JP3374679B2 - 圧力計 - Google Patents
圧力計Info
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- JP3374679B2 JP3374679B2 JP29370296A JP29370296A JP3374679B2 JP 3374679 B2 JP3374679 B2 JP 3374679B2 JP 29370296 A JP29370296 A JP 29370296A JP 29370296 A JP29370296 A JP 29370296A JP 3374679 B2 JP3374679 B2 JP 3374679B2
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- pressure
- sensor
- pressure sensor
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、各種流体装置や流
体機器における差圧やゲージ圧の微細な変化を検知する
のに好適な圧力計に関する。
体機器における差圧やゲージ圧の微細な変化を検知する
のに好適な圧力計に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の圧力計としては、導入圧によっ
て変形するダイヤフラムとこの変形を検知する素子を備
えた圧力センサをケースに内装した構造が採用されてお
り、このケースの外面に圧力ポートが設けられている。
て変形するダイヤフラムとこの変形を検知する素子を備
えた圧力センサをケースに内装した構造が採用されてお
り、このケースの外面に圧力ポートが設けられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記圧力センサには、
１個または２個の圧力導入部が形成さており、ケースの
圧力ポートは、圧力センサの圧力導入部の向きに対応し
て形成されており、圧力ポートの向きを圧力導入部の向
きと異なった方向に設定するには、ケース内において圧
力導入部と圧力ポートとを、例えば屈曲させたチューブ
で連通接続していた。しかし、ケース内にチューブの収
納スペースを確保するためにケースが大型化しやすく、
また、チューブの組付けに手数のかかるものとなってい
た。
１個または２個の圧力導入部が形成さており、ケースの
圧力ポートは、圧力センサの圧力導入部の向きに対応し
て形成されており、圧力ポートの向きを圧力導入部の向
きと異なった方向に設定するには、ケース内において圧
力導入部と圧力ポートとを、例えば屈曲させたチューブ
で連通接続していた。しかし、ケース内にチューブの収
納スペースを確保するためにケースが大型化しやすく、
また、チューブの組付けに手数のかかるものとなってい
た。
【０００４】本発明は、このような点に着目してなされ
たものであって、圧力センサの圧力導入部の向きに限定
されることなく圧力ポートの向きを任意に設定すること
のできるものでありながら、全体の小型化を図ることの
できる圧力計を提供することを主たる目的としている。
たものであって、圧力センサの圧力導入部の向きに限定
されることなく圧力ポートの向きを任意に設定すること
のできるものでありながら、全体の小型化を図ることの
できる圧力計を提供することを主たる目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、縦向
きに配置されたセンサ基板に、静電容量式の半導体圧力
センサを、その表裏面が左右に向かう横向き姿勢で取り
付け、前記圧力センサには、その表面側に圧力導入部を
突出形成するとともに、裏面側にも圧力導入部を、前記
センサ基板を貫通する形で突出形成し、前記圧力センサ
は、その表裏から一対の保持部材で保持し、これら保持
部材にはそれぞれ、前記圧力導入部がシールリングを介
して気密状に圧入される接続孔と、この接続孔に連通す
る圧力ポートとを形成し、前記両保持部材の上には、主
プリント基板を配置し、この主プリント基板と前記セン
サ基板とを電気的に接続してあることを特徴とする。
きに配置されたセンサ基板に、静電容量式の半導体圧力
センサを、その表裏面が左右に向かう横向き姿勢で取り
付け、前記圧力センサには、その表面側に圧力導入部を
突出形成するとともに、裏面側にも圧力導入部を、前記
センサ基板を貫通する形で突出形成し、前記圧力センサ
は、その表裏から一対の保持部材で保持し、これら保持
部材にはそれぞれ、前記圧力導入部がシールリングを介
して気密状に圧入される接続孔と、この接続孔に連通す
る圧力ポートとを形成し、前記両保持部材の上には、主
プリント基板を配置し、この主プリント基板と前記セン
サ基板とを電気的に接続してあることを特徴とする。
【０００６】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、前記一対の保持部材には、その上にある主プリント
基板の上方からカバーケースを外嵌装着し、このカバー
ケースに計測情報を表示する表示手段を備えてあること
を特徴とする。
て、前記一対の保持部材には、その上にある主プリント
基板の上方からカバーケースを外嵌装着し、このカバー
ケースに計測情報を表示する表示手段を備えてあること
を特徴とする。
【０００７】
【０００８】
【０００９】
【００１０】請求項１の構成によると、一対の保持部材
で保持された圧力センサの圧力導入部と、保持部材に形
成された圧力ポートとは、保持部材の内部で接続される
ことになり、その接続の仕方を任意の方向あるいは任意
に屈曲することで、圧力センサの圧力導入部の向きにか
かわらず圧力ポートを所望の向きに形成することができ
る。また、圧力センサは、その表裏面に突設した圧力導
入部を介して一対の保持部材間に安定良く保持される。
さらに、各圧力導入部と保持部材との間に介在されたシ
ールリングは弾性緩衝材としても機能するので、外部か
らの振動や衝撃が圧力センサに伝達されにくいものとな
る。
で保持された圧力センサの圧力導入部と、保持部材に形
成された圧力ポートとは、保持部材の内部で接続される
ことになり、その接続の仕方を任意の方向あるいは任意
に屈曲することで、圧力センサの圧力導入部の向きにか
かわらず圧力ポートを所望の向きに形成することができ
る。また、圧力センサは、その表裏面に突設した圧力導
入部を介して一対の保持部材間に安定良く保持される。
さらに、各圧力導入部と保持部材との間に介在されたシ
ールリングは弾性緩衝材としても機能するので、外部か
らの振動や衝撃が圧力センサに伝達されにくいものとな
る。
【００１１】
【００１２】
【００１３】
【発明の実施の形態】図１に、本発明に係る圧力計の縦
断正面図が、図２にその縦断側面図が、図３にその要部
の分解斜視図がそれぞれ示されており、また、図４に
は、その全体の分解斜視図が、図５には、外観斜視図が
それぞれ示されている。
断正面図が、図２にその縦断側面図が、図３にその要部
の分解斜視図がそれぞれ示されており、また、図４に
は、その全体の分解斜視図が、図５には、外観斜視図が
それぞれ示されている。
【００１４】この圧力計は、静電容量式の半導体圧力セ
ンサ１を利用して対象となる圧力気体の差圧あるいはゲ
ージ圧等を計測表示するとともに、計測値が閾値を越え
たときに対応する出力を与えるよう構成されたものであ
り、その本体ケース２は、左右一対の保持部材３，４
と、これに上方から外嵌装着されるカバーケース５と、
左右の保持部材に亘って下方からねじ止めされる底カバ
ー６とから構成されている。
ンサ１を利用して対象となる圧力気体の差圧あるいはゲ
ージ圧等を計測表示するとともに、計測値が閾値を越え
たときに対応する出力を与えるよう構成されたものであ
り、その本体ケース２は、左右一対の保持部材３，４
と、これに上方から外嵌装着されるカバーケース５と、
左右の保持部材に亘って下方からねじ止めされる底カバ
ー６とから構成されている。
【００１５】前記圧力センサ１は、その表裏面が左右に
向かう横向き姿勢で縦向き配置したセンサ基板７に端子
８群を介して取り付けられるとともに、センサ表裏面か
らは圧力導入部９，１０が突設され、裏面側の圧力導入
部１０はセンサ基板７を貫通して突出されている。
向かう横向き姿勢で縦向き配置したセンサ基板７に端子
８群を介して取り付けられるとともに、センサ表裏面か
らは圧力導入部９，１０が突設され、裏面側の圧力導入
部１０はセンサ基板７を貫通して突出されている。
【００１６】左右の保持部材３，４は突合わせ嵌合さ
れ、その対向面には各圧力導入部９，１０に対向する接
続孔１１，１２が開口され、ここに各圧力導入部９，１
０がシールリング１３を介して気密状に圧入されて、両
保持部材３，４間に圧力センサ１が安定的に保持される
ようになっている。
れ、その対向面には各圧力導入部９，１０に対向する接
続孔１１，１２が開口され、ここに各圧力導入部９，１
０がシールリング１３を介して気密状に圧入されて、両
保持部材３，４間に圧力センサ１が安定的に保持される
ようになっている。
【００１７】そして、各保持部材３，４の下面には、前
記接続孔１１，１２に連通された圧力ポート１４，１５
が形成されるとともに、この圧力ポート１４，１５が底
カバー６の下面に突設した左右一対のチューブ接続部１
６，１７の圧力導入口１８，１９に連通されている。
記接続孔１１，１２に連通された圧力ポート１４，１５
が形成されるとともに、この圧力ポート１４，１５が底
カバー６の下面に突設した左右一対のチューブ接続部１
６，１７の圧力導入口１８，１９に連通されている。
【００１８】なお、保持部材３，４と底カバー６との間
にはゴムシール２０が介在され、このゴムシール２０に
形成した孔２１，２２を介して各圧力ポート１４，１５
と各圧力導入口１８，１９とが独立的に連通されてい
る。
にはゴムシール２０が介在され、このゴムシール２０に
形成した孔２１，２２を介して各圧力ポート１４，１５
と各圧力導入口１８，１９とが独立的に連通されてい
る。
【００１９】圧力センサ１を保持した両保持部材３，４
の上には、ＩＣ２３を搭載した主プリント基板２４が配
置されるとともに、この主プリント基板２４と前記セン
サ基板７とが端子２５群を介して連結されている。ま
た、主プリント基板２４の上方には、計測用の閾値等を
設定する４個のラバースイッチ２６、単色発光する一対
のモニター用ＬＥＤ２７、および、入力や計測情報をデ
ジタル表示する３個の７セグＬＥＤ２８が搭載された操
作用基板２９が配置されている。そして、ラバースイッ
チ２６の先端操作部がカバーケース５から貫出されると
ともに、ＬＥＤ２７２８が、カバーケース５の上面に取
り付けられた表示シート３０の透明部３０ａを介して透
視できるよう構成されている。
の上には、ＩＣ２３を搭載した主プリント基板２４が配
置されるとともに、この主プリント基板２４と前記セン
サ基板７とが端子２５群を介して連結されている。ま
た、主プリント基板２４の上方には、計測用の閾値等を
設定する４個のラバースイッチ２６、単色発光する一対
のモニター用ＬＥＤ２７、および、入力や計測情報をデ
ジタル表示する３個の７セグＬＥＤ２８が搭載された操
作用基板２９が配置されている。そして、ラバースイッ
チ２６の先端操作部がカバーケース５から貫出されると
ともに、ＬＥＤ２７２８が、カバーケース５の上面に取
り付けられた表示シート３０の透明部３０ａを介して透
視できるよう構成されている。
【００２０】なお、図中の符号３１は、主プリント基板
２４から外部に導出されたリード線、３２は、主プリン
ト基板２４と操作基板２９との間に配置されたシールド
板である。
２４から外部に導出されたリード線、３２は、主プリン
ト基板２４と操作基板２９との間に配置されたシールド
板である。
【００２１】前記ゴムシール２０に形成した一方の孔２
１は長孔に構成されており、ゲージ圧を計測する場合に
は、一対のチューブ接続部１６，１７を備えた前記底カ
バー６に代えて、図６に示すように、中央に一個のチュ
ーブ接続部３３を突設した底カバー３４を取り付け、こ
のチューブ接続部３３の圧力導入口３５をゴムシール２
０の長孔２１を介して一方の圧力ポート１４に連通して
使用する。但しこの場合、他方の圧力ポート１５をゴム
シール２０の他方の孔２２を介して底カバー３４の開放
口３６に連通しておくことになる。
１は長孔に構成されており、ゲージ圧を計測する場合に
は、一対のチューブ接続部１６，１７を備えた前記底カ
バー６に代えて、図６に示すように、中央に一個のチュ
ーブ接続部３３を突設した底カバー３４を取り付け、こ
のチューブ接続部３３の圧力導入口３５をゴムシール２
０の長孔２１を介して一方の圧力ポート１４に連通して
使用する。但しこの場合、他方の圧力ポート１５をゴム
シール２０の他方の孔２２を介して底カバー３４の開放
口３６に連通しておくことになる。
【００２２】なお、上記実施の形態では、両圧力ポート
１４，１５を共に下向きに形成しているが、必要に応じ
てそれぞれを任意の方向、例えば、上下方向あるいは左
右方向などに向けて形成することができる。
１４，１５を共に下向きに形成しているが、必要に応じ
てそれぞれを任意の方向、例えば、上下方向あるいは左
右方向などに向けて形成することができる。
【００２３】
【００２４】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の圧力計は、圧力センサを保持する保持部材そのものに
圧力ポートを形成するので、圧力センサに設けられた圧
力導入部の向きにかかわらず圧力ポートを所望の方向に
向けて形成でき、しかも、圧力導入部と圧力ポートをつ
なぐ連通路がどのように屈曲したものであっても、この
連通路は保持部材内に形成されるものであるから保持部
材を大きくする必要はなく、チューブを用いて屈曲連通
路を形成する場合に比較して全体を小型に構成すること
ができる。
の圧力計は、圧力センサを保持する保持部材そのものに
圧力ポートを形成するので、圧力センサに設けられた圧
力導入部の向きにかかわらず圧力ポートを所望の方向に
向けて形成でき、しかも、圧力導入部と圧力ポートをつ
なぐ連通路がどのように屈曲したものであっても、この
連通路は保持部材内に形成されるものであるから保持部
材を大きくする必要はなく、チューブを用いて屈曲連通
路を形成する場合に比較して全体を小型に構成すること
ができる。
【００２５】また、圧力導入部と圧力ポートをつなぐ連
通路を形成するのにチューブを用いないので、組付け手
数が少なく作業性が高いものとなり、製作コストの低減
にも有効となる。
通路を形成するのにチューブを用いないので、組付け手
数が少なく作業性が高いものとなり、製作コストの低減
にも有効となる。
【００２６】また、一対の保持部材で圧力センサを保持
するので、振動や衝撃に対する耐久性が高いものとな
る。
するので、振動や衝撃に対する耐久性が高いものとな
る。
【図１】本発明に係る圧力計の縦断正面図である。
【図２】本発明に係る圧力計の縦断側面図である。
【図３】本発明に係る圧力計の要部を分解した斜視図で
ある。
ある。
【図４】本発明に係る圧力計の全体を分解した斜視図で
ある。
ある。
【図５】本発明に係る圧力計の全体外観を示す斜視図で
ある。
ある。
【図６】別の使用形態を示す縦断正面図である。
１ 圧力センサ
３，４ 保持部材
５ カバーケース
９，１０ 圧力導入部
１１，１２ 接続孔
１３ シールリング
１４，１５ 圧力ポート
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 昭57−186140（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−273248（ＪＰ，Ａ)
実開 昭63−188535（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01L 9/00
G01L 13/06
G01L 19/00
G01L 19/14
Claims (2)
- 【請求項１】 縦向きに配置されたセンサ基板に、静電
容量式の半導体圧力センサを、その表裏面が左右に向か
う横向き姿勢で取り付け、 前記圧力センサには、その表面側に圧力導入部を突出形
成するとともに、裏面側にも圧力導入部を、前記センサ
基板を貫通する形で突出形成し、 前記圧力センサは、その表裏から一対の保持部材で保持
し、 これら保持部材にはそれぞれ、前記圧力導入部がシール
リングを介して気密状に圧入される接続孔と、この接続
孔に連通する圧力ポートとを形成し、 前記両保持部材の上には、主プリント基板を配置し、こ
の主プリント基板と前記センサ基板とを電気的に接続し
てある ことを特徴とする圧力計。 - 【請求項２】 前記一対の保持部材には、その上にある
主プリント基板の上方からカバーケースを外嵌装着し、
このカバーケースに計測情報を表示する表示手段を備え
てある請求項１に記載の圧力計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29370296A JP3374679B2 (ja) | 1996-11-06 | 1996-11-06 | 圧力計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29370296A JP3374679B2 (ja) | 1996-11-06 | 1996-11-06 | 圧力計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10142090A JPH10142090A (ja) | 1998-05-29 |
| JP3374679B2 true JP3374679B2 (ja) | 2003-02-10 |
Family
ID=17798139
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29370296A Expired - Fee Related JP3374679B2 (ja) | 1996-11-06 | 1996-11-06 | 圧力計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3374679B2 (ja) |
-
1996
- 1996-11-06 JP JP29370296A patent/JP3374679B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10142090A (ja) | 1998-05-29 |
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