JP3365840B2 - 蒸着膜の検査方法および装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、透光性プラスチックフ
ィルムに対して真空蒸着された蒸着膜の厚みを真空中で
検査する蒸着膜の検査方法および装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば電解コンデンサの陽極金属とし
て、真空蒸着によりプラスチックフィルムにタンタルを
蒸着したものがある。このものでは、タンタル層、言い
換えれば蒸着膜の厚みによって電気抵抗値（したがっ
て、電解コンデンサの性能）が異なるので、その蒸着膜
を所定の厚みに製造することが望まれている。

【０００３】しかし、蒸着は、真空中で材料を加熱溶融
して蒸発させ、この蒸気中に走行するプラスチックを爆
気させることにより行われるので、その蒸着膜の厚みを
検査する適当な方法および装置は従来提供されていなか
った。

【０００４】なお、一部には真空蒸着釜にテレビカメラ
を組込んで、このカメラでプラスチックフィルムの蒸着
膜が付けられた蒸着済み部分を撮像して、それをモニタ
ーテレビ上に表示して蒸着膜を監視する工夫が採用され
たことがある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、テレビカメラ
で撮像するものでも、肉眼で真空蒸着釜内を覗き窓から
前記蒸着済み部分を監視することと等しく、蒸着膜の厚
み情報を得ることはできなかった。また、材料の蒸発量
とプラスチックフィルムの走行速度との兼ね合いで蒸着
膜の厚みが変動するが、真空蒸着中において前記蒸着済
み部分を取出すことが不可能であることに伴い、サンプ
リングをして蒸着膜の厚みを計測することは従来不可能
であった。

【０００６】そのため、現状においては経験に基づいて
材料の加熱温度、およびプラスチックフィルムの走行速
度などを定めて真空蒸着作業を行ない、この後、真空を
解除して蒸着された製品を真空蒸着釜から取出してか
ら、その厚み検査を行い、そして、規格値に合格するも
のだけを合格品として選択し、その他の不合格品は廃棄
処分をしている。

【０００７】したがって、以上のような経験に基づく製
造管理では、必ずしも所定厚みの蒸着膜を製造できると
は限らず、そして、厚み情報を得ることができないこと
に起因して、製造中における製造条件を変更する基準が
ないから、従来においては歩留まりが極めて悪いもので
あった。本発明の目的は、真空蒸着作業中に蒸着膜の厚
み評価をリアルタイムでできる蒸着膜の検査方法および
装置を得ることにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明の請求項１に係る蒸着膜の検査方法は、真空
蒸着釜内を走行する透光性プラスチックフィルムのスト
ライプ状をなして蒸着膜が付けられた蒸着済み部分につ
いて検査位置に配置された光源および前記フィルムの幅
方向に走査される一次元ＣＣＤイメージセンサを有した
検査カメラ間を通る前記蒸着済み部分を透過した前記光
源からの透過光を前記検査カメラで受光して、前記蒸着
膜が付いた膜部分のみを通った透過光についての受光量
に応じた電圧レベルの膜部データを平均化処理して電圧
レベルの膜部検査データを求めた後、前記膜部分の透過
光量に応じた電圧レベルと、蒸着されたプラスチックフ
ィルムを所定の大きさに切断して、その切断フィルムの
蒸着膜の厚みに応じて予め実験して求めた各種厚みの蒸
着膜の電気抵抗値とを換算する判定テーブルを用いて、
前記膜部検査データの電圧レベルに対応する前記膜部分
の電気抵抗値を求めて、この抵抗値により前記蒸着膜の
厚みを評価することを特徴とするものである。

【０００９】また、前記膜部検査データの正確性を高め
て蒸着膜の厚み評価に高い信頼性を得るために、本発明
の請求項２は、請求項１に係る蒸着膜の検査方法におい
て、透光性プラスチックフィルムにストライプ状をなし
て付けられた蒸着膜を有する前記プラスチックの蒸着済
み部分についての前記膜部検査データを求めるのに、前
記光源と前記検査カメラとの間を通る前記蒸着済み部分
を透過した前記光源からの透過光を前記検査カメラで受
光し、その受光量に応じた電圧レベルの電気信号をこれ
にしきい値を与えて前記蒸着膜が付けられた膜部分に相
当する信号成分とそれ以外の隣接フィルム部分に相当す
る信号成分とに分離し、これら信号成分の境界を前記膜
部分側に移動させてマスク領域を拡大するとともにこの
拡大されたマスク領域及び互いに隣接した前記拡大され
たマスク領域間に位置する前記隣接フィルム部分に渡る
拡大マスクを付けて遮蔽し、前記膜部分の信号成分のみ
を抽出して、電圧レベルの膜部データを求めた後に、更
に前記検査カメラの一次元ＣＣＤイメージセンサが１走
査されるごとに前記膜部分の信号成分のみを抽出して得
られる新たな膜部データと、この新たな膜部データの前
に既に前記膜部分の信号成分のみを抽出して得た過去の
膜部データとの比較に基づき、前記しきい値を逐次自動
更新しながら、前記抽出された膜部分についての受光量
に応じた電圧レベルの膜部検査データを求めることを特
徴とするものである。

【００１０】また、前記目的を達成するために、本発明
の請求項３に係る蒸着膜の検査方法は、真空蒸着釜内を
走行する透光性プラスチックフィルムにストライプ状を
なして付けられた蒸着膜を有する前記プラスチックの蒸
着済み部分についての検査位置に配置された光源と前記
フィルムの幅方向に走査される一次元ＣＣＤイメージセ
ンサを有した検査カメラとの間を通る前記蒸着済み部分
を透過した前記光源からの透過光を前記検査カメラで受
光し、その受光量に応じた電圧レベルの電気信号を、こ
れにしきい値を与えて前記蒸着膜が付けられた膜部分に
相当する信号成分とそれ以外の隣接フィルム部分に相当
する信号成分とに分離し、これら信号成分の境界を前記
膜部分側に移動させてマスク領域を拡大するとともにこ
の拡大されたマスク領域及び互いに隣接した前記拡大さ
れたマスク領域間に位置する前記隣接フィルム部分とに
渡る拡大マスクを付けて遮蔽し、前記膜部分の信号成分
のみを抽出して、電圧レベルの膜部データを求めた後、
更に前記蒸着膜が付いた膜部分のみを通った透過光につ
いての受光量に応じた電圧レベルの膜部データを平均化
処理して電圧レベルの膜部検査データを求め、予め定め
られた適正厚みの蒸着膜が付いた基準膜部分の透過光量
についての電圧レベルの膜厚基準データと前記膜部検査
データとを比較して、前記蒸着膜の厚みを評価する蒸着
膜の検査方法であって、前記検査カメラの一次元ＣＣＤ
イメージセンサが１走査されるごとに前記膜部分の信号
成分のみを抽出して得られる新たな膜部データと、この
新たな膜部データの前に既に前記膜部分の信号成分のみ
を抽出して得た過去の膜部データとの比較に基づき、前
記しきい値を逐次自動更新しながら、前記抽出された膜
部分についての受光量に応じた電圧レベルの前記膜部検
査データを求めることを特徴とするものである。

【００１１】また、材料を加熱溶融する材料加熱部と同
数の検査カメラを並設して用いる場合にあって、各材料
加熱部に対応して形成されるストライプ状の蒸着膜の製
造条件の差異を知るために、前記膜部データに基づく膜
部検査データをストライプ状をなした蒸着膜の各条ごと
に夫々求めるとよい。

【００１２】また、前記目的を達成するために、本発明
の請求項５に係る蒸着膜の検査装置は、真空蒸着釜内を
走行する透光性プラスチックフィルムにストライプ状を
なして蒸着膜が付けられた蒸着済み部分が通る検査位置
に配置された光源と、前記フィルムの幅方向に走査され
る一次元ＣＣＤイメージセンサを有して前記検査位置に
前記光源と対向して配置された検査カメラと、前記光源
と前記検査カメラとの間を通る前記蒸着済み部分につい
ての前記光源からの透過光に応じた電圧レベルで前記セ
ンサから出力された電気信号を、これにしきい値を与え
て前記蒸着膜が付けられた膜部分に相当する信号成分と
それ以外の隣接フィルム部分に相当する信号成分とに分
離し、これら信号成分の境界を前記膜部分側に移動させ
てマスク領域を拡大するとともにこの拡大されたマスク
領域及び互いに隣接した前記拡大されたマスク領域間に
位置する前記隣接フィルム部分とに渡る拡大マスクを付
けて遮蔽し、前記膜部分の信号成分のみを抽出するマス
キング部と、適正厚みの蒸着膜が付いた基準膜部分の透
過光量に応じて予め定められた電圧レベルの膜厚基準デ
ータが記録されるメモリと、前記マスキング部で抽出さ
れた前記膜部分のみを通った透過光についての受光量に
応じた電圧レベルの膜部データを平均化処理して電圧レ
ベルの膜部検査データを求める膜部データ演算部と、前
記膜部検査データと前記膜厚基準データとを比較して前
記蒸着膜の厚みを評価する比較部とを具備したものであ
る。

【００１３】

【作用】請求項１に係る蒸着膜の検査方法において、検
査位置に設置された検査カメラの一次元ＣＣＤイメージ
センサは、前記検査カメラと光源との間を通る透光性プ
ラスチックフィルムの蒸着済み部分におけるストライプ
状の蒸着膜が付いた膜部分のみについての前記光源から
の透過光を受光して、その受光量に応じた電圧レベルの
膜部データを出力する。それに基づき各蒸着膜について
の膜部データを平均化処理して膜部検査データを求め
る。そして、この後、予め実験して求められ、かつ、蒸
着膜が付いた膜部分の透過光量に応じた電圧レベルと各
種厚みの蒸着膜の電気抵抗値とを換算する判定テーブル
を用いて、前記膜部検査データをその電圧レベルに対応
する電気抵抗値に換算し、それにより前記蒸着膜の厚み
を評価する。したがって、この方法によるときは、検査
カメラでの撮像によりプラスチックフィルムの全幅に渡
る検査データを得ることに伴って、蒸着膜が付いた膜部
分のみの厚みに応じた電圧レベルの膜部データを平均化
処理して得た膜部検査データから判定テーブルを用いて
換算される電気抵抗値として、真空蒸着作業中にリアル
タイムで蒸着膜の厚みを評価できる。

【００１４】

【００１５】請求項２に係る蒸着膜の検査方法では、ま
ず、光源と前記検査カメラとの間を通る前記蒸着済み部
分についての前記光源からの透過光を前記検査カメラで
受光し、その受光量に応じた電圧レベルの電気信号を、
これにしきい値を与えて前記蒸着膜が付けられた膜部分
に相当する信号成分とそれ以外の隣接フィルム部分に相
当する信号成分とに分離する。次ぎに、前記両信号成分
の境界を前記膜部分側に移動させてマスク領域を拡大す
るとともにこの拡大されたマスク領域及び互いに隣接し
て前記拡大されたマスク領域間に位置する隣接フィルム
部分とに渡る拡大マスクを付けて遮蔽し、前記膜部分の
信号成分のみを抽出して、電圧レベルの膜部データを求
める。この場合、前記膜部分の信号成分のみについて既
に抽出した膜部データと、検査カメラの一次元イメージ
センサの１走査ごとに前記膜部分の信号成分のみを抽出
して得られる新たな膜部データとの比較に基づき、前記
１走査ごとに前記しきい値を逐次自動更新しながら、前
記抽出された膜部分を通った透過光のみについての膜部
データを求める。したがって、この検査方法によるとき
は、隣接フィルム部分に相当する電気信号に発生するブ
ルーミングの影響を前記拡大マスクにより防止して、こ
のブルーミングを含まない膜部分のみについての膜部デ
ータを得て蒸着膜の厚みを評価するので、評価誤差を少
なくできる。そして、前記拡大マスクを付すための基準
をなすしきい値を前記イメージセンサの１走査ごとに逐
次自動更新させる学習方式を採用したから、プラスチッ
クフィルムに蛇行を生じても、それに応じて拡大マスク
も動かされて蛇行の影響を防止するので、蒸着膜の厚み
評価についての誤差を少なくできる。

【００１６】請求項３に係る蒸着膜の検査方法におい
て、検査位置に設置された検査カメラの一次元ＣＣＤイ
メージセンサは、前記検査カメラと光源との間を通る透
光性プラスチックフィルムの蒸着済み部分におけるスト
ライプ状の蒸着膜が付いた膜部分のみについての前記光
源からの透過光を受光して、その受光量に応じた電圧レ
ベルの膜部データを出力する。それに基づき各蒸着幕に
ついての膜部データからこれを平均化処理した電圧レベ
ルの膜部検査データを求める。そして、この後、前記膜
部検査データを、適正厚みの蒸着膜が付いた基準膜部分
の透過光量について予め定められた電圧レベルの膜厚基
準データと比較し、それにより、蒸着膜の厚みを評価す
る。したがって、この方法によるときは、検査カメラで
の撮像によりプラスチックフィルムの全幅に渡る検査デ
ータを得るだけではなく、そのデータが透過光を受光し
て得ることに基づき蒸着膜が付いた膜部分のみの厚みに
対応するものであるから、それと膜厚基準データとの比
較により、真空蒸着作業中にリアルタイムで蒸着膜の厚
みを評価できる。しかも、この評価においては、膜部検
査データを請求項２の発明のように拡大マスクを付し
て、蒸着膜が付された膜部分の信号成分のみを抽出して
求めるので、隣接フィルム部分に相当する電気信号に発
生するブルーミングを含まない膜部分のみについての蒸
着膜の厚みを評価して、評価誤差を少なくできるととも
に、前記拡大マスクを付すための基準をなすしきい値を
イメージセンサの１走査ごとに逐次自動更新させたか
ら、プラスチックフィルムの蛇行に応じて拡大マスクも
動かされ蛇行の影響を防止するので、蒸着膜の厚み評価
についての誤差を少なくできる。

【００１７】

【００１８】

【００１９】請求項４に係る蒸着膜の検査方法は、材料
を加熱溶融する複数の材料加熱部と同数の検査カメラを
並設して用いる場合にあって実施される。この実施にお
いて、前記膜部検査データをストライプ状をなした蒸着
膜の各条ごとに夫々求めて、真空蒸着作業中にリアルタ
イムで蒸着膜の厚みを評価できることに基づき、各材料
加熱部に対応して形成される蒸着膜ごとの厚みの差異、
つまり、プラスチックフィルムの幅方向に間隔的に蒸着
された膜部分相互間の厚みむらを知ることができる。請
求項５に係る蒸着膜の検査装置は、しきい値を自動的に
学習方式で変更する点を除いて前記請求項３の検査方法
を実施する。したがって、検査カメラでの撮像によりプ
ラスチックフィルムの全幅に渡る検査データを得るだけ
ではなく、そのデータが透過光を受光して得ることに基
づき蒸着膜が付いた膜部分のみの厚みに対応するもので
あるから、それと膜厚基準データとの比較により、真空
蒸着作業中にリアルタイムで蒸着膜の厚みを評価でき
る。しかも、この評価においては、膜部検査データに拡
大マスクを付して、蒸着膜が付された膜部分の信号成分
のみを抽出して求めるので、隣接フィルム部分に相当す
る電気信号に発生するブルーミングを含まない膜部分の
みについての蒸着膜の厚みを評価して、評価誤差を少な
くできる。

【００２０】

【実施例】以下、図１〜図７を参照して本発明の一実施
例を説明する。図１は電解コンデンサの陽極金属をなす
タンタルを透光性プラスチックフィルムにストライプ状
に真空蒸着する真空蒸着装置の構成を示す断面図であっ
て、同図中１は真空蒸着釜である。この釜１は、円筒状
をなし、その外面に排気口２および多数の覗き窓３が設
けられた釜シリンダ１ａの一端に固定端板１ｂを設ける
とともに他端に閉鎖端板（図示しない）を設けてなる。

【００２１】釜シリンダ１ａと前記閉鎖端板とは一体的
に連結されていて、固定端板１ｂに対して釜シリンダ１
ａは接離可能に設けられていて、それにより、真空蒸着
釜１内への出し入れ等を可能としている。図１中４は釜
シリンダ１ａの軸方向に延びて固定端板１ｂに片持ち支
持された金属製のレールで、これに転接する図示しない
車輪を介して釜シリンダ１ａがその軸方向に移動される
ようになっている。

【００２２】また、図１中５は金属製の冷却ローラ、６
はテープ案内ローラ、７はマスクテープ、８は上面が開
口されたるつぼ８ａを有した材料加熱部、９はハの字形
に配置される冷却板９ａを備えた爆気フレーム、１０は
透光性プラスチックフィルム１１が巻かれたフィルム繰
出しローラ、１２は巻取りローラ、１３ａ〜１３ｃはフ
ィルムガイドローラ、１４は巻取りローラ１２へのフィ
ルム巻取量に応じて回動される回動板、１５は回動板１
４を回動させる駆動歯車である。なお、これらはいずれ
も固定端板１ｂに支持されている。

【００２３】プラスチックフィルム１１は、フィルム繰
出しローラ１０から繰出されるとともに、このローラ１
０側のフィルムガイドローラ１３ａを経由して冷却ロー
ラ５の下部に巻付けられた後、巻取りローラ１２側のフ
ィルムガイドローラ１３ｂ、１３ｃを経由して巻取りロ
ーラ１２に巻き取られる。プラスチックフィルム１１の
移動速度と冷却ローラ５の周速度とは等しい。また、フ
ィルムガイドローラ１３ｃは回動板１４に支持されてい
て、この板１４によって巻取りローラ１２に対して接離
されるように移動される。

【００２４】前記材料加熱部８は冷却ローラ５の真下に
配置されているとともに、爆気フレーム９は、冷却ロー
ラ５の下部の材料加熱部８に対する露出面積、言い換え
れば、爆気領域を決定して配置されている。また、材料
加熱部８は釜シリンダ１ａの軸方向に複数所定間隔で並
設（なお、図１では一つのみ図示する。）されていると
ともに、夫々のるつぼ８ａに対する電気ヒータ等の加熱
手段は夫々別々に制御されるようになっている。

【００２５】テープ案内ローラ６は爆気フレーム９の外
側を囲んで設けられ、これらのローラ６に渡って巻き掛
けられた複数本のマスクテープ７は、釜シリンダ１ａの
軸方向に一定間隔ごとに配設されているとともに、前記
冷却ローラ５の下部に巻き掛けられた前記プラスチック
フィルム１１に重なって、言い換えれば、前記爆気領域
を経由して無端走行される。これらマスクテープ７はプ
ラスチックフィルム１１と同速度で走行される。

【００２６】したがって、この真空蒸着装置は、真空中
（１０^-5mmHg) で材料加熱部８において金属元素である
タンタルを溶融蒸発させることにより、その金属蒸気を
冷却ローラ５に巻かれたプラスチックフィルム１１に蒸
着させることができるが、その際にプラスチックフィル
ム１１の爆気領域にはマスクテープ７が位置しているの
で、これらテープ７で覆われたフィルム部分は爆気され
ることがない。

【００２７】そのため、プラスチックフィルム１１には
図５に示されるようにストライプ状の蒸着膜（なお、識
別を容易にする都合上、この蒸着膜部分は斜線を付して
示されている。）が付けられるものであり、この爆気部
分は以下膜部分Ａと称し、かつ、前記マスクテープ７で
覆われた部分に相当する非蒸着部分は以下隣接フィルム
部分Ｂと称するとともに、蒸着膜そのものは図４に符号
Ｃで示す。そして、これら各部分Ａ、Ｂはいずれもプラ
スチックフィルム１１の走行方向（図５中矢印Ｄで示
す）に延びて設けられるとともに、図５中Ｅは各材料加
熱部８がプラスチックフィルム１１の幅方向について蒸
着を担当領域幅を示している。

【００２８】図１に示されるように前記真空蒸着釜１内
の検査位置には光源２１と検査カメラ２２とが相対向し
て配置されている。検査位置は、プラスチックフィルム
１１の蒸着膜Ｃが付けられた蒸着済み部分が通る位置、
例えば前記フィルムガイドローラ１３ｂで案内される部
分に設定されていて、この検査位置において蒸着膜Ｃと
対向するように光源２１が設けられている。この光源２
１には蛍光灯が使用される。

【００２９】検査カメラ２２は、前記蒸着済み部分にお
ける蒸着膜Ｃが付けられた面とは反対の面に対向するよ
うにして、図示しない金属製のブラケットを介して前記
レール４に支持されている。このカメラ２２は前記複数
の材料加熱部８と同数用いられて、プラスチックフィル
ム１１の幅方向に一定間隔毎に並設されている。したが
って、各検査カメラ２２はプラスチックフィルム１１を
その幅方向に分割撮像し、その視野は前記担当領域幅Ｅ
に等しくなっている。

【００３０】各検査カメラ２２の構成は図２に示される
ように金属箱製のシャーシ２３内に並設されている。そ
して、各検査カメラ２２は、シャーシ２３内に固定され
た支持体２４にレンズユニット２５を取付けるととも
に、このユニット２５の投影位置にセンサ用印刷回路基
板２７に支持された一次元ＣＣＤイメージセンサ２８を
配置している。このセンサ２８は、前記基板２７と並行
に配置された駆動用印刷回路基板２９に実装されたＩ
Ｃ、パワートランジスタ、抵抗その他の電気部品３０
（図３参照）で駆動されて、前記プラスチックフィルム
１１の幅方向に走査されるようになっている。

【００３１】なお、シャーシ２３には検査カメラ２２へ
の入射光路を屈曲させる反射鏡２６が内蔵されている。
この反射鏡２６は各検査カメラ２２の共通部品であると
ともに、図２中３１は、支持体２４に固定されるととも
に前記両基板２７、２９を支持した基板ホルダー、３２
は光学窓、３３は印刷回路基板２９に接続された図示し
ない電線をシャーシ２３外に導き出すためのゴム製の通
線部である。

【００３２】また、図３に示されるように印刷回路基板
２９に実装された電気部品３０は、熱伝導性が良くかつ
耐熱性が高い材料例えばシリコンゴム３４内に埋められ
ており、このゴム３４の前記基板２９と並行な表面には
アルミ箔製の熱伝導体３５の一端部が接着されている。
この熱伝導体３５と電気部品３０との間にあるシリコン
ゴム３４の層の厚みｔは、電気部品３０から熱伝導体３
５への伝熱抵抗が極力小さくなるように薄くしてある。
そして、熱伝導体３５の他端部は熱容量が大きい前記シ
ャーシ２３に接着されている。なお、図３中３６は熱伝
導体３５の幅に略等しい長さの押さえ板、３７は固定ね
じ、３８は前記両基板２７、２９間を電気的につないだ
可撓性の印刷配線基板である。

【００３３】各検査カメラ２２が以上のように、電気部
品３０の発熱を熱伝導によりシャーシ２３、ひいては前
記ブラケットを介してレール４に逃がす構成を備えてい
るので、真空中で検査カメラ２２が動作されることに伴
い電気部品３０のうちトランジスタ等の発熱をする電気
部品等の温度が上がり過ぎることを防止できる。

【００３４】つまり、真空中では対流による周囲への放
熱は望めないので、熱を発生する電気部品は、自己の熱
を蓄積して高温（例えば周囲温度が３０℃の真空中では
90℃〜 100℃）となり、容易に許容温度を越えてしま
い、検査カメラ２２の特性を劣化させたり、故障を招く
に至る。しかし、既述のような熱伝導による放熱構造を
採用したことにより、前記と同一条件においても前記電
気部品の温度を50℃〜60℃と低く維持して、検査カメラ
２２を正常に動作させることができた。

【００３５】図４は前記検査カメラ２２から出力される
電気信号を処理する信号処理部の構成を示すブロック図
である。図４において符号４１は各検査カメラ２２を順
次選択して、選択された検査カメラ２２から出力される
電気信号を通すカメラセレクタで、これを介して各検査
カメラ２２の出力端は増幅器４２に接続されている。増
幅器４２にはその増幅率を任意に変更できるものが使用
されており、その出力端は例えば８ビットのＡ／Ｄ変換
器４３を介してラスタメモリ４４に接続されている。ラ
スタメモリ４４は前記各検査カメラ２２の一次元ＣＣＤ
イメージセンサ２８から読み出された１ラスタ分の撮像
信号を記憶する記憶容量を有している。なお、以上のカ
メラセレクタ４１、増幅器４２、Ａ／Ｄ変換器４３、お
よびラスタメモリ４４は、前記信号処理部から外して前
記検査カメラ２２側に設けてもよいとともに、これらは
後述の制御部５３により制御される。

【００３６】前記信号処理部は、メモリ読み込み部４
５、マスキング部４６、メモリ４７、膜部データ演算部
４８、比較部４９、抵抗値演算部５０、フィルム部デー
タ換算部５１、フィルム部厚み換算部５２、および制御
部５３を備えている。さらに、信号処理部は光量コント
ローラ５４も備えている。

【００３７】前記光源２１に制御出力を与える光量コン
トローラ５４は、前記センサ２８の受光感度等に応じて
光源２１が出射する光の量を調節する。さらに、このコ
ントローラ５４は、光源２１の近傍に配置された光量セ
ンサ５５の検出出力が入力される制御部５３により制御
されて、光量調節動作をするようになっている。

【００３８】この光量調節動作は、図７に示されるよう
に検査カメラ２２から出力される撮像信号の電圧レベル
が、大きくなる程ばらつき（図７中点線で示す）が大き
くなるので、それを吸収するために例えば蒸着膜Ｃの電
気抵抗値１Ωごとに実施される。この光量調節において
は、蒸着膜Ｃの電気抵抗値が小さい程光源２１の照度を
上げるとともに、蒸着膜Ｃの電気抵抗値が大きい程光源
２１の照度を下げるという調節を行う。それにより、撮
像信号の電圧レベルのばらつきを吸収して、測定精度の
ばらつきを向上させるものである。

【００３９】制御部５３により制御されるメモリ読み込
み部４５の入力端は前記ラスタメモリ４４に接続されて
おり、この読み込み部４５の読み込み動作によりラスタ
メモリ４４に蓄積された撮像信号が、メモリ読み込み部
４５の出力端に接続されたマスキング部４６に入力され
る。

【００４０】制御部５３により制御されるマスキング部
４６は前記膜部分Ａのみを抽出するためのマスキング処
理を行う。詳しくは、このマスキング部４６は、前記蒸
着済み部分についての透過光量に応じた電気信号を、そ
れにしきい値を与えて、蒸着膜Ｃが付けられた膜部分Ａ
に相当する信号成分とそれ以外の隣接フィルム部分Ｂに
相当する信号成分とに分離し（本発明では２値化とも称
する。）、これら信号成分の境界を膜部分Ａ側に移動さ
せてマスク領域を拡大して、この拡大されたマスク領域
及び互いに隣接する前記拡大されたマスク領域間に位置
する隣接フィルム部分Ｂとに渡る拡大マスクを付ける処
理を行い、それによって、隣接フィルム部分Ｂとその両
側に拡大されたマスク領域とを遮蔽し、膜部分Ａの幅方
向中間部（つまり、膜部分Ａの両側部分を除いた領域）
を透過する光量に応じた電気信号のみ、言い換えれば、
膜部分Ａの信号成分のみを抽出する構成である。

【００４１】さらにマスキング部４６は、その拡大マス
クを学習方式によって逐次自動更新する構成である。詳
しくは、マスキング部４６は、既に抽出した膜部分Ａに
ついてのデータおよび拡大マスクデータを記憶する記憶
部と、検査カメラ２２が現在撮像している現在の撮像信
号を２値化する現在信号２値化部と、この２値化部から
出力されるデータを遅延させるディレー部と、このディ
レー部を通ったデータと前記記憶部に記憶された前記イ
メージセンサ２８の前の走査に係る過去のデータとを比
較する比較部とを備えている。

【００４２】したがって、このマスキング部４６は、膜
部分Ａを既に抽出して記憶された過去のデータと、前記
イメージセンサ２８の１走査ごとに得られる新たなデー
タとの比較により、隣接フィルム部分Ｂに対応する信号
の立上がりおよび立下がりの位置、つまり、前記両信号
成分の境界の位置が変位するかどうかを検出し、変位が
検出された場合にそれに応じて前記拡大マスクデータを
付ける位置も同様に移動されるように前記各２値化部の
しきい値のレベルを変更し、それにより拡大マスクを自
動更新させることができる。

【００４３】制御部５３により制御される前記メモリ４
７には、裸光基準データ、フィルム部基準データ、膜厚
基準データ、および判定テーブルデータ等が記憶され
る。裸光基準データは、前記光源２１の光量変化につい
て初期化をするためのデータ、つまり、光源２１からの
出射光を検査カメラ２２が直接受けた際の受光量に応じ
た電圧レベルのデータである。フィルム部基準データ
は、使用するプラスチックフィルムの材質、厚さ、およ
び表面状態などの特性によるフィルム固有の光減衰量に
ついて初期化をするためのデータ、つまり、前記各種の
プラスチックフィルムのみについての光源２１からの透
過光を検査カメラ２２が受けた際の受光量に応じた電圧
レベルのデータである。これらは初期設定の際における
検査カメラ２２の出力に基づきメモリ４７に記憶され
る。膜厚基準データは、適正な厚みの蒸着膜Ｃが付され
た基準膜部分の透過光量に応じて予め定められた電圧レ
ベルのデータである。なお、各データには夫々許容値が
付される。

【００４４】また、判定テーブルデータは、蒸着膜Ｃの
厚みに応じた電気抵抗値と蒸着膜の透過光に応じた電圧
レベルとを換算する判定テーブルをなすデータであっ
て、実験によって求めたデータが採用される。この実験
は、真空蒸着装置で蒸着されたプラスチックフィルムを
電解コンデンサの陽極金属に使用する大きさに切断し
て、その陽極金属にテスタを当てて一つ一つの電気抵抗
値を測定するとともに、夫々の陽極金属を光透過法によ
り測定した検査カメラ２２から出力される撮像信号の電
圧レベルを測定して、その相関を求めたものである。

【００４５】その結果は例えば図７は示されており、こ
の図７から分かるように検査カメラ２２から出力される
撮像信号の電圧レベル（単位Ｖ）は、その値が大きくな
る程蒸着膜Ｃの電気抵抗（単位Ω）が大きくなってい
る。言い換えれば、蒸着膜Ｃの厚みが厚い程電圧レベル
が小さいとともに同厚みが薄い程電圧レベルが大きくな
る比例的関係にあることが明らかとなった。そして、こ
の図７に相当するデータを判定テーブルとしてはメモリ
４７に記憶したものである。

【００４６】前記マスキング部４６で抽出された膜部分
Ａについての膜部データは、マスキング部４６から出力
されて制御部５３で制御される前記膜部データ演算部４
８に入力される。また、マスキング部４６は、前記拡大
マスクが付される部分についてのデータ（したがって主
として隣接フィルム部分Ｂについてのデータ）を抽出す
るフィルム抽出部も備えている。この抽出部で抽出され
たフィルム部抽出データは、マスキング部４６から出力
されて制御部５３により制御される前記フィルム部デー
タ演算部５１に入力される。

【００４７】膜部データ演算部４８は、これに入力され
たストライプ状膜部分Ａの夫々についての膜部データを
加算し、平均化処理して、膜部分Ａについての平均の透
過光量データを算出するとともに、それに対応する電圧
レベルの膜部検査データを算出する構成であって、この
演算部４８の出力は制御部５３で制御される差動増幅器
等からなる比較部４９に入力される。比較部４９は、そ
れに入力される膜部検査データとメモリ４７から読み出
された膜厚基準データとを比較して、電圧レベルの差を
算出することにより蒸着膜Ｃの厚みの適否を評価する。

【００４８】比較部４９から出力されるレベル差のデー
タは制御部５３に入力され、この制御部５３により蒸着
膜の厚みデータとして図示しない表示器や記録装置に出
力される他、前記真空蒸着装置の運転制御情報として出
力されるようになっている。

【００４９】また、制御部５３により制御される抵抗値
換算部５０には、膜部データ演算部４８から出力される
前記膜部検査データがメモリ４７を通して入力される。
この換算部５０は、それに入力される前記膜部検査デー
タとメモリ４７に記憶された判定テーブルデータから前
記膜部検査データの電圧レベルに対応する電気抵抗値を
求めて、それにより蒸着膜の厚みを評価する。

【００５０】この抵抗値換算部５０から出力される電気
抵抗値は制御部５３に入力され、この制御部５３により
蒸着膜の厚みデータとして図示しない表示器や記録装置
に出力される他、前記真空蒸着装置の運転制御情報とし
て出力されるようになっている。

【００５１】前記フィルム部データ演算部５１は、スト
ライプ状膜部分Ａの夫々に隣接した隣接フィルム部分Ｂ
について夫々入力されたフィルム部データを加算し、平
均化処理して隣接フィルム部分Ｂについての平均の透過
光量データを算出するとともに、それに対応する電圧レ
ベルのフィルム部検査データを算出する構成であって、
この演算部５１の出力は制御部５３で制御されるフィル
ム部厚み換算部５２に入力される。フィルム部厚み換算
部５２は、隣接フィルム部分Ｂについての平均の透過光
量データを厚み（単位mm）に換算する構成である。そし
て、この換算部５２から出力される換算データは制御部
５３に入力され、この制御部５３によりフィルム部分Ｂ
の厚みデータとして図示しない表示器や記録装置に出力
される他、前記真空蒸着装置の運転制御情報として出力
されるようになっている。

【００５２】このような実施例においては、まず、真空
蒸着装置にプラスチックフィルム１１を装着しない状態
で、検査装置を動作させる。それにより、光源１１から
の出射光が検査カメラ２２の一次元ＣＣＤイメージセン
サ２８に直接受光され、その受光量に応じた電圧レベル
の裸光基準信号が検査カメラ２２から出力される。この
裸光基準信号は図６中イで示される。この出力信号は、
カメラセレクタ４１、増幅器４２、Ａ／Ｄ変換器４３、
ラスタメモリ４４、メモリ読み出し部４５、マスキング
部４６、および膜部データ演算部４８を通して裸光基準
データとしてばらつきを付されてメモリ４７に記憶され
る。

【００５３】次に、真空蒸着装置内に蒸着すべき金属材
料を各材料加熱部８のるつぼ８ａに収納するとともに、
プラスチックフィルム１１、およびマスクテープ７を夫
々セットした後、真空蒸着釜１内を排気して真空状態と
して、前記検査装置を動作させる。そうすると、光源２
１と検査カメラ２２との間にはプラスチックフィルム１
１が通されているので、このフィルム１１のみを通る光
源２１から透過光が検査カメラ２２に受光され、その受
光量に応じた電圧レベルのフィルム部検出信号が検査カ
メラ２２から出力される。このフィルム部検出信号は図
６中ロで示される。それに伴い、このフィルム部検出信
号は、デジタルデータに変換された後にメモリ４７に記
憶されている前記使用フィルム１１に固有のフィルム部
基準データとの差異が制御部５３により演算される。そ
して、この演算により差に応じた初期ゲイン補正値が制
御部５３により増幅器４２に与えられて、その増幅率が
自動調整される。このようにして初期化されたフィルム
部データは図６中ロで示される。

【００５４】この後、真空蒸着釜１内が所定温度に達し
て金属蒸着が開始されるようになると、プラスチックフ
ィルム１１およびマスクテープ７などが同期して動かさ
れ、プラスチックフィルム１１に対する蒸着が実施され
る。それに伴い、光源２１と検査カメラ２２との間には
プラスチックフィルム１１の蒸着済み部分が通され、こ
れ以降は前記蒸着済み部分のみを通る光源２１から透過
光が検査カメラ２２に受光される。

【００５５】そのため、検査カメラ２２はその受光量に
応じた電圧レベルの検査用撮像信号を出力する。この信
号は、図６ハに示される。そして、この撮像信号は、カ
メラセレクタ４１、増幅器４２、Ａ／Ｄ変換器４３、ラ
スタメモリ４４、メモリ読み出し部４５を順次通してマ
スキング部４６に入力され、ここにおいてマスキング処
理される。

【００５６】このマスキング処理により、まず、前記蒸
着済み部分についての透過光量に応じた電気信号を、こ
れにしきい値（図６ニにおいて一点鎖線で示す。）を与
えて、蒸着膜Ｃが付けられた膜部分Ａに相当する信号成
分とそれ以外の隣接フィルム部分Ｂに相当する信号成分
とに分離し、次に、これら信号成分の境界を膜部分Ａ側
に移動してマスク領域を拡大して、この拡大されたマス
ク領域と互いに隣接するマスク領域間に位置する隣接フ
ィルム部分Ｂとに渡る拡大マスクが付けられる。それに
よって、隣接フィルム部分Ｂとその両側に拡大されたマ
スク領域とが遮蔽されるとともに、膜部分Ａの幅方向中
間部（膜部分Ａの両側部を除いた領域）、すなわち、膜
部分Ａのみを透過した光量に応じた電気信号のみが抽出
される。なお、図６ニ中Ｈは前記拡大マスクが施される
マスク領域全体であって、そのうちＩは隣接フィルム部
分Ｂそのものについて施されるマスク領域、Ｊは前記境
界が移動されることにより膜部分Ａ側に拡大されたマス
ク領域を示している。

【００５７】このようなマスキングにより隣接フィルム
部分Ｂについての検査情報が消去されるから、透過光を
受光して得ることに基づき蒸着膜Ｃが付いた膜部分Ａの
幅方向中間部（膜部分Ａの両側部を除いた領域）のみに
ついての蒸着膜Ｃの厚みに対応する電圧レベルの膜部デ
ータが検出される。このデータは膜部データ演算部４８
に入力されて、ここにおいて加算されるとともに平均化
処理される。それにより、蒸着膜Ｃの厚みに応じた平均
の透過光量データが算出され、かつ、それに対応する電
圧レベルの膜部検査データが算出される。

【００５８】そして、この膜部検査データは比較部４９
においてメモリ４７に記憶された膜厚基準データと比較
され、この膜厚基準データに対する前記膜部検査データ
の適否が判定されるとともに、判定が否の場合には膜厚
基準データに対してどの程度の差があるのかも判定され
る。この判定結果は制御部５３を通して出力される。

【００５９】したがって、以上の厚み判定によるとき
は、検査カメラ２２での撮像によりプラスチックフィル
ム１１の全幅に渡る検査データを得るだけではなく、そ
のデータは透過光を受光して得ることに基づき蒸着膜Ｃ
が付いた膜部分Ａの幅方向中間部のみについての蒸着膜
Ｃの厚みに対応する膜部検査データを得て、それをメモ
リ４７に記憶されている膜厚基準データと比較して蒸着
膜Ｃの厚みを評価するため、真空蒸着作業中にリアルタ
イムで蒸着膜Ｃの厚みを評価できる。

【００６０】また、以上の厚み評価とは別に、以下の厚
み評価もなされる。つまり、前記膜部データ演算部４８
で処理された蒸着膜Ｃの厚みに応じた膜部検査データ
は、メモリ４７を通して抵抗値演算部５０に入力される
から、この演算部５０においてメモリ４７に記憶された
判定テーブルを用いて、前記膜部検査データに対応する
電気抵抗値に変換される。

【００６１】そして、このように電気抵抗値として前記
蒸着膜Ｃの厚みを評価した結果は、制御部５３を通して
出力される。したがって、この厚み評価系統においても
真空蒸着作業中にリアルタイムで蒸着膜Ｃの厚みを評価
できるのみならず、電気抵抗値を最終的に問題とする電
解コンデンサ用の陽極金属の製造に適用される場合に
は、その最終結果を直接知ることができる。

【００６２】したがって、以上のようにリアルタイムで
２系統の厚み評価ができる検査装置により、そのいずれ
かの出力をもとに、材料加熱部７により加熱加減すなわ
ち蒸発量の調整、およびプラスチックフィルム１１の走
行速度の調整など真空蒸着装置の運転状態を手動または
自動で制御することができる。そして、このようなフィ
ードバック制御をするときは、製造される蒸着膜Ｃの厚
みを均一化でき、そのため、蒸着製品の歩留まりを大き
く向上させることができる。

【００６３】前記のような検査時において、光源２１の
光量は光量センサ５５で常に検出され、その検出情報は
前記メモリ４７に記憶された光量基準データと比較され
るから、光量が低下した場合には、それに応じて光量コ
ントローラ５４での電圧または電流の制御を介して光源
２１の発光量が多くなるように制御される。しかも、検
査カメラ２２の一次元ＣＣＤイメージセンサ２８の受光
感度は、蒸着膜Ｃの厚みが薄くなるほど大きくなり、そ
れが大きすぎると評価のばらつきが大きくなる傾向があ
るが、そのような事態に至る受光感度領域については制
御部５２により光量コントローラ５４を介して光源２１
の発光量を抑制する制御がされて、検査条件を一定にで
きる。

【００６４】また、前記マスキング部４６は、既述のよ
うに膜部分Ａの内で幅方向中間部（膜部分Ａの幅方向両
側部を除いた領域）の膜部データに相当する信号成分の
みを抽出して膜部データ演算部５１に入力させるから、
隣接フィルム部分Ｂに相当する電気信号に発生するブル
ーミングの影響を前記拡大マスクにより防止して、この
ブルーミングを含まない膜部分Ａのみについての膜部検
査データを得て蒸着膜Ｃの厚みを評価できるので、評価
誤差を少なくできる。その上、マスキング部４６は、前
記膜部分Ａの信号成分のみを抽出して既に得た過去の膜
部データと、前記イメージセンサの１走査ごとに膜部分
Ａの信号成分のみを抽出して得られる新たな膜部データ
との比較に基づき、前記しきい値を逐次自動更新しなが
ら、前記抽出された膜部分Ａのみを通った透過光のみに
ついての受光量に応じた電圧レベルの膜部検査データを
求めるから、プラスチックフィルムの走行に伴う蛇行現
象に応じて拡大マスクも対応して動かされるので、蛇行
の影響を防止して、蒸着膜Ｃの厚み評価についての誤差
を少なくできる。

【００６５】なお、前記マスキング部４６はフィルム部
データをフィルム部データ演算部５１に出力するから、
ここにおいて演算されたデータをもとにフィルム厚み換
算部５２でプラスチックフィルム１１の厚みを換算する
演算が行なわれ、その結果は制御部５３を通して記録装
置等に出力される。

【００６６】なお、本発明は前記一実施例には制約され
ない。例えば、ストライプ状をなす各膜部分Ａについて
の膜部データが入力される膜部データ演算部５８は、す
べての膜部データ全体の平均を求める演算の他に蒸着膜
Ｃの各条ごと（言い換えれば各膜部分Ａごと）の平均も
算出しているので、これらのデータを利用して比較部４
９において前記各条ごとのデータ比較を行うことによ
り、前記各条ごとの蒸着膜Ｃの厚みの相互関係を真空蒸
着作業中にリアルタイムで評価できる。

【００６７】したがって、材料を加熱溶融する材料加熱
部８と同数の検査カメラを並設して用いる場合にあっ
て、前記評価に基づいて各材料加熱部８に対応して形成
される蒸着膜ごとの製造条件の差異、言い換えれば、プ
ラスチックフィルム１１の幅方向に並んだ各膜部分Ａ相
互についての蒸着のばらつき（むら）を知ることができ
る。そのため、このばらつき（プラスチックフィルムの
幅方向に複数並設された材料加熱部に起因するばらつ
き）についての対策を講じることを可能にできる。

【００６８】

【発明の効果】本発明の請求項１に係る蒸着膜の検査方
法によれば、真空蒸着作業中にリアルタイムで検出され
た膜部検査データを判定テーブルにより電気抵抗値に変
換して、その電気抵抗値に基づいて蒸着膜の厚みを評価
できる。このため、製造した蒸着膜を電解コンデンサの
陽極金属の用途として使用する場合は、電解コンデンサ
の陽極金属の電気抵抗値が、電解コンデンサの性能を直
接左右するので、蒸着膜の電気抵抗値を評価することに
より、電解コンデンサの性能を直接評価できるという効
果がある。

【００６９】本発明の請求項２に係る蒸着膜の検査方法
によれば、電気信号に発生するブルーミングの影響を拡
大マスクにより防止できるとともに、前記拡大マスクを
付すための基準をなすしきい値を逐次自動更新させるこ
とでプラスチックフィルムの蛇行現象に拡大マスクを対
応させて、蛇行の影響を防止できるので、蒸着膜の厚み
評価の誤差を少なくして検出の信頼性を高めることがで
きる。

【００７０】本発明の請求項３に係る蒸着膜の検査方法
によれば、検査カメラでの撮像によりプラスチックフィ
ルムの全幅に渡る検査データを得るだけではなく、蒸着
膜が付いた膜部分のみについての厚みに対応する膜部検
査データを膜厚基準データと比較して蒸着膜の厚みを評
価するため、真空蒸着作業中にリアルタイムで蒸着膜の
厚みを評価できる。したがって、この評価をもとに真空
蒸着装置の製造条件を適正となるように適宜調整するこ
とが可能となり、その場合には蒸着製品の歩留まりを大
きく向上させることができる。しかも、電気信号に発生
するブルーミングの影響を拡大マスクにより防止できる
とともに、前記拡大マスクを付すための基準をなすしき
い値を逐次自動更新させることでプラスチックフィルム
の蛇行現象に拡大マスクを対応させて、蛇行の影響を防
止できるので、蒸着膜の厚み評価の誤差を少なくして検
出の信頼性を高めることができる。

【００７１】本発明の請求項４に係る蒸着膜の検査方法
によれば、材料を加熱溶融する材料加熱部の数と同数の
検査カメラを並設して用いる場合にあって、各材料加熱
部に対応して形成されるストライプ状の蒸着膜の製造条
件の差異を知ることができる。本発明の請求項５に係る
蒸着膜の検査装置によれば、検査カメラでの撮像により
プラスチックフィルムの全幅に渡る検査データを得るだ
けではなく、蒸着膜が付いた膜部分のみについての厚み
に対応する膜部検査データを膜厚基準データと比較して
蒸着膜の厚みを評価するため、真空蒸着作業中にリアル
タイムで蒸着膜の厚みを評価できるとともに、電気信号
に発生するブルーミングの影響を拡大マスクにより防止
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係る蒸着膜検査装置の光源
および検査カメラが組込まれた真空蒸着装置の構成を示
す断面図。

【図２】図１に示された検査カメラの構成を示す断面
図。

【図３】図２中ＺーＺ線に沿う断面図。

【図４】本発明の一実施例に係る蒸着膜検査装置が備え
る信号処理部の構成を示すブロック図。

【図５】図１に示された真空蒸着装置で蒸着されたプラ
スチックフィルムの蒸着済み部分の一部の構成を示す
図。

【図６】同一実施例に係る蒸着膜検査装置の動作を示す
タイムチャート。

【図７】同一実施例に係る蒸着膜検査装置で使用する判
定テーブルの蒸着膜の厚みに応じた電気抵抗値と蒸着膜
の透過光に応じた電圧レベルとの関係を示す図。

【符号の説明】

１…真空蒸着釜、７…マスクテープ、８…材料加熱部、
１１…プラスチックフィルム、２１…光源、２２…一次
元ＣＣＤイメージセンサ、４６…マスキング部、４７…
メモリ、４８…膜部データ演算部、４９…比較部、５０
…抵抗値換算部、５３…制御部、Ａ…蒸着膜が付着され
た膜部分、 Ｂ…隣接フィルム部分（非蒸着部分）、 Ｃ…
蒸着膜、 Ｈ…マスク領域全体、 Ｉ…隣接フィルム部分に
施されるマスク領域、 Ｊ…境界の移動により拡大された
マスク領域。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平５−195221（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−71927（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−258704（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−171807（ＪＰ，Ａ) 特公 平４−53255（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01B 11/06 C23C 14/24 G01B 21/08 G01D 1/18

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】真空蒸着釜内を走行する透光性プラスチッ
   クフィルムのストライプ状をなして蒸着膜が付けられた
   蒸着済み部分について検査位置に配置された光源および
   前記フィルムの幅方向に走査される一次元ＣＣＤイメー
   ジセンサを有した検査カメラ間を通る前記蒸着済み部分
   を透過した前記光源からの透過光を前記検査カメラで受
   光して、前記蒸着膜が付いた膜部分のみを通った透過光
   についての受光量に応じた電圧レベルの膜部データを平
   均化処理して電圧レベルの膜部検査データを求めた後
   、前記膜部分の透過光量に応じた電圧レベルと、蒸着
   されたプラスチックフィルムを所定の大きさに切断し
   て、その切断フィルムの蒸着膜の厚みに応じて予め実験
   して求めた各種厚みの蒸着膜の電気抵抗値とを換算する
   判定テーブルを用いて、前記膜部検査データの電圧レベ
   ルに対応する前記膜部分の電気抵抗値を求めて、この抵
   抗値により前記蒸着膜の厚みを評価することを特徴とす
   る蒸着膜の検査方法。
2. 【請求項２】透光性プラスチックフィルムにストライプ
   状をなして付けられた蒸着膜を有する前記プラスチック
   の蒸着済み部分についての前記膜部検査データを求める
   のに、 前記光源と前記検査カメラとの間を通る前記蒸着済み部
   分を透過した前記光源からの透過光を前記検査カメラで
   受光し、 その受光量に応じた電圧レベルの電気信号をこれにしき
   い値を与えて前記蒸着膜が付けられた膜部分に相当する
   信号成分とそれ以外の隣接フィルム部分に相当する信号
   成分とに分離し、 これら信号成分の境界を前記膜部分側に移動させてマス
   ク領域を拡大するとともにこの拡大されたマスク領域及
   び互いに隣接した前記拡大されたマスク領域間に位置す
   る前記隣接フィルム部分に渡る拡大マスクを付けて遮蔽
   し、前記膜部分の信号成分のみを抽出して、電圧レベル
   の膜部データを求めた後、 更に、前記検査カメラの一次元ＣＣＤイメージセンサが
   １走査されるごとに前記膜部分の信号成分のみを抽出し
   て得られる新たな膜部データと、この新たな膜 部データ
   の前に既に前記膜部分の信号成分のみを抽出して得た過
   去の膜部データとの比較に基づき、前記しきい値を逐次
   自動更新しながら、前記抽出された膜部分についての受
   光量に応じた電圧レベルの膜部検査データを求めること
   を特徴とする前記請求項１記載の 蒸着膜の検査方法。
3. 【請求項３】真空蒸着釜内を走行する透光性プラスチッ
   クフィルムにストライプ状をなして付けられた蒸着膜を
   有する前記プラスチックの蒸着済み部分についての検査
   位置に配置された光源と前記フィルムの幅方向に走査さ
   れる一次元ＣＣＤイメージセンサを有した検査カメラと
   の間を通る前記蒸着済み部分を透過した前記光源からの
   透過光を前記検査カメラで受光し、 その受光量に応じた電圧レベルの電気信号をこれにしき
   い値を与えて前記蒸着膜が付けられた膜部分に相当する
   信号成分とそれ以外の隣接フィルム部分に相当する信号
   成分とに分離し、 これら信号成分の境界を前記膜部分側に移動させてマス
   ク領域を拡大するとともにこの拡大されたマスク領域及
   び互いに隣接した前記拡大されたマスク領域間に位置す
   る前記隣接フィルム部分とに渡る拡大マスクを付けて遮
   蔽し、前記膜部分の信号成分のみを抽出して、電圧レベ
   ルの膜部データを求めた後、更に前記蒸着膜が付いた膜
   部分のみを通った透過光についての受光量に応じた電圧
   レベルの膜部データを平均化処理して電圧レベルの膜部
   検査データを求め、予め定められた適正厚みの蒸着膜が
   付いた基準膜部分の透過光量についての電圧レベルの膜
   厚基準データと前記膜部検査データとを比較して、前記
   蒸着膜の厚みを評価する蒸着膜の検査方法であって、 前記検査カメラの一次元ＣＣＤイメージセンサが１走査
   されるごとに前記膜部分の信号成分のみを抽出して得ら
   れる新たな膜部データと、この新たな膜部データの前に
   既に前記膜部分の信号成分のみを抽出して得た過去の膜
   部データとの比較に基づき、前記しきい値を逐次自動更
   新しながら、前記抽出された膜部分についての受光量に
   応じた電圧レベルの前記膜部検査データを求めることを
   特徴とする 蒸着膜の検査方法。
4. 【請求項４】前記膜部データに基づく膜部検査データを
   ストライプ状をなした蒸着膜の各条ごとに夫々求めるこ
   とを特徴とした前記請求項２又は３に記載の蒸着膜の検
   査方法。
5. 【請求項５】真空蒸着釜内を走行する透光性プラスチッ
   クフィルムにストライプ状をなして蒸着膜が付けられた
   蒸着済み部分が通る検査位置に配置された光源と、 前記フィルムの幅方向に走査される一次元ＣＣＤイメー
   ジセンサを有して前記検査位置に前記光源と対向して配
   置された検査カメラと、 前記光源と前記検査カメラとの間を通る前記蒸着済み部
   分についての前記光源からの透過光に応じた電圧レベル
   で前記センサから出力された電気信号を、これにしきい
   値を与えて前記蒸着膜が付けられた膜部分に相当する信
   号成分とそれ以外の隣接フィルム部分に相当する信号成
   分とに分離し、これら信号成分の境界を前記膜部分側に
   移動させてマスク領域を拡大するとともにこの拡大され
   たマスク領域及び互いに隣接した前記拡大されたマスク
   領域間に位置する前記隣接フィルム部分とに渡る拡大マ
   スクを付けて遮蔽し、前記膜部分の信号成分のみを抽出
   するマスキング部と、 適正厚みの蒸着膜が付いた基準膜部分の透過光量に応じ
   て予め定められた電圧レベルの膜厚基準データが記録さ
   れるメモリと、 前記マスキング部で抽出された前記膜部分のみを通った
   透過光についての受光量に応じた電圧レベルの膜部デー
   タを平均化処理して電圧レベルの膜部検査データを求め
   る膜部データ演算部と、 前記膜部検査データと前記膜厚基準データとを比較して
   前記蒸着膜の厚みを評価する比較部とを具備した蒸着膜
   の検査装置。