
ンインボードをコネクタに挿抜することができるので、
挿抜装置の構成が簡単で動作が確実且つ迅速である。
又、従来の装置のうち、多段に積載されたそれぞれのバ
ーンインボード自体に係合ピンや係合穴を設けた装置に
較べると、上下の2個所だけに係合機構を設けるので、
装置全体の構成が簡単になると共に、バーンインボード
の間隔を広くする必要がないため、ボードキャリア及び
恒温槽の高さ方向の寸法を減少させることができる。な
お、挿入棒形式の従来装置でも、上下端には連結棒があ
るので、本例の装置がこの種の従来装置よりも高さ寸法
が大きくなるということはない。
According to the burn-in board insertion / removal device as described above, the burn-in board can be inserted / removed in / from the connector only by the operation of one type of upper and lower cylinder devices.
The structure of the insertion / removal device is simple, and the operation is reliable and quick.
Further, compared with the conventional device in which the engaging pins and the engaging holes are provided on each burn-in board itself stacked in multiple stages, the engaging mechanism is provided only at the upper and lower two places.
Since the structure of the entire apparatus is simplified and it is not necessary to increase the interval between the burn-in boards, it is possible to reduce the size of the board carrier and the constant temperature tank in the height direction. Even in the conventional device of the insertion rod type, since the connecting rods are provided at the upper and lower ends, the height of the device of this example does not become larger than that of the conventional device of this type.

【0053】図10は挿抜装置の他の例を示す。本例の
装置では、図6等に示す爪部材3に代えて、独立のカム
機構、ソレノイド、エアシリンダ等から成り係合部材及
び係合オンオフ手段としての爪10a及び本体部10b
を備えた爪出入装置10が設けられる。本体部10bは
スライドベース10cでY方向に移動可能に支持され、
移動用軸7bを介して抜去棒7に結合されている。
FIG. 10 shows another example of the insertion / extraction device. In the apparatus of the present example, instead of the claw member 3 shown in FIG. 6 and the like, an engaging member, a claw 10a as an engagement ON / OFF means, and a main body portion 10b are formed of an independent cam mechanism, a solenoid, an air cylinder, and the like.
A nail loading / unloading device 10 is provided. The main body portion 10b is supported by the slide base 10c so as to be movable in the Y direction,
It is connected to the extraction rod 7 via a moving shaft 7b.

【0054】この装置でも、図6の装置と同様に、爪1
0aが本体部10bの往復移動に対応して、挿入時には
爪10aをP2 位置に図示のように突出させて係合穴1
2aに入れ、抜去棒7及び移動用軸7bを介してシリン
ダ装置4によってP3 からP 4 位置まで動かすことがで
きる。抜去時にはP3 位置で二点鎖線で示すように係合
穴12aから脱出させる。その結果、バーンインボード
をコネクタから抜去することができる。なお、図の左側
に二点鎖線で示すように、移動用軸7bに代えて爪出入
装置用としてのエアシリンダ等から成る移動装置10d
を設けてもよい。
Also in this apparatus, as in the apparatus shown in FIG.
0a corresponds to the reciprocating movement of the main body part 10b, and at the time of insertion
Claw 10a2Engagement hole 1 by projecting to the position as shown
2a and insert it through the extraction rod 7 and the moving shaft 7b.
D by device 43To P FourCan be moved to a position
Wear. P when removing3Engage in position as shown by chain double-dashed line
Escape from the hole 12a. As a result, burn-in board
Can be removed from the connector. The left side of the figure
As shown by the chain double-dashed line,
Moving device 10d including an air cylinder for the device
May be provided.

【0055】なお以上では、1台のボードキャリアを恒
温槽に搭載する例について説明したが、例えば4台のボ
ードキャリアを恒温槽内に上下左右に2段/2列に搭載
するような場合にも本発明を適用できる。又、蓋40を
装備しない通常のバーンインボードにも適用できること
は勿論である。
In the above, an example in which one board carrier is mounted in a constant temperature bath has been described. For example, in the case where four board carriers are mounted in the constant temperature bath vertically and horizontally in two rows and two rows. The present invention can also be applied. Further, it goes without saying that the present invention can be applied to a normal burn-in board that is not equipped with the lid 40.

【0056】[0056]

【発明の効果】以上の如く本発明によれば、請求項1の
発明においては、構造体を形成する上部材及び下部材を
備えたボードキャリアに積載されたバーンインボードを
バーンイン装置のコネクタに挿入及び該コネクタから抜
去するための挿抜装置が、所定の構成を持つ受け部と係
合部と係合部材と移動手段と係合オンオフ手段とを有す
るので、移動手段がバーンインボードを挿入する方向に
係合部材を移動させると、この移動に対応して係合部材
が係合部と係合するように係合オンオフ手段が機能し、
バーンインボードを積載したボードキャリアをバーンイ
ンボード挿入方向に移動させ、ボードキャリアの受け部
がバーンインボードの挿入方向の後端を受け止めること
により、その支持力でバーンインボードをコネクタに挿
入することができる。
As described above, according to the present invention, in the invention of claim 1, the burn-in board loaded on the board carrier having the upper member and the lower member forming the structure is inserted into the connector of the burn-in device. Also, since the insertion / removal device for withdrawing from the connector has the receiving portion, the engaging portion, the engaging member, the moving means, and the engaging on / off means having a predetermined configuration, the moving means is in the direction of inserting the burn-in board. When the engaging member is moved, the engaging on / off means functions so that the engaging member engages with the engaging portion in response to this movement,
By moving the board carrier on which the burn-in board is loaded in the burn-in board insertion direction so that the receiving portion of the board carrier receives the rear end of the burn-in board in the insertion direction, the supporting force can insert the burn-in board into the connector.

【0057】上記において、係合部はボードキャリアの
上部材又は下部材のうちの少なくとも何れかの部材に設
けられるが、ボードキャリアが十分な強度を持つもので
あれば、例えば下部材だけに係合部を設けるようにして
もよい。即ち、そのときでも、移動手段等で下部材を挿
入方向に動かすことにより、ボードキャリアが変形する
ことなく一体的形状を保持することにより、受け部がバ
ーンインボードを正しく挿入方向に移動させてコネクタ
に挿入することができる。但し、係合部を上部材と下部
材の両方に設ければ、上下を均一的に挿入方向に移動さ
せられるので、挿入動作が一層確実になる。
In the above, the engaging portion is provided on at least one of the upper member and the lower member of the board carrier, but if the board carrier has sufficient strength, for example, only the lower member is engaged. You may make it provide a joint part. That is, even at that time, by moving the lower member in the inserting direction by the moving means or the like, the board carrier maintains the integral shape without being deformed, and the receiving portion correctly moves the burn-in board in the inserting direction. Can be inserted into. However, if the engaging portions are provided on both the upper member and the lower member, the upper and lower parts can be uniformly moved in the inserting direction, so that the inserting operation becomes more reliable.

【0058】ボードキャリアが挿入方向に移動してバー
ンインボードがコネクタに挿入され、バーンイン試験を
行うと、バーンインボードをコネクタから抜去すること
になるが、このときには、移動手段が係合部材を抜去方
向に移動させ、係合オンオフ手段がこの移動に伴って係
合部と係合部材との係合を解除するように作用するの
で、バーンインボード抜去時のボードキャリアの抜去方
向への移動が可能になる。なお、バーンインボードのコ
ネクタからの抜去は、抜去棒等の抜去用の部材を挿入用
移動手段との兼用により又は他の移動手段によって駆動
する等、適当な方法で行うことができる。
When the burn-in board is inserted into the connector by moving the board carrier in the inserting direction and a burn-in test is performed, the burn-in board is removed from the connector. At this time, the moving means removes the engaging member in the removing direction. Since the engagement on / off means acts to release the engagement between the engagement portion and the engagement member along with this movement, it is possible to move the board carrier in the removal direction when removing the burn-in board. Become. The burn-in board can be removed from the connector by an appropriate method such as using a removal member such as a removal rod also as the insertion moving means or by driving it with another moving means.

【0059】以上のような挿抜装置によれば、係合部や
係合部材を上板もしくは下板の何れか又は双方に対して
設けるので、バーンイン装置を構成する恒温槽等の入口
付近には、従来バーンインボード挿入のために設けられ
ていた挿入機構のような障害物がなくなるので、ボード
キャリアの恒温槽内への移載が容易且つ安全になる。
又、恒温槽もその分だけ小型化される。又、全てのバー
ンインボードに対して係合ピン等を設けた従来の装置の
ようにバーンインボードの積載間隔を広くする必要がな
いので、高さ寸法の減少と構造の簡素化を図ることがで
きる。
According to the insertion / extraction device as described above, the engaging portion and the engaging member are provided on either or both of the upper plate and the lower plate, so that the vicinity of the inlet of the constant temperature bath or the like which constitutes the burn-in device. Since the obstruction such as the insertion mechanism which has been conventionally provided for inserting the burn-in board is eliminated, the transfer of the board carrier into the constant temperature bath becomes easy and safe.
Also, the constant temperature bath is downsized accordingly. Further, since it is not necessary to widen the loading interval of the burn-in boards unlike the conventional device in which the engaging pins and the like are provided for all the burn-in boards, it is possible to reduce the height dimension and simplify the structure. .

【0060】又、バーンインボードの後端を受け板で受
け、従来のようにバーンインボードの両端をボードキャ
リアから突出させないので、バーンインボードの整列及
び位置決めが容易になると共に、ボードキャリアにおけ
るバーンインボードの安定性も良くなって搬送性が向上
する。
Further, since the rear end of the burn-in board is received by the receiving plate and both ends of the burn-in board are not projected from the board carrier as in the conventional case, the burn-in board can be easily aligned and positioned and the burn-in board in the board carrier can be easily aligned. The stability is improved and the transportability is improved.

【0061】そして、ボードキャリア後端の受け部でバ
ーンインボードを受けてこれをコネクタに挿入するの
で、正確な挿入方向の維持、必要十分な挿入力の均一付
与、係合部の先端部配置が可能になることによる挿入量
の精度向上等により、バーンインボードのコネクタへの
挿入を確実にし、コンタクトエラーを完全に防止するこ
とができる。
Since the burn-in board is received by the receiving portion at the rear end of the board carrier and is inserted into the connector, the accurate insertion direction is maintained, necessary and sufficient insertion force is uniformly applied, and the tip portion of the engaging portion is arranged. By improving the accuracy of the insertion amount by making it possible, the insertion of the burn-in board into the connector can be ensured and the contact error can be completely prevented.

【0062】即ち、従来の各種バーンインボード挿抜装
置の問題点を総合的に解決し、バーンインボードの確実
な挿入動作、構造の簡素化、小型化、コスト低減、バー
ンイン試験システムにおけるボードキャリアの使用状態
の改善、自動化への適用性の向上、等の極めて有用な種
々の作用効果を得ることができる。
That is, the problems of the various conventional burn-in board insertion / removal devices are comprehensively solved, and the reliable insertion operation of the burn-in board, the simplification of the structure, the downsizing, the cost reduction, and the usage state of the board carrier in the burn-in test system are performed. And various applicability to automation can be obtained.

【0063】なお、係合部と係合部材と移動手段と係合
オンオフ手段とを上部材及び下部材に対応して設けれ
ば、ボードキャリアを全体的に均一に移動させることが
できる。その結果、バーンインボードのコネクタへの挿
入が一層確実になる。
If the engaging portion, the engaging member, the moving means and the engaging on / off means are provided corresponding to the upper member and the lower member, the board carrier can be moved uniformly as a whole. As a result, the insertion of the burn-in board into the connector becomes more reliable.

【0064】請求項2の発明においては、係合部を穴部
にし、係合部材をこの穴部に嵌脱される爪を備えた爪状
部材にするので、ボードキャリアには上部材又は下部材
から係合部として突出した形状のものが不要になる。そ
の結果、ボードキャリアの全体の高さを抑制して小型化
し、取扱性を良くすることができる。
In the invention of claim 2, since the engaging portion is a hole and the engaging member is a claw-shaped member having a claw that is inserted into and removed from the hole, the board carrier has an upper member or a lower member. It is not necessary to have a shape that protrudes from the member as the engaging portion. As a result, it is possible to suppress the overall height of the board carrier, downsize it, and improve the handleability.

【0065】請求項3の発明においては、移動手段によ
る係合部材の移動に対応して係合及び係合解除する動作
を可能にするカム機構を係合オンオフにするので、通常
移動手段に必要となる駆動装置以外の駆動機構が不要に
なる。その結果、移動手段のみを作動させることによっ
てバーンインボードの挿入が可能になり、動作や制御が
極めて簡略化され、作動の確実性及び信頼性を向上させ
ることができる。
According to the third aspect of the invention, the cam mechanism for enabling the engaging and disengaging operations corresponding to the movement of the engaging member by the moving means is engaged and disengaged. A drive mechanism other than the drive device is not required. As a result, the burn-in board can be inserted by operating only the moving means, the operation and control can be extremely simplified, and the reliability and reliability of the operation can be improved.

【0066】請求項4の発明においては、移動手段が係
合部材を抜去する方向に移動させるときにバーンインボ
ードをコネクタから抜去するように移動手段に結合され
た抜去部材を設け、係合オンオフ手段のカム機構を構成
する支持軸を抜去部材に取り付けるので、上記に加え
て、挿抜機構を一体化し、1種類の移動手段のみを作動
させることによってバーンインボードのコネクタへの挿
抜の全ての動作を行わせることができる。
According to the fourth aspect of the present invention, there is provided a removing member coupled to the moving means so as to remove the burn-in board from the connector when the moving means moves the engaging member in the removing direction. Since the support shaft that constitutes the cam mechanism is attached to the removal member, in addition to the above, the insertion / extraction mechanism is integrated and only one type of moving means is operated to perform all the operations of inserting / removing the burn-in board connector. Can be made.

【0067】又、係合部等と抜去部材とを全てボードキ
ャリアの挿入側に配置し、占有スペースを小さくして配
置の合理化を図ることができる。又、移動手段で移動さ
れる部分の距離を短縮し、バーンインボードのコネクタ
への挿入量を精度良く定めることが可能になる。その結
果、挿抜動作を合理化、簡素化し、装置の作動性及び信
頼性を一層向上させることができる。
Further, since the engaging portion and the removing member are all arranged on the insertion side of the board carrier, the occupied space can be reduced and the arrangement can be rationalized. Further, the distance of the portion moved by the moving means can be shortened, and the amount of insertion of the burn-in board into the connector can be accurately determined. As a result, the insertion / removal operation can be rationalized and simplified, and the operability and reliability of the device can be further improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明を適用した挿抜装置を備えた恒温槽内部
の側面図であり、上半分は挿入状態を示し下半分は抜去
状態を示す。
FIG. 1 is a side view of the inside of a thermostatic chamber equipped with an insertion / extraction device to which the present invention is applied, in which an upper half shows an inserted state and a lower half shows an extracted state.

【図2】上記恒温槽内部の正面図であり、図1の上下部
分に対応して上下に分けて示している。
FIG. 2 is a front view of the inside of the constant temperature bath, which is divided into upper and lower parts corresponding to the upper and lower parts of FIG.

【図3】上記挿抜装置を備えたボードキャリアの構成例
を示し、(a)は上部平面図で(b)は側面図である。
(a)では上半分に天板11の下の状態を示している。
FIG. 3 shows a configuration example of a board carrier including the insertion / extraction device, where (a) is a top plan view and (b) is a side view.
In (a), the state under the top plate 11 is shown in the upper half.

【図4】上記挿抜装置の上右側部分を示す平面図であ
る。
FIG. 4 is a plan view showing an upper right portion of the insertion / extraction device.

【図5】上記挿抜装置の下右側部分を示す平面図であ
る。
FIG. 5 is a plan view showing a lower right portion of the insertion / extraction device.

【図6】上記挿抜装置の下爪部材部分の構造及び動作を
示す側面図である。
FIG. 6 is a side view showing the structure and operation of the lower claw member portion of the insertion / extraction device.

【図7】(a)乃至(c)はバーンインボードの構造例
を示し、(a)は平面図、(b)は正面図、(c)はガ
スケット部及びステー部の部分図である。
7A to 7C show structural examples of a burn-in board, FIG. 7A is a plan view, FIG. 7B is a front view, and FIG. 7C is a partial view of a gasket portion and a stay portion.

【図8】(a)乃至(d)は、それぞれ、前記ボードキ
ャリアの正面図、側板の溝部分の縦断面図、連結棒の上
で切断した側板の一部分を示す横断面図及び蓋とバーン
インボードとを組み合わせたときの縦断面図である。
8A to 8D are respectively a front view of the board carrier, a vertical sectional view of a groove portion of a side plate, a lateral sectional view showing a part of the side plate cut on a connecting rod, and a lid and a burn-in. It is a longitudinal cross-sectional view when it is combined with a board.

【図9】(a)乃至(c)は上記ボードキャリアの一部
分を示し、(a)は側板上部の斜視図、(b)は上部の
蓋部分の正面図、(c)は下部の蓋支持部分の正面図で
ある。
9A to 9C show a part of the board carrier, FIG. 9A is a perspective view of a side plate upper portion, FIG. 9B is a front view of an upper lid portion, and FIG. 9C is a lower lid support. It is a front view of a part.

【図10】係合オンオフ手段の他の例の構造及び動作を
示す側面図である。
FIG. 10 is a side view showing the structure and operation of another example of the engagement on / off means.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ボードキャリア 2 バーンインボード 2a 後端 3 爪部材(係合部材) 3a 爪 3c カム面(係合オンオフ手段、カム機
構) 4 シリンダ装置(移動手段) 5 支持ピン(係合オンオフ手段、カム
機構、支持軸) 6 カムフォロア(係合オンオフ手段、
カム機構) 7 抜去棒(抜去部材) 8 センサ用当板 10 爪出入装置(係合部材、係合オンオ
フ手段) 10a 爪(係合部材、爪) 10b 本体部(係合オンオフ手段) 11 天板(上部材) 12 底板(下部材) 11a、12a 係合穴(係合部、穴部) 13 受け板(受け部) 100 バーンイン装置 101 コネクタ Y1 挿入方向 Y2 抜去方向
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Board carrier 2 Burn-in board 2a Rear end 3 Claw member (engaging member) 3a Claw 3c Cam surface (engaging on / off means, cam mechanism) 4 Cylinder device (moving means) 5 Support pin (engaging on / off means, cam mechanism, Support shaft 6 Cam follower (engagement on / off means,
Cam mechanism) 7 Removal bar (removal member) 8 Sensor contact plate 10 Claw insertion / removal device (engagement member, engagement on / off means) 10a Claw (engagement member, claw) 10b Main body part (engagement on / off means) 11 Top plate (Upper member) 12 Bottom plate (lower member) 11a, 12a Engagement holes (engaging portion, hole portion) 13 Receiving plate (receiving portion) 100 Burn-in device 101 Connector Y 1 insertion direction Y 2 Removal direction

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01R 31/26 G01R 31/28 - 31/3193 H01L 21/66 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G01R 31/26 G01R 31/28-31/3193 H01L 21/66

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 構造体を形成する上部材及び下部材を備
えたボードキャリアに積載されたバーンインボードをバ
ーンイン装置のコネクタに挿入及び該コネクタから抜去
するための挿抜装置において、 前記バーンインボードの挿入方向の後端を受けるように
前記ボードキャリアに固定された受け部と、前記上部材
又は下部材のうちの少なくとも何れかの部材に設けられ
た係合部と、該係合部と係合可能な係合部材と、該係合
部材を挿入及び抜去する方向に往復移動可能にする移動
手段と、前記係合部材が前記往復移動に対応して前記係
合部と往動時に係合し復動時に係合解除するように前記
係合部材の動作を可能にする係合オンオフ手段と、を有
することを特徴とする挿抜装置。
1. An insertion / extraction device for inserting and removing a burn-in board loaded on a board carrier having an upper member and a lower member forming a structure into a connector of a burn-in device, the insertion of the burn-in board. A receiving portion fixed to the board carrier so as to receive a rear end in a direction, an engaging portion provided on at least one of the upper member and the lower member, and the engaging portion can be engaged. An engaging member, a moving means capable of reciprocating in the direction of inserting and removing the engaging member, and the engaging member engaging with the engaging portion in the forward movement corresponding to the reciprocating movement and returning. An engaging and disengaging device that enables the engaging member to move so as to be disengaged when moving.
【請求項2】 前記係合部は穴部になっていて、前記係
合部材は前記穴部に嵌脱される爪を備えた爪状部材であ
ることを特徴とする請求項1に記載の挿抜装置。
2. The engagement member is a hole, and the engagement member is a claw-shaped member having a claw that is inserted into and removed from the hole. Insertion / extraction device.
【請求項3】 前記係合オンオフ手段は、前記係合部材
の前記動作が可能なように前記係合部材を回転可能に支
持する支持軸と前記該係合部材に設けられたカム面と前
記カム面を案内するカムフォロアとを備えたカム機構か
ら成ることを特徴とする請求項1に記載の挿抜装置。
3. The engagement on / off means includes a support shaft rotatably supporting the engagement member so that the operation of the engagement member is possible, a cam surface provided on the engagement member, and the support shaft. The insertion / extraction device according to claim 1, comprising a cam mechanism having a cam follower for guiding the cam surface.
【請求項4】 前記移動手段が前記係合部材を前記抜去
する方向に移動させるときに前記バーンインボードを前
記コネクタから抜去するように前記移動手段に結合され
た抜去部材を備え、前記支持軸は前記抜去部材に取り付
けられていることを特徴とする請求項3に記載の挿抜装
置。
4. A removing member coupled to the moving means for removing the burn-in board from the connector when the moving means moves the engaging member in the removing direction. The insertion / extraction device according to claim 3, wherein the insertion / extraction device is attached to the extraction member.
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