JP3386202B2 - Two-stage oil rotary vacuum pump - Google Patents
Two-stage oil rotary vacuum pumpInfo
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は２段式油回転真空ポン
プ、特に冷却方法の改良された２段式油回転真空ポンプ
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術及びその問題点】油によって潤滑とシール
を保ちながらシリンダ内でロータを回転させて容積排気
を行ない、大気中へ放出し得る油回転真空ポンプは手軽
であり多用されているが、中でもポンプ２台を直列に接
続して２段式としたものは圧縮比が高く、到達真空度が
高いので各方面で常用されている。
【０００３】代表的な２段式油回転真空ポンプの横断面
図を図４に、縦断面図を図５に示した。図４に見られる
ように、容積の大きい第１段のポンプ１０と、容積の小
さい第２段のポンプ２０とが、前カバー２、中間板３、
後ろカバー４に挟まれ、主軸５を共通させて直列に接続
され、ポンプケース２１の内部において殆ど油の中に浸
漬され配置されている。また、前カバー２から出る主軸
５には冷却ファン７が取り付けられており、この主軸５
はカップリング８を介してモータ９に連結されている。
【０００４】図５は第１段のポンプ１０の断面を示し、
概してはシリンダ１２と、その内部において偏心位置で
回転されるロータ１４とからなっている。ロータ１４は
内部のコイルスプリングによって２枚のベーン１５を逆
方向に突出させており、図５においてロータ１４を時計
方向に回転させた時に、コイルスプリングの力と遠心力
とによってベーン１５がシリンダ１２の内壁上を摺動し
て、吸気口１１から気体を吸入し、圧縮し、排気口１６
へ排出することによってポンプとして機能する。この排
気の原理は第２段のポンプ２０についても同様で、ポン
プ２０はベーン２５を有するロータ２４とシリンダ２２
とから構成されており、かつ第１段のポンプ１０の排気
口１６が第２段のポンプ２０の図示されていない吸気口
と接続されている。
【０００５】なお、ロータ１４の回転中は摺動部分の潤
滑とシールのためにポンプケース２１内の油が供給、循
環されるが、この油は油送りポンプ、すなわち、後カバ
ー４内を貫通する主軸５の後端に設けられており、この
主軸５を駆動軸とする図示しない小さい油送りポンプに
よって、図示しない経路を経て、第２段のポンプ２０の
シリンダ２２から中央板３を経て第１段のポンプ１０の
シリンダ１２へ送られる。
【０００６】以上は２段式油回転真空ポンプの代表例で
あるが、周知のように、油回転真空ポンプの到達圧力は
使用している油の蒸気圧によって定まり、ポンプの作動
中に油の温度が上昇すると到達圧力が上昇するので、油
の冷却、特に到達圧力と直接に関連するシリンダ内の油
の冷却、すなわちシリンダの冷却は極めて重要な意味を
持っており、そのためにも上述したように冷却ファンが
取り付けられている。
【０００７】シリンダの冷却という立場からみた、上述
の代表例の２段式油回転真空ポンプの組立て構造を第１
従来例として図２に示した。すなわちモータ９に接続さ
れている主軸５に冷却ファン７が取り付けられ、その主
軸５を共通させて第１段のポンプ１０、第２段のポンプ
２０が接続されており（ポンプ１０、２０としては図示
されていない）、それらのシリンダ１２、２２はケース
２１内において油ｏに殆ど浸漬するように配置されてい
る。またポンプケース２１の外周には多数のフィン２６
が設けられている。
【０００８】この第１従来例の作用を説明するに、モー
タ９が回転されると、主軸５に取り付けられた冷却ファ
ン７によって発生した風はポンプケース２１のフィン２
６に沿って矢印のように流れてポンプケース１２とその
内部に含まれる油を冷却し、その冷却された油によって
第１シリンダ１２、第２シリンダ２２が間接的に冷却さ
れる。
【０００９】この油による間接冷却は冷却効率が低いの
で、第１シリンダ１２、第２シリンダ２２は共に比較的
高温に保たれる。各シリンダ１２、２２の温度が高いと
いうことは、それらの内部に存在する潤滑、シールのた
めの油が蒸気圧の高い状態にあることを意味し、これに
よって到達圧力が制限される。特に第１シリンダ１２内
の油の蒸気圧の高いことは被排気容器への油蒸気の逆流
（いわゆるベーパーバック）を生じて被排気容器を汚染
するほか、第１シリンダ１２内は油送りポンプから最も
遠い位置にあって循環油量も少ないので、油膜切れを起
こし易く、時として第１段のポンプ１０の焼き付きを発
生するという問題がある。中でも被排気容器の汚染は純
度の高いことが要求される半導体の製造ラインに使用す
る場合には致命的な欠陥となる。
【００１０】これに対処するものとして、第２従来例の
直接空冷方式による２段式油回転真空ポンプがあり、そ
の組立て構造を図３に示した。モータ９に第１段のポン
プ１０、第２段のポンプ２０が共通の主軸５を直結させ
ており、その主軸５に冷却ファン７が取り付けられてい
ることは第１従来例と同様であるが、各段のポンプ１
０、２０を構成する第１シリンダ１２、第２シリンダ２
２は直接に大気と接しており、かつそれらの表面にはフ
ィン３３が設けられている。また、これらの全周は間隙
（大気）をあけて構造体としての側面パネル３４で覆わ
れている。そして側面パネル３４の一部に一体的に油タ
ンク３５が設けられており、ここに貯留される油ｏは油
送りポンプによって各シリンダ１２、２２へ供給循環さ
れる。
【００１１】第２従来例の作用を説明すれば、モータ９
の回転により冷却ファン７で発生する風が第１シリンダ
１２、第２シリンダ２２の表面と側面パネル３４との間
をフィン３３に沿い、矢印のように流れることによっ
て、各シリンダ１２、２２が直接に冷却される。
【００１２】このように直接的に空冷すると、第１シリ
ンダ１２、第２シリンダ２２は共に比較的低温に保た
れ、従って各シリンダ１２、２２内に存在する油は蒸気
圧が低い状態に保たれる。その点では第１従来例と異な
って、到達圧力が低くなるほか、ベーパーバック、潤滑
油の油膜切れも抑制されるのであるが、温度が低いため
に第１従来例では僅かであった凝縮性ガスの液化が大で
あるという欠点を持っている。すなわち、凝縮性ガス
（例えば水蒸気）が液化して油中に混入して来ると、到
達圧力や排気速度に代表されるポンプの排気性能が低下
し、油の潤滑性、防錆性も低下するので、短期間の中に
ポンプの分解整備が必要となる。
【００１３】
【発明が解決しようとする問題点】本発明は上述の問題
に鑑みてなされたものであり、ベーパーバックや油膜切
れによる機械的焼き付きを防ぎ、かつ凝縮性ガスの液化
をも防ぐことの出来る２段式油回転真空ポンプを提供す
ることを目的とする。
【００１４】
【問題点を解決するための手段】以上の目的は、被排気
容器側に接続される第１段のポンプと、該第１段のポン
プから排気される気体を吸入して大気へと放出する第２
段のポンプとを有する２段式油回転真空ポンプにおい
て、 前記第１段のポンプのシリンダは大気に接してお
り、直接空冷されて、前記第２段のポンプのシリンダよ
りも低温とされ、 前記第２段のポンプのシリンダは油に
浸漬されており、該油を介して間接的に冷却されて、前
記第１段のポンプのシリンダよりも高温とされることを
特徴とする２段式油回転真空ポンプ、によって達成され
る。
【００１５】
【作用】被排気容器側、すなわち高真空側の第１段のポ
ンプのシリンダを直接空冷しているので、間接油冷され
る第２段のポンプのシリンダよりも低温に保たれて、ベ
ーパーバックやシリンダの油膜切れを防ぐことが出来、
低真空側の第２段のポンプのシリンダを間接油冷してい
るので、直接空冷される第１段のポンプのシリンダより
も高温に保たれて、凝縮性ガスの液化を防止することが
出来る。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の実施例による２段式油回転真
空ポンプについて、特にシリンダの冷却という立場か
ら、図面を参照して説明する。
【００１７】すなわち、図１は本発明の実施例による２
段式油回転真空ポンプの組立て構造を示す図である。第
１段のポンプ１０と第２段のポンプ２０は直列に接続さ
れてモータ９とは共通の主軸５によって直結されている
（ポンプ１０、２０としては図示されていない）。そし
て第１段のポンプ１０のシリンダである第１シリンダ１
２は表面にフィン４３を備えて大気に接しており、その
周囲は間隙（大気）をあけて構造体を兼ねる側面パネル
４４に覆われている。第２段のポンプ２０のシリンダで
ある第２シリンダ２２はポンプケース４１内に配置され
て、その殆どを油ｏに浸漬されており、ポンプケース４
１の外周には多数のフィン４６が設けられている。第１
段のポンプ１０と第２段のポンプ２０とをモータ９に直
結する主軸５に冷却ファン７が取り付けられていること
は、第１従来例、第２従来例と同様である。
【００１８】本実施例の作用を以下に説明するに、モー
タ９が回転され、主軸５に取り付けられている冷却ファ
ン７によって発生する風は、図１の矢印で示すように、
先ず第１シリンダ１２と側面パネル４４との間をフィン
４３に沿って流れて第１シリンダ１２を直接的に空冷し
た後に、第２シリンダ２２が油ｏに浸漬されているポン
プケース４１の外周に設けられたフィン４６に沿って流
れてポンプケース４１及びその内部に貯留されている油
ｏを冷却し、そしてその冷却された油ｏによって第２シ
リンダ２２が冷却される。すなわち、冷却ファン７から
の風は油ｏを介して第２シリンダ２２を間接的に冷却す
るようになっている。
【００１９】本実施例の２段式油回転真空ポンプによれ
ば、被排気容器への油蒸気の逆流（ベーパーバック）を
防ぐために、また油膜切れを防ぐためにも、油の蒸気圧
を低く保ちたい、換言すれば油の温度を低く保ちたい第
１シリンダ１２を比較的低温に保ち、かつ凝縮性ガスの
液化を防ぐために、温度を高く保ちたい第２シリンダ２
２を比較的高温に保つことが出来て、それらの温度差は
２０℃〜３０℃にも達する。そしてその効果は、例えば
第１シリンダ１２における油の蒸気圧は第１従来例の場
合と比較して１桁〜２桁低下させ得る程でありながら、
凝縮性ガスの液化は第１従来例と同様に少ない。
【００２０】以上、本発明の実施例について説明した
が、勿論、本発明はこれに限定されることなく、本発明
の技術的思想に基いて種々の変形が可能である。
【００２１】例えば実施例においては、第１段のポンプ
１０と第２段のポンプ２０とを直接に接続し、かつ共通
の主軸５をモータ９に直結して作動させるようにした
が、各段のポンプは夫々独立に設置して運転するものと
し、第１段のポンプ１０の排気口を第２段のポンプ２０
の吸気口へ接続してもよい。
【００２２】また実施例においては油送りポンプを主軸
５の端部に設けたが、他の場所であってもよい。その場
合には油送りポンプは主軸から駆動力を伝達される。
【００２３】また、実施例においては、各段のポンプ１
０、２０を駆動する主軸５に対しモータ９をカップリン
グ８で直結したが、カップリング８の代わりにベルトで
伝達するようにしてもよい。
【００２４】また、実施例においては、回転翼型の油回
転真空ポンプを採り上げたが、本発明の技術的思想はカ
ム型および揺動ピストン型の２段式油回転真空ポンプに
も適用され得る。
【００２５】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の２段式油回
転真空ポンプによれば、第２段のポンプのシリンダとの
比較で温度を低めに冷却したい第１段のポンプのシリン
ダを低温に保つことが出来、ベーパーバックやシリンダ
内での油膜切れを防止出来るので、被排気容器の汚染や
ポンプの機械的焼き付きを防止することが出来、かつ第
１段のポンプのシリンダとの比較で温度を高めに冷却し
たい第２段のポンプのシリンダを高温に保つことが出
来、凝縮性ガスの液化を防止することが出来るので、ポ
ンプの排気性能の低下による分解整備の間隔を長期化し
得る。また、油を新しく補給する場合、新油に含まれて
いる水分を除去する効果もある。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a two-stage oil rotary vacuum pump, and more particularly to a two-stage oil rotary vacuum pump having an improved cooling method. 2. Description of the Related Art Oil rotary vacuum pumps capable of rotating a rotor in a cylinder to discharge a volume while releasing lubrication and sealing with oil and discharging the volume to the atmosphere are simple and widely used. Among them, a two-stage type in which two pumps are connected in series has a high compression ratio and a high degree of ultimate vacuum, and is therefore commonly used in various fields. FIG. 4 shows a cross-sectional view of a typical two-stage oil rotary vacuum pump, and FIG. 5 shows a vertical cross-sectional view thereof. As shown in FIG. 4, the first-stage pump 10 having a large volume and the second-stage pump 20 having a small volume include the front cover 2, the intermediate plate 3,
It is sandwiched between the rear covers 4, connected in series with the same main shaft 5, and almost immersed in oil inside the pump case 21. A cooling fan 7 is attached to the main shaft 5 coming out of the front cover 2.
Is connected to a motor 9 via a coupling 8. FIG. 5 shows a cross section of the first stage pump 10.
It generally comprises a cylinder 12 and a rotor 14 which is rotated in an eccentric position within it. The rotor 14 has the two vanes 15 projecting in the opposite direction by an internal coil spring. When the rotor 14 is rotated clockwise in FIG. Slides on the inner wall of the air intake port 11 to inhale and compress the gas from the intake port 11,
It functions as a pump by discharging to The principle of this evacuation is the same for the second stage pump 20. The pump 20 includes a rotor 24 having vanes 25 and a cylinder 22.
And the exhaust port 16 of the first-stage pump 10 is connected to an intake port (not shown) of the second-stage pump 20. While the rotor 14 is rotating, oil in the pump case 21 is supplied and circulated for lubrication and sealing of the sliding portion. This oil passes through an oil feed pump, that is, the inside of the rear cover 4. A small oil feed pump (not shown) having the main shaft 5 as a drive shaft is provided at a rear end of the main shaft 5 through a path (not shown) from the cylinder 22 of the second-stage pump 20 through the center plate 3. It is sent to the cylinder 12 of the single-stage pump 10. The above is a typical example of the two-stage oil rotary vacuum pump. As is well known, the ultimate pressure of the oil rotary vacuum pump is determined by the vapor pressure of the oil used, and during operation of the pump, As the temperature rises, the ultimate pressure rises, so cooling of the oil, especially of the oil in the cylinder, which is directly related to the ultimate pressure, i.e. the cooling of the cylinder, has a very important significance, and as described above Has a cooling fan installed. [0007] From the standpoint of cooling the cylinder, the assembling structure of the above-described two-stage oil rotary vacuum pump of the representative example will be described first.
FIG. 2 shows a conventional example. That is, the cooling fan 7 is attached to the main shaft 5 connected to the motor 9, and the first-stage pump 10 and the second-stage pump 20 are connected by using the main shaft 5 in common. (Not shown), the cylinders 12 and 22 are arranged in the case 21 so as to be almost immersed in the oil o. A large number of fins 26 are provided on the outer periphery of the pump case 21.
Is provided. To explain the operation of the first conventional example, when the motor 9 is rotated, the wind generated by the cooling fan 7 attached to the main shaft 5 causes the fins 2 of the pump case 21 to rotate.
The oil flows in the pump case 12 and the oil contained therein by flowing along the arrow 6 as shown by the arrow, and the first cylinder 12 and the second cylinder 22 are indirectly cooled by the cooled oil. Since the cooling efficiency of the indirect cooling using oil is low, both the first cylinder 12 and the second cylinder 22 are kept at a relatively high temperature. The high temperature of each cylinder 12, 22 means that the oil for lubrication and sealing existing inside them is in a state of high vapor pressure, thereby limiting the ultimate pressure. In particular, the high vapor pressure of the oil in the first cylinder 12 causes a reverse flow of oil vapor to the container to be evacuated (so-called vapor back) and contaminates the container to be evacuated. Since the circulating oil amount is small at the farthest position, there is a problem that the oil film is apt to be broken, and sometimes the first stage pump 10 is seized. Above all, contamination of the container to be evacuated is a fatal defect when used in a semiconductor production line that requires high purity. As a countermeasure for this, there is a second prior art two-stage oil rotary vacuum pump using a direct air cooling system, and its assembling structure is shown in FIG. The first stage pump 10 and the second stage pump 20 directly connect the common main shaft 5 to the motor 9, and the cooling fan 7 is attached to the main shaft 5 as in the first conventional example. , Each stage pump 1
First cylinder 12 and second cylinder 2 constituting 0, 20
2 are in direct contact with the atmosphere, and fins 33 are provided on their surfaces. The entire periphery is covered with a side panel 34 as a structure with a gap (atmosphere) therebetween. An oil tank 35 is provided integrally with a part of the side panel 34, and the oil o stored therein is supplied and circulated to each of the cylinders 12 and 22 by an oil feed pump. The operation of the second conventional example will be described.
The wind generated by the cooling fan 7 due to the rotation of the first and second cylinders 12 and 22 flows along the fins 33 between the surfaces of the first and second cylinders 12 and 22 and the side panel 34 as shown by arrows, so that the cylinders 12 and 22 are directly connected to each other. Is cooled. When air is directly cooled in this manner, the first cylinder 12 and the second cylinder 22 are both kept at a relatively low temperature, and the oil present in each of the cylinders 12 and 22 is kept at a low vapor pressure. It is. In this respect, unlike the first conventional example, the ultimate pressure is reduced, and the vapor back and the breakage of the oil film of the lubricating oil are also suppressed. It has the disadvantage that gas liquefaction is large. That is, when the condensable gas (for example, water vapor) is liquefied and mixed into the oil, the pumping performance represented by the ultimate pressure and the pumping speed is reduced, and the lubricity and rust prevention of the oil are also reduced. Therefore, it is necessary to disassemble and maintain the pump within a short period of time. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to prevent mechanical seizure due to a vapor back or oil film shortage and also prevent liquefaction of condensable gas. It is an object of the present invention to provide a two-stage oil rotary vacuum pump that can perform the above. [0014] The object of the present invention is to solve the above problems.
A first stage pump connected to the container side, and the first stage pump
The second that inhales the gas exhausted from the pump and releases it to the atmosphere
Two-stage oil rotary vacuum pump having a two-stage pump
Te, the cylinder of the first stage of the pump is your contact with the atmosphere
And is directly cooled by air, and is cooled by the cylinder of the second stage pump.
And the cylinder of the second stage pump is
Immersed and cooled indirectly through the oil
This is achieved by a two-stage oil rotary vacuum pump characterized in that the temperature is higher than the cylinder of the first stage pump . Since the cylinder of the first-stage pump on the side of the container to be evacuated, that is, on the high vacuum side, is directly air-cooled, it is indirectly oil-cooled.
It is kept at a lower temperature than the cylinder of the second stage pump, and it is possible to prevent vapor back and oil film shortage of the cylinder,
Since the cylinder of the second-stage pump on the low vacuum side is indirectly oil-cooled, the cylinder of the first-stage pump directly cooled by air is used.
Is also kept at a high temperature, and liquefaction of the condensable gas can be prevented. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A two-stage oil rotary vacuum pump according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings, particularly from the standpoint of cooling a cylinder. That is, FIG. 1 shows an embodiment 2 of the present invention.
It is a figure which shows the assembly structure of a step type oil rotary vacuum pump. The first-stage pump 10 and the second-stage pump 20 are connected in series, and are directly connected to the motor 9 by the common main shaft 5 (the pumps 10 and 20 are not shown). The first cylinder 1 which is the cylinder of the first stage pump 10
2 has a fin 43 on its surface and is in contact with the atmosphere, and its periphery is covered by a side panel 44 also serving as a structure with a gap (atmosphere). A second cylinder 22, which is a cylinder of the second stage pump 20, is disposed in a pump case 41, and most of the second cylinder 22 is immersed in oil o.
A large number of fins 46 are provided on the outer periphery of one. First
The cooling fan 7 is attached to the main shaft 5 directly connecting the second-stage pump 10 and the second-stage pump 20 to the motor 9 as in the first conventional example and the second conventional example. The operation of the present embodiment will be described below. The wind generated by the cooling fan 7 mounted on the main shaft 5 when the motor 9 is rotated is as shown by the arrow in FIG.
First, after flowing between the first cylinder 12 and the side panel 44 along the fins 43 to directly air-cool the first cylinder 12, the outer periphery of the pump case 41 in which the second cylinder 22 is immersed in oil o The oil flows along the fins 46 provided to cool the pump case 41 and the oil o stored therein, and the cooled oil o cools the second cylinder 22. That is, the wind from the cooling fan 7 indirectly cools the second cylinder 22 via the oil o. According to the two-stage oil rotary vacuum pump of this embodiment, the oil vapor pressure is kept low in order to prevent reverse flow (vapor back) of oil vapor to the container to be evacuated and also to prevent oil film shortage. In other words, the first cylinder 12 whose oil temperature is to be kept low is kept relatively low and the second cylinder 2 whose temperature is kept high to prevent liquefaction of condensable gas.
2 can be kept relatively high and their temperature difference can be as high as 20-30 ° C. The effect is, for example, that the vapor pressure of the oil in the first cylinder 12 can be reduced by one to two digits compared to the case of the first conventional example.
Liquefaction of the condensable gas is small as in the first conventional example. Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is, of course, not limited thereto, and various modifications can be made based on the technical concept of the present invention. For example, in the embodiment, the first-stage pump 10 and the second-stage pump 20 are directly connected, and the common main shaft 5 is directly connected to the motor 9 for operation. Pumps are independently installed and operated, and the exhaust port of the first stage pump 10 is connected to the second stage pump 20.
May be connected to the intake port. In the embodiment, the oil feed pump is provided at the end of the main shaft 5, but may be provided at another location. In that case, the driving force is transmitted from the main shaft to the oil feed pump. In the embodiment, the pump 1 of each stage is used.
Although the motor 9 is directly connected to the main shaft 5 that drives 0 and 20 by the coupling 8, the transmission may be performed by a belt instead of the coupling 8. Further, in the embodiment, the rotary vane type oil rotary vacuum pump is adopted, but the technical idea of the present invention can be applied to a cam type and a oscillating piston type two-stage oil rotary vacuum pump. . As described above, according to the two-stage oil rotary vacuum pump of the present invention, the cylinder of the second-stage pump is connected to the cylinder of the second-stage pump.
In comparison, the first stage pump cylinder, whose temperature is to be cooled lower, can be kept at a low temperature, preventing vapor back and running out of oil film in the cylinder, preventing contamination of the container to be exhausted and mechanical seizure of the pump. it can be, and the first
Cooling to a higher temperature compared to a single-stage pump cylinder
Since the temperature of the cylinder of the second stage pump can be kept high and the liquefaction of the condensable gas can be prevented, the interval of the disassembly and maintenance due to the decrease in the pumping performance of the pump can be prolonged. In addition, when replenishing oil, there is also an effect of removing water contained in the new oil.
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例による２段式油回転真空ポンプ
の組立て構造を示す概略断面図である。
【図２】間接油冷される第１従来例の２段式油回転真空
ポンプの組立て構造を示す概略断面図である。
【図３】直接空冷される第２従来例の２段式油回転真空
ポンプの組立て構造を示す概略断面図である。
【図４】代表的な間接油冷による２段式油回転真空ポン
プの横断面図である。
【図５】同ポンプの縦断面を示し、図４の［５］−
［５］線方向の断面図である。
【符号の説明】
７ 冷却ファン
９ モータ
１２ 第１シリンダ
２２ 第２シリンダ
４１ ポンプケース
ｏ 油BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a schematic sectional view showing an assembly structure of a two-stage oil rotary vacuum pump according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a schematic sectional view showing an assembling structure of a two-stage oil rotary vacuum pump of a first conventional example which is indirectly oil-cooled. FIG. 3 is a schematic sectional view showing an assembly structure of a two-stage oil rotary vacuum pump of a second conventional example which is directly cooled by air. FIG. 4 is a cross-sectional view of a typical indirect oil-cooled two-stage oil rotary vacuum pump. FIG. 5 shows a vertical cross section of the pump, [5]-of FIG.
[5] FIG. 5 is a cross-sectional view in the line direction. [Description of Signs] 7 Cooling fan 9 Motor 12 First cylinder 22 Second cylinder 41 Pump case o Oil
フロントページの続き (72)発明者 立野 俊一 鹿児島県姶良郡横川町上ノ3313 アルバ ック精機株式会社内 (56)参考文献 特開 平３−279683（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−87991（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−212687（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−123389（ＪＰ，Ａ) 実開 昭49−142608（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭53−39807（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭55−17920（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F04C 23/00 - 29/10 Continuation of the front page (72) Inventor Shunichi Tateno 3313 Ueno, Yokokawa-cho, Aira-gun, Kagoshima Prefecture Inside Albac Seiki Co., Ltd. (56) References JP-A-3-279683 (JP, A) JP-A-61-87991 ( JP, A) JP-A-60-212687 (JP, A) JP-A-55-123389 (JP, A) Actually open Showa 49-142608 (JP, U) Actually open Showa 53-39807 (JP, U) Actually open 1980 (JP, U) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) F04C 23/00-29/10
Claims (1)
プと、該第１段のポンプから排気される気体を吸入して
大気へと放出する第２段のポンプとを有する２段式油回
転真空ポンプにおいて、 前記第１段のポンプのシリンダは大気に接しており、直
接空冷されて、前記第２段のポンプのシリンダよりも低
温とされ、 前記第２段のポンプのシリンダは油に浸漬されており、
該油を介して間接的に冷却されて、前記第１段のポンプ
のシリンダよりも高温とされる ことを特徴とする２段式
油回転真空ポンプ。(57) [Claim 1] The first stage pump connected to the container to be evacuated
And the gas exhausted from the first stage pump
Two-stage oil circuit having a second-stage pump discharging to the atmosphere
In the rotary vacuum pump, the cylinder of the first stage pump is in contact with the atmosphere,
Air-cooled and lower than the cylinder of the second stage pump
And the second stage pump cylinder is immersed in oil,
Indirectly cooled through the oil, the first stage pump
A two-stage oil rotary vacuum pump characterized in that the temperature is higher than that of the cylinder .
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Applications Claiming Priority (1)
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| JP24755693A JP3386202B2 (en) | 1993-09-08 | 1993-09-08 | Two-stage oil rotary vacuum pump |
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