JP3343330B2 - Method for producing insulating varnish, insulating varnish obtained by this method, and multilayer printed wiring board using this insulating varnish - Google Patents

Method for producing insulating varnish, insulating varnish obtained by this method, and multilayer printed wiring board using this insulating varnish

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JP3343330B2
JP3343330B2 JP27537797A JP27537797A JP3343330B2 JP 3343330 B2 JP3343330 B2 JP 3343330B2 JP 27537797 A JP27537797 A JP 27537797A JP 27537797 A JP27537797 A JP 27537797A JP 3343330 B2 JP3343330 B2 JP 3343330B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、高密度化に優れた
多層プリント配線板用の絶縁ワニスとその製造方法並び
にこれを用いた多層プリント配線板に関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an insulating varnish for a multilayer printed wiring board excellent in high density, a method for manufacturing the same, and a multilayer printed wiring board using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】プリント配線板は、通常、銅箔とプリプ
レグを積層、熱圧成形して得た銅張積層板に回路加工し
て得られる。また、多層プリント配線板は、これらのプ
リント配線板同士をプリプレグを介して熱圧成形するか
又は、これらのプリント配線板と銅箔とをプリプレグを
介して熱圧成形して一体化して得た内層回路入り多層銅
張積層板の表面に、回路を形成して得られる。
2. Description of the Related Art A printed wiring board is usually obtained by laminating a copper foil and a prepreg, and performing circuit processing on a copper-clad laminate obtained by hot pressing. Further, a multilayer printed wiring board was obtained by hot-pressing these printed wiring boards via a prepreg, or by hot-pressing these printed wiring boards and copper foil through a prepreg and integrating them. It is obtained by forming a circuit on the surface of a multilayer copper-clad laminate containing an inner layer circuit.

【0003】プリント配線板用のプリプレグには、従
来、ガラスクロスに樹脂を含浸乾燥し樹脂を半硬化状態
にしたガラスクロスプリプレグが使われている。また、
多層プリント配線板には、該ガラスクロスプリント配線
板の他に、ガラスクロスを用いないプリプレグであるフ
ィルム形成能を有する樹脂を半硬化状態にした接着フィ
ルムが、特開平6−200216号公報や、特開平6−
242465号公報に開示され、該接着フィルムを銅箔
の片面に形成した銅箔付き接着フィルムが、特開平6−
196862号公報に開示されている。ここでいうフィ
ルム形成能とは、プリプレグの搬送、切断及び積層等の
工程中において、樹脂の割れや欠落等のトラブルを生じ
にくく、その後の熱圧成形時に層間絶縁層が内層回路存
在部等で異常に薄くなったり、層間絶縁抵抗の低下やシ
ョートというトラブルを生じにくい性能を意味する。
Conventionally, as a prepreg for a printed wiring board, a glass cloth prepreg obtained by impregnating and drying a glass cloth with a resin to make the resin semi-cured is used. Also,
In the multilayer printed wiring board, in addition to the glass cloth printed wiring board, an adhesive film in a semi-cured state of a resin having a film forming ability, which is a prepreg that does not use glass cloth, is disclosed in JP-A-6-200216, JP-A-6
No. 242465 discloses an adhesive film with a copper foil in which the adhesive film is formed on one side of a copper foil.
It is disclosed in 196,862. The film forming ability here means that during the steps of transporting, cutting, and laminating the prepreg, troubles such as cracking or chipping of the resin are unlikely to occur. It means performance that is unlikely to cause troubles such as abnormal thinning, reduction in interlayer insulation resistance and short circuit.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】近年、電子機器の小型
軽量化、高性能化、低コスト化が進行し、プリント配線
板には高密度化、薄型化、高信頼性化、低コスト化が要
求されている。高密度化のためには、微細配線が必要で
あり、そのためには表面の平坦性が良好でかつ、寸法安
定性が良好でなくてはなくらない。さらに微細なスルー
ホールやインタースティシャルバイアホール(IVH)
が必要であり、ドリル加工性、レーザ穴加工性が良好で
あることが要求されている。
In recent years, electronic devices have been reduced in size, weight, performance, and cost, and printed wiring boards have been required to have higher density, thinner, higher reliability, and lower cost. Has been requested. For high density, fine wiring is required, and for that purpose, the surface must have good flatness and good dimensional stability. Finer through holes and interstitial via holes (IVH)
It is required that drill workability and laser hole workability are good.

【0005】表面の平坦性を良好にするためには、多層
化積層成形時の樹脂の流動性を高くする必要があり、こ
れにはエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂の適用が望ましい
が、エポキシ樹脂は、成形前の段階の分子量が低いため
に高い流動性を示すが、シート状の絶縁材料を形成する
性質を有していない。そこで、従来はガラスクロス等の
補強基材に絶縁樹脂を含浸させたプリプレグを予め作製
し、これを絶縁層に用いてきた。しかし、現在、プリプ
レグ用に一般的に使用されているガラスクロスは、その
厚みが薄くなるに従いヤーン(ガラス繊維束)同士の間
の隙間が大きくなる。そのため、厚みが薄いクロスほど
目曲がり(ヤーンが曲がったり、本来直角に交差すべき
縦糸と横糸が直角でなく交差する現象)が発生しやすく
なる。この目曲がりが原因となり、熱圧成形後に異常な
寸法変化やそりを生じやすくなる。さらに、薄いガラス
クロスほどヤーン間の隙間が大きいため、プリプレグの
繊維の体積分率が低くなるため、層間絶縁層の剛性が低
下し、外層の回路を加工した後の部品実装工程等におい
て、たわみが大きくなりやすく問題となっている。現
在、一般に使用されているガラスクロスで最も薄いのは
30μmのクロスであり、これを使用したプリプレグの
厚さは40μm程度になる。これ以上にプリプレグの厚
さを薄くするために、樹脂分を減らすと内層回路の凹凸
への樹脂による穴埋め性が低下しボイドが発生する。ま
た、これ以上にガラスクロスを薄くすると、クロス自体
の強度が低下するため、ガラスクロスに樹脂を含浸する
工程でガラスクロスが破断しやすくなり、プリプレグの
製造が困難になる。さらに、これらのガラスクロスを使
用したプリプレグを用いて作製した多層プリント配線板
は、小径ドリル加工時に偏在するガラスクロスによって
芯ぶれがしやすく、ドリルを折りやすい、ガラス繊維の
存在のため、レーザによる穴あけ性が悪く、内層回路の
凹凸が表面に現れやすく表面平坦性が悪い等の課題があ
る。
[0005] In order to improve the flatness of the surface, it is necessary to increase the fluidity of the resin at the time of multilayer lamination molding. For this purpose, it is desirable to use a thermosetting resin such as an epoxy resin. The resin exhibits high fluidity due to its low molecular weight before molding, but does not have the property of forming a sheet-like insulating material. Therefore, conventionally, a prepreg in which a reinforcing base material such as a glass cloth is impregnated with an insulating resin has been prepared in advance and used for the insulating layer. However, at present, the glass cloth generally used for prepregs has a larger gap between yarns (glass fiber bundles) as its thickness becomes thinner. For this reason, the thinner the cloth, the more the curling (the phenomenon that the yarn is bent or the warp and the weft, which should intersect at right angles, intersect at right angles rather than at right angles) is more likely to occur. Due to this bending, abnormal dimensional changes and warpage tend to occur after hot pressing. Furthermore, the thinner the glass cloth, the larger the gap between the yarns, the lower the volume fraction of the fibers of the prepreg, and the lower the rigidity of the interlayer insulating layer, and the higher the deflection in the component mounting process after processing the outer layer circuit. Is a problem that tends to be large. At present, the thinnest glass cloth generally used is a 30 μm cloth, and the thickness of a prepreg using the cloth is about 40 μm. If the resin content is reduced in order to further reduce the thickness of the prepreg, the ability to fill holes in the unevenness of the inner layer circuit with the resin is reduced, and voids are generated. Further, if the glass cloth is made thinner than this, the strength of the cloth itself is reduced, so that the glass cloth is easily broken in the step of impregnating the glass cloth with a resin, and it becomes difficult to manufacture a prepreg. In addition, multilayer printed wiring boards manufactured using prepregs using these glass cloths are apt to be misaligned due to unevenly distributed glass cloth during small-diameter drilling, and are easy to break the drill. There are problems such as poor drilling property, unevenness of the inner layer circuit easily appearing on the surface, and poor surface flatness.

【0006】一方、ガラスクロスのないプリプレグであ
る接着フィルムや銅箔付き接着フィルムは、厚さをより
薄くでき、小径ドリル加工性、レーザ穴加工性及び表面
平坦性に優れる。しかしながら、これらのプリプレグで
作製した多層プリント配線板は、外層絶縁層にガラスク
ロス基材がないため、剛性が極めて低い。この剛性の低
さは、高温下において極めて顕著であり、部品実装工程
においてたわみが生じやすく、ワイヤーボンディング性
が低く、また、外層絶縁層にガラスクロス基材がなく熱
膨張率が大きいため、実装部品との熱膨張の差が大き
く、実装部品との接続信頼性が低く、加熱冷却の熱膨張
収縮によるはんだ接続部に、クラックや破断が起こりや
すい等の多くの課題を抱えている。
On the other hand, an adhesive film which is a prepreg without a glass cloth or an adhesive film with a copper foil can be made thinner, and is excellent in small diameter drilling property, laser hole processing property and surface flatness. However, the multilayer printed wiring boards made with these prepregs have extremely low rigidity because the outer insulating layer does not have a glass cloth base material. This low rigidity is extremely remarkable at high temperatures, and it is easy to bend in the component mounting process, the wire bonding property is low, and the outer insulating layer has no glass cloth base material and the coefficient of thermal expansion is large, so mounting There are many problems, such as a large difference in thermal expansion from the component, low reliability of connection with the mounted component, and easy cracking and breakage at the solder connection due to thermal expansion and contraction during heating and cooling.

【0007】そこで、従来のプリプレグでは解決できな
い多層プリント配線板に対する高密度化、薄型化、高信
頼性化、低コスト化という課題を解決するための新規絶
縁材料として、ガラスクロス等の基材を含まず、形状保
持のための電気絶縁性ウィスカーを分散させることによ
り得られるワニスを、キャリア基材に流延して得られる
シート状の絶縁材料が提案され、開発されてきた。しか
し、電気絶縁性ウィスカーを絶縁樹脂中に分散させるた
めには、特殊な混練設備が必要であったり、電気絶縁性
ウィスカーの表面処理を適切に行うことが必要になる
が、そのような対策が不十分な場合、作製した絶縁材料
を多層プリント配線板に用いた場合に、絶縁不良を起こ
すことがある。これは、電気絶縁性ウィスカーの絶縁ワ
ニス中の分散が適切でなかったり、電気絶縁性ウィスカ
ー/樹脂の界面(以下、界面と略す。)の接着性が不十
分な部分が存在し、この界面を通して水分の拡散が進
み、絶縁層中のイオン性不純物による銅箔の銅の溶出を
促進させてしまうことがあるためである。
Therefore, a base material such as glass cloth is used as a new insulating material for solving the problems of high density, thinness, high reliability, and low cost for a multilayer printed wiring board that cannot be solved by a conventional prepreg. A sheet-like insulating material obtained by casting a varnish obtained by dispersing an electrically insulating whisker for keeping a shape on a carrier substrate without containing the same has been proposed and developed. However, in order to disperse the electrically insulating whisker in the insulating resin, special kneading equipment is required or the surface treatment of the electrically insulating whisker needs to be appropriately performed. Insufficient insulation may occur when the produced insulating material is used for a multilayer printed wiring board. This is because there is a portion where the electric insulating whisker is not properly dispersed in the insulating varnish, or there is a portion where the electric insulating whisker / resin interface (hereinafter, abbreviated as “interface”) has insufficient adhesiveness. This is because the diffusion of the moisture progresses and the elution of copper from the copper foil by the ionic impurities in the insulating layer may be promoted.

【0008】通常、各種充填剤の界面の接着性及び分散
性を向上させる手法としては、カップリング剤等の処理
剤により、予め表面を処理した充填剤を用いる手法があ
るが、処理充填剤はコストが高く、市販されている処理
充填剤の種類も非常に限られているため、各種樹脂配合
系に適した処理充填剤を選択するのは困難であった。ま
た、充填剤を処理する場合、通常は処理剤の希釈溶液等
に浸漬またはスプレー等による噴霧後、加熱乾燥させる
が、この乾燥工程には、処理充填剤の表面にカップリン
グ剤がオリゴマ化して物理的吸着層を形成するという課
題と、充填剤が凝集するため、ワニス等への配合時に微
粉砕する必要があり、このため充填剤の表面は不均一な
処理層が残ってしまうという課題があり、この物理的吸
着層や不均一な処理層が、積層板とした場合に界面の接
着性を低下させる。
Usually, as a method of improving the adhesiveness and dispersibility of the interface of various fillers, there is a method of using a filler whose surface has been previously treated with a treating agent such as a coupling agent. Since the cost is high and the types of commercially available processing fillers are very limited, it has been difficult to select a processing filler suitable for various resin compounding systems. When the filler is treated, it is usually heated and dried after being immersed in a diluted solution of the treating agent or sprayed by a spray or the like, but in this drying step, the coupling agent is oligomerized on the surface of the treated filler. The problem of forming a physical adsorption layer and the problem that the filler agglomerates and therefore needs to be finely pulverized at the time of blending into a varnish or the like, so that the surface of the filler leaves an uneven treatment layer. In some cases, the physical adsorption layer and the non-uniform processing layer reduce the adhesiveness of the interface when the laminate is used.

【0009】この解決策として、ワニス配合時に直接カ
ップリング剤を添加する方法が、特開昭61−2722
43号公報に開示されているが、この方法では、予め樹
脂が配合されているためワニスの粘度が高く、充填剤の
凝集はある程度回避できるものの、カップリング剤が選
択的に充填剤表面に均一に配向できず、十分な界面接着
性を発現できないという課題があった。
As a solution to this problem, a method of directly adding a coupling agent at the time of compounding a varnish is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-2722.
In this method, although the resin is preliminarily compounded, the varnish has a high viscosity and can avoid agglomeration of the filler to some extent. However, there was a problem that the orientation could not be achieved, and sufficient interface adhesion could not be exhibited.

【0010】本発明は、上記従来技術の問題点を解決
し、電気絶縁性ウィスカーを複合化させた絶縁ワニスを
製造する際に、電気絶縁性ウィスカーの分散性がよく外
観が良好となり、多層プリント配線板を成形した際に界
面の接着性が向上し、高信頼性化や低熱膨張率化等を発
現する絶縁ワニスを提供するものである。
The present invention solves the above-mentioned problems of the prior art, and when producing an insulating varnish in which electric insulating whiskers are compounded, the electric insulating whiskers have a good dispersibility and a good appearance, so that a multilayer print can be obtained. An object of the present invention is to provide an insulating varnish in which the adhesiveness of an interface is improved when a wiring board is formed, and high reliability and a low coefficient of thermal expansion are exhibited.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明の絶縁性ワニスの
製造方法は、電気絶縁性ウィスカーと、シロキサン繰り
返し単位が2個以上で、末端に基材表面の水酸基と反応
する官能基を1個以上有するシリコーンオリゴマ溶液か
らなる電気絶縁性ウィスカーの表面を処理するための溶
剤処理液とからなる溶液に、樹脂材料を配合することを
特徴とする。
Manufacturing method of the insulating varnish of the present invention SUMMARY OF] includes an electrically insulating whiskers, siloxane repeat
Reacting with hydroxyl groups on the surface of the base material at the end with two or more repeating units
Silicone oligomer solution with one or more functional groups
The method is characterized in that a resin material is mixed with a solution comprising a solvent treatment liquid for treating the surface of the electrically insulating whisker.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION

(処理液)本発明の溶剤処理液には、カップリング剤溶
液を用いることができる。そのようなカップリング剤と
しては、シラン系カップリング剤やチタネート系カップ
リング剤等があり、シラン系カップリング剤としては、
一般にエポキシシラン系、アミノシラン系、カチオニッ
クシラン系、ビニルシラン系、アクリルシラン系、メル
カプトシラン系及びこれらの複合系等がある。添加剤は
何種類を併用してもよく、その配合量も特に制限はな
い。
(Treatment liquid) As the solvent treatment liquid of the present invention, a coupling agent solution can be used. Examples of such a coupling agent include a silane-based coupling agent and a titanate-based coupling agent.
Generally, there are an epoxy silane type, an amino silane type, a cationic silane type, a vinyl silane type, an acryl silane type, a mercapto silane type and a composite type thereof. Any number of additives may be used in combination, and the amount of the additives is not particularly limited.

【0013】本発明では、より優れた界面の接着性を発
現する目的で、従来のカップリング剤の代わりにシリコ
ーンオリゴマを使用することもできる。シリコーンオリ
ゴマとしては、シロキサン繰り返し単位が2個以上で、
末端に基材表面の水酸基と反応する官能基を1個以上有
するものであればその分子量や骨格等に特に制限はない
が、シロキサン繰り返し単位が2〜70程度のものが好
ましい。シロキサン繰り返し単位が大きいと、処理むら
が起こりやすく耐熱性が低下する。2官能性、3官能
性、4官能性シロキサン単位のR2SiO2/2、RSiO3/2、SiO
4/2は、それぞれ次のような構造を意味する。 ここでRは同じか又は別な有機基であり、具体的にはメ
チル基、エチル基、フェニル基、ビニル基等を例示する
ことができる。シリコーンオリゴマの基材表面の水酸基
と反応する官能基は、特に制限はないが、アルコキシル
基やシラノール基等が一般的であり好ましい。また、シ
リコーンオリゴマは、分子内に2官能性や3官能性ある
いは4官能性シロキサン単位を1種類以上含有している
ことが好ましく、さらには4官能性シロキサン単位が、
シリコーンオリゴマ全体の15mol%以上であるとよ
り好ましい。これらシリコーンオリゴマは、上記カップ
リング剤等とも併用することができる。併用する種類等
及びそれらの配合量は、特に制限はない。
In the present invention, a silicone oligomer can be used in place of a conventional coupling agent for the purpose of expressing better interfacial adhesion. As a silicone oligomer, there are two or more siloxane repeating units,
There is no particular limitation on the molecular weight, skeleton and the like of the terminal as long as the terminal has at least one functional group that reacts with a hydroxyl group on the surface of the base material, but those having about 2 to 70 siloxane repeating units are preferable. When the siloxane repeating unit is large, uneven processing is likely to occur, and heat resistance is reduced. R 2 SiO 2/2 , RSiO 3/2 , SiO of bifunctional, trifunctional, tetrafunctional siloxane units
4/2 means the following structures, respectively. Here, R is the same or different organic group, and specific examples thereof include a methyl group, an ethyl group, a phenyl group, and a vinyl group. The functional group that reacts with the hydroxyl group on the surface of the base material of the silicone oligomer is not particularly limited, but an alkoxyl group or a silanol group is generally preferable. Further, the silicone oligomer preferably contains at least one kind of bifunctional, trifunctional or tetrafunctional siloxane unit in the molecule, and furthermore, the tetrafunctional siloxane unit has
More preferably, it is 15 mol% or more of the entire silicone oligomer. These silicone oligomers can be used in combination with the above-mentioned coupling agent and the like. There are no particular restrictions on the types used in combination and the amounts thereof.

【0014】本発明では、これらの溶液を希釈するの
に、溶剤を用いる。この溶剤は、特に限定はなく、例え
ばアセトン、メチルエチルケトン、トルエン、キシレ
ン、メチルイソブチルケトン、酢酸エチル、エチレング
リコールモノメチルエーテル、N,N−ジメチルホルム
アミド、メタノール、エタノール等があり、これらは何
種類かを混合してもよい。また、溶剤処理液の固形分濃
度には特に制限はなく、処理剤の種類や充填剤への付着
量等により適宜変更できるが、0.1重量%〜50重量
%の範囲が好ましく、0.1重量%未満であると、表面
処理の効果が発現しにくく、50重量%を超えると、耐
熱性が低下しやすい。
In the present invention, a solvent is used to dilute these solutions. The solvent is not particularly limited and includes, for example, acetone, methyl ethyl ketone, toluene, xylene, methyl isobutyl ketone, ethyl acetate, ethylene glycol monomethyl ether, N, N-dimethylformamide, methanol, ethanol and the like. You may mix. The solids concentration of the solvent treatment liquid is not particularly limited and can be appropriately changed depending on the kind of treatment agent and the amount of the treatment agent attached to the filler, but is preferably in the range of 0.1% by weight to 50% by weight. When the amount is less than 1% by weight, the effect of the surface treatment is hardly exhibited, and when it exceeds 50% by weight, the heat resistance is apt to decrease.

【0015】(ウィスカー)本発明に用いるウィスカー
には、電気絶縁性のセラミックウィスカーであり、種類
としては、例えば、ほう酸アルミニウム、ウォラストナ
イト、チタン酸カリウム、塩基性硫酸マグネシウム、窒
化けい素、α−アルミナの中から選ばれた1以上のもの
を用いることができる。その中でも、ほう酸アルミニウ
ムウィスカーは、弾性率が高く、熱膨張率も小さく、し
かも比較的安価である。このほう酸アルミニムウィスカ
ーを用いた絶縁ワニスを使用して作製したプリント配線
板は、従来のガラスクロスを用いたプリント配線板より
も、常温及び高温下における剛性が高く、ワイヤボンデ
ィング性に優れ、電気信号の伝達特性に優れ、熱膨張率
が小さく、寸法安定性に優れる。
(Whisker) The whisker used in the present invention is an electrically insulating ceramic whisker. Examples of the whisker include aluminum borate, wollastonite, potassium titanate, basic magnesium sulfate, silicon nitride and α. -At least one selected from alumina can be used. Among them, aluminum borate whiskers have a high modulus of elasticity, a low coefficient of thermal expansion, and are relatively inexpensive. A printed wiring board made using an insulating varnish using this aluminum borate whisker has higher rigidity at normal and high temperatures, a superior wire bonding property, and a higher electrical conductivity than a printed wiring board using a conventional glass cloth. Excellent signal transmission characteristics, low coefficient of thermal expansion, and excellent dimensional stability.

【0016】ウィスカーの平均直径は、0.3μm未満
であると樹脂ワニスへの混合が難しくなると共に塗工作
業性が低下し、3μmを超えると表面の平坦性に悪影響
がでると共にウィスカーの微視的な均一分散性が損なわ
れる。したがって、ウィスカーの平均直径は0.3μm
〜3μmの範囲であることが好ましい。さらに同様の理
由と塗工性が良い(平滑に塗りやすい)ことから平均直
径は、0.5μm〜1μmの範囲が最も好ましい。この
ような直径のウィスカーを選択することにより、従来の
ガラスクロスを基材としたプリプレグを使用するよりも
表面平坦性に優れたプリント配線板を得ることができ
る。
If the average diameter of the whiskers is less than 0.3 μm, mixing with the resin varnish becomes difficult and the coating workability deteriorates. If the average diameter exceeds 3 μm, the flatness of the surface is adversely affected and the whiskers are microscopically observed. Uniform dispersibility is impaired. Therefore, the average diameter of the whiskers is 0.3 μm
It is preferably in the range of 33 μm. Furthermore, the average diameter is most preferably in the range of 0.5 μm to 1 μm for the same reason and good coatability (easy to apply smoothly). By selecting a whisker having such a diameter, a printed wiring board having more excellent surface flatness than using a prepreg using a conventional glass cloth as a base material can be obtained.

【0017】また、ウィスカーの平均長さは、平均直径
の10倍以上であることが好ましい。10倍未満である
と、繊維としての補強効果が僅かになると同時に、後述
するウィスカーの樹脂層中での2次元配向が困難になる
ため、配線板にしたときに十分な剛性が得られない。し
かし、ウィスカーが長すぎる場合は、ワニス中への均一
分散が難しくなり、塗工性が低下する。また、ある一つ
の導体回路間と接触したウィスカーが他の導体回路と接
触する確率が高くなり、繊維に沿って移動する傾向にあ
る銅イオンのマイグレーションによる回路間短絡事故を
起こす可能性があるという問題がある。したがって、ウ
ィスカーの平均長さは50μm以下が好ましい。このよ
うな長さのウィスカーを使用したワニスの絶縁材料を用
いて作製したプリント配線板は、従来のガラスクロスを
基材にしたプリプレグを使用したプリント配線板よりも
耐マイグレーション性に優れる。
The average length of the whiskers is preferably at least 10 times the average diameter. If the ratio is less than 10 times, the reinforcing effect as a fiber becomes small, and at the same time, it becomes difficult to perform two-dimensional orientation in the resin layer of the whisker described later, so that sufficient rigidity cannot be obtained when the wiring board is used. However, when the whiskers are too long, it is difficult to uniformly disperse them in the varnish, and the coatability is reduced. Also, the probability that a whisker in contact with one conductor circuit comes into contact with another conductor circuit increases, and there is a possibility of causing an inter-circuit short circuit accident due to migration of copper ions that tend to move along the fiber. There's a problem. Therefore, the average length of the whiskers is preferably 50 μm or less. A printed wiring board manufactured using a varnish insulating material using whiskers of such a length has better migration resistance than a conventional printed wiring board using a prepreg based on glass cloth.

【0018】(処理条件)本発明は、充填剤を溶剤処理
液中で処理後、乾燥工程を経ないでそのまま樹脂材料を
配合し、ワニスにすることを特徴としている。その際、
処理温度や処理時間等に制限はなく、充填剤や処理剤の
種類及び付着量等により適宜調整できるが、通常は、室
温〜80℃で30分以上処理することが好ましい。
(Treatment Conditions) The present invention is characterized in that after a filler is treated in a solvent treatment solution, a resin material is blended as it is without a drying step to form a varnish. that time,
The treatment temperature and treatment time are not limited, and can be appropriately adjusted depending on the type and amount of the filler and the treatment agent, and the treatment is usually preferably performed at room temperature to 80 ° C. for 30 minutes or more.

【0019】(樹脂)本発明で使用する樹脂は、従来の
ガラスクロスを基材としたプリプレグに使用されている
樹脂及びガラスクロス基材を含まない接着フィルムある
いは銅箔付き接着フィルムに使用されている熱硬化性樹
脂を使用することができる。ここでいう樹脂とは、樹
脂、硬化剤、硬化促進剤、カップリング剤(必要に応じ
て)、希釈剤(必要に応じて)を含むものを意味する。
(Resin) The resin used in the present invention is a resin used for a conventional prepreg based on a glass cloth and an adhesive film containing no glass cloth substrate or an adhesive film with a copper foil. Any thermosetting resin can be used. The term “resin” as used herein means a resin containing a resin, a curing agent, a curing accelerator, a coupling agent (if necessary), and a diluent (if necessary).

【0020】従来のガラスクロスを基材としたプリプレ
グに使用されている樹脂は、それ単独では、フィルム形
成能がないため、銅箔の片面に塗工により接着剤層とし
て形成し、加熱により溶剤除去し樹脂を半硬化した場
合、搬送、切断及び積層等の工程中において、樹脂の割
れや欠落等のトラブルを生じやすい又は、その後の熱圧
成形時に層間絶縁層が、内層回路存在等で異常に薄くな
り、層間絶縁抵抗低下やショートというトラブルを生じ
やすかったため、従来、銅箔付き接着フィルム用途に使
用することが困難であった。しかし、本発明では、樹脂
中にはウィスカーが分散され、該樹脂はウィスカーによ
り補強されているため、本発明の樹脂とウィスカーから
なるプリプレグ層にはフィルム形成能が発現し、搬送、
切断及び積層等の工程中において、樹脂の割れや欠落等
のトラブルを生じにくく、また、ウィスカーが存在する
ため熱圧成形時の層間絶縁層が、異常に薄くなる現象の
発生も防止できる。
The resin used in the conventional prepreg based on glass cloth has no film-forming ability by itself, so it is formed as an adhesive layer on one side of a copper foil by coating, and the solvent is heated. When the resin is removed and semi-cured, troubles such as cracking or chipping of the resin are likely to occur during the transport, cutting, lamination, etc. process, or the interlayer insulating layer is abnormal due to the presence of the inner layer circuit during the subsequent hot pressing. Conventionally, it has been difficult to use it for an adhesive film with a copper foil because it is liable to cause troubles such as a decrease in interlayer insulation resistance and a short circuit. However, in the present invention, whiskers are dispersed in the resin, and the resin is reinforced by the whiskers.
During the processes such as cutting and lamination, troubles such as cracking or chipping of the resin hardly occur, and the occurrence of an abnormal thinning of the interlayer insulating layer during hot pressing due to the presence of whiskers can be prevented.

【0021】また、従来接着フィルムや銅箔付き接着フ
ィルムに使用されている樹脂を用いることも効果的であ
る。これらの樹脂は、高分子量成分等を含むことによ
り、樹脂単独でもフィルム形成能があるが、本発明によ
りウィスカーをその樹脂中に分散することにより、いっ
そうフィルム形成能が高められ取扱性が向上し、さらに
絶縁信頼性もより高めることが可能となる。また、ウィ
スカーの分散により、フィルム形成能を高めた分だけ高
分子量成分の添加量を減らすことも可能であり、それに
よって樹脂の耐熱性や接着性等を改善できる場合もあ
る。
It is also effective to use a resin conventionally used for an adhesive film or an adhesive film with a copper foil. These resins have a film forming ability even when used alone by containing a high molecular weight component and the like.However, by dispersing whiskers in the resin according to the present invention, the film forming ability is further enhanced and the handleability is improved. In addition, the insulation reliability can be further improved. Further, by dispersing the whiskers, it is possible to reduce the amount of the high molecular weight component to be added by an amount corresponding to the enhancement of the film forming ability, thereby improving the heat resistance and adhesiveness of the resin in some cases.

【0022】樹脂の種類としては、例えばエポキシ樹
脂、ビスマレイミドトリアジン樹脂、ポリイミド樹脂、
フェノール樹脂、メラミン樹脂、けい素樹脂、不飽和ポ
リエステル樹脂、シアン酸エステル樹脂、イソシアネー
ト樹脂、ポリイミド樹脂またはこれらの種々の変性樹脂
類が好適である。この中で、プリント配線板特性上、特
にビスマレイミドトリアジン樹脂、エポキシ樹脂が好適
である。そのエポキシ樹脂としては、ビスフェノールA
型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビ
スフェノールS型エポキシ樹脂、フェノールノボラック
型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹
脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、サリ
チルアルデヒドノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノ
ールFノボラック型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹
脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、グリシジルア
ミン型エポキシ樹脂、ヒダントイン型エポキシ樹脂、イ
ソシアヌレート型エポキシ樹脂、脂肪族環状エポキシ樹
脂及びそれらのハロゲン化物、水素添加物、及び前記樹
脂の混合物が好適である。中でもビスフェノールAノボ
ラック型エポキシ樹脂またはサリチルアルデヒドノボラ
ック型エポキシ樹脂は、耐熱性に優れ好ましい。
As the type of the resin, for example, epoxy resin, bismaleimide triazine resin, polyimide resin,
Phenol resins, melamine resins, silicon resins, unsaturated polyester resins, cyanate ester resins, isocyanate resins, polyimide resins and various modified resins thereof are preferred. Among them, bismaleimide triazine resin and epoxy resin are particularly preferable in terms of printed wiring board characteristics. As the epoxy resin, bisphenol A
Epoxy resin, bisphenol F epoxy resin, bisphenol S epoxy resin, phenol novolak epoxy resin, cresol novolak epoxy resin, bisphenol A novolak epoxy resin, salicylaldehyde novolak epoxy resin, bisphenol F novolak epoxy resin, fat Cyclic epoxy resins, glycidyl ester type epoxy resins, glycidylamine type epoxy resins, hydantoin type epoxy resins, isocyanurate type epoxy resins, aliphatic cyclic epoxy resins and their halides, hydrogenated products, and mixtures of the above resins are preferred. It is. Among them, bisphenol A novolak type epoxy resin or salicylaldehyde novolak type epoxy resin is preferable because of its excellent heat resistance.

【0023】(硬化剤)このような樹脂の硬化剤として
は、従来使用しているものが使用でき、樹脂がエポキシ
樹脂の場合、例えばジシアンジアミド、ビスフェノール
A、ビスフェノールF、ポリビニルフェノール、フェノ
ールノボラック樹脂、ビスフェノールAノボラック樹脂
及びこれらのフェノール樹脂のハロゲン化物、水素化物
等を使用できる。中でもビスフェノールAノボラック樹
脂は、耐熱性に優れ好ましい。この硬化剤の前記樹脂に
対する割合は、従来使用している割合でよく、樹脂10
0重量部に対して、2〜100重量部の範囲が好まし
く、さらには、ジシアンジアミドでは、2〜5重量部、
それ以外の硬化剤では、30〜80重量部の範囲が好ま
しい。
(Curing agent) As the curing agent for such a resin, those conventionally used can be used. When the resin is an epoxy resin, for example, dicyandiamide, bisphenol A, bisphenol F, polyvinyl phenol, phenol novolak resin, Bisphenol A novolak resins and halides and hydrides of these phenolic resins can be used. Among them, bisphenol A novolak resin is preferable because of its excellent heat resistance. The ratio of the curing agent to the resin may be a conventionally used ratio,
The amount is preferably in the range of 2 to 100 parts by weight with respect to 0 parts by weight, and further, in dicyandiamide, 2 to 5 parts by weight,
For other curing agents, the range is preferably 30 to 80 parts by weight.

【0024】(硬化促進剤)硬化促進剤としては、樹脂
がエポキシ樹脂の場合、イミダゾール化合物、有機リン
化合物、第3級アミン、第4級アンモニウム塩等を使用
する。この硬化促進剤の前記樹脂に対する割合は、従来
使用している割合でよく、樹脂100重量部に対して、
0.01〜20重量部の範囲が好ましく、0.1〜1.
0重量部の範囲がより好ましい。
(Curing Accelerator) When the resin is an epoxy resin, an imidazole compound, an organic phosphorus compound, a tertiary amine, a quaternary ammonium salt, or the like is used as the curing accelerator. The ratio of the curing accelerator to the resin may be a conventionally used ratio, and is based on 100 parts by weight of the resin.
The range is preferably 0.01 to 20 parts by weight, and 0.1 to 1 part by weight.
A range of 0 parts by weight is more preferred.

【0025】(希釈剤)本発明で用いる熱硬化性樹脂
は、溶剤にて希釈して樹脂ワニスとして使用することも
できる。溶剤には、アセトン、メチルエチルケトン、ト
ルエン、キシレン、メチルイソブチルケトン、酢酸エチ
ル、エチレングリコールモノメチルエーテル、メタノー
ル、エタノール、N,N−ジメチルホルムアミド、N,
N−ジメチルアセトアミド等を使用できる。この希釈剤
の前記樹脂に対する割合は、従来使用している割合でよ
く、樹脂100重量部に対して1〜200重量部の範囲
が好ましく、30〜100重量部の範囲がさらに好まし
い。
(Diluent) The thermosetting resin used in the present invention can be diluted with a solvent and used as a resin varnish. Solvents include acetone, methyl ethyl ketone, toluene, xylene, methyl isobutyl ketone, ethyl acetate, ethylene glycol monomethyl ether, methanol, ethanol, N, N-dimethylformamide, N, N
N-dimethylacetamide and the like can be used. The ratio of the diluent to the resin may be a conventionally used ratio, and is preferably in the range of 1 to 200 parts by weight, more preferably 30 to 100 parts by weight, per 100 parts by weight of the resin.

【0026】(イオン捕捉剤)本発明に用いるイオン捕
捉剤としては、無機系のイオン捕捉剤及び有機系の銅害
防止剤が挙げられる。無機系のイオン捕捉剤は、単にイ
オン等を吸着する吸着物質と反対電荷のイオンを取り入
れたイオン交換を行う無機イオン交換体に分類される
が、両者を併せ持っているものもある。イオン吸着無機
物質の吸着物質は、多孔性固体の吸着性を利用して液
体、固体から物質移動を行い、イオンを分解する無機物
質であり、耐熱性耐薬品性に優れた層状化合物等の無機
物、活性炭、ゼオライト、合成ゼオライト、シリカゲ
ル、活性アルミナ、活性白土等が挙げられ、吸着能力を
高めるために、多孔化、微粉化して比表面積を高めたも
のが望ましい。また、有機系の銅害防止剤として、ヒン
ダードフェノール系のヨシノックスBB(吉富製薬株式
会社製、商品名)、トリアゾール系、チオール系のジス
ネットDB(三協製薬株式会社製、商品名)等を添加し
てもよい。これらの添加剤の添加量は、樹脂100重量
部に対してそれぞれ1〜10重量部であることが必要で
あり、好ましくは1〜5重量部であることが望ましい。
10重量部を越えて加えた場合、耐熱性の低下、コスト
の上昇等の問題点を生じるので好ましくない。
(Ion Scavenger) The ion scavenger used in the present invention includes an inorganic ion scavenger and an organic copper damage inhibitor. Inorganic ion scavengers are classified into inorganic ion exchangers that perform ion exchange by taking in ions of the opposite charge, and adsorbents that simply adsorb ions and the like, but some have both. The adsorbed substance of the ion-adsorbed inorganic substance is an inorganic substance that decomposes ions by performing mass transfer from a liquid or a solid using the adsorptivity of a porous solid, and is an inorganic substance such as a layered compound having excellent heat resistance and chemical resistance. Activated carbon, zeolite, synthetic zeolite, silica gel, activated alumina, activated clay, and the like. In order to increase the adsorption capacity, it is preferable to use a porous material or a fine powder that has been increased in specific surface area. In addition, hindered phenol-based Yoshinox BB (trade name, manufactured by Yoshitomi Pharmaceutical Co., Ltd.), triazole-based, and thiol-based Disnet DB (trade name, manufactured by Sankyo Pharmaceutical Co., Ltd.), etc., as organic copper damage inhibitors. It may be added. The amount of each of these additives should be 1 to 10 parts by weight, preferably 1 to 5 parts by weight, based on 100 parts by weight of the resin.
Addition of more than 10 parts by weight is not preferred because it causes problems such as a decrease in heat resistance and an increase in cost.

【0027】(その他の配合剤)さらに本発明において
は、上記した各成分の他に、必要に応じて従来より公知
のカップリング剤、充填材、高分子量樹脂等を樹脂中に
適宜配合してもよい。
(Other Compounding Agents) In the present invention, conventionally known coupling agents, fillers, high molecular weight resins and the like may be appropriately compounded in the resin, if necessary, in addition to the above-mentioned components. Is also good.

【0028】(樹脂とウィスカーの割合)樹脂への電気
絶縁性ウィスカーの配合量は、樹脂固形分100重量部
に対し5重量部未満であると、このプリプレグは切断時
に樹脂が細かく砕けて飛散しやすくなる等の取り扱い性
が悪くなると共に、配線板にしたときに十分な剛性が得
られない。一方、ウィスカーの配合量が350重量部を
超えると、熱圧成形時の内層回路の穴埋め性や回路間へ
の樹脂充填性が損なわれ、熱圧成形後のウィスカー複合
樹脂層中にボイドやかすれが発生しやすくなり、配線板
特性を損なう恐れがある。したがって、ウィスカーの配
合量は、樹脂固形分100重量部に対し5〜350重量
部が好ましい。さらに、内層回路の穴埋め性や回路間へ
の樹脂充填性に優れ、なおかつ、製造した配線板が従来
のガラスクロス使用のプリプレグを用いて製造した配線
板と比較し、同等または同等以上の剛性と寸法安定性と
ワイヤボンディング性を持つことが出来る理由から、ウ
ィスカーの配合量は、樹脂固形分100重量部に対し3
0〜230重量部であることがより好ましい。
(Proportion of Resin and Whisker) When the amount of the electrically insulating whisker in the resin is less than 5 parts by weight based on 100 parts by weight of the resin solid content, the resin is finely crushed and scattered at the time of cutting the prepreg. It becomes difficult to handle, for example, it becomes easy, and sufficient rigidity cannot be obtained when the wiring board is used. On the other hand, if the compounding amount of the whisker exceeds 350 parts by weight, the filling property of the inner layer circuit at the time of hot pressing and the filling property of the resin between the circuits are impaired, and the whisker composite resin layer after the hot pressing is voided or blurred. Is likely to occur, and the characteristics of the wiring board may be impaired. Therefore, the amount of the whisker is preferably 5 to 350 parts by weight based on 100 parts by weight of the resin solids. In addition, it has excellent fillability of the inner layer circuit and resin filling between the circuits, and the manufactured wiring board has the same or higher rigidity as compared to the wiring board manufactured using the prepreg using the conventional glass cloth. Due to the dimensional stability and wire bonding properties, the whisker content is 3 parts per 100 parts by weight of resin solids.
More preferably, the amount is 0 to 230 parts by weight.

【0029】(混練方法)絶縁性ウィスカーの分散性を
向上させるために、絶縁ワニスを作製した後、らいかい
機、3本ロールまたはビーズミル等での混練を組み合わ
せて行なうことができる。混練後、減圧下での撹拌脱泡
等により、ワニス中の気泡を除去することが望ましい。
(Kneading method) In order to improve the dispersibility of the insulating whisker, after preparing an insulating varnish, kneading with a mill, a three-roll mill or a bead mill can be performed in combination. After kneading, it is desirable to remove bubbles in the varnish by stirring and defoaming under reduced pressure.

【0030】(キャリアフィルム)本発明において、絶
縁層であるウィスカー複合樹脂層(Bステージ状態)を
その片面に形成する対象であるキャリアフィルムとして
は、銅箔、アルミ箔等の金属箔、ポリエステルフィル
ム、ポリイミドフィルム、あるいは前記金属箔及びフィ
ルムの表面を離型剤により処理したものを使用する。
(Carrier Film) In the present invention, the carrier film on which the whisker composite resin layer (B-stage state), which is an insulating layer, is formed on one surface thereof is a metal foil such as a copper foil or an aluminum foil, or a polyester film. , A polyimide film, or a film obtained by treating the surfaces of the metal foil and the film with a release agent.

【0031】(プリプレグ層中のウィスカー配向)本発
明の電気絶縁性ウィスカーとBステージ状態の樹脂とか
ら構成される絶縁材料の中のウィスカーは、2次元配向
に近い状態(ウィスカーの軸方向が絶縁材料層の形成す
る面と平行に近い状態)にさせることが好ましい。この
ようにウィスカーを配向させることにより、本発明の絶
縁材料は、良好な取扱性が得られると同時に、配線板に
したときに高い剛性と良好な寸法安定性及び表面平坦性
が得られる。
(Whisker Orientation in Prepreg Layer) A whisker in an insulating material composed of the electrically insulating whisker of the present invention and a resin in a B-stage state is in a state close to two-dimensional orientation (whisker is in an axial direction). (A state close to parallel to the surface on which the material layer is formed). By orienting the whiskers in this way, the insulating material of the present invention can obtain good handleability and, at the same time, high rigidity, good dimensional stability and surface flatness when formed into a wiring board.

【0032】(塗工方式)上記のようにウィスカーを配
向させるには、前述した好ましい範囲の繊維長のウィス
カーを使用すると同時に、銅箔にウィスカーを配合した
絶縁ワニスを塗工する際に、ブレードコータ、ロッドコ
ータ、ナイフコータ、スクイズコータ、リバースロール
コータ、トランスファロールコータ等の銅箔と平行な面
方向に、せん断力を負荷できるかあるいは、銅箔の面に
垂直な方向に、圧縮力を負荷できる塗工方式を採用すれ
ばよい。
(Coating method) In order to orient the whiskers as described above, a whisker having a fiber length in the above-described preferred range is used, and at the same time, a blade is used when applying an insulating varnish in which whiskers are mixed with copper foil. A shear force can be applied in a direction parallel to the copper foil such as a coater, rod coater, knife coater, squeeze coater, reverse roll coater, transfer roll coater, or a compressive force can be applied in a direction perpendicular to the copper foil surface. What is necessary is just to adopt the coating method which can be performed.

【0033】(作用)以上で述べた本発明によれば、電
気絶縁性ウィスカーの表面を処理した溶液に直接樹脂材
料を配合することにより、充填剤を処理した後の乾燥工
程がないためウィスカーの凝集等がなくワニス中に均一
に分散し、ウィスカー表面には均一な処理剤層が形成さ
れ、かつ樹脂との相溶性が向上する。さらに界面の接着
性が向上し、本方法で作製した電気絶縁性ウィスカーを
複合化させた絶縁材料を多層プリント配線板用の材料に
用いた場合の高絶縁信頼性及び低膨張率化をはかること
ができる。また、本発明の絶縁材料を使用して作製した
絶縁層は、基材がガラスよりレーザに対し被加工性が良
好でしかも微細なウィスカーであるため、従来のガラス
クロスプリプレグを使用した絶縁層では困難であったレ
ーザ穴明けが容易にできる。そのため、直径100μm
以下の小径のインターステーシャルバイアホール(IV
H)が容易に作製可能となり、プリント配線板の回路を
微細化でき、電子機器の高密度化、高性能化に大きく貢
献できる。
(Function) According to the present invention described above, by mixing the resin material directly into the solution obtained by treating the surface of the electrically insulating whisker, there is no drying step after treating the filler. It is uniformly dispersed in the varnish without agglomeration or the like, a uniform treatment agent layer is formed on the whisker surface, and the compatibility with the resin is improved. Furthermore, the adhesiveness of the interface is improved, and high insulation reliability and low expansion coefficient are to be achieved when the insulating material obtained by combining the electrically insulating whiskers manufactured by the present method is used as a material for a multilayer printed wiring board. Can be. In addition, the insulating layer manufactured using the insulating material of the present invention has a better workability to the laser than glass and is a fine whisker, so that the insulating layer using the conventional glass cloth prepreg is not used. Difficult laser drilling can be done easily. Therefore, a diameter of 100 μm
The following small interstitial via holes (IV
H) can be easily manufactured, the circuit of the printed wiring board can be miniaturized, and it can greatly contribute to higher density and higher performance of electronic devices.

【0034】[0034]

【実施例】【Example】

実施例1 撹拌装置、コンデンサ及び温度計を備えたガラスフラス
コに、シランカップリング剤としてγ−グリシドキシプ
ロピルトリメトキシシランであるA−187(日本ユニ
カー株式会社製、商品名)とメチルエチルケトンを加え
て、固形分5重量%の処理液を作製した。この処理液に
平均直径0.8μm、平均繊維長20μmのほう酸アル
ミニウムウィスカーを60重量%配合して室温で1時間
撹拌し、処理充填剤入り溶液を作製した。
Example 1 A-187 (manufactured by Nippon Unicar Co., Ltd.) and methyl ethyl ketone, which are γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, were added as a silane coupling agent to a glass flask equipped with a stirrer, a condenser, and a thermometer. Thus, a treatment liquid having a solid content of 5% by weight was prepared. 60% by weight of aluminum borate whiskers having an average diameter of 0.8 μm and an average fiber length of 20 μm were added to this treatment liquid, and the mixture was stirred at room temperature for 1 hour to prepare a treatment filler-containing solution.

【0035】実施例2 攪拌装置、コンデンサ及び温度計を備えたガラスフラス
コに、シランカップリング剤としてN−β−(N−ビニ
ルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメ
トキシシラン・塩酸塩であるSZ−6032(東レ・ダ
ウコーニング・シリコーン株式会社製、商品名)とメチ
ルエチルケトンを加えて、固形分5重量%の処理液を作
製した。この処理液に平均直径0.8μm、平均繊維長
20μmのほう酸アルミニウムウィスカーを60重量%
配合して室温で1時間撹拌し、処理充填剤入り溶液を作
製した。
Example 2 In a glass flask equipped with a stirrer, a condenser and a thermometer, N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane.hydrochloride was used as a silane coupling agent. SZ-6032 (trade name, manufactured by Dow Corning Toray Silicone Co., Ltd.) and methyl ethyl ketone were added to prepare a treatment liquid having a solid content of 5% by weight. An aluminum borate whisker having an average diameter of 0.8 μm and an average fiber length of 20 μm was added to this treatment solution at 60% by weight.
After mixing and stirring at room temperature for 1 hour, a solution containing the treated filler was prepared.

【0036】実施例3 撹拌装置、コンデンサ及び温度計を備えたガラスフラス
コに、チタネートカップリング剤としてイソプロピルト
リス(ジオクチルパイロホスフェート)チタネートであ
るKR46B(味の素株式会社製、商品名)とメチルエ
チルケトンを加えて、固形分5重量%の処理液を作製し
た。この処理液に平均直径0.8μm、平均繊維長20
μmのほう酸アルミニウムウィスカーを60重量%配合
して室温で1時間撹拌し、処理充填剤入り溶液を作製し
た。
Example 3 To a glass flask equipped with a stirrer, a condenser and a thermometer, KR46B (trade name, manufactured by Ajinomoto Co., Ltd.), which is isopropyl tris (dioctyl pyrophosphate) titanate, as a titanate coupling agent and methyl ethyl ketone were added. A treatment liquid having a solid content of 5% by weight was prepared. This treatment liquid has an average diameter of 0.8 μm and an average fiber length of 20.
An aluminum borate whisker of 60 μm was mixed and stirred at room temperature for 1 hour to prepare a solution containing a treated filler.

【0037】実施例4 撹拌装置、コンデンサ及び温度計を備えたガラスフラス
コに、テトラメトキシシランを40g、メタノールを9
3g配合した溶液に、酢酸を0.47g、蒸留水を1
8.9g配合後50℃で8時間撹拌し、シリコーンオリ
ゴマを合成した。得られたシリコーンオリゴマのシロキ
サン繰り返し単位の平均は20であった。このシリコー
ンオリゴマ溶液にメチルエチルケトンを加えて、固形分
5重量%の処理液を作製した。この処理液に平均直径
0.8μm、平均繊維長20μmのほう酸アルミニウム
ウィスカーを60重量%配合して室温で1時間撹拌し、
処理充填剤入り溶液を作製した。
Example 4 A glass flask equipped with a stirrer, a condenser and a thermometer was charged with 40 g of tetramethoxysilane and 9 g of methanol.
0.47 g of acetic acid and 1 part of distilled water were added to the solution containing 3 g.
After mixing 8.9 g, the mixture was stirred at 50 ° C. for 8 hours to synthesize a silicone oligomer. The average of the siloxane repeating units of the obtained silicone oligomer was 20. Methyl ethyl ketone was added to the silicone oligomer solution to prepare a treatment liquid having a solid content of 5% by weight. 60% by weight of aluminum borate whisker having an average diameter of 0.8 μm and an average fiber length of 20 μm was added to the treatment liquid, and the mixture was stirred at room temperature for 1 hour.
A solution containing the treatment filler was prepared.

【0038】実施例5 実施例4と同様に、トリメトキシメチルシランを40
g、メタノールを93g配合した溶液に、酢酸を0.5
3g、蒸留水を15.8g配合後50℃で8時間撹拌
し、シリコーンオリゴマを合成した。得られたシリコー
ンオリゴマのシロキサン繰り返し単位の平均は15であ
った。このシリコーンオリゴマ溶液にメチルエチルケト
ンを加えて、固形分5重量%の処理液を作製した。この
処理液に平均直径0.8μm、平均繊維長20μmのほ
う酸アルミニウムウィスカーを60重量%配合して室温
で1時間撹拌し、処理充填剤入り溶液を作製した。
Example 5 As in Example 4, trimethoxymethylsilane was added to 40
g, 93 g of methanol in a solution containing 0.5 g of acetic acid.
After mixing 3 g and 15.8 g of distilled water, the mixture was stirred at 50 ° C. for 8 hours to synthesize a silicone oligomer. The average of the siloxane repeating units of the obtained silicone oligomer was 15. Methyl ethyl ketone was added to the silicone oligomer solution to prepare a treatment liquid having a solid content of 5% by weight. 60% by weight of aluminum borate whiskers having an average diameter of 0.8 μm and an average fiber length of 20 μm were added to this treatment liquid, and the mixture was stirred at room temperature for 1 hour to prepare a treatment filler-containing solution.

【0039】実施例6 実施例4と同様に、ジメトキシジメチルシランを34
g、テトラメトキシシランを8g、メタノールを98g
配合した溶液に、酢酸を0.60g、蒸留水を14.0
g配合後50℃で8時間撹拌し、シリコーンオリゴマを
合成した。得られたシリコーンオリゴマのシロキサン繰
り返し単位の平均は28であった。このシリコーンオリ
ゴマ溶液にメチルエチルケトンを加えて、固形分3重量
%の処理液を作製した。この処理液に平均直径0.8μ
m、平均繊維長20μmのほう酸アルミニウムウィスカ
ーを60重量%配合して室温で1時間撹拌し、処理充填
剤入り溶液を作製した。
Example 6 As in Example 4, dimethoxydimethylsilane was added to 34
g, 8 g of tetramethoxysilane and 98 g of methanol
0.60 g of acetic acid and 14.0 g of distilled water were added to the blended solution.
After mixing g, the mixture was stirred at 50 ° C. for 8 hours to synthesize a silicone oligomer. The average of the siloxane repeating units of the obtained silicone oligomer was 28. Methyl ethyl ketone was added to the silicone oligomer solution to prepare a treatment liquid having a solid content of 3% by weight. 0.8 μm average diameter
m, an aluminum borate whisker having an average fiber length of 20 μm was blended at 60% by weight and stirred at room temperature for 1 hour to prepare a solution containing a treated filler.

【0040】実施例7 実施例4と同様に、ジメトキシジメチルシランを20
g、テトラメトキシシランを25g、メタノールを10
5g配合した溶液に、酢酸を0.60g、蒸留水を1
7.8g配合後50℃で8時間撹拌し、シリコーンオリ
ゴマを合成した。得られたシリコーンオリゴマのシロキ
サン繰り返し単位の平均は30であった。このシリコー
ンオリゴマ溶液にメチルエチルケトンを加えて、固形分
5重量%の処理液を作製した。この処理液に平均直径
0.8μm、平均繊維長20μmのほう酸アルミニウム
ウィスカーを60重量%配合して室温で1時間撹拌し、
処理充填剤入り溶液を作製した。
Example 7 As in Example 4, dimethoxydimethylsilane was added to 20
g, 25 g of tetramethoxysilane and 10 g of methanol.
0.60 g of acetic acid and 1 part of distilled water were added to the solution containing 5 g.
After blending 7.8 g, the mixture was stirred at 50 ° C. for 8 hours to synthesize a silicone oligomer. The average of the siloxane repeating units of the obtained silicone oligomer was 30. Methyl ethyl ketone was added to the silicone oligomer solution to prepare a treatment liquid having a solid content of 5% by weight. 60% by weight of aluminum borate whisker having an average diameter of 0.8 μm and an average fiber length of 20 μm was added to the treatment liquid, and the mixture was stirred at room temperature for 1 hour.
A solution containing the treatment filler was prepared.

【0041】実施例8 実施例4と同様に、トリメトキシメチルシランを20
g、テトラメトキシシランを22g、メタノールを98
g配合した溶液に、酢酸を0.52g、蒸留水を18.
3g配合後50℃で8時間撹拌し、シリコーンオリゴマ
を合成した。得られたシリコーンオリゴマのシロキサン
繰り返し単位の平均は25であった。このシリコーンオ
リゴマ溶液にメチルエチルケトンを加えて、固形分5重
量%の処理液を作製した。この処理液に平均直径0.8
μm、平均繊維長20μmのほう酸アルミニウムウィス
カーを60重量%配合して室温で1時間撹拌し、処理充
填剤入り溶液を作製した。
Example 8 As in Example 4, trimethoxymethylsilane was added to 20
g, 22 g of tetramethoxysilane, 98 g of methanol
acetic acid 0.52 g and distilled water 18.
After blending 3 g, the mixture was stirred at 50 ° C. for 8 hours to synthesize a silicone oligomer. The average of the siloxane repeating units of the obtained silicone oligomer was 25. Methyl ethyl ketone was added to the silicone oligomer solution to prepare a treatment liquid having a solid content of 5% by weight. This treatment liquid has an average diameter of 0.8
An aluminum borate whisker having an average fiber length of 20 μm was mixed at 60% by weight and stirred at room temperature for 1 hour to prepare a solution containing a treated filler.

【0042】実施例9 実施例4と同様に、ジメトキシジメチルシランを10
g、トリメトキシメチルシランを10g、テトラメトキ
シシランを20g、メタノールを93g配合した溶液
に、酢酸を0.52g、蒸留水を16.5g配合後50
℃で8時間撹拌し、シリコーンオリゴマを合成した。得
られたシリコーンオリゴマのシロキサン繰り返し単位の
平均は23であった。このシリコーンオリゴマ溶液にメ
チルエチルケトンを加えて、固形分5重量%の処理液を
作製した。この処理液に平均直径0.8μm、平均繊維
長20μmのほう酸アルミニウムウィスカーを60重量
%配合して室温で1時間撹拌し、処理充填剤入り溶液を
作製した。
Example 9 As in Example 4, dimethoxydimethylsilane was added to 10
g, 10 g of trimethoxymethylsilane, 20 g of tetramethoxysilane, and 93 g of methanol in a solution containing 0.52 g of acetic acid and 16.5 g of distilled water.
The mixture was stirred at 8 ° C. for 8 hours to synthesize a silicone oligomer. The average of the siloxane repeating units of the obtained silicone oligomer was 23. Methyl ethyl ketone was added to the silicone oligomer solution to prepare a treatment liquid having a solid content of 5% by weight. 60% by weight of aluminum borate whiskers having an average diameter of 0.8 μm and an average fiber length of 20 μm were added to this treatment liquid, and the mixture was stirred at room temperature for 1 hour to prepare a treatment filler-containing solution.

【0043】実施例10 実施例4と同様に、テトラエトキシシランを40g、メ
タノールを93g配合した溶液に、酢酸を0.34g、
蒸留水を13.8g配合後50℃で8時間撹拌し、シリ
コーンオリゴマを合成した。得られたシリコーンオリゴ
マのシロキサン繰り返し単位の平均は19であった。こ
のシリコーンオリゴマ溶液にメチルエチルケトンを加え
て、固形分5重量%の処理液を作製した。この処理液に
平均直径0.8μm、平均繊維長20μmのほう酸アル
ミニウムウィスカーを60重量%配合して室温で1時間
撹拌し、処理充填剤入り溶液を作製した。
Example 10 As in Example 4, 0.34 g of acetic acid was added to a solution containing 40 g of tetraethoxysilane and 93 g of methanol.
After blending 13.8 g of distilled water, the mixture was stirred at 50 ° C. for 8 hours to synthesize a silicone oligomer. The average number of siloxane repeating units in the obtained silicone oligomer was 19. Methyl ethyl ketone was added to the silicone oligomer solution to prepare a treatment liquid having a solid content of 5% by weight. 60% by weight of aluminum borate whiskers having an average diameter of 0.8 μm and an average fiber length of 20 μm were added to this treatment liquid, and the mixture was stirred at room temperature for 1 hour to prepare a treatment filler-containing solution.

【0044】実施例11 実施例4で得られたシリコーンオリゴマ溶液に、シラン
カップリング剤としてγ−グリシドキシプロピルトリメ
トキシシランであるA−187(日本ユニカー株式会社
製、商品名)とメチルエチルケトンを加えて、固形分5
重量%(シリコーンオリゴマ:A−187=50:5
0)の処理液を作製した。この処理液に平均直径0.8
μm、平均繊維長20μmのほう酸アルミニウムウィス
カーを60重量%配合して室温で1時間撹拌し、処理充
填剤入り溶液を作製した。
Example 11 A-187 (manufactured by Nippon Unicar Co., Ltd., trade name) and γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane were used as the silane coupling agent in the silicone oligomer solution obtained in Example 4. In addition, solid content 5
% By weight (silicone oligomer: A-187 = 50: 5
The treatment liquid of 0) was prepared. This treatment liquid has an average diameter of 0.8
An aluminum borate whisker having an average fiber length of 20 μm was mixed at 60% by weight and stirred at room temperature for 1 hour to prepare a solution containing a treated filler.

【0045】実施例12 実施例4で得られたシリコーンオリゴマ溶液に、チタネ
ートカップリング剤としてイソプロピルトリス(ジオク
チルパイロホスフェート)チタネートであるKR46B
(味の素株式会社製、商品名)とメチルエチルケトンを
加えて、固形分5重量%(シリコーンオリゴマ:KR4
6B=50:50)の処理液を作製した。この処理液に
平均直径0.8μm、平均繊維長20μmのほう酸アル
ミニウムウィスカーを60重量%配合して室温で1時間
撹拌し、処理充填剤入り溶液を作製した。
Example 12 The silicone oligomer solution obtained in Example 4 was added to KR46B which is isopropyl tris (dioctyl pyrophosphate) titanate as a titanate coupling agent.
(Trade name, manufactured by Ajinomoto Co., Inc.) and methyl ethyl ketone, and solid content of 5% by weight (silicone oligomer: KR4
6B = 50: 50). 60% by weight of aluminum borate whiskers having an average diameter of 0.8 μm and an average fiber length of 20 μm were added to this treatment liquid, and the mixture was stirred at room temperature for 1 hour to prepare a treatment filler-containing solution.

【0046】(ワニス樹脂組成A)実施例1〜12の溶
液を50℃に加熱し、この溶液300重量部に、以下に
示す樹脂を加えて固形分75重量%のワニスを作製し
た。 ・ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂・・・・・・・・・100重量部 (エポキシ当量:210) ・ビスフェノールAノボラック樹脂・・・・・・・・・・・・・・・40重量部 (水酸基当量:123) ・4臭素化ビスフェノールA・・・・・・・・・・・・・・・・・・40重量部 (水酸基当量:272) ・イミダゾール系硬化促進剤・・・・・・・・・・・・・・・・・0.5重量部
(Varnish Resin Composition A) The solutions of Examples 1 to 12 were heated to 50 ° C., and the following resin was added to 300 parts by weight of this solution to prepare a varnish having a solid content of 75% by weight.・ Bisphenol A novolak epoxy resin 100 parts by weight (epoxy equivalent: 210) ・ Bisphenol A novolak resin 40 parts by weight (hydroxyl group)・ Equivalent: 123) ・ 4-brominated bisphenol A ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ 40 parts by weight (hydroxyl equivalent: 272) ・ Imidazole curing accelerator ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・........... 0.5 parts by weight

【0047】(ワニス樹脂組成B)実施例1〜12の溶
液を50℃に加熱し、この溶液400重量部に、以下に
示す樹脂とメチルエチルケトンを100重量部加えて固
形分65重量%のワニスを作製した。 ・ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂・・・・・・・・・100重量部 (エポキシ当量:210) ・臭素化フェノキシ樹脂・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・70重量部 (エポキシ当量:12940) ・ビスフェノールAノボラック樹脂・・・・・・・・・・・・・・・40重量部 (水酸基当量:123) ・4臭素化ビスフェノールA・・・・・・・・・・・・・・・・・・30重量部 (水酸基当量:272) ・イミダゾール系硬化促進剤・・・・・・・・・・・・・・・・・0.5重量部
(Varnish Resin Composition B) The solutions of Examples 1 to 12 were heated to 50 ° C., and to 400 parts by weight of the solution, 100 parts by weight of the following resin and methyl ethyl ketone were added to prepare a varnish having a solid content of 65% by weight. Produced.・ Bisphenol A novolak type epoxy resin ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ 100 parts by weight (epoxy equivalent: 210) ・ Brominated phenoxy resin ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・70 parts by weight (epoxy equivalent: 12940) Bisphenol A novolak resin 40 parts by weight (hydroxyl equivalent: 123) 4-brominated bisphenol A 30 parts by weight (hydroxyl equivalent: 272) Imidazole-based curing accelerator 0.5 parts by weight

【0048】比較例1 電気絶縁性ウィスカーとして、溶剤処理溶液で処理され
ていない未処理の平均直径0.8μm、平均繊維長20
μmのほう酸アルミニウムウィスカーを用いて、実施例
1と同様にワニスを作製した。
Comparative Example 1 As an electrically insulating whisker, an untreated untreated untreated whisker had an average diameter of 0.8 μm and an average fiber length of 20 μm.
A varnish was prepared in the same manner as in Example 1 using a μm aluminum borate whisker.

【0049】比較例2 比較例1のワニスに、シランカップリング剤としてγ−
グリシドキシプロピルトリメトキシシランであるA−1
87(日本ユニカー株式会社製、商品名)を2重量部配
合した。
Comparative Example 2 The varnish of Comparative Example 1 was used as a silane coupling agent with γ-
A-1 which is glycidoxypropyltrimethoxysilane
87 (manufactured by Nippon Unicar Co., Ltd., 2 parts by weight).

【0050】比較例3 シランカップリング剤の代わりに、エポキシ変性シリコ
ーンオイルであるKF101(信越化学工業株式会社
製、商品名)を用いて平均直径0.8μm、平均繊維長
20μmのほう酸アルミニウムウィスカーを処理した以
外は、実施例1と同様にしてワニスを作製した。
Comparative Example 3 Instead of the silane coupling agent, an aluminum borate whisker having an average diameter of 0.8 μm and an average fiber length of 20 μm was prepared using KF101 (trade name, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) which is an epoxy-modified silicone oil. A varnish was prepared in the same manner as in Example 1 except for the treatment.

【0051】比較例4 実施例1で使用したシランカップリング剤として、γ−
グリシドキシプロピルトリメトキシシランであるA−1
87(日本ユニカー株式会社製、商品名)をメタノール
で固形分1重量%の処理液を作製し、これに未処理の平
均直径0.8μm、平均繊維長20μmのほう酸アルミ
ニウムウィスカーを室温で1時間浸漬・撹拌した後、1
20℃/1時間乾燥して表面処理を施した。この処理済
みほう酸アルミニウムウィスカーを用いて、実施例1と
同様にワニスを作製した。
Comparative Example 4 As the silane coupling agent used in Example 1, γ-
A-1 which is glycidoxypropyltrimethoxysilane
87 (manufactured by Nippon Unicar Co., Ltd., trade name) was prepared with methanol at a solid content of 1% by weight, and untreated aluminum borate whiskers having an average diameter of 0.8 μm and an average fiber length of 20 μm were added at room temperature for 1 hour. After immersion and stirring, 1
After drying at 20 ° C. for 1 hour, a surface treatment was performed. Using this treated aluminum borate whisker, a varnish was produced in the same manner as in Example 1.

【0052】比較例5 実施例1と同様の樹脂を主成分とする熱硬化性樹脂を厚
さ50μmと100μmのガラスクロスに含浸塗工し、
温度150℃で10min間加熱乾燥して、溶剤を除去
するとともに、樹脂を半硬化し、ガラスクロスと半硬化
状態にあるエポキシ樹脂からなる厚さが50μmと10
0μmのガラスエポキシプリプレグを作製した。
Comparative Example 5 The same thermosetting resin as that of Example 1 as a main component was impregnated and applied to glass cloths having a thickness of 50 μm and 100 μm.
The film is heated and dried at a temperature of 150 ° C. for 10 minutes to remove the solvent and semi-cured the resin. The thickness of the glass cloth and the semi-cured epoxy resin is 50 μm and 10 μm.
A 0 μm glass epoxy prepreg was prepared.

【0053】比較例6 重量平均分子量が50,000の高分子量エポキシ重合
体と、ビスフェノールA型エポキシ樹脂を主成分とする
フィルム形性能を有する熱硬化性樹脂を、厚さ18μm
の銅箔および厚さ50μmのPETフィルムにナイフコ
ータにて塗工し、温度150℃で10min間加熱乾燥
して、溶剤を除去するとともに、樹脂を半硬化して半硬
化状態にあるエポキシ樹脂からなる絶縁層の厚さが50
μmの銅箔付き絶縁材料及び、PETを剥離により除去
して、半硬化状態のエポキシ樹脂からなる厚さが50μ
mの接着フィルムを作製した。
Comparative Example 6 A high-molecular-weight epoxy polymer having a weight-average molecular weight of 50,000 and a thermosetting resin having a film-form performance containing a bisphenol A type epoxy resin as a main component and a thickness of 18 μm were prepared.
It is made of an epoxy resin in a semi-cured state by coating a copper foil and a 50 μm-thick PET film with a knife coater, heating and drying at 150 ° C. for 10 minutes to remove the solvent and semi-cured the resin. Insulation layer thickness is 50
The insulating material with copper foil of μm and the PET are removed by peeling, and the thickness of the semi-cured epoxy resin is 50 μm.
m was prepared.

【0054】実施例1〜12及び比較例1〜4で作製し
た絶縁ワニスを、厚さ18μmの銅箔および厚さ50μ
mのポリエチレンテレフタート(PET)フィルムにナ
イフコータにて塗工し、温度150℃で10min間加
熱乾燥して、溶剤を除去するとともに、樹脂を半硬化し
て、ウィスカー体積分率が30%でウィスカーと半硬化
状態にあるエポキシ樹脂からなる絶縁層の厚さが50μ
mと100μmの銅箔付き絶縁材料及び、PETを剥離
により除去して、半硬化状態のエポキシ樹脂からなる厚
さが50μmの絶縁材料を作製した。
An insulating varnish prepared in each of Examples 1 to 12 and Comparative Examples 1 to 4 was coated with a copper foil having a thickness of 18 μm and a thickness of 50 μm.
m is coated on a polyethylene terephthalate (PET) film with a knife coater, dried by heating at a temperature of 150 ° C. for 10 minutes to remove the solvent, semi-cured, and whisker with a whisker volume fraction of 30%. The thickness of the insulating layer made of epoxy resin in a semi-cured state is 50μ.
The insulating material with a copper foil of m and 100 μm and the PET were removed by peeling to produce an insulating material having a thickness of 50 μm and made of a semi-cured epoxy resin.

【0055】作製した絶縁材料に関して以下の項目につ
いて評価を行った。 (Bステージフィルム取扱性)取扱性はカッターナイフ
及びシャーにより、樹脂の飛散等なくきれいに切断で
き、絶縁材料同士のブロッキングが発生しなかったもの
を○、それ以外を×とした。
The following items were evaluated with respect to the produced insulating material. (B-stage film handleability) The handleability was evaluated as "O" when the material could be cut cleanly by a cutter knife and a shear without scattering of resin, and no blocking occurred between insulating materials.

【0056】(硬化物特性)上記で作製した絶縁層の厚
さ50μmの銅箔付き絶縁材料を絶縁層が向かい合うよ
うに重ねて積層し、熱圧成形した。成形後銅箔部分をエ
ッチングにより取除き、目的の樹脂板を得た。この樹脂
板について弾性率、熱膨張率を測定した。弾性率はTM
Aの引張りモードにて、熱膨張率はTMAの引張りモー
ドにて測定した。
(Cured Product Characteristics) The insulating material with a copper foil having a thickness of 50 μm prepared above was laminated and laminated so that the insulating layers faced each other, and was subjected to hot pressing. After the molding, the copper foil portion was removed by etching to obtain a target resin plate. The elastic modulus and the coefficient of thermal expansion of this resin plate were measured. The elastic modulus is TM
In the tensile mode of A, the coefficient of thermal expansion was measured in the tensile mode of TMA.

【0057】(耐電食性試験)厚さ0.8mmのガラス
エポキシ両面銅張積層板に、電食試験の内層面の電極と
なるパターンをエッチングにより作製し、この上下に上
記で作製した絶縁層の厚さ50μmの銅箔付絶縁材料を
絶縁材料が電食試験の内層面の電極となるパターンと接
するように重ね合わせて積層し、熱圧成形した。得られ
た積層板の、内層の電極となる電食試験パターンの位置
に合わせた部分に、外層の電極となるパターンをエッチ
ングで作製し、電食試験片を得た。この内層と外層の電
極間に50Vの電圧を印加し、85℃、85%RHの雰
囲気下で1000時間経過後の絶縁抵抗値を測定した。
1000時間経過後の絶縁抵抗値を測定した結果、10
9Ω以上の良好な値を示したものを○、それ以外を×と
した。
(Electro-corrosion resistance test) On a glass epoxy double-sided copper-clad laminate having a thickness of 0.8 mm, a pattern to be an electrode on the inner layer surface of the electro-corrosion test was formed by etching, and the upper and lower insulating layers were formed. An insulating material with a copper foil having a thickness of 50 μm was overlapped and laminated so that the insulating material was in contact with a pattern to be an electrode on the inner layer surface of the electrolytic corrosion test, and was subjected to hot pressing. An outer layer electrode pattern was formed by etching on a portion of the obtained laminated plate corresponding to the position of the inner layer electrode corrosion test pattern to obtain an electrolytic corrosion test piece. A voltage of 50 V was applied between the inner layer electrode and the outer layer electrode, and the insulation resistance value was measured after a lapse of 1000 hours in an atmosphere of 85 ° C. and 85% RH.
As a result of measuring the insulation resistance after 1000 hours, 10
Those showing good values of 9 Ω or more were evaluated as ○, and others were evaluated as ×.

【0058】(表面粗さ)作製した厚さ100μmのガ
ラス基材エポキシ樹脂プリプレグの上下に、厚さ18μ
mの片面粗化銅箔を該粗化面が絶縁材料に向き合うよう
に積層し、熱圧成形した。この銅張積層板に回路加工を
施し、その両面に先に作製した厚さ50μmの本発明の
絶縁材料を、そのさらに外側に厚さ18μmの片面粗化
銅箔を粗化面が絶縁材料に向き合うように積層し、熱圧
成形し内層回路入り多層銅張積層板を作製した。この内
層回路入り多層銅張積層板の表面粗さを、触針式表面粗
さ計にて測定した。測定箇所は、その直下に内層回路の
ある部分とない部分とを含む長さ25mmの一直線上の
外層表面とした。内層回路のある部分とない部分の段差
の10点平均が、3μm以下であるものを○、それ以外
を×とした。
(Surface Roughness) A 18 μm thick plate was placed above and below the prepared 100 μm thick glass base epoxy resin prepreg.
m single-sided roughened copper foil was laminated so that the roughened surface faced the insulating material, and hot-pressed. This copper-clad laminate is subjected to circuit processing, and the insulating material of the present invention having a thickness of 50 μm previously prepared on both surfaces thereof, and a single-sided roughened copper foil having a thickness of 18 μm on the outer surface thereof is further provided with a roughened surface as an insulating material. They were laminated so as to face each other, and were hot-pressed to produce a multilayer copper-clad laminate containing an inner circuit. The surface roughness of the multilayer copper-clad laminate containing the inner layer circuit was measured with a stylus type surface roughness meter. The measurement location was the outer layer surface on a straight line having a length of 25 mm including a portion with and without an inner layer circuit immediately below. When the 10-point average of the level difference between the portion having the inner layer circuit and the portion not having the inner layer circuit was 3 μm or less, it was evaluated as ○, and the others were evaluated as ×.

【0059】(熱時信頼性試験)内層回路入り多層銅張
積層板の表面銅箔の所定位置に、エッチングにより直径
75μmの穴を明け、その穴へ住友重機械工業(株)製
インパクトレーザにて穴あけを行い、過マンガン酸処理
によるデスミアを行い、無電解めっきを行った後、パタ
ーン焼き付けエッチングにより回路形成した。この多層
プリント配線板の両面に、再び本発明の厚さ50μmの
絶縁材料を、そのさらに外側に厚さ18μmの片面粗化
銅箔を粗化面が絶縁材料に向き合うように積層し、熱圧
成形し内層回路入り多層銅張積層板を作製し、所定位置
にエッチングにより直径75μmの穴を明け、その穴へ
住友重機械工業(株)製インパクトレーザにて穴明けを
行い、過マンガン酸処理によるデスミアを行い、無電解
めっきを行った後、パターン焼き付けエッチングにより
回路形成した。以上の工程を繰り返して10層プリント
配線板を作製した。この時、レーザにて穴明けできるも
のを○、それ以外を×とした。この10層プリント配線
板の一部にベアチップを実装し、ワイヤボンディングで
表面回路と接続した。ワイヤボンディング条件は、超音
波出力を1W、超音波出力時間を50μs、ボンド荷重
を100g、ワイヤボンディング温度を180℃とした
ところ、良好にワイヤボンディングできたものを○、そ
れ以外のものを×とした。また、この10層プリント配
線板に、寸法8×20mmのTSOPをはんだを介して
表面回路と接続し、このTSOP実装基板を−65℃←
→150℃の熱サイクル試験で評価し、2,000サイ
クル後もはんだ接続部に、断線等の不良が発生しなかっ
たものを○、それ以外のものを×とした。また、この基
板の内部のインターステーシャルバイアホールを含む回
路の導通試験を行い断線等のトラブルの発生がなかった
ものを○、それ以外のものを×とした。以上の結果を、
表1及び表2に示す。
(Hot Reliability Test) A hole having a diameter of 75 μm was formed in a predetermined position of the surface copper foil of the multilayer copper-clad laminate containing an inner layer circuit by etching, and the hole was subjected to an impact laser manufactured by Sumitomo Heavy Industries, Ltd. Drilling was performed, desmearing was performed by permanganate treatment, electroless plating was performed, and a circuit was formed by pattern baking etching. The insulating material of the present invention having a thickness of 50 μm is again laminated on both sides of the multilayer printed wiring board, and a single-sided roughened copper foil having a thickness of 18 μm is further laminated on the outer side thereof so that the roughened surface faces the insulating material. A multilayer copper-clad laminate with an inner layer circuit is formed, and a hole having a diameter of 75 μm is formed at a predetermined position by etching, and the hole is formed with an impact laser manufactured by Sumitomo Heavy Industries, Ltd., and treated with permanganate. After performing desmearing and electroless plating, a circuit was formed by pattern baking etching. The above steps were repeated to produce a 10-layer printed wiring board. At this time, those that can be drilled by the laser were rated as ○, and others were rated as x. A bare chip was mounted on a part of the 10-layer printed wiring board and connected to a surface circuit by wire bonding. The wire bonding conditions were as follows: ultrasonic output was 1 W, ultrasonic output time was 50 μs, bond load was 100 g, and wire bonding temperature was 180 ° C. did. Also, a TSOP having a size of 8 × 20 mm was connected to the surface circuit via solder to this 10-layer printed wiring board, and the TSOP mounting board was heated to −65 ° C.
→ Evaluated in a heat cycle test at 150 ° C., a sample in which no defect such as disconnection occurred in the solder connection even after 2,000 cycles was evaluated as ○, and other samples were evaluated as ×. Further, a circuit including an interstitial via hole inside the substrate was subjected to a continuity test, and no trouble such as disconnection occurred. From the above results,
The results are shown in Tables 1 and 2.

【0060】[0060]

【表1】 [Table 1]

【0061】[0061]

【表2】 以上の結果から、次のことが分かる。実施例1〜12
は、処理を行わない場合と比較して積層板が有する特性
を下げることなく、低熱膨張率化、高耐電食性化を達成
する。
[Table 2] The following can be understood from the above results. Examples 1 to 12
Achieves a low coefficient of thermal expansion and high corrosion resistance without lowering the properties of the laminate as compared with the case where no treatment is performed.

【0062】本発明の絶縁ワニスは、電気絶縁性ウィス
カーの表面を処理したウィスカーが入った溶剤処理液
に、直接樹脂材料を配合して樹脂ワニスとすることで、
ウィスカーの分散性および界面の接着力を向上すること
ができ、さらに電気絶縁性ウィスカーを複合化させた絶
縁材料を用いた多層プリント配線板の低熱膨張率化、高
絶縁信頼性を達成できる。本発明にしたがって製造した
絶縁ワニスを用いて得られた絶縁材料は、電気絶縁性ウ
ィスカーの添加により、エポキシ樹脂をシート状に形成
することができたもので、これを使用したプリント配線
板は、表面が平坦で回路加工性が良く、剛性が高いため
実装信頼性が高く、熱膨張率が小さいため寸法安定性が
良くなる。
The insulating varnish of the present invention is obtained by directly mixing a resin material with a solvent treatment liquid containing whiskers obtained by treating the surface of an electrically insulating whisker to form a resin varnish.
The dispersibility of the whiskers and the adhesive strength at the interface can be improved, and the multilayer printed wiring board using an insulating material obtained by combining the electrically insulating whiskers can have a low coefficient of thermal expansion and high insulation reliability. The insulating material obtained by using the insulating varnish manufactured according to the present invention is a material in which an epoxy resin can be formed into a sheet by adding an electrically insulating whisker, and a printed wiring board using this is: The surface is flat, the circuit workability is good, the rigidity is high, the mounting reliability is high, and the thermal expansion coefficient is small, so the dimensional stability is improved.

【0063】[0063]

【発明の効果】以上に説明したように、本発明によっ
て、高密度化、薄型化、高信頼性化、低コスト化に優れ
た多層プリント配線板用の絶縁ワニスの製造方法と、そ
の方法によって製造された絶縁ワニス、並びにその絶縁
ワニスを用いた多層プリント配線板を提供することがで
きる。
As described above, according to the present invention, a method of manufacturing an insulating varnish for a multilayer printed wiring board excellent in high density, thinning, high reliability, and low cost, and a method for manufacturing the same. It is possible to provide a manufactured insulating varnish and a multilayer printed wiring board using the insulating varnish.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI C09D 183/04 C09D 183/04 H05K 3/46 H05K 3/46 G T (72)発明者 森田 高示 茨城県下館市大字小川1500番地 日立化 成工業株式会社 下館研究所内 (72)発明者 田邊 貴弘 茨城県下館市大字小川1500番地 日立化 成工業株式会社 下館工場内 (72)発明者 高野 希 茨城県下館市大字小川1500番地 日立化 成工業株式会社 下館研究所内 (56)参考文献 特開 平7−142860(JP,A) 特開 平9−136372(JP,A) 特開 昭63−75073(JP,A) 特開 昭64−90262(JP,A) 特開 平2−150468(JP,A) 特開 平6−157815(JP,A) 特開 平6−242432(JP,A) 特開 平9−254313(JP,A) 特開 平9−302142(JP,A) 特開 平7−331112(JP,A) 特開 平9−241424(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C09D 5/25 B32B 5/00 - 27/42 C08J 5/04 - 5/08 C08J 5/24 H05K 3/46 C09C 3/08 - 3/12 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI C09D 183/04 C09D 183/04 H05K 3/46 H05K 3/46 GT (72) Inventor Takata Morita Oji Ogawa, Shimodate City, Ibaraki Prefecture 1500 Shimodate Research Laboratory, Hitachi Chemical Co., Ltd. (72) Inventor: Takahiro Tanabe 1500, Oji Ogawa, Shimodate City, Ibaraki Pref.In the Shimodate Plant, Hitachi Chemical Co., Ltd. (56) References JP-A-7-142860 (JP, A) JP-A-9-136372 (JP, A) JP-A-63-75073 (JP, A) JP JP-A-2-150468 (JP, A) JP-A-6-157815 (JP, A) JP-A-6-242432 (JP, A) JP-A-9-254313 (JP, A) A) JP-A-9 -302142 (JP, A) JP-A-7-331112 (JP, A) JP-A-9-241424 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) C09D 5/25 B32B 5/00-27/42 C08J 5/04-5/08 C08J 5/24 H05K 3/46 C09C 3/08-3/12

Claims (12)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 電気絶縁性ウィスカーと、シロキサン繰
り返し単位が2個以上で、末端に基材表面の水酸基と反
応する官能基を1個以上有するシリコーンオリゴマ溶液
からなる電気絶縁性ウィスカーの表面を処理するための
溶剤処理液とからなる溶液に、樹脂材料を配合すること
を特徴とする絶縁ワニスの製造方法。
1. An electrically insulating whisker and a siloxane resin.
It has two or more repeating units, and the terminal is opposite to the hydroxyl group on the substrate surface.
Silicone oligomer solution having at least one corresponding functional group
A method for producing an insulating varnish, comprising mixing a resin material into a solution comprising a solvent treatment liquid for treating the surface of an electrically insulating whisker comprising:
【請求項2】 電気絶縁性ウィスカーに、セラミックウ
ィスカーであり、該ウィスカーの平均直径が0.3〜
3.0μmの範囲であり、平均長さが3〜50μmであ
るものを用いることを特徴とする請求項1に記載の絶縁
ワニスの製造方法。
2. The electrically insulating whisker is a ceramic whisker, wherein the whisker has an average diameter of 0.3 to
The method for producing an insulating varnish according to claim 1, wherein the insulating varnish has a range of 3.0 µm and an average length of 3 to 50 µm.
【請求項3】 シリコーンオリゴマに、分子内に3官能
性(RSiO3/2)シロキサン単位、あるいは4官能(SiO4/2)
シロキサン単位を含有するものを用いることを特徴とす
る請求項1又は2に記載の絶縁ワニスの製造方法。(式
中、R基は同じか又は別異な有機基である。)
3. The silicone oligomer has a trifunctional (RSiO 3/2 ) siloxane unit or a tetrafunctional (SiO 4/2 ) unit in the molecule.
Manufacturing method of the insulating varnish according to claim 1 or 2, characterized by using those containing siloxane units. (In the formula, R groups are the same or different organic groups.)
【請求項4】 シリコーンオリゴマに、分子内に2官能
性(R2SiO2/2)シロキサン単位と4官能(SiO4/2)シロキサ
ン単位を含むものを用いることを特徴とする請求項1又
は2に記載の絶縁ワニスの製造方法。(式中、R基は同
じか又は別異な有機基である。)
4. A silicone oligomer, also claim 1, characterized in bifunctional (R 2 SiO 2/2) siloxane units and tetrafunctional (SiO 4/2) be used those containing siloxane units in the molecule
3. The method for producing an insulating varnish according to item 2 . (In the formula, R groups are the same or different organic groups.)
【請求項5】シリコーンオリゴマに、分子内に3官能性
(RSiO3/2)シロキサン単位と4官能(SiO4/2)シロキサン
単位を含むものを用いることを特徴とする請求項1又は
に記載の絶縁ワニスの製造方法。(式中、R基は同じ
か又は別異な有機基である。)
5. The silicone oligomer has three functional groups in the molecule.
(RSiO 3/2) siloxane units and tetrafunctional (SiO 4/2) according to claim 1 or, characterized by using one containing siloxane units
3. The method for producing an insulating varnish according to item 2 . (In the formula, R groups are the same or different organic groups.)
【請求項6】シリコーンオリゴマに、分子内に2官能性
(R2SiO2/2)シロキサン単位と3官能(RSiO3/2)シロキサ
ン単位を含むものを用いることを特徴とする請求項1又
は2に記載の絶縁ワニスの製造方法。(式中、R基は同
じか又は別異な有機基である。)
6. The silicone oligomer has a bifunctional compound in the molecule.
(R 2 SiO 2/2) siloxane units and trifunctional (RSiO 3/2) The claim 1, characterized by using one containing siloxane units
3. The method for producing an insulating varnish according to item 2 . (In the formula, R groups are the same or different organic groups.)
【請求項7】シリコーンオリゴマに、分子内に2官能性
(R2SiO2/2)シロキサン単位と3官能性(RSiO3/2)シロキ
サン単位と4官能性(SiO4/2)シロキサン単位を含むもの
を用いることを特徴とする請求項1又は2に記載の絶縁
ワニスの製造方法。(式中、R基は同じか又は別異な有
機基である。)
7. The silicone oligomer has a bifunctional compound in the molecule.
(R 2 SiO 2/2) siloxane units and trifunctional (RSiO 3/2) siloxane units and tetrafunctional to claim 1 or 2, characterized by using one containing a (SiO 4/2) siloxane units A method for producing the insulating varnish according to the above. (In the formula, R groups are the same or different organic groups.)
【請求項8】シリコーンオリゴマに、分子内に含有する
4官能(RSiO4/2)シロキサン単位が全体の15mol%
以上であるものを用いることを特徴とする請求項3、
4、5および7のうちいずれかに記載の絶縁ワニスの製
造方法。
8. The silicone oligomer contains 15 mol% of tetrafunctional (RSiO 4/2 ) siloxane units in the molecule.
Claim 3, characterized in that the above is used .
8. The method for producing an insulating varnish according to any one of 4, 5, and 7 .
【請求項9】溶剤処理液に、シリコーンオリゴマとシラ
ン系カップリング剤とを併用することを特徴とする請求
1〜8のうちいずれかに記載の絶縁ワニスの製造方
法。
9. A solvent treatment solution, the production method of the insulating varnish according to any one of claims 1 to 8, characterized in that the combined use of silicone oligomer and a silane coupling agent.
【請求項10】溶剤処理液に、シリコーンオリゴマとチ
タネート系カップリング剤とを併用することを特徴とす
る請求項1〜8のうちいずれかに記載の絶縁ワニスの製
造方法。
10. A solvent treatment solution, the production method of the insulating varnish according to any one of claims 1 to 8, characterized in that the combined use of silicone oligomer and a titanate coupling agent.
【請求項11】請求項1〜10のうちいずれかに記載さ
れた方法によって製造されたことを特徴とする絶縁ワニ
ス。
11. An insulating varnish produced by the method according to any one of claims 1 to 10 .
【請求項12】請求項1〜10のうちいずれかに記載さ
れた方法によって製造された絶縁ワニスを、銅箔又はキ
ャリアフィルムに塗布した絶縁材料を、回路形成済みの
配線板と積層した後、外層面の回路を形成し、内層回路
と電気的に接続することにより製造したことを特徴とす
る多層プリント配線板。
12. An insulating material obtained by applying an insulating varnish produced by the method according to any one of claims 1 to 10 to a copper foil or a carrier film, and laminating with a wiring board having a circuit formed thereon. A multilayer printed wiring board manufactured by forming a circuit on an outer layer surface and electrically connecting the circuit to an inner layer circuit.
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