JP3371561B2 - コンテナ内管理装置 - Google Patents
コンテナ内管理装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、少なくとも内壁面が金
属で成形されたコンテナの内部および外部間を電磁波を
用いてデータ通信することによって、コンテナ内に収容
されたウエーハ等の管理対象物を管理するコンテナ内管
理装置に関するものである。
属で成形されたコンテナの内部および外部間を電磁波を
用いてデータ通信することによって、コンテナ内に収容
されたウエーハ等の管理対象物を管理するコンテナ内管
理装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば半導体製造工程において、ウエー
ハへの塵埃の付着が歩留りを低下させる要因になること
から、ウエーハを搬送および保管する際には、図７に示
すように、内部を機密状態に保持可能なコンテナ５３内
にウエーハ５４をウエーハカセット５５と共に収容させ
るようになっている。上記のコンテナ５３は、軽くて安
価であることが必要条件で、このため、生産性向上、生
産コストの低減と相俟って樹脂成形が主流をなしてい
る。
ハへの塵埃の付着が歩留りを低下させる要因になること
から、ウエーハを搬送および保管する際には、図７に示
すように、内部を機密状態に保持可能なコンテナ５３内
にウエーハ５４をウエーハカセット５５と共に収容させ
るようになっている。上記のコンテナ５３は、軽くて安
価であることが必要条件で、このため、生産性向上、生
産コストの低減と相俟って樹脂成形が主流をなしてい
る。
【０００３】また、半導体製造工程においては、コンテ
ナ５３内に収容されたウエーハ５４やウエーハカセット
５５等を管理するため、コンテナ内管理装置が使用され
ている。従来のコンテナ内管理装置は、ウエーハカセッ
ト５５に設けられ、データを書換え可能に記憶するアイ
ディータグ５１（以下、ＩＤ（IDENTITY）タグ５１と称
する）と、このＩＤタグ５１に対してデータを読み書き
する読取／書込装置５２とを有している。そして、ＩＤ
タグ５１および読取／書込装置５２間のデータ通信は、
コンテナ５３が電磁波ｆ1 〜ｆ3 を透過させる樹脂製で
あることを利用して、電磁結合方式および電磁誘導方式
により行われるようになっている。
ナ５３内に収容されたウエーハ５４やウエーハカセット
５５等を管理するため、コンテナ内管理装置が使用され
ている。従来のコンテナ内管理装置は、ウエーハカセッ
ト５５に設けられ、データを書換え可能に記憶するアイ
ディータグ５１（以下、ＩＤ（IDENTITY）タグ５１と称
する）と、このＩＤタグ５１に対してデータを読み書き
する読取／書込装置５２とを有している。そして、ＩＤ
タグ５１および読取／書込装置５２間のデータ通信は、
コンテナ５３が電磁波ｆ1 〜ｆ3 を透過させる樹脂製で
あることを利用して、電磁結合方式および電磁誘導方式
により行われるようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、近年におい
ては、半導体デバイスの高機能化および高集積化に伴っ
て搬送および保管時のコンテナ５３内の環境に対する要
求が厳しいものになり、コンテナ５３を構成する樹脂の
ガス透過性および樹脂からのアウトガス量が無視できな
いものとなっている。そこで、金属のガス透過性および
アウトガス量が樹脂よりも少ないことに着目し、コンテ
ナ５３の少なくとも内面壁を金属により形成することに
よって、コンテナ５３内へのガス透過性およびアウトガ
ス量を低減することが考えられている。
ては、半導体デバイスの高機能化および高集積化に伴っ
て搬送および保管時のコンテナ５３内の環境に対する要
求が厳しいものになり、コンテナ５３を構成する樹脂の
ガス透過性および樹脂からのアウトガス量が無視できな
いものとなっている。そこで、金属のガス透過性および
アウトガス量が樹脂よりも少ないことに着目し、コンテ
ナ５３の少なくとも内面壁を金属により形成することに
よって、コンテナ５３内へのガス透過性およびアウトガ
ス量を低減することが考えられている。
【０００５】ところが、内部が金属により覆われたコン
テナ５３を用いると、従来のコンテナ内管理装置では、
図８に示すように、コンテナ５３の金属壁が電磁波ｆ1
〜ｆ3 を遮断するため、ＩＤタグ５１および読取／書込
装置５２間のデータ通信が極めて困難になるという問題
がある。尚、この問題は、半導体の製造分野に限らず、
金属により形成されたコンテナ５３内を電磁波ｆ1 〜ｆ
3 のデータ通信により管理する全ての分野において発生
するものである。
テナ５３を用いると、従来のコンテナ内管理装置では、
図８に示すように、コンテナ５３の金属壁が電磁波ｆ1
〜ｆ3 を遮断するため、ＩＤタグ５１および読取／書込
装置５２間のデータ通信が極めて困難になるという問題
がある。尚、この問題は、半導体の製造分野に限らず、
金属により形成されたコンテナ５３内を電磁波ｆ1 〜ｆ
3 のデータ通信により管理する全ての分野において発生
するものである。
【０００６】従って、本発明は、内部が金属により覆わ
れたコンテナ５３であっても、コンテナ５３の内部と外
部とのデータ通信を電磁波ｆ1 〜ｆ3 により容易に行う
ことができるコンテナ内管理装置を提供しようとするも
のである。
れたコンテナ５３であっても、コンテナ５３の内部と外
部とのデータ通信を電磁波ｆ1 〜ｆ3 により容易に行う
ことができるコンテナ内管理装置を提供しようとするも
のである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を解決するため
に、少なくとも内側が金属からなるコンテナ内に収容さ
れる管理対象物に取り付けられ、該管理対象物のデータ
を記憶可能なデータ記憶手段と、上記コンテナ外に設け
られ、該コンテナ内に収容された管理対象物のデータ記
憶手段に対して電磁波を用いてデータ通信するデータ管
理手段と、上記コンテナの隔壁に設けられ、上記データ
記憶手段と上記データ管理手段とで送受信される電磁波
を中継する中継手段とを有していることを特徴としてい
る。
に、少なくとも内側が金属からなるコンテナ内に収容さ
れる管理対象物に取り付けられ、該管理対象物のデータ
を記憶可能なデータ記憶手段と、上記コンテナ外に設け
られ、該コンテナ内に収容された管理対象物のデータ記
憶手段に対して電磁波を用いてデータ通信するデータ管
理手段と、上記コンテナの隔壁に設けられ、上記データ
記憶手段と上記データ管理手段とで送受信される電磁波
を中継する中継手段とを有していることを特徴としてい
る。
【０００８】
【作用】上記の構成によれば、コンテナの隔壁に設けら
れた中継手段が電磁波を中継するようになっているた
め、コンテナの内部が金属により覆われていても、コン
テナ内のデータ記憶手段およびコンテナ外のデータ管理
手段間のデータ通信を電磁波により容易に行うことがで
きる。
れた中継手段が電磁波を中継するようになっているた
め、コンテナの内部が金属により覆われていても、コン
テナ内のデータ記憶手段およびコンテナ外のデータ管理
手段間のデータ通信を電磁波により容易に行うことがで
きる。
【０００９】
【実施例】本発明の一実施例を図１ないし図６を用いて
説明する。本実施例に係るコンテナ内管理装置は、図３
に示すように、電磁波ｆ1 〜ｆ3によりデータ通信を行
う読取／書込装置１（データ管理手段）とＩＤタグ２
（データ記憶手段）とを有している。読取／書込装置１
は、データ信号を電磁波ｆ2に変換してＩＤタグ２に出
力する送信部４と、ＩＤタグ２からの電磁波ｆ1 を受信
してデータ信号に変換する受信部５とを有しており、送
信部４は、データ信号を変調する変調部９と、変調した
データ信号の信号形態を電気信号から電磁波ｆ1 に変換
して出力する駆動部１０とを有している。一方、受信部
５は、受信した電磁波ｆ1 を電気信号に変換して増幅す
る増幅部７と、電気信号の信号形態に変換されたデータ
信号を復調する復調部８とを有している。
説明する。本実施例に係るコンテナ内管理装置は、図３
に示すように、電磁波ｆ1 〜ｆ3によりデータ通信を行
う読取／書込装置１（データ管理手段）とＩＤタグ２
（データ記憶手段）とを有している。読取／書込装置１
は、データ信号を電磁波ｆ2に変換してＩＤタグ２に出
力する送信部４と、ＩＤタグ２からの電磁波ｆ1 を受信
してデータ信号に変換する受信部５とを有しており、送
信部４は、データ信号を変調する変調部９と、変調した
データ信号の信号形態を電気信号から電磁波ｆ1 に変換
して出力する駆動部１０とを有している。一方、受信部
５は、受信した電磁波ｆ1 を電気信号に変換して増幅す
る増幅部７と、電気信号の信号形態に変換されたデータ
信号を復調する復調部８とを有している。
【００１０】さらに、読取／書込装置１は、電力用の電
磁波ｆ3 をＩＤタグ２に送信する電力送信部３を有して
いると共に、制御部１１も有している。制御部１１は、
工程を管理する制御装置１２に接続されており、制御装
置１２は、例えば制御部１１に対して所定のＩＤタグ２
に記憶された製造履歴や製造条件等の工程データを読み
取るように指示したり、これらの工程データをＩＤタグ
２に書き込むように指示するようになっている。そし
て、制御部１１は、制御装置１２の指示に応じて、例え
ば特定のＩＤタグ２を指定するＩＤデータや工程データ
等を含むデータ信号を送信部４に出力したり、受信部５
からのデータ信号を基にしてＩＤタグ２の確認や工程デ
ータの読み取りを行うようになっている。
磁波ｆ3 をＩＤタグ２に送信する電力送信部３を有して
いると共に、制御部１１も有している。制御部１１は、
工程を管理する制御装置１２に接続されており、制御装
置１２は、例えば制御部１１に対して所定のＩＤタグ２
に記憶された製造履歴や製造条件等の工程データを読み
取るように指示したり、これらの工程データをＩＤタグ
２に書き込むように指示するようになっている。そし
て、制御部１１は、制御装置１２の指示に応じて、例え
ば特定のＩＤタグ２を指定するＩＤデータや工程データ
等を含むデータ信号を送信部４に出力したり、受信部５
からのデータ信号を基にしてＩＤタグ２の確認や工程デ
ータの読み取りを行うようになっている。
【００１１】一方、ＩＤタグ２は、読取／書込装置１か
らの電磁波ｆ2 を受信してデータ信号に変換する受信部
１４と、データ信号を電磁波ｆ1 に変換して送信する送
信部１３と、読取／書込装置１からの電磁波ｆ3 を受信
してＩＤタグ２用の電力に変換する電源部６とを有して
いる。尚、電源部６は、電池であっても良く、この場合
には、読取／書込装置１の電力送信部３および電力用の
電磁波ｆ3 が不要となる。そして、送信部１３と受信部
１４とは、上述の読取／書込装置１と同様に、変調部１
５および駆動部１６と、復調部１７および増幅部１８と
をそれぞれ備えている。
らの電磁波ｆ2 を受信してデータ信号に変換する受信部
１４と、データ信号を電磁波ｆ1 に変換して送信する送
信部１３と、読取／書込装置１からの電磁波ｆ3 を受信
してＩＤタグ２用の電力に変換する電源部６とを有して
いる。尚、電源部６は、電池であっても良く、この場合
には、読取／書込装置１の電力送信部３および電力用の
電磁波ｆ3 が不要となる。そして、送信部１３と受信部
１４とは、上述の読取／書込装置１と同様に、変調部１
５および駆動部１６と、復調部１７および増幅部１８と
をそれぞれ備えている。
【００１２】また、ＩＤタグ２は、メモリ１９および制
御部２０も有しており、メモリ１９は、ＩＤタグ１に対
して固有に設定されたＩＤ番号を記憶していると共に、
製造履歴や製造条件等の工程データを書換え可能に記憶
するようになっている。そして、制御部２０は、受信部
１４を介して入力されたＩＤデータが自己のＩＤ番号と
一致する場合に、送信部１３および受信部１４を介して
読取／書込装置１との間でデータ通信を継続し、例えば
読取／書込装置１の要求に応じてメモリ１９に対する工
程データの読み取り動作および書き込み動作を行うよう
になっている。
御部２０も有しており、メモリ１９は、ＩＤタグ１に対
して固有に設定されたＩＤ番号を記憶していると共に、
製造履歴や製造条件等の工程データを書換え可能に記憶
するようになっている。そして、制御部２０は、受信部
１４を介して入力されたＩＤデータが自己のＩＤ番号と
一致する場合に、送信部１３および受信部１４を介して
読取／書込装置１との間でデータ通信を継続し、例えば
読取／書込装置１の要求に応じてメモリ１９に対する工
程データの読み取り動作および書き込み動作を行うよう
になっている。
【００１３】上記のＩＤタグ２は、図１に示すように、
ウエーハ２２（管理対象物）を複数枚単位で収容可能な
ウエーハカセット２１（管理対象物）に固設されてい
る。ウエーハカセット２１は、コンテナ２５内に収容さ
れており、コンテナ２５は、ウエーハカセット２１を載
置する蓋部材２３と、蓋部材２３上に載置されたウエー
ハカセット２１を収容するコンテナ本体２６とを有して
いる。そして、蓋部材２３には、コンテナ本体２６の開
口部に当接するようにシール２４が設けられており、シ
ール２４は、コンテナ本体２６と蓋部材２３とを密接さ
せることによりコンテナ２５内の環境を一定に維持させ
るようになっている。
ウエーハ２２（管理対象物）を複数枚単位で収容可能な
ウエーハカセット２１（管理対象物）に固設されてい
る。ウエーハカセット２１は、コンテナ２５内に収容さ
れており、コンテナ２５は、ウエーハカセット２１を載
置する蓋部材２３と、蓋部材２３上に載置されたウエー
ハカセット２１を収容するコンテナ本体２６とを有して
いる。そして、蓋部材２３には、コンテナ本体２６の開
口部に当接するようにシール２４が設けられており、シ
ール２４は、コンテナ本体２６と蓋部材２３とを密接さ
せることによりコンテナ２５内の環境を一定に維持させ
るようになっている。
【００１４】上記のコンテナ本体２６および蓋部材２３
は、樹脂よりもガス透過性およびアウトガス量が少ない
金属を用いて作成されており、コンテナ２５の内部を金
属で覆わせるようになっている。尚、コンテナ本体２６
および蓋部材２３は、樹脂により形成された内壁面を金
属板や金属泊で覆ったものであっても良いし、メッキや
蒸着により金属皮膜を形成したものであっても良い。
は、樹脂よりもガス透過性およびアウトガス量が少ない
金属を用いて作成されており、コンテナ２５の内部を金
属で覆わせるようになっている。尚、コンテナ本体２６
および蓋部材２３は、樹脂により形成された内壁面を金
属板や金属泊で覆ったものであっても良いし、メッキや
蒸着により金属皮膜を形成したものであっても良い。
【００１５】上記のコンテナ本体２６の隔壁には、ＩＤ
タグ２および読取／書込装置１間の電磁波ｆ1 〜ｆ3 を
中継する中継手段３３が設けられている。中継手段３３
は、送信用、受信用、および電力用の３系統のコイルか
らなる第１コイル２７を有しており、第１コイル２７
は、図２にも示すように、コンテナ２５内に存在するよ
うに、コンテナ本体２６の内壁面に設けられている。そ
して、第１コイル２７は、電磁波ｆ1 〜ｆ3 のアンテナ
としての機能を有することによって、ＩＤタグ２とで電
磁波ｆ1 〜ｆ3 を送受信するようになっている。
タグ２および読取／書込装置１間の電磁波ｆ1 〜ｆ3 を
中継する中継手段３３が設けられている。中継手段３３
は、送信用、受信用、および電力用の３系統のコイルか
らなる第１コイル２７を有しており、第１コイル２７
は、図２にも示すように、コンテナ２５内に存在するよ
うに、コンテナ本体２６の内壁面に設けられている。そ
して、第１コイル２７は、電磁波ｆ1 〜ｆ3 のアンテナ
としての機能を有することによって、ＩＤタグ２とで電
磁波ｆ1 〜ｆ3 を送受信するようになっている。
【００１６】上記の第１コイル２７とコンテナ本体２６
の内壁面との間には、電気的絶縁性を有する非金属のス
ペーサ２８が設けられており、スペーサ２８は、有効に
電磁波を受信できるように第１コイル２７を金属壁から
隔離するようになっている。第１コイル２７の両端は、
スペーサ２８およびコンテナ本体２６に形成された貫通
孔を介してコンテナ本体２６の外部に引き出されてい
る。そして、貫通孔には、コイルとコンテナ本体２６と
の接触を防止すると共に、コンテナ２５の機密状態を維
持するように、電気的絶縁性を有するシーリング材が充
填されている。
の内壁面との間には、電気的絶縁性を有する非金属のス
ペーサ２８が設けられており、スペーサ２８は、有効に
電磁波を受信できるように第１コイル２７を金属壁から
隔離するようになっている。第１コイル２７の両端は、
スペーサ２８およびコンテナ本体２６に形成された貫通
孔を介してコンテナ本体２６の外部に引き出されてい
る。そして、貫通孔には、コイルとコンテナ本体２６と
の接触を防止すると共に、コンテナ２５の機密状態を維
持するように、電気的絶縁性を有するシーリング材が充
填されている。
【００１７】上記の第１コイル２７の両端は、コンテナ
本体２６の外壁面に設けられた雄型コネクタ２９（コネ
クタ手段）に接続されている。雄型コネクタ２９の前方
には、コネクタ伸縮装置３１に支持された雌型コネクタ
３０が対向して設けられており、コネクタ伸縮装置３１
は、制御装置１２からの指示を受けて雌型コネクタ３０
を雄型コネクタ２９方向に進退移動させるようになって
いる。また、雌型コネクタ３０は、上述の読取／書込装
置１に接続されており、読取／書込装置１は、雌型コネ
クタ３０が雄型コネクタ２９に接続されたときに、電磁
波ｆ1 〜ｆ3 によりＩＤタグ２とデータ通信を行うよう
になっている。
本体２６の外壁面に設けられた雄型コネクタ２９（コネ
クタ手段）に接続されている。雄型コネクタ２９の前方
には、コネクタ伸縮装置３１に支持された雌型コネクタ
３０が対向して設けられており、コネクタ伸縮装置３１
は、制御装置１２からの指示を受けて雌型コネクタ３０
を雄型コネクタ２９方向に進退移動させるようになって
いる。また、雌型コネクタ３０は、上述の読取／書込装
置１に接続されており、読取／書込装置１は、雌型コネ
クタ３０が雄型コネクタ２９に接続されたときに、電磁
波ｆ1 〜ｆ3 によりＩＤタグ２とデータ通信を行うよう
になっている。
【００１８】上記の構成において、コンテナ内管理装置
の動作について説明する。先ず、蓋部材２３がコンテナ
本体２６の開口部をシール２４を介して密閉すると、コ
ンテナ２５が機密状態にされることによって、異物や水
分等のコンテナ２５内への侵入が防止されることにな
る。また、コンテナ２５を構成する蓋部材２３およびコ
ンテナ本体２６は、ガス透過性およびアウトガス量が少
ない金属により形成されている。従って、コンテナ２５
は、機密構造および構成材料の特性によって、内部の環
境が極めて安定した状態に維持されることになり、ウエ
ーハ２２は、このコンテナ２５内にウエーハカセット２
１と共に収容されて搬送および保管されることになる。
の動作について説明する。先ず、蓋部材２３がコンテナ
本体２６の開口部をシール２４を介して密閉すると、コ
ンテナ２５が機密状態にされることによって、異物や水
分等のコンテナ２５内への侵入が防止されることにな
る。また、コンテナ２５を構成する蓋部材２３およびコ
ンテナ本体２６は、ガス透過性およびアウトガス量が少
ない金属により形成されている。従って、コンテナ２５
は、機密構造および構成材料の特性によって、内部の環
境が極めて安定した状態に維持されることになり、ウエ
ーハ２２は、このコンテナ２５内にウエーハカセット２
１と共に収容されて搬送および保管されることになる。
【００１９】次に、上記のコンテナ２５による搬送およ
び保管時において、コンテナ２５が所定の位置に移動さ
れると、このコンテナ２５を制御装置１２が図示しない
センサ等により検知し、コネクタ伸縮装置３１に対して
雌型コネクタ３０を雄型コネクタ２９に接続させるよう
に指示することによって、コネクタ伸縮装置３１が雌型
コネクタ３０を雄型コネクタ２９方向に移動させること
になる。
び保管時において、コンテナ２５が所定の位置に移動さ
れると、このコンテナ２５を制御装置１２が図示しない
センサ等により検知し、コネクタ伸縮装置３１に対して
雌型コネクタ３０を雄型コネクタ２９に接続させるよう
に指示することによって、コネクタ伸縮装置３１が雌型
コネクタ３０を雄型コネクタ２９方向に移動させること
になる。
【００２０】雌型コネクタ３０の雄型コネクタ２９への
接続が完了すると、電力用の電磁波ｆ3 および読取／書
込装置１からＩＤデータを含んだデータ信号用の電磁波
ｆ2がこの順に出力されることになり、これらの電磁波
ｆ3 ・ｆ2 は、雌型コネクタ３０および雄型コネクタ２
９を介してコンテナ２５内の第１コイル２７に到達する
ことになる。そして、第１コイル２７が電磁波ｆ2 ・ｆ
3 をコンテナ２５内に発信し、ＩＤタグ２が電磁波ｆ2
・ｆ3 を受信することによって、読取／書込装置１から
ＩＤタグ２への電磁波ｆ2 ・ｆ3 の送信が完了すること
になる。この後、これらの電磁波ｆ2 ・ｆ3 を基にして
ＩＤタグ２が応答するため、応答用のデータ信号を電磁
波ｆ1 として発信すると、この電磁波ｆ1 が第１コイル
２７により受信されて雄型コネクタ２９および雌型コネ
クタ３０を介して読取／書込装置１に取り込まれること
になる。これにより、ＩＤタグ２から読取／書込装置１
への電磁波ｆ1 の送信が完了することになり、電磁波ｆ
1 〜ｆ3 による読取／書込装置１およびＩＤタグ２間の
双方向のデータ通信が第１コイル２７および雄型コネク
タ２９の中継により実現されることになる。
接続が完了すると、電力用の電磁波ｆ3 および読取／書
込装置１からＩＤデータを含んだデータ信号用の電磁波
ｆ2がこの順に出力されることになり、これらの電磁波
ｆ3 ・ｆ2 は、雌型コネクタ３０および雄型コネクタ２
９を介してコンテナ２５内の第１コイル２７に到達する
ことになる。そして、第１コイル２７が電磁波ｆ2 ・ｆ
3 をコンテナ２５内に発信し、ＩＤタグ２が電磁波ｆ2
・ｆ3 を受信することによって、読取／書込装置１から
ＩＤタグ２への電磁波ｆ2 ・ｆ3 の送信が完了すること
になる。この後、これらの電磁波ｆ2 ・ｆ3 を基にして
ＩＤタグ２が応答するため、応答用のデータ信号を電磁
波ｆ1 として発信すると、この電磁波ｆ1 が第１コイル
２７により受信されて雄型コネクタ２９および雌型コネ
クタ３０を介して読取／書込装置１に取り込まれること
になる。これにより、ＩＤタグ２から読取／書込装置１
への電磁波ｆ1 の送信が完了することになり、電磁波ｆ
1 〜ｆ3 による読取／書込装置１およびＩＤタグ２間の
双方向のデータ通信が第１コイル２７および雄型コネク
タ２９の中継により実現されることになる。
【００２１】このように、本実施例のコンテナ内管理装
置は、少なくとも内壁面を金属で形成することにより内
部を金属で覆ったコンテナ２５内に収容されるウエーハ
２２やウエーハカセット２１等の管理対象物に取り付け
られ、この管理対象物のＩＤデータや工程データを記憶
可能なＩＤタグ２（データ記憶手段）と、コンテナ２５
外に設けられ、コンテナ２５内に収容された管理対象物
のＩＤタグ２に対して電磁波ｆ1 〜ｆ3 を用いてデータ
通信する読取／書込装置１（データ管理手段）と、コン
テナ２５の隔壁に設けられ、ＩＤタグ２と読取／書込装
置１とで送受信される電磁波ｆ1 〜ｆ3 を中継する中継
手段３３とを有している。具体的には、上記の中継手段
３３は、コンテナ２５内に収容された管理対象物のＩＤ
タグ２に対して電磁波ｆ1 〜ｆ3 を送受信するようにコ
ンテナ２５内に設けられた第１コイル２７（第１コイル
手段）と、第１コイル２７にコンテナ２５の隔壁を介し
て接続され、読取／書込装置１に接続可能にコンテナ２
５外に設けられた雄型コネクタ２９（コネクタ手段）と
を有している。
置は、少なくとも内壁面を金属で形成することにより内
部を金属で覆ったコンテナ２５内に収容されるウエーハ
２２やウエーハカセット２１等の管理対象物に取り付け
られ、この管理対象物のＩＤデータや工程データを記憶
可能なＩＤタグ２（データ記憶手段）と、コンテナ２５
外に設けられ、コンテナ２５内に収容された管理対象物
のＩＤタグ２に対して電磁波ｆ1 〜ｆ3 を用いてデータ
通信する読取／書込装置１（データ管理手段）と、コン
テナ２５の隔壁に設けられ、ＩＤタグ２と読取／書込装
置１とで送受信される電磁波ｆ1 〜ｆ3 を中継する中継
手段３３とを有している。具体的には、上記の中継手段
３３は、コンテナ２５内に収容された管理対象物のＩＤ
タグ２に対して電磁波ｆ1 〜ｆ3 を送受信するようにコ
ンテナ２５内に設けられた第１コイル２７（第１コイル
手段）と、第１コイル２７にコンテナ２５の隔壁を介し
て接続され、読取／書込装置１に接続可能にコンテナ２
５外に設けられた雄型コネクタ２９（コネクタ手段）と
を有している。
【００２２】これにより、コンテナ２５の隔壁に設けら
れた中継手段３３が電磁波ｆ1 〜ｆ3 を中継するように
なっているため、コンテナ２５の内部が金属により覆わ
れ、ＩＤタグ２および読取／書込装置１が金属壁により
遮断されていても、ＩＤタグ２および読取／書込装置１
間のデータ通信を電磁波ｆ1 〜ｆ3 により容易に行うこ
とができるようになっている。
れた中継手段３３が電磁波ｆ1 〜ｆ3 を中継するように
なっているため、コンテナ２５の内部が金属により覆わ
れ、ＩＤタグ２および読取／書込装置１が金属壁により
遮断されていても、ＩＤタグ２および読取／書込装置１
間のデータ通信を電磁波ｆ1 〜ｆ3 により容易に行うこ
とができるようになっている。
【００２３】尚、本実施例における中継手段３３は、コ
ンテナ２５内に第１コイル２７を設置し、この第１コイ
ル２７の両端をコンテナ２５外の雄型コネクタ２９に接
続した構成であるが、これに限定されることはない。即
ち、中継手段３３は、図４および図５に示すように、コ
ンテナ２５内に収容された管理対象物のＩＤタグ２に対
して電磁波ｆ1 〜ｆ3 を送受信するようにコンテナ２５
内に設けられた第１コイル２７ａ（第１コイル手段）
と、第１コイル２７ａにコンテナ２５の隔壁を介して接
続され、読取／書込装置１に対して電磁波ｆ1 〜ｆ3 を
送受信するようにコンテナ２５外に設けられた第２コイ
ル２７ｂ（第２コイル手段）と、これらの第１コイル２
７ａおよび第２コイル２７ｂを共振させるコンデンサ３
２（共振手段）とを有した構成であっても良い。
ンテナ２５内に第１コイル２７を設置し、この第１コイ
ル２７の両端をコンテナ２５外の雄型コネクタ２９に接
続した構成であるが、これに限定されることはない。即
ち、中継手段３３は、図４および図５に示すように、コ
ンテナ２５内に収容された管理対象物のＩＤタグ２に対
して電磁波ｆ1 〜ｆ3 を送受信するようにコンテナ２５
内に設けられた第１コイル２７ａ（第１コイル手段）
と、第１コイル２７ａにコンテナ２５の隔壁を介して接
続され、読取／書込装置１に対して電磁波ｆ1 〜ｆ3 を
送受信するようにコンテナ２５外に設けられた第２コイ
ル２７ｂ（第２コイル手段）と、これらの第１コイル２
７ａおよび第２コイル２７ｂを共振させるコンデンサ３
２（共振手段）とを有した構成であっても良い。
【００２４】具体的には、コンテナ２５の両壁面にスペ
ーサ２８・２８を介して第１コイル２７ａ（第１コイル
手段）および第２コイル２７ｂ（第２コイル手段）を設
置し、図６の共振回路を構成するように、第１および第
２コイル２７ａ・２７ｂの一端同士を直結すると共に、
他端同士をコンデンサ３２（共振手段）を介して接続し
た構成であっていても良い。そして、この場合には、コ
ネクタ伸縮装置３１が不要となるため、コンテナ内管理
装置の構成を簡単化することが可能になる。
ーサ２８・２８を介して第１コイル２７ａ（第１コイル
手段）および第２コイル２７ｂ（第２コイル手段）を設
置し、図６の共振回路を構成するように、第１および第
２コイル２７ａ・２７ｂの一端同士を直結すると共に、
他端同士をコンデンサ３２（共振手段）を介して接続し
た構成であっていても良い。そして、この場合には、コ
ネクタ伸縮装置３１が不要となるため、コンテナ内管理
装置の構成を簡単化することが可能になる。
【００２５】また、本実施例のコンテナ内管理装置は、
ウエーハや液晶表示板、ディスク等の電子基板を取り扱
う半導体製造工程の分野に適用された場合について説明
しているが、金属製のコンテナ５３内の管理対象物を電
磁波ｆ1 〜ｆ3 により非接触で管理する全ての分野にお
いて適用できるものである。また、ＩＤタグ２には、読
み出し専用、書き込み専用、および読み出し／書き込み
両用可能なものがあり、コンテナ内管理装置は、これら
の使用形態により電磁波を送信および／または受信する
ようになっている。さらに、図４および図５において
は、第１および第２コイル２７ａ・２７ｂは、１組のみ
図示しているが、通常は、それぞれ送信用および受信用
として２組必要であり、電源電力を送る場合には、さら
に電力用として３組必要となる。尚、特殊な場合とし
て、図１において、ｆ1 ＝ｆ2 、ｆ2＝ｆ3 の場合があ
る。
ウエーハや液晶表示板、ディスク等の電子基板を取り扱
う半導体製造工程の分野に適用された場合について説明
しているが、金属製のコンテナ５３内の管理対象物を電
磁波ｆ1 〜ｆ3 により非接触で管理する全ての分野にお
いて適用できるものである。また、ＩＤタグ２には、読
み出し専用、書き込み専用、および読み出し／書き込み
両用可能なものがあり、コンテナ内管理装置は、これら
の使用形態により電磁波を送信および／または受信する
ようになっている。さらに、図４および図５において
は、第１および第２コイル２７ａ・２７ｂは、１組のみ
図示しているが、通常は、それぞれ送信用および受信用
として２組必要であり、電源電力を送る場合には、さら
に電力用として３組必要となる。尚、特殊な場合とし
て、図１において、ｆ1 ＝ｆ2 、ｆ2＝ｆ3 の場合があ
る。
【００２６】また、本実施例においては、コイルやコネ
クタ手段をコンテナ２５の側面壁に設けた構成について
説明したが、これに限定されることはなく、コイルやコ
ネクタ手段をコンテナ２５の底面壁に設けても良い。特
に、コンテナ２５の底面壁に設けた場合には、コンテナ
２５のコネクタ手段に読取／書込装置１を接続するため
のコネクタ伸縮装置３１が不要になる。
クタ手段をコンテナ２５の側面壁に設けた構成について
説明したが、これに限定されることはなく、コイルやコ
ネクタ手段をコンテナ２５の底面壁に設けても良い。特
に、コンテナ２５の底面壁に設けた場合には、コンテナ
２５のコネクタ手段に読取／書込装置１を接続するため
のコネクタ伸縮装置３１が不要になる。
【００２７】
【発明の効果】本発明は、以上のように、少なくとも内
側が金属からなるコンテナ内に収容される管理対象物に
取り付けられ、該管理対象物のデータを記憶可能なデー
タ記憶手段と、上記コンテナ外に設けられ、該コンテナ
内に収容された管理対象物のデータ記憶手段に対して電
磁波を用いてデータ通信するデータ管理手段と、上記コ
ンテナの隔壁に設けられ、上記データ記憶手段と上記デ
ータ管理手段とで送受信される電磁波を中継する中継手
段とを有している構成であるから、コンテナの内部が金
属により覆われていても、コンテナ内のデータ記憶手段
およびコンテナ外のデータ管理手段間のデータ通信を電
磁波により容易に行うことができるという効果を奏す
る。
側が金属からなるコンテナ内に収容される管理対象物に
取り付けられ、該管理対象物のデータを記憶可能なデー
タ記憶手段と、上記コンテナ外に設けられ、該コンテナ
内に収容された管理対象物のデータ記憶手段に対して電
磁波を用いてデータ通信するデータ管理手段と、上記コ
ンテナの隔壁に設けられ、上記データ記憶手段と上記デ
ータ管理手段とで送受信される電磁波を中継する中継手
段とを有している構成であるから、コンテナの内部が金
属により覆われていても、コンテナ内のデータ記憶手段
およびコンテナ外のデータ管理手段間のデータ通信を電
磁波により容易に行うことができるという効果を奏す
る。
【図１】本発明を示すものであり、コンテナ内管理装置
の概略構成図である。
の概略構成図である。
【図２】コンテナ内管理装置における中継手段の概略構
成図である。
成図である。
【図３】読取／書込装置およびＩＤタグの回路図であ
る。
る。
【図４】コンテナ内管理装置の概略構成図である。
【図５】コンテナ内管理装置における中継手段の概略構
成図である。
成図である。
【図６】コンテナ内管理装置における中継手段の回路図
である。
である。
【図７】従来例を示すものであり、コンテナ内管理装置
の概略構成図である。
の概略構成図である。
【図８】コンテナ内管理装置における中継手段の概略構
成図である。
成図である。
１ 読取／書込装置
２ ＩＤタグ
３ 電力送信部
４ 送信部
５ 受信部
２１ ウエーハカセット
２２ ウエーハ
２３ 蓋部材
２４ シール
２５ コンテナ
２６ コンテナ本体
２７ 第１コイル
２７ａ 第１コイル
２７ｂ 第２コイル
２８ スペーサ
２９ 雄型コネクタ
３０ 雌型コネクタ
３１ コネクタ伸縮装置
３２ コンデンサ
３３ 中継手段
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 及部 博之
三重県伊勢市竹ヶ鼻町100番地 神鋼電
機株式会社 伊勢製作所内
(72)発明者 田中 幹
三重県伊勢市竹ヶ鼻町100番地 神鋼電
機株式会社 伊勢製作所内
(56)参考文献 特開 平５−275296（ＪＰ，Ａ)
特開 昭62−175899（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−124647（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B65D 25/02 - 25/20
H01L 21/02
Claims (3)
- 【請求項１】 少なくとも内側が金属からなるコンテナ
内に収容される管理対象物に取り付けられ、該管理対象
物のデータを記憶可能なデータ記憶手段と、 上記コンテナ外に設けられ、該コンテナ内に収容された
管理対象物のデータ記憶手段に対して電磁波を用いてデ
ータ通信するデータ管理手段と、 上記コンテナの隔壁に設けられ、上記データ記憶手段と
上記データ管理手段とで送受信される電磁波を中継する
中継手段とを有していることを特徴とするコンテナ内管
理装置。 - 【請求項２】 上記中継手段は、コンテナ内に収容され
た管理対象物のデータ記憶手段に対して電磁波を送信お
よび／または受信するようにコンテナ内に設けられた第
１コイル手段と、該第１コイル手段にコンテナの隔壁を
介して接続され、上記データ管理手段に接続可能にコン
テナ外に設けられたコネクタ手段とを有していることを
特徴とする請求項１記載のコンテナ内管理装置。 - 【請求項３】 上記中継手段は、コンテナ内に収容され
た管理対象物のデータ記憶手段に対して電磁波を送信お
よび／または受信するようにコンテナ内に設けられた第
１コイル手段と、該第１コイル手段にコンテナの隔壁を
介して接続され、上記データ管理手段に対して電磁波を
送信および／または受信するようにコンテナ外に設けら
れた第２コイル手段と、これら第１コイル手段および第
２コイル手段を共振させる共振手段とを有していること
を特徴とする請求項１記載のコンテナ内管理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20134694A JP3371561B2 (ja) | 1994-08-02 | 1994-08-02 | コンテナ内管理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20134694A JP3371561B2 (ja) | 1994-08-02 | 1994-08-02 | コンテナ内管理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0848337A JPH0848337A (ja) | 1996-02-20 |
| JP3371561B2 true JP3371561B2 (ja) | 2003-01-27 |
Family
ID=16439517
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20134694A Expired - Fee Related JP3371561B2 (ja) | 1994-08-02 | 1994-08-02 | コンテナ内管理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3371561B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6901971B2 (en) * | 2001-01-10 | 2005-06-07 | Entegris, Inc. | Transportable container including an internal environment monitor |
| JP2006306407A (ja) * | 2005-04-26 | 2006-11-09 | Toyo Seikan Kaisha Ltd | 殺菌工程通過確認方法および装置 |
| US7339482B2 (en) * | 2005-09-30 | 2008-03-04 | The Boeing Company | Shipping container air-vent cover antenna housing |
| JP5029367B2 (ja) * | 2006-01-05 | 2012-09-19 | 日立化成工業株式会社 | 個体識別が可能な管状容器 |
| JP2009037374A (ja) * | 2007-08-01 | 2009-02-19 | Nec Personal Products Co Ltd | 電子タグを備えた電子機器 |
| AT15635U1 (de) * | 2014-07-31 | 2018-03-15 | Avl List Gmbh | Überbrückungsvorrichtung für ein Gehäuse einer Objektgruppe |
| JP2016206838A (ja) * | 2015-04-20 | 2016-12-08 | 日本板硝子環境アメニティ株式会社 | 書籍管理システムおよび予約棚システム |
| JP6650641B2 (ja) * | 2016-03-03 | 2020-02-19 | 株式会社フェニックスソリューション | 導波器 |
-
1994
- 1994-08-02 JP JP20134694A patent/JP3371561B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0848337A (ja) | 1996-02-20 |
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