JP3366062B2 - Overmold type semiconductor device and method of manufacturing the same - Google Patents

Overmold type semiconductor device and method of manufacturing the same

Info

Publication number
JP3366062B2
JP3366062B2 JP18724093A JP18724093A JP3366062B2 JP 3366062 B2 JP3366062 B2 JP 3366062B2 JP 18724093 A JP18724093 A JP 18724093A JP 18724093 A JP18724093 A JP 18724093A JP 3366062 B2 JP3366062 B2 JP 3366062B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
pattern
conductive traces
semiconductor die
solder balls
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP18724093A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH0677398A (en
Inventor
ポール・ティ・リン
マイケル・ビー・マックシェーン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Motorola Solutions Inc
Original Assignee
Motorola Solutions Inc
Motorola Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from US07/907,970 external-priority patent/US5239198A/en
Application filed by Motorola Solutions Inc, Motorola Inc filed Critical Motorola Solutions Inc
Publication of JPH0677398A publication Critical patent/JPH0677398A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3366062B2 publication Critical patent/JP3366062B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L24/10, H01L24/18, H01L24/26, H01L24/34, H01L24/42, H01L24/50, H01L24/63, H01L24/71
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73257Bump and wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01004Beryllium [Be]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01029Copper [Cu]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01033Arsenic [As]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01079Gold [Au]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01082Lead [Pb]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/14Integrated circuits
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/156Material
    • H01L2924/15786Material with a principal constituent of the material being a non metallic, non metalloid inorganic material
    • H01L2924/15787Ceramics, e.g. crystalline carbides, nitrides or oxides
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/30Technical effects
    • H01L2924/301Electrical effects
    • H01L2924/30107Inductance

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は一般的には半導体装置
に関し、かつより特定的には複数の電子部品または構成
要素を有するオーバモールドされた半導体装置およびそ
のような装置の製造方法に関する。
FIELD OF THE INVENTION This invention relates generally to semiconductor devices, and more particularly to overmolded semiconductor devices having a plurality of electronic components or components and methods of making such devices.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体装置は種々の形式の電子製品、コ
ンシューマ製品、自動車、集積回路カード、その他に広
く用いられている。これらの用途の多くにおいて重要な
半導体装置の1つの特徴は、半導体ダイ(semico
nductor die)およびその中に半導体ダイが
収容されるパッケージの双方を含む、半導体装置の小さ
なサイズである。装置の寸法をできるだけ小さく保つこ
とは単一チップの装置にとって重要であるばかりでな
く、マルチチップ装置にとっても重要である。しかしな
がら、半導体装置の全体のサイズが増大する傾向にある
か、あるいはエンドユーザが取り扱うのが困難になるよ
うな非常に微細なリードピッチを有する装置となるよう
な、付加的なI/Oに対する競合する希望が存在する。
Semiconductor devices are widely used in various types of electronic products, consumer products, automobiles, integrated circuit cards, and others. One feature of semiconductor devices that is important in many of these applications is that the semiconductor die
A small size semiconductor device, including both an inductor die and a package in which a semiconductor die is housed. Keeping device dimensions as small as possible is important not only for single-chip devices, but also for multi-chip devices. However, the overall size of semiconductor devices tends to increase, or competition for additional I / O results in devices with very fine lead pitches that are difficult for end users to handle. There is hope to do so.

【0003】小さな装置サイズを確立することに加え
て、製造者はまた装置の製造の低いコストを維持するこ
とに駆り立てられる。半導体ダイ以外の半導体装置を製
造する上でのかなりの材料コストになるのがリードフレ
ームである。多くの装置に対し、各半導体ダイのために
カスタム化されたリードフレームが設計されかつ製造さ
れなければならずこれはコストおよび時間がかかる。
In addition to establishing small device sizes, manufacturers are also driven to maintain the low cost of manufacturing devices. Lead frames are a significant material cost in manufacturing semiconductor devices other than semiconductor dies. For many devices, a customized leadframe must be designed and manufactured for each semiconductor die, which is costly and time consuming.

【0004】多チップ半導体装置は増大しつつあるが、
それは多チップ装置は基板、例えばプリント回路(P
C)基板上のデバイスのパッキング密度をかなり増大す
るからである。しかしながら、多チップ装置の産業上の
受入れを遅らせている1つの問題は許容できない製造コ
ストである。多くの多チップ装置は高価なセラミック基
板を使用しかつ半導体ダイ上に付加的な薄膜プロセスを
使用し、該プロセスは製造コストを大幅に増大させる。
Although the number of multi-chip semiconductor devices is increasing,
It is a multi-chip device that is a substrate, eg a printed circuit (P
C) This significantly increases the packing density of devices on the substrate. However, one problem that has slowed the industrial acceptance of multi-chip devices is unacceptable manufacturing costs. Many multi-chip devices use expensive ceramic substrates and use additional thin film processes on the semiconductor die, which greatly increases manufacturing costs.

【0005】樹脂封入された半導体装置は通常2つの方
法の内のいずれか1つによってパッケージングされる。
1つの方法では、半導体ダイ、または複数のダイ、はパ
ッケージに入れられ、該パッケージは次に個別に回路基
板上に装着される。別の方法では、半導体ダイ、または
複数のダイ、は回路基板上に直接実装され、かつ次に保
護用の封じ構造が設けられる。上記第1の方法はダイが
パッケージによって密閉されかつ保護されるという利点
を有する。パッケージに入れられた装置は試験し、取り
扱い、かつ組込むのが容易であり、かつ封じパッケージ
は環境に対し所望の程度の保護を提供する。これに対
し、ダイが直接基板に接続される上記第2の方法はダイ
によって必要とされる面積を最小化し、かつ従って非常
に高い基板実装密度を可能にする。しかしながら、この
方法では、パッケージングされていないダイは取り扱
い、試験、および組込みがそれ程容易ではなく、かつ環
境の望ましくない影響によりさらされ易い。
The resin-encapsulated semiconductor device is usually packaged by one of two methods.
In one method, the semiconductor die, or dies, are packaged and then the packages are individually mounted on a circuit board. Alternatively, the semiconductor die, or dies, is mounted directly on the circuit board and then provided with a protective encapsulation structure. The first method has the advantage that the die is sealed and protected by the package. The packaged device is easy to test, handle, and assemble, and the sealed package provides the desired degree of protection to the environment. In contrast, the second method, in which the die are directly connected to the substrate, minimizes the area required by the die and thus allows for very high substrate packing densities. However, with this method, unpackaged dies are not as easy to handle, test, and assemble, and are more susceptible to undesired environmental effects.

【0006】パッキング密度の増大のために複数の半導
体ダイス(dice)を基板上に実装することに加え
て、基板スペースは半導体装置を縦方向に実装すること
により節約できる。縦形装置はそれらが非常に狭い横方
向断面を有するため魅力的であり、より大きな回路基板
実装密度を可能にする。典型的な縦方向実装装置はジグ
ザグインラインパッケージ(ZIP)であり、リードは
該パッケージのより下のエッジを通って出る。ZIPの
不都合はそれがスルーホール形のパッケージであり、か
つリードが損傷または曲がることがありこれは基板に対
する接続を信頼性のないものにするということである。
他の形式の縦形装置はシングルインライン・メモリモジ
ュール(SIMM)である。SIMMは実際にはソケッ
トにプラグインするためのエッジコネクタを有する基板
上に装着された複数の個別にパッケージングされた装置
からなる。
In addition to mounting multiple semiconductor dice on a substrate to increase packing density, substrate space can be saved by mounting semiconductor devices vertically. Vertical devices are attractive because they have a very narrow cross-section, allowing for greater circuit board packing density. A typical vertical mount device is a zigzag inline package (ZIP), with leads exiting through the lower edge of the package. The disadvantage of ZIP is that it is a through-hole type package, and the leads can be damaged or bent, which makes the connection to the board unreliable.
Another type of vertical device is a single in-line memory module (SIMM). SIMMs actually consist of multiple individually packaged devices mounted on a substrate with edge connectors for plugging into sockets.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】前記SIMM基板の不
都合は個別パッケージによるその大きさである。SIM
Mのさらに他の不都合は各々の半導体ダイを別個にパッ
ケージングする組立てプロセスに関連するコストであ
る。
The disadvantage of the SIMM board is its size due to the individual package. SIM
Yet another disadvantage of M is the cost associated with the assembly process of packaging each semiconductor die separately.

【0008】従って、本発明の目的は、完全にパッケー
ジングされた装置の大きさを増大させることなく、多チ
ップモジュールを実現可能な低価格、オーバモールド形
半導体装置およびその製造方法を提供することにある。
Therefore, it is an object of the present invention to provide a low-cost, overmolded semiconductor device and a method of manufacturing the same which can realize a multi-chip module without increasing the size of a completely packaged device. It is in.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段および作用】本発明の1つ
の実施例によれば、半導体装置は基板の表面上に導電性
トレースのパターンが設けられる該基板を準備すること
により製造される。少なくとも1つの電子部品または要
素が前記導電性トレースのパターンに相互接続され、か
つパッケージ本体は前記電子部品および前記導電性トレ
ースのパターンの第1の部分の回りにオーバモールドさ
れ、前記導電性トレースのパターンの第2の部分を露出
した状態とする。複数の半田ボールが前記導電性トレー
スの第2の部分の一部に取り付けられ、かつ複数のエッ
ジリードが外部的に基板の周辺に接続され、前記複数の
半田ボールおよび前記複数のエッジリードの双方は装置
に対する外部電気接続を提供する。
SUMMARY OF THE INVENTION According to one embodiment of the present invention, a semiconductor device is manufactured by providing a substrate having a pattern of conductive traces provided on the surface of the substrate. At least one electronic component or element is interconnected to the pattern of conductive traces, and a package body is overmolded around the electronic component and a first portion of the pattern of conductive traces to form a conductive trace of the conductive traces. The second part of the pattern is exposed. A plurality of solder balls are attached to a portion of the second portion of the conductive trace, and a plurality of edge leads are externally connected to the periphery of the substrate, both the solder balls and the plurality of edge leads. Provides an external electrical connection to the device.

【0010】これらおよび他の特徴、および利点は、添
付の図面と共に以下の詳細な説明からより明瞭に理解で
きるであろう。図面は必ずしも寸法通り描かれておら
ず、かつ特に示されていない本発明の他の実施例も存在
し得ることを指摘することが重要である。
These and other features and advantages will be more clearly understood from the following detailed description in conjunction with the accompanying drawings. It is important to point out that the drawings are not necessarily drawn to scale and that there may be other embodiments of the invention not specifically shown.

【0011】[0011]

【実施例】図1、図3および図4は、断面図で、本発明
の1実施例にかかわるプロセス段階を示し、図4はさら
に完成したマルチチップ半導体装置10を示す。図2
は、図1の別のプロセス段階を示すが、図3〜図4に示
された残りのプロセス段階に影響しない。図1に示され
るように、基板12が準備され、該基板12の第1の側
に導電性トレース(coductive trace
s)の第1のパターン14が設けられかつ該基板12の
第2の反対側に導電性トレースの第2のパータン16が
設けられる。基板12は樹脂充填ガラス繊維からなる伝
統的なプリント回路基板とすることができ、例えば基板
の頭部面および底部面の双方に導電性トレースのパター
ン14および16を有するFR4またはG10材料であ
る。PCB基板上に導電性トレースのパターンを形成す
る方法は技術的によく知られている。図1に示されるよ
うに、基板12の第1の(頭部)面上にあるトレース1
4の一部は基板12の第2の(底部)面上のトレース1
6の一部と複数の導電性スルーホール18によって接続
されており、これは各トレースが装置の部品間で共有で
きるようにするためである。共有トレースの典型的な例
は電源のために使用されるトレースおよびグランドのた
めに使用されるトレースを含む。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT FIGS. 1, 3 and 4 are sectional views showing the process steps involved in one embodiment of the present invention, and FIG. 4 shows a more completed multichip semiconductor device 10. Figure 2
Shows another process step of FIG. 1, but does not affect the remaining process steps shown in FIGS. As shown in FIG. 1, a substrate 12 is prepared and a conductive trace is formed on a first side of the substrate 12.
s) a first pattern 14 is provided and a second pattern 16 of conductive traces is provided on a second opposite side of the substrate 12. Substrate 12 can be a traditional printed circuit board made of resin-filled fiberglass, such as FR4 or G10 material with conductive trace patterns 14 and 16 on both the top and bottom surfaces of the substrate. Methods of forming a pattern of conductive traces on a PCB substrate are well known in the art. As shown in FIG. 1, the trace 1 on the first (head) surface of the substrate 12
4 is part of trace 1 on the second (bottom) surface of substrate 12
It is connected to a portion of 6 by a plurality of conductive through holes 18 so that each trace can be shared between parts of the device. Typical examples of shared traces include traces used for power and traces used for ground.

【0012】図1に示されるように、半導体ダイ20は
ワイヤボンド22によって導電性トレースの第1のパタ
ーン14に電気的に接続されている。しかしながら、テ
ープ自動化ボンディング(TAB)、フリップチップ/
ダイレクトチップ取り付け、その他のような他の電気的
接続の方法も使用できる。ダイ20はまた機械的に基板
12に取り付けられている。機械的な取り付けはダイ取
り付けエポキシまたは任意の他の適切な接着媒体を使用
することによって行うことができる。ダイ20が導電性
トレース14に電気的に接続された後、第1のモールド
操作が行われて半導体ダイ20、ワイヤボンド22、お
よび導電性トレースの第1のパターン14の第1の部分
を封じ材料でオーバモールドし第1のパッケージ本体
4を形成する。パッケージ本体24は、トランスファモ
ールドのような、伝統的な方法で形成され、その場合半
導体ダイ20が取り付けられた基板12はモールドキャ
ビティ内に挿入されかつ封じ材料が該キャビティ内に高
い温度および高い圧力で送り込まれる。あるいは、パッ
ケージ本体24はインジェクションモールド、ポアモー
ルド(pour molding)、あるいは「グロブ
トップ(glob−top)」プロセスで形成できる。
これらのオーバモールド形操作の各々において、封じ材
料は基板12の一方の側に形成される。該封じ材料は従
って半導体ダイ、ワイヤボンド、および導電性トレース
14のパターンの少なくとも第1の部分をおおう。
As shown in FIG. 1, the semiconductor die 20 is electrically connected to the first pattern 14 of conductive traces by wire bonds 22. However, tape automated bonding (TAB), flip chip /
Other methods of electrical connection such as direct tip attachment, etc. can also be used. The die 20 is also mechanically attached to the substrate 12. Mechanical attachment can be done by using die attach epoxy or any other suitable adhesive medium. After the die 20 is electrically connected to the conductive traces 14, a first molding operation is performed to seal the semiconductor die 20, the wire bonds 22, and the first portion of the first pattern 14 of conductive traces. First package body 2 overmolded with material
4 is formed. The package body 24 is formed by a traditional method, such as transfer molding, where the substrate 12 with the semiconductor die 20 attached is inserted into a mold cavity and the encapsulant is heated to a high temperature and pressure. Sent in. Alternatively, the package body 24 can be formed by injection molding, pour molding, or a "glob-top" process.
In each of these overmolded operations, a sealing material is formed on one side of the substrate 12. The encapsulant material thus covers at least a first portion of the pattern of semiconductor dies, wire bonds, and conductive traces 14.

【0013】図2には、前に述べたように、半導体ダイ
20のためのフリップチップ取り付け方法が示されてい
る。複数の半田バンプ(solder bumps)2
5が使用されてダイ20を直接基板12に取り付ける。
フリップチップ/ダイレクトチップ取り付けが使用され
る場合、半田バンプ25のアンダフィリング(unde
rfilling)26がモールド操作の前に必要であ
る。アンダフィリング26は典型的には低い粘性を有す
るポリマ接着材料である。アンダフィリング26はダイ
20の下の容積を完全に満たす。アンダフィリング26
はまたダイのためのストレス緩和媒体として作用する。
アンダフィリング26はストレス緩和媒体であるから、
アンダフィリングのために使用される材料はシリコンダ
イ20と基板12との間の熱的不整合を最小化するよう
にアンダフィリング26の熱膨脹係数を制御するために
適切な量の添加材料を有するべきである。いったんダイ
20が基板12に対してフリップチップ接合されると、
オーバモールド操作は上に述べたように行うことができ
る。
FIG. 2 illustrates a flip chip attachment method for semiconductor die 20, as previously described. Multiple solder bumps 2
5 is used to attach the die 20 directly to the substrate 12.
When flip chip / direct chip attachment is used, the solder bumps 25 underfill
rfilling) 26 is required prior to the molding operation. The underfilling 26 is typically a polymer adhesive material having a low viscosity. The underfilling 26 completely fills the volume under the die 20. Underfilling 26
Also acts as a stress relieving medium for the die.
Since the underfilling 26 is a stress relieving medium,
The material used for the underfilling should have an appropriate amount of additive material to control the coefficient of thermal expansion of the underfilling 26 so as to minimize the thermal mismatch between the silicon die 20 and the substrate 12. Is. Once the die 20 is flip chip bonded to the substrate 12,
The overmolding operation can be performed as described above.

【0014】オーバモールド操作の後に、半導体ダイ2
0は導電性トレース14を介して機能的に試験すること
ができる。ダイ20の試験は現存する試験方法および装
置を使用して行うことができ、例えば伝統的な試験プロ
ーブ、ポーゴーピン(pogo−pins)、またはソ
ケットを使用して行うことができる。
After the overmolding operation, the semiconductor die 2
0 can be tested functionally via conductive trace 14. Die 20 can be tested using existing test methods and equipment, for example using traditional test probes, pogo-pins, or sockets.

【0015】ダイの試験が完了すると、付加的な半導体
ダイ27、または他の電子部品が、図3に示されるよう
に、基板12の第2の面に実装される。図3は、半導体
ダイ27が半導体ダイ20のすぐ反対側に装着されてい
るように示されているが、そのような配置は本発明を実
施する上で必ずしも必要なものではない。ダイ27は、
導電性トレース16の第2の部分に対する適切な相互接
続が可能な限り、基板12の第2の面上の任意の位置に
配置できる。図3に示されるように、半導体ダイ27は
ワイヤボンド22を使用して導電性トレース16に電気
的に接続されている。
Upon completion of die testing, additional semiconductor die 27, or other electronic component, is mounted to the second side of substrate 12, as shown in FIG. Although FIG. 3 is shown with semiconductor die 27 mounted directly opposite semiconductor die 20, such an arrangement is not necessary for the practice of the invention. Die 27
It can be placed anywhere on the second side of the substrate 12 as long as proper interconnection to the second portion of the conductive trace 16 is possible. As shown in FIG. 3, the semiconductor die 27 is electrically connected to the conductive traces 16 using wire bonds 22.

【0016】半導体ダイ27が基板12の第2の面に取
り付けられかつ適切な相互接続が導電性トレース16に
対して行われた後、第2のモールド段階が行われて第2
のパッケージ本体28が形成され、この場合導電性トレ
ース16の一部は半導体ダイ27への電気的アクセスを
可能にするため露出されている。パッケージ本体28は
またパッケージ本体24と同様のオーバモールドされた
樹脂パッケージ本体である。2つのパッケージ本体の間
の1つの差異はパッケージ本体28はパッケージ本体2
4よりも小さいことである。本発明によれば、下側のパ
ッケージ本体28は上側のパッケージ本体24よりも小
さくして電気的接続が基板の底部表面領域上の導電性ト
レースの第2の部分に対して行うことができるようにす
べきである。モールドされると、パッケージ本体28は
導電性トレースの一部16をパッケージ本体28の周囲
に露出する。
After the semiconductor die 27 is attached to the second side of the substrate 12 and the appropriate interconnections have been made to the conductive traces 16, a second molding step is performed to produce a second.
Of the package body 28 is formed, where a portion of the conductive traces 16 is exposed to allow electrical access to the semiconductor die 27. The package body 28 is also an overmolded resin package body similar to the package body 24. One difference between the two package bodies is that package body 28 is package body 2
It is smaller than 4. In accordance with the present invention, the lower package body 28 is smaller than the upper package body 24 so that electrical connections can be made to the second portion of the conductive traces on the bottom surface area of the substrate. Should be. When molded, the package body 28 exposes a portion 16 of the conductive traces around the package body 28.

【0017】図4に示されるように、複数の半田ボール
32が取り付けられかつ電気的に導電性トレース16の
露出部分の一部に結合される。該半田ボールは装置から
次のレベルの基板、例えばPC基板、に対し熱的経路を
も形成することができる。半田ボール32およびトレー
ス16の接着性および該トレースの半田ぬれ性(sol
der−wettability)を改善するため、中
間導電層(図示せず)を前記導電性トレースの露出部分
に加えることができる。接着性およびぬれ性を促進する
ために使用する共通の材料は金、銅、その他を含む。複
数の半田ボール32は、図4に示されるように、パッケ
ージ本体28を超えて存在するよう十分な大きさのもの
とすべきである。半田ボールがパッケージ本体28を超
えて存在することは該半田ボールがパッケージ本体から
の妨害なしに基板に容易に結合できるようにさせる。
As shown in FIG. 4, a plurality of solder balls 32 are attached and electrically coupled to a portion of the exposed portion of electrically conductive trace 16. The solder balls can also form a thermal path from the device to the next level substrate, eg, a PC substrate. Adhesiveness of the solder ball 32 and the trace 16 and solder wettability (sol
To improve der-wetability, an intermediate conductive layer (not shown) can be added to the exposed portions of the conductive traces. Common materials used to promote adhesion and wettability include gold, copper, and others. The plurality of solder balls 32 should be large enough to reside beyond the package body 28, as shown in FIG. The presence of the solder balls beyond the package body 28 allows the solder balls to be easily bonded to the substrate without interference from the package body.

【0018】パッケージ本体24および28は傾斜した
(tapered)側壁30を有することに注目すべき
である。本発明の要求ではないが、本発明にかかわる装
置の底部側に形成されるパッケージのための傾斜した側
壁は半田ボールの取り付けを容易にする。半田ボール位
置に隣接するパッケージ本体上の縦方向の側壁は半田ボ
ールを定位置に配置するために使用される製造機器を妨
げる。傾斜した側壁は種々の製造機器を収容するための
より多くのスペースを提供する。傾斜した側壁はまたパ
ッケージ本体をモールド用ツールから解放する上での助
けとなる。
It should be noted that package bodies 24 and 28 have tapered sidewalls 30. Although not a requirement of the present invention, the sloping sidewalls for the package formed on the bottom side of the device according to the present invention facilitate solder ball attachment. The vertical sidewalls on the package body adjacent the solder ball locations interfere with the manufacturing equipment used to place the solder balls in place. The sloped sidewalls provide more space for accommodating various manufacturing equipment. The sloped sidewalls also help release the package body from the molding tool.

【0019】さらに、図4には選択的に外側に取り付け
られかつ電気的に基板12の周囲の回りの上部および下
部導電性トレース14および16の一方または双方に結
合された複数のエッジリード36が示されている。これ
らのリードは、0.65mmまたは0.5mmのよう
な、標準のリードピッチを有するストリップ形式で商業
的に入手可能であり、かつリフロー処理によって導電性
トレース14および16に半田付けされる。複数のリー
ド36が取り付けられた後、それらは所望のリード形状
にトリミングされかつ形成することができる。この図で
は、各リードはかもめの羽根形状(gull−wing
configuration)に形成されているが、
Jリード(J−leaded)のような、他の形状もま
た可能である。
Further, FIG. 4 shows a plurality of edge leads 36 that are selectively mounted externally and electrically coupled to one or both of the upper and lower conductive traces 14 and 16 around the periphery of the substrate 12. It is shown. These leads are commercially available in strip format with standard lead pitch, such as 0.65 mm or 0.5 mm, and are soldered to conductive traces 14 and 16 by a reflow process. After the leads 36 are attached, they can be trimmed and formed into the desired lead shape. In this figure, each lead is a gull-wing shape.
configuration),
Other shapes are also possible, such as J-leaded.

【0020】外部的に取り付けられたリードはいくつか
の理由で有利である。各々の特定の半導体ダイに対しコ
ストおよび時間を浪費するリードフレームをカスタム化
する代わりに、基板12とその付随する導電性トレース
のパターン14および16のみが与えられたダイに対し
てカスタム化されればよい。基板の変更はリードフレー
ムの設計変更よりもより早いサイクルタイムを有する単
純なマスクの変更のみを必要とし、数週間に対する数日
の違いになる。さらに、5mm×5mm〜40mm×4
0mmのボディサイズを有しリードの数が32〜520
の範囲の、同じリードピッチが半導体装置に対して使用
できる。モールド段階の後に外部リードを取り付ける他
の利点は、一般にリードフレームにおいて使用されてい
る、ダムバー(dam bar)が必要なくなり、従っ
てダムバーを除去する引き続く処理段階が除去される。
金属リードフレームを有する伝統的な半導体装置におい
ては、ダムバーはモールド操作の間にモールドコンパウ
ンドのフラッシュおよびはみだし(bleeding)
を制御するために使用されるリードの間の物理的障壁で
ある。このダムバーは次の操作で装置から機械的に除去
されリードをショートしないようにしなければならな
い。リード間のダムバーを除去することはリードピッチ
がより微細になるに応じてより困難になる。従って、ダ
ムバーの除去ステップがなければ組立てプロセスはより
容易に制御可能になる。
Externally mounted leads are advantageous for several reasons. Instead of customizing the leadframe, which is costly and time consuming for each particular semiconductor die, only the substrate 12 and its associated conductive trace patterns 14 and 16 are customized for a given die. Good. Substrate changes only require simple mask changes with faster cycle times than leadframe design changes, which can be days to weeks. Furthermore, 5 mm x 5 mm to 40 mm x 4
32mm to 520 leads with 0mm body size
The same lead pitch in the range of can be used for semiconductor devices. Another advantage of attaching the outer leads after the molding step is the elimination of the dam bar commonly used in leadframes, thus eliminating the subsequent processing step of removing the dam bar.
In traditional semiconductor devices with metal leadframes, the dam bars flash and bleed the mold compound during the molding operation.
Is a physical barrier between the leads used to control the This dambar must be mechanically removed from the device in the next operation to avoid shorting the leads. Removing dam bars between leads becomes more difficult as lead pitch becomes finer. Therefore, the assembly process can be more easily controlled without the dambar removal step.

【0021】図4は、さらに、完成したマルチチップ半
導体装置10を示しており、この場合該装置は位置的に
半田ボール32およびエッジリード36に対応する複数
の導電性トレース40を有する、PC基板のような、伝
統的な基板38上に配置されている。複数の半田ボール
32は電源およびグランド接続のために使用できる。装
置と電源およびグランド面との間の短い距離のため、該
装置のインダクタンスおよび抵抗は最小限に保たれる。
従って、装置における半田ボールおよびエッジリードの
組合わせはパッケージングされた装置のサイズを増大さ
せることなく増大したI/Oを可能にする。
FIG. 4 further shows a completed multi-chip semiconductor device 10, where the device has a plurality of conductive traces 40 corresponding in position to solder balls 32 and edge leads 36. Is placed on a traditional substrate 38, such as A plurality of solder balls 32 can be used for power and ground connections. Due to the short distance between the device and the power and ground planes, the inductance and resistance of the device are kept to a minimum.
Thus, the combination of solder balls and edge leads in a device allows for increased I / O without increasing the size of the packaged device.

【0022】装置10における半導体ダイ20の試験は
製造上の種々のポイントで行うことができる。例えば、
ダイは第2のモールドプロセスの後であるが、半田ボー
ルが取り付けられる前に機能的に試験することができ
る。あるいは、試験は半田ボールが取り付けられた後に
行うことができる。しかしながら、装置10に対する最
も高い歩留りのダイを得るために、始めにより低い歩留
りのダイが組立てられ、かつ2番目により高い歩留りの
ダイが組立てられることが推奨される。そうすることに
より、最も不良になり易いダイは第1のモールド段階の
後でかつ付加的な部品が基板の他の側に取り付けられる
前に行われる第1の機能試験操作の間に識別される。初
期の不良の識別は第1のモールドプロセスの後までの不
必要な製造ステップを除去する。図面に関しては、図3
および図4に示された各ステップはもしダイ20が不良
部品であると記録されれば除去され、かつ引き続く製造
コストが避けられる。あるいは、もしダイ27がダイ2
0よりも低い歩留りのものであれば、製造は不良が識別
される前に第2の封じ段階まで継続することが生じ易
い。
Testing of semiconductor die 20 in device 10 may be performed at various points in manufacturing. For example,
The die can be functionally tested after the second molding process but before the solder balls are attached. Alternatively, the test can be performed after the solder balls have been attached. However, in order to obtain the highest yielding die for device 10, it is recommended that the lower yielding die be assembled first and the second higher yielding die be assembled. By doing so, the most vulnerable die is identified during the first functional test operation that occurs after the first molding step and before additional components are attached to the other side of the substrate. . Early defect identification eliminates unnecessary manufacturing steps until after the first molding process. For the drawings, see FIG.
And the steps shown in FIG. 4 are eliminated if die 20 is marked as a defective part and subsequent manufacturing costs are avoided. Or if die 27 is die 2
With yields below 0, manufacturing is likely to continue to the second containment stage before defects are identified.

【0023】図5は、基板12の底面図である。図5に
示されるように、かつ前に述べたように、パッケージ本
体28は基板12の第2の面の全表面領域をおおってお
らず、従って導電性トレースの一部16を露出してい
る。導電性トレース16はパッケージ本体28の周囲に
複数の半田パッド42を有する。半田ボール32は電気
的かつ物理的に半田パッド42に結合されている。半田
パッド42に加えて、導電性トレース16はまた基板1
2の周辺に複数のエッジコネクタ44を有する。エッジ
リード36は電気的かつ物理的にこれらのエッジコネク
タ44に結合されている。基板12の第1の(上部)側
もまた導電性トレース14のパターンの一部としてエッ
ジコネクタを有する。任意選択的なプロセス段階はエッ
ジリードをそれらがエッジコネクタに半田付けされた後
にポリマによってコーティングすることであり、半田接
合に機械的強度を加えかつそれらを可能な腐食またはリ
ード間のリーケージから保護する。
FIG. 5 is a bottom view of the substrate 12. As shown in FIG. 5, and as previously described, the package body 28 does not cover the entire surface area of the second side of the substrate 12, thus exposing a portion 16 of the conductive trace. . The conductive trace 16 has a plurality of solder pads 42 around the package body 28. The solder balls 32 are electrically and physically coupled to the solder pads 42. In addition to solder pads 42, conductive traces 16 also
2 has a plurality of edge connectors 44 on the periphery thereof. Edge leads 36 are electrically and physically coupled to these edge connectors 44. The first (top) side of substrate 12 also has edge connectors as part of the pattern of conductive traces 14. An optional process step is to coat the edge leads with a polymer after they are soldered to the edge connector, which adds mechanical strength to the solder joints and protects them from possible corrosion or leakage between leads. .

【0024】本発明のさらに別の実施例を示す残りの図
面は装置12に関して上に説明したものと同じまたは同
様の要素の多くを導入している。従って、同様の参照数
字は引き続くいくつかの図面にわたり同じまたは対応す
る部分を示している。
The remaining figures, which illustrate yet another embodiment of the present invention, introduce many of the same or similar elements as described above with respect to apparatus 12. Accordingly, like reference numerals indicate the same or corresponding parts throughout the subsequent drawings.

【0025】図6は、本発明の他の実施例につながる別
のプロセス段階を示す。この実施例では、図1において
説明された方法が使用されて半導体ダイ20を基板12
上に組立てる。いったん半導体ダイ20が基板12の第
1の側に装着され、ワイヤボンドされかつオーバモール
ドされると、基板12は第2の電子部品の装着のために
反転される。図6に示されるように、抵抗、ダイオー
ド、デカップリング容量、その他のような、受動電子部
品50が半田接合51によって導電性トレース16に電
気的に結合されている。電子部品50は封じ材料によっ
てオーバモールドされる必要はない。いったん部品50
が基板12の第2の面に取り付けられると、半田ボール
32およびエッジリード36は上に述べたように基板に
取り付けることができ、図7に示されるような半導体装
置52が形成される。
FIG. 6 illustrates another process step leading to another embodiment of the present invention. In this example, the method described in FIG. 1 is used to attach the semiconductor die 20 to the substrate 12
Assemble on top. Once the semiconductor die 20 is mounted on the first side of the substrate 12, wirebonded and overmolded, the substrate 12 is flipped over for mounting the second electronic component. As shown in FIG. 6, passive electronic components 50, such as resistors, diodes, decoupling capacitances, etc., are electrically coupled to the conductive traces 16 by solder joints 51. The electronic component 50 need not be overmolded with the encapsulating material. Parts 50 once
Is attached to the second surface of substrate 12, solder balls 32 and edge leads 36 can be attached to the substrate as described above, forming semiconductor device 52 as shown in FIG.

【0026】本発明の別の実施例において、図8はPC
ボード62上に縦方向に実装された半導体装置60の断
面図を示す。装置60は通常のパッドアレイキャリアの
ような第1の段階によって処理されかつ組立てられる。
半導体ダイ64はワイヤボンド70によって導電性トレ
ース68のパターンを有する基板66に実装されかつ電
気的に接続される。しかしながら、テープ自動化ボンデ
ィング(TAB)、フリップチップ/ダイレクトチップ
取り付け、その他のような、他の電気的接続方法も使用
できる。ダイ64が電気的に導電性トレース68に接続
された後、オーバモールド操作が行われて半導体ダイ6
4、ワイヤボンド70、および導電性トレースのパター
ンの第1の部分68が封じ材料によっておおわれパッケ
ージ本体72が形成される。パッケージ本体72は、ト
ランスファモールドのような、伝統的な方法で形成され
る。あるいは、パッケージ本体72はまたインジェクシ
ョンモールド、ポアモールド(pour moldin
g)、あるいは「グロブトップ(glob−top)」
プロセスによって形成できる。これらのオーバモールド
形式の操作の各々において、封じ材料は基板66の一方
の側に形成される。封じ材料は従って半導体ダイ64、
ワイヤボンド70、および導電性トレースのパターンの
少なくとも第1の部分68を取り囲む。しかしながら、
前の実施例と異なり、装置60の1つのエッジに沿った
導電性トレースの一部のみが露出されており、従ってシ
ングル・イン・ラインコンタクト構成を与えている。
In another embodiment of the present invention, FIG.
A cross-sectional view of a semiconductor device 60 vertically mounted on a board 62 is shown. The device 60 is processed and assembled by a first step, such as a conventional pad array carrier.
The semiconductor die 64 is mounted and electrically connected to a substrate 66 having a pattern of conductive traces 68 by wire bonds 70. However, other electrical connection methods such as tape automated bonding (TAB), flip chip / direct chip attachment, and others can also be used. After die 64 is electrically connected to conductive traces 68, an overmolding operation is performed to form semiconductor die 6
4, the wire bonds 70, and the first portion 68 of the pattern of conductive traces are covered with the encapsulating material to form the package body 72. The package body 72 is formed by traditional methods such as transfer molding. Alternatively, the package body 72 may also be an injection mold or a pour mold.
g), or "glob-top"
It can be formed by a process. In each of these overmold type operations, a sealing material is formed on one side of the substrate 66. The sealing material is therefore the semiconductor die 64,
Surrounding the wire bonds 70 and at least a first portion 68 of the pattern of conductive traces. However,
Unlike the previous embodiment, only a portion of the conductive traces along one edge of device 60 are exposed, thus providing a single-in-line contact configuration.

【0027】オーバモールド操作の後に、半導体ダイ6
4は導電性トレース68を介して機能的に試験できる。
いったんダイが機能することが確認されれば、複数の半
田ボール74が導電性トレース68の一部である半田ラ
ンド76に取り付けられる。半田ランド76はパッケー
ジ本体によっておおわれておらずかつ基板66の下部エ
ッジ78に沿って配置されている。下部エッジ78はP
Cボード62に挿入され、該PCボード62は半導体装
置60を縦方向に装着する目的でスロット80を有す
る。PCボード62は半田ボール74の位置に対応する
導電性トレース82を有し、挿入によって、半田ボール
74がトレース82と整列する。半田ボール74は次に
半導体装置60をPCボード62に強固に固定するため
にリフローされる。
After the overmolding operation, the semiconductor die 6
4 can be tested functionally via conductive traces 68.
Once the die is confirmed to be functional, a plurality of solder balls 74 are attached to solder lands 76 that are part of the conductive traces 68. Solder lands 76 are not covered by the package body and are located along the lower edge 78 of substrate 66. Lower edge 78 is P
The PC board 62 is inserted into the C board 62 and has a slot 80 for mounting the semiconductor device 60 in the vertical direction. The PC board 62 has conductive traces 82 corresponding to the positions of the solder balls 74, and the insertion aligns the solder balls 74 with the traces 82. The solder balls 74 are then reflowed to firmly secure the semiconductor device 60 to the PC board 62.

【0028】図9は、別の実施例を示し、その場合は半
導体装置86は本質的に図8の装置60と同じ要素を有
している。しかしながら、基板88は多層化されてお
り、それによって導電性トレース68′が該基板の両方
の面に導くことができるようになっている。図9の実施
例においては、複数の半田ボール74′が半田ランド7
6′の位置に対応する基板88の両方の面に取り付けら
れている。基板88の下部エッジ78′はPCボード9
0に挿入され、そこでPCボード90は半田ボール7
4′と整列された導電性トレース94を備えたスロット
92を有する。半田ボール74をリフローすることによ
り基板88の両側に対称的な半田接合が形成され縦方向
に実装された装置に対し強固なサポートを提供する。
FIG. 9 shows another embodiment in which the semiconductor device 86 essentially has the same elements as the device 60 of FIG. However, the substrate 88 is multilayered so that the conductive traces 68 'can be routed to both sides of the substrate. In the embodiment shown in FIG. 9, a plurality of solder balls 74 ′ are solder lands 7.
It is attached to both sides of the substrate 88 corresponding to the 6'position. The lower edge 78 'of the substrate 88 is the PC board 9
0, where the PC board 90 has solder balls 7
It has a slot 92 with conductive traces 94 aligned with 4 '. Reflowing the solder balls 74 creates symmetrical solder joints on both sides of the substrate 88 to provide firm support for vertically mounted devices.

【0029】図10は、本発明のさらに別の実施例を示
し、この場合はマルチチップ半導体装置98がPCボー
ド90′上に縦方向に装着されている。この実施例で
は、半導体ダイ100は基板102の各々の側に実装さ
れ、それによって装置あたりのダイスの密度を増大して
いる。この実施例は基板の側部ごとに1つのダイのみを
示しているが、本発明は実際には側部ごとに1個のダイ
のみに限定されるものではなく、側部ごとに複数の半導
体ダイスを収容できる。従って、パッキング密度が装置
の縦方向装着によるのみならず各装置のマルチチップ能
力により増大される。図10においては、半田接合10
4は装置98がすでにPCボード90′にリフローされ
たものとして示されている。
FIG. 10 shows still another embodiment of the present invention, in which a multichip semiconductor device 98 is vertically mounted on a PC board 90 '. In this embodiment, the semiconductor die 100 is mounted on each side of the substrate 102, thereby increasing the die density per device. Although this embodiment shows only one die per side of the substrate, the invention is not really limited to only one die per side, but multiple semiconductors per side. Can accommodate dice. Therefore, packing density is increased by the multi-chip capability of each device as well as by the vertical mounting of the device. In FIG. 10, the solder joint 10
4 is shown as device 98 already reflowed to PC board 90 '.

【0030】図11は、本発明の別の実施例を示し、こ
の場合は半導体装置110は2つの構成の内の1つを持
つことができる。装置110はPC基板116に挿入す
るために基板114の両端にアライメント用ピン112
を持つことができ、あるいは装置110は該アライメン
ト用ピンなしに製造することもできる。アライメント用
ピンがない場合は、装置が基板に半田付けされる前に該
装置を定位置に保持するために配置用機器が必要であ
る。アライメント用ピン112を備えた実施例において
は、PC基板116は図8〜図10によるスロットの代
りに基板114の両端に2つの穴118を持つ。これら
の穴118はいずれの導電性トレースにも接続されてい
ない。複数の半田ボール74′が基板114の半田パッ
ド(図示せず)に取り付けられている。いったんピン1
12が穴118に挿入されると、半田ボール74′はP
C基板116上の導電性トレース120と接触を行な
う。基板114の下部エッジはピン112が穴118に
挿入された時進行限界手段として作用する。半田ボール
74′は次にPC基板116にリフローされ、それによ
って半導体装置110を定位置に保持する。
FIG. 11 shows another embodiment of the present invention, in which case the semiconductor device 110 can have one of two configurations. The device 110 has alignment pins 112 on both ends of the board 114 for insertion into the PC board 116.
Alternatively, the device 110 can be manufactured without the alignment pins. Without the alignment pins, placement equipment is required to hold the device in place before it is soldered to the substrate. In the embodiment with the alignment pins 112, the PC board 116 has two holes 118 at both ends of the board 114 instead of the slots according to FIGS. These holes 118 are not connected to any conductive trace. A plurality of solder balls 74 'are attached to solder pads (not shown) on the substrate 114. Once pin 1
When 12 is inserted into hole 118, solder ball 74 '
Contact is made with the conductive traces 120 on the C substrate 116. The lower edge of the substrate 114 acts as a travel limiter when the pin 112 is inserted into the hole 118. The solder balls 74 'are then reflowed to the PC board 116, thereby holding the semiconductor device 110 in place.

【0031】図12は、本発明の第7の実施例を示す、
PC基板(図示せず)に装置を縦方向に装着するために
使用されるエッジ・ハーフビア(edge half−
vias)126を備えた半導体装置124の斜視図で
ある。該ハーフビア126は装置124の基板130の
下部エッジ128にめっきされかつ配置されている。図
12にはハーフビア126に取り付けられた複数の半田
ボール132も示されている。
FIG. 12 shows a seventh embodiment of the present invention,
Edge half vias that are used to mount the device in a vertical direction to the PC board (not shown) (edge Half
vias) 126 is a perspective view of a semiconductor device 124. The half vias 126 are and arranged plating at the bottom edge 128 of the substrate 130 of the device 124. Also shows a plurality of solder balls 132 attached to the half via 126 in FIG. 12.

【0032】図13には導電性トレース136を有する
PC基板134上に縦方向に配置された装置124が示
されている。図12の、半田ボール132は装置124
と導電性トレース136との間の物理的及び電気的半田
接続138を形成するためにリフローされている。この
実施例では、PC基板134は装置をPC基板上に装着
するためのスロットまたはホールを必要としない。
FIG. 13 shows a vertically arranged device 124 on a PC board 134 having conductive traces 136. The solder balls 132 in FIG.
And reflowed to form a physical and electrical solder connection 138 between the conductive trace 136 and the conductive trace 136. In this embodiment, the PC board 134 does not require slots or holes to mount the device on the PC board.

【0033】[0033]

【発明の効果】以上の説明及び図示は本発明に関連する
数多くの利点を示している。特に、PCB基板の手法を
利用する製造プロセスは低価格のマルチチップ半導体装
置を製造するのに使用できることが明らかとなった。さ
らに、本発明に係わるマルチチップ半導体装置のフット
プリント(footprint)は半導体ダイまたは他
の部品を装置内の2つの異なるレベルに持つことにより
非常に小さくすることができる。前記2つのレベルは2
つの封じ操作の結果として生成され、その内の第1のも
のは好ましくはより低い歩留りのダイを封入し、一方第
2のものはより高い歩留りのダイを封入するのに使用さ
れる。多くの伝統的なマルチチップ装置と異なり、機能
的な試験は第2の封入操作の前に行なうことができる。
従って、不良が早期に検出できかつ不必要なプロセスに
伴う製造コストが避けられる。
The foregoing description and illustrations show many of the advantages associated with the present invention. In particular, it has been found that the manufacturing process utilizing the PCB substrate approach can be used to manufacture low cost multi-chip semiconductor devices. Further, the footprint of the multi-chip semiconductor device according to the present invention can be made very small by having the semiconductor die or other component at two different levels within the device. The two levels are 2
Produced as a result of two encapsulation operations, the first of which is preferably used to encapsulate the lower yield die, while the second is used to encapsulate the higher yield die. Unlike many traditional multi-chip devices, functional testing can be done prior to the second encapsulation operation.
Therefore, defects can be detected early and the manufacturing costs associated with unnecessary processes are avoided.

【0034】従って、本発明によれば、従来技術の装置
及び方法に関連する問題を克服するマルチチップ半導体
装置及びその製造のための方法が提供されたことが明ら
かである。本発明はその特定の実施例に関して説明され
かつ図示されたが、本発明はこれらの説明された実施例
に限定されるものではない。当業者は本発明の精神から
離れることなく変更及び修正を成すことが可能なことを
認識するであろう。例えば、基板上に使用される半導体
トレースのパターンは本発明によって限定されるもので
はない。該導電性トレースのパターンは装置において使
用される種々の半導体ダイ及び電子部品の形式及び形状
に依存する。さらに、多層基板をいずれかの実施例にお
いてもめっきされたスルーホールを有する基板と、ある
いは逆に、相互交換することが可能である。さらに、本
発明は使用されたいずれかの特定の数または種類の半導
体ダイに限定されるものではない。また、半導体ダイス
の代りに、あるいは半導体ダイスに加えて他の部品を使
用することができる。一例として、抵抗及び容量を含
む、通常使用される受動部品は本発明に係わる装置にお
いて有利に使用できる。さらに、装置を封入するための
説明されたもの以外の材料及び方法も可能である。ま
た、特に示されたもの以外の半田ボール構成または形状
も本発明を実施するうえで適切なものと予期される。さ
らに、装置をPC基板に取り付けるために半田ボールの
代りに導電性エポキシを使用することも可能である。さ
らに、示された実施例の内のいくつかは基板に半田付け
される代りにソケットに挿入されるようにすることもで
きる。従って、添付の特許請求の範囲で規定される範囲
内にある全てのそのような変形及び修正は本発明に含ま
れるものと考える。
Thus, it should be apparent that the present invention provides a multi-chip semiconductor device and method for its manufacture that overcomes the problems associated with prior art devices and methods. Although the present invention has been described and illustrated with respect to particular embodiments thereof, it is not intended that the invention be limited to these described embodiments. Those skilled in the art will recognize that changes and modifications can be made without departing from the spirit of the invention. For example, the pattern of semiconductor traces used on the substrate is not limited by the present invention. The pattern of conductive traces depends on the type and shape of the various semiconductor dies and electronic components used in the device. Further, it is possible to interchange the multilayer substrate with a substrate having plated through holes in either embodiment, or vice versa. Moreover, the present invention is not limited to any particular number or type of semiconductor die used. Also, other components can be used in place of or in addition to the semiconductor die. By way of example, commonly used passive components, including resistors and capacitors, can be used to advantage in the device according to the invention. In addition, materials and methods other than those described for encapsulating the device are possible. Also, solder ball configurations or shapes other than those specifically shown are expected to be suitable in practicing the present invention. In addition, conductive epoxies can be used in place of solder balls to attach the device to the PC board. Furthermore, some of the illustrated embodiments may be inserted into sockets instead of being soldered to the board. Therefore, all such variations and modifications that fall within the scope defined by the appended claims are considered to be included in the present invention.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】半導体装置の製造のための本発明の第1の実施
例に係わるプロセス段階を示す断面図である。
1 is a cross-sectional view showing process steps according to a first embodiment of the present invention for manufacturing a semiconductor device.

【図2】図1に示されるものとは別のプロセス段階であ
る、フリップチップ/ダイレクトチップ取り付け方法を
示す断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing a flip-chip / direct-chip attachment method, which is another process step than that shown in FIG.

【図3】半導体装置の製造のための本発明の第1の実施
例に係わる残りのプロセス段階を示す断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing the remaining process steps according to the first embodiment of the present invention for manufacturing a semiconductor device.

【図4】半導体装置の製造のための本発明の第1の実施
例に係わる残りのプロセス段階を示す断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing the remaining process steps according to the first embodiment of the present invention for manufacturing a semiconductor device.

【図5】図4に示される半導体装置の基板を示す底面図
である。
5 is a bottom view showing a substrate of the semiconductor device shown in FIG.

【図6】半導体装置の製造のための本発明の第2の実施
例に係わるプロセス段階を示す断面図である。
FIG. 6 is a cross-sectional view showing process steps according to a second embodiment of the present invention for manufacturing a semiconductor device.

【図7】半導体装置の製造のための本発明の第2の実施
例に係わるプロセス段階を示す断面図である。
FIG. 7 is a cross-sectional view showing process steps according to a second embodiment of the present invention for manufacturing a semiconductor device.

【図8】本発明の第3の実施例に係わる、基板の一方の
側に半田ボールを有する縦方向実装半導体装置を示す断
面図である。
FIG. 8 is a sectional view showing a vertically mounted semiconductor device having solder balls on one side of a substrate according to a third embodiment of the present invention.

【図9】本発明の第4の実施例に係わる、基板の両側に
半田ボールを有する縦方向実装多層基板半導体装置を示
す断面図である。
FIG. 9 is a sectional view showing a vertically mounted multilayer substrate semiconductor device having solder balls on both sides of a substrate according to a fourth embodiment of the present invention.

【図10】本発明の第5の実施例に係わる、縦方向実装
マルチチップ半導体装置を示す断面図である。
FIG. 10 is a sectional view showing a vertically mounted multi-chip semiconductor device according to a fifth embodiment of the present invention.

【図11】本発明の第6の実施例に係わる、任意選択的
なアライメント用ピン構成を備えた縦方向実装半導体装
置を示す正面図である。
FIG. 11 is a front view showing a vertically mounted semiconductor device having an optional alignment pin structure according to a sixth embodiment of the present invention.

【図12】本発明の第7の実施例に係わる、半田ボール
で充填されたエッジ・ハーフビアスを備えた半導体装置
を示す斜視図である。
FIG. 12 is a perspective view showing a semiconductor device having edge half vias filled with solder balls according to a seventh embodiment of the present invention.

【図13】図11の半導体装置をリフローされた半田ボ
ール接合によってPC基板上に縦方向に実装した状態を
示す正面図である。
13 is a front view showing a state in which the semiconductor device of FIG. 11 is vertically mounted on a PC board by reflow solder ball bonding.

【符号の説明】 10 マルチチップ半導体装置 12 基板 14 導電性トレースの第1のパターン 16 導電性トレースの第2のパターン 18 導電性スルーホール 20 半導体ダイ 22 ワイヤボンド 24 第1のパッケージ本体 25 半田ダンプ 26 アンダフィリング 27 付加的な半導体ダイ 28 第2のパッケージ本体 30 傾斜した側壁 32 半田ボール 36 エッジリード 38 基板 40 導電性トレース[Explanation of symbols] 10 Multi-chip semiconductor device 12 substrates 14 First pattern of conductive traces 16 Second pattern of conductive traces 18 Conductive through hole 20 semiconductor die 22 wire bond 24 First package body 25 Solder dump 26 Underfilling 27 Additional semiconductor die 28 Second package body 30 sloping sidewalls 32 solder balls 36 Edge Lead 38 substrates 40 Conductive trace

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI H01L 25/18 (72)発明者 マイケル・ビー・マックシェーン アメリカ合衆国テキサス州78750、オー スチン、スプリット・レイル・コーブ 12407 (56)参考文献 特開 昭57−79652(JP,A) 特開 平1−302757(JP,A) 特開 昭59−161898(JP,A) 実開 昭57−57547(JP,U) 実開 平1−118459(JP,U) 実開 平4−74458(JP,U) 実開 平1−97560(JP,U) 実開 昭62−87479(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 25/04 H01L 25/065 H01L 25/07 H01L 25/18 H05K 1/14 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued Front Page (51) Int.Cl. 7 Identifier FI H01L 25/18 (72) Inventor Michael B. McShane Texas, USA 78750, Split Rail Cove 12407 (56) References JP-A-57-79652 (JP, A) JP-A-1-302757 (JP, A) JP-A-59-161898 (JP, A) Actually open 57-57547 (JP, U) Actually open 1 -118459 (JP, U) Actually open 4-74458 (JP, U) Actually open 1-97560 (JP, U) Actually open 62-87479 (JP, U) (58) Fields investigated (Int.Cl . 7, DB name) H01L 25/04 H01L 25/065 H01L 25/07 H01L 25/18 H05K 1/14

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 オーバモールド形半導体装置(52)で
あって、 基板(12)であって、該基板の第1の面上に第1のパ
ターンの導電性トレース(14)を有しかつ該基板の第
2の面上に第2のパターンの導電性トレース(16)を
有し、該基板はまた外周を有するもの、 前記基板の前記第1の面上の第1のパターンの導電性ト
レースに電気的に接続されかつ実装された第1の電子部
品(20)、 前記基板の第2の面上の前記第2のパターンの導電性ト
レースに電気的に接続されかつ実装された第2の電子部
品(50)、 前記第1の電子部品及び前記基板の第1の面上の第1の
パターンの導電性トレースの第1の部分をオーバモール
ドし、前記第1のパターンの導電性トレースの第2の部
分を露出した状態に残す第1のパッケージ本体(2
4)、 前記基板の第2の面上の複数の半田ボール(32)、そ
して前記基板の外周に外部的に接続された複数のエッジ
リード(36)であって、前記複数の半田ボール及び前
記複数のエッジリードの双方は前記装置への外部電気接
続を提供するもの、 を具備することを特徴とするオーバモールド形半導体装
置(52)。
1. An overmolded semiconductor device (52) comprising: a substrate (12) having a first pattern of conductive traces (14) on a first side of the substrate; A second pattern of conductive traces (16) on a second side of the substrate, the substrate also having a perimeter; a first pattern of conductive traces on the first side of the substrate A first electronic component (20) electrically connected to and mounted on a second electronic component electrically connected to and mounted on a conductive trace of the second pattern on the second side of the substrate. An electronic component (50), the first electronic component and a first portion of a first pattern of conductive traces on a first surface of the substrate are overmolded to form a conductive trace of the first pattern. The first package body (2 that leaves the second portion exposed)
4) a plurality of solder balls (32) on the second surface of the substrate and a plurality of edge leads (36) externally connected to the outer periphery of the substrate, An overmolded semiconductor device (52), wherein both of the plurality of edge leads provide external electrical connection to the device.
【請求項2】 オーバモールド形半導体装置(10)で
あって、 基板(12)であって、該基板の第1の面上に第1のパ
ターンの導電性トレース(14)を有しかつ該基板の第
2の面上に第2のパターンの導電性トレース(16)を
有し、該基板はまた外周を有するもの、 前記基板の第1の面上において前記第1のパターンの導
電性トレースに電気的に接続されかつ実装された第1の
半導体ダイ(20)、 前記基板の第2の面上において前記第2のパターンの導
電性トレースに電気的に接続されかつ実装された第2の
半導体ダイ(27)、 前記第1の半導体ダイ及び前記基板の第1の面上の前記
第1のパターンの導電性トレースの第1の部分をオーバ
モールドし、該第1のパターンの導電性トレースの第2
の部分を露出した状態に残す第1のパッケージ本体(2
4)、 前記第2の半導体ダイ及び前記基板の第2の面上の前記
第2のパターンの導電性トレースの第1の部分をオーバ
モールドし、前記第2のパターンの導電性トレースの第
2の部分を露出した状態に残す第2のパッケージ本体
(28)、 前記基板の第2の面上の第2のパターンの導電性トレー
スの前記露出された第2の部分上の複数の半田ボール
(32)、そして前記基板の外周に外部的に接続された
複数のエッジリード(36)であって、前記複数の半田
ボール及び前記複数のエッジリードの双方は前記装置に
対し外部的電気接続を提供するもの、 を具備することを特徴とするオーバモールド形半導体装
置(10)。
2. An overmolded semiconductor device (10) comprising: a substrate (12) having a first pattern of conductive traces (14) on a first side of the substrate; Having a second pattern of conductive traces (16) on a second side of the substrate, the substrate also having a perimeter; conductive traces of the first pattern on the first side of the substrate A first semiconductor die (20) electrically connected to and mounted to a second semiconductor die electrically connected to and mounted to the conductive traces of the second pattern on the second side of the substrate. A semiconductor die (27), the first semiconductor die and a first portion of the first pattern of conductive traces on a first side of the substrate, overmolded to form the first pattern of conductive traces; Second
The first package body (2
4), overmolding a first portion of the second pattern of conductive traces on the second surface of the second semiconductor die and the substrate to form a second portion of the second pattern of conductive traces. A second package body (28) leaving a portion of the substrate exposed, a plurality of solder balls on the exposed second portion of a second pattern of conductive traces on the second surface of the substrate ( 32), and a plurality of edge leads (36) externally connected to the outer periphery of the substrate, both of the solder balls and the edge leads providing an external electrical connection to the device. What is provided is an overmolded semiconductor device (10).
【請求項3】 オーバモールド形半導体装置(52)で
あって、 基板(12)であって、該基板の第1の面上に第1のパ
ターンの導電性トレース(14)を有しかつ該基板の第
2の面上に第2のパターンの導電性トレース(16)を
有し、該基板はまた外周を有するもの、 前記基板の第1の面上において前記第1のパターンの導
電性トレースに電気的に接続されかつ実装された半導体
ダイ(20)、 前記基板の第2の面上において前記第2のパターンの導
電性トレースに電気的に接続されかつ実装された受動電
子部品(50)、 第1の半導体ダイ及び前記基板の第1の面上の第1のパ
ターンの導電性トレースの第1の部分をオーバモールド
し、前記第1のパターンの導電性トレースの第2の部分
を露出した状態に残す第1のパッケージ本体(24)、 前記基板の第2の面上の複数の半田ボール(32)、そ
して前記基板の外周に外部的に接続された複数のエッジ
リード(36)であって、前記複数の半田ボール及び前
記複数のエッジリードの双方は前記装置に対する外部的
電気接続を提供するもの、 を具備することを特徴とするオーバモールド形半導体装
置(52)。
3. An overmolded semiconductor device (52) comprising: a substrate (12) having a first pattern of conductive traces (14) on a first side of the substrate and Having a second pattern of conductive traces (16) on a second side of the substrate, the substrate also having a perimeter; conductive traces of the first pattern on the first side of the substrate A semiconductor die (20) electrically connected to and mounted to the passive die (50) electrically connected to and mounted to the conductive traces of the second pattern on the second side of the substrate. Overmolding a first portion of the first pattern of conductive traces on the first semiconductor die and the first surface of the substrate to expose a second portion of the first pattern of conductive traces. The first package body to leave 24), a plurality of solder balls (32) on the second surface of the substrate, and a plurality of edge leads (36) externally connected to the outer periphery of the substrate, the solder balls and the solder balls An overmolded semiconductor device (52), characterized in that both of the plurality of edge leads provide external electrical connection to the device.
【請求項4】 オーバモールド形半導体装置(10)を
製造する方法であって、 基板(12)であって該基板は該基板の第1の面上に第
1のパターンの導電性トレース(14)を有しかつ該基
板の第2の面上に第2のパターンの導電性トレース(1
6)を有し、該基板はまた外周を有するもの、を提供す
る段階、 前記基板の第1の面上においてダイ面を有する第1の半
導体ダイ(20)を実装しかつ導電性トレースの第1の
パターンに電気的に結合する段階、 前記第1の半導体ダイ及び前記基板の第1の面上の第1
のパターンの導電性トレースの第1の部分をオーバモー
ルドして第1のパッケージ本体(24)を形成し、前記
第1のパターンの導電性トレースの第2の部分を露出し
た状態に残す段階、 前記基板上の第1の半導体ダイを試験する段階、 前記基板の第2の面上において第2の半導体ダイ(2
7)を実装しかつ第2のパターンの導電性トレースに電
気的に接続する段階、 前記第2の半導体ダイ及び前記基板の第2の面上の第2
のパターンの導電性トレースの第1の部分をオーバモー
ルドして第2のパッケージ本体(28)を形成し、第2
のパターンの導電性トレースの第2の部分を露出した状
態に残す段階、 前記基板の第2の面上の第2のパターンの導電性トレー
スの前記第2の部分の上に複数の半田ボール(32)を
取り付ける段階、そして前記基板の外周に複数のエッジ
リード(36)を半田付けする段階であって、前記複数
の半田ボール及び前記複数のエッジリードの双方は装置
に対する外部的電気接続を提供するもの、 を具備することを特徴とするオーバモールド形半導体装
置(10)を製造する方法。
4. A method of manufacturing an overmolded semiconductor device (10), comprising: a substrate (12), the substrate having a first pattern of conductive traces (14) on a first side of the substrate. ) And on the second side of the substrate a second pattern of conductive traces (1
6), the substrate also having a perimeter, wherein a first semiconductor die (20) having a die surface on a first side of the substrate is mounted and a conductive trace first Electrically coupling to a first pattern, a first semiconductor die and a first surface of the first surface of the substrate.
Overmolding a first portion of the conductive traces of the pattern to form a first package body (24), leaving a second portion of the conductive traces of the first pattern exposed. Testing a first semiconductor die on the substrate, a second semiconductor die (2) on the second side of the substrate.
7) and electrically connecting to the conductive traces of the second pattern, the second semiconductor die and the second on the second side of the substrate.
Overmolding a first portion of the conductive traces of the pattern to form a second package body (28);
Leaving the second portion of the conductive traces of the pattern exposed, a plurality of solder balls () on the second portion of the conductive traces of the second pattern on the second surface of the substrate ( 32) mounting and soldering a plurality of edge leads (36) to the outer periphery of the substrate, both solder balls and the edge leads providing an external electrical connection to the device. A method of manufacturing an overmolded semiconductor device (10), comprising:
【請求項5】 オーバモールド形半導体装置(52)を
製造する方法であって、 基板(12)であって該基板は該基板の第1の面上に第
1のパターンの導電性トレース(14)を有しかつ該基
板の第2の面上に第2のパターンの導電性トレース(1
6)を有し、該基板はまた外周を有するもの、を準備す
る段階、 前記基板の第1の面上において半導体ダイ(20)を実
装しかつ第1のパターンの導電性トレースに電気的に結
合する段階、 前記半導体ダイ及び前記基板の第1の面上の第1のパタ
ーンの導電性トレースの第1の部分をオーバモールドし
て第1のパッケージ本体(24)を形成し、前記第1の
パターンの導電性トレースの第2の部分を露出した状態
に残す段階、 前記基板上の第1の半導体ダイを試験する段階、 前記基板の第2の面上において受動電子部品(50)を
実装しかつ第2のパターンの導電性トレースに電気的に
結合する段階、 前記基板の第2の面上の第2のパターンの導電性トレー
スに複数の半田ボール(32)を取り付ける段階、そし
て前記基板の外周に複数のエッジリード(36)を半田
付けする段階であって、前記複数の半田ボール及び前記
複数のエッジリードの双方は前記装置に対し外部的電気
接続を提供するもの、 を具備することを特徴とするオーバモールド形半導体装
置(52)を製造する方法。
5. A method of manufacturing an overmolded semiconductor device (52), comprising: a substrate (12), the substrate having a first pattern of conductive traces (14) on a first side of the substrate. ) And on the second side of the substrate a second pattern of conductive traces (1
6) having a substrate also having a perimeter, mounting a semiconductor die (20) on a first side of the substrate and electrically connecting to conductive traces of a first pattern. Bonding, overmolding a first portion of a conductive trace of a first pattern on a first side of the semiconductor die and the substrate to form a first package body (24); Leaving a second portion of the conductive traces of the pattern exposed, testing a first semiconductor die on the substrate, mounting a passive electronic component (50) on a second side of the substrate And electrically coupling to the second pattern conductive traces, attaching a plurality of solder balls (32) to the second pattern conductive traces on the second side of the substrate, and the substrate Multiple around the Soldering an edge lead (36), wherein both the plurality of solder balls and the plurality of edge leads provide an external electrical connection to the device. A method of manufacturing a mold type semiconductor device (52).
JP18724093A 1992-07-02 1993-06-30 Overmold type semiconductor device and method of manufacturing the same Expired - Lifetime JP3366062B2 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US907,970 1992-07-02
US07/907,970 US5239198A (en) 1989-09-06 1992-07-02 Overmolded semiconductor device having solder ball and edge lead connective structure

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0677398A JPH0677398A (en) 1994-03-18
JP3366062B2 true JP3366062B2 (en) 2003-01-14

Family

ID=25424943

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18724093A Expired - Lifetime JP3366062B2 (en) 1992-07-02 1993-06-30 Overmold type semiconductor device and method of manufacturing the same

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3366062B2 (en)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6251695B1 (en) * 1999-09-01 2001-06-26 S3 Graphics Co., Ltd. Multichip module packaging process for known good die burn-in
KR101204224B1 (en) 2005-03-17 2012-11-26 파나소닉 주식회사 Module board
JP4913134B2 (en) * 2005-06-24 2012-04-11 台灣積體電路製造股▲ふん▼有限公司 Warpage preventing substrate and manufacturing method thereof
US8796836B2 (en) * 2005-08-25 2014-08-05 Micron Technology, Inc. Land grid array semiconductor device packages
US7494920B2 (en) * 2005-10-14 2009-02-24 Honeywell International Inc. Method of fabricating a vertically mountable IC package
KR100851072B1 (en) * 2007-03-02 2008-08-12 삼성전기주식회사 Electronic package and manufacturing method thereof
JP5352639B2 (en) * 2011-08-05 2013-11-27 ラピスセミコンダクタ株式会社 Manufacturing method of semiconductor device
JP5271402B2 (en) * 2011-10-31 2013-08-21 ラピスセミコンダクタ株式会社 Manufacturing method of semiconductor device
KR101993374B1 (en) * 2012-10-16 2019-06-26 삼성전자주식회사 Connecting device for electronic components of portable terminal
JP6349089B2 (en) * 2014-01-14 2018-06-27 株式会社フジクラ Semiconductor device and imaging module

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0677398A (en) 1994-03-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5239198A (en) Overmolded semiconductor device having solder ball and edge lead connective structure
US7400032B2 (en) Module assembly for stacked BGA packages
US6878570B2 (en) Thin stacked package and manufacturing method thereof
US5925934A (en) Low cost and highly reliable chip-sized package
US6537856B2 (en) Method of attaching a semiconductor chip to a leadframe with a footprint of about the same size as the chip and packages formed thereby
US7361533B1 (en) Stacked embedded leadframe
JPH0621326A (en) Multiple package module on pc board and its formation method
JP4919103B2 (en) Land grid array semiconductor device package, assembly including the package, and manufacturing method
US6245598B1 (en) Method for wire bonding a chip to a substrate with recessed bond pads and devices formed
US6448110B1 (en) Method for fabricating a dual-chip package and package formed
JP2895022B2 (en) Manufacturing method of chip scale package
JP3366062B2 (en) Overmold type semiconductor device and method of manufacturing the same
US6495400B1 (en) Method of forming low profile semiconductor package
JP4038021B2 (en) Manufacturing method of semiconductor device
US7100814B2 (en) Method for preparing integrated circuit modules for attachment to printed circuit substrates
KR950014120B1 (en) T manufacturing method of semiconductor package
JPH0870082A (en) Semiconductor integrated circuit device and its manufacture, and lead frame
US6645794B2 (en) Method of manufacturing a semiconductor device by monolithically forming a sealing resin for sealing a chip and a reinforcing frame by transfer molding
US20030214019A1 (en) Packaging system for semiconductor devices
KR100195507B1 (en) Slim type semiconductor chip package device
US20020043702A1 (en) Semiconductor package comprising substrate with mounting leads and manufacturing method therefor
JPH07176681A (en) Semiconductor circuit package
JPH06224323A (en) Semiconductor device and manufacture thereof
KR19980025869A (en) Ball Grid Array Package with Lead Frame

Legal Events

Date Code Title Description
S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081101

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081101

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091101

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091101

Year of fee payment: 7

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D03

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101101

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111101

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121101

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131101

Year of fee payment: 11

EXPY Cancellation because of completion of term