JP3353336B2

JP3353336B2 - 気体中の塩分の分析装置及びその使用方法

Info

Publication number: JP3353336B2
Application number: JP19310392A
Authority: JP
Inventors: 博幸長沢; 富一渡辺
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1992-06-26
Filing date: 1992-06-26
Publication date: 2002-12-03
Anticipated expiration: 2017-12-03
Also published as: JPH0611496A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、気体中の塩分の分析装
置（特に大気中の塩分の自動分析装置）及びその使用方
法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】種々の目的から、大気中の塩分とその濃
度を測定することが必要な場合がある。例えば、半導体
の製造に際し、半導体ウェハの表面に二酸化珪素等の薄
膜を形成する工程は、大気中の塵埃や異物を可能な限り
減少させたクリーンルーム内で実施されている。この場
合、半導体デバイスの品質を低下させる要因としては、
大気中に含有される塩分の混入、付着が挙げられる。

【０００３】このため、クリーンルーム内の塩分の分析
を行い、そのコントロールを行う必要がある。また、こ
うした塩分の分析はクリーンルームに限らず、様々な場
所においても必要とされることがある。

【０００４】大気中の塩分の分析方法としては、特開平
１−299461号公報に開示された方法がある。この方法
を、図16によって説明すると、次のステップにより遂行
される。

【０００５】容器102 中の吸収液（純水)105に、大気取
入れ口101 から大気を導入し、バブリングさせて大気中
の塩分を吸収液105 に溶解させると共に、攪拌子110 を
攪拌装置115 によって運動させることにより吸収率を高
めるようにしている。

【０００６】次に、塩分を吸収してイオン化させた吸収
液は、イオンクロマトグラフ112 に導入されて分析に供
される。

【０００７】図16中、 103は吸収液タンク、 104は定量
ポンプ、 106はミストトラップ、 107は流量計、 108は
吸引ポンプ、 109は排気口、 111、116 は切換え弁、 1
13は排液口、 114はドレン排出口である。

【０００８】上記のほか、特開昭61−265561号公報に開
示された方法がある。この方法は、図17に示す分析装置
を用いて実施される。この分析装置は、定量給水装置20
1 、イオン化物質吸収装置214 、空気供給装置230 、イ
オン検出装置240 、演算装置249 及び制御装置260 から
なる。

【０００９】先ず、吸収液タンク202 の中の吸収液（純
水)207をポンプ203 によって定量吸水器204 に送る。過
剰な吸収液はトラップ208 によって外部に排出され、定
量吸水器204 中の吸収液207 は一定量になる。

【００１０】次に、給水弁210aと給水弁211a、212a、21
3aを順次開き、インピンジャー215a、215b、215cに吸収
液207 を注入する。

【００１１】次に、空気吸引ポンプ231 によって一定量
の被測定空気をインピンジャー215a、215b、215c内に吸
引する。これにより、被測定空気が吸収液207 と接触
し、空気中に含有されているナトリウム等からなる塩分
が吸収液207 に溶解し、測定用溶液試料が得られる。

【００１２】得られた溶液試料は、排水弁235a、236a、
237aを開くことにより、イオン検出装置240 に導入され
る。イオン検出装置240 に導入された溶液試料244 は、
スターラ245 によって攪拌されながらナトリウム電極24
7 に接続されたイオンメータ248 により、溶解している
ナトリウムの濃度が測定される。

【００１３】測定結果は、イオンメータ248 から演算装
置249 に入力され、この入力信号と空気供給装置230 が
吸引した空気量とから演算されて空気中のナトリウム濃
度に変換される。そして、このナトリウム濃度は表示、
記録装置250 によって表示、記録される。

【００１４】しかしながら、上述した従来の分析方法
は、次のような問題を有している。まず特開平１−２９
９４６１号公報に開示の方法は、大気中の塩分が微量で
あるために、同公報中に記載されているように、サンプ
リング（吸収液への塩分の溶解）に６時間という長時間
を要し、非能率である。その上、バブリング時に飛散し
て容器上部の内壁面に付着した吸収液は、次回の分析に
際して新しい吸収液に混入するようになり、微量な塩分
の分析にとってその分析誤差を大きくする要因となり、
到底満足し得るものではない。

【００１５】また、特開昭61−265561号公報に開示の方
法は、この公報に記載されているように、単位時間に吸
引する空気の量を実施例１に対して10〜30倍とした実施
例２にあっても、測定されるナトリウムの濃度は１μｇ
／m³と高濃度でしか測定できず、それよりずっと低濃度
の塩分分析には対応できない。その上、イオンメータに
よる分析であるので、イオン化される元素量のトータル
が測定できるだけで、元素の特定が不可能である。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の事情
に鑑みてなされたものであって、低濃度の塩分をも短時
間でかつ高精度で分析でき、塩分を構成する各元素の特
定も可能な、気体中の塩分の分析装置及びこの装置を使
用する方法を提供することを目的としている。

【００１７】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成するため、次のような構成としている。

【００１８】第一の発明は、捕集容器（例えば後述の捕
集容器２）に設定された第一の液面レベル（例えば後述
の水面調整管49の接続位置）迄前記捕集容器に入れられ
た所定量の吸収液（例えば純水）中に所定量の気体（例
えば大気）を導入し、この気体中に含有されている塩分
（例えばNH₄Cl、NaCl、Na₂SO₄等）を前記吸収液に溶解
して捕集した後に、この吸収液を前記第一の液面レベル
より低い第二の液面レベル（例えば後述の導出管48の接
続位置）に至る迄前記捕集容器から導出し、例えば後述
のイオン濃縮部Ｂとクロマトグラフィー部Ｃとからなる
イオンクロマトグラフに導いて、前記塩分を分析するよ
うに構成され、かつ、前記イオンクロマトグラフが、前
記吸収液の送圧を高めるためのポンプ手段（例えば後述
の濃縮ポンプ20、21）と、前記吸収液の流路を切換える
ための流路切換え手段（例えば後述の六方バルブ25、2
6）と、前記吸収液に溶解してイオン化した前記塩分を
濃縮するためのイオン濃縮手段（例えば後述のイオン濃
縮カラム27、28）とを有する、気体中の塩分の分析装置
であって、前記捕集容器の側壁に、前記吸収液の前記第
一の液面レベルを所定の高さに決めるための、例えば液
面調整バルブ（例えば後述のバルブ９）を有する液面調
整管（例えば後述の調整管49）が接続され、前記捕集容
器の上部に、例えば洗浄液排出バルブ（例えば後述のバ
ルブ10）を介して洗浄液を排出するための洗浄液排出管
（例えば後述の50）と、排気手段、例えば排気ポンプ
（例えば後述の吸引ポンプ４）を有する排気管（例えば
後述の43）とが接続され、前記捕集容器の容器壁を貫通
してこの捕集容器内の前記吸収液中に大気等の気体をバ
ブルするための気体導入管（例えば後述の大気供給管4
1）を有し、前記捕集容器の底部に、前記吸収液又は前
記洗浄液を排出するための液排出手段、例えば液排出バ
ルブ（例えば後述の７）と、前記吸収液又は前記洗浄液
を導入するための液導入手段、例えば液導入バルブ（例
えば後述の６）とを有する導液管部が接続され、前記捕
集容器には、前記第二の液面レベル位置に、前記吸収液
を前記イオンクロマトグラフへ導出するための例えば吸
収液導出バルブ（例えば後述の８）を有する吸収液導出
管（例えば後述の導出管48）が接続されている、気体中
の塩分の分析装置に係る。

【００１９】第二の発明は、前記第一の発明において、
液面調整管が液面調整バルブを有し、洗浄液排出管が洗
浄液排出バルブを有し、排気手段が排気ポンプであり、
捕集容器内の吸収液に大気をバブルするための大気導入
管が設けられ、液排出手段及び液導入手段がそれぞれバ
ルブであり、吸収液導出管が吸収液導出バルブを有する
装置に係る。

【００２０】第三の発明は、前記第二の発明において、
更に、導液管（例えば後述の管47）に液排出バルブが設
けられ、捕集容器と前記液排出バルブとの間に、液導入
バルブを設けた液導入管（例えば後述の管46）が接続さ
れている装置に係る。

【００２１】第四の発明は、前記第一〜第三の発明にお
いて、更に、前回の分析後に捕集容器中に残存している
吸収液を前記捕集容器から排出する第一のステップと；
この第一のステップ後に前記捕集容器中になお残存して
いる吸収液を洗浄液（例えば純水）の導入により前記捕
集容器から洗浄除去する第二のステップと；新しい吸収
液を前記捕集容器内に第一の液面レベルに迄導入する第
三のステップと；前記の新しい吸収液中に気体を導入
し、この気体中に含有されている塩分を前記の新しい吸
収液に溶解させて捕集する第四のステップと；前回の分
析後に吸収液導出バルブ（例えば後述の８）と流路切換
えバルブ手段（例えば後述の六方バルブ25、26）との間
に残存している吸収液を、前記塩分を溶解、捕集した吸
収液の一部と置換して排出する第五のステップと；前記
流路切換えバルブ手段を切換えて、前記の塩分を溶解、
捕集した吸収液をイオン濃縮手段に通す第六のステップ
と；前記流路切換えバルブ手段を更に切換えて、前記イ
オン濃縮手段で濃縮されたイオンを溶離液（例えば後述
の22、23）により分離し、イオンクロマトグラフによる
塩分の分析に供する第七のステップと；からなるプログ
ラムにより操作される装置に係る。

【００２２】第五の発明は、前記第一の発明において、
捕集容器とイオンクロマトグラフとの間に、塩分を吸収
した吸収液を一旦貯留する吸収液貯留容器（例えは後述
の貯留容器15）が設けられ、前記捕集容器の側壁に、吸
収液の第一の液面レベルを所定の高さに決めるための液
面調整バルブを有する液面調整管が接続され、前記捕集
容器の上部に、洗浄液排出バルブを介して洗浄液を排出
するための洗浄液排出管と、排気ポンプを有する排気管
とが接続され、前記捕集容器の容器壁を貫通してこの捕
集容器内の前記吸収液中に大気をバブルするための大気
導入管を有し、前記捕集容器の底部に、前記吸収液又は
前記洗浄液を導入するための液導入バルブを有する液導
入管（例えば後述の管46）が接続され、第二の液面レベ
ル位置に、前記吸収液を前記吸収液貯留容器へ導出する
ための第一の吸収液導出バルブ（例えば後述の８）を有
する第一の吸収液導出管（例えば後述の48）が接続さ
れ、前記吸収液貯留容器の底部に、前記吸収液を前記イ
オンクロマトグラフへ導出するための第二の吸収液導出
バルブ（例えば後述の18）を有する第二の吸収液導出管
（例えば後述の58）と、前記吸収液を排出するための吸
収液排出バルブ（例えば後述の７）を有する吸収液排出
管（例えば後述の47）とが接続されている、装置に係
る。

【００２３】第六の発明は、第五の発明において、前回
の分析後に捕集容器中に残存している吸収液を洗浄液
（例えば純水）の導入により前記捕集容器から洗浄除去
する第一のステップと；新しい吸収液を前記捕集容器内
に第一の液面レベルに迄導入する第二のステップと；前
記の新しい吸収液中に気体を導入し、この気体中に含有
されている塩分を前記の新しい吸収液に溶解させて捕集
する第三のステップと；塩分を溶解、捕集した吸収液の
一部を吸収液貯留容器に導入し、前記吸収液貯留容器の
洗浄に供すると共にこの吸収液貯留容器から排出する第
四のステップと；前記の塩分を溶解、捕集した残りの吸
収液を前記吸収液貯留容器に収容する第五のステップ
と；前回の分析後に第二の吸収液導出バルブ（例えば後
述の18）と流路切換えバルブ手段（例えば後述の六方バ
ルブ25、26）との間に残存している吸収液を、前記の塩
分を溶解、捕集した前記残りの吸収液の一部と置換して
排出する第六のステップと；流路切換えバルブ手段を切
換えて、前記の塩分を溶解、捕集した吸収液をイオン濃
縮手段に通す第七のステップと；前記流路切換えバルブ
手段を更に切換えて、前記イオン濃縮手段で濃縮された
イオンを溶離液（例えば後述の22、23）により分離し、
イオンクロマトグラフによる塩分の分析に供すると共
に、前記吸収液貯留容器内に残存する吸収液を排出する
第八のステップと；からなるプログラムであって、前記
第六のステップの開始と同時に前記捕集容器にて前記第
一のステップを開始するプログラムにより操作される装
置に係る。

【００２４】第七の発明は、前記第五又は第六の発明に
おいて、吸収液貯留容器に、導入される吸収液を衝突さ
せて飛散させるための吸収液飛散手段（例えば後述の吸
収液飛散棒16）が設けられている装置に係る。

【００２５】第八の発明は、前記第二〜第七の発明にお
いて、更に、大気導入管及び排気管が、洗浄液排出管よ
りも高い位置の部分を有する装置に係る。

【００２６】第九の発明は、前記第二〜第八の発明にお
いて、更に、捕集容器の底面が傾斜し、この傾斜底面の
最深部に導液管部と吸収液導出管とが接続されている装
置に係る。

【００２７】第十の発明は、前記第一〜第九の発明にお
いて、更に、各バルブの開閉、各ポンプの駆動開始及び
駆動停止並びにイオンクロマトグラフの作動開始及び作
動停止を、予め設定されたプログラムに従って制御する
制御手段（例えば後述の制御部Ｄ）を有する装置に係
る。

【００２８】第十一の発明は、前記第一〜第四の発明及
び前記第八〜第十の発明の装置を使用する方法の発明で
あって、前回の分析後に捕集容器中に残存している吸収
液を前記捕集容器から排出させる第一のステップと；こ
の第一のステップ後に前記捕集容器中になお残存してい
る吸収液を洗浄液の導入により前記捕集容器から洗浄除
去する第二のステップと；新しい吸収液を前記捕集容器
内に第一の液面レベルに迄導入する第三のステップと；
前記の新しい吸収液中に気体を導入し、この気体中に含
有されている塩分を前記の新しい吸収液に溶解させて捕
集する第四のステップと；前回の分析後に吸収液導出バ
ルブと流路切換えバルブ手段との間に残存している吸収
液を、前記塩分を溶解、捕集した吸収液の一部と置換し
て排出する第五のステップと；前記流路切換えバルブ手
段を切換えて、前記の塩分を溶解、捕集した吸収液をイ
オン濃縮手段に通す第六のステップと；前記流路切換え
バルブ手段を更に切換えて、前記イオン濃縮手段で濃縮
されたイオンを溶離液により分離し、イオンクロマトグ
ラフによる塩分の分析に供する第七のステップと；を有
する、装置の使用方法に係る。

【００２９】第十二の発明は、前記第五〜第十の発明の
装置を使用する方法の発明であって、前回の分析後に捕
集容器中に残存している吸収液を洗浄液の導入により前
記捕集容器から洗浄除去する第一のステップと；新しい
吸収液を前記捕集容器内に第一の液面レベルに迄導入す
る第二のステップと；前記の新しい吸収液中に気体を導
入し、この気体中に含有されている塩分を前記の新しい
吸収液に溶解させて捕集する第三のステップと；塩分を
溶解、捕集した吸収液の一部を吸収液貯留容器に導入
し、前記吸収液貯留容器の洗浄に供すると共にこの吸収
液貯留容器から排出する第四のステップと；前記の塩分
を溶解、捕集した残りの吸収液を前記吸収液貯留容器に
収容する第五のステップと；前回の分析後に第二の吸収
液導出バルブと流路切換えバルブ手段との間に残存して
いる吸収液を、前記の塩分を溶解、捕集した前記残りの
吸収液の一部と置換して排出する第六のステップと；前
記流路切換えバルブ手段を切換えて、前記の塩分を溶
解、捕集した吸収液をイオン濃縮手段に通す第七のステ
ップと；前記流路切換えバルブ手段を更に切換えて、前
記イオン濃縮手段で濃縮されたイオンを溶離液により分
離し、イオンクロマトグラフによる塩分の分析に供する
と共に、前記吸収液貯留容器内に残存する吸収液を排出
する第八のステップと；を繰返し、かつ、前記第六のス
テップの開始と同時に前記捕集容器にて前記第一のステ
ップを開始する、装置の使用方法に係る。

【００３０】第十三の発明は、前記第十二の発明におい
て、捕集容器を毎回の塩分捕集に先立って第一のステッ
プにより洗浄し、かつ、吸収液貯留容器を毎回の吸収液
収容に先立って第四のステップにより洗浄する操作を行
う、装置の使用方法に係る。

【００３１】

【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。

【００３２】図１は、本発明の第１の実施例による大気
中の塩分の自動分析装置を示すものであって、各部分の
接続関係を示す概略図である。この装置は、サンプリン
グ部Ａ、イオン濃縮部Ｂ、イオンクロマトグラフィー部
（測定部）Ｃ及びこれらの作動を制御する制御部Ｄによ
って構成される。イオンクロマトグラフは、イオン濃縮
部Ｂとイオンクロマトグラフィー部Ｃとからなってい
る。

【００３３】捕集容器２及びその附帯設備からなるサン
プリング部Ａにおいては、空気中の塩分を吸収液５に溶
解させてイオン化し、この塩分を溶解した吸収液はイオ
ン濃縮カラム27、28及びその附帯設備からなるイオン濃
縮部Ｂで濃縮する。そして、濃縮されたイオンは、溶離
液によって分離させ、イオンクロマトグラフィー部Ｃに
導びき、ここで分析に供する。

【００３４】イオン（交換）クロマトグラフィー部Ｃ
は、例えば、陽イオンカラム29及び導電率検出器30を有
する横河電気社製クロマトグラフＩＣ7000Ｍと、陰イオ
ンカラム31、サプレッサ32及び導電率検出器33を有する
同社製クロマトグラフＩＣ7000Ｓとを内蔵している。

【００３５】上記各部Ａ、Ｂ、Ｃの作動は、例えば、横
河電気社製イオンクロマトワークステーションＷＳ7000
（符号51）とタイマ11とを内蔵する制御部Ｄにより、予
め設定されたプログラムに従って制御する。

【００３６】以下、上記の各部Ａ、Ｂ、Ｃの構成を更に
詳細に説明しながら、大気中の塩分分析の手順（排水か
ら測定まで）を説明する。

【００３７】１．排水先ず、制御部Ｄのタイマ11を作動させ、これからの信号
によって排水バルブ７を開き、捕集容器（バブラ）２中
に残っている吸収液を底部に接続する管45、47を経由し
て排出する。なお、排水バルブ７をはじめとする各バル
ブは、作動部分での金属の接触による金属汚染の防止の
ため、タイマ11の信号を直接受けて開閉するのではな
く、これを例えば窒素ガス圧に変換し、この窒素ガス圧
により開閉がなされる機構のものを使用している。ま
た、各バルブ及び各配管はテフロン（デュポン社製のフ
ッ素樹脂）を主体とする合成樹脂製としている。同じ理
由から、捕集容器２は石英製としている。

【００３８】この吸収液の排出（排水）の間は、管45か
らの分岐管46に設けられた純水（吸収液）供給バルブ
６、イオン濃縮部Ｂへの吸収液導出バルブ８、水面調整
バルブ９及び洗浄液排出バルブ10は閉じ、吸引ポンプ４
は停止させている。この吸収液排出操作は例えば１分間
かけて行う。

【００３９】２．洗浄次いで、捕集容器２の洗浄を行う。即ち、タイマ11から
の信号により、排水バルブ７を閉じ、純水供給バルブ６
及び洗浄液排水バルブ10を開き、捕集容器２よりも上に
位置する純水タンク（図示せず）から分岐管46、管45を
経由して純水を捕集容器２内に導入する。

【００４０】捕集容器２内を充満した洗浄液（実際には
純水に残留吸収液が混合された液）は、捕集容器２の上
端に接続された洗浄液排出管50を経由して排出する。こ
の間、吸収液導出バルブ８及び水面調整バルブ９は閉じ
た儘とし、吸引ポンプ４も停止させている。この操作は
例えば３分間かけて行う。以下の説明では、各ステップ
において作動しないバルブその他は、説明を省略する。

【００４１】３．水位設定次いで、捕集容器２内の液面の調整を行う。即ち、タイ
マ11からの信号により、洗浄液排水バルブ10を閉じ、水
面調整バルブ９を開く。これにより、捕集容器２内を充
満していた純水の一部は、捕集容器２の側壁の第一の液
面レベル位置に接続され、水面調整バルブ９を有する水
面調整管49を経由して排出されるので、残された純水
（吸収液）５は図１に示される水位（第一の液面レベ
ル）になる。この操作は例えば50秒間かけて行う。

【００４２】４．バブリング次いで、大気中の塩分の捕集を行う。即ち、タイマ11か
らの信号により、水面調整バルブ９を閉じ、吸引ポンプ
４を駆動して捕集容器２内の空気を排気管43及び流量計
３を経由して排出する。これにより、空気は、大気取入
れ口１から大気供給管41及び大気導出部42を経由し、大
気導出部42に設けられた導出孔42ａから吸収液５中に導
出してバブリングする。

【００４３】こうして、大気中に含有されていた塩分
は、吸収液５に溶解させて捕集する。溶解した塩分はイ
オンに解離する。塩分捕集時間は１〜999 分間の範囲内
で可変であるが、この例では、大気の吸引量を流量計３
で測定して例えば１ｌ／分とし、塩分捕集時間を60分間
とする。

【００４４】ここで、捕集容器２外において大気供給管
41の部分及び排気管43の部分（図１において水平に延び
る部分）を、洗浄液排出管50よりも上に位置させている
ことにより、前述の洗浄時に、洗浄液は、大気供給管41
及び排気管43内に深く侵入することなく、洗浄液排出管
50から効果的に排出できる。なお、大気供給管41及び／
又は排気管43は、捕集容器２の上壁以外にも、捕集容器
２の側壁の上方部分に接続させるようにしても良い。

【００４５】５．静置次に、塩分捕集終了後に、タイマ11からの信号により、
吸引ポンプ４を停止させると共に、吸収液導出バルブ８
を開き、更に例えば10秒間経過した時点でイオンクロマ
トワークステーション51を起動させる。その後の測定の
プログラムは、イオンクロマトワークステーション51に
組込まれたプログラムに従って進行させる。

【００４６】吸収液導出バルブ８を開いてから例えば10
秒間経過した時点でイオンクロマトワークステーション
51に信号を送っているのは、バブリング時の空気がイオ
ン濃縮部Ｂ内に入り込まないようにするためである。

【００４７】前記の起動信号を受けた後のプログラム
は、次の通りである。６．置換先ず、陽イオン溶離液22、陰イオン溶離液23及び陰イオ
ン除去液24は、夫々例えば１ml／分の流量でポンプ（図
示せず）によって流されている。

【００４８】最初の例えば30分間は、吸収液導出バルブ
８とイオン濃縮ポンプ20、21（更には六方バルブ25、2
6）との間で吸収液導出管48及びこれから分岐する分岐
管48Ａ、48Ｂに滞留している吸収液（前回の分析で分析
に供されずに残された吸収液）の置換を行う。

【００４９】陽イオン濃縮ポンプ20及び陰イオン濃縮ポ
ンプ21は吸収液の送圧を高めるために設けられるが、そ
の上流側にはエア抜きのためのデガッサ48Ｃのラインが
あるため、分岐管48Ａ、48Ｂは可成り長いラインとなっ
ている。置換を完全に行うため、置換時のみは捕集容器
２内の吸収液を夫々例えば２ml／分の流量だけ流す。

【００５０】この置換操作中は、吸収液は六方バルブ2
5、26内の実線で示される流路を流れる。即ち、陽イオ
ン濃縮ポンプ20からの吸収液は、六方バルブ25を通って
直ぐ廃棄される。他方、陽イオン溶離液22は、六方バル
ブ25を通った後、イオン濃縮カラム27を図において右か
ら左へと通り、再び六方バルブ25を通った後に陽イオン
カラム29、導電率検出器30を通り、廃棄される。陰イオ
ン側も上記の陽イオン側と同様の流れで操作する。

【００５１】７．濃縮上記の置換を例えば30分間行うことにより、滞留してい
た吸収液を完全に追い出した後、ワークステーション51
からの信号により、陽イオン濃縮ポンプ20、陰イオン濃
縮ポンプ21の流量を例えば１ml／分とし、同時に六方バ
ルブ25、26の流路を切換える。これにより、六方バルブ
内の流路は、図中破線で示される流路となる。

【００５２】なお、イオン濃縮ポンプ20、21は例えば、
２つのプランジャが吸引と吐出とを交互に行い、切れ目
の無い送液を行うダブルプランジャ／アクティブダンパ
式（ＤＡ）とも呼ばれるものが使用可能であり、この例
では横河電気社製のものを使用している。

【００５３】こうして、陽イオン濃縮ポンプ20からの吸
収液は、六方バルブ25を通った後、陽イオン濃縮カラム
27を図において左から右へと流れる。この結果、吸収液
中の陽イオンであるNa⁺、 NH₄ ⁺等は、濃縮カラム27に
捕獲され、純水のみが再び六方バルブ25を通って廃棄さ
れる。

【００５４】また、陽イオン溶離液22は、六方バルブ25
を通った後、陽イオン（分離）カラム29、導電率検出器
30を通って廃棄される。陰イオン側も陽イオン側と同様
の流れが生じる。

【００５５】８．測定上記のイオン濃縮を例えば25分間行った後、ワークステ
ーション51からの信号により、六方バルブ25、26を再び
切換えて実線で示される元の流路に戻す。同時にイオン
濃縮ポンプ20、21を停止させ、吸収液の流れを止める。

【００５６】これによって、陽イオン溶離液22は、六方
バルブ25を通った後、陽イオン濃縮カラム27を図におい
て右から左へと流れる。この結果、濃縮カラム27に捕獲
されていたNa⁺、 NH₄ ⁺等は、一気に溶出して溶離液22
と共に六方バルブ25を通った後、陽イオン分離カラム29
に導かれ、ここで各イオンに分離され、次いで導電率検
出器30でイオン量を計測する。

【００５７】この計測結果に基づいて、標準溶液によっ
て予め作成されている検量線を使用してイオンの定性、
定量分析をワークステーション51で行い、その結果を自
動的に出力する。陰イオンについての計測結果も上記の
陽イオンと同様の流れ及び処理がなされる。

【００５８】この例におけるイオンクロマトグラフィー
による測定の条件は次の通りである。陰イオンの測定に
使用される陰イオン（分離）カラム31としては例えば横
河電気社製ＩＣＳ−Ａ４Ｇを40℃で使用し、また陰イオ
ン濃縮カラム28は例えば同社製Ｊ9199ＡＳを使用する。
陰イオン溶離液23には４mMの炭酸水素ナトリウムと４mM
の炭酸ナトリウムとの混合溶液を、陰イオン除去液24に
は15mMの硫酸溶液を使用できる。

【００５９】陰イオン除去液24は、陰イオン（分離）カ
ラム31と導電率検出器33との間に配置されたサプレッサ
32（例えば横河電気社製ＨＰＳ−ＳＡ）に入れ、サプレ
ッサ32内のイオン交換膜を介して溶離液中のNa⁺イオン
等をＨ⁺イオンに交換することによって、溶離液がNa⁺
イオン等による電導度を示さないようにしてから導電率
検出器33に送り、計測のＳ／Ｎ比を向上させている。

【００６０】なお、上記の陰イオン除去液（硫酸）24
は、悪影響無いために洗浄が不要であり、そのメンテナ
ンスが不要であるが、イオンクロマトグラフィー部の陽
イオン側では、陽イオン除去液による陽イオン分離の処
理を行わない方がメンテナンス上好ましいことがある。

【００６１】陽イオン測定に使用される陽イオン（分
離）カラム29としては例えば横河電気社製ＩＣＳ−Ｃ15
を40℃で使用し、また陽イオン濃縮カラム27は例えば同
社製Ｊ9400ＤＬを使用する。陽イオン溶離液22には５mM
の硝酸を使用できる。

【００６２】導電率検出器30、33は、例えば、試料溶液
中に１cm×１cmの電極を１cmの間隔を以て対向して設
け、両電極に交流電圧を印加して電気抵抗をホイストン
ブリッジ回路で測定する機構になっていて、試料溶液の
比抵抗（Ω／cm）の逆数を電導度（Ｓ／cm）として計測
する。これら導電率検出器は、０〜５ｍＳ／cmの電導度
を計測し得る。

【００６３】イオン濃縮部Ｂ及びイオンクロマトグラフ
ィー部Ｃを陽イオン側、陰イオン側に分けてその詳細を
図２、図３に示す。

【００６４】塩分捕集、吸収液置換及びイオン濃縮後の
上記の説明は、イオンクロマトグラフィーのみについて
の説明であるが、塩分捕集終了から例えば55分間を経過
した時点（イオン濃縮終了時点と同時点）で、タイマ11
からの信号により、排水バルブ７を開いて捕集容器２内
に残っている吸収液５を排水管45、47を介して廃棄す
る。即ち、最初のステップに戻す。

【００６５】従って、イオン濃縮終了時点から15分間
は、イオン交換クロマトグラフィーによる測定を遂行
し、他方、タイマ11及び捕集容器２は、排水→洗浄→水
位設定→バブリングのステップを再び行うことになる。

【００６６】以上説明した各バルブの開閉並びに吸引ポ
ンプの駆動及び駆動停止の各ステップを、タイマプログ
ラムとして図４に示す。

【００６７】以上のステップにより、実際に測定を行っ
て得られたクロマトグラムの一例を、図５、図６に示
す。これらのクロマトグラムは、実際の測定値からブラ
ンク値を引いたものであり、陰イオンではNO₂ ^2-、S
O₄ ^2-、Cl^-が、陽イオンではNH₄ ⁺が特に著しく鋭い極大
値を以て検出されているのが認められる。このように、
イオンの種類を判別できると同時にその濃度も知ること
ができるため、塩分の定性分析、定量分析の双方が可能
である。

【００６８】図７は、連続測定における時間の経過と分
析された大気中の塩分量との関係を示すグラフであり、
２時間のスパンを以て分析操作を連続的に繰返えして行
った結果を示している。

【００６９】上記分析におけるブランク値変動の３σ
（標準偏差の３倍）を検出限界しとたとき、この検出限
界は下記表１に示す通りである。

【００７０】

【００７１】この結果から、一連の分析進行中にイオン
濃縮処理のステップを設けているので、極めて低い濃度
迄検出可能であり、空気中の極く僅かな塩分をも分析可
能である。

【００７２】以上に述べたことから明らかなように、本
発明の実施例により大気中の塩分を測定することによっ
て、従来技術では奏しえない下記 (a)〜(c) の顕著な効
果を得るとこができる。

【００７３】(a) イオン濃縮ポンプ及びイオン濃縮カラ
ムでイオン濃縮を25分間行うことにより、吸収液の濃度
を 500倍にも濃縮することができる。これにより、塩分
捕集時間を60分間（前述の特開平１−299461号公報に対
して１／６）と非常に短くしても、極めて低い濃度まで
自動連続測定が可能となるから、大気中の塩分の増加を
速やかに検知でき、塩分増加による不良を最小限に留め
ることができる。また、測定ポイント数も２時間毎と
し、大幅に増やすことができる。

【００７４】(b) 捕集（バブリング）時間を60分間と短
時間にしているので、吸収液中の塩分含有量は従来法
（特開平１−299461号公報の方法）に較べてはるかに低
くなる。このため、前回の分析に供されずに捕集容器中
に残っている吸収液が僅かであっても、これによる測定
誤差が相対的に大きくなる。しかし、本実施例では、塩
分捕集に先立って、前記したように捕集容器の洗浄を毎
回行っているので、上記の測定誤差の発生を効果的に防
止し、測定精度を良好にすることができる。

【００７５】(c) また、各管43、45、49、50の位置を特
定しているので、捕集容器の洗浄を効果的に行えると共
に、液面レベルの設定も容易かつ正確に実現できる。こ
れは、洗浄液に吸収液と同じ純水を用いていることから
も効果的に実現できることになる。

【００７６】上述した実施例において、捕集容器は図８
に示すような形状として良い。即ち、図８の捕集容器２
は、底壁面を図１のように水平ではなく、両側から中央
位置へ直線的に傾斜した底壁面53、53とし、両傾斜面が
交わる稜54に給排水用の管45及び吸収液導出管48を接続
させている。

【００７７】捕集容器52をこのような形状にすることに
より、前回の分析で捕集容器内に残存する吸収液を確実
に排出でき、次の洗浄が短時間で済むようになり、有利
である。

【００７８】吸収液導出管48は、図９に示すように、捕
集容器２の側壁下部において、水面調整管49よりも下の
位置で接続させるようにして良い。このようにすると、
吸収液導出管48から吸収液を導出し切ったとき、水面が
仮想線で示す一定の位置になるから、吸収液導出量が正
確になる。

【００７９】但し、仮想線で示す水面が大気導出部42よ
りも充分に低い位置になるようにしてバブリング時の泡
が侵入しないようにする必要がある。また、仮想線で示
す水面は低くする程、後のイオン濃縮の効率が良くな
る。

【００８０】また、図10に示すように、吸収液としての
純水を供給する純水供給用の管46と、吸収液排出用の管
47とを、共通の管から分岐するようにはせずに別個に捕
集容器２の底部に接続させることができる。この場合、
管47を洗浄液の供給用としても使用すると、洗浄液に純
水以外の適宜の洗浄液を使用でき、洗浄効率を上げるこ
とができる。

【００８１】なお、図11に示すように、２個の捕集容器
を並列に設け、これら捕集容器２、２を交互に使用して
塩分捕集と置換、イオン濃縮とを交互に行うことも考え
られる。図中43ａ、43ｂは、排気管43の分岐管に設けた
バルブで、塩分捕集時に一方を開き、他方を閉じるよう
にする。その他の接続は、図１の例におけると同様であ
る。

【００８２】この場合、２個の捕集容器が全く同一に作
製できれば問題ないが、現実にはこれは不可能であるか
ら、両者間で捕集効率に微妙な差が生じ、例えば同一塩
分含有量の空気を交互に測定した場合、図12に示すよう
に各測定毎に求められた塩分濃度がかなり変化し、分析
精度が低下するようになる。

【００８３】図13は、本発明の他の実施例を示すもので
あって、サンプリング部Ａとイオン濃縮部Ｂとの間に、
塩分を吸収した吸収液を一旦プールする吸収液貯留容器
（石英製）15を設けた例を示すものである。

【００８４】この例によれば、捕集容器２の底部には、
吸収液５を吸収液貯留容器15に導くための吸収液導出バ
ルブ８を有する吸収液導出管48と、吸収液導入バルブ６
を有する吸収液導入管46とを接続させている。

【００８５】吸収液貯留容器15内には、導入された吸収
液を飛散させるためのボール16ａを先端に設けた吸収液
飛散棒16が設けられている。吸収液貯留容器の底部に
は、イオン濃縮部Ｂに吸収液５を導出するための吸収液
導出バルブ18を有する吸収液導出管58が接続され、この
吸収液導出管58から吸収液排出バルブ７を有する吸収液
排出管47が分岐している。

【００８６】その他の設備及びその接続状態は、図１の
例におけると同様であるので、その部分は共通符号を付
して説明を省略することがある。

【００８７】図13の装置は、次のようにして作動する。
先ず、図１の装置におけると同様にして、捕集容器２の
洗浄、吸収液導入、水位設定及びバブリングを行い、空
気中の塩分を吸収液５に溶解、捕集する。これらのステ
ップの所要時間については後述するが、それ以降の以下
に述べるステップをタイムプログラムに纏めて図14に示
す。

【００８８】捕集容器２での塩分の捕集後は、吸収液導
出バルブ８を一時的に開き、上記の塩分を溶解した吸収
液５のうちの一部（少量）を吸収液貯留容器15に導入す
る。これによって、導入されたこの一部の吸収液は、ボ
ール16ａに衝突して周囲に飛散するため、前回の分析後
に吸収液が吸収液貯留容器15の内壁面に付着して残って
いてもこれを落とすことになり、同容器15の壁内面を洗
浄する（No.1のステップ）。

【００８９】この洗浄に供された一部の吸収液は、吸収
液排出バルブ７を開くことにより、分岐管47を経由して
廃棄される（No.2のステップ）。この洗浄に要する時間
は、排出時間の10秒間を含めて15秒間である。

【００９０】次に、吸収液導出バルブ８を再び開き、捕
集容器２内の残りの吸収液５を吸収液貯留容器15に移動
させる（No.3のステップ）。上記した貯留容器15の洗浄
に供した一部の吸収液の導出及びその移動、残りの吸収
液の導出及びその移動を容易ならしめるため、吸収液貯
留容器15の上部に空気抜き管14を設けている。上記の残
りの吸収液移動に要する時間は、55秒間である。

【００９１】次に、吸収液排出バルブ７を閉じると共
に、吸収液導出バルブ18を開き、吸収液５の一部によっ
て、吸収液導出バルブ18とイオン濃縮ポンプ20、21（更
には六方バルブ25、26）との間の吸収液導出管58及びこ
れらの分岐管48Ａ、48Ｂに残存している、前回の分析に
供されずに残存している吸収液を置換し、イオン濃縮ポ
ンプ20、21及び六方バルブ25、26を経由して前記と同様
に廃棄する（No.4〜8 のステップ）。この置換に要する
時間は、33分間である。プログラムの実質的開始はNo.4
のステップからである。

【００９２】この吸収液置換の開始と同時に、捕集容器
２の次の洗浄（No.4のステップ）を開始し、引続いて既
述したと同様に、捕集容器２への吸収液の導入、吸収液
の水位設定（No.5のステップ）、バブリング（No.6〜N
o.10 のステップ）を行う。これらの操作に要する時間
は、洗浄が３分間、吸収液導入及び水位設定が50秒間、
バブリングが55分間である。これらの操作が終了する
と、前述の吸収液貯留容器15の洗浄の操作を開始する。

【００９３】上記のバブリング開始から９分10秒間を経
過した時点で、ワークステーション51がイオンクロマト
グラフィー開始の接点信号を出力し、前回の測定を終了
させる。

【００９４】この開始信号の出力から20分間経過した時
点で六方バルブ25、26を切換え、置換した新しい吸収液
及び吸収液貯留容器15内の吸収液５をイオン濃縮カラム
27、28に送り、前記と同様にしてイオン濃縮を25分間行
い、更にその後に六方バルブ25、26を切換えて測定を15
分間行う。

【００９５】イオン濃縮に続く測定中に、吸収液導出バ
ルブ18を閉じると共に吸収液排出バルブ７を開き、吸収
液貯留容器15内に残っている吸収液を排出する。この吸
収液排出に要する時間は50秒間である。

【００９６】測定は引続いて続行し、この間、前述の吸
収液貯留容器15の洗浄及び洗浄液排出、吸収液移動並び
に吸収液置換の操作を並行して行う。

【００９７】上記した一連の操作をまとめた図14から次
のことが理解できる。１つのサンプルについて、サンプ
リング準備から測定終了に至る時間は２時間13分間（N
o.4〜No.10 、No.1〜No.10 及びNo.1〜No.6の合計時
間）であり、図１の例におけると大差はない。然し、こ
の間、捕集容器２、吸収液貯留容器15、イオン濃縮部Ｂ
及び測定部Ｃは休むことなく稼動しており、夫々で並行
して操作がなされる。このようにして、第一のサンプル
の分析中に、第二のサンプル、更に第三のサンプルの分
析操作を並行して進行できることになる。

【００９８】その結果、図14のNo.1〜No.10 の合計60分
間のステップを間断なく繰返すことにより、No.6の終了
の時点で１時間毎に測定値が得られることは画期的なこ
とである。従って、図１の例における半分の時間のスパ
ン（２倍の測定ポイント）で分析を行うことができ、ク
リーンルーム内の雰囲気制御を一層高精度に行え、環境
対策にも十二分に対応できることになる。

【００９９】また、この例においては、貯留容器15内を
上記したように捕集容器２内の吸収液５の一部によって
洗浄（いわゆる共洗い）していることも重要である。即
ち、貯留容器15を仮に別個に導入した新たな洗浄液（純
水）で洗うと、この洗浄後に貯留容器15内の残留洗浄液
によって、捕集容器２から移動してきた吸収液５が薄め
られ、吸収液濃度を変化させてしまうが、上記の共洗い
の場合は、吸収液５の一部で洗うために測定に供される
吸収液の濃度変化はなく、従って測定誤差が少なくな
る。

【０１００】図15は、図13の変形例を示し、２個の捕集
容器を吸収液貯留容器の上流側に設け、空気の吸収につ
いては両捕集容器２、２を直列に接続し、かつ捕集容器
２、２内の吸収液５、５は並列にして吸収液貯留容器15
に移動させるようにしたものである。

【０１０１】このように構成することにより、上流側の
捕集容器２で捕集し切れなかった塩分を、下流側の捕集
容器２に捕集できるから、塩分を確実に捕集できる。こ
の場合、下流側の捕集容器内の吸収液と、上流側の捕集
容器内の吸収液とは塩分濃度に差が生じ易いので、吸収
液貯留容器15へ移動させるときに均一に混合する必要が
ある。このため、貯留容器15内で攪拌手段（図示しない
例えばマグネティックスターラ）によって吸収液を攪拌
し、均一な塩分濃度にすることが一案である。

【０１０２】以上、本発明の実施例を説明したが、上述
の実施例は本発明の技術的思想に基づいて更に変形が可
能である。

【０１０３】例えば、上述した捕集容器や貯留容器（及
びその吸収液飛散手段）の構造をはじめ、各管の配置、
接続状態等は様々に変更してよいし、また上述の六方バ
ルブや濃縮カラム等も他の同様の手段に変えてもよい。

【０１０４】また、本発明は、クリーンルーム内の空気
中の塩分分析のほか、例えば塩分の多い海岸近くの屋
内、屋外の空気中の塩分や、空気以外の気体中の塩分の
分析にも適用可能である。

【０１０５】

【発明の作用効果】本発明は、上述した如く、気体中に
含有されている塩分成分を、吸収液に溶解、捕集してイ
オン化した後、イオン濃縮の処理を施してからイオンク
ロマトグラフに導くようにしているので、分析時間が短
縮されるのみならず、極めて微量の塩分含有量でも定量
分析が可能であり、同時にイオンの種類を判別でき、定
性分析も可能である。

【０１０６】また、各分析毎に捕集容器を洗浄すること
により、不所望な成分の混入による測定誤差がなくな
り、高精度の連続分析が可能になる。この洗浄は、捕集
容器の上部に、洗浄液を排出するための洗浄液排出管を
設け、かつ捕集容器の底部に、吸収液又は洗浄液を排出
するための液排出手段と、前記吸収液又は前記洗浄液を
導入するための液導入手段とを設けることによって、効
果的に行える。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例による大気中の塩分の分析装置
の概略図である。

【図２】図１の陽イオン分析部分の詳細図である。

【図３】図１の陰イオン分析部分の詳細図である。

【図４】同、実施例の分析ステップを示すフローチャー
トである。

【図５】同、分析による陽イオンのイオンクロマトグラ
ムである。

【図６】同、分析による陰イオンのイオンクロマトグラ
ムである。

【図７】同、分析における塩分捕集開始時刻と分析結果
との関係を示すグラフである。

【図８】本発明の他の実施例による捕集容器の斜視図で
ある。

【図９】本発明の他の実施例による捕集容器の断面図で
ある。

【図10】本発明の他の実施例による捕集容器の断面図で
ある。

【図11】本発明の他の実施例による捕集容器の接続関係
を示す概略図である。

【図12】図11の実施例の測定ポイントと分析結果との関
係を示すグラフである。

【図13】本発明の他の実施例による大気中の塩分の分析
装置の概略図である。

【図14】図13の実施例のタイムプログラムを示すフロー
チャートである。

【図15】本発明の他の実施例による捕集容器と吸収液貯
留容器との接続関係を示す概略図である。

【図16】従来例による大気中の塩分の分析装置の概略図
である。

【図17】他の従来例による大気中の塩分の分析装置の概
略図である。

【符号の説明】

１大気取入れ口２捕集容器３流量計４吸引ポンプ５吸収液６、７、８、９、10、18、43ａ、43ｂバルブ 11 タイマ 12 電磁弁 15 吸収液貯留容器 16 吸収液飛散棒 20、21 イオン濃縮ポンプ 22、23 溶離液 24 陰イオン除去液 25、26 六方バルブ 27、28 イオン濃縮カラム 29、31 イオン（分離）カラム 30、33 導電率検出器 32 サプレッサ 41、43、45、46、47、48、48Ａ、48Ｂ、49、50、58
管 42 大気導出部 51 イオンクロマトワークステーションＡサンプリング部Ｂイオン濃縮部Ｃイオンクロマトグラフィー部（測定
部）Ｄ制御部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01N 30/00 - 30/96

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】捕集容器に設定された第一の液面レベル
迄前記捕集容器に入れられた所定量の吸収液中に所定量
の気体を導入し、この気体中に含有されている塩分を前
記吸収液に溶解して捕集した後に、この吸収液を前記第
一の液面レベルより低い第二の液面レベルに至る迄前記
捕集容器から導出し、イオンクロマトグラフに導いて、
前記塩分を分析するように構成され、かつ、前記イオン
クロマトグラフが、前記吸収液の送圧を高めるためのポ
ンプ手段と、前記吸収液の流路を切換えるための流路切
換え手段と、前記吸収液に溶解してイオン化した前記塩
分を濃縮するためのイオン濃縮手段とを有する、気体中
の塩分の分析装置であって、前記捕集容器の側壁に、前記吸収液の前記第一の液面レ
ベルを所定の高さに決めるための液面調整管が接続さ
れ、前記捕集容器の上部に、洗浄液を排出するための洗浄液
排出管と、排気手段を有する排気管とが接続され、前記捕集容器の容器壁を貫通してこの捕集容器内の前記
吸収液中に前記気体をバブルするための気体導入管を有
し、前記捕集容器の底部に、前記吸収液又は前記洗浄液を排
出するための液排出手段と、前記吸収液又は前記洗浄液
を導入するための液導入手段とを有する導液管部が接続
され、前記捕集容器には、前記第二の液面レベル位置に、前記
吸収液を前記イオンクロマトグラフへ導出するための吸
収液導出管が接続されている、気体中の塩分の分析装置。
【請求項２】液面調整管が液面調整バルブを有し、洗
浄液排出管が洗浄液排出バルブを有し、排気手段が排気
ポンプであり、捕集容器内の吸収液に大気をバブルする
ための大気導入管が設けられ、液排出手段及び液導入手
段がそれぞれバルブであり、吸収液導出管が吸収液導出
バルブを有する、請求項１に記載された装置。
【請求項３】導液管に液排出バルブが設けられ、捕集
容器と前記液排出バルブとの間に、液導入バルブを設け
た液導入管が接続されている、請求項２に記載された装
置。
【請求項４】前回の分析後に捕集容器中に残存してい
る吸収液を前記捕集容器から排出する第一のステップ
と；この第一のステップ後に前記捕集容器中になお残存
している吸収液を洗浄液の導入により前記捕集容器から
洗浄除去する第二のステップと；新しい吸収液を前記捕
集容器内に第一の液面レベルに迄導入する第三のステッ
プと；前記の新しい吸収液中に気体を導入し、この気体
中に含有されている塩分を前記の新しい吸収液に溶解さ
せて捕集する第四のステップと；前回の分析後に吸収液
導出バルブと流路路切換えバルブ手段との間に残存して
いる吸収液を、前記塩分を溶解、捕集した吸収液の一部
と置換して排出する第五のステップと；前記流路切換え
バルブ手段を切換えて、前記の塩分を溶解、捕集した吸
収液をイオン濃縮手段に通す第六のステップと；前記流
路切換えバルブ手段を更に切換えて、前記イオン濃縮手
段で濃縮されたイオンを溶離液により分離し、イオンク
ロマトグラフによる塩分の分析に供する第七のステップ
と；からなるプログラムにより操作される、請求項１〜
３のいずれかに記載された装置。
【請求項５】捕集容器とイオンクロマトグラフとの間
に、塩分を吸収した吸収液を一旦貯留する吸収液貯留容
器が設けられ、前記捕集容器の側壁に、吸収液の第一の液面レベルを所
定の高さに決めるための液面調整バルブを有する液面調
整管が接続され、前記捕集容器の上部に、洗浄液排出バルブを介して洗浄
液を排出するための洗浄液排出管と、排気ポンプを有す
る排気管とが接続され、前記捕集容器の容器壁を貫通してこの捕集容器内の前記
吸収液中に大気をバブルするための大気導入管を有し、前記捕集容器の底部に、前記吸収液又は前記洗浄液を導
入するための液導入バルブを有する液導入管が接続さ
れ、第二の液面レベル位置に、前記吸収液を前記吸収液
貯留容器へ導出するための第一の吸収液導出バルブを有
する第一の吸収液導出管が接続され、前記吸収液貯留容器の底部に、前記吸収液を前記イオン
クロマトグラフへ導出するための第二の吸収液導出バル
ブを有する第二の吸収液導出管と、前記吸収液を排出す
るための吸収液排出バルブを有する吸収液排出管とが接
続されている、請求項１に記載された装置。
【請求項６】前回の分析後に前記捕集容器中に残存し
ている吸収液を洗浄液の導入により前記捕集容器から洗
浄除去する第一のステップと；新しい吸収液を前記捕集
容器内に第一の液面レベルに迄導入する第二のステップ
と；前記の新しい吸収液中に気体を導入し、この気体中
に含有されている塩分を前記の新しい吸収液に溶解させ
て捕集する第三のステップと；塩分を溶解、捕集した吸
収液の一部を吸収液貯留容器に導入し、この吸収液貯留
容器の洗浄に供すると共にこの吸収液貯留容器から排出
する第四のステップと；前記の塩分を溶解、捕集した残
りの吸収液を前記吸収液貯留容器に収容する第五のステ
ップと；前回の分析後に第二の吸収液導出バルブと流路
切換えバルブ手段との間に残存している吸収液を、前記
の塩分を溶解、捕集した前記残りの吸収液の一部と置換
して排出する第六のステップと；前記流路切換えバルブ
手段を切換えて、前記の塩分を溶解、捕集した吸収液を
イオン濃縮手段に通す第七のステップと；前記流路切換
えバルブ手段を更に切換えて、前記イオン濃縮手段で濃
縮されたイオンを溶離液により分離し、イオンクロマト
グラフによる塩分の分析に供すると共に、前記吸収液貯
留容器内に残存する吸収液を排出する第八のステップ
と；からなるプログラムであって、前記第六のステップ
の開始と同時に前記捕集容器にて前記第一のステップを
開始するプログラムにより操作される、請求項５に記載
された装置。
【請求項７】吸収液貯留容器に、導入される吸収液を
衝突させて飛散させるための吸収液飛散手段が設けられ
ている、請求項５又は６に記載された装置。
【請求項８】大気導入管及び排気管が、洗浄液排出管
よりも高い位置の部分を有する、請求項２〜７のいずれ
かに記載された装置。
【請求項９】捕集容器の底面が傾斜し、この傾斜底面
の最深部に導液管部と吸収液導出管とが接続されてい
る、請求項２〜８のいずれかに記載された装置。
【請求項10】各バルブの開閉、各ポンプの駆動開始及
び駆動停止並びにイオンクロマトグラフの作動開始及び
作動停止を、予め設定されたプログラムに従って制御す
る制御手段を有する、請求項１〜９のいずれかに記載さ
れた装置。
【請求項11】前回の分析後に捕集容器中に残存してい
る吸収液を前記捕集容器から排出させる第一のステップ
と；この第一のステップ後に前記捕集容器中になお残存
している吸収液を洗浄液の導入により前記捕集容器から
洗浄除去する第二のステップと；新しい吸収液を前記捕
集容器内に第一の液面レベルに迄導入する第三のステッ
プと；前記の新しい吸収液中に気体を導入し、この気体
中に含有されている塩分を前記の新しい吸収液に溶解さ
せて捕集する第四のステップと；前回の分析後に吸収液
導出バルブと流路切換えバルブ手段との間に残存してい
る吸収液を、前記塩分を溶解、捕集した吸収液の一部と
置換して排出する第五のステップと；前記流路切換えバ
ルブ手段を切換えて、前記の塩分を溶解、捕集した吸収
液をイオン濃縮手段に通す第六のステップと；前記流路
切換えバルブ手段を更に切換えて、前記イオン濃縮手段
で濃縮されたイオンを溶離液により分離し、イオンクロ
マトグラフによる塩分の分析に供する第七のステップ
と；を有する、請求項１〜４及び８〜10のいずれかに記
載された装置の使用方法。
【請求項12】前回の分析後に捕集容器中に残存してい
る吸収液を洗浄液の導入により前記捕集容器から洗浄除
去する第一のステップと；新しい吸収液を前記捕集容器
内に第一の液面レベルに迄導入する第二のステップと；
前記の新しい吸収液中に気体を導入し、この気体中に含
有されている塩分を前記の新しい吸収液に溶解させて捕
集する第三のステップと；塩分を溶解、捕集した吸収液
の一部を吸収液貯留容器に導入し、この吸収液貯留容器
の洗浄に供すると共にこの吸収液貯留容器から排出する
第四のステップと；前記の塩分を溶解、捕集した残りの
吸収液を前記吸収液貯留容器に収容する第五のステップ
と；前回の分析後に第二の吸収液導出バルブと流路切換
えバルブ手段との間に残存している吸収液を、前記の塩
分を溶解、捕集した前記残りの吸収液の一部と置換して
排出する第六のステップと；前記流路切換えバルブ手段
を切換えて、前記の塩分を溶解、捕集した吸収液をイオ
ン濃縮手段に通す第七のステップと；前記流路切換えバ
ルブ手段を更に切換えて、前記イオン濃縮手段で濃縮さ
れたイオンを溶離液により分離し、イオンクロマトグラ
フによる塩分の分析に供すると共に、前記吸収液貯留容
器内に残存する吸収液を排出する第八のステップと；を
繰返し、かつ、前記第六のステップの開始と同時に前記
捕集容器にて前記第一のステップを開始する、請求項５
〜10のいずれかに記載された装置の使用方法。
【請求項13】捕集容器を毎回の塩分捕集に先立って第
一のステップにより洗浄し、かつ、吸収液貯留容器を毎
回の吸収液収容に先立って第四のステップにより洗浄す
る操作を行う、請求項12に記載された方法。