JP3381327B2 - 荷電粒子線照射装置および荷電粒子線転写装置 - Google Patents
荷電粒子線照射装置および荷電粒子線転写装置Info
- Publication number
- JP3381327B2 JP3381327B2 JP22249193A JP22249193A JP3381327B2 JP 3381327 B2 JP3381327 B2 JP 3381327B2 JP 22249193 A JP22249193 A JP 22249193A JP 22249193 A JP22249193 A JP 22249193A JP 3381327 B2 JP3381327 B2 JP 3381327B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core
- particle beam
- charged particle
- coil
- provided inside
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Electron Beam Exposure (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、荷電粒子線を目標物に
照射する荷電粒子線照射装置に係り、特に荷電粒子線の
照射によりマスクに形成されたパターンを試料に転写す
る荷電粒子線転写装置に関する。
照射する荷電粒子線照射装置に係り、特に荷電粒子線の
照射によりマスクに形成されたパターンを試料に転写す
る荷電粒子線転写装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の装置として、電磁レンズにより
荷電粒子線を目標物上に結像させる光学系内に、荷電粒
子線を偏向させる偏向器や、荷電粒子線の非点収差を補
正する非点収差補正器を配設したものがある。これら偏
向器や非点収差補正器としては、強磁性体製のコア内に
サドル型コイルを配置したものが知られているが、これ
ら偏向器や非点収差補正器は電磁レンズから光軸方向へ
離れた位置に電磁レンズから独立して設けられていた。
荷電粒子線を目標物上に結像させる光学系内に、荷電粒
子線を偏向させる偏向器や、荷電粒子線の非点収差を補
正する非点収差補正器を配設したものがある。これら偏
向器や非点収差補正器としては、強磁性体製のコア内に
サドル型コイルを配置したものが知られているが、これ
ら偏向器や非点収差補正器は電磁レンズから光軸方向へ
離れた位置に電磁レンズから独立して設けられていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した装置では、電
磁レンズの光軸と偏向器や非点収差補正器の光軸とがず
れていると、荷電粒子線の偏向や非点収差の補正に狂い
が生じて目標物上の所定位置に正しく荷電粒子線を結像
させることができず、荷電粒子線の収差も増加する。こ
のため、偏向器や非点収差補正器を各々の光軸に対して
高精度に対称に製造するとともに、これら偏向器や非点
収差補正器を電磁レンズの光軸に対して正確に軸合わせ
する必要があり、装置の製造や保守管理が面倒であっ
た。
磁レンズの光軸と偏向器や非点収差補正器の光軸とがず
れていると、荷電粒子線の偏向や非点収差の補正に狂い
が生じて目標物上の所定位置に正しく荷電粒子線を結像
させることができず、荷電粒子線の収差も増加する。こ
のため、偏向器や非点収差補正器を各々の光軸に対して
高精度に対称に製造するとともに、これら偏向器や非点
収差補正器を電磁レンズの光軸に対して正確に軸合わせ
する必要があり、装置の製造や保守管理が面倒であっ
た。
【０００４】本発明の目的は、偏向器や非点収差補正器
の軸合わせの手間を省略できる荷電粒子線照射装置およ
び荷電粒子線転写装置を提供することにある。
の軸合わせの手間を省略できる荷電粒子線照射装置およ
び荷電粒子線転写装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】一実施例を示す図１に対
応付けて説明すると、請求項１の発明では、コア６ａ内
部に設けたコイル６ｂの磁場により荷電粒子線を目標物
Ｍ上に結像させる電磁レンズ６と、コア６ａ内部に設け
たコイル５ａの磁場により荷電粒子線を偏向させて目標
物Ｍ上での荷電粒子線の結像位置を調整する偏向手段５
とを備えた荷電粒子線照射装置において、電磁レンズ６
のコア６ａと偏向手段５のコア６ａとを共通化し、この
共通化したコア６ａ内部に偏向手段５のコイル５ａを設
けた。請求項２の発明では、コア８ａ内部に設けたコイ
ル８ｂの磁場により荷電粒子線を目標物Ｗ上に結像させ
る電磁レンズ８と、コア８ａ内部に設けたコイル１０ａ
の磁場により荷電粒子線の非点収差を補正する非点収差
補正手段１０とを備えた荷電粒子線照射装置において、
電磁レンズ８のコア８ａと非点収差補正手段１０のコア
８ａとを共通化し、この共通化したコア８ａ内部に非点
収差補正手段のコア１０ａを設けた。請求項３の発明で
は、コア８ａ，１１ａ内部に設けたコイル８ｂ，１１ｂ
の磁場により荷電粒子線を結像させる一対の電磁レンズ
８，１１と、コア８ａ内部に設けたコイル７ａ，７ｂの
磁場により荷電粒子線を偏向させる偏向手段７とを備
え、これら電磁レンズ８，１１と偏向手段７とにより、
マスクＭを透過した荷電粒子線を試料Ｗ上の所望位置に
結像させる荷電粒子線転写装置において、一対の電磁レ
ンズ８，１１のうち、マスクＭ側に配置される電磁レン
ズ８のマスクＭ側の磁極のコア８ａと偏向手段７のコア
８ａとを共通化し、この共通化したコア８ａ内部に偏向
手段７のコイル７ａ，７ｂを設けた。請求項４の発明で
は、コア８ａ，１１ａ内部に設けたコイル８ｂ，１１ｂ
の磁場により、マスクＭを透過した荷電粒子線を試料Ｗ
上に結像させる一対の電磁レンズ８，１１と、コア８ａ
内部に設けたコイル１０ａの磁場により荷電粒子線の非
点収差を補正する非点収差補正手段１０とを備えた荷電
粒子線転写装置において、一対の電磁レンズ８，１１の
うち、マスクＭ側に配置される電磁レンズ８の試料Ｗ側
の磁極のコア８ａと非点収差補正手段１０のコア８ａと
を共通化し、この共通化したコア８ａ内部に非点収差補
正手段１０のコイル１０ａを設けた。
応付けて説明すると、請求項１の発明では、コア６ａ内
部に設けたコイル６ｂの磁場により荷電粒子線を目標物
Ｍ上に結像させる電磁レンズ６と、コア６ａ内部に設け
たコイル５ａの磁場により荷電粒子線を偏向させて目標
物Ｍ上での荷電粒子線の結像位置を調整する偏向手段５
とを備えた荷電粒子線照射装置において、電磁レンズ６
のコア６ａと偏向手段５のコア６ａとを共通化し、この
共通化したコア６ａ内部に偏向手段５のコイル５ａを設
けた。請求項２の発明では、コア８ａ内部に設けたコイ
ル８ｂの磁場により荷電粒子線を目標物Ｗ上に結像させ
る電磁レンズ８と、コア８ａ内部に設けたコイル１０ａ
の磁場により荷電粒子線の非点収差を補正する非点収差
補正手段１０とを備えた荷電粒子線照射装置において、
電磁レンズ８のコア８ａと非点収差補正手段１０のコア
８ａとを共通化し、この共通化したコア８ａ内部に非点
収差補正手段のコア１０ａを設けた。請求項３の発明で
は、コア８ａ，１１ａ内部に設けたコイル８ｂ，１１ｂ
の磁場により荷電粒子線を結像させる一対の電磁レンズ
８，１１と、コア８ａ内部に設けたコイル７ａ，７ｂの
磁場により荷電粒子線を偏向させる偏向手段７とを備
え、これら電磁レンズ８，１１と偏向手段７とにより、
マスクＭを透過した荷電粒子線を試料Ｗ上の所望位置に
結像させる荷電粒子線転写装置において、一対の電磁レ
ンズ８，１１のうち、マスクＭ側に配置される電磁レン
ズ８のマスクＭ側の磁極のコア８ａと偏向手段７のコア
８ａとを共通化し、この共通化したコア８ａ内部に偏向
手段７のコイル７ａ，７ｂを設けた。請求項４の発明で
は、コア８ａ，１１ａ内部に設けたコイル８ｂ，１１ｂ
の磁場により、マスクＭを透過した荷電粒子線を試料Ｗ
上に結像させる一対の電磁レンズ８，１１と、コア８ａ
内部に設けたコイル１０ａの磁場により荷電粒子線の非
点収差を補正する非点収差補正手段１０とを備えた荷電
粒子線転写装置において、一対の電磁レンズ８，１１の
うち、マスクＭ側に配置される電磁レンズ８の試料Ｗ側
の磁極のコア８ａと非点収差補正手段１０のコア８ａと
を共通化し、この共通化したコア８ａ内部に非点収差補
正手段１０のコイル１０ａを設けた。
【０００６】
【作用】請求項１の発明では、電磁レンズ６のコイル６
ｂと偏向手段５のコイル５ｂとが共通のコア６ａ内部に
設けられ、これら電磁レンズ６と偏向手段５との組立て
時の軸合わせ作業が不要となる。請求項２の発明では、
電磁レンズ８のコイル８ｂと非点収差補正手段１０のコ
イル１０ａとが共通のコア８ａ内部に設けられ、これら
電磁レンズ８と非点収差補正手段１０との組立て時の軸
合わせ作業が不要となる。請求項３の発明では、マスク
Ｍ側に配置される電磁レンズ８のコイル８ｂと偏向手段
７のコイル７ａ，７ｂとが共通のコア８ａ内部に設けら
れ、これら電磁レンズ８と偏向手段７との組立て時の軸
合わせ作業が不要となる。請求項４の発明では、マスク
Ｍ側に配置される電磁レンズ８のコイル８ｂと非点収差
補正手段１０のコイル１０ａとが共通のコア８ａ内部に
設けられ、これら電磁レンズ８と非点収差補正手段１０
との組立て時の軸合わせ作業が不要となる。
ｂと偏向手段５のコイル５ｂとが共通のコア６ａ内部に
設けられ、これら電磁レンズ６と偏向手段５との組立て
時の軸合わせ作業が不要となる。請求項２の発明では、
電磁レンズ８のコイル８ｂと非点収差補正手段１０のコ
イル１０ａとが共通のコア８ａ内部に設けられ、これら
電磁レンズ８と非点収差補正手段１０との組立て時の軸
合わせ作業が不要となる。請求項３の発明では、マスク
Ｍ側に配置される電磁レンズ８のコイル８ｂと偏向手段
７のコイル７ａ，７ｂとが共通のコア８ａ内部に設けら
れ、これら電磁レンズ８と偏向手段７との組立て時の軸
合わせ作業が不要となる。請求項４の発明では、マスク
Ｍ側に配置される電磁レンズ８のコイル８ｂと非点収差
補正手段１０のコイル１０ａとが共通のコア８ａ内部に
設けられ、これら電磁レンズ８と非点収差補正手段１０
との組立て時の軸合わせ作業が不要となる。
【０００７】なお、本発明の構成を説明する上記課題を
解決するための手段と作用の項では、本発明を分かり易
くするために実施例の図を用いたが、これにより本発明
が実施例に限定されるものではない。
解決するための手段と作用の項では、本発明を分かり易
くするために実施例の図を用いたが、これにより本発明
が実施例に限定されるものではない。
【０００８】
【実施例】以下、図１〜図３を参照して本発明を電子線
縮小転写装置に適用した一実施例を説明する。図１は本
実施例の電子線縮小転写装置の光学系の断面を光軸Ｏに
対する片側のみ示すもので、後述する検出器１３、非点
補正コイルおよびマスク以外はすべて光軸Ｏに対して回
転対称である。図１において１は電子線Ｂを射出する電
子銃、２，３は電子銃１からの電子線Ｂを後述する偏向
器５の偏向中心位置に設定されたクロスオーバーＣ１に
結像させる第１および第２のコンデンサレンズ、４はク
ロスオーバーＣ１へ向う電子線Ｂを正方形に整形するア
パーチャー、５はクロスオーバーＣ１を通過した電子線
Ｂを特定の方向へ所望量偏向させる偏向器、６は偏向器
５で偏向された電子線Ｂを光軸Ｏと平行な光束に修正す
る第３のコンデンサレンズであり、この第３のコンデン
サレンズ６で修正された電子線ＢがマスクＭの特定の視
野に照射される。
縮小転写装置に適用した一実施例を説明する。図１は本
実施例の電子線縮小転写装置の光学系の断面を光軸Ｏに
対する片側のみ示すもので、後述する検出器１３、非点
補正コイルおよびマスク以外はすべて光軸Ｏに対して回
転対称である。図１において１は電子線Ｂを射出する電
子銃、２，３は電子銃１からの電子線Ｂを後述する偏向
器５の偏向中心位置に設定されたクロスオーバーＣ１に
結像させる第１および第２のコンデンサレンズ、４はク
ロスオーバーＣ１へ向う電子線Ｂを正方形に整形するア
パーチャー、５はクロスオーバーＣ１を通過した電子線
Ｂを特定の方向へ所望量偏向させる偏向器、６は偏向器
５で偏向された電子線Ｂを光軸Ｏと平行な光束に修正す
る第３のコンデンサレンズであり、この第３のコンデン
サレンズ６で修正された電子線ＢがマスクＭの特定の視
野に照射される。
【０００９】７はマスクＭを透過した電子線Ｂを偏向す
る偏向器、８は偏向器７で偏向された電子線Ｂを円形ア
パーチャー９と光軸方向に同一位置のクロスオーバーＣ
２に導く第１の投影レンズ、１０は電子線Ｂの非点収差
を補正する非点収差補正器、１１はクロスオーバーＣ２
を通過した電子線Ｂを光軸Ｏと平行な光束に修正する第
２の投影レンズであり、この第２の投影レンズ１１で修
正された電子線Ｂがウエハ等の試料Ｗの特定の視野に照
射されて、マスクＭの電子線照射領域に形成されたパタ
ーンが適当な縮小比で試料Ｗに転写される。試料Ｗへの
電子線Ｂの照射状況は検出器１３で検出される。
る偏向器、８は偏向器７で偏向された電子線Ｂを円形ア
パーチャー９と光軸方向に同一位置のクロスオーバーＣ
２に導く第１の投影レンズ、１０は電子線Ｂの非点収差
を補正する非点収差補正器、１１はクロスオーバーＣ２
を通過した電子線Ｂを光軸Ｏと平行な光束に修正する第
２の投影レンズであり、この第２の投影レンズ１１で修
正された電子線Ｂがウエハ等の試料Ｗの特定の視野に照
射されて、マスクＭの電子線照射領域に形成されたパタ
ーンが適当な縮小比で試料Ｗに転写される。試料Ｗへの
電子線Ｂの照射状況は検出器１３で検出される。
【００１０】図２および図３に示すように、電子銃１が
挿入される真空容器１４の内部にはアパーチャーホルダ
１５，１６が設けられ、これらの中心部に上述したアパ
ーチャー４，９が形成されている。なお、アパーチャー
４，９は微小なため、図２，３では図示を省略した。図
１に示すように、コンデンサレンズ２，３，６、投影レ
ンズ８，１１および偏向器５，７は真空容器１４の外周
を取り囲むように設けられている。コンデンサレンズ
２，３，６および投影レンズ８，１１は、フェライト等
の強磁性体で形成されたコア２ａ，３ａ，６ａ，８ａ，
１１ａの内周にコイル２ｂ，３ｂ，６ｂ，８ｂ，１１ｂ
が設けられたものである。
挿入される真空容器１４の内部にはアパーチャーホルダ
１５，１６が設けられ、これらの中心部に上述したアパ
ーチャー４，９が形成されている。なお、アパーチャー
４，９は微小なため、図２，３では図示を省略した。図
１に示すように、コンデンサレンズ２，３，６、投影レ
ンズ８，１１および偏向器５，７は真空容器１４の外周
を取り囲むように設けられている。コンデンサレンズ
２，３，６および投影レンズ８，１１は、フェライト等
の強磁性体で形成されたコア２ａ，３ａ，６ａ，８ａ，
１１ａの内周にコイル２ｂ，３ｂ，６ｂ，８ｂ，１１ｂ
が設けられたものである。
【００１１】そして、第３のコンデンサレンズ６のコア
６ａの上側の磁極部分には偏向器５のコイル５ａが、第
１の投影レンズ８のコア８ａの上側の磁極部分には偏向
器７のコイル７ａ，７ｂが、コア８ａの下側の磁極部分
には非点収差補正器１０の８極のコイル１０ａがそれぞ
れ配設されている。これにより、コア６ａとコイル５ａ
とで偏向器５が、コア８ａとコイル７ａ，７ｂとで偏向
器７が、コア８ａとコイル１０ａとで非点収差補正器１
０が構成される。なお、コイル５ａ，７ａ，７ｂ，１０
ａはいずれもコアの内周面に巻回されたいわゆるサドル
型コイルである。また、図において２ｃ，２ｄは第１の
コンデンサレンズ２の軸を光軸Ｏに合わせるための軸合
わせコイル、３ｃ，３ｄは第２のコンデンサレンズ３の
軸を光軸Ｏに合わせるための軸合わせコイル、６ｃ，６
ｄは第３のコンデンサレンズ６の軸を光軸Ｏに合わせる
ための軸合わせコイルである。また、１７ａ，１７ｂは
マスクＭよりも上方の照射光学系の軸を投影レンズ８，
１１側に一致させるための軸合わせコイル、８ｃ，８ｄ
は第１の投影レンズ８の軸を第２の投影レンズ１１に合
わせるための軸合わせコイルである。
６ａの上側の磁極部分には偏向器５のコイル５ａが、第
１の投影レンズ８のコア８ａの上側の磁極部分には偏向
器７のコイル７ａ，７ｂが、コア８ａの下側の磁極部分
には非点収差補正器１０の８極のコイル１０ａがそれぞ
れ配設されている。これにより、コア６ａとコイル５ａ
とで偏向器５が、コア８ａとコイル７ａ，７ｂとで偏向
器７が、コア８ａとコイル１０ａとで非点収差補正器１
０が構成される。なお、コイル５ａ，７ａ，７ｂ，１０
ａはいずれもコアの内周面に巻回されたいわゆるサドル
型コイルである。また、図において２ｃ，２ｄは第１の
コンデンサレンズ２の軸を光軸Ｏに合わせるための軸合
わせコイル、３ｃ，３ｄは第２のコンデンサレンズ３の
軸を光軸Ｏに合わせるための軸合わせコイル、６ｃ，６
ｄは第３のコンデンサレンズ６の軸を光軸Ｏに合わせる
ための軸合わせコイルである。また、１７ａ，１７ｂは
マスクＭよりも上方の照射光学系の軸を投影レンズ８，
１１側に一致させるための軸合わせコイル、８ｃ，８ｄ
は第１の投影レンズ８の軸を第２の投影レンズ１１に合
わせるための軸合わせコイルである。
【００１２】以上の構成の装置では、偏向器５のコイル
５ａと第３のコンデンサレンズ６のコイル６ｂとが共通
のコア６ａ上に、偏向器７のコイル７ａ，７ｂ、非点収
差補正器１０のコイル１０ａおよび第１の投影レンズ８
のコイル８ｂが共通のコア８ａ内部に設けられているの
で、偏向器５と第３のコンデンサレンズ６、偏向器７お
よび非点収差補正器１０と第１の投影レンズ８との軸が
自己整合され、これらの軸合わせ作業が不要となる。偏
向器５，７や非点収差補正器１０に専用のコアを設ける
必要がないので、部品点数が減少し、装置の製造や保守
管理の手間が省かれてコストダウンが可能となる。
５ａと第３のコンデンサレンズ６のコイル６ｂとが共通
のコア６ａ上に、偏向器７のコイル７ａ，７ｂ、非点収
差補正器１０のコイル１０ａおよび第１の投影レンズ８
のコイル８ｂが共通のコア８ａ内部に設けられているの
で、偏向器５と第３のコンデンサレンズ６、偏向器７お
よび非点収差補正器１０と第１の投影レンズ８との軸が
自己整合され、これらの軸合わせ作業が不要となる。偏
向器５，７や非点収差補正器１０に専用のコアを設ける
必要がないので、部品点数が減少し、装置の製造や保守
管理の手間が省かれてコストダウンが可能となる。
【００１３】以上の実施例では、偏向器５，７が偏向手
段を、非点収差補正器１０が非点収差補正手段を、マス
クＭおよび試料Ｗが荷電粒子線の照射される目標物を、
コンデンサレンズ２，３，６および投影レンズ８，１１
が電磁レンズを構成する。実施例では電子線縮小転写装
置を例に説明したが、本発明は転写装置に限らず、種々
の荷電粒子線照射装置に適用できる。偏向器５，７およ
び非点収差補正器１０のいずれか一つのコアのみを電磁
レンズと共通化してもよい。コイル５ａ，１０ａをコア
６ａ，８ａから離して真空容器１４の内周に取付けても
よい。また、コイル５ａ，１０ａとコア６ａ，８ａとの
間にスペーサを介装し、コイルの内径を小さくしてもよ
い。コイル内径が小さくなれば感度が向上する効果があ
る。
段を、非点収差補正器１０が非点収差補正手段を、マス
クＭおよび試料Ｗが荷電粒子線の照射される目標物を、
コンデンサレンズ２，３，６および投影レンズ８，１１
が電磁レンズを構成する。実施例では電子線縮小転写装
置を例に説明したが、本発明は転写装置に限らず、種々
の荷電粒子線照射装置に適用できる。偏向器５，７およ
び非点収差補正器１０のいずれか一つのコアのみを電磁
レンズと共通化してもよい。コイル５ａ，１０ａをコア
６ａ，８ａから離して真空容器１４の内周に取付けても
よい。また、コイル５ａ，１０ａとコア６ａ，８ａとの
間にスペーサを介装し、コイルの内径を小さくしてもよ
い。コイル内径が小さくなれば感度が向上する効果があ
る。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１，３の発
明では、電磁レンズのコイルと偏向手段のコイルとが共
通のコア内部に設けられて電磁レンズと偏向手段との軸
合わせの必要がなくなるので、装置の製造や保守管理に
要する手間が省かれるとともに、電磁レンズと偏向手段
にそれぞれ専用のコアを用意する必要もなくなって作業
工数、部品点数の減少によるコストダウンを達成でき
る。請求項２，４の発明では、電磁レンズのコイルと非
点収差補正手段のコイルとが共通のコア内部に設けられ
て電磁レンズと非点収差補正手段との軸合わせの必要が
なくなるので、装置の製造や保守管理に要する手間が省
かれるとともに、電磁レンズと非点収差補正手段にそれ
ぞれ専用のコアを用意する必要もなくなって作業工数、
部品点数の減少によるコストダウンを達成できる。
明では、電磁レンズのコイルと偏向手段のコイルとが共
通のコア内部に設けられて電磁レンズと偏向手段との軸
合わせの必要がなくなるので、装置の製造や保守管理に
要する手間が省かれるとともに、電磁レンズと偏向手段
にそれぞれ専用のコアを用意する必要もなくなって作業
工数、部品点数の減少によるコストダウンを達成でき
る。請求項２，４の発明では、電磁レンズのコイルと非
点収差補正手段のコイルとが共通のコア内部に設けられ
て電磁レンズと非点収差補正手段との軸合わせの必要が
なくなるので、装置の製造や保守管理に要する手間が省
かれるとともに、電磁レンズと非点収差補正手段にそれ
ぞれ専用のコアを用意する必要もなくなって作業工数、
部品点数の減少によるコストダウンを達成できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例に係る電子線縮小転写装置の
軸方向半断面図。
軸方向半断面図。
【図２】図１のII−II線における断面図。
【図３】図１のIII−III線における断面図。
５，７ 偏向器
５ａ，７ａ，７ｂ 偏向器のコイル
６ 第３のコンデンサレンズ
６ａ 第３のコンデンサレンズのコア
６ｂ 第３のコンデンサレンズのコイル
８ 第１の投影レンズ
８ａ 第１の投影レンズのコア
８ｂ 第１の投影レンズのコイル
１０ 非点収差補正器
１０ａ 非点収差補正器のコイル
１１ 第２の投影レンズ
１１ａ 第２の投影レンズのコア
１１ｂ 第２の投影レンズのコイル
Ｍ マスク
Ｗ 試料
Claims (4)
- 【請求項１】 コア内部に設けたコイルの磁場により荷
電粒子線を目標物上に結像させる電磁レンズと、コア内
部に設けたコイルの磁場により前記荷電粒子線を偏向さ
せて前記目標物上での荷電粒子線の結像位置を調整する
偏向手段とを備えた荷電粒子線照射装置において、 前記電磁レンズの前記コアと前記偏向手段の前記コアと
を共通化し、この共通化したコア内部に前記偏向手段の
前記コイルを設けたことを特徴とする荷電粒子線照射装
置。 - 【請求項２】 コア内部に設けたコイルの磁場により荷
電粒子線を目標物上に結像させる電磁レンズと、コア内
部に設けたコイルの磁場により荷電粒子線の非点収差を
補正する非点収差補正手段とを備えた荷電粒子線照射装
置において、 前記電磁レンズの前記コアと前記非点収差補正手段の前
記コアとを共通化し、この共通化したコア内部に前記非
点収差補正手段の前記コアを設けたことを特徴とする荷
電粒子線照射装置。 - 【請求項３】 コア内部に設けたコイルの磁場により荷
電粒子線を結像させる一対の電磁レンズと、コア内部に
設けたコイルの磁場により前記荷電粒子線を偏向させる
偏向手段とを備え、これら電磁レンズと偏向手段によ
り、マスクを透過した荷電粒子線を試料上の所望位置に
結像させる荷電粒子線転写装置において、 前記一対の電磁レンズのうち、前記マスク側に配置され
る電磁レンズの前記マスク側の磁極のコアと前記偏向手
段のコアとを共通化し、この共通化したコア内部に前記
偏向手段の前記コイルを設けたことを特徴とする荷電粒
子線露光装置。 - 【請求項４】 コア内部に設けたコイルの磁場により、
マスクを透過した荷電粒子線を試料上に結像させる一対
の電磁レンズと、コア内部に設けたコイルの磁場により
前記荷電粒子線の非点収差を補正する非点収差補正手段
とを備えた荷電粒子線転写装置において、 前記一対の電磁レンズのうち、前記マスク側に配置され
る電磁レンズの前記試料側の磁極のコアと前記非点収差
補正手段の前記コアとを共通化し、この共通化したコア
内部に前記非点収差補正手段の前記コイルを設けたこと
を特徴とする荷電粒子線露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22249193A JP3381327B2 (ja) | 1993-09-07 | 1993-09-07 | 荷電粒子線照射装置および荷電粒子線転写装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22249193A JP3381327B2 (ja) | 1993-09-07 | 1993-09-07 | 荷電粒子線照射装置および荷電粒子線転写装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0778746A JPH0778746A (ja) | 1995-03-20 |
| JP3381327B2 true JP3381327B2 (ja) | 2003-02-24 |
Family
ID=16783266
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22249193A Expired - Fee Related JP3381327B2 (ja) | 1993-09-07 | 1993-09-07 | 荷電粒子線照射装置および荷電粒子線転写装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3381327B2 (ja) |
-
1993
- 1993-09-07 JP JP22249193A patent/JP3381327B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0778746A (ja) | 1995-03-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH09223475A (ja) | 電磁偏向器、及び該偏向器を用いた荷電粒子線転写装置 | |
| US7560713B2 (en) | Correction lens system for a particle beam projection device | |
| JP2502425B2 (ja) | 荷電粒子ビ―ム偏向装置 | |
| JPH0421299B2 (ja) | ||
| JPS5832891B2 (ja) | カラ−テレビジヨン受像管用偏向装置 | |
| US4859857A (en) | Ion-projection apparatus and method of operating same | |
| JP3381327B2 (ja) | 荷電粒子線照射装置および荷電粒子線転写装置 | |
| US4798953A (en) | Electronic beam device for projecting an image of an object on a sample | |
| JPS5843856B2 (ja) | インライン形カラ−受像管装置 | |
| JPH1074467A (ja) | カラー陰極線管用インライン電子銃 | |
| JPH0762984B2 (ja) | イン−ラインカラ−表示管 | |
| JPS583573B2 (ja) | 偏向装置の組立方法 | |
| JPS5927012Y2 (ja) | 偏向ヨ−ク | |
| JPS585952A (ja) | 荷電粒子集束偏向装置 | |
| JP3518000B2 (ja) | 荷電粒子線偏向器 | |
| US6573648B1 (en) | Deflection yoke with openings in neck bend section | |
| KR200258828Y1 (ko) | 편향요크의페라이트코어 | |
| JPH06124664A (ja) | 電子ビーム集束装置 | |
| JPS5843857B2 (ja) | インライン形カラ−受像管装置 | |
| JPH0525161Y2 (ja) | ||
| JP2000231896A (ja) | 投影光学系 | |
| JP3041907B2 (ja) | 陰極線管 | |
| KR810000017B1 (ko) | 자동적으로 집중되는 칼라 텔레비젼 표시장치 | |
| JPS5925080Y2 (ja) | セミトロイダル形電磁偏向ヨ−ク | |
| JPS5838520Y2 (ja) | 偏向ヨ−ク |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081220 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111220 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |