JP3372523B2

JP3372523B2 - 環境試験装置

Info

Publication number: JP3372523B2
Application number: JP2000062328A
Authority: JP
Inventors: 博信山村
Original assignee: 株式会社鵬製作所
Priority date: 2000-03-07
Filing date: 2000-03-07
Publication date: 2003-02-04
Anticipated expiration: 2020-03-07
Also published as: JP2001249068A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体などの電子
部品や各種装置に、所定の温度や湿度などの環境負荷を
与えて、その信頼性を試験するために用いられる環境試
験装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】環境試験装置は、一般に試験室の正面に
試料を出し入れするための開口が設けられており、この
開口を扉で開閉するように構成されている。

【０００３】ここにおいて従来の環境試験装置では、扉
の側部を蝶番で装置本体に連結し、扉の旋回動作により
開閉するようにしたり、あるいは、扉を装置本体にスラ
イドできるように取り付け、閉扉位置において、別途設
けた駆動手段により、該扉を開口周縁のシール部材に密
接するように押圧し、その断熱気密性を保持するように
していた。

【０００４】なお、スライド可能な扉を押圧して試験室
の開口を塞ぐようにしたものとしては、特開平６−１１
７９９２号や特開平８−２３２５３２号に示されるもの
がある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の環境試
験装置のうち、扉を旋回させて開口を開閉するようにし
たものは、装置本体の前に、扉の開閉動作のための大き
な空間が必要であり、この空間は扉の開閉以外には利用
できないデッドスペースとなっている。

【０００６】また、特開平６−１１７９９２号や特開平
８−２３２５３２号に示されるように、スライド式の扉
を用いたものも、装置本体の側方、あるいは、上または
下に扉を移動させるための空間が必要になるという問題
点がある。さらに、このスライド式の扉を用いたもの
は、扉をスライドする方向と直交する方向に押動し、開
口のシール部材に密接させなくてはならないので、その
駆動機構が複雑で、かつ高価なものになるという問題点
があった。

【０００７】本発明は、上記従来の環境試験装置が有し
ていた問題点の解決を課題とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明のうち、請求項１記載の発明は、環境試験
装置本体の試験室の開口の前面を覆うように、横長の板
状体同士をヒンジを介して屈曲可能に連結してなるシャ
ッター式の断熱扉を設け、開口の周縁には、該断熱扉の
内面に圧接する枠状のパッキンを出没可能に設け、か
つ、このパッキンと試験室の開口周縁との間には、複数
の弾性中空部を連続させてなる伸縮可能なシール部材を
設けたことを特徴とする環境試験装置である。

【０００９】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明の構成に、断熱扉を構成した各板状体の両端にそれぞ
れローラーを突設すると共に、ボールを収納する半球面
状の凹陥部を設けた構成と、試験室の開口の側縁から試
験室の上面に沿ってこのローラーが係合するガイド溝を
備えたガイド部材を設けた構成とを加え、断熱扉がガイ
ド溝に沿って案内されることにより、試験室の上側に格
納されるようにし、かつ、その際、上記凹陥部に収納さ
れたボールが、ガイド部材に当接することにより、断熱
扉の横方向の移動が規制され、断熱扉の開閉操作が円滑
にされるようにしたことを特徴とする。

【００１０】

【００１１】

【００１２】

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明を図示した実施の形
態に基づき詳細に説明する。

【００１４】図１は、本発明に係る環境試験装置の実施
形態を示した簡略正面図、図２は、そのＡ−Ａ’線断面
図である。また、図３は、図２のＢ−Ｂ’線断面図であ
る。図示したように本発明の環境試験装置は、箱状に形
成された装置本体１の前半部分（図２において下半部）
に、試験室２（図示したものでは、二室並設）を設け、
後半部分に、この試験室２内の環境をコントロールする
ための装置類（図示せず）や、各種の測定装置（図示せ
ず）を設置するための機械室３を設けている。

【００１５】試験室２は、断熱材４で前面の開口２を除
く周囲が覆われたもので、その上側には、試験室２内の
空気を循環させるためのシロッコファン５が設けられて
いる。また、この試験室２の後壁面２ｂには、機械室３
内に連通するように、測定用のケーブル（図示せず）を
通すためのケーブル孔２ｃが設けられている。

【００１６】機械室３の天井３ａには、換気用ファン６
が設けられると共に、排気孔７が設けられている。

【００１７】ここにおいて、本発明の環境試験装置で
は、試験室２の前側から上側（図３において試験室の左
側から上側）にわたって、その左右（図２において左
右）両側に側面視逆Ｌ字形の一対のガイド部材９，９が
設けられ、このガイド部材９に形成されたガイド溝９ａ
に、シャッター式の断熱扉１０が移動可能に取り付けら
れている。なお、この移動は、図示しない扉駆動装置で
なされるように、例えば、断熱扉１０の上下両端が、ガ
イド部材９に沿って設けられた扉駆動装置のチェーン
（図示せず）と連結されている。

【００１８】この断熱扉１０は、断熱材４の表面を金属
で被覆してなる横長の板状体１０ａ同士を、図４に示す
ように、その後側のヒンジ１１で回動可能に連結し、複
数連続させたものである。そして、各板状体１０ａの両
側の端面には、その上下に、ガイド部材９のガイド溝９
ａに係合するローラー１２が突設されている。また、こ
の上下のローラー１２，１２間の端面には、半球面状の
凹陥部１３ａを有するボール保持金具１３が取り付けら
れ、この凹陥部１３ａに収納されたボール１４を、その
外側に位置したガイド部材９との間で脱落不可に保持す
るようになっている。また、各板状体１０ａの間には、
幅（横）方向にわたって、その前後（図４において左
右）に横長のパッキン１５が設けられている。

【００１９】試験室２の開口２ａの外側周縁には、開口
２ａよりやや大きい枠状のパッキン１６を保持する枠体
１７が設けられている。この枠体１７は、装置本体１に
取り付けられたシリンダー装置１８のロッド１８ａに固
定され、開口２ａから出没する方向に駆動されるように
なっている。

【００２０】また、この枠体１７と試験室２の開口２ａ
との間には、図５に示すように複数の弾性中空部１９ａ
を連続させてなる伸縮自在のシール部材１９が設けら
れ、枠体１７の内側の気密を保つようになっている。

【００２１】なお、上記パッキン１６やシール部材１９
の材料としては、シリコーンゴムやエラストマー系の樹
脂などの弾性材のうち、熱の影響を受け難いものを適
宜、選択し、使用すれば良い。

【００２２】本発明の環境試験装置は、上記の構成を有
している。

【００２３】なお、図１において、符号２０は、非常停
止スイッチ、２１，２２は、それぞれ左右の試験室２，
２の環境条件を設定するための操作パネル、２３はブレ
ーカーパネルを示す。また、図２において符号２３は制
御板、図３において符号８は、シロッコファンのモータ
ー、２４はヒーターユニットを示す。

【００２４】次にその取り扱いについて述べる。

【００２５】まず、シャッター式の断熱扉１０を図１の
左方に示すように開放し、装置本体１の前面に現れた開
口２ａから、試験を行う対象物である半導体などの供試
体（図示せず）を試験室２内に収納する。なお、この収
納は、ロボットなどを用いて自動的に行うようにしても
良く、この場合、供試体は図示しない専用の収納保持具
などを用いて、予め所定の数だけ試験可能な状態にセッ
トしておけば良い。

【００２６】また、供試体がレーザーダイオードなどの
半導体で、試験環境条件下での動作確認などの作業を行
う場合は、操作用のケーブル（図示せず）を試験室２背
面のケーブル孔２ｃから引き出し、このケーブルを機械
室３内に設置された測定機器（図示せず）に接続すれば
良い。

【００２７】以上のようにして所定数量の供試体のセッ
トが完了すれば、次に、図示しない扉駆動装置のスイッ
チを投入し、シャッター式の断熱扉１０を閉扉される方
向に駆動する。このことで、試験室２の上側に格納され
ていたシャッター式の断熱扉１０は、ローラー１２が係
合したガイド溝９ａに案内されて、開口２ａの前側に下
降してくる。この時、この断熱扉１０は、扉を構成した
各板状体１０ａ同士が、屈曲可能に連結されているの
で、ガイド溝９ａのアール部９ａ’に沿って円滑に案内
され、その移動方向がほぼ直角に変わる。また、各板状
体１０ａの両側の端部には、ガイド溝９ａ近傍のガイド
部材９に当接するボール１４が、半突出状態で保持され
ているので、この移動の際に、板状体１０ａが横方向に
位置ずれしたり、傾いたりするおそれはなく、断熱扉１
０は円滑に移動する。

【００２８】このようにして、断熱扉１０が下降し、や
がて図３に示すように開口２ａの前面が塞がれると、こ
の状態で扉は停止する。そして、このように開口２ａの
前面に断熱扉１０が位置した状態を、図示しないセンサ
ーが感知すると、次にシリンダー装置１８が作動し、ロ
ッド１８ａに固定された枠体１７を押し出す。そうする
と、枠体１７の表面に取り付けられた枠状のパッキン１
６が、断熱扉１０の内面に圧接し、断熱扉１０との間の
隙間を塞ぐ。この時、枠体１７と開口２ａの周縁との間
に設けられたシール部材１９は、図５に示すように、横
長の楕円形状であった各弾性中空部１９ａが、縦長の楕
円形状に変形することにより、容易に伸び、枠体１７の
移動動作を妨げないようになっている。

【００２９】以上のようにして、試験室２内が環境試験
を行う状態に密閉され、その準備が完了する。よって、
その後は、従来のものと同様に、試験を行う温度や湿度
などの必要な条件を操作パネル２１（または２２）から
入力すれば良く、このことで試験室２内は、設定された
環境条件にコントロールされ、供試体の所定の環境条件
下での動作試験がなされるものである。

【００３０】なお、この時の各供試体の動作の良非は、
機械室３内に設けられた測定装置（図示せず）で個別に
測定されるようになっている。

【００３１】そして、試験が完了すると、上記と反対に
まずシリンダー装置１８が作動して、パッキン１６を断
熱扉１０から離れる方向に移動させ、次いで扉の駆動装
置（図示せず）が作動してシャッター式の断熱扉１０が
開放される。よって、前面が開放された開口２ａから試
験完了後の供試体を取り出せば良い。

【００３２】以上のように本発明の環境試験装置では、
シャッター式の断熱扉１０を用いて、扉の開閉、および
収納に要するスペースを小さくし、かつ開口２ａと断熱
扉１０との間の隙間を塞ぐためにパッキン１６を出没さ
せ、このことで簡単な構造で、必要な気密性が得られる
ようにしている。

【００３３】なお、図示した実施の形態では、パッキン
１６とシール部材１９を別体としたものを例示したが、
本発明は、出没可能なパッキン１６で、試験室の開口２
ａ周縁と扉１０との隙間を塞ぐようになっていれば良
く、シール部材１９に相当するものが、パッキン１６に
一体的に設けられていても良い。

【００３４】また、シャッター式の断熱扉１０をローラ
ー１２とボール１４で円滑に案内できるようにした例を
示したが、本発明は、断熱性を要する環境試験装置の扉
にシャッター式に折れ曲がるものを採用した点に特徴が
あり、その移動案内機構は、必ずしも図示した実施の形
態に限るものではない。また、その開閉駆動も例示した
ような扉駆動装置を用いず、手動で行うようにしても良
い。

【００３５】さらにまた、シール部材１９として複数の
弾性中空部１９ａを連続させたものを例示したが、この
シール部材１９は、パッキン１６の出没動作を妨げない
ように伸縮可能で、かつ気密性を有し、容易に損傷しな
いものであれば良く、その形状は必ずしも例示したもの
に限るものではなく、例えば、蛇腹状に形成されたもの
であっても良い。

【００３６】以上説明したように、本発明のうち、請求
項１記載の発明は、環境試験装置の扉を屈曲可能なシャ
ッター式のものとし、試験室の開口の周縁には、該断熱
扉の内面に圧接する枠状のパッキンを出没可能に設け、
かつ、このパッキンと試験室の開口周縁との間には、複
数の弾性中空部を連続させてなる伸縮可能なシール部材
を設けたので、扉の開閉に要するスペースが不要とな
り、狭小な個所への設置が可能となる。また、複雑な扉
の移動案内機構を要することなく、扉との間の気密性を
はかることができるという効果がある。さらに、上記シ
ール部材は、簡単な構成にかかわらず、容易に伸び縮み
させることができ、またその破損も少なく、長寿命化す
るという効果がある。

【００３７】請求項２記載の発明は、ガイド溝を試験室
の開口の側縁から試験室の上面に沿って設け、シャッタ
ー式の断熱扉を、試験室の上側に格納できるようにした
ので、上記請求項１記載の発明の効果に加え、扉の格納
スペースに無駄が無く、環境試験装置本体が小型化され
るという効果がある。また、断熱扉の両側端に、断熱扉
の横方向への移動を規制するボールを設けたので、この
種のシャッター式の断熱扉の開閉操作が円滑になされる
という効果もある。

【００３８】

【００３９】

【００４０】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る環境試験装置の実施形態を示した
簡略正面図である。

【図２】図１のＡ−Ａ’線の断面図である。

【図３】図２のＢ−Ｂ’線の断面図である。

【図４】図３の要部拡大図である。

【図５】図２の要部拡大図である。

【符号の説明】

１環境試験装置本体２試験室２ａ開口２ｃケーブル孔３機械室４断熱材９ガイド部材９ａガイド孔９ａ’ アール部１０断熱扉１０ａ板状体１１ヒンジ１２ローラー１３ボール保持金具１３ａ凹陥部１４ボール１６パッキン１７枠体１８シリンダー装置１８ａロッド１９シール部材１９ａ弾性中空部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01N 17/00 G01R 31/26 ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】環境試験装置本体の試験室の開口の前面
を覆うように、横長の板状体同士をヒンジを介して屈曲
可能に連結してなるシャッター式の断熱扉が設けられ、
開口の周縁には、該断熱扉の内面に圧接する枠状のパッ
キンが出没可能に設けられ、かつ、このパッキンと試験
室の開口周縁との間には、複数の弾性中空部を連続させ
てなる伸縮可能なシール部材が設けられたことを特徴と
する環境試験装置。
【請求項２】断熱扉を構成した各板状体の両端にそれ
ぞれローラーが突設されると共に、ボールを収納する半
球面状の凹陥部が設けられ、試験室の開口の側縁から試
験室の上面に沿ってこのローラーが係合するガイド溝を
備えたガイド部材が設けられ、断熱扉がガイド溝に沿っ
て案内されることにより、試験室の上側に格納されるよ
うになされ、かつ、その際、上記凹陥部に収納されたボ
ールが、ガイド部材に当接することにより、断熱扉の横
方向の移動が規制され、断熱扉の開閉操作が円滑になさ
れるようにしたことを特徴とする請求項１記載の環境試
験装置。