JP3369323B2 - Epoxy resin composition for semiconductor encapsulation - Google Patents

Epoxy resin composition for semiconductor encapsulation

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JP3369323B2
JP3369323B2 JP24342594A JP24342594A JP3369323B2 JP 3369323 B2 JP3369323 B2 JP 3369323B2 JP 24342594 A JP24342594 A JP 24342594A JP 24342594 A JP24342594 A JP 24342594A JP 3369323 B2 JP3369323 B2 JP 3369323B2
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epoxy resin
substituent
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resin composition
aromatic ester
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保幸 村田
典生 通岩
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ジャパンエポキシレジン株式会社
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、硬化性に優れ、低吸湿
性に優れた硬化物を与える半導体封止用エポキシ樹脂組
成物に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an epoxy resin composition for semiconductor encapsulation which gives a cured product having excellent curability and low hygroscopicity.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、半導体素子の高集積化にしたがっ
て、半導体素子の封止材料に対して要求される諸特性は
厳しくなり、特にハンダ浴浸漬時の耐クラック性および
速硬化性が重要な課題となっている。しかし、現在一般
に用いられているエポキシ樹脂組成物では、要求特性を
充分に満足できなくなってきた。
2. Description of the Related Art In recent years, as semiconductor elements have been highly integrated, various characteristics required for a sealing material for semiconductor elements have become strict, and in particular, crack resistance and rapid hardening when immersed in a solder bath are important. It has become a challenge. However, the epoxy resin composition currently generally used cannot satisfy the required characteristics sufficiently.

【0003】すなわち、半導体装置の高集積化が進み、
半導体素子の大型化が著しいとともに、パッケージその
ものが小型化、薄型化している。また、半導体装置の実
装も表面実装へと移行している。表面実装においては半
導体装置がハンダ浴に直接浸漬され、高温にさらされる
際に、吸湿された水分の膨張のために、パッケージ全体
に大きな応力がかかり、封止材にクラックが入る。その
ために、耐ハンダクラック性の良好な封止材には、優れ
た低吸湿性が要求され、現在主として用いられているク
レゾールノボラック型エポキシ樹脂と、フェノールノボ
ラック樹脂硬化剤とからなるエポキシ樹脂封止材では、
低吸湿性が充分なものとはいえなくなってきた。
That is, as the degree of integration of semiconductor devices increases,
As the size of semiconductor devices has increased significantly, the packages themselves have become smaller and thinner. In addition, the mounting of semiconductor devices is also shifting to surface mounting. In surface mounting, when a semiconductor device is directly immersed in a solder bath and exposed to a high temperature, a large stress is applied to the entire package due to expansion of moisture absorbed, and a crack occurs in the sealing material. Therefore, excellent low moisture absorption is required for the encapsulant with good solder crack resistance, and the epoxy resin encapsulation consisting of the cresol novolac type epoxy resin currently mainly used and the phenol novolac resin curing agent is used. In wood,
Low hygroscopicity is no longer sufficient.

【0004】また、半導体装置の封止は、低圧トランス
ファー成形法によって行われるが、大量生産が必要にな
るにつれて、成形サイクルを上げるためにエポキシ樹脂
封止材には、速硬化性が要求されている。
Further, the semiconductor device is sealed by a low-pressure transfer molding method. However, as mass production is required, the epoxy resin sealing material is required to have a fast curing property in order to increase the molding cycle. There is.

【0005】エポキシ樹脂および、硬化剤のそれぞれに
ついて低吸湿化の研究は広く行われている。その代表的
な手法は、ジシクロペンタン骨格や、キシレン骨格など
の疎水基を導入するものであり(特開平4−24882
8号公報、特開平5−301946号公報など)、その
低吸湿化効果は、充分とはいえず、耐ハンダクラック性
も充分には改良されない。
Studies on low moisture absorption have been widely conducted for each of the epoxy resin and the curing agent. A typical method is to introduce a hydrophobic group such as a dicyclopentane skeleton or a xylene skeleton (JP-A-4-24882).
No. 8, JP-A-5-301946, etc.), the effect of lowering the moisture absorption cannot be said to be sufficient, and the solder crack resistance is not sufficiently improved.

【0006】特開昭62−53327号公報には、安息
香酸類やトリメリット酸やピロメリット酸をフェノール
化合物でエステル化してなる硬化剤を用いた低吸湿性硬
化物を与える硬化性エポキシ樹脂組成物が記載されてい
る。安息香酸類やナフタレン環にカルボキシル基を有す
るナフタレン系カルボン酸とフェノール化合物のエステ
ル化物は低吸湿性に優れた硬化物を与えることができる
が、そのエステル基(芳香族エステル結合)はエポキシ
基との反応速度がおそいため、同公報に記載の硬化性エ
ポキシ樹脂組成物は速硬化性の要求を満すことができな
いものである。
JP-A-62-53327 discloses a curable epoxy resin composition which gives a low hygroscopic cured product using a curing agent obtained by esterifying benzoic acid, trimellitic acid or pyromellitic acid with a phenol compound. Is listed. Esterified products of benzoic acids and naphthalene-based carboxylic acids having a carboxyl group on the naphthalene ring and phenol compounds can give cured products with excellent low hygroscopicity, but the ester group (aromatic ester bond) is Since the reaction rate is slow, the curable epoxy resin composition described in the publication cannot satisfy the requirement for fast curing.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、硬化性に優
れ、すなわち速硬化性で、かつ低吸湿性に優れた硬化物
を与えることができる半導体封止用エポキシ樹脂組成物
を提供しようとするものである。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention is intended to provide an epoxy resin composition for semiconductor encapsulation which is capable of giving a cured product having excellent curability, that is, fast curing property and low hygroscopicity. To do.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明者等は、前記の課
題を解決するために種々研究を重ねた結果、芳香族環ど
うしを直接に結合せしめる芳香族エステル結合とフェノ
ール性水酸基との両方を有する芳香族エステル化合物、
又は同芳香族エステル化合物とフェノール性水酸基を有
する多価フェノール化合物との混合物をエポキシ樹脂の
硬化剤として用いることにより、その目的を達成するこ
とができたのである。
Means for Solving the Problems As a result of various studies to solve the above problems, the present inventors have found that both an aromatic ester bond that directly bonds aromatic rings and a phenolic hydroxyl group. An aromatic ester compound having
Alternatively, the object could be achieved by using a mixture of the aromatic ester compound and a polyhydric phenol compound having a phenolic hydroxyl group as a curing agent for an epoxy resin.

【0009】すなわち、本発明の半導体封止用エポキシ
樹脂組成物は、エポキシ樹脂、硬化剤、充填剤及び硬化
促進剤を含有するエポキシ樹脂組成物において、前記の
硬化剤として、芳香族環に置換基及び/又は置換原子を
有しうる多価フェノール化合物のフェノール性水酸基の
50%以上を、ベンゼン環に置換基及び/又は置換原子
を有しうる安息香酸とナフタレン環に置換基及び/又は
置換原子を有しうるナフトエ酸とから選ばれた少なくと
も1種の芳香族カルボン酸によってエステル化されてな
る芳香族エステル化合物(I)、及び該芳香族エステル
化合物(I)と芳香族環に置換基及び/又は置換原子を
有しうる多価フェノール化合物との混合物(II)から
なる群から選ばれた少なくとも1種からなる硬化剤であ
って、全硬化剤中の全芳香族エステル結合/全フェノー
ル性水酸基のモル比が1/(0.1〜1.0)である硬
化剤を用い、かつ前記の充填剤としてシリカ粉末を全組
成物に対して60〜95重量%用いたことを特徴とする
組成物である。
That is, the epoxy resin composition for semiconductor encapsulation of the present invention is an epoxy resin composition containing an epoxy resin, a curing agent, a filler and a curing accelerator, and the aromatic ring is substituted as the curing agent. 50% or more of the phenolic hydroxyl groups of the polyhydric phenol compound which may have a group and / or a substituent atom, and benzoic acid which may have a substituent and / or a substituent atom on the benzene ring and a substituent and / or a substituent on the naphthalene ring. Aromatic ester compound (I) obtained by esterification with at least one aromatic carboxylic acid selected from naphthoic acid having an atom, and a substituent on the aromatic ester compound (I) and aromatic ring And / or a curing agent comprising at least one selected from the group consisting of a mixture (II) with a polyhydric phenol compound which may have a substituent atom, in all curing agents A curing agent having a total aromatic ester bond / total phenolic hydroxyl group molar ratio of 1 / (0.1 to 1.0) is used, and silica powder is used as the above-mentioned filler in an amount of 60 to 95 based on the total composition. The composition is characterized in that it is used in a weight percentage.

【0010】本発明で用いる硬化剤は、硬化反応に関与
する基として、芳香族環どうしを直接に結合せしめるカ
ルボン酸エステル結合(本明細書では、これを「芳香族
エステル結合」と略称する)と、フェノール性水酸基と
の両方が含まれているのが特徴である。
The curing agent used in the present invention is a carboxylic acid ester bond that directly bonds aromatic rings as a group involved in the curing reaction (in the present specification, this is abbreviated as "aromatic ester bond"). And that it contains both a phenolic hydroxyl group.

【0011】そして、芳香族エステル結合は、エポキシ
基との硬化反応に際し、フェノール系硬化剤やアミン系
硬化剤を用いて硬化させた場合のような吸湿性を増加さ
せる水酸基を全く生成しないから、低吸湿性に優れた硬
化物を与えるのに寄与する。
Since the aromatic ester bond does not generate a hydroxyl group which increases hygroscopicity at the time of curing reaction with an epoxy group as in the case of curing with a phenolic curing agent or an amine curing agent, It contributes to give a cured product excellent in low hygroscopicity.

【0012】なお、エステル結合が脂肪族鎖どうしを結
合せしめるエステル結合である場合、或いは芳香族環と
脂肪族環とを結合せしめるエステル結合である場合に
は、それらのエステル結合はエポキシ基と全く反応しな
いか、又は反応したとしてもその反応速度が著しくおそ
い。これに対し、芳香族エステル結合はこれらエステル
結合に較べれば反応速度が速いのである。
When the ester bond is an ester bond for connecting aliphatic chains to each other or an ester bond for connecting an aromatic ring and an aliphatic ring, those ester bonds are completely different from the epoxy group. Even if it does not react, or if it reacts, the reaction rate is extremely slow. On the other hand, the aromatic ester bond has a higher reaction rate than these ester bonds.

【0013】しかも、本発明で用いる硬化剤は、芳香族
エステル結合1モルに対し0.1〜1.0モルのフェノ
ール性水酸基が含まれており、このフェノール性水酸基
がエポキシ基との反応速度が著しく速いから、速硬化性
と低吸湿性との両方を満足せしめることができるのであ
る。そして、全硬化剤中のエステル結合の割合が多くな
りすぎると、低吸湿性に優れた硬化物を与えることがで
きるが、硬化速度がおそくなりすぎて実用的でなくな
る。また、フェノール性水酸基の割合が多くなりすぎる
と、硬化速度が速いが、硬化物の低吸湿性が損なわれる
ようになる。そのために、本発明の硬化剤は、全硬化剤
中の全芳香族エステル結合/全フェノール性水酸基のモ
ル比が1/(0.1〜1.0)になるようにするのであ
る。
Moreover, the curing agent used in the present invention contains 0.1 to 1.0 mol of phenolic hydroxyl group per 1 mol of aromatic ester bond, and this phenolic hydroxyl group reacts with the epoxy group at a reaction rate. Since it is extremely fast, it is possible to satisfy both the fast curing property and the low moisture absorption property. Then, if the proportion of ester bonds in the total curing agent is too large, a cured product excellent in low hygroscopicity can be provided, but the curing speed becomes too slow to be practical. If the proportion of phenolic hydroxyl groups is too high, the curing rate will be high, but the low hygroscopicity of the cured product will be impaired. Therefore, the curing agent of the present invention is designed so that the molar ratio of total aromatic ester bond / total phenolic hydroxyl group in the total curing agent is 1 / (0.1 to 1.0).

【0014】次に、本発明の半導体封止用エポキシ樹脂
を構成する各成分について以下に詳述する。
Next, each component of the epoxy resin for semiconductor encapsulation of the present invention will be described in detail below.

【0015】本発明で使用するエポキシ樹脂としては、
たとえば、ビスフェノールA、ビスフェノールF、テト
ラメチルビフェノールF、ビスフェノールAD、ハイド
ロキノン、メチルハイドロキノン、ジメチルハイドロキ
ノン、ジブチルハイドロキノン、レゾルシン、メチルレ
ゾルシン、ビフェノール、テトラメチルビフェノール、
ジヒドロキシナフタレン、ジヒドロキシジフェニルエー
テル、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラッ
ク樹脂、ビスフェノールAノボラック樹脂、ジシクロペ
ンタジエンフェノール樹脂、テルペンフェノール樹脂、
フェノールアラルキル樹脂、ナフトールノボラック樹脂
などの種々のフェノール類;種々のフェノール類と、ヒ
ドロキシベンズアルデヒド、クロトンアルデヒド、グリ
オキザールなどの種々のアルデヒド類との縮合反応で得
られる多価フェノール樹脂等の各種のフェノール系化合
物と、エピハロヒドリンとから製造されるエポキシ樹
脂;ジアミノジフェニルメタン、アミノフェノール、キ
シレンジアミンなどの種々のアミン化合物と、エピハロ
ヒドリンとから製造されるエポキシ樹脂;メチルヘキサ
ヒドロフタル酸、ダイマー酸などの種々のカルボン酸類
と、エピハロヒドリンとから製造されるエポキシ樹脂な
どが挙げられる。
The epoxy resin used in the present invention includes:
For example, bisphenol A, bisphenol F, tetramethylbiphenol F, bisphenol AD, hydroquinone, methylhydroquinone, dimethylhydroquinone, dibutylhydroquinone, resorcin, methylresorcin, biphenol, tetramethylbiphenol,
Dihydroxynaphthalene, dihydroxydiphenyl ether, phenol novolac resin, cresol novolac resin, bisphenol A novolac resin, dicyclopentadiene phenol resin, terpene phenol resin,
Various phenols such as phenol aralkyl resins and naphthol novolac resins; various phenolic resins such as polyhydric phenol resins obtained by condensation reaction of various phenols with various aldehydes such as hydroxybenzaldehyde, crotonaldehyde and glyoxal Epoxy resin produced from compound and epihalohydrin; various amine compounds such as diaminodiphenylmethane, aminophenol, xylenediamine, etc. Epoxy resin produced from epihalohydrin; various carboxylic acids such as methylhexahydrophthalic acid and dimer acid Examples thereof include epoxy resins produced from acids and epihalohydrin.

【0016】それらエポキシ樹脂の中では、常温で結晶
性の固体であり、成型時には溶融して低粘度の液体とな
る融点40〜170℃の結晶性エポキシ樹脂が好まし
い。それらの結晶性エポキシ樹脂としては、ビスフェノ
ールA、ビスフェノールF、テトラメチルビフェノール
F、ハイドロキノン、ジメチルハイドロキノン、ジブチ
ルハイドロキノン、ビフェノール、テトラメチルビフェ
ノール、ジヒドロキシナフタレン、ジヒドロキシジフェ
ニルエーテル等のフェノール系化合物と、エピハロヒド
リンとから製造されるエポキシ樹脂が挙げられるが、硬
化物性等からビフェノール、及びテトラメチルビフェノ
ールから選ばれた少なくとも1種のフェノール化合物
と、エピハロヒドリンとから製造されるエポキシ樹脂が
好ましい。
Among these epoxy resins, a crystalline epoxy resin having a melting point of 40 to 170 ° C., which is a crystalline solid at room temperature and melts at the time of molding to become a low-viscosity liquid, is preferable. These crystalline epoxy resins are produced from phenol compounds such as bisphenol A, bisphenol F, tetramethylbiphenol F, hydroquinone, dimethylhydroquinone, dibutylhydroquinone, biphenol, tetramethylbiphenol, dihydroxynaphthalene, dihydroxydiphenyl ether, and epihalohydrin. Examples of the epoxy resin include epoxy resins prepared from biphenol and tetramethylbiphenol, which are selected from the viewpoint of cured physical properties, and epihalohydrin.

【0017】また硬化物を難燃化するために、使用する
エポキシ樹脂の一部を臭素化エポキシ樹脂とすることが
できる。その臭素化エポキシ樹脂としては、たとえば、
臭素化ビスフェノールA又は臭素化フェノールノボラッ
ク樹脂と、エピハロヒドリンとから製造されるエポキシ
樹脂などが挙げられる。
Further, in order to make the cured product flame-retardant, a part of the epoxy resin used can be a brominated epoxy resin. As the brominated epoxy resin, for example,
Examples thereof include epoxy resins produced from brominated bisphenol A or brominated phenol novolac resin and epihalohydrin.

【0018】本発明で使用する硬化剤は、前述のとお
り、芳香族環に置換基及び/又は置換原子を有しうる多
価フェノール化合物のフェノール性水酸基の50%以上
を、ベンゼン環に置換基及び/又は置換原子を有しうる
安息香酸とナフタレン環に置換基及び/又は置換原子を
有しうるナフトエ酸とから選ばれた少なくとも1種の芳
香族カルボン酸によってエステル化されてなる芳香族エ
ステル化合物(I)、及び該芳香族エステル化合物
(I)と芳香族環に置換基及び/又は置換原子を有しう
る多価フェノール化合物との混合物(II)からなる群
から選ばれた少なくとも1種からなる硬化剤であって、
全硬化剤中の全芳香族エステル結合/全フェノール性水
酸基のモル比が1/(0.1〜1.0)である硬化剤で
ある。
As described above, the curing agent used in the present invention has 50% or more of the phenolic hydroxyl groups of the polyhydric phenol compound which may have a substituent and / or a substituent atom on the aromatic ring, and a substituent on the benzene ring. And / or an aromatic ester esterified with at least one aromatic carboxylic acid selected from benzoic acid having a substituent atom and naphthoic acid having a substituent and / or a substituent atom on the naphthalene ring. At least one selected from the group consisting of compound (I) and a mixture (II) of the aromatic ester compound (I) and a polyhydric phenol compound which may have a substituent and / or a substituent atom in the aromatic ring. A curing agent consisting of
The curing agent has a molar ratio of all aromatic ester bonds / all phenolic hydroxyl groups in all curing agents of 1 / (0.1 to 1.0).

【0019】その芳香族エステル化合物(I)を得るた
めの原料の芳香族環に置換基及び/又は置換原子を有し
うる多価フェノール化合物としては、たとえば、ビスフ
ェノールA、ビスフェノールF、レゾルシン、ハイドロ
キノン、ジヒドロキシナフタレン、ビフェノール、テト
ラメチルビフェノール、テトラブロモビスフェノール
A、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック
樹脂、ビスフェノールAノボラック樹脂、ジシクロペン
タジエンフェノール樹脂、テルペンフェノール樹脂、フ
ェノールアラルキル樹脂、ナフトールノボラック樹脂、
臭素化フェノールノボラック樹脂などの種々の多価フェ
ノール類;種々のフェノール類と、ヒドロキシベンズア
ルデヒド、クロトンアルデヒド、グリオキザールなどの
種々のアルデヒド類との縮合反応で得られる多価フェノ
ール樹脂等があげられる。
Examples of the polyhydric phenol compound which may have a substituent and / or a substituent atom in the aromatic ring as a raw material for obtaining the aromatic ester compound (I) include, for example, bisphenol A, bisphenol F, resorcinol and hydroquinone. , Dihydroxynaphthalene, biphenol, tetramethylbiphenol, tetrabromobisphenol A, phenol novolac resin, cresol novolac resin, bisphenol A novolac resin, dicyclopentadiene phenol resin, terpene phenol resin, phenol aralkyl resin, naphthol novolac resin,
Various polyhydric phenols such as brominated phenol novolac resins; polyhydric phenol resins obtained by condensation reaction of various phenols with various aldehydes such as hydroxybenzaldehyde, crotonaldehyde and glyoxal.

【0020】その芳香族エステル化合物(I)を得るた
めの前記の多価フェノール化合物の芳香族カルボン酸に
よるエステル化反応は、必ずしも遊離カルボン酸をエス
テル化剤として使用する必要がなく、それ以外の種々の
エステル化剤を用いて行なうことができる。すなわち、
その代表的なエステル化方法としては、下記の一般式で
表わされるエステル化剤を用いてエステル化させる方法
があげられる。
In the esterification reaction of the above polyhydric phenol compound with an aromatic carboxylic acid to obtain the aromatic ester compound (I), it is not always necessary to use a free carboxylic acid as an esterifying agent, and other It can be carried out using various esterifying agents. That is,
A typical esterification method is a method of esterification using an esterifying agent represented by the following general formula.

【0021】[0021]

【化1】 (式中Aは、置換若しくは無置換のフェニル基又は置換
若しくは無置換のナフチル基であり、Rは、水酸基、ア
ルコキシ基、置換若しくは無置換のフェノキシ基、置換
若しくは無置換のナフトキシ基、置換若しくは無置換の
ベンゾエート基、置換若しくは無置換のナフトエート
基、又はハロゲン原子である。)
[Chemical 1] (Wherein A is a substituted or unsubstituted phenyl group or a substituted or unsubstituted naphthyl group, R is a hydroxyl group, an alkoxy group, a substituted or unsubstituted phenoxy group, a substituted or unsubstituted naphthoxy group, a substituted or It is an unsubstituted benzoate group, a substituted or unsubstituted naphthoate group, or a halogen atom.)

【0022】そのエステル化反応は、原料の多価フェノ
ール化合物やエステル化剤の種類や組合せ等に応じて種
々の条件を用いた種々の方法で行なわせることができる
が、その代表的なエステル化の条件及び方法は、両原料
成分を反応媒体としての溶媒の存在下又は無溶媒で混合
し、触媒の存在下で0〜150℃の温度で、1〜10時
間混合しながら反応させる。反応の終了後、未反応のエ
ステル化剤、副生成物、溶媒等を除去することにより、
目的の芳香族エステル化合物(I)が得られる。
The esterification reaction can be carried out by various methods using various conditions depending on the kind and combination of the polyhydric phenol compound as the raw material and the esterifying agent, and typical esterification In the conditions and method of (2), both raw material components are mixed in the presence of a solvent as a reaction medium or in the absence of a solvent, and reacted in the presence of a catalyst at a temperature of 0 to 150 ° C. for 1 to 10 hours while mixing. After completion of the reaction, by removing unreacted esterifying agent, by-products, solvent, etc.,
The target aromatic ester compound (I) is obtained.

【0023】その反応触媒としては、たとえば、トリメ
チルアミン、トリエチルアミン、ベンジルジメチルアミ
ン、ジメチルアニリン、ピリジンなどのアミン類、水酸
化ナトリウム、水酸化カリウムなどのアルカリ金属水酸
化物、カリウム−t−ブトキシド、ナトリウムエトキシ
ドなどのアルカリ金属アルコラート、ブチルリチウム、
ビフェニルナトリウムなどのアルキル金属類、塩酸、硫
酸、シュウ酸、フルオロ酢酸、トルエンスルホン酸、酸
性を示す有機酸塩類、フッ化ホウ酸、ヘテロポリ酸類、
ポリリン酸類、活性白土等の酸性触媒などがあげられ
る。
Examples of the reaction catalyst include amines such as trimethylamine, triethylamine, benzyldimethylamine, dimethylaniline and pyridine, alkali metal hydroxides such as sodium hydroxide and potassium hydroxide, potassium t-butoxide and sodium. Alkali metal alcoholates such as ethoxide, butyl lithium,
Alkyl metals such as sodium biphenyl, hydrochloric acid, sulfuric acid, oxalic acid, fluoroacetic acid, toluenesulfonic acid, acid salts showing acidity, fluorinated boric acid, heteropolyacids,
Examples thereof include polyphosphoric acids and acidic catalysts such as activated clay.

【0024】またその反応溶媒としては、アセトン、メ
チルエチルケトン、メチルイソブチルケトンなどのケト
ン類、ベンゼン、トルエン、キシレンなどの芳香族炭化
水素類、ジオキサン、エチレングリコールジメチルエー
テルなどのエーテル類、ジメチルスルホキシド、ジメチ
ルホルムアミドなどの非プロトン性極性溶媒等の不活性
な有機溶媒や水などがあげられる。
As the reaction solvent, ketones such as acetone, methyl ethyl ketone and methyl isobutyl ketone, aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene and xylene, ethers such as dioxane and ethylene glycol dimethyl ether, dimethyl sulfoxide and dimethyl formamide. Inert organic solvents such as aprotic polar solvents and water, and the like.

【0025】このようにして製造される芳香族エステル
化合物(I)は、たとえば、多価フェノール化合物とし
てフェノールノボラック樹脂を、エステル化剤(ベンゾ
エート化剤)として塩化ベンゾイルを用いた場合は、下
記の構造式で表される繰返し単位を持つ化合物(化合物
の混合物)である。
The aromatic ester compound (I) thus produced, for example, when a phenol novolac resin is used as the polyhydric phenol compound and benzoyl chloride is used as the esterifying agent (benzoating agent), It is a compound (mixture of compounds) having a repeating unit represented by a structural formula.

【0026】[0026]

【化2】 (式中n1 は、平均値で1〜10の数であり、n2 は、
平均値で0〜10の数であり、かつn1 +n2 は2以上
の数である。)
[Chemical 2] (In the formula, n 1 is a number of 1 to 10 on average, and n 2 is
The average value is a number of 0 to 10, and n 1 + n 2 is a number of 2 or more. )

【0027】上記の反応におけるエステル化率、すなわ
ちベンゾエート化率又はナフトエート化率{上記構造式
の場合には、n1 ÷(n1 +n2 )×100}は、50
%以上になるようにする。未反応のフェノール性水酸基
はエポキシ基と反応する官能基であるので、エポキシ樹
脂の速硬化に寄与するが、前述のようにフェノール性水
酸基とエポキシ基との反応時に硬化物の耐湿性を低下さ
せる水酸基を生成するので、エステル化率が50%未満
になると、芳香族エステル結合よりもフェノール性水酸
基の方が多くなり、硬化物の耐湿性を低下させることに
なり、本発明の硬化剤として使用できなくなる。
The esterification rate in the above reaction, that is, the benzoate rate or naphthoate rate {in the case of the above structural formula, n 1 ÷ (n 1 + n 2 ) × 100} is 50.
% Or more. Since the unreacted phenolic hydroxyl group is a functional group that reacts with the epoxy group, it contributes to the rapid curing of the epoxy resin, but as described above, it reduces the moisture resistance of the cured product during the reaction between the phenolic hydroxyl group and the epoxy group. Since a hydroxyl group is generated, when the esterification rate is less than 50%, the number of phenolic hydroxyl groups is larger than that of an aromatic ester bond, which lowers the moisture resistance of the cured product and is used as the curing agent of the present invention. become unable.

【0028】そして、以上のようにして製造された芳香
族エステル化合物(I)に、全芳香族エステル結合/全
フェノール性水酸基のモル比が1/(0.1〜1.0)
である条件を満足する量のフェノール性水酸基が含まれ
ている場合には、その芳香族エステル化合物(I)はそ
のままで本発明の硬化剤として使用することができる。
The aromatic ester compound (I) produced as described above has a molar ratio of total aromatic ester bond / total phenolic hydroxyl group of 1 / (0.1 to 1.0).
When the phenolic hydroxyl group is contained in an amount satisfying the condition, the aromatic ester compound (I) can be used as it is as the curing agent of the present invention.

【0029】一方、その芳香族エステル化合物(I)に
フェノール性水酸基が全く含まれていない場合、含まれ
ているがその量が全芳香族エステル結合/全フェノール
性水酸基のモル比=1/(0.1〜1.0)の条件を満
すに足りない場合、或いはフェノール性水酸基の量がこ
の条件を満足してはいるが、なお少量すぎる場合、及び
その他必要があるなどの場合には、その芳香族エステル
化合物(I)に、芳香族環に置換基及び/又は置換原子
を有しうる多価フェノール化合物を混合した混合物(I
I)にし、その混合物を本発明の硬化剤として使用する
のである。しかしこの場合も、全硬化剤中の全芳香族エ
ステル結合/全フェノール性水酸基のモル比=1/
(0.1〜1.0)の条件を満足せしめる必要があるの
は、勿論である。
On the other hand, when the aromatic ester compound (I) contains no phenolic hydroxyl group at all, the amount of the aromatic ester compound (I) contained is such that the molar ratio of total aromatic ester bond / total phenolic hydroxyl group = 1 / ( 0.1 to 1.0) is not sufficient, or when the amount of phenolic hydroxyl groups satisfies this condition, but is still too small, and in other cases, it is necessary. A mixture of the aromatic ester compound (I) and a polyhydric phenol compound which may have a substituent and / or a substituent atom in the aromatic ring (I
I) and the mixture is used as the curing agent of the present invention. However, also in this case, the molar ratio of total aromatic ester bond / total phenolic hydroxyl group in total curing agent = 1 /
Of course, it is necessary to satisfy the condition (0.1 to 1.0).

【0030】芳香族エステル化合物(I)と混合して用
いられる芳香族環に置換基及び/又は置換原子を有しう
る多価フェノール化合物としては、たとえば、フェノー
ルノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ビスフ
ェノールAノボラック樹脂、ジシクロペンタジエンフェ
ノール樹脂、フェノールアラルキル樹脂、テルペンフェ
ノール樹脂、ナフトールノボラック樹脂などの種々のフ
ェノール樹脂類、さらには種々のフェノール類と、ヒド
ロキシベンズアルデヒド、クロトンアルデヒド、グリオ
キザールなどの種々のアルデヒド類との縮合反応で得ら
れる多価フェノール樹脂等の各種のフェノール樹脂類な
どがあげられる。
Examples of the polyhydric phenol compound having a substituent and / or a substituent atom in the aromatic ring which is used as a mixture with the aromatic ester compound (I) include, for example, phenol novolac resin, cresol novolac resin and bisphenol A. Various phenolic resins such as novolac resin, dicyclopentadiene phenol resin, phenol aralkyl resin, terpene phenol resin, naphthol novolac resin, and various phenols, and various aldehydes such as hydroxybenzaldehyde, crotonaldehyde and glyoxal. Examples include various phenol resins such as polyhydric phenol resins obtained by the condensation reaction of

【0031】本発明の組成物における硬化剤の使用量
は、全エポキシ樹脂中のエポキシ基1モルに対し、全硬
化剤中の全芳香族エステル結合と全フェノール性水酸基
の合計量が0.5〜2.0モルになる量が好ましく、特
に0.7〜1.2モルになる量がより好ましい。
The amount of the curing agent used in the composition of the present invention is such that the total amount of all aromatic ester bonds and all phenolic hydroxyl groups in the total curing agent is 0.5, based on 1 mol of the epoxy groups in all the epoxy resins. The amount of about 2.0 to 2.0 mol is preferable, and the amount of about 0.7 to 1.2 mol is particularly preferable.

【0032】次に、本発明の半導体封止用エポキシ樹脂
組成物には、充填剤としてシリカ粉末が配合される。そ
のシリカ粉末充填剤の種類としては、溶融シリカ又は結
晶性シリカであり、その形状としては、破砕型又は球状
である。各種のシリカ粉末は、単独でまたは、2種以上
混合して用いられ、その使用量は、組成物全体の60〜
95重量%であり、好ましくは70〜92重量%であ
る。
Next, silica powder is added as a filler to the epoxy resin composition for semiconductor encapsulation of the present invention. The type of the silica powder filler is fused silica or crystalline silica, and the shape thereof is a crush type or a spherical shape. The various silica powders are used alone or as a mixture of two or more kinds, and the amount of the silica powder is 60 to 60% of the total amount of the composition.
It is 95% by weight, preferably 70 to 92% by weight.

【0033】また、本発明の半導体封止用エポキシ樹脂
組成物に用いられる硬化促進剤は、エポキシ樹脂中のエ
ポキシ基と硬化剤中の芳香族エステル結合との反応及び
エポキシ基とフェノール性水酸基との反応を促進する化
合物である。
The curing accelerator used in the epoxy resin composition for semiconductor encapsulation of the present invention is a reaction between an epoxy group in the epoxy resin and an aromatic ester bond in the curing agent, and an epoxy group and a phenolic hydroxyl group. Is a compound that accelerates the reaction of.

【0034】その硬化促進剤としては、たとえば、トリ
ブチルホスフィン、トリフェニルホスフィン、トリス
(ジメトキシフェニル)ホスフィン、トリス(ヒドロキ
シプロピル)ホスフィン、トリス(シアノエチル)ホス
フィンなどのホスフィン系化合物、テトラフェニルホス
ホニウムテトラフェニルボレート、メチルトリブチルホ
スホニウムテトラフェニルボレート、メチルトリシアノ
エチルホスホニウムテトラフェニルボレートなどのホス
ホニウム塩、2−メチルイミダゾール、2−フェニルイ
ミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2
−ウンデシルイミダゾール、1−シアノエチル−2−メ
チルイミダゾール、2,4−ジシアノ−6−〔2−メチ
ルイミダゾリル−(1)〕−エチル−S−トリアジン、
2,4−ジシアノ−6−〔2−ウンデシルイミダゾリル
−(1)〕−エチル−S−トリアジンなどのイミダゾー
ル系化合物、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダ
ゾリウムトリメリテート、2−メチルイミダゾリウムイ
ソシアヌレート、2−エチル−4−メチルイミダゾリウ
ムテトラフェニルボレート、2−エチル−1,4−ジメ
チルイミダゾリウムテトラフェニルボレートなどのイミ
ダゾリウム塩、2,4,6−トリス(ジメチルアミノメ
チル)フェノール、ベンジルジメチルアミン、テトラメ
チルブチルグアニジン、N−メチルピペラジン、2−ジ
メチルアミノ−1−ピロリンなどのアミン類、トリエチ
ルアンモニウムテトラフェニルボレートなどのアンモニ
ウム塩、1,5−ジアザビシクロ(5,4,0)−7−
ウンデセン、1,5−ジアザビシクロ(4,3,0)−
5−ノネン、1,4−ジアザビシクロ(2,2,2)−
オクタンなどのジアザビシクロ系化合物、それらのジア
ザビシクロ系化合物のテトラフェニルボレート塩、フェ
ノール塩、フェノールノボラック塩、2−エチルヘキサ
ン酸塩などがあげられる。
Examples of the curing accelerator include phosphine compounds such as tributylphosphine, triphenylphosphine, tris (dimethoxyphenyl) phosphine, tris (hydroxypropyl) phosphine and tris (cyanoethyl) phosphine, tetraphenylphosphonium tetraphenylborate. , Phosphonium salts such as methyltributylphosphonium tetraphenylborate and methyltricyanoethylphosphonium tetraphenylborate, 2-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2
-Undecylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 2,4-dicyano-6- [2-methylimidazolyl- (1)]-ethyl-S-triazine,
Imidazole compounds such as 2,4-dicyano-6- [2-undecylimidazolyl- (1)]-ethyl-S-triazine, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium trimellitate, 2-methylimidazolium Imidazolium salts such as isocyanurate, 2-ethyl-4-methylimidazolium tetraphenylborate, 2-ethyl-1,4-dimethylimidazolium tetraphenylborate, 2,4,6-tris (dimethylaminomethyl) phenol, Amines such as benzyldimethylamine, tetramethylbutylguanidine, N-methylpiperazine and 2-dimethylamino-1-pyrroline, ammonium salts such as triethylammonium tetraphenylborate, 1,5-diazabicyclo (5,4,0)- 7-
Undecene, 1,5-diazabicyclo (4,3,0)-
5-nonene, 1,4-diazabicyclo (2,2,2)-
Examples thereof include diazabicyclo compounds such as octane, tetraphenylborate salts, phenol salts, phenol novolac salts and 2-ethylhexanoate salts of these diazabicyclo compounds.

【0035】それらの硬化促進剤となる化合物の中で
は、ホスフィン系化合物、イミダゾール系化合物、ジア
ザビシクロ系化合物、及びそれらの塩が好ましい。
Among these compounds which act as curing accelerators, phosphine compounds, imidazole compounds, diazabicyclo compounds and salts thereof are preferred.

【0036】それらの硬化促進剤は、単独で又は2種以
上を混合して用いられ、その使用量は、エポキシ樹脂に
対して0.1〜7重量%、好ましくは1〜5重量%であ
る。
These curing accelerators are used alone or in admixture of two or more, and the amount used is 0.1 to 7% by weight, preferably 1 to 5% by weight, based on the epoxy resin. .

【0037】本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物
には、必要に応じてカップリング剤、可塑剤、顔料等を
適宜に配合することができる。
The epoxy resin composition for semiconductor encapsulation of the present invention may optionally contain a coupling agent, a plasticizer, a pigment and the like, if necessary.

【0038】また、難燃助剤として、三酸化アンチモ
ン、リン酸などを適宜に配合することができる。
Further, as the flame retardant aid, antimony trioxide, phosphoric acid, etc. can be appropriately blended.

【0039】本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物
は、硬化性に優れ、低吸湿性に優れた硬化物を与えるの
で半導体封止の分野で有利に使用することができる。
Since the epoxy resin composition for semiconductor encapsulation of the present invention provides a cured product having excellent curability and low hygroscopicity, it can be advantageously used in the field of semiconductor encapsulation.

【0040】[0040]

【実施例】以下に、本発明の半導体封止用エポキシ樹脂
組成物で用いられる芳香族エステル化合物の合成例、硬
化剤例、実施例及び比較例をあげてさらに詳述する。
[Examples] The synthesis examples of the aromatic ester compound used in the epoxy resin composition for semiconductor encapsulation of the present invention, curing agent examples, examples and comparative examples will be described in more detail below.

【0041】芳香族エステル化合物の合成例1〜4 温度計、攪拌装置、冷却管を備えた内容量3000ml
の三つ口フラスコに、多価フェノール化合物として、フ
ェノールノボラック樹脂又はテルペンフェノールノボラ
ック樹脂、ベンゾエート化剤として塩化ベンゾイル、又
はナフトエート化剤としてナフトエ酸塩化物、及びピリ
ジンを表1に示した量仕込み、30℃で2時間保持して
反応を行わせた。
Synthesis Examples 1 to 4 of Aromatic Ester Compound Internal volume of 3000 ml equipped with thermometer, stirrer and cooling tube
In a three-necked flask, the polyphenol compound, phenol novolac resin or terpene phenol novolac resin, benzoyl chloride as a benzoating agent, or naphthoic acid chloride as a naphthoating agent, and pyridine are charged in the amounts shown in Table 1, The reaction was carried out by holding at 30 ° C. for 2 hours.

【0042】続いて、メチルイソブチルケトン1000
gを加えて生成物を完全に溶解させたのち、水洗して副
生塩等を除き、さらにメチルイソブチルケトンを減圧除
去して目的の芳香族エステル化合物を得た。
Then, methyl isobutyl ketone 1000
After adding g to completely dissolve the product, it was washed with water to remove by-product salts and the like, and methyl isobutyl ketone was removed under reduced pressure to obtain the desired aromatic ester compound.

【0043】これら芳香族エステル化合物のフェノール
性水酸基含有量、芳香族エステル結合含有量、全エステ
ル結合/全水酸基モル比、及び軟化点を測定し表1に示
した。
The phenolic hydroxyl group content, aromatic ester bond content, total ester bond / total hydroxyl group molar ratio, and softening point of these aromatic ester compounds were measured and shown in Table 1.

【0044】[0044]

【表1】 [Table 1]

【0045】表1の注: *1 ・・・フェノールノボラック樹脂(群栄化学社製、水
酸基当量103、軟化点85℃) *2 ・・・テルペンフェノールノボラック樹脂(油化シエ
ルエポキシ株式会社商品名 エピキュア MP402、
水酸基当量175、軟化点130℃)
Note to Table 1: * 1 ・ ・ ・ Phenol novolac resin (manufactured by Gunei Chemical Co., hydroxyl equivalent 103, softening point 85 ° C.) * 2 ・ ・ ・ Terpene phenol novolac resin (trade name of Yuka Shell Epoxy Co., Ltd. Epicure MP402,
Hydroxyl equivalent 175, softening point 130 ° C)

【0046】硬化剤例1〜5 表2に示したように、硬化剤例1、又は硬化剤例3は、
合成例1又は合成例3で得られた芳香族エステル化合物
に、フェノールノボラック樹脂(群栄化学社製)を40
g、又は50gそれぞれ加えて140℃で溶融混合して
硬化剤とした。
Curing Agent Examples 1-5 As shown in Table 2, the curing agent example 1 or the curing agent example 3 is
Phenol novolac resin (manufactured by Gunei Chemical Co., Ltd.) was added to the aromatic ester compound obtained in Synthesis Example 1 or Synthesis Example 3.
g or 50 g respectively and melt-mixed at 140 ° C. to obtain a curing agent.

【0047】また、硬化剤例2、硬化剤例4、又は硬化
剤例5は、合成例2、合成例4、又は合成例1で得られ
た各芳香族エステル化合物をそのまま硬化剤とした。
Further, in the curing agent example 2, the curing agent example 4, or the curing agent example 5, the respective aromatic ester compounds obtained in the synthesis example 2, the synthesis example 4, or the synthesis example 1 were directly used as the curing agent.

【0048】これらの各硬化剤のフェノール性水酸基含
有量、芳香族エステル結合含有量、全エステル結合/全
水酸基モル比、及び軟化点は、表2にそれぞれ示すとお
りであった。
The phenolic hydroxyl group content, aromatic ester bond content, total ester bond / total hydroxyl group molar ratio, and softening point of each of these hardeners are shown in Table 2, respectively.

【0049】[0049]

【表2】 [Table 2]

【0050】表2の注: *1 ・・・フェノールノボラック樹脂(群栄化学社製、水
酸基当量103、軟化点85℃)
Note to Table 2: * 1 Phenol novolac resin (manufactured by Gunei Chemical Co., hydroxyl equivalent 103, softening point 85 ° C.)

【0051】実施例1〜5 比較例1〜3 表3に示したように、エポキシ樹脂としてテトラメチル
ビフェノールから誘導されたエポキシ樹脂(A)、ビフ
ェノールとテトラメチルビフェノールから誘導されたエ
ポキシ樹脂(B)、オルソクレゾールノボラック型エポ
キシ樹脂(C)、及び臭素化エポキシ樹脂として臭素化
ビスフェノールA型エポキシ樹脂をそれぞれ用い、硬化
剤として硬化剤例1〜5の硬化剤、市販のフェノールノ
ボラック樹脂(D)、及び市販のフェノールアラルキル
樹脂(E)をそれぞれ用い、シリカ粉末としていずれも
粉砕型溶融シリカ粉末を用い、硬化促進剤として1,5
−ジアザビシクロ(5,4,0)−7−ウンデセン、2
−フェニルイミダゾール、又はテトラフェニルホスホニ
ウム−テトラフェニルボレートをそれぞれ用い、さらに
難燃剤として三酸化アンチモン、シリカ粉末の表面処理
剤として市販のエポキシシラン、及び離型剤としてカル
ナバワックスをそれぞれ用いて各エポキシ樹脂組成物を
配合した。
Examples 1 to 5 Comparative Examples 1 to 3 As shown in Table 3, the epoxy resin derived from tetramethylbiphenol (A) and the epoxy resin derived from biphenol and tetramethylbiphenol (B) were used as the epoxy resin. ), Orthocresol novolac type epoxy resin (C), and brominated bisphenol A type epoxy resin as brominated epoxy resin, respectively, and curing agents of curing agents Examples 1 to 5 as curing agents, and commercially available phenol novolac resin (D). , And a commercially available phenol aralkyl resin (E), respectively, pulverized fused silica powder was used as the silica powder, and 1,5 as the curing accelerator.
-Diazabicyclo (5,4,0) -7-undecene, 2
-Epoxy resin using phenylimidazole or tetraphenylphosphonium-tetraphenylborate, antimony trioxide as a flame retardant, commercially available epoxysilane as a surface treatment agent for silica powder, and carnauba wax as a release agent. The composition was formulated.

【0052】次いで、各配合物をそれぞれミキシングロ
ールを用いて70〜130℃の温度で5分間溶融混合し
た。得られた各溶融混合物をシート状で取り出し、粉砕
して各成形材料を得た。
Next, each of the blends was melt mixed for 5 minutes at a temperature of 70 to 130 ° C. using a mixing roll. Each of the obtained molten mixtures was taken out as a sheet and pulverized to obtain each molding material.

【0053】これらの各成形材料を用い低圧トランスフ
ァー成形機で金型温度180℃、成形時間120秒〜3
00秒で成形して、各試験片を得、180℃で8時間ポ
ストキュアーさせた。また、各成形材料のゲルタイム、
成形時間を測定した。
Using each of these molding materials, a mold temperature of 180 ° C. and a molding time of 120 seconds to 3 in a low-pressure transfer molding machine.
Each test piece was obtained by molding in 00 seconds and post-cured at 180 ° C. for 8 hours. Also, the gel time of each molding material,
The molding time was measured.

【0054】各成形材料のゲルタイム、成形時間及び各
試験片のポストキュアー後の吸湿率、及びガラス転移温
度を試験した結果は表3に示すとおりであり、実施例1
〜5の各成形材料は、比較例1の成形材料に較べてゲル
タイム及び成形時間が著しく短くて硬化性に優れてお
り、しかも硬化物の吸湿性及びガラス転移温度の点でも
遜色がない。また、比較例2及び3の成形材料に較べる
と、吸湿性及びガラス転移温度の点で著しく優れてい
る。
The results of testing the gel time of each molding material, the molding time, the moisture absorption rate of each test piece after post-curing, and the glass transition temperature are shown in Table 3.
As compared with the molding material of Comparative Example 1, each of the molding materials of Nos. 5 to 5 has a significantly shorter gel time and molding time and is excellent in curability, and is also comparable in terms of hygroscopicity and glass transition temperature of the cured product. Further, as compared with the molding materials of Comparative Examples 2 and 3, they are remarkably excellent in hygroscopicity and glass transition temperature.

【0055】[0055]

【表3】 [Table 3]

【0056】表3の注 A:テトラメチルビフェノールから誘導されたエポキシ
樹脂(油化シエルエポキシ社商品名 エピコートYX4
000H、エポキシ当量193) B:ビフェノールおよびテトラメチルビフェノールから
誘導されたエポキシ樹脂(油化シエルエポキシ社商品名
エピコートYL6121H、エポキシ当量173) C:オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(油化
シエルエポキシ社商品名 エピコート180H65、エ
ポキシ当量205) D:フェノールノボラック樹脂(群栄化学社製、水酸基
当量103、軟化点85℃) E:フェノールアラルキル樹脂(三井東圧社商品名 ミ
レックスXL225LL、水酸基当量173、軟化点7
8℃) F:1,5−ジアザビシクロ(5,4,0)−7−ウン
デセン G:2−フェニルイミダゾール H:テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレー
ト *1:臭素化ビスフェノールA型エポキシ樹脂(油化シ
エルエポキシ社商品名 エピコート5050、エポキシ
当量385、臭素含有量49%) *2:破砕型溶融シリカ粉末(龍森社商品名 RD−
8) *3:エポキシシラン(信越化学工業社商品名 KBM
−403) *4:175℃ *5:85℃、85%RH 168時間後の吸湿率 *6:YMAを用いて熱膨張曲線の転移点より求めた。
Note A in Table 3: Epoxy resin derived from tetramethylbiphenol (trade name Epicoat YX4, manufactured by Yuka Shell Epoxy Co., Ltd.)
000H, Epoxy equivalent 193) B: Epoxy resin derived from biphenol and tetramethylbiphenol (Okaka Shell Epoxy Company trade name Epicoat YL6121H, Epoxy equivalent 173) C: Orthocresol novolac epoxy resin (Okaka Shell Epoxy trade name Epicoat 180H65, epoxy equivalent 205) D: Phenol novolac resin (manufactured by Gunei Chemical Co., hydroxyl equivalent 103, softening point 85 ° C.) E: Phenol aralkyl resin (Mitsui Toatsu Co., Ltd. trade name Milex XL225LL, hydroxyl equivalent 173, softening point 7)
8 ° C.) F: 1,5-diazabicyclo (5,4,0) -7-undecene G: 2-phenylimidazole H: tetraphenylphosphonium tetraphenylborate * 1: brominated bisphenol A type epoxy resin (oiled shell epoxy Company name Epicoat 5050, epoxy equivalent 385, bromine content 49%) * 2: Fracturing type fused silica powder (Tatsumori company name RD-
8) * 3: Epoxysilane (brand name KBM, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
-403) * 4: 175 ° C * 5: 85 ° C, 85% RH moisture absorption rate after 168 hours * 6: Obtained from the transition point of the thermal expansion curve using YMA.

【0057】[0057]

【発明の効果】本発明のエポキシ樹脂組成物は、硬化性
に優れ、ゲルタイム及び成形時間が短かく、しかも低吸
湿性に優れた硬化物を与えるので、半導体封止用に有利
に使用することができる。
The epoxy resin composition of the present invention provides a cured product having excellent curability, short gel time and molding time, and low hygroscopicity. You can

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI H01L 23/31 (56)参考文献 特開 昭62−53327(JP,A) 特開 昭61−285214(JP,A) 特開 昭61−238817(JP,A) 特開 平4−248828(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C08G 59/40 C08G 59/62 C08K 3/36 C08L 63/00 - 63/10 H01L 23/29 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI H01L 23/31 (56) References JP-A-62-53327 (JP, A) JP-A-61-285214 (JP, A) Special features Kai 61-238817 (JP, A) JP-A-4-248828 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) C08G 59/40 C08G 59/62 C08K 3/36 C08L 63/00-63/10 H01L 23/29

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 エポキシ樹脂、硬化剤、充填剤及び硬化
促進剤を含有するエポキシ樹脂組成物において、前記の
硬化剤として、芳香族環に置換基及び/又は置換原子を
有しうる多価フェノール化合物のフェノール性水酸基の
50%以上を、ベンゼン環に置換基及び/又は置換原子
を有しうる安息香酸とナフタレン環に置換基及び/又は
置換原子を有しうるナフトエ酸とから選ばれた少なくと
も1種の芳香族カルボン酸によってエステル化されてな
る芳香族エステル化合物(I)、及び該芳香族エステル
化合物(I)と芳香族環に置換基及び/又は置換原子を
有しうる多価フェノール化合物との混合物(II)から
なる群から選ばれた少なくとも1種からなる硬化剤であ
って、全硬化剤中の全芳香族エステル結合/全フェノー
ル性水酸基のモル比が1/(0.1〜1.0)である硬
化剤を用い、かつ前記の充填剤としてシリカ粉末を全組
成物に対して60〜95重量%用いたことを特徴とする
半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
1. An epoxy resin composition containing an epoxy resin, a curing agent, a filler and a curing accelerator, wherein the curing agent is a polyhydric phenol having a substituent and / or a substituent atom in an aromatic ring. At least 50% or more of the phenolic hydroxyl groups of the compound are selected from benzoic acid which may have a substituent and / or a substituent atom on the benzene ring and naphthoic acid which may have a substituent and / or a substituent atom on the naphthalene ring. Aromatic ester compound (I) esterified with one kind of aromatic carboxylic acid, and polyhydric phenol compound which may have a substituent and / or a substituent atom in the aromatic ester compound (I) and an aromatic ring And a molar ratio of all aromatic ester bonds / all phenolic hydroxyl groups in the total curing agent, the curing agent being at least one selected from the group consisting of a mixture (II) with For a semiconductor encapsulation, characterized in that a curing agent having a ratio of 1 / (0.1 to 1.0) is used and silica powder is used as the filler in an amount of 60 to 95% by weight based on the total composition. Epoxy resin composition.
【請求項2】 エポキシ樹脂が、融点40〜170℃の
結晶性エポキシ樹脂である請求項1に記載の半導体封止
用エポキシ樹脂組成物。
2. The epoxy resin composition for semiconductor encapsulation according to claim 1, wherein the epoxy resin is a crystalline epoxy resin having a melting point of 40 to 170 ° C.
【請求項3】 エポキシ樹脂が、ビフェノール及びテト
ラメチルビフェノールから選ばれた少なくとも1種のフ
ェノール化合物とエピハロヒドリンとの反応で得られた
エポキシ樹脂である請求項1又は請求項2に記載の半導
体封止用エポキシ樹脂組成物。
3. The semiconductor encapsulation according to claim 1, wherein the epoxy resin is an epoxy resin obtained by reacting at least one phenol compound selected from biphenol and tetramethylbiphenol with epihalohydrin. Epoxy resin composition for use.
【請求項4】 全エポキシ樹脂の全エポキシ基/全硬化
剤の全芳香族エステル結合と全フェノール性水酸基との
合計モル比が1/(0.7〜1.2)である請求項1〜
請求項3の各項のいずれかに記載の半導体封止用エポキ
シ樹脂組成物。
4. The total molar ratio of all epoxy groups of all epoxy resins / all aromatic ester bonds of all curing agents and all phenolic hydroxyl groups is 1 / (0.7 to 1.2).
The epoxy resin composition for semiconductor encapsulation according to claim 3.
【請求項5】 硬化促進剤が、ホスフィン系化合物、イ
ミダゾール系化合物、ジアザビシクロ系化合物及びそれ
らの塩から選ばれた少なくとも1種の化合物である請求
項1〜請求項4の各項のいずれかに記載の半導体封止用
エポキシ樹脂組成物。
5. The method according to claim 1, wherein the curing accelerator is at least one compound selected from phosphine compounds, imidazole compounds, diazabicyclo compounds and salts thereof. The epoxy resin composition for semiconductor encapsulation described.
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