JP3350488B2 - 電気コネクタ及びその製造方法 - Google Patents

電気コネクタ及びその製造方法

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    • H01R13/533Bases, cases made for use in extreme conditions, e.g. high temperature, radiation, vibration, corrosive environment, pressure
    • HELECTRICITY
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    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、シリコンウェハに
直接露光するための縮小投影露光装置(ステッパ)等の
産業機器に使用される電気コネクタ及びその製造方法に
関する。
【0002】
【従来の技術】従来のステッパ等の産業機器に使用され
る電気コネクタは、例えば、図3に示すように、PBT
(ポリブチレンテレフタレート)等の絶縁性を有する熱
可塑性樹脂を成形することによって製造されたハウジン
グ110と、ハウジング110に形成された複数のコン
タクト収容通路111に取付けられ、電線に接続される
複数の電気コンタクト(図示せず)とを具備している。
そして、この電気コネクタ100は、例えば、相手コネ
クタ200と嵌合し、電気コネクタ100側に接続され
た電線と相手コネクタ200側に接続された回路基板
(図示せず)とを相互接続するようになっている。相手
コネクタ200は、PBT等の絶縁性を有する熱可塑性
樹脂を成形することによって製造されたハウジング21
0と、このハウジング210に取付けられ、前記電気コ
ンタクトと接触すると共に回路基板に接続される複数の
相手コンタクト220とを具備している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この従
来の電気コネクタ100及び相手コネクタ200にあっ
ては、以下の問題点があった。即ち、電気コネクタ10
0及び相手コネクタ200を用いてステッパの電気配線
をすると、これらコネクタ100及び200がステッパ
の真空槽内に配置されることがある。これらコネクタ1
00及び200が真空槽内に配置されると、ハウジング
110及び210が減圧され、ハウジング110及び2
10を構成する可塑材が揮発し、揮発した可塑材がステ
ッパの光学レンズを曇らせてしまい、シリコンウェハへ
の適切な露光が行えないことがあった。
【0004】従って、本発明は、上述の問題点を解決す
るためになされたものであり、その目的は、ステッパ等
における真空槽内に配置されてもハウジングの材料が揮
発することのない化学的に安定した電気コネクタ及びそ
の製造方法を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記問題を解決するた
め、本発明のうち請求項1に係る電気コネクタは、絶縁
性を有する熱可塑性樹脂を成形して形成され、後面に貫
通するコンタクト収容通路を有するハウジングと、該ハ
ウジングに取り付けられた電気コンタクトとを具備した
電気コネクタにおいて、前記コンタクト収容通路を含む
前記ハウジングの全体に、主材として四フッ化エチレン
樹脂を含む塗料を、該塗料に前記ハウジングを浸漬し焼
き付けることで塗装することにより、低圧下における前
記ハウジングの揮発を防止したことを特徴としている。
【0006】この電気コネクタによれば、ステッパ等に
おける真空槽内に配置されると、ハウジング及びその全
面に塗装された塗料が減圧されるが、その塗料は主材と
して四フッ化エチレン樹脂を含み、この四フッ化エチレ
ン樹脂は低圧下において難揮発性を有するので、揮発し
ない。又、塗料によって塗装されたハウジングも、ハウ
ジングの全面に揮発しない塗料が塗装されているので、
揮発することはない。
【0007】又、本発明のうち請求項2に係る電気コネ
クタの製造方法は、絶縁性を有する熱可塑性樹脂を成形
し、後面に貫通するコンタクト収容通路を有するハウジ
ングを形成する工程と、前記コンタクト収容通路を含む
前記ハウジングの全体を、主材として四フッ化エチレン
樹脂を含む塗料に所定時間浸漬する工程と、前記塗料を
焼き付ける工程と、前記塗料を焼き付けた前記ハウジン
グに電気コンタクトを取付ける工程とを具備することを
特徴としている。
【0008】この電気コネクタの製造方法によれば、ハ
ウジングの全面に主材として四フッ化エチレン樹脂を含
む塗料が塗装された電気コネクタが得られる。このた
め、請求項1に係る電気コネクタと同様に、ステッパ等
における真空槽内に配置されると、ハウジング及びその
全面に塗装された塗料が減圧されるが、その塗料は主材
として四フッ化エチレン樹脂を含み、この四フッ化エチ
レン樹脂は低圧下において難揮発性を有するので、揮発
しない。又、塗料によって塗装されたハウジングも、ハ
ウジングの全面に揮発しない塗料が塗装されているの
で、揮発することはない。又、ハウジングの全体を、主
材として四フッ化エチレン樹脂を含む塗料に所定時間浸
漬する工程を含むので、ハウジング内部の細部、例え
ば、ハウジングに形成されるコンタクト収容通路の内面
にも適切に効率よく塗料を塗装することができる。
【0009】
【発明の実施の形態】次に本発明の実施形態を図面を参
照して説明する。図1は、本発明に係る電気コネクタに
使用されるハウジングを示し、(a)は平面図、(b)
は正面図、(c)は右側面図である。図2は、図1
(b)の2- 2線に沿った部分断面図である。
【0010】図1及び図2において、ハウジング10
は、前面11、後面12、上面13、下面14、及び両
側面15を有する略直方体形状を有し、その内部に後面
12に貫通する複数のコンタクト収容通路16を有し、
上面13に相手コネクタ(図示せず)に嵌合した際にそ
の相手コネクタにロックするためのロック部材20を具
えている。そして、複数のコンタクト収容通路16内に
金属製の電気コンタクト(図示せず)を挿入係止するこ
とによって電気コネクタは構成される。これら電気コン
タクトは、本実施形態では、タブ又はポスト型の相手コ
ンタクトを受容するリセプタクルコンタクトである。こ
こで、各コンタクト収容通路16の前部には、ハウジン
グ10の前面11に貫通する相手コンタクト受容孔17
が形成され、各コンタクト収容通路16の長手方向略中
央部の上面には電気コンタクトの弾性係止部材を係止す
るための係止肩18が形成されている。又、ロック部材
20の長手方向略中央部の上面には、相手コネクタにロ
ックするための1対のロック爪21が突出形成され、ハ
ウジング10の上面13の長手方向後方部には、ロック
部材20の下への電線の進入を防止するための1対の突
起22が突出形成されている。更に、ハウジング10の
上部には、前面11から後面12にかけて貫通する複数
の肉抜き19が形成されている。
【0011】そして、ハウジング10は、絶縁性を有す
る熱可塑性樹脂(本実施形態にあってはPBT)を成形
すると共に、前面11、後面12、上面13、下面1
4、両側面15、コンタクト収容通路16の内面、及び
ロック部材20の外面を含む全面に主材として四フッ化
エチレン樹脂を含む塗料23を塗装することによって形
成される。ここで、塗料の成分は、主材としての四フッ
化エチレン樹脂の他に、接着剤としてのエポキシ樹脂及
びフェノール樹脂、染料としての金属染料、及び溶剤と
してのメチルエチルケトン、トルエン、アセトン、n-
ブチルアルコールで構成され、東洋ドライルーブ株式会
社製の商品名「DRILUBE FB- 2141」が塗
料として使用される。四フッ化エチレン樹脂は、塗料2
3に約40重量%含まれる。又、この塗料23の塗装膜
厚は、ハウジング10のコーナー部を除いて10μm〜
50μmとしてある。この塗装膜厚は、厚いほどよい
が、コンタクト収容通路16内に既存の電気コンタクト
を挿入するに際して支障のない範囲として50μmを最
大値としてある。
【0012】次に、図1及び図2に示すハウジング10
を使用した電気コネクタの製造方法について具体的に説
明する。電気コネクタを製造するに際しては、先ず、ハ
ウジング10を、PBTを成形することによって形成す
る。次いで、成形されたハウジング10の全体を、槽内
に満たされた塗料としての「DRILUBE FB- 2
141」内に所定時間浸漬すると共にその塗料から取り
出す。その後、塗料に浸漬されたハウジング10をオー
ブン内に入れて、塗料を160℃の温度で30分間焼き
付ける。その後、ハウジング10の各コンタクト収容通
路16内に電気コンタクトを挿入係止すれば、電気コネ
クタは完成する。
【0013】このように製造された電気コネクタを用い
てステッパの電気配線をし、この電気コネクタがステッ
パの真空槽内に配置された場合には、ハウジング10及
びその全面に塗装された塗料23が減圧されるが、その
塗料23は主材として四フッ化エチレン樹脂を含み、こ
の四フッ化エチレン樹脂は低圧下において難揮発性を有
するので、揮発しない。ここで、主材である四フッ化エ
チレン樹脂以外の接着剤及び染料は、いくらか揮発する
と考えられるが、実用上問題のない揮発量に抑えられて
いることがわかっている。又、塗料内の溶剤は、焼き付
け工程で既に揮発してしまっているので、問題となるこ
とはない。又、塗料23によって塗装されたハウジング
10も、ハウジング10の全面に揮発しない塗料23が
塗装されているので、揮発することはない。このため、
ハウジング10や塗料23から揮発した材料がステッパ
の光学レンズを曇らせてしまうことはなく、シリコンウ
ェハへの適切な露光を行えることになる。
【0014】一方、ハウジング10全体を四フッ化エチ
レン樹脂によって成形し、ハウジング材料の揮発を防止
することも考えられるが、四フッ化エチレン樹脂は成形
性が悪く、ハウジング10を成形するのが困難である。
しかし、本実施形態にあっては、ハウジング10全体を
成形性の良いPBTによって成形しておいてから、ハウ
ジング10の全面に、主材として四フッ化エチレン樹脂
を含む塗料23を塗装したので、ハウジング10の成形
には支障がない。又、費用の高い四フッ化エチレン樹脂
を少量使用することによって、ハウジング材料の揮発を
防止することができるから、経済的な電気コネクタとす
ることができる。
【0015】更に、ハウジング10の全面に塗料23を
塗装する方法として、ハウジング10の全体を、塗料に
所定時間浸漬する方法を採用しているので、ハウジング
10内部の細部、例えば、ハウジング10に形成される
コンタクト収容通路16の内面、相手コンタクト受容孔
17の内面にも適切に効率よく塗料23を塗装すること
ができる。
【0016】以上の本発明の実施形態の説明にあって
は、塗料23を塗装したハウジング10を有する電気コ
ネクタがステッパの電気配線用に使用される場合につい
て説明してきたが、本発明はこれに限らず、かかる電気
コネクタを他の産業機器の電気配線用に使用することが
できる。
【0017】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のうち請求
項1に係る電気コネクタによれば、コンタクト収容通路
を含むハウジングの全体に、主材として四フッ化エチレ
ン樹脂を含む塗料を、該塗料に前記ハウジングを浸漬し
焼き付けることで塗装することにより、低圧下における
前記ハウジングの揮発を防止したので、ステッパ等にお
ける真空槽内に配置されてもその塗料は揮発せず、又、
塗料によって塗装されたハウジングも、ハウジングの全
面に塗装された塗料が揮発しないから揮発することはな
い。このため、ハウジングや塗料から揮発した材料が、
例えば、ステッパの光学レンズを曇らせてしまうことは
なく、シリコンウェハへの適切な露光を行うことができ
る。又、必要な部分にだけ主材として四フッ化エチレン
樹脂を含む塗料を塗装したので、ハウジングの成形も容
易、適切に行うことができる。又、費用の高い四フッ化
エチレン樹脂を少量使用することによって、ハウジング
材料の揮発を防止することができるから、経済的な電気
コネクタとすることができる。
【0018】又、本発明のうち請求項2に係る電気コネ
クタの製造方法によれば、絶縁性を有する熱可塑性樹脂
を成形し、後面に貫通するコンタクト収容通路を有する
ハウジングを形成する工程と、コンタクト収容通路を含
ハウジングの全体を、主材として四フッ化エチレン樹
脂を含む塗料に所定時間浸漬する工程と、前記塗料を焼
き付ける工程と、前記塗料を焼き付けた前記ハウジング
に電気コンタクトを取付ける工程とを具備しているの
で、ハウジングの全体に主材として四フッ化エチレン樹
脂を含む塗料が塗装された電気コネクタが得られる。こ
のため、請求項1に係る電気コネクタと同様に、ステッ
パ等における真空槽内に配置されてもその塗料は揮発せ
ず、又、塗料によって塗装されたハウジングも揮発する
ことはない。又、ハウジングの全体を、主材として四フ
ッ化エチレン樹脂を含む塗料に所定時間浸漬する工程を
含むので、ハウジング内部の細部、例えば、ハウジング
に形成されるコンタクト収容通路の内面にも適切に効率
よく塗料を塗装することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る電気コネクタに使用されるハウジ
ングを示し、(a)は平面図、(b)は正面図、(c)
は右側面図である。
【図2】図1(b)の2- 2線に沿った部分断面図であ
る。
【図3】従来例の電気コネクタと相手コネクタとを示す
それぞれの嵌合前の斜視図である。
【符号の説明】
10はハウジング 16はコンタクト収容通路 23は塗料
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平6−68929(JP,A) 特開 平8−99375(JP,A) 特開 昭49−9681(JP,A) 特開 平6−107826(JP,A) 特開 昭61−192744(JP,A) 特開 平8−112501(JP,A) 特開 平9−33757(JP,A) 特開 平4−354327(JP,A) 実開 昭63−159218(JP,U) 実開 昭64−38313(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01R 13/533 H01L 21/027 H01R 13/00 H01R 43/00

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】絶縁性を有する熱可塑性樹脂を成形して形
    成され、後面に貫通するコンタクト収容通路を有する
    ウジングと、該ハウジングに取り付けられた電気コンタ
    クトとを具備した電気コネクタにおいて、前記コンタクト収容通路を含む 前記ハウジングの全体
    に、主材として四フッ化エチレン樹脂を含む塗料を、該
    塗料に前記ハウジングを浸漬し焼き付けることで塗装す
    ることにより、低圧下における前記ハウジングの揮発を
    防止したことを特徴とする電気コネクタ。
  2. 【請求項2】絶縁性を有する熱可塑性樹脂を成形し、後
    面に貫通するコンタクト収容通路を有するハウジングを
    形成する工程と、前記コンタクト収容通路を含む 前記ハウジングの全体
    を、主材として四フッ化エチレン樹脂を含む塗料に所定
    時間浸漬する工程と、 前記塗料を焼き付ける工程と、 前記塗料を焼き付けた前記ハウジングに電気コンタクト
    を取付ける工程とを具備することを特徴とする電気コネ
    クタの製造方法。
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