JP3340994B2 - パルス化小滴沈積装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はパルス化小滴沈積装
置に関し、更に詳しくは多数の小滴液流路とこの流路に
連通して流路から液小滴を射出させるノズルとからな
り、隣接する流路が作動信号に応答して該隣接流路に対
して移動しうる流路壁によって分離されているインクジ
ェットプリンターに関する（以後これを「上記の種類の
装置」と呼ぶ）。

【０００２】

【従来の技術】上記の種類のパルス化小滴沈積装置は多
くの異なった形体及び構造のものが当業技術において知
られている。

【０００３】ＥＰ−Ａ−０２７８５９０は多数の液小滴
流路と液小滴を射出させるノズルとからなる装置を開示
しており、そこでは小滴の射出が作動信号に応答して流
路分離壁の移動によって達成される。この特許文献は剪
断モードで、直接モードで、及びバイモルフ形態で圧電
材料を使用することを含む若干の流路壁移動法の概要を
示している。

【０００４】ＵＳ−Ａ−５２７７８１３は圧電材料対象
体を電場に深さ方向に利用し且つ溝に対して剪断モード
で移動する上記の種類の別の種類のパルス化液滴沈積装
置を開示している。

【０００５】ＥＰ−Ａ−０６１１６５４は上記の種類の
静電気吸引力を溝壁の移動に利用するパルス化小滴沈積
装置を開示している。

【０００６】このような周知の装置において、隣接する
活性のインク射出流路の列のいづれかの端部の活性イン
ク射出流路が列中の他の流路と同様に操作することが望
ましい、すなわち両壁がインクを吸引又は射出するとき
流路のいづれかの面が移動する（一般に、然し必ずしも
反対方向にではなく）ことが望ましい。この目的のため
に、作動流路の列の各例に１以上のガード流路によって
境界を設けることが必要であった。このガード溝はイン
クを射出しないけれども、それにもかかわらず列のそれ
ぞれの最外作動流路の最外壁の移動を可能にする。

【０００７】その上、上記の種類のパルス化小滴沈積装
置は１以上のカラーの同時プリントで使用されることが
知られている。ＷＯ９５／０７１８５は多数のサブ・ヘ
ッドをもち、それぞれが別のインクマニホールドから種
々のカラーインクが供給されるインクジェットプリンタ
ーの構造を開示している。サブ・ヘッドは相互に平行に
及びオフセットに−いづれかがプリントヘッドを横切っ
て又はプリントヘッドの運動方向に−、又はそれぞれの
列方向に共線状に、取付けることができることが開示さ
れている。この特許文献は、サブ・ヘッドが別の要素で
あることができ、又は単一の同延セラミックウエファー
に形成することができると述べている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、それ
ぞれのサブ・ヘッドが別のマニホルド室から供給され
る、上記の種類の多数のサブ・ヘッドからなる装置の構
造と製造法の双方を簡単にすることにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は上記した目的を
達成するため、以下に記載されたような技術構成を採用
するものである。即ち、本発明に係るパルス式小滴沈積
装置は、複数の小滴液流路であって、互いに隣接してい
る当該流路は作動信号に応答して該隣接している双方の
流路に対して変形可能な流路壁によって互いに分離され
ている複数の小滴液流路と、これらの流路に連通して流
路から小滴液を射出するノズルと、小滴液を隣接する複
数の小滴液流路からなる第１グループに供給する第１の
マニホルド室と、小滴液を隣接する複数の小滴液流路か
らなる第２グループに供給する第２のマニホルド室とを
備え、単一の変位可能な壁によって、当該第１グループ
に属する１つの流路と当該流路に隣接する第２グループ
に属する１つの流路とが分離されているものであり、且
つ当該第１及び第２グループに属するそれぞれの複数の
流路がカバー部材によってその長さ方向の少なくとも一
部が閉鎖されており、当該カバーは少なくとも開口部を
含んでおり、当該開口部が、当該マニホルド室の少なく
とも一部の縁部を形成しており、更に当該カバーによっ
て形成されるそれぞれのマニホルドの縁と単一の変位可
能な流路壁に密封結合しているそれぞれのマニホルド構
造の縁との間の交点が、単一の変位可能な流路壁に隣接
する流路の作動長さが、当該流路が属するそれぞれのグ
ループ中の他の流路の作動長さよりも、当該流路の幅の
２／３を越えない範囲で長く設定される様な、構成を有
しているように構成されているパルス式小滴沈積装置で
ある。

【００１０】

【発明の実施の形態】本発明においては、このような構
造にすることによりそれぞれのサブ・ヘッドのいづれか
の端部のガード溝の必要がなくなる（ただし列の２先端
に配置したサブ・ヘッドのガード溝を除く）。製造され
るべき溝の数のこの減少は製造時間に及びプリントヘッ
ドを作るのに必要な材料の量の点で著しい効果をもつ。
溝の数の少ない装置はまた通常のサブ・ヘッドの数をく
み入れた設計よりも幅が小さい。最後に、溝自体に配置
した電極によって作動する（たとえば前記のＥＰ−Ａ−
０２７８５９０の図２ａ，２ｂに記載のもの参照）且つ
ガード流路も電極とドライバー回路を必要とする上記の
種類の装置の場合には、ドライブ−エレクトロニクスの
明瞭な節約がなされ、流路への付随する電気接続の明瞭
な節約がある。

【００１１】

【実施例】本発明の更なる態様を次の実施例及び請求の
範囲に示す。

【００１２】本発明を次の図面を参照して実施例によっ
て今や記述する。これらの図において、図１は例えば上
記のＥＰ−Ａ−０２７８５９０から及びＥＰ−Ａ−０３
６４１３６からも知られているような、剪断モードで操
作する圧電壁アクチュエーターをくみ入れた通常のイン
クジェットサブ８の破断図を示す。サブヘッドは、厚さ
方向に極性のある圧電材料の基部要素１０、カバー要素
１２、及びノズルプレート１４からなる。回路板も示し
てあり、これはプリントヘッドから小滴射出のための電
気信号を受入れる接続トラック１８をもつ。

【００１３】基部要素１０はＵＳ−Ａ−５０１６０２８
で述べられているように圧電材料のシート中につくった
多数の平行溝をもっている。この基部要素は前方部分を
もち、そこでは溝は比較的深くて対向するアクチュエー
ター壁２４によって分離したインク流路２２を提供す
る。前方部分の後方にある溝は比較的浅くて接続トラッ
ク２８の場所を与えている。溝２０の形成後に、金属化
したメッキがある角度で前方部分に真空蒸着によって蒸
着されてメッキを壁の頂部から溝高の約１／２伸ばして
インク流路２２の対向面に電極３０を与える。同時に、
電極金属は位置２６の後方部分に堆積してそれぞれの流
路中の電極に接続した接続トラック２８を与える。流路
を分離する壁の頂部は、ラッピングによって又はＵＳ−
Ａ−５１８５０５５に示すように始めにポリマーフィル
ムを基板１０に塗布しそして金属化メッキをフィルムの
除去によって除くことによって、メッキのない状態に保
たれる。金属電極３０の適用後に、基部要素１０に受容
体層を被覆してインクからの電極の電気的分離を行な
う。

【００１４】図１に示すカバー要素１２は基部要素１０
に熱的に合った材料から製造される。これに対する１つ
の解決は、基部に使用したのと同様のピエゾ・セラミッ
クを使用して、カバーを基部に結合させるとき界面結合
層に誘起される応力を最小にすることである。このカバ
ーを基部要素と同じ幅に然し短い幅に切断して、結合後
にそれらが覆われていない後方部分中のトラック２８の
長さを保って結合した配線接続を接続トラック１８にす
ることである。窓３２をカバー中に生成し、これは溝２
２への液体インクの供給のための供給マニホルドを提供
する。窓から前方縁３４までのカバーの前方部分は図に
示すように長さＬをもつ。この領域は壁２４の頂部に結
合させたとき、作動流路長を決定し、これは射出された
インク液滴の容量を支配する。

【００１５】基部要素とカバー要素の結合後が図２に示
される。結合方法はＷＯ９５／０４６５８に開示されて
いる。カバー要素１２の前縁の機械耐性および対応する
基部要素１０の対応する縁とのその整列に特別な注意が
払われ、そして結合プリントヘッド要素３６の前面がノ
ズル板１４の取付けのために共平面に保たれることを確
保するために組立ジグの設計にも特別な注意が払われ
る。ノズル板１４はポリイミド、たとえば宇部興産のポ
リイミドＵＰＩＬＥＸ（商標）Ｒ又はＳ、にたとえばＵ
Ｓ−Ａ−５０１０３５６に与えられているような非湿潤
性塗膜を被覆したもの、のようなポリマーの片からな
る。ノズル板は薄層の接着剤を塗布して結合され、接着
剤は結合要素３６の前面と接触して接着結合を作る。そ
れによってノズル板１４と流路２２を囲む壁との間に結
合したシールが生成する。その後に接着剤を硬化させ
る。ノズル板の適用後に、ノズル３８（図２）がノズル
板中につくられそれぞれの流路２２をプリントヘッドに
適当な間隔で且つＷＯ９３／１５９１１に記載されてい
るように配列方向“Ｄ”で接続する。

【００１６】結合したプリントヘッド３６の組立て後
に、接続トラック１８を与えるように回路板１６をこれ
に接合させ、そして結合したワイヤ接続によってトラッ
ク１８を基部要素１０の後方部分中の対応する接続トラ
ック２８に接続させる。

【００１７】図３は本発明によるパルス式小滴堆積装置
を示す。図１及び２の態様で示すものと同じ特徴が同じ
参照番号によって命名されている。

【００１８】流路の実際の数を除いて、この態様の基部
要素の構成は図１及び２を参照して述べたようにインク
ジェットサブヘッドの基部要素１０のそれと実質的に同
じである。特に、図３に示す装置の基部１０は多数の小
滴液流路２２、流路２２に連通して液、一般にインクの
小滴を射出するノズル３８、及び電極によって加えられ
る作動信号に応答して剪断モードで横方向に移動しうる
向き合ったアクチュエータ壁２４をもつ。

【００１９】図３の態様のカバー要素４０も、それが基
部要素１０に熱的に一致する材料からできている限り通
常のサブヘッドのそれと同じである。たとえば基部に使
用したのに類似の圧電セラミック、又はボロシリケート
ガラスであり、ノズルに隣接するカバーの部分が流路壁
の頂部に結合して密閉鎖を形成している。

【００２０】多数の開口もしくは窓３２ａ，３２ｂがカ
バー４０の後部に形成されていて隣接流路４２ａおよび
４２ｂのそれぞれの群への小滴液を供給している。これ
らの開口はマニホルド室を部分的に決定しており、マニ
ホルド室の一面は流路２２自体の開放頂部によって拘束
され、マニホルド室の他面はインク供給構造、たとえば
図７に示す及び以下に述べるインクマニホルドブロッ
ク、によって限界がきめられる。これらの開口は図４ａ
に示すように長さ区分で通常の設計のものでありうる。
開口はインクフィルタ又はインク供給導管に寸法におい
て相当する上方部分５１をもつが、下方の部分５２はカ
バーによって閉じられるべき流路の長さによって、少な
くとも部分的に決定される。図１および２に関して述べ
たように、流路の作動長さＬとして知られる、カバーで
閉じられている流路の長はとりわけて射出インク滴の容
量を決定する。

【００２１】開口の領域中のカバーの横方向の部分は、
それぞれのグループの流路にそれぞれの小滴の液を供給
し然もなお単一流路壁によって分離される。たとえば、
図５ａに示すように、第１および第２の開口３２ａ，３
２ｂは分割用部分６０ａによって分離され、その下部面
は単一流路壁６２に結合している。分割用部分６０の実
際の形状と寸法は、とりわけて分割用部分が受ける荷
重、インクフィルターもしくは供給導管構造の寸法、こ
の部分と単一流路壁との間の許容結合を達成するに必要
な幅、分割用部分を通って単一流路壁６２のいづれかの
面にある流路６３，６４にインクの流れを流すに必要な
隙間によって決定される。流路の実際の長さ、すなわ
ち、マニホルド開口とノズル板との間の領域であって図
１、４ａ及び４ｂの“Ｌ”と呼ばれる領域において、１
群の流路からの液小滴を別の群の流路の液小滴から分離
することは、単一の分離用流路壁とカバーとの間の結合
によって確保される。図５ｂから明らかなように、この
結合は他の流路壁と作動流路の領域中のカバーとの間の
結合に等しい。

【００２２】図６は、カバー４０と流路壁２４の頂部と
の間の交差点での結合面を詳細に示す。すなわち（ａ）
分割用部分６０によって形成され単一流路壁６２に付属
する開口３２ａの縁と（ｂ）流路２２の延長方向に垂直
に走り流路の活性長さの１端を決定する開口３２の縁７
２、との間の交差点である。交差点の正確な形体はカバ
ー及び開口の製造法（たとえばミリング、超音波機械加
工、成形）に依存するが、図６にＲと呼ぶ半径の形体で
ありうる。この半径はグループ中の他の流路２２よりも
やや大きい長さで部分的に覆われた単一流路壁６２を位
置ぎめする流路６３，６４をもたらし、やや大きい作動
長さの流路をもたらす。これはまた既に前述した通りの
射出インク液滴の容量に影響を及ぼす。プリントヘッド
の流路のすべてのインク射出能力の均一性を達成するた
めに、この交差を制御することが明らかに必要である。
実際に、流路幅の２／３以下の交差半径は許容しうる均
一性を与えることが見出された。

【００２３】カバー４０によって閉鎖された流路２２
は、流路の端部に取付けたノズル３８によってインクを
射出する。これらのノズル３８は好ましくは流路の端部
に取付けたノズル板１４に形成される。カバー４０と体
部４０の端部面は共平面にあってノズル板の正しい着座
を保証しその結果として内部のノズルの正確な整列を保
証するのが好ましい。これはノズル板をヘッドに取付け
る前または後に行なうことができる。特に好ましい態様
において、単一のノズル板１４はプリントヘッド中の溝
４２ａ，４２ｂのすべてのグループの流路のすべてを覆
う。

【００２４】図３−６は実例によって小液滴の供給のた
めに２つのマニホルドをもつプリントヘッドを説明して
いるけれども、本発明は決してこのような構造に限定さ
れない。カラープリントを意図する１つの好ましい構造
は面から面に取付けた４つのマニホルドからなり、隣接
流路の４つの隣接群に異なった色のインク（一般的にイ
エロー、シアン、マジェンタ及びブラック）を供給する
ことからなる。このような配列において、流路の最外の
二群（たとえばシアン及びマジェンタ）は単一活性流路
壁によって最内群から分離されるが、これらの群は、通
常のサブヘッドで用いられるように１以上のガード流路
によって結合される。４つのマニホルドは単一シート中
に作ることができ、２つの最内マニホルド室は単一分割
部分によって流路の別のグループから各面に分離される
が、２つの最外マニホルド室は単一の分割部分によって
内側の室から分離され然もそれらの端部においてガード
流路のいづれかの面の流路壁の頂部に始めに接続によっ
て結合され次いで溝が生成する圧電シートの表面に結合
される。この後者の配列は例えばＷＯ９５／０４６５８
に示されている。それぞれ異なったカラーインクで始ま
る４群の流路のすべては、上記の如く単一のノズル板に
よってもちろん閉じることができる。

【００２５】図４ｂはカバー中の窓３２ａ、３２ｂの縦
方向の区分の別の形態を示す。窓の上部の入口部分５１
と溝を閉じるカバーの下部表面５４との間に単一の面５
３が配置されている。このような面配置は窓３２ａの前
縁５５に制限されるか、又は図４ｂに示すように窓３２
ａの前縁及び後縁に制限される。

【００２６】既に述べたように、本発明によるプリント
ヘッドは（図２及び３の矢印“Ｄ”によって示す）整列
方向に間隔を置いたノズルを一般にもつ。このプリント
ヘッドは配列方向が水平に、垂直に、又は水平に対して
ある角度で述べるように配置され、そしてこの整列方向
は基質供給方向に対して又はプリントヘッド走査方向に
対して直角に又はある角度で更にのびることができる。

【００２７】更に、本発明によるプリントヘッドはすべ
てのノズルを単一線にそって配置することを必要としな
い。プリントヘッドは２列の流路からなることができ、
それぞれの列は同じ色を供給し、列の１つのノズルは他
の列のノズルからノズル列方向のノズルピッチの半分だ
け分枝しており、それによって単一列の流路で達成され
るプリント解像の２倍を得る。あるいはまた、２列の流
路は異なった色のインクで始めることができる。たとえ
ば、列の１つはマジェンタインクを射出するノズル群の
次に配置したブラックインク射出のノズル群を含み、他
の列はイエロー及びシアンのインクをそれぞれ射出する
ノズル群からなることができる。明らかに、このような
配列は上記のように基質とプリントヘッドの間の相対運
動の方向に関して角度をもたせることもできる。

【００２８】マニホルド室へのインクの供給はいずれか
の好適な導管／マニホルド系によって行うことができ、
このような系の１つの態様は図７ａおよび７ｂに示され
る。ここでは、結合したプリントヘッド３６のカバー４
０中に形成した開口のそれぞれの開放頂部はマニホルド
ブロック８０の下部表面８１によって、任意にガスケッ
トの助けを借りて、閉塞される。インクは、矢印８２で
示すように、それぞれのマニホルド室に流れて多くの孔
８３によって生成し、フィルタ室８４をそれぞれのカラ
ーのインクに分離する。孔は盲孔であることができ、又
は参照番号８５に示すように掘り出しスクリューによっ
て閉鎖した孔であってもよい。掘り出しスクリュー８５
を弛めるとインクは孔８３から廃インク導管８７に流
れ、それによって孔８３をフラッシュする機構がえられ
る。図示の態様において、マニホルドブロック８０とプ
リントヘッド３６は共に回路板１６に結合して一体ユニ
ットを作る。プリントヘッド３６の電極は、たとえば配
線結合によって回路板１６に生成した伝導トラック１８
に接続している。好ましくは、配線結合は通常のエポキ
シ“ポッティングコンパウンド”で保護されており、そ
して図３の符号８８で示すように長方形構造、たとえば
ワイヤで作られた、を回路板１６に取付けることがで
き、それによってトラフ８９が生成して液体ポッティン
グ化合物を硬化しながら所定の場所に保つ。伝導性トラ
ックはまた電気接続部材に接続して回路板の同じ面に又
はプリントヘッドに対して回路板の反対面に取付けるこ
とができる。後者の場合、回路板の１面から他面への電
気接続は伝導性バイアスによって行われる。

【００２９】然し、本発明はカラープリントヘッドの用
途に限定されない。それは如何なる配置にも適用可能で
あり、隣接流路の第１および第２の群は同じマニホルド
から直接に供給されるべきではない。このような配置は
流路の出口または入力において作用する圧力が変化を受
けるときに使用することができる。これは、たとえば線
状配列の流路が非水平配位で整列方向に取付けられたと
き、たとえば垂直に又はある角度で取付けられ単一のイ
ンク供給源から供給されたときに起こる。高さの低いこ
れらの流路は大きなインク供給ヘッドを受け、これがあ
る場合には制御しえない低い滴でインクを導く。この問
題はプリントヘッドの溝を２以上の群の隣接流路に分離
して各群を単一作動流路壁によって分離し、そしてそれ
ぞれのインクを供給した流路を、それぞれの群の流路の
すべてがうつむきなしに作動しうる圧力に保持すること
によって分離しうる。圧力調節の好適な方法として、各
群の流路ごとにインク貯槽を別にして、これらの貯槽を
それぞれの溝群に対して均一の垂直距離に取付け、それ
ぞれの溝群に均一な供給圧力を確保することがあげられ
る。あるいはまた、流路は単一の貯槽から供給すること
もでき、その場合には適切に調節された圧力調節装置が
貯槽をそれぞれの流路群との間に配置される。上記の圧
力調節法の両方を組合せて使用することもできる。

【００３０】上記のマニホルド室を組み入れたカバーは
ＷＯ９５／１８７１７に記載されているようにウエファ
ー規模で製造することができる。明らかに所定サイズの
ウエファー材料はサブヘッドカバーよりも多くのマニホ
ルド構造を組み入れた少数のカバーを生ずる。

【００３１】図８及び９はモジュラー導管／マニホルド
系２００を使用して幅広のプリントヘッド２００を供給
する本発明の２つの態様を説明している。図８におい
て、幅広のプリントヘッド２１０は多数の（この場合４
の）本発明によるプリントヘッド２２０を含み、それぞ
れが多数の（たとえば２）の流路群から作られている。
それぞれのプリントヘッド２２０の対応する多数のマニ
ホルド室には供給モジュール２３０および供給パイプ２
３５を介してインクが供給される。

【００３２】プリントヘッド２２０は第１の共通基部部
材２４０に取付けられていて第１の組立体を形成し、ま
たプリントヘッドの駆動回路（集積回路２５１をもつ回
路板２５０）は第２の共通基部部材２６０に取付けられ
ていて第２の組立体を形成している。アルミニウムのよ
うな伝導性物質で基部部材を形成することは発生する熱
の消散に役立つ。符号２７０で示すように、第１および
第２の基部部材２４０、２６０は一緒に接合し、その後
に第１と第２の組立体の間の電気接続が、図３に示した
ように、たとえば配線結合によって行われる。基部部材
は剥離しうる様式で有利に接合される。それによって駆
動組立体又はプリントヘッドが次のテストで誤りである
ことがわかったならば、それを取替えることができる。

【００３３】モジュール２３０は結合した第１および第
２の組立体の上に着圧してそれらはそれぞれをそれぞれ
のプリントヘッド２００のカバーのインク供給窓でシー
ルする（この点で図７ｂに関する記述を参照）。有利に
は、それぞれのモジュールの前面は、第１の共通基部部
材２４０に取付けた又はこれと一体の容器構造中のタブ
２８０によって配置され、またこのモジュールの後方は
たとえばスクリューによって第２の共通基部部材２６０
に締着されうる。それぞれのプリントヘッド２００はそ
れ自身の個々のノズル板をもつことができ、又は図８に
示すように、単一のノズル板が幅広いプリントヘッド２
１０の全幅にわたることもできる。後者の場合、ノズル
はプリントヘッドへの取付け後に好ましくはノズル板中
に形成され、それによって例えばＷＯ９５／１８７１７
に記載されているようなノズルと溝のレジストレーショ
ンの問題を避けることができる。

【００３４】図９の態様において、モジュール２３１−
２３４はそれぞれの群の溝３０１−３０４を供給し、こ
れは一緒になって本発明による単一プリントヘッド２２
０を作る。他の点で、プリントヘッドの構造は図８で示
すのと同じである。図９のプリントヘッド成分２２０は
圧電材料の単一片から有利に作られ、それ自体上記のよ
うなウエファー規模で特に製造される。図８の態様のプ
リントヘッド２２０はこの様式でも製造することがで
き、又はそれぞれ圧電材料の個々の片から製造すること
もできる。モジュール自体について言えば、これらは図
７ａに関して既に述べた種類の孔およびフィルター要素
を組み入れる。図８および９の基板とモジュール配列を
記述したけれども、それらは他の原理により構成したプ
リントヘッドにも等しく適用しうるということが理解さ
れるであろう。

【００３５】本発明は上記のアクチュエーターに限定さ
れず、複数の小滴液流路と、作動信号に応答して流路に
対して移動しうる流路分離用壁とからなるすべてのパル
ス式小滴沈積装置に適用可能である。

【００３６】図１０ａおよび１０ｂに示す（上記のＷＯ
９５／１８７１７に開示の）装置において、マニホルド
構造９０（図示の態様のカバー９１に組み入れた構造）
は単一置換性の流路壁６２の表面に結合することがで
き、これはまた流路に面する表面に垂直にあり、流路の
面に対して傾いている。このような場合、マニホルド／
カバー構造９０、９１は対応する可能な傾斜分割構造６
０からなることができる。あるいはまた、図１１ａおよ
び１１ｂに示すように、分割用構造６０は単一の移動可
能な流路壁６２の後部によって構成されていてもよく、
これはそれぞれの群の流路を分離する他の流路壁の後方
部分とは異なり、角度をもたず、方形にとどまってマニ
ホルド構造と密封係合する。

【００３７】本発明はまたＷＯ９２／２２４２９に開示
の種類の装置にも適用可能であり（そして破断形体で図
１２ａに示されている。）。そこでは溝は体部１０３中
に形成され、圧電材料を含み、電極１０４が流路壁に与
えられている。これらの流路は次いで伝導性トラック１
０２をもつカバー１０１によって閉鎖される。これは電
極１０４に電気的に接続される。流路の前端はノズル板
で閉じられるが、流路の後端はマニホルド構造１００に
よって閉じられる。図１２ｂからわかるように、マニホ
ルド構造１００は１以上の分割用部分を備えることがで
き、これらはそれぞれの単一の移動可能な流路壁６２の
後部端に密封結合される。マニホルドへのインクの供給
はマニホルド構造中の孔１０６を介して行われる。

【００３８】ＷＯ９１／１７０５１に開示の且つ図１３
ａに示す装置において、マニホルド室１１０はアクチュ
エータ自体の体部１１１中の溝の下に配置され、分割用
部分６０は単一の移動可能な流路壁６２の下部面１１３
に取付けることができる。分割用部分６０を含み、且つ
マニホルド室１１０を形成するマニホルド構造は体部１
１１と一体となり、図１３ｂに示すようにその中に壁を
形成することができ又は別であることができる。流路１
１０を閉じ室にインクを供給するマニホルドブロック１
１２の位置は破線で示される。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、平行溝を形成するプリントヘッド基
板、接続トラックをもつ回路板、カバー要素、及びノズ
ルプレートを含む、通常の単一直列インクジェットサブ
・ヘッドからなる装置の透視破断図を示す。

【図２】図２はプリントヘッド基板へのカバー、ノズル
プレート、及び回路板の結合組立後の図１の通常のサブ
・ヘッドを示す。

【図３】図３は本発明によるパルス化小滴沈積装置の透
視図である。

【図４】図４ａ及び４ｂは、図３の区分ＡＡでみたとき
のカバーの別の態様である。

【図５】図５ａ及び５ｂは、それぞれ図３の区分ＢＢ及
びＣＣでみたときのカバーの区分である。

【図６】図６はカバー４０と溝壁２４の頂部との間の結
合面でみたときの図３に示す詳細“Ｄ”に相当する。

【図７】図７ａは本発明の特定の態様に使用するのに好
適なマニホルドブロックの平面図であり、図７ｂは図７
ａの線ＥＥの区分である。

【図８】図８は本発明の別の態様の透視図を示す。

【図９】図９は本発明の他の態様の透視図を示す。

【図１０】図１０ａは本発明を組み入れたプリントヘッ
ドの第１の別の種類の（流路壁に平行な面でとった）破
断断面図であり、図１０ｂは図１０ａの線ＦＦにそった
図である。

【図１１】図１１ａは本発明をくみ入れた第２の別の種
類のプリントヘッドの（流路壁に平行の面で取った）破
断断面図であり、図１１ｂは図１１ａの方向Ｇの図であ
る。

【図１２】図１２ａは本発明をくみ入れた第３の別の種
類のプリントヘッドの（流路壁に平行の面でとった）破
断断面図であり、図１２ｂは図１２ａに示すマニホルド
構造の方向Ｈの図である。

【図１３】図１３ａは本発明をくみ入れた第４の別の種
類の（流路壁に平行な面で再びとった）断面図である。
そして図１３ｂは図１３ａの第２の線１−１にそった図
である。

【符号の説明】

４０…カバー ２４…流路壁 ６０…分割用部分 ６２…単一流路壁 ３２ａ…開口の縁と ２２…流路 ７２…開口の縁 ６３、６４…流路 ３８…ノズル

Claims (11)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の小滴液流路であって、互いに隣接
   している当該流路は作動信号に応答して該隣接している
   双方の流路に対して変形可能な流路壁によって互いに分
   離されている複数の小滴液流路と、これらの流路に連通
   して流路から小滴液を射出するノズルと、小滴液を隣接
   する複数の小滴液流路からなる第１グループに供給する
   第１のマニホルド室と、小滴液を隣接する複数の小滴液
   流路からなる第２グループに供給する第２のマニホルド
   室とを備え、単一の変位可能な壁によって、当該第１グ
   ループに属する１つの流路と当該流路に隣接する第２グ
   ループに属する１つの流路とが分離されているものであ
   り、且つ当該第１及び第２グループに属するそれぞれの
   複数の流路がカバー部材によってその長さ方向の少なく
   とも一部が閉鎖されており、当該カバーは少なくとも開
   口部を含んでおり、当該開口部が、当該マニホルド室の
   少なくとも一部の縁部を形成しており、更に当該カバー
   によって形成されるそれぞれのマニホルドの縁と単一の
   変位可能な流路壁に密封結合しているそれぞれのマニホ
   ルド構造の縁との間の交点が、単一の変位可能な流路壁
   に隣接する流路の作動長さが、当該流路が属するそれぞ
   れのグループ中の他の流路の作動長さよりも、当該流路
   の幅の２／３を越えない範囲で長く設定される様な、構
   成を有している事を特徴とするパルス式小滴沈積装置。
2. 【請求項２】 単一の変位可能な流路壁に隣接する流路
   の作動長さが、当該流路の幅の少なくとも１／３にわた
   る領域部分では、同一のグループに属する他の流路の作
   動長さと等しくなる様に構成されている事を特徴とする
   請求項１記載のパルス式小滴沈積装置。
3. 【請求項３】 当該交点が、それぞれの流路の幅の２／
   ３以下の長さを有する半径で構成された丸味部（Ｒ部）
   を有していることを特徴とする請求項１または２に記載
   のパルス式小滴沈積装置。
4. 【請求項４】 それぞれのマニホルド室に同じ小滴液が
   供給されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか
   に記載のパルス式小滴沈積装置。
5. 【請求項５】 小滴液が単一の貯槽から供給されること
   を特徴とする請求項４記載のパルス式小滴沈積装置。
6. 【請求項６】 それぞれのマニホルド室にはそれぞれの
   別の貯槽からの小滴液が供給されることを特徴とする請
   求項４記載のパルス式小滴沈積装置。
7. 【請求項７】 アレイ状に配置された当該各流路が異な
   った高さに配置されたことを特徴とする請求項４記載の
   パルス式小滴沈積装置。
8. 【請求項８】 当該複数の流路が直線的に配置され、且
   つその配列が水平面に対してある角度で配位されている
   ことを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載のパ
   ルス式小滴沈積装置。
9. 【請求項９】 当該流路の配列が垂直方向に配位されて
   いることを特徴とする請求項８に記載のパルス式小滴沈
   積装置。
10. 【請求項１０】 小滴液圧力調整部材が貯槽からマニホ
    ルド室に流れる小滴液流通路中に配置されることを特徴
    とする請求項１乃至９のいずれかに記載のパルス式小滴
    沈積装置。
11. 【請求項１１】 当該マニホルド中の小滴液の圧力がす
    べてのマニホルド中に均一であるように調整されること
    を特徴とする請求項１０記載のパルス式小滴沈積装置。